JPWO2019208587A1 - Polyimide precursor resin composition - Google Patents

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Abstract

本願明細書に記載の、一般式(1)で表される構造単位、及び一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と;任意に、一般式(4)で表される化合物とを含む、樹脂組成物。一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く1,100ppm以下であるか、あるいは、一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物の総量が、樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く1,300ppm以下である。A polyimide precursor containing the structural unit represented by the general formula (1) and the structural unit represented by the general formula (2), described in the present specification; and the general formula (3-1) or (3-). A resin composition comprising at least one compound of 2) in which m is an integer of 3 or more; and optionally a compound represented by the general formula (4). In the general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is more than 0 ppm and 1,100 ppm or less based on the mass of the resin composition, or In the general formula (3-1) or (3-2), the total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more and the compound in which n is an integer of 3 or more in the general formula (4) is the resin composition. It is more than 0 ppm and 1300 ppm or less based on the mass.

Description

本発明は、ポリイミド前駆体樹脂組成物及びポリイミドフィルムに関する。本発明はさらに、ポリイミドフィルム、ディスプレイ、積層体及びフレキシブルデバイスの製造方法にも関する。   The present invention relates to a polyimide precursor resin composition and a polyimide film. The present invention also relates to methods for making polyimide films, displays, laminates and flexible devices.

ポリイミド樹脂は、不溶、不融の超耐熱性樹脂であり、耐熱酸化性、耐熱特性、耐放射線性、耐低温性、耐薬品性等に優れた特性を有している。このため、ポリイミド樹脂は、電子材料を含む広範囲な分野で用いられている。電子材料分野におけるポリイミド樹脂の適用例としては、例えば絶縁コーティング材、絶縁膜、半導体、薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ(TFT−LCD)の電極保護膜等を挙げることができる。最近は、ポリイミドフィルムの軽さ、柔軟性を利用して、ディスプレイ材料の分野において従来使用されていたガラス基板に代わり、フレキシブル基板としても採用が検討されている。   The polyimide resin is an insoluble and infusible super heat resistant resin, and has excellent properties such as heat and oxidation resistance, heat resistance, radiation resistance, low temperature resistance, and chemical resistance. Therefore, the polyimide resin is used in a wide range of fields including electronic materials. Examples of application of the polyimide resin in the field of electronic materials include an insulating coating material, an insulating film, a semiconductor, an electrode protective film of a thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD), and the like. Recently, by utilizing the lightness and flexibility of a polyimide film, it is being considered to use it as a flexible substrate instead of the glass substrate which has been conventionally used in the field of display materials.

例えば特許文献1は、ビス(ジアミノジフェニル)スルホン(以下、DASともいう)から重合され、シロキサン単位を有する樹脂前駆体(重量平均分子量3万〜9万)を記載している。特許文献1は、当該前駆体を硬化して得られるポリイミドは、ガラス等の支持体との間に発生する残留応力が低く、耐薬品性に優れ、キュア工程時の酸素濃度による黄色度(YI値)及び全光線透過率への影響が小さいことを記載している。特許文献2は、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(以下、TFMBともいう)から重合され、シロキサン単位を有する樹脂前駆体を記載している。特許文献2は、当該前駆体を硬化して得られるポリイミドフィルムは特定のガラス転移温度を有し、無機膜との間に生じる残留応力が低く、機械的物性及び熱安定性に優れる事を記載している。   For example, Patent Document 1 describes a resin precursor (weight average molecular weight of 30,000 to 90,000) polymerized from bis (diaminodiphenyl) sulfone (hereinafter, also referred to as DAS) and having a siloxane unit. Patent Document 1 discloses that the polyimide obtained by curing the precursor has low residual stress generated between the precursor such as glass and the like, excellent chemical resistance, and yellowness (YI) depending on the oxygen concentration during the curing step. Value) and that the effect on the total light transmittance is small. Patent Document 2 describes a resin precursor having a siloxane unit, which is polymerized from 2,2'-bis (trifluoromethyl) benzidine (hereinafter, also referred to as TFMB). Patent Document 2 describes that a polyimide film obtained by curing the precursor has a specific glass transition temperature, low residual stress generated between the precursor and the inorganic film, and excellent mechanical properties and thermal stability. is doing.

国際公開第2014/148441号International Publication No. 2014/148441 国際公開第2014/098235号International Publication No. 2014/098235 特開2016−029126号公報JP, 2016-029126, A 特開2006−028533号公報JP, 2006-028533, A 特開2002−012666号公報JP, 2002-012666, A 特表2007−512568号公報Japanese Patent Publication No. 2007-512568 特表2012−511173号公報Special table 2012-511173 gazette 特開2010−067957号公報JP, 2010-067957, A 特開2013−179306号公報JP, 2013-179306, A 国際公開第2005/068535号International Publication No. 2005/068535

信越化学工業株式会社ホームページ、“Q&A”、“シリコーングリース・オイルコンパウンドについて”、[online]、[平成30年3月13日検索]、インターネット〈URL:https://www.silicone.jp/contact/qa/qa103.shtml〉Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. website, “Q & A”, “About silicone grease and oil compounds”, [online], [March 13, 2018 search], Internet <URL: https: //www.silicone.jp/contact /qa/qa103.shtml〉

特許文献1及び2は、ポリイミド前駆体のモノマーとして、シロキサン含有化合物を用いているが、この様なシロキサン含有化合物は、低分子量の環状シロキサン(以下、低分子環状シロキサンともいう)を含有する。この低分子環状シロキサンは揮発性で、プロセスの製造装置の接点不良を発生するおそれがあることが知られている。例えば、非特許文献1を参照されたい。   Patent Documents 1 and 2 use a siloxane-containing compound as a monomer of a polyimide precursor, but such a siloxane-containing compound contains a low-molecular weight cyclic siloxane (hereinafter, also referred to as a low-molecular cyclic siloxane). It is known that this low molecular weight cyclic siloxane is volatile and may cause contact failure in the manufacturing equipment of the process. See Non-Patent Document 1, for example.

この低分子環状シロキサンを精製によって低減したポリイミド前駆体に関する先行技術文献としては、特許文献3〜5が挙げられる。先行技術3では、シロキサン含有化合物をアセトンに添加後、遠心分離し、デカンテーションすることにより低分子環状シロキサンを除去しており、得られるポリイミドは、透明性、アウトガスの発生が少ないことが記載されている。特許文献4及び5では、シロキサン含有化合物を特定条件でストリッピングし、またはシロキサン含有化合物を2−ブタノンに溶解してメタノールで再沈殿することにより、シロキサン含有化合物を精製しており、得られるポリイミドの接着性が改善されることが記載されている。   Patent Documents 3 to 5 are mentioned as prior art documents relating to the polyimide precursor in which the low molecular cyclic siloxane is reduced by purification. In prior art 3, low molecular cyclic siloxane is removed by adding a siloxane-containing compound to acetone, then centrifuging and decanting, and it is described that the obtained polyimide has transparency and less outgas generation. ing. In Patent Documents 4 and 5, the siloxane-containing compound is purified by stripping the siloxane-containing compound under specific conditions, or by dissolving the siloxane-containing compound in 2-butanone and reprecipitating with methanol. It is described that the adhesiveness of the is improved.

本発明者らは、上記特許文献3〜5に記載されたものと同様の精製法で精製したシロキサン含有化合物を用いてポリイミド前駆体を合成し、それを用いてポリイミドを製造した。その結果、ポリイミド製造プロセスで多量のポリイミド前駆体を処理した場合、ポリイミドフィルムに付着する異物のカウント数評価が劣ること、及び、未精製品に比べて精製品を用いた場合の黄色度(YI値)の改善の程度が不十分であることを見出した。従って本発明は、未精製のシロキサン化合物を用いた場合と比較して、黄色度(YI値)がより改善され、ポリイミド製造プロセスで発生する異物を低減しうるポリイミド前駆体樹脂組成物を提供することを目的とする。   The present inventors synthesized a polyimide precursor using a siloxane-containing compound purified by the same purification method as those described in Patent Documents 3 to 5, and manufactured a polyimide using it. As a result, when a large amount of the polyimide precursor is processed in the polyimide manufacturing process, the evaluation of the number of counts of foreign matters attached to the polyimide film is poor, and the yellowness (YI It was found that the degree of improvement in (value) was insufficient. Therefore, the present invention provides a polyimide precursor resin composition capable of further improving the yellowness (YI value) and reducing foreign substances generated in the polyimide manufacturing process as compared with the case of using an unpurified siloxane compound. The purpose is to

本発明者らは、鋭意検討を行った結果、特許文献3〜5で低減される低分子環状シロキサンは、メチル側鎖体(後述する一般式(4))であり、フェニル側鎖体(後述する一般式(3−1)又は(3−2))ではないことに着目した。そして、シロキサン化合物を精製し、低分子環状シロキサンのフェニル側鎖体を特定の量に低減したシロキサン化合物をポリイミド前駆体として用いることで、上記課題を解決することができることを見いだした。以下[1]〜[34]に、本発明の実施形態の例を列記する。
[1]
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量が、上記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く1,100ppm以下であるか、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物の総量が、上記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く1,300ppm以下である、
樹脂組成物。

Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
[2]
上記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量が、上記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く300ppm以下である、項目1に記載の樹脂組成物。
[3]
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、上記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く650ppm以下であるか、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、上記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く350ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
[4]
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量が、上記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く7,500ppm以下であり、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量が、上記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く8,600ppm以下である、樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
[5]
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、上記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く4,500ppm以下であるか、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、上記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く2,500ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
[6]
上記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物において、mは3〜5の整数である、項目1、2及び4のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[7]
上記一般式(4)で表される化合物において、nは3〜8の整数である、項目1、2及び4のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[8]
上記ポリイミド前駆体を硬化して得られるポリイミド樹脂膜が、フレキシブル基板に用いられる、項目1〜7のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[9]
上記ポリイミド前駆体を硬化して得られるポリイミド樹脂膜が、フレキシブルディスプレイに用いられる、項目1〜7のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[10]
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
上記樹脂組成物は、以下:
下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む方法により製造され、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)で表されるケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く46,000ppm以下であるか、あるいは、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量は、上記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く47,000ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
[11]
上記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物において、mは3〜5の整数である、項目10に記載の樹脂組成物。
[12]
上記一般式(4)で表される化合物において、nは3〜8の整数である、項目10に記載の樹脂組成物。
[13]
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
上記樹脂組成物は、以下:
下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む方法により製造され、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く25,000ppm以下であるか、あるいは、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く15,000ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
[14]
上記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基及びエポキシ基からなる群から選択される、項目10〜13のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[15]
上記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、アミノ基である、項目10〜14のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[16]
上記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物が、上記一般式(3−1)で表される化合物である、項目10〜15のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[17]
上記テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、及びシクロブタンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも1つである、項目10〜16のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[18]
上記ジアミンが、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、m−トリジン、p−フェニレンジアミン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、及び2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群から選択される少なくとも1つである、項目10〜17のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
[19]
下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む、樹脂組成物の製造方法であって、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)で表されるケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く46,000ppm以下であるか、あるいは、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量は、上記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く47,000ppm以下である、
樹脂組成物の製造方法。
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
[20]
上記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物において、mは3〜5の整数である、項目19に記載の方法。
[21]
上記一般式(4)で表される化合物において、nは3〜8の整数である、項目19に記載の方法。
[22]
下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む、樹脂組成物の製造方法であって、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く25,000ppm以下であるか、あるいは、
上記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く15,000ppm以下である、
樹脂組成物の製造方法。
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
[23]
上記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基及びエポキシ基からなる群から選択される、項目19〜22のいずれか一項に記載の方法。
[24]
上記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、アミノ基である、項目19〜23のいずれか一項に記載の方法。
[25]
上記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物が、上記一般式(3−1)で表される化合物である、項目19〜24のいずれか一項に記載の方法。
[26]
上記テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、及びシクロブタンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも1つである、項目19〜25のいずれか一項に記載の方法。
[27]
上記ジアミンが、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、m−トリジン、p−フェニレンジアミン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、及び2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群から選択される少なくとも1つである、項目19〜26のいずれか一項に記載の方法。
[28]
支持体の表面上に、項目1〜18のいずれか一項のいずれか一項に記載の樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
上記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と、
上記ポリイミド樹脂膜を上記支持体から剥離する剥離工程と、
を含む、ポリイミドフィルムの製造方法。
[29]
上記剥離工程に先立って、上記支持体側から上記樹脂組成物にレーザーを照射する照射工程を含む、項目28に記載のポリイミドフィルムの製造方法。
[30]
支持体の表面上に、項目1〜18のいずれか一項に記載の樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
上記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と、
上記ポリイミド樹脂膜上に素子を形成する素子形成工程と、
上記素子が形成された上記ポリイミド樹脂膜を上記支持体から剥離する剥離工程と、
を含む、ディスプレイの製造方法。
[31]
支持体の表面上に、項目1〜18のいずれか一項に記載の樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
上記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と、
上記ポリイミド樹脂膜上に素子を形成する素子形成工程と、
を含む、積層体の製造方法。
[32]
上記素子が形成された上記ポリイミド樹脂膜を上記支持体から剥離する工程をさらに含む、項目31に記載の積層体の製造方法。
[33]
項目31又は32に記載の方法で積層体を製造することを含む、フレキシブルデバイスの製造方法。
[34]
項目1〜18のいずれか一項に記載の樹脂組成物の硬化物である、ポリイミドフィルム。As a result of intensive studies, the present inventors have found that the low-molecular cyclic siloxanes reduced in Patent Documents 3 to 5 are methyl side chains (general formula (4) described later) and phenyl side chains (described later). It was noted that it is not the general formula (3-1) or (3-2)). Then, it was found that the above problem can be solved by purifying the siloxane compound and using the siloxane compound in which the phenyl side chain of the low-molecular cyclic siloxane is reduced to a specific amount as the polyimide precursor. Examples of the embodiments of the present invention are listed below in [1] to [34].
[1]
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one of the compounds of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more;
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
Whether the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more in the following general formula (3-1) or (3-2) is more than 0 ppm and 1,100 ppm or less based on the mass of the resin composition, Alternatively,
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more and the compound in which n is an integer of 3 or more in the following general formula (4) is the above resin. Greater than 0 ppm and less than or equal to 1,300 ppm, based on the weight of the composition,
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
[2]
Item 1 in which the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more in the general formula (3-1) or (3-2) is more than 0 ppm and 300 ppm or less based on the mass of the resin composition. The resin composition described.
[3]
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2);
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is 3 is more than 0 ppm and 650 ppm or less based on the mass of the resin composition, or
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is 4 is more than 0 ppm and 350 ppm or less based on the mass of the resin composition,
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
[4]
M among the polyimide precursor and the following general formula (3-1) or (3-2) containing the structural unit represented by the following general formula (1) and the structural unit represented by the following general formula (2). And at least one compound in which is an integer of 3 or more;
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is greater than 0 ppm and equal to or less than 7,500 ppm based on the mass of the solid content in the resin composition. Or
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more and the compound in which n is an integer of 3 or more in the following general formula (4) is the above. A resin composition which is more than 0 ppm and not more than 8,600 ppm based on the mass of the solid content in the resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
[5]
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2);
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
Is the total amount of compounds in which m is 3 in the following general formula (3-1) or (3-2) is more than 0 ppm and not more than 4,500 ppm based on the mass of the solid content in the resin composition. , Or
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is 4 is more than 0 ppm and 2,500 ppm or less, based on the mass of the solid content in the resin composition,
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
[6]
The resin composition according to any one of items 1, 2 and 4, wherein m is an integer of 3 to 5 in the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2).
[7]
The compound represented by the said General formula (4), n is an integer of 3-8, The resin composition as described in any one of items 1, 2 and 4.
[8]
The resin composition according to any one of Items 1 to 7, wherein the polyimide resin film obtained by curing the polyimide precursor is used for a flexible substrate.
[9]
The resin composition according to any one of Items 1 to 7, wherein the polyimide resin film obtained by curing the polyimide precursor is used for a flexible display.
[10]
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more;
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
The above resin composition has the following:
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one of the compounds of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more,
Optionally prepared by a method comprising polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. ,
Among the following general formulas (3-1) and (3-2) contained in the above-mentioned raw material composition, the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is the following general formulas (3-1) and (3-2). ), (4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compounds, more than 0ppm and 46,000ppm or less, or
A compound in which m is an integer of 3 or more in the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, and n is an integer of 3 or more in the following general formula (4). The total amount with a certain compound is more than 0 ppm and 47,000 ppm or less, based on the total mass of the silicon-containing compounds of the general formulas (3-1), (3-2), (4) and (5).
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
[11]
Item 11. The resin composition according to Item 10, wherein m is an integer of 3 to 5 in the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2).
[12]
Item 11. The resin composition according to item 10, wherein n is an integer of 3 to 8 in the compound represented by the general formula (4).
[13]
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2);
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
The above resin composition has the following:
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2),
Optionally prepared by a method comprising polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. ,
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the above raw material composition, the total amount of compounds in which m is 3 is the following general formula (3-1), (3-2), ( 4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compound, more than 0ppm and 25,000ppm or less, or
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the above-mentioned raw material composition, the total amount of the compounds in which m is 4 is the following general formula (3-1), (3-2), ( 4) and 15,000 ppm or more based on the total mass of the silicon-containing compounds of (5),
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
[14]
Any of Items 10 to 13, wherein L 1 and L 2 of the silicon-containing compound represented by the general formula (5) are each independently selected from the group consisting of an amino group, an acid anhydride group and an epoxy group. The resin composition according to item 1.
[15]
The resin composition according to any one of Items 10 to 14, wherein L 1 and L 2 of the silicon-containing compound represented by the general formula (5) are amino groups.
[16]
Item 16. The resin according to any one of Items 10 to 15, wherein the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2) is a compound represented by the general formula (3-1). Composition.
[17]
The tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, cyclohexanetetracarboxylic dianhydride. The resin composition according to any one of Items 10 to 16, which is at least one selected from the group consisting of a compound and a cyclobutanetetracarboxylic dianhydride.
[18]
The diamine is 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, m-tolidine, p-phenylenediamine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, and 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy). ) A resin composition according to any one of items 10 to 17, which is at least one selected from the group consisting of phenyl] propane.
[19]
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one of the compounds of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more,
A resin composition, which optionally comprises polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. The manufacturing method of
Among the following general formulas (3-1) and (3-2) contained in the above-mentioned raw material composition, the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is the following general formulas (3-1) and (3-2). ), (4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compounds, more than 0ppm and 46,000ppm or less, or
A compound in which m is an integer of 3 or more in the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, and n is an integer of 3 or more in the following general formula (4). The total amount with a certain compound is more than 0 ppm and 47,000 ppm or less, based on the total mass of the silicon-containing compounds of the general formulas (3-1), (3-2), (4) and (5).
A method for producing a resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
[20]
20. The method according to item 19, wherein m is an integer of 3 to 5 in the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2).
[21]
20. The method according to Item 19, wherein in the compound represented by the general formula (4), n is an integer of 3 to 8.
[22]
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2),
A resin composition, which optionally comprises polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. The manufacturing method of
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the above raw material composition, the total amount of compounds in which m is 3 is the following general formula (3-1), (3-2), ( 4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compound, more than 0ppm and 25,000ppm or less, or
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the above-mentioned raw material composition, the total amount of the compounds in which m is 4 is the following general formula (3-1), (3-2), ( 4) and 15,000 ppm or more based on the total mass of the silicon-containing compounds of (5),
A method for producing a resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
[23]
Any of Items 19 to 22, wherein L 1 and L 2 of the silicon-containing compound represented by the general formula (5) are each independently selected from the group consisting of an amino group, an acid anhydride group and an epoxy group. The method described in paragraph 1.
[24]
24. The method according to any one of Items 19 to 23, wherein L 1 and L 2 of the silicon-containing compound represented by the general formula (5) are amino groups.
[25]
25. The method according to any one of Items 19 to 24, wherein the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2) is a compound represented by the general formula (3-1). ..
[26]
The tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, cyclohexanetetracarboxylic dianhydride. 26. The method according to any one of Items 19 to 25, wherein the method is at least one selected from the group consisting of a compound and cyclobutanetetracarboxylic dianhydride.
[27]
The diamine is 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, m-tolidine, p-phenylenediamine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, and 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy). ) A method according to any one of items 19 to 26, which is at least one selected from the group consisting of phenyl] propane.
[28]
A coating step of coating the resin composition according to any one of items 1 to 18 on the surface of a support,
A film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film,
A peeling step of peeling the polyimide resin film from the support,
A method for producing a polyimide film, comprising:
[29]
29. The method for producing a polyimide film according to item 28, including an irradiation step of irradiating the resin composition with a laser from the support side prior to the peeling step.
[30]
A coating step of coating the resin composition according to any one of items 1 to 18 on the surface of a support;
A film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film,
An element forming step of forming an element on the polyimide resin film,
A peeling step of peeling the polyimide resin film on which the element is formed from the support,
A method of manufacturing a display, including:
[31]
A coating step of coating the resin composition according to any one of items 1 to 18 on the surface of a support,
A film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film,
An element forming step of forming an element on the polyimide resin film,
The manufacturing method of a laminated body containing.
[32]
32. The method for manufacturing a laminate according to item 31, further including a step of peeling the polyimide resin film having the element formed thereon from the support.
[33]
A method for manufacturing a flexible device, which comprises manufacturing a laminate by the method according to Item 31 or 32.
[34]
A polyimide film, which is a cured product of the resin composition according to any one of Items 1 to 18.

本発明によれば、未精製のシロキサン化合物を用いた場合と比較して、黄色度(YI値)がより改善され、ポリイミド製造プロセスで発生する異物を低減しうるポリイミド前駆体樹脂組成物を提供することができる。なお、上述の記載は、本発明の全ての実施形態及び本発明に関する全ての利点を開示したものとみなしてはならない。本発明の更なる実施形態及びその利点は、以下の記載を参照することにより明らかとなる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, compared with the case where an unpurified siloxane compound is used, a yellow degree (YI value) is improved and the polyimide precursor resin composition which can reduce the foreign material which generate | occur | produces in a polyimide manufacturing process is provided. can do. It should be noted that the above description should not be considered as disclosing all the embodiments of the present invention and all advantages related to the present invention. Further embodiments of the invention and its advantages will be apparent with reference to the following description.

図1は、本実施形態のディスプレイの例として、トップエミッション型フレキシブル有機ELディスプレイの、ポリイミド基板より上部の構造を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing a structure of a top emission type flexible organic EL display above a polyimide substrate as an example of the display of the present embodiment.

以下、本発明の例示の実施の形態(以下、「本実施形態」と略記する。)について、詳細に説明する。本発明は、本実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。本願明細書において、各数値範囲の上限値及び下限値は任意に組み合わせることができる。   Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention (hereinafter, abbreviated as “this embodiment”) will be described in detail. The present invention is not limited to this embodiment, and can be variously modified and implemented within the scope of the gist. In the present specification, the upper limit value and the lower limit value of each numerical range can be arbitrarily combined.

《樹脂組成物》
〈ポリイミド前駆体〉
一般式(1)の構造単位
第一実施形態
本実施形態の樹脂組成物は、第一実施形態において、下記一般式(1)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体を含む。
<< Resin composition >>
<Polyimide precursor>
Structural Unit of General Formula (1) First Embodiment A resin composition of the present embodiment includes a polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) in the first embodiment.

Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }

一般式(1)で表される構造を有するポリイミド前駆体は、P基を有する酸二無水物と、P基を有するジアミンとの共重合体であることが好ましい。The polyimide precursor having the structure represented by the general formula (1) is preferably a copolymer of an acid dianhydride having a P 2 group and a diamine having a P 1 group.

酸二無水物
基を含む酸二無水物としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−シクロヘキセン−1,2ジカルボン酸無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、メチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1−エチリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメリテート酸無水物)、チオ−4,4’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,3−ビス[2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル]ベンゼン二無水物、1,4−ビス[2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル]ベンゼン二無水物、ビス[3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]メタン二無水物、ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]メタン二無水物、2,2−ビス[3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジメチルシラン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、及び1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
Acid dianhydride As the acid dianhydride containing a P 2 group, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3 ′ -Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4 '-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-cyclohexene-1,2 Dicarboxylic acid anhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride, methylene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 1,1-ethylidene-4,4'- Diphthalic dianhydride, 2,2-pro Ridene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 1,2-ethylene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 1,3-trimethylene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 1,4 -Tetramethylene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 1,5-pentamethylene-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid dianhydride, p-phenylenebis (trimellitate) Acid anhydride), thio-4,4'-diphthalic acid dianhydride, sulfonyl-4,4'-diphthalic acid dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) benzene dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,3-bis [2- (3,4 -Dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride 1,4-bis [2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, bis [3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, bis [4- (3,4-Dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [4 -(3,4-Dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenoxy) dimethylsilane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1, 1,3,3-Tetramethyldisiloxane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2, 5,6- Phthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracene tetracarboxylic dianhydride, and 1,2,7,8- Examples thereof include phenanthrene tetracarboxylic dianhydride.

酸二無水物は、一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、ピロメリット酸二無水物(PMDA)及びビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)は、ポリイミドフィルムの機械特性、低い厚み方向レタデーション(Rth)及び低い黄色度(YI値)などの光学特性、並びに高いガラス転移温度の観点から好ましい。一般式(1)で表される構造を有するポリイミド前駆体は、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの共重合体であり、かつ該テトラカルボン酸二無水物はピロメリット酸二無水物(PMDA)を含むことがより好ましい。   The acid dianhydride may be used alone or in combination of two or more. Among them, pyromellitic dianhydride (PMDA) and biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) are optical materials such as mechanical properties of polyimide film, low thickness direction retardation (Rth) and low yellowness (YI value). It is preferable from the viewpoint of properties and high glass transition temperature. The polyimide precursor having the structure represented by the general formula (1) is a copolymer of tetracarboxylic dianhydride and diamine, and the tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride (PMDA). It is more preferable to include).

全酸二無水物中の、ピロメリット酸二無水物(PMDA)及びビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)の合計含有量は、ポリイミドフィルムの低いRth及びYI値、並びに高いガラス転移温度の観点から、好ましくは60モル%以上、より好ましくは80モル%以上、更に好ましくは100モル%である。   The total content of pyromellitic dianhydride (PMDA) and biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) in the total acid dianhydride is determined from the viewpoints of low Rth and YI values of the polyimide film and high glass transition temperature. Therefore, it is preferably 60 mol% or more, more preferably 80 mol% or more, still more preferably 100 mol%.

全酸二無水物中の、ピロメリット酸二無水物(PMDA)の含有量は、ポリイミドフィルムの高いガラス転移温度の観点から、0モル%以上が好ましく、10モル%以上が好ましく、20モル%以上が好ましく、100モル%以下が好ましく、90モル%以下が好ましい。   The content of pyromellitic dianhydride (PMDA) in the total acid dianhydride is preferably 0 mol% or more, preferably 10 mol% or more, and 20 mol% from the viewpoint of the high glass transition temperature of the polyimide film. The above is preferable, 100 mol% or less is preferable, and 90 mol% or less is preferable.

全酸二無水物中の、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)の含有量は、ポリイミドフィルムの低いRth及びYI値の観点から、0モル%以上が好ましく、10モル%以上が好ましく、20モル%以上が好ましく、100モル%以下が好ましく、90モル%以下が好ましい。   The content of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) in the total acid dianhydride is preferably 0 mol% or more, and more preferably 10 mol% or more, from the viewpoint of low Rth and YI value of the polyimide film. It is preferably at least mol%, more preferably at most 100 mol%, and preferably at most 90 mol%.

酸二無水物中の、ピロメリット酸二無水物(PMDA):ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)の含有比率は、ポリイミドフィルムの低いRth及びYI値、高いガラス転移温度、並びに伸度等を両立させる観点から、20:80〜80:20が好ましく、30:70〜70:30がより好ましい。   The content ratio of pyromellitic dianhydride (PMDA): biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) in the acid dianhydride is such that the polyimide film has a low Rth and YI value, a high glass transition temperature, and elongation. From the viewpoint of satisfying both, 20:80 to 80:20 are preferable, and 30:70 to 70:30 are more preferable.

ジアミン
式(1)におけるP基を含むジアミンとしては、ジアミノジフェニルスルホン(例えば4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン)、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノビフェニル、3,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、4,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、9,10−ビス(4−アミノフェニル)アントラセン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン、及び1,4−ビス(3−アミノプロピルジメチルシリル)ベンゼン等が挙げられる。
Diamine As the diamine containing a P 1 group in the formula (1), diaminodiphenyl sulfone (eg, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone), p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4 , 4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminobiphenyl, 3,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-diaminobiphenyl, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 1, 4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1, 3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 4,4-bis (4-aminophenoxy) biphenyl , 4,4-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis (4- Aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) benzene, 9,10-bis (4-aminophenyl) anthracene, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis ( 4-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 2,2-bis [4- 4-aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane and 1,4-bis (3-aminopropyl dimethyl silyl) benzene.

式(1)におけるP基を含むジアミンとしては、ジアミノジフェニルスルホン、例えば、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、及び/又は3,3’−ジアミノジフェニルスルホンを含むことが好ましい。The diamine containing a P 1 group in formula (1) preferably contains diaminodiphenyl sulfone, for example, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, and / or 3,3′-diaminodiphenyl sulfone.

全ジアミン中のジアミノジフェニルスルホンの含有量は、50モル%以上、又は70モル%以上、又は90モル%以上、又は95モル%以上であってよい。ジアミノジフェニルスルホンの量が多いほど、ポリイミドフィルムのYI値が低減され、高いガラス転移温度が得られるため好ましい。ジアミノジフェニルスルホンとしては、4,4’−ジアミノジフェニルスルホンが、YI値の低減の観点から特に好ましい。   The content of diaminodiphenyl sulfone in all the diamines may be 50 mol% or more, or 70 mol% or more, or 90 mol% or more, or 95 mol% or more. It is preferable that the amount of diaminodiphenyl sulfone is larger because the YI value of the polyimide film is reduced and a high glass transition temperature is obtained. As the diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone is particularly preferable from the viewpoint of reducing the YI value.

ジアミンは、一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。ジアミノジフェニルスルホンと他のジアミンとを共重合させることが好ましい。ジアミノジフェニルスルホンと共重合させる他のジアミンとしては、ポリイミドフィルムの高い耐熱性、及び低いYI値の観点から、好ましくはジアミドビフェニル類、より好ましくはジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)が挙げられる。全ジアミン中のジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)の含有量は、ポリイミドフィルムの低いYI値の観点から、好ましくは20モル%以上、より好ましくは30モル%以上である。ジアミンがジアミノジフェニルスルホン等の他の有利なジアミンを含むことができるようにする設計上の観点から、TFMBの含有量は、好ましくは80モル%以下、より好ましくは70モル%以下である。   The diamine may be used alone or in combination of two or more. It is preferable to copolymerize diaminodiphenyl sulfone with another diamine. Other diamines to be copolymerized with diaminodiphenyl sulfone include preferably diamidobiphenyls, more preferably diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB), from the viewpoint of high heat resistance of polyimide film and low YI value. .. The content of diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB) in all the diamines is preferably 20 mol% or more, more preferably 30 mol% or more from the viewpoint of the low YI value of the polyimide film. From a design point of view allowing the diamine to contain other advantageous diamines such as diaminodiphenyl sulfone, the content of TFMB is preferably 80 mol% or less, more preferably 70 mol% or less.

一般式(2)の構造単位
本実施形態の樹脂組成物におけるポリイミド前駆体は、下記一般式(2)で表される構造単位を更に含む。
Structural Unit of General Formula (2) The polyimide precursor in the resin composition of the present embodiment further includes a structural unit represented by the following general formula (2).

Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }

ポリイミド前駆体の質量を基準として、一般式(2)で表される構造部位の比率の下限は、支持体との間に発生するポリイミドフィルムの残留応力を低減する観点から、好ましくは5質量%以上、より好ましくは6質量%以上、更に好ましくは7質量%以上である。ポリイミド前駆体の質量を基準として、一般式(2)で表される構造部位の比率の上限は、ポリイミドフィルムの透明性、及び耐熱性の観点から、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、更に好ましくは25質量%以下である。
上記一般式(2)中qは1〜200の整数であり、得られるポリイミドの耐熱性の観点から3〜200の整数が好ましい。
Based on the mass of the polyimide precursor, the lower limit of the ratio of the structural sites represented by the general formula (2) is preferably 5 mass% from the viewpoint of reducing the residual stress of the polyimide film generated between the support and the support. As described above, the content is more preferably 6% by mass or more, and further preferably 7% by mass or more. Based on the mass of the polyimide precursor, the upper limit of the ratio of the structural sites represented by the general formula (2) is preferably 40% by mass or less, more preferably 30% from the viewpoint of transparency and heat resistance of the polyimide film. It is not more than 25% by mass, more preferably not more than 25% by mass.
In the general formula (2), q is an integer of 1 to 200, and an integer of 3 to 200 is preferable from the viewpoint of heat resistance of the obtained polyimide.

ポリイミド前駆体は、一般式(2)の構造を分子中のいずれの部位に有してもよいが、シロキサンモノマーの種類、コストの観点および、得られるポリイミド前駆体の分子量の観点から、一般式(2)の構造は、ケイ素含有化合物、例えばケイ素含有ジアミンに由来することが好ましい。ケイ素含有ジアミンとしては、例えば、下記式(6)で表されるジアミノ(ポリ)シロキサンが好ましい。   The polyimide precursor may have the structure of the general formula (2) at any site in the molecule, but from the viewpoint of the type of siloxane monomer, the cost, and the molecular weight of the obtained polyimide precursor, the general formula The structure (2) is preferably derived from a silicon-containing compound, for example, a silicon-containing diamine. As the silicon-containing diamine, for example, diamino (poly) siloxane represented by the following formula (6) is preferable.

Figure 2019208587
{式中、Pは、それぞれ独立に、二価の炭化水素基を示し、同一でも異なっていてもよく、P及びPは、一般式(2)において定義したものと同様であり、lは、1〜200の整数を表す。}
Figure 2019208587
{In the formula, P 5 each independently represents a divalent hydrocarbon group, which may be the same or different, and P 3 and P 4 are the same as defined in the general formula (2), l represents an integer of 1 to 200. }

上記一般式(2)中のPの好ましい構造としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、フェニレン基等が挙げられる。P及びPの好ましい構造としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、及びフェニル基等が挙げられる。上記一般式(6)中lは、1〜200の整数であり、(6)を用いてられるポリイミドの耐熱性の観点から3〜200の整数が好ましい。Examples of a preferable structure of P 5 in the general formula (2) include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group and a phenylene group. Preferable structures of P 3 and P 4 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group and a phenyl group. In the general formula (6), l is an integer of 1 to 200, and an integer of 3 to 200 is preferable from the viewpoint of heat resistance of the polyimide used in (6).

一般式(6)で表される化合物の数平均分子量は、得られるポリイミドフィルムと支持体との間に発生する残留応力を低減する観点から、好ましくは500以上、より好ましくは1,000以上、更に好ましくは2,000以上である。得られるポリイミドフィルムの透明性(特に低HAZE)の観点から、数平均分子量は、好ましくは12,000以下、より好ましくは10,000以下、更に好ましくは8,000以下である。   The number average molecular weight of the compound represented by the general formula (6) is preferably 500 or more, more preferably 1,000 or more, from the viewpoint of reducing the residual stress generated between the obtained polyimide film and the support. More preferably, it is 2,000 or more. From the viewpoint of transparency (particularly low Haze) of the obtained polyimide film, the number average molecular weight is preferably 12,000 or less, more preferably 10,000 or less, and further preferably 8,000 or less.

一般式(6)で表される化合物としては、具体的には、両末端アミン変性メチルフェニルシリコーンオイル(信越化学社製:X22−1660B−3(数平均分子量4400)、X22−9409(数平均分子量1340))、両末端酸無水物変性メチルフェニルシリコーンオイル(信越化学社製:X22−168−P5−B(数平均分子量4200))、両末端エポキシ変性メチルフェニルシリコーンオイル(信越化学社製:X22−2000(数平均分子量1240))、両末端アミノ変性ジメチルシリコーン(信越化学社製:X22−161A(数平均分子量1600)、X22−161B(数平均分子量3000)、KF8021(数平均分子量4400)、東レダウコーニング製:BY16−835U(数平均分子量900)チッソ社製:サイラプレーンFM3311(数平均分子量1000))等が挙げられる。これらの中でも、耐薬品性向上、Tgの向上の観点から、両末端アミン変性メチルフェニルシリコーンオイルが好ましい。   Specific examples of the compound represented by the general formula (6) include amine-modified methylphenyl silicone oil modified at both terminals (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: X22-1660B-3 (number average molecular weight 4400), X22-9409 (number average). Molecular weight 1340)), both ends acid anhydride-modified methylphenyl silicone oil (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: X22-168-P5-B (number average molecular weight 4200)), both ends epoxy-modified methylphenyl silicone oil (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: X22-2000 (number average molecular weight 1240)), amino-modified dimethyl silicone at both ends (manufactured by Shin-Etsu Chemical: X22-161A (number average molecular weight 1600), X22-161B (number average molecular weight 3000), KF8021 (number average molecular weight 4400). Manufactured by Toray Dow Corning: BY16-835U (number average molecular weight 900) Company Ltd. Silaplane FM3311 (number average molecular weight 1000)) and the like. Among these, amine-modified methylphenyl silicone oil modified at both ends is preferable from the viewpoint of improving chemical resistance and Tg.

ケイ素含有ジアミンの共重合割合は、ポリイミド前駆体の全質量に対して、好ましくは0.5〜30質量%、より好ましくは1.0質量%〜25質量%、更に好ましくは1.5質量%〜20質量%である。ケイ素含有ジアミンが0.5質量%以上である場合、支持体との間に発生する残留応力を効果的に低下することができる。ケイ素含有ジアミンが30質量%以下である場合、得られるポリイミドフィルムの透明性(特に低HAZE)が良好であり、高い全光線透過率の実現、及び高いガラス転移温度の観点から好ましい。   The copolymerization ratio of the silicon-containing diamine is preferably 0.5 to 30% by mass, more preferably 1.0% to 25% by mass, further preferably 1.5% by mass, based on the total mass of the polyimide precursor. Is about 20% by mass. When the silicon-containing diamine is 0.5% by mass or more, the residual stress generated between the diamine and the support can be effectively reduced. When the content of silicon-containing diamine is 30% by mass or less, the transparency (particularly low HAZE) of the obtained polyimide film is good, and it is preferable from the viewpoint of achieving high total light transmittance and high glass transition temperature.

ジカルボン酸
本実施態様におけるポリイミド前駆体を形成するための酸成分としては、その性能を損なわない範囲で、酸二無水物(例えば、上記で例示したテトラカルボン酸二無水物)に加えて、ジカルボン酸を使用してもよい。すなわち、本開示のポリイミド前駆体はポリアミドイミド前駆体であってもよい。このようなポリイミド前駆体から得られるフィルムは、機械伸度、ガラス転移温度Tg、YI値等の諸性能が良好であることがある。用いるジカルボン酸としては、芳香環を有するジカルボン酸及び脂環式ジカルボン酸が挙げられる。特に炭素数が8〜36の芳香族ジカルボン酸、及び炭素数が6〜34の脂環式ジカルボン酸からなる群から選択される少なくとも1つの化合物であることが好ましい。ここでいう炭素数には、カルボキシル基に含まれる炭素の数も含む。これらのうち、芳香環を有するジカルボン酸が好ましい。
Dicarboxylic acid As the acid component for forming the polyimide precursor in the present embodiment, dicarboxylic acid is added in addition to the acid dianhydride (for example, the tetracarboxylic acid dianhydride exemplified above) as long as the performance is not impaired. Acids may be used. That is, the polyimide precursor of the present disclosure may be a polyamideimide precursor. A film obtained from such a polyimide precursor may have good properties such as mechanical elongation, glass transition temperature Tg, and YI value. Examples of the dicarboxylic acid used include an aromatic ring-containing dicarboxylic acid and an alicyclic dicarboxylic acid. Particularly, at least one compound selected from the group consisting of aromatic dicarboxylic acids having 8 to 36 carbon atoms and alicyclic dicarboxylic acids having 6 to 34 carbon atoms is preferable. The number of carbons referred to here also includes the number of carbons contained in the carboxyl group. Of these, dicarboxylic acids having an aromatic ring are preferable.

芳香環を有するジカルボン酸としては、具体的には、例えばイソフタル酸、テレフタル酸、4,4’−ビフェニルジカルボン酸、3,4’−ビフェニルジカルボン酸、3,3’−ビフェニルジカルボン酸、1,4−ナフタレンジカルボン酸、2,3−ナフタレンジカルボン酸、1,5−ナフタレンジカルボン酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸、4,4’−スルホニルビス安息香酸、3,4’−スルホニルビス安息香酸、3,3’−スルホニルビス安息香酸、4,4’−オキシビス安息香酸、3,4’−オキシビス安息香酸、3,3’−オキシビス安息香酸、2,2−ビス(4−カルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−カルボキシフェニル)プロパン、2,2’−ジメチル−4,4’−ビフェニルジカルボン酸、3,3’−ジメチル−4,4’−ビフェニルジカルボン酸、2,2’−ジメチル−3,3’−ビフェニルジカルボン酸、9,9−ビス(4−(4−カルボキシフェノキシ)フェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−(3−カルボキシフェノキシ)フェニル)フルオレン、4,4’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、3,4’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、3,4’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(3―カルボキシフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)−p−ターフェニル、4,4’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)−m−ターフェニル、3,4’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)−p−ターフェニル、3,3’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)−p−ターフェニル、3,4’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)−m−ターフェニル、3,3’−ビス(4−カルボキシフェノキシ)−m−ターフェニル、4,4’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)−p−ターフェニル、4,4’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)−m−ターフェニル、3,4’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)−p−ターフェニル、3,3’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)−p−ターフェニル、3,4’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)−m−ターフェニル、3,3’−ビス(3−カルボキシフェノキシ)−m−ターフェニル、1,1−シクロブタンジカルボン酸、1,4−シクロヘキサンジカルボン酸、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸、4,4’−ベンゾフェノンジカルボン酸、1,3−フェニレン二酢酸、1,4−フェニレン二酢酸等;及び国際公開第2005/068535号に記載の5−アミノイソフタル酸誘導体等が挙げられる。これらジカルボン酸をポリマーに実際に共重合させる場合には、塩化チオニル等から誘導される酸クロリド体、活性エステル体等の形で使用してもよい。   Specific examples of the dicarboxylic acid having an aromatic ring include isophthalic acid, terephthalic acid, 4,4′-biphenyldicarboxylic acid, 3,4′-biphenyldicarboxylic acid, 3,3′-biphenyldicarboxylic acid, 1, 4-naphthalenedicarboxylic acid, 2,3-naphthalenedicarboxylic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, 4,4′-sulfonylbisbenzoic acid, 3,4′-sulfonylbisbenzoic acid, 3,3'-sulfonylbisbenzoic acid, 4,4'-oxybisbenzoic acid, 3,4'-oxybisbenzoic acid, 3,3'-oxybisbenzoic acid, 2,2-bis (4-carboxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-carboxyphenyl) propane, 2,2'-dimethyl-4,4'-biphenyldicarboxylic acid, 3,3'-di Tyl-4,4′-biphenyldicarboxylic acid, 2,2′-dimethyl-3,3′-biphenyldicarboxylic acid, 9,9-bis (4- (4-carboxyphenoxy) phenyl) fluorene, 9,9-bis (4- (3-carboxyphenoxy) phenyl) fluorene, 4,4′-bis (4-carboxyphenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-carboxyphenoxy) biphenyl, 3,4′-bis (4- Carboxyphenoxy) biphenyl, 3,4'-bis (3-carboxyphenoxy) biphenyl, 3,3'-bis (4-carboxyphenoxy) biphenyl, 3,3'-bis (3-carboxyphenoxy) biphenyl, 4,4 '-Bis (4-carboxyphenoxy) -p-terphenyl, 4,4'-bis (4-carboxyphenoxy) -m- -Phenyl, 3,4'-bis (4-carboxyphenoxy) -p-terphenyl, 3,3'-bis (4-carboxyphenoxy) -p-terphenyl, 3,4'-bis (4-carboxyphenoxy) -M-terphenyl, 3,3'-bis (4-carboxyphenoxy) -m-terphenyl, 4,4'-bis (3-carboxyphenoxy) -p-terphenyl, 4,4'-bis (3 -Carboxyphenoxy) -m-terphenyl, 3,4'-bis (3-carboxyphenoxy) -p-terphenyl, 3,3'-bis (3-carboxyphenoxy) -p-terphenyl, 3,4 ' -Bis (3-carboxyphenoxy) -m-terphenyl, 3,3'-bis (3-carboxyphenoxy) -m-terphenyl, 1,1-cyclobutanedicarboxylic acid, 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid, 1,2-cyclohexanedicarboxylic acid, 4,4′-benzophenonedicarboxylic acid, 1,3-phenylenediacetic acid, 1,4-phenylenediacetic acid and the like; and WO 2005/068535. And the 5-aminoisophthalic acid derivative described in 1. When these dicarboxylic acids are actually copolymerized with the polymer, they may be used in the form of an acid chloride derivative derived from thionyl chloride or the like, an active ester derivative or the like.

第二実施形態
第二実施形態において、樹脂組成物中のポリイミド前駆体は、下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンとを単量体単位として含む共重合体として記載することもできる。
Second Embodiment In the second embodiment, the polyimide precursor in the resin composition comprises a silicon-containing compound represented by the following general formula (5), a tetracarboxylic dianhydride, and a diamine as a monomer unit. Can also be described as a copolymer containing.

Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }

上記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物のL及びLは、限定されないが、それぞれ独立に、得られるポリイミド前駆体の分子量の観点から、アミノ基、又は酸無水物基であることが好ましく、アミノ基であることがより好ましい。L 1 and L 2 of the silicon-containing compound represented by the general formula (5) are, but not limited to, each independently an amino group or an acid anhydride group from the viewpoint of the molecular weight of the obtained polyimide precursor. Preferably, it is more preferably an amino group.

一般式(5)中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基である。炭素数1〜10の二価の有機基としては、直鎖状、環状、分枝状のいずれでもよく、飽和していても不飽和であってもよい。炭素数1〜10の二価の脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチレン、エチレン、n−プロピレン、i−プロピレン、n−ブチレン、s−ブチレン、t−ブチレン、n−ペンチレン、ネオペンチレン、n−ヘキシレン、n−ヘプチレン、n−オクチレン、n−ノニレン、及びn−デシレン基等の直鎖又は分岐鎖アルキレン基;並びにシクロプロピレン、シクロブチレン、シクロペンチレン、シクロヘキシレン、シクロヘプチレン、及びシクロオクチレン基等のシクロアルキレン基が挙げられる。炭素数1〜10の二価の脂肪族炭化水素基としては、エチレン、n−プロピレン、及びi−プロピレンからなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましい。In general formula (5), R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. The divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms may be linear, cyclic or branched, and may be saturated or unsaturated. Examples of the divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms include methylene, ethylene, n-propylene, i-propylene, n-butylene, s-butylene, t-butylene, n-pentylene, neopentylene and n. Straight-chain or branched-chain alkylene groups such as -hexylene, n-heptylene, n-octylene, n-nonylene, and n-decylene groups; and cyclopropylene, cyclobutylene, cyclopentylene, cyclohexylene, cycloheptylene, and cyclooctylene. Examples include cycloalkylene groups such as groups. The divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms is preferably at least one selected from the group consisting of ethylene, n-propylene and i-propylene.

一般式(5)中、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基である。炭素数1〜10の一価の有機基としては、直鎖状、環状、分枝状のいずれでもよく、飽和していても不飽和であってもよい。例えば、炭素数1〜10の一価の有機基としては、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、s−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、ネオペンチル、n−ヘキシル、n−ヘプチル、n−オクチル、n−ノニル、及びn−デシル基等の直鎖又は分岐鎖アルキル基;並びにシクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、及びシクロオクチル基等のシクロアルキル基、フェニル、トリル、キシリル、α−ナフチル、及びβ−ナフチル基等の芳香族基が挙げられる。炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基としては、直鎖状、環状、分枝状のいずれでもよく、飽和していても不飽和であってもよい。例えば、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基としては、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、s−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、及びネオペンチル基等の直鎖または分岐鎖アルキル基;シクロプロピル、シクロブチル、及びシクロペンチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基としては、メチル、エチル、及びn−プロピルからなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましい。In formula (5), R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms. Is. The monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms may be linear, cyclic or branched, and may be saturated or unsaturated. For example, as the monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, s-butyl, t-butyl, n-pentyl, neopentyl, n-hexyl, linear or branched alkyl groups such as n-heptyl, n-octyl, n-nonyl, and n-decyl groups; and cycloalkyl groups such as cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, and cyclooctyl groups, Aromatic groups such as phenyl, tolyl, xylyl, α-naphthyl, and β-naphthyl groups. The monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms may be linear, cyclic or branched, and may be saturated or unsaturated. For example, as the monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, s-butyl, t-butyl, n-pentyl, and neopentyl groups can be given. And straight chain or branched chain alkyl groups; and cycloalkyl groups such as cyclopropyl, cyclobutyl, and cyclopentyl groups. The monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms is preferably at least one selected from the group consisting of methyl, ethyl, and n-propyl.

一般式(5)中、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基である。炭素数1〜10の一価の有機基としては、直鎖状、環状、分枝状のいずれでもよく、飽和していても不飽和であってもよい。例えば、炭素数1〜10の一価の有機基としては、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、s−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、ネオペンチル、n−ヘキシル、n−ヘプチル、n−オクチル、n−ノニル、及びn−デシル基等の直鎖又は分岐鎖アルキル基;並びにシクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、及びシクロオクチル基等のシクロアルキル基、フェニル、トリル、キシリル、α−ナフチル、及びβ−ナフチル基等の芳香族基が挙げられる。炭素数6〜10の一価の芳香族基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、α−ナフチル、及びβ−ナフチル基等が挙げられ、フェニル、トリル、又はキシリルであることが好ましい。In the general formula (5), R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms. .. The monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms may be linear, cyclic or branched, and may be saturated or unsaturated. For example, as the monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, s-butyl, t-butyl, n-pentyl, neopentyl, n-hexyl, linear or branched alkyl groups such as n-heptyl, n-octyl, n-nonyl, and n-decyl groups; and cycloalkyl groups such as cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, and cyclooctyl groups, Aromatic groups such as phenyl, tolyl, xylyl, α-naphthyl, and β-naphthyl groups. Examples of the monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms include phenyl, tolyl, xylyl, α-naphthyl, and β-naphthyl groups and the like, with phenyl, tolyl, and xylyl being preferred.

一般式(5)中、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基である。炭素数1〜10の一価の有機基としては、直鎖状、環状、分枝状のいずれでもよく、例えば、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、s−ブチル、t−ブチル、n−ペンチル、ネオペンチル、n−ヘキシル、n−ヘプチル、n−オクチル、n−ノニル、及びn−デシル基等の直鎖又は分岐鎖アルキル基;並びにシクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、及びシクロオクチル基等のシクロアルキル基、フェニル、トリル、キシリル、α−ナフチル、及びβ−ナフチル基等の芳香族基が挙げられる。炭素数1〜10の一価の有機基としては、メチル、エチル、及びフェニルからなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましい。不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基としては、炭素数3〜10の不飽和脂肪族炭化水素基であってよく、直鎖状、環状、分枝状のいずれでもよい。炭素数3〜10の不飽和脂肪族炭化水素基としては、例えば、ビニル、アリル、プロペニル、3−ブテニル、2−ブテニル、ペンテニル、シクロペンテニル、ヘキセニル、シクロヘキセニル、ヘプテニル、オクテニル、ノネニル、デセニル、エチニル、プロピニル、ブチニル、ペンチニル、及びヘキシニル基等が挙げられる。炭素数3〜10の不飽和脂肪族炭化水素基としては、ビニル、アリル、及び3−ブテニルからなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましい。In the general formula (5), R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an organic group having an unsaturated aliphatic hydrocarbon group. The monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms may be linear, cyclic or branched and includes, for example, methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, s-butyl, Linear or branched alkyl groups such as t-butyl, n-pentyl, neopentyl, n-hexyl, n-heptyl, n-octyl, n-nonyl and n-decyl groups; and cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl. And cycloalkyl groups such as cycloheptyl and cyclooctyl groups, and aromatic groups such as phenyl, tolyl, xylyl, α-naphthyl, and β-naphthyl groups. The monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms is preferably at least one selected from the group consisting of methyl, ethyl and phenyl. The organic group having an unsaturated aliphatic hydrocarbon group may be an unsaturated aliphatic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and may be linear, cyclic or branched. Examples of the unsaturated aliphatic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms include vinyl, allyl, propenyl, 3-butenyl, 2-butenyl, pentenyl, cyclopentenyl, hexenyl, cyclohexenyl, heptenyl, octenyl, nonenyl, decenyl, Examples include ethynyl, propynyl, butynyl, pentynyl, and hexynyl groups. The unsaturated aliphatic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms is preferably at least one selected from the group consisting of vinyl, allyl, and 3-butenyl.

一般式(5)中、R〜Rの水素原子の一部又は全部は、F、Cl、Br等のハロゲン原子等の置換基で置換されていてもよく、非置換であってもよい。In the general formula (5), some or all of the hydrogen atoms of R 1 to R 7 may be substituted with a substituent such as a halogen atom of F, Cl, Br or the like, or may be unsubstituted. .

i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、好ましくは2〜100の整数、より好ましくは4〜80の整数、更に好ましくは8〜40の整数である。kは、0〜200の整数であり、好ましくは0〜50の整数、より好ましくは0〜20の整数、更に好ましくは0〜50の整数である。   i and j are each independently an integer of 1 to 200, preferably an integer of 2 to 100, more preferably an integer of 4 to 80, and still more preferably an integer of 8 to 40. k is an integer of 0 to 200, preferably an integer of 0 to 50, more preferably an integer of 0 to 20, and still more preferably an integer of 0 to 50.

第二実施形態におけるテトラカルボン酸二無水物は、上記一般式(1)について挙げたテトラカルボン酸二無水物であってもよい。第二実施形態におけるテトラカルボン酸二無水物は、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、及びシクロブタンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも1つであることが好ましい。   The tetracarboxylic acid dianhydride in the second embodiment may be the tetracarboxylic acid dianhydride described for the general formula (1). The tetracarboxylic dianhydride in the second embodiment is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, cyclohexanetetra. It is preferably at least one selected from the group consisting of carboxylic dianhydride and cyclobutanetetracarboxylic dianhydride.

第二実施形態におけるジアミンは、上記一般式(1)について挙げたジアミンであってもよい。第二実施形態におけるジアミンは、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、m−トリジン、p−フェニレンジアミン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、及び2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群から選択される少なくとも1つであることが好ましい。   The diamine in the second embodiment may be the diamine mentioned for the general formula (1). The diamine in the second embodiment is 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, m-tolidine, p-phenylenediamine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, and 2,2′-bis [4- ( It is preferably at least one selected from the group consisting of 4-aminophenoxy) phenyl] propane.

重量平均分子量
本実施形態において、ポリイミド前駆体の重量平均分子量は、ポリイミドフィルムのYI値を低減させる観点から、好ましくは50,000以上、より好ましくは60,000以上である。ポリイミドフィルムのヘイズを低減させる観点から、ポリイミド前駆体の重量平均分子量は、好ましくは150,000以下、より好ましくは120,000以下である。ポリイミド前駆体の望ましい重量平均分子量は、所望される用途、ポリイミド前駆体の種類、樹脂組成物の固形分含有量、樹脂組成物が含み得る溶媒の種類等によって異なってよい。
Weight average molecular weight In the present embodiment, the weight average molecular weight of the polyimide precursor is preferably 50,000 or more, more preferably 60,000 or more from the viewpoint of reducing the YI value of the polyimide film. From the viewpoint of reducing the haze of the polyimide film, the weight average molecular weight of the polyimide precursor is preferably 150,000 or less, more preferably 120,000 or less. The desirable weight average molecular weight of the polyimide precursor may vary depending on the desired application, the type of polyimide precursor, the solid content of the resin composition, the type of solvent that the resin composition may contain, and the like.

ポリイミド前駆体の好ましい実施形態
本実施形態において特に好ましいポリイミド前駆体としては、下記(1)〜(9)が挙げられる。
(1)酸二無水物成分がピロメリット酸二無水物(PMDA)及びビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)であり、ジアミン成分がジアミノジフェニルスルホン(DAS)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が80,000〜100,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(2)酸二無水物成分がピロメリット酸二無水物(PMDA)及びビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)であり、ジアミン成分がジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が65,000〜90,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(3)酸二無水物成分がピロメリット酸二無水物(PMDA)及びビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)であり、ジアミン成分がジアミノジフェニルスルホン(DAS)、ジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が95,000〜120,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(4)酸二無水物成分がピロメリット酸二無水物(PMDA)であり、ジアミン成分がジアミノジフェニルスルホン(DAS)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が100,000〜110,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(5)酸二無水物成分がピロメリット酸二無水物(PMDA)であり、ジアミン成分がジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が100,000〜110,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(6)酸二無水物成分がピロメリット酸二無水物(PMDA)であり、ジアミン成分がジアミノジフェニルスルホン(DAS)、ジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が110,000〜120,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
Preferred Embodiment of Polyimide Precursor The following (1) to (9) are mentioned as particularly preferred polyimide precursors in the present embodiment.
(1) A polycondensate in which the acid dianhydride component is pyromellitic dianhydride (PMDA) and biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and the diamine component is diaminodiphenylsulfone (DAS) and a silicon-containing diamine. . More preferably, the weight average molecular weight is 80,000 to 100,000 and the solid content is 10 to 25% by mass.
(2) The acid dianhydride component is pyromellitic dianhydride (PMDA) and biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), and the diamine component is diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB) and silicon-containing diamine. A polycondensate. More preferably, the weight average molecular weight is 65,000 to 90,000 and the solid content is 10 to 25 mass%.
(3) The acid dianhydride component is pyromellitic dianhydride (PMDA) and biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), and the diamine component is diaminodiphenylsulfone (DAS), diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl ( TFMB) and a polycondensate which is a silicon-containing diamine. More preferably, the weight average molecular weight is 95,000 to 120,000 and the solid content is 10 to 25% by mass.
(4) A polycondensate in which the acid dianhydride component is pyromellitic dianhydride (PMDA) and the diamine component is diaminodiphenyl sulfone (DAS) and a silicon-containing diamine. More preferably, the weight average molecular weight is 100,000 to 110,000 and the solid content is 10 to 25% by mass.
(5) A polycondensate in which the acid dianhydride component is pyromellitic dianhydride (PMDA) and the diamine component is diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB) and a silicon-containing diamine. More preferably, the weight average molecular weight is 100,000 to 110,000 and the solid content is 10 to 25% by mass.
(6) Polycondensate in which the acid dianhydride component is pyromellitic dianhydride (PMDA) and the diamine component is diaminodiphenyl sulfone (DAS), diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB) and silicon-containing diamine . More preferably, the weight average molecular weight is 110,000 to 120,000 and the solid content is 10 to 25% by mass.

(7)酸二無水物成分がビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)であり、ジアミン成分がジアミノジフェニルスルホン(DAS)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が70,000〜80,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(8)酸二無水物成分がビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)であり、ジアミン成分がジアミノジフェニルスルホン(DAS)、ジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が90,000〜100,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(9)酸二無水物成分がビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)であり、ジアミン成分がジアミノビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)及びケイ素含有ジアミンである重縮合物。より好ましくは、重量平均分子量が70,000〜80,000、固形分含有量が10〜25質量%である。
(7) A polycondensate in which the acid dianhydride component is biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and the diamine component is diaminodiphenylsulfone (DAS) and a silicon-containing diamine. More preferably, the weight average molecular weight is 70,000 to 80,000 and the solid content is 10 to 25% by mass.
(8) Polycondensation in which the acid dianhydride component is biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and the diamine component is diaminodiphenylsulfone (DAS), diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB) and silicon-containing diamine object. More preferably, the weight average molecular weight is 90,000 to 100,000 and the solid content is 10 to 25 mass%.
(9) A polycondensate in which the acid dianhydride component is biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and the diamine component is diaminobis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB) and a silicon-containing diamine. More preferably, the weight average molecular weight is 70,000 to 80,000 and the solid content is 10 to 25% by mass.

上記(1)〜(9)の重縮合物の材料成分において、ケイ素含有ジアミンは、好ましくは上記一般式(6)で表されるジアミノ(ポリ)シロキサンである。この場合、ジアミノ(ポリ)シロキサンの数平均分子量は、好ましくは500〜12,000であり、より好ましくは、ジアミノ(ポリ)シロキサンは、両末端アミン変性メチルフェニルシリコーンオイルである。   In the material component of the polycondensate of (1) to (9), the silicon-containing diamine is preferably diamino (poly) siloxane represented by the general formula (6). In this case, the number average molecular weight of the diamino (poly) siloxane is preferably 500 to 12,000, and more preferably the diamino (poly) siloxane is an amine-modified methylphenyl silicone oil modified at both ends.

〈低分子環状シロキサン〉
一般式(3)の化合物
本実施形態の樹脂組成物は、下記一般式(3−1)又は(3−2)で表される低分子環状シロキサンのうち、mが3以上の整数である少なくともいずれか一方の低分子環状シロキサンを含む(単に「(3)」というときには、「(3−1)又は(3−2)」を意味する)。本実施形態の組成物は、一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが1又は2の化合物を含んでもよく、含まなくてもよい。本実施形態の樹脂組成物は、一般式(3−1)又は(3−2)のうち一方のみ含んでもよく、これらの両方を含んでもよい。一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物は、好ましくは、一般式(3−1)で表される化合物である。すなわち、本実施形態の樹脂組成物は、好ましくは、少なくとも一般式(3−1)で表される化合物を含む。
<Low molecular cyclic siloxane>
Compound of General Formula (3) In the resin composition of the present embodiment, at least m is an integer of 3 or more among the low molecular weight cyclic siloxanes represented by the following general formula (3-1) or (3-2). One of the low molecular cyclic siloxanes is included (when simply referred to as “(3)”, it means “(3-1) or (3-2)”). The composition of the present embodiment may or may not include a compound in which m is 1 or 2 in the general formula (3-1) or (3-2). The resin composition of the present embodiment may include only one of general formula (3-1) or (3-2), or may include both of them. The compound represented by formula (3-1) or (3-2) is preferably the compound represented by formula (3-1). That is, the resin composition of the present embodiment preferably contains at least the compound represented by the general formula (3-1).

Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }

一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く1,100ppm以下、より好ましくは0ppmより多く800ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く600ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く300ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く180ppm以下である。ここで、一般式(3)で表される化合物の総量とは、樹脂組成物が一般式(3−1)又は(3−2)のうち一方のみ含む場合はその総量、これらの両方を含む場合はその総量を意味する。   In the general formula (3), the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is preferably more than 0 ppm and 1,100 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 800 ppm or less, further preferably based on the mass of the resin composition. Is more than 0 ppm and 600 ppm or less, particularly preferably more than 0 ppm and 300 ppm or less, particularly preferably more than 0 ppm and 180 ppm or less. Here, the total amount of the compound represented by the general formula (3) includes the total amount when the resin composition includes only one of the general formulas (3-1) and (3-2), or both of them. The case means the total amount.

より具体的には、一般式(3)のうちmが3〜5である化合物の総量は、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く1,100ppm以下、より好ましくは0ppmより多く800ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く600ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く300ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く180ppm以下である。   More specifically, the total amount of compounds in which m is 3 to 5 in the general formula (3) is preferably more than 0 ppm and 1,100 ppm or less, more preferably more than 0 ppm, based on the mass of the resin composition. It is 800 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 600 ppm or less, particularly preferably more than 0 ppm and 300 ppm or less, particularly preferably more than 0 ppm and 180 ppm or less.

一般式(3)のうちmが3である化合物の総量は、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く650ppm以下、より好ましくは0ppmより多く150ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く80ppm以下である。一般式(3)においてm=4の化合物の総量は、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く350ppm以下、より好ましくは0ppmより多く100ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く60ppm以下である。一般式(3)で表される化合物の総量が上記の範囲内であると、樹脂組成物から得られるポリイミド樹脂膜のYI値がより低下するため好ましい。   The total amount of compounds in which m is 3 in the general formula (3) is preferably more than 0 ppm and 650 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 150 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 80 ppm, based on the mass of the resin composition. It is below. The total amount of the compounds of m = 4 in the general formula (3) is preferably more than 0 ppm and less than 350 ppm, more preferably more than 0 ppm and less than 100 ppm, still more preferably more than 0 ppm and less than 60 ppm, based on the mass of the resin composition. is there. It is preferable that the total amount of the compound represented by the general formula (3) is within the above range because the YI value of the polyimide resin film obtained from the resin composition is further lowered.

樹脂組成物中の固形分の質量を基準とする場合、上記一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、好ましくは0ppmより多く7,500ppm以下、より好ましくは0ppmより多く2,000ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く1,100ppm以下である。樹脂組成物中の固形分の質量を基準とする場合、一般式(3)のうちmが3である化合物の総量は、好ましくは0ppmより多く4,500ppm以下、より好ましくは0ppmより多く1,000ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く500ppm以下である。樹脂組成物中の固形分の質量を基準とする場合、一般式(3)のうちmが4である化合物の総量は、好ましくは0ppmより多く2,500ppm以下、より好ましくは0ppmより多く700ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く400ppm以下である。一般式(3)で表される化合物の総量が上記の範囲内であると、樹脂組成物から得られるポリイミド樹脂膜のYI値がより低下するため好ましい。   When based on the mass of the solid content in the resin composition, the total amount of the compounds of the general formula (3) in which m is an integer of 3 or more is preferably more than 0 ppm and 7,500 ppm or less, more preferably 0 ppm. It is more than 2,000 ppm and more preferably more than 0 ppm and not more than 1,100 ppm. When based on the mass of the solid content in the resin composition, the total amount of compounds in which m is 3 in the general formula (3) is preferably more than 0 ppm and 4,500 ppm or less, more preferably more than 0 ppm 1, It is 000 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 500 ppm or less. When based on the mass of the solid content in the resin composition, the total amount of compounds in which m is 4 in the general formula (3) is preferably more than 0 ppm and 2,500 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 700 ppm or less. And more preferably more than 0 ppm and 400 ppm or less. It is preferable that the total amount of the compound represented by the general formula (3) is within the above range because the YI value of the polyimide resin film obtained from the resin composition is further lowered.

本願明細書中「固形分」とは、樹脂組成物中の溶媒以外の全成分であり、液状のモノマー成分も固形分の質量に含まれる。樹脂組成物が溶媒とポリイミド前駆体のみを含有する場合、ポリイミド前駆体が固形分に該当する。樹脂組成物が溶媒とポリイミド前駆体のみを含有する場合、固形分の質量は、ポリイミド前駆体に含まれる全てのモノマーの質量の総量が該当する。固形分の質量は、樹脂組成物をガスクロマトグラフィー(以下GCともいう)分析することにより溶媒の質量を求め、樹脂組成物の質量から溶媒の質量を差し引くことから求めることもできる。固形分の質量は、樹脂組成物を加熱し、溶媒を揮発除去し、溶媒の質量を求め、樹脂組成物の質量から溶媒の質量を差し引くことから求めることもできる。   In the present specification, the "solid content" refers to all the components other than the solvent in the resin composition, and the liquid monomer component is also included in the mass of the solid content. When the resin composition contains only the solvent and the polyimide precursor, the polyimide precursor corresponds to the solid content. When the resin composition contains only the solvent and the polyimide precursor, the mass of the solid content corresponds to the total mass of all the monomers contained in the polyimide precursor. The mass of the solid content can also be determined by determining the mass of the solvent by analyzing the resin composition by gas chromatography (hereinafter also referred to as GC) and subtracting the mass of the solvent from the mass of the resin composition. The mass of the solid content can also be determined by heating the resin composition, volatilizing and removing the solvent, determining the mass of the solvent, and subtracting the mass of the solvent from the mass of the resin composition.

本実施形態のポリイミド前駆体は、一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物と、一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させることにより得ることができる。その場合、当該原料組成物に含まれる、上記一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、一般式(3)、(4)及び(5)で表されるケイ素含有化合物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く280ppm以下、より好ましくは0ppmより多く30ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く6ppm以下である。一般式(3)、(4)及び(5)で表されるケイ素含有化合物の合計質量を基準として、一般式(3)のうちmが3である化合物の総量は、好ましくは0ppmより多く200ppm以下、より好ましくは0ppmより多く25ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く3ppm以下である。一般式(3)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準とする場合、一般式(3)のうちmが4である化合物の総量は、好ましくは0ppmより多く80ppm以下、より好ましくは0ppmより多く5ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く3ppm以下である。一般式(3)で表される化合物の総量が上記の範囲内であると、樹脂組成物から得られるポリイミド樹脂膜のYI値がより低下するため好ましい。   The polyimide precursor of the present embodiment is represented by a silicon-containing compound represented by the general formula (5), a compound represented by the general formula (3-1) or (3-2), and a general formula (4). It can be obtained by subjecting a raw material composition containing the compound described above to a polycondensation reaction with tetracarboxylic dianhydride and diamine. In that case, the total amount of compounds in the general formula (3) in which m is an integer of 3 or more is the silicon represented by the general formulas (3), (4), and (5). It is preferably more than 0 ppm and 280 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 30 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 6 ppm or less, based on the mass of the contained compound. Based on the total mass of the silicon-containing compounds represented by the general formulas (3), (4) and (5), the total amount of the compounds in which m is 3 in the general formula (3) is preferably more than 0 ppm and 200 ppm. Or less, more preferably more than 0 ppm and 25 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 3 ppm or less. Based on the total mass of the silicon-containing compounds of the general formulas (3), (4) and (5), the total amount of compounds of the general formula (3) in which m is 4 is preferably more than 0 ppm and 80 ppm or less. , More preferably more than 0 ppm and 5 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 3 ppm or less. It is preferable that the total amount of the compound represented by the general formula (3) is within the above range because the YI value of the polyimide resin film obtained from the resin composition is further lowered.

一般式(4)の化合物
本実施形態の樹脂組成物は、上記一般式(3)で表される化合物に加えて、下記一般式(4)で表される化合物を更に含んでもよい。
Compound of General Formula (4) The resin composition of the present embodiment may further include a compound represented by the following general formula (4) in addition to the compound represented by the general formula (3).

Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }

一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物の総量は、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く200ppm以下、より好ましくは0ppmより多く100ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く50ppm以下である。   Of the general formula (4), the total amount of compounds in which n is an integer of 3 or more is preferably more than 0 ppm and 200 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 100 ppm or less, further preferably 0 ppm, based on the mass of the resin composition. It is more than 50 ppm.

一般式(4)のうちnが3〜8である化合物の総量は、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く200ppm以下、より好ましくは0ppmより多く100ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く50ppm以下である。   Of the general formula (4), the total amount of compounds in which n is 3 to 8 is preferably more than 0 ppm and 200 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 100 ppm or less, further preferably more than 0 ppm, based on the mass of the resin composition. Many are 50 ppm or less.

一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物と、一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量は、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く1,300ppm以下、より好ましくは0ppmより多く400ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く230ppm以下であってよい。一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物と一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量が上記範囲内であり、かつ、一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物の総量が、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く1,100ppm以下、より好ましくは0ppmより多く800ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く600ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く300ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く180ppm以下であることが好ましい。   The total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more in the general formula (3) and the compound in which n is an integer of 3 or more in the general formula (4) is preferably based on the mass of the resin composition. It may be more than 0 ppm and less than or equal to 1,300 ppm, more preferably more than 0 ppm and less than or equal to 400 ppm, still more preferably more than 0 ppm and less than or equal to 230 ppm. The total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more in the general formula (3) and the compound in which n is an integer of 3 or more in the general formula (4) is within the above range, and the general formula (3) Among them, the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is preferably more than 0 ppm and 1,100 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 800 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 600 ppm, based on the mass of the resin composition. The following is more preferable, more preferably more than 0 ppm and not more than 300 ppm, particularly preferably more than 0 ppm and not more than 180 ppm.

一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物と、一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量が上記範囲内であり、かつ、一般式(3)のうちmが3〜5である化合物の総量が、樹脂組成物の質量を基準として、好ましくは0ppmより多く1,100ppm以下、より好ましくは0ppmより多く800ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く600ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く300ppm以下、特に好ましくは0ppmより多く180ppm以下であることが好ましい。一般式(3)で表される化合物と一般式(4)で表される化合物との総量が上記範囲内であると、ポリイミド樹脂膜の製造プロセスにおいて付着する異物の総数が低減される点で好ましい。   The total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more in the general formula (3) and the compound in which n is an integer of 3 or more in the general formula (4) is within the above range, and the general formula (3 In the above, the total amount of compounds in which m is 3 to 5 is preferably more than 0 ppm and 1,100 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 800 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 600 ppm, based on the mass of the resin composition. The following is more preferable, more preferably more than 0 ppm and not more than 300 ppm, particularly preferably more than 0 ppm and not more than 180 ppm. When the total amount of the compound represented by the general formula (3) and the compound represented by the general formula (4) is within the above range, the total number of foreign substances attached in the manufacturing process of the polyimide resin film is reduced. preferable.

樹脂組成物中の固形分の質量を基準とする場合、一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物の総量は、好ましくは0ppmより多く1,100ppm以下、より好ましくは0ppmより多く700ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く400ppm以下である。樹脂組成物中の固形分の質量を基準とする場合、一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物と、一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量は、好ましくは0ppmより多く8,600ppm以下、より好ましくは0ppmより多く2,700ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く1,500ppm以下である。一般式(3)で表される化合物と一般式(4)で表される化合物との総量が上記範囲内であると、ポリイミド樹脂膜の製造プロセスにおいて付着する異物の総数が低減される点で好ましい。   When based on the mass of the solid content in the resin composition, the total amount of compounds of the general formula (4) in which n is an integer of 3 or more is preferably more than 0 ppm and 1,100 ppm or less, more preferably 0 ppm or more. It is more than 700 ppm and more preferably more than 0 ppm and less than 400 ppm. Based on the mass of the solid content in the resin composition, a compound of the general formula (3) in which m is an integer of 3 or more and a compound of the general formula (4) in which n is an integer of 3 or more. Is preferably more than 0 ppm and not more than 8,600 ppm, more preferably more than 0 ppm and not more than 2,700 ppm, still more preferably more than 0 ppm and not more than 1,500 ppm. When the total amount of the compound represented by the general formula (3) and the compound represented by the general formula (4) is within the above range, the total number of foreign substances attached in the manufacturing process of the polyimide resin film is reduced. preferable.

一般式(3)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の質量を基準とする場合、一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物の総量は、好ましくは0ppmより多く200ppm以下、より好ましくは0ppmより多く100ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く50ppm以下である。一般式(3)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準とする場合、一般式(3)のうちmが3以上の整数である化合物と、一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量は、好ましくは0ppmより多く4,700ppm以下、より好ましくは0ppmより多く1,100ppm以下、更に好ましくは0ppmより多く6,300ppm以下である。一般式(3)で表される化合物と一般式(4)で表される化合物との総量が上記範囲内であると、ポリイミド樹脂膜の製造プロセスにおいて付着する異物の総数が低減される点で好ましい。   Based on the mass of the silicon-containing compounds of the general formulas (3), (4) and (5), the total amount of compounds of the general formula (4) in which n is an integer of 3 or more is preferably more than 0 ppm. It is 200 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 100 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 50 ppm or less. Based on the total mass of the silicon-containing compounds of the general formulas (3), (4) and (5), a compound of the general formula (3) in which m is an integer of 3 or more and a compound of the general formula (4) Of these, the total amount with the compound in which n is an integer of 3 or more is preferably more than 0 ppm and 4,700 ppm or less, more preferably more than 0 ppm and 1,100 ppm or less, still more preferably more than 0 ppm and 6,300 ppm or less. When the total amount of the compound represented by the general formula (3) and the compound represented by the general formula (4) is within the above range, the total number of foreign substances attached in the manufacturing process of the polyimide resin film is reduced. preferable.

異物カウント数
樹脂組成物、固形分、ケイ素含有化合物それぞれの質量を基準として、一般式(3)のうちmが3以上(好ましくはmが3〜5)の整数である環状シロキサンと、一般式(4)のうちnが3以上(好ましくはnが3〜8)の整数である環状シロキサンの総量が少ないほど、ポリイミド樹脂膜の製造プロセスにおいて付着する異物が少量であるため好ましい。このメカニズムは不明であるが、発明者らは以下のように推定している。すなわち、ポリイミド樹脂膜の製造において、典型的には、ポリイミド前駆体組成物を含む樹脂組成物をガラス基板等の支持体に塗布し、一つのオーブン内で、例えば100℃で30分間加熱することにより溶媒を除去し、同一のオーブン内で連続して、より高い温度、例えば350℃で1時間加熱することによりイミド化してポリイミド樹脂膜を形成することが行われる。ここで、一般式(4)の環状シロキサンの方が、一般式(3)の環状シロキサンよりも揮発し易い。したがって、溶媒を除去する際には、一般式(4)の環状シロキサンが揮発し、イミド化の際には一般式(3)の環状シロキサンが揮発して、オーブン内に付着すると考えられる。特にオーブンに投入するサンプル数が多い場合は、オーブン内に一般式(3)及び(4)の環状シロキサンがより多く堆積し、それが落下することにより、ポリイミド樹脂膜に付着した異物になると考えられる。したがって、一般式(3)の環状シロキサンと一般式(4)の環状シロキサンの総量が少ないほど、ポリイミド樹脂膜の製造プロセスにおいて付着する異物が少量であると考えられる。
Foreign matter count number A cyclic siloxane in which m is an integer of 3 or more (preferably m is 3 to 5) in the general formula (3) based on the mass of each of the resin composition, the solid content, and the silicon-containing compound, and the general formula In (4), the smaller the total amount of cyclic siloxanes in which n is an integer of 3 or more (preferably n is 3 to 8), the smaller the amount of foreign matter attached in the process for producing the polyimide resin film, which is preferable. Although the mechanism is unknown, the inventors presume as follows. That is, in the production of a polyimide resin film, typically, a resin composition containing a polyimide precursor composition is applied to a support such as a glass substrate and heated in one oven at, for example, 100 ° C. for 30 minutes. The solvent is removed by, and the polyimide resin film is formed by continuous imidization by heating at a higher temperature, for example, 350 ° C. for 1 hour in the same oven. Here, the cyclic siloxane of the general formula (4) is more volatile than the cyclic siloxane of the general formula (3). Therefore, it is considered that when the solvent is removed, the cyclic siloxane of the general formula (4) is volatilized, and at the time of imidization, the cyclic siloxane of the general formula (3) is volatilized and attached to the oven. Especially when a large number of samples are put into the oven, it is considered that more cyclic siloxanes of the general formulas (3) and (4) are deposited in the oven, and when they fall, they become foreign matter attached to the polyimide resin film. Be done. Therefore, it is considered that the smaller the total amount of the cyclic siloxane represented by the general formula (3) and the cyclic siloxane represented by the general formula (4) is, the smaller the amount of foreign matter attached in the process of manufacturing the polyimide resin film is.

〈溶媒〉
樹脂組成物は典型的に溶媒を含む。溶媒としては、ポリイミド前駆体の溶解性が良好で、かつ樹脂組成物の溶液粘度を適切に制御できるものが好ましく、ポリイミド前駆体の反応溶媒を、組成物の溶媒として用いることができる。その中でも、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、γ−ブチロラクトン(GBL)、上記一般式(4)で表される化合物等が好ましい。溶媒組成の具体例としては、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)単独、又はN−メチル−2−ピロリドン(NMP)とγ−ブチロラクトン(GBL)との混合溶媒等が挙げられる。NMPとGBLとの質量比は、例えば、NMP:GBL(質量比)=10:90〜90:10であってよい。
<solvent>
The resin composition typically comprises a solvent. As the solvent, those having good solubility of the polyimide precursor and capable of appropriately controlling the solution viscosity of the resin composition are preferable, and the reaction solvent of the polyimide precursor can be used as the solvent of the composition. Among them, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), γ-butyrolactone (GBL), the compound represented by the general formula (4), and the like are preferable. Specific examples of the solvent composition include N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) alone or a mixed solvent of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) and γ-butyrolactone (GBL). The mass ratio of NMP and GBL may be, for example, NMP: GBL (mass ratio) = 10: 90 to 90:10.

〈追加の成分〉
本実施形態の樹脂組成物は、ポリイミド前駆体、低分子環状シロキサン、及び溶媒に加えて、追加の成分を更に含んでもよい。追加の成分としては、例えば、界面活性剤、及びアルコキシシラン化合物等が挙げられる。
<Additional ingredients>
The resin composition of the present embodiment may further include additional components in addition to the polyimide precursor, the low molecular weight cyclic siloxane, and the solvent. Examples of the additional component include a surfactant and an alkoxysilane compound.

界面活性剤
本実施形態の樹脂組成物に界面活性剤を添加することによって、樹脂組成物の塗布性を向上することができる。具体的には、塗工膜におけるスジの発生を防ぐことができる。
このような界面活性剤は、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、これら以外の非イオン界面活性剤等を挙げることができる。シリコーン系界面活性剤としては、例えば、オルガノシロキサンポリマーKF−640、642、643、KP341、X−70−092、X−70−093(商品名、信越化学工業社製);SH−28PA、SH−190、SH−193、SZ−6032、SF−8428、DC−57、DC−190(商品名、東レ・ダウコーニング・シリコーン社製);SILWET L−77,L−7001,FZ−2105,FZ−2120,FZ−2154,FZ−2164,FZ−2166,L−7604(商品名、日本ユニカー社製);DBE−814、DBE−224、DBE−621、CMS−626、CMS−222、KF−352A、KF−354L、KF−355A、KF−6020、DBE−821、DBE−712(Gelest)、BYK−307、BYK−310、BYK−378、BYK−333(商品名、ビックケミー・ジャパン製);グラノール(商品名、共栄社化学社製)等が挙げられる。フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、F173、R−08(大日本インキ化学工業株式会社製、商品名);フロラードFC4430、FC4432(住友スリーエム株式会社、商品名)等が挙げられる。これら以外の非イオン界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンウラリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル等が挙げられる。
Surfactant By adding a surfactant to the resin composition of the present embodiment, the coatability of the resin composition can be improved. Specifically, it is possible to prevent the occurrence of streaks in the coating film.
Examples of such a surfactant include a silicone-based surfactant, a fluorine-based surfactant, and a nonionic surfactant other than these. Examples of silicone-based surfactants include organosiloxane polymers KF-640, 642, 643, KP341, X-70-092, X-70-093 (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.); SH-28PA, SH. -190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190 (trade name, manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co.); SILWET L-77, L-7001, FZ-2105, FZ. -2120, FZ-2154, FZ-2164, FZ-2166, L-7604 (trade name, manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.); DBE-814, DBE-224, DBE-621, CMS-626, CMS-222, KF-. 352A, KF-354L, KF-355A, KF-6020, DBE-821, DBE-712 (Geles) t), BYK-307, BYK-310, BYK-378, BYK-333 (trade name, manufactured by Big Chemie Japan); Granol (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and the like. Examples of the fluorine-based surfactant include Megafac F171, F173, R-08 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., trade name); Florard FC4430, FC4432 (Sumitomo 3M, trade name) and the like. . Examples of nonionic surfactants other than these include polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, and polyoxyethylene octylphenol ether.

これらの界面活性剤の中でも、樹脂組成物の塗工性(スジ抑制)の観点から、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤が好ましく、キュア工程時の酸素濃度によるYI値及び全光線透過率への影響を低減する観点から、シリコーン系界面活性剤が好ましい。界面活性剤を用いる場合、その配合量は、樹脂組成物中のポリイミド前駆体100質量部に対して、好ましくは0.001〜5質量部、より好ましくは0.01〜3質量部である。   Among these surfactants, silicone-based surfactants and fluorine-based surfactants are preferable from the viewpoint of coatability (strain suppression) of the resin composition, and the YI value and total light transmission depending on the oxygen concentration during the curing step. From the viewpoint of reducing the influence on the rate, a silicone-based surfactant is preferable. When a surfactant is used, its blending amount is preferably 0.001 to 5 parts by mass, more preferably 0.01 to 3 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the polyimide precursor in the resin composition.

アルコキシシラン化合物
本実施形態の樹脂組成物から得られるポリイミドフィルムをフレキシブル基板等に用いる場合、製造プロセスにおける支持体とポリイミドフィルムとの良好な密着性を得る観点から、樹脂組成物は、ポリイミド前駆体100質量部に対して、アルコキシシラン化合物を0.01〜20質量部含有することができる。ポリイミド前駆体100質量部に対するアルコキシシラン化合物の含有量が0.01質量部以上であることにより、支持体とポリイミドフィルムとの間に良好な密着性を得ることができる。またアルコキシシラン化合物の含有量が20質量部以下であることが、樹脂組成物の保存安定性の観点から好ましい。アルコキシシラン化合物の含有量は、ポリイミド前駆体100質量部に対して、好ましくは0.02〜15質量部、より好ましくは0.05〜10質量部、更に好ましくは0.1〜8質量部である。アルコキシシラン化合物を用いることにより、上記の密着性の向上に加えて、樹脂組成物の塗工性が向上し(スジムラ抑制)、及びキュア時の酸素濃度によるポリイミドフィルムのYI値への影響を低減することもできる。
Alkoxysilane compound When a polyimide film obtained from the resin composition of the present embodiment is used for a flexible substrate or the like, the resin composition is a polyimide precursor from the viewpoint of obtaining good adhesion between the support and the polyimide film in the manufacturing process. The alkoxysilane compound may be contained in an amount of 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass. When the content of the alkoxysilane compound with respect to 100 parts by mass of the polyimide precursor is 0.01 parts by mass or more, good adhesion can be obtained between the support and the polyimide film. Further, the content of the alkoxysilane compound is preferably 20 parts by mass or less from the viewpoint of storage stability of the resin composition. The content of the alkoxysilane compound is preferably 0.02 to 15 parts by mass, more preferably 0.05 to 10 parts by mass, and further preferably 0.1 to 8 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyimide precursor. is there. By using an alkoxysilane compound, in addition to the above-mentioned improvement in adhesiveness, the coating property of the resin composition is improved (suppressing uneven streaks), and the effect of oxygen concentration during curing on the YI value of the polyimide film is reduced. You can also do it.

アルコキシシラン化合物としては、例えば、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリプロポキシシラン、γ−アミノプロピルトリブトキシシラン、γ−アミノエチルトリエトキシシラン、γ−アミノエチルトリプロポキシシラン、γ−アミノエチルトリブトキシシラン、γ−アミノブチルトリエトキシシラン、γ−アミノブチルトリメトキシシラン、γ−アミノブチルトリプロポキシシラン、γ−アミノブチルトリブトキシシラン、フェニルシラントリオール、トリメトキシフェニルシラン、トリメトキシ(p−トリル)シラン、ジフェニルシランジオール、ジメトキシジフェニルシラン、ジエトキシジフェニルシラン、ジメトキシジ−p−トリルシラン、トリフェニルシラノール、及び下記構造のそれぞれで表されるアルコキシシラン化合物等を挙げることができる。アルコキシシラン化合物は、一種を単独で用いても二種以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the alkoxysilane compound include 3-ureidopropyltriethoxysilane, bis (2-hydroxyethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltripropoxysilane, γ-aminopropyltributoxysilane, γ-aminoethyltriethoxysilane, γ-aminoethyltripropoxysilane, γ-aminoethyltributoxysilane, γ-aminobutyltriethoxysilane, γ- Aminobutyltrimethoxysilane, γ-aminobutyltripropoxysilane, γ-aminobutyltributoxysilane, phenylsilanetriol, trimethoxyphenylsilane, trimethoxy (p-tolyl) silane, diphenylsilanediol , Dimethoxydiphenylsilane, diethoxydiphenylsilane, dimethoxydi-p-tolylsilane, triphenylsilanol, and alkoxysilane compounds represented by each of the following structures. The alkoxysilane compounds may be used alone or in combination of two or more.

Figure 2019208587
Figure 2019208587

《樹脂組成物の製造方法》
本実施形態における樹脂組成物の製造方法は、特に限定されるものではなく、例えば、以下の方法によることができる。
<< Method for producing resin composition >>
The method for producing the resin composition in the present embodiment is not particularly limited, and for example, the following method can be used.

〈ケイ素含有化合物の精製〉
本実施形態の樹脂組成物は、酸二無水物、ジアミン、及びケイ素含有化合物を含む重縮合成分を重縮合反応させることにより製造することができる。本実施形態の樹脂組成物中に含まれる、一般式(3)の化合物の総量を低減する方法としては、例えば、重縮合反応の前に、ケイ素含有化合物を精製して、一般式(3)の化合物の総量を低減することが挙げられる。あるいは、重縮合反応の後に、樹脂組成物を精製して、一般式(3)の化合物の総量を低減してもよい。
<Purification of silicon-containing compound>
The resin composition of this embodiment can be produced by subjecting a polycondensation component containing an acid dianhydride, a diamine, and a silicon-containing compound to a polycondensation reaction. As a method of reducing the total amount of the compound of the general formula (3) contained in the resin composition of the present embodiment, for example, the silicon-containing compound is purified before the polycondensation reaction to obtain the general formula (3). And reducing the total amount of compounds of Alternatively, the resin composition may be purified after the polycondensation reaction to reduce the total amount of the compound of the general formula (3).

ケイ素含有化合物を精製する方法としては、例えば、任意の容器内でケイ素含有化合物に不活性ガス、例えば窒素ガスを吹き込みながらストリッピングを行うことが挙げられる。ストリッピングの温度としては、好ましくは200℃以上300℃以下、より好ましくは220℃以上300℃以下、更に好ましくは240℃以上300℃以下である。ストリッピングの蒸気圧としては、低いほど好ましく、1000Pa以下、より好ましくは300Pa以下、更に好ましくは200Pa以下、より更に好ましくは133.32Pa(1mmHg)Pa以下である。ストリッピングの時間としては、好ましくは4時間以上12時間以下、より好ましくは6時間以上10時間以下である。上記の条件に調整することにより、一般式(3)の化合物を効率的に除去することができ、また、一般式(3)及び(4)の総量を好ましい範囲に制御することができる。   Examples of the method for purifying the silicon-containing compound include stripping while blowing an inert gas, for example, nitrogen gas, into the silicon-containing compound in an arbitrary container. The stripping temperature is preferably 200 ° C or higher and 300 ° C or lower, more preferably 220 ° C or higher and 300 ° C or lower, and further preferably 240 ° C or higher and 300 ° C or lower. The vapor pressure for stripping is preferably as low as possible, and is preferably 1000 Pa or less, more preferably 300 Pa or less, still more preferably 200 Pa or less, still more preferably 133.32 Pa (1 mmHg) Pa or less. The stripping time is preferably 4 hours or more and 12 hours or less, more preferably 6 hours or more and 10 hours or less. By adjusting the above conditions, the compound of the general formula (3) can be efficiently removed, and the total amount of the general formulas (3) and (4) can be controlled within a preferable range.

〈ポリイミド前駆体の合成〉
本実施形態のポリイミド前駆体は、酸二無水物、ジアミン、及びケイ素含有化合物を含む重縮合成分を重縮合反応させることにより合成することができる。ケイ素含有化合物は、上記の精製したものを用いることが好ましい。好ましい態様において、重縮合成分は、酸二無水物と、ジアミンと、ケイ素含有化合物とからなる。重縮合反応は、適当な溶媒中で行うことが好ましい。具体的には、例えば、溶媒に所定量のジアミン成分及びケイ素含有化合物を溶解させた後、得られたジアミン溶液に、酸二無水物を所定量添加し、撹拌する方法が挙げられる。
<Synthesis of polyimide precursor>
The polyimide precursor of this embodiment can be synthesized by subjecting a polycondensation component containing an acid dianhydride, a diamine, and a silicon-containing compound to a polycondensation reaction. As the silicon-containing compound, it is preferable to use the above-mentioned purified one. In a preferred embodiment, the polycondensation component comprises an acid dianhydride, a diamine, and a silicon-containing compound. The polycondensation reaction is preferably carried out in a suitable solvent. Specifically, for example, a method in which a predetermined amount of a diamine component and a silicon-containing compound are dissolved in a solvent, a predetermined amount of acid dianhydride is added to the obtained diamine solution, and stirring is performed.

ポリイミド前駆体を合成する際の酸二無水物とジアミンとのモル比は、ポリイミド前駆体樹脂の高分子量化、樹脂組成物のスリットコーティング特性の観点から、酸二無水物:ジアミン=100:90〜100:110(酸二無水物1モル部に対してジアミン0.90〜1.10モル部)の範囲が好ましく、100:95〜100:105(酸二無水物1モル部に対してジアミン0.95〜1.05モル部)の範囲が更に好ましい。   The molar ratio of the acid dianhydride and the diamine when synthesizing the polyimide precursor is such that the acid dianhydride: diamine = 100: 90 from the viewpoint of increasing the molecular weight of the polyimide precursor resin and the slit coating properties of the resin composition. To 100: 110 (diamine 0.90 to 1.10 parts by mole relative to 1 part by mole of acid dianhydride) is preferable, and 100: 95 to 100: 105 (diamine based on 1 part by mole of acid dianhydride). The range of 0.95 to 1.05 parts by mole) is more preferable.

ポリイミド前駆体の分子量は、酸二無水物、ジアミン及びケイ素含有化合物の種類、酸二無水物とジアミンとのモル比の調整、末端封止剤の添加、反応条件の調整等によってコントロールすることが可能である。酸二無水物成分とジアミン成分とのモル比が1:1に近いほど、及び末端封止剤の使用量が少ないほど、ポリイミド前駆体を高分子量化することができる。   The molecular weight of the polyimide precursor can be controlled by adjusting the dianhydride, the type of the diamine and the silicon-containing compound, adjusting the molar ratio of the acid dianhydride and the diamine, adding the terminal blocking agent, adjusting the reaction conditions, and the like. It is possible. The closer the molar ratio of the acid dianhydride component to the diamine component is to 1: 1, and the smaller the amount of the end-capping agent used, the higher the molecular weight of the polyimide precursor can be made.

酸二無水物成分及びジアミン成分として、高純度品を使用することが推奨される。その純度としては、それぞれ、好ましくは98質量%以上、より好ましくは99質量%以上、更に好ましくは99.5質量%以上である。酸二無水物成分及びジアミン成分における水分含量を低減することによって高純度化することもできる。複数種類の酸二無水物成分、及び/又は複数種類のジアミン成分を使用する場合には、酸二無水物成分全体として、及びジアミン成分全体として上記の純度を有することが好ましく、使用する全種類の酸二無水物成分及びジアミン成分が、それぞれ上記の純度を有していることがより好ましい。   It is recommended to use high purity products as the acid dianhydride component and the diamine component. The purity is preferably 98% by mass or more, more preferably 99% by mass or more, and further preferably 99.5% by mass or more. It can also be highly purified by reducing the water content in the acid dianhydride component and the diamine component. When using a plurality of types of acid dianhydride components, and / or a plurality of types of diamine components, it is preferable that the acid dianhydride component as a whole and the diamine component as a whole have the above-mentioned purity, and all types used. It is more preferable that the acid dianhydride component and the diamine component of are each of the above-mentioned purity.

反応の溶媒としては、酸二無水物成分及びジアミン成分、並びに生じるポリイミド前駆体を溶解することができ、高分子量の重合体が得られる溶媒であれば特に限定されない。このような溶媒としては、例えば、非プロトン性溶媒、フェノール系溶媒、エーテル及びグリコール系溶媒等が挙げられる。非プロトン性溶媒としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、N−メチルカプロラクタム、1,3−ジメチルイミダゾリジノン、テトラメチル尿素、及び下記一般式(6)のアミド系溶媒:

Figure 2019208587
{式中、R12=メチル基で表されるエクアミドM100(商品名:出光興産社製)、及び、R12=n−ブチル基で表されるエクアミドB100(商品名:出光興産社製)};γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン等のラクトン系溶媒;ヘキサメチルホスホリックアミド、ヘキサメチルホスフィントリアミド等の含リン系アミド系溶媒;ジメチルスルホン、ジメチルスルホキシド、スルホラン等の含硫黄系溶媒;シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等のケトン系溶媒;ピコリン、ピリジン等の3級アミン系溶媒;酢酸(2−メトキシ−1−メチルエチル)等のエステル系溶媒等が挙げられる。
フェノ−ル系溶媒としては、例えば、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール等が挙げられる。
エーテル及びグリコール系溶媒としては、例えば、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン、ビス[2−(2−メトキシエトキシ)エチル]エーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等が挙げられる。
これらの溶媒は、単独で又は2種類以上混合して用いてもよい。The solvent for the reaction is not particularly limited as long as it can dissolve the acid dianhydride component, the diamine component, and the resulting polyimide precursor, and can obtain a high molecular weight polymer. Examples of such a solvent include an aprotic solvent, a phenolic solvent, an ether solvent and a glycol solvent. Examples of the aprotic solvent include N, N-dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), N-methylcaprolactam and 1,3-dimethyl. Imidazolidinone, tetramethylurea, and an amide solvent of the following general formula (6):
Figure 2019208587
{In the formula, Examide M100 represented by R 12 = methyl group (trade name: manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) and Examide B100 represented by R 12 = n-butyl group (trade name: manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.)} Lactone solvents such as γ-butyrolactone and γ-valerolactone; phosphorus-containing amide solvents such as hexamethylphosphoric amide and hexamethylphosphine triamide; sulfur-containing solvents such as dimethyl sulfone, dimethyl sulfoxide, sulfolane; cyclohexanone A ketone-based solvent such as methylcyclohexanone; a tertiary amine-based solvent such as picoline and pyridine; an ester-based solvent such as acetic acid (2-methoxy-1-methylethyl).
Examples of the phenol solvent include phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,3-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3, 4-xylenol, 3,5-xylenol and the like can be mentioned.
Examples of ether and glycol solvents include 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, bis [2- (2-methoxyethoxy) ethyl. ] Ether, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane and the like can be mentioned.
You may use these solvent individually or in mixture of 2 or more types.

ポリイミド前駆体の合成に用いられる溶媒の常圧における沸点は、好ましくは60〜300℃、より好ましくは140〜280℃、更に好ましくは170〜270℃である。溶媒の沸点が300℃より低いことにより、乾燥工程が短時間になる。溶媒の沸点が60℃以上であると、乾燥工程中に、樹脂膜の表面における荒れの発生、樹脂膜中への気泡の混入等が起こりにくく、より均一なフィルムを得ることができる。特に、沸点が170〜270℃であり、及び/又は20℃における蒸気圧が250Pa以下である溶媒を使用することが、溶解性及び塗工時のエッジ異常の低減の観点から好ましい。より具体的には、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、γ−ブチロラクトン(GBL)、及び一般式(6)で表される化合物から成る群より選択される1種以上が好ましい。   The boiling point of the solvent used in the synthesis of the polyimide precursor at atmospheric pressure is preferably 60 to 300 ° C, more preferably 140 to 280 ° C, and further preferably 170 to 270 ° C. When the boiling point of the solvent is lower than 300 ° C., the drying process becomes short. When the boiling point of the solvent is 60 ° C. or higher, the surface of the resin film is less likely to be roughened, air bubbles are not mixed into the resin film during the drying step, and a more uniform film can be obtained. In particular, it is preferable to use a solvent having a boiling point of 170 to 270 ° C. and / or a vapor pressure at 20 ° C. of 250 Pa or less from the viewpoint of solubility and reduction of edge abnormality during coating. More specifically, one or more selected from the group consisting of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), γ-butyrolactone (GBL), and the compound represented by the general formula (6) is preferable.

溶媒中の水分含量は、重縮合反応を良好に進行させるために、例えば3,000質量ppm以下であることが好ましい。本実施形体における樹脂組成物中、分子量1,000未満の分子の含有量が5質量%未満であることが好ましい。樹脂組成物中に分子量1,000未満の分子が存在するのは、合成時に使用する溶媒や原料(酸二無水物、ジアミン)の水分量が関与しているためと考えられる。すなわち、一部の酸二無水物モノマーの酸無水物基が水分によって加水分解してカルボキシル基になり、高分子量化することなく低分子の状態で残存することによると考えられる。従って、上記の重縮合反応に使用する溶媒の水分量は少ないほど好ましい。溶媒の水分量は、3,000質量ppm以下とすることが好ましく、1,000質量ppm以下とすることがより好ましい。同様に、原料に含まれる水分量についても、3,000質量ppm以下とすることが好ましく、1,000質量ppm以下とすることがより好ましい。   The water content in the solvent is preferably, for example, 3,000 mass ppm or less in order to allow the polycondensation reaction to proceed well. In the resin composition in this embodiment, the content of molecules having a molecular weight of less than 1,000 is preferably less than 5% by mass. The presence of molecules having a molecular weight of less than 1,000 in the resin composition is considered to be related to the water content of the solvent and the raw materials (acid dianhydride, diamine) used during the synthesis. That is, it is considered that the acid anhydride group of a part of the acid dianhydride monomer is hydrolyzed by water to become a carboxyl group and remains in a low molecular state without increasing the molecular weight. Therefore, the smaller the water content of the solvent used in the polycondensation reaction, the more preferable. The water content of the solvent is preferably 3,000 mass ppm or less, and more preferably 1,000 mass ppm or less. Similarly, the amount of water contained in the raw material is preferably 3,000 mass ppm or less, more preferably 1,000 mass ppm or less.

溶媒の水分量は、使用する溶媒のグレード(脱水グレード、汎用グレード等)、溶媒容器(ビン、18L缶、キャニスター缶等)、溶媒の保管状態(希ガス封入の有無等)、開封から使用までの時間(開封後すぐ使用するか、開封後経時した後に使用するか等)等が関与すると考えられる。合成前の反応器の希ガス置換、合成中の希ガス流通の有無等も関与すると考えられる。従って、ポリイミド前駆体の合成時には、原料として高純度品を用い、水分量の少ない溶媒を用いるとともに、反応前および反応中に系内に環境からの水分が混入しないような措置を講ずることが推奨される。   The water content of the solvent is the grade of the solvent used (dehydration grade, general-purpose grade, etc.), solvent container (bottle, 18 L can, canister can, etc.), storage state of the solvent (presence or absence of rare gas, etc.), from opening to use It is considered that the time (such as whether to use immediately after opening or after a lapse of time after opening) is involved. It is considered that the replacement of the rare gas in the reactor before the synthesis, the presence or absence of circulation of the rare gas during the synthesis, etc. are also involved. Therefore, when synthesizing the polyimide precursor, it is recommended to use a high-purity material as a raw material, use a solvent with a low water content, and take measures to prevent water from entering the system before and during the reaction. To be done.

溶媒中に各重縮合成分を溶解させるときには、必要に応じて加熱してもよい。重合度の高いポリイミド前駆体を得る観点から、ポリイミド前駆体合成時の反応温度としては、好ましくは0℃〜120℃、40℃〜100℃、又は60〜100℃であってよく、重合時間としては、好ましくは1〜100時間、又は2〜10時間であってよい。重合時間を1時間以上とすることによって均一な重合度のポリイミド前駆体となり、100時間以下とすることによって重合度の高いポリイミド前駆体を得ることができる。   When each polycondensation component is dissolved in the solvent, it may be heated if necessary. From the viewpoint of obtaining a polyimide precursor having a high degree of polymerization, the reaction temperature during the synthesis of the polyimide precursor may be preferably 0 ° C to 120 ° C, 40 ° C to 100 ° C, or 60 to 100 ° C, and the polymerization time is May preferably be 1 to 100 hours, or 2 to 10 hours. By setting the polymerization time to 1 hour or more, a polyimide precursor having a uniform polymerization degree can be obtained, and by setting the polymerization time to 100 hours or less, a polyimide precursor having a high polymerization degree can be obtained.

本実施形態の樹脂組成物は、本実施形態におけるポリイミド前駆体以外に、他の追加のポリイミド前駆体を含んでもよい。しかしながら、追加のポリイミド前駆体の質量割合は、ポリイミドフィルムのYI値及び全光線透過率の酸素依存性を低減する観点から、樹脂組成物中のポリイミド前駆体の総量に対して、好ましくは30質量%以下、更に好ましくは10質量%以下である。   The resin composition of this embodiment may include other additional polyimide precursors in addition to the polyimide precursor of this embodiment. However, the mass ratio of the additional polyimide precursor is preferably 30 mass with respect to the total amount of the polyimide precursor in the resin composition from the viewpoint of reducing the oxygen dependency of the YI value and the total light transmittance of the polyimide film. % Or less, more preferably 10% by mass or less.

本実施形態におけるポリイミド前駆体は、その一部がイミド化されていてもよい(部分イミド化)。ポリイミド前駆体を部分イミド化することにより、樹脂組成物を保存する際の粘度安定性を向上できる。この場合のイミド化率は、樹脂組成物中のポリイミド前駆体の溶解性と溶液の保存安定性とのバランスをとる観点から、好ましくは5%以上、より好ましくは8%以上であり、好ましくは80%以下、より好ましくは70%以下、更に好ましくは50%以下である。この部分イミド化は、ポリイミド前駆体を加熱して脱水閉環することにより得られる。この加熱は、好ましくは120〜200℃、より好ましくは150〜180℃の温度において、好ましくは15分〜20時間、より好ましくは30分〜10時間行うことができる。   A part of the polyimide precursor in the present embodiment may be imidized (partial imidization). By partially imidizing the polyimide precursor, the viscosity stability during storage of the resin composition can be improved. The imidization ratio in this case is preferably 5% or more, more preferably 8% or more, and preferably from the viewpoint of balancing the solubility of the polyimide precursor in the resin composition and the storage stability of the solution. It is 80% or less, more preferably 70% or less, and further preferably 50% or less. This partial imidization is obtained by heating the polyimide precursor to perform dehydration ring closure. This heating can be carried out at a temperature of preferably 120 to 200 ° C, more preferably 150 to 180 ° C, preferably 15 minutes to 20 hours, more preferably 30 minutes to 10 hours.

上述の反応によって得られたポリアミド酸に、N,N−ジメチルホルムアミドジメチルアセタール又はN,N−ジメチルホルムアミドジエチルアセタールを加えて加熱することでカルボン酸の一部又は全部をエステル化したものを、本実施形態のポリイミド前駆体として用いてもよい。エステル化によって、保存時の粘度安定性を向上することができる。これらエステル変性ポリアミド酸は、上述の酸二無水物成分を、酸無水物基に対して1当量の1価のアルコール、及び塩化チオニル、ジシクロヘキシルカルボジイミド等の脱水縮合剤と順次に反応させた後、ジアミン成分と縮合反応させる方法によっても得ることができる。   To the polyamic acid obtained by the above reaction, N, N-dimethylformamide dimethyl acetal or N, N-dimethylformamide diethyl acetal is added and heated to esterify a part or all of the carboxylic acid. You may use as a polyimide precursor of embodiment. Esterification can improve the viscosity stability during storage. These ester-modified polyamic acids are obtained by sequentially reacting the above-mentioned acid dianhydride component with 1 equivalent of a monohydric alcohol based on an acid anhydride group, and a dehydration condensing agent such as thionyl chloride or dicyclohexylcarbodiimide. It can also be obtained by a method of causing a condensation reaction with a diamine component.

〈樹脂組成物の調整〉
ポリイミド前駆体を合成した際に用いた溶媒と、樹脂組成物に含有させる溶媒とが同一の場合には、合成したポリイミド前駆体溶液をそのまま樹脂組成物として使用することができる。必要に応じて、室温(25℃)〜80℃の温度範囲で、ポリイミド前駆体に更なる溶媒及び追加の成分の1種以上を添加して、攪拌混合することにより、樹脂組成物を調整してもよい。この攪拌混合は、撹拌翼を備えたスリーワンモータ(新東化学株式会社製)、自転公転ミキサー等の適宜の装置を用いて行うことができる。必要に応じて樹脂組成物を40℃〜100℃に加熱してもよい。
<Preparation of resin composition>
When the solvent used when synthesizing the polyimide precursor is the same as the solvent contained in the resin composition, the synthesized polyimide precursor solution can be used as it is as the resin composition. If necessary, in the temperature range of room temperature (25 ° C.) to 80 ° C., one or more additional solvents and additional components are added to the polyimide precursor, and the mixture is stirred and mixed to adjust the resin composition. May be. This stirring and mixing can be performed using an appropriate device such as a three-one motor (manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd.) equipped with a stirring blade and a rotation / revolution mixer. You may heat a resin composition to 40 degreeC-100 degreeC as needed.

他方、ポリイミド前駆体を合成した際に用いた溶媒と、樹脂組成物に含有させる溶媒とが異なる場合には、合成したポリイミド前駆体溶液中の溶媒を、例えば再沈殿、溶媒留去等の適宜の方法により除去してポリイミド前駆体を単離してもよい。次いで、室温(25℃)〜80℃の温度範囲で、単離したポリイミド前駆体に、所望の溶媒及び必要に応じて追加の成分を添加して、攪拌混合することにより、樹脂組成物を調製してもよい。   On the other hand, when the solvent used when synthesizing the polyimide precursor and the solvent to be contained in the resin composition are different, the solvent in the synthesized polyimide precursor solution, for example, reprecipitation, solvent evaporation and the like appropriately The polyimide precursor may be isolated by removing the polyimide precursor by the above method. Then, in a temperature range of room temperature (25 ° C.) to 80 ° C., a desired solvent and, if necessary, additional components are added to the isolated polyimide precursor, and mixed by stirring to prepare a resin composition. You may.

上述のように樹脂組成物を調製した後、樹脂組成物を、例えば130〜200℃で、例えば5分〜2時間加熱することにより、ポリマーが析出を起こさない程度にポリイミド前駆体の一部を脱水イミド化してもよい(部分イミド化)。加熱温度及び加熱時間をコントロールすることにより、イミド化率を制御することができる。ポリイミド前駆体を部分イミド化することにより、樹脂組成物を保存する際の粘度安定性を向上することができる。   After preparing the resin composition as described above, by heating the resin composition at, for example, 130 to 200 ° C. for, for example, 5 minutes to 2 hours, a part of the polyimide precursor is polymerized to such an extent that precipitation does not occur in the polymer. It may be dehydrated and imidized (partial imidization). The imidation ratio can be controlled by controlling the heating temperature and the heating time. By partially imidizing the polyimide precursor, the viscosity stability during storage of the resin composition can be improved.

樹脂組成物の溶液粘度は、スリットコート性能の観点においては、好ましくは500〜100,000mPa・s、より好ましくは1,000〜50,000mPa・s、更に好ましくは3,000〜20,000mPa・sである。具体的には、スリットノズルから液漏れしにくい点で、好ましくは500mPa・s以上、より好ましくは1,000mPa・s以上、更に好ましくは3,000mPa・s以上である。スリットノズルが目詰まりしにくい点で、好ましくは100,000mPa・s以下、より好ましくは50,000mPa・s以下、更に好ましくは20,000mPa・s以下である。   From the viewpoint of slit coat performance, the solution viscosity of the resin composition is preferably 500 to 100,000 mPa · s, more preferably 1,000 to 50,000 mPa · s, and further preferably 3,000 to 20,000 mPa · s. s. Specifically, it is preferably 500 mPa · s or more, more preferably 1,000 mPa · s or more, still more preferably 3,000 mPa · s or more, from the viewpoint of preventing liquid leakage from the slit nozzle. It is preferably 100,000 mPa · s or less, more preferably 50,000 mPa · s or less, still more preferably 20,000 mPa · s or less, from the viewpoint that the slit nozzle is less likely to be clogged.

ポリイミド前駆体合成時における樹脂組成物の溶液粘度については、200,000mPa・sより高いと、合成時の撹拌が困難になるという問題が生じるおそれがある。ただし、合成する際に溶液が高粘度になったとしても、反応終了後に溶媒を添加して撹拌することにより、取扱い性のよい粘度の樹脂組成物を得ることが可能である。本実施形態における樹脂組成物の溶液粘度は、E型粘度計(例えばVISCONICEHD、東機産業製)を用い、23℃で測定される値である。   If the solution viscosity of the resin composition at the time of synthesizing the polyimide precursor is higher than 200,000 mPa · s, a problem that stirring at the time of synthesis becomes difficult may occur. However, even if the solution has a high viscosity during the synthesis, it is possible to obtain a resin composition having a viscosity that is easy to handle by adding a solvent and stirring after the completion of the reaction. The solution viscosity of the resin composition in the present embodiment is a value measured at 23 ° C. using an E-type viscometer (for example, VISCONICE HD, manufactured by Toki Sangyo).

本実施形態の樹脂組成物の水分量は、樹脂組成物を保存する際の粘度安定性の観点から、好ましくは3,000質量ppm以下、より好ましくは2,500質量ppm以下、更に好ましくは2,000質量ppm以下、より更に好ましくは1,500質量ppm以下、特に好ましくは1,000質量ppm以下、特に好ましくは500質量ppm以下、特に好ましくは300質量ppm以下、特に好ましくは100質量ppm以下である。   The water content of the resin composition of the present embodiment is preferably 3,000 mass ppm or less, more preferably 2,500 mass ppm or less, and further preferably 2 from the viewpoint of viscosity stability when the resin composition is stored. 1,000 mass ppm or less, more preferably 1,500 mass ppm or less, particularly preferably 1,000 mass ppm or less, particularly preferably 500 mass ppm or less, particularly preferably 300 mass ppm or less, particularly preferably 100 mass ppm or less. Is.

《ポリイミドフィルム及びその製造方法》
本実施形態の樹脂組成物を用いて、ポリイミドフィルム(以下、ポリイミド樹脂膜ともいう)を提供することができる。本実施形態のポリイミドフィルムの製造方法は、支持体の表面上に、本実施形態の樹脂組成物を塗布する塗布工程と;上記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と;上記ポリイミド樹脂膜を上記支持体から剥離する剥離工程とを含む。
<< Polyimide film and its manufacturing method >>
A polyimide film (hereinafter, also referred to as a polyimide resin film) can be provided by using the resin composition of this embodiment. The method for producing a polyimide film of the present embodiment comprises a coating step of applying the resin composition of the present embodiment on the surface of a support; and a film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film. A peeling step of peeling the polyimide resin film from the support.

〈塗布工程〉
塗布工程では、支持体の表面上に本実施形態の樹脂組成物を塗布する。支持体は、その後の膜形成工程(加熱工程)における加熱温度に対する耐熱性を有し、かつ剥離工程における剥離性が良好であれば特に限定されない。支持体としては、例えば、ガラス基板、例えば無アルカリガラス基板;シリコンウェハー;PET(ポリエチレンテレフタレート)、OPP(延伸ポリプロピレン)、ポリエチレングリコールテレフタレート、ポリエチレングリコールナフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルホン、ポリフェニレンスルフィド等の樹脂基板;ステンレス、アルミナ、銅、ニッケル等の金属基板等が挙げられる。
<Coating process>
In the coating step, the resin composition of the present embodiment is coated on the surface of the support. The support is not particularly limited as long as it has heat resistance against the heating temperature in the subsequent film forming step (heating step) and has good releasability in the peeling step. Examples of the support include a glass substrate, for example, a non-alkali glass substrate; a silicon wafer; PET (polyethylene terephthalate), OPP (stretched polypropylene), polyethylene glycol terephthalate, polyethylene glycol naphthalate, polycarbonate, polyimide, polyamideimide, polyetherimide. Resin substrates such as polyether ether ketone, polyether sulfone, polyphenylene sulfone, and polyphenylene sulfide; metal substrates such as stainless steel, alumina, copper, and nickel.

薄膜状のポリイミド成形体を形成する場合には、例えば、ガラス基板、シリコンウェハー等が好ましく、厚膜状のフィルム状又はシート状のポリイミド成形体を形成する場合には、例えばPET(ポリエチレンテレフタラート)、OPP(延伸ポリプロピレン)等からなる支持体が好ましい。   When forming a thin film-shaped polyimide molded body, for example, a glass substrate, a silicon wafer or the like is preferable, and when forming a thick film-shaped or sheet-shaped polyimide molded body, for example, PET (polyethylene terephthalate) is used. ), OPP (oriented polypropylene) and the like are preferable.

塗布方法としては、一般には、ドクターブレードナイフコーター、エアナイフコーター、ロールコーター、ロータリーコーター、フローコーター、ダイコーター、バーコーター等の塗布方法、スピンコート、スプレイコート、ディップコート等の塗布方法;スクリーン印刷及びグラビア印刷等に代表される印刷技術等が挙げられる。本実施形態の樹脂組成物には、スリットコートによる塗布が好ましい。塗布厚は、所望の樹脂フィルムの厚さと樹脂組成物中のポリイミド前駆体の含有量に応じて適宜調整するべきであるが、好ましくは1〜1,000μm程度である。塗布工程における温度は室温でもよく、粘度を下げて作業性をよくするために、樹脂組成物を例えば40〜80℃に加温してもよい。   As a coating method, generally, a doctor blade knife coater, an air knife coater, a roll coater, a rotary coater, a flow coater, a die coater, a bar coater or the like, a spin coat, a spray coat, a dip coat or the like; a screen printing method. And printing techniques typified by gravure printing and the like. The resin composition of the present embodiment is preferably applied by slit coating. The coating thickness should be appropriately adjusted according to the desired thickness of the resin film and the content of the polyimide precursor in the resin composition, but is preferably about 1 to 1,000 μm. The temperature in the coating step may be room temperature, and the resin composition may be heated to, for example, 40 to 80 ° C. in order to reduce the viscosity and improve workability.

〈任意の乾燥工程〉
塗布工程に続いて乾燥工程を行ってもよく、又は乾燥工程を省略して直接次の膜形成工程(加熱工程)に進んでもよい。乾燥工程は、樹脂組成物中の有機溶剤除去の目的で行われる。乾燥工程を行う場合、例えば、ホットプレート、箱型乾燥機、コンベヤー型乾燥機等の適宜の装置を使用することができる。乾燥工程の温度は、好ましくは80〜200℃、より好ましくは100〜150℃である。乾燥工程の実施時間は、好ましくは1分〜10時間、より好ましくは3分〜1時間である。上記のようにして、支持体上にポリイミド前駆体を含有する塗膜が形成される。
<Any drying process>
A drying step may be performed after the coating step, or the drying step may be omitted and the process may directly proceed to the next film forming step (heating step). The drying step is performed for the purpose of removing the organic solvent in the resin composition. When carrying out the drying step, an appropriate device such as a hot plate, a box-type dryer, a conveyor-type dryer or the like can be used. The temperature of the drying step is preferably 80 to 200 ° C, more preferably 100 to 150 ° C. The time for carrying out the drying step is preferably 1 minute to 10 hours, more preferably 3 minutes to 1 hour. As described above, the coating film containing the polyimide precursor is formed on the support.

〈膜形成工程〉
続いて、膜形成工程(加熱工程)を行う。加熱工程は、上記の塗膜中に含まれる有機溶剤の除去を行うとともに、塗膜中のポリイミド前駆体のイミド化反応を進行させ、ポリイミド樹脂膜を得る工程である。この加熱工程は、例えば、イナートガスオーブン、ホットプレート、箱型乾燥機、コンベヤー型乾燥機等の装置を用いて行うことができる。この工程は乾燥工程と同時に行っても、両工程を逐次的に行ってもよい。
<Film forming process>
Then, a film forming process (heating process) is performed. The heating step is a step of removing the organic solvent contained in the coating film and advancing the imidization reaction of the polyimide precursor in the coating film to obtain a polyimide resin film. This heating step can be performed using an apparatus such as an inert gas oven, a hot plate, a box dryer, a conveyor dryer, or the like. This step may be performed simultaneously with the drying step, or both steps may be sequentially performed.

加熱工程は、空気雰囲気下で行ってもよいが、安全性と、得られるポリイミドフィルムの良好な透明性、低い厚み方向レタデーション(Rth)及び低いYI値を得る観点から、不活性ガス雰囲気下で行うことが好ましい。不活性ガスとしては、例えば、窒素、アルゴン等が挙げられる。加熱温度は、ポリイミド前駆体の種類、及び樹脂組成物中の溶媒の種類に応じて適宜に設定されてよいが、好ましくは250℃〜550℃、より好ましくは300〜450℃である。250℃以上であればイミド化が良好に進行し、550℃以下であれば得られるポリイミドフィルムの透明性の低下、耐熱性の悪化等の不都合を回避できる。加熱時間は、好ましくは0.1〜10時間程度である。   The heating step may be performed in an air atmosphere, but from the viewpoint of obtaining safety and good transparency of the polyimide film to be obtained, low thickness direction retardation (Rth) and low YI value, an inert gas atmosphere is used. It is preferable to carry out. Examples of the inert gas include nitrogen and argon. The heating temperature may be appropriately set depending on the type of polyimide precursor and the type of solvent in the resin composition, but is preferably 250 ° C to 550 ° C, more preferably 300 to 450 ° C. If the temperature is 250 ° C. or higher, imidization proceeds well, and if the temperature is 550 ° C. or lower, inconveniences such as deterioration of transparency and deterioration of heat resistance of the obtained polyimide film can be avoided. The heating time is preferably about 0.1 to 10 hours.

本実施形態では、上記の加熱工程における周囲雰囲気の酸素濃度は、得られるポリイミドフィルムの透明性及びYI値の観点から、好ましくは2,000質量ppm以下、より好ましくは100質量ppm以下、更に好ましくは10質量ppm以下である。酸素濃度が2,000質量ppm以下の雰囲気中で加熱を行うことにより、得られるポリイミドフィルムのYI値を30以下にすることができる。   In the present embodiment, the oxygen concentration of the ambient atmosphere in the heating step is preferably 2,000 mass ppm or less, more preferably 100 mass ppm or less, further preferably from the viewpoint of the transparency and YI value of the obtained polyimide film. Is 10 mass ppm or less. By heating in an atmosphere having an oxygen concentration of 2,000 mass ppm or less, the YI value of the obtained polyimide film can be set to 30 or less.

〈剥離工程〉
剥離工程では、支持体上のポリイミド樹脂膜を、例えば室温(25℃)〜50℃程度まで冷却した後に剥離する。この剥離工程としては、例えば下記の(1)〜(4)の態様が挙げられる。
<Peeling process>
In the peeling step, the polyimide resin film on the support is peeled after being cooled to, for example, room temperature (25 ° C.) to 50 ° C. Examples of this peeling step include the following aspects (1) to (4).

(1)上記の方法によりポリイミド樹脂膜/支持体を含む構成体を作製した後、構造体の支持体側からレーザーを照射して、支持体とポリイミド樹脂膜との界面をアブレーション加工することにより、ポリイミド樹脂を剥離する方法。レーザーの種類としては、固体(YAG)レーザー、ガス(UVエキシマー)レーザー等が挙げられる。波長308nm等のスペクトルを用いることが好ましい(特表2007−512568号公報、特表2012−511173号公報等を参照)。
(2)支持体に樹脂組成物を塗工する前に、支持体に剥離層を形成し、その後ポリイミド樹脂膜/剥離層/支持体を含む構成体を得て、ポリイミド樹脂膜を剥離する方法。剥離層としては、パリレン(登録商標、日本パリレン合同会社製)、酸化タングステンが挙げられ;植物油系、シリコーン系、フッ素系、アルキッド系等の離型剤を用いてもよい(特開2010−067957号公報、特開2013−179306号公報等を参照)。
この方法(2)と方法(1)のレーザー照射とを併用してもよい。
(1) After the structure including the polyimide resin film / support is manufactured by the above method, laser is irradiated from the support side of the structure to ablate the interface between the support and the polyimide resin film, Method of peeling polyimide resin. Examples of the type of laser include a solid (YAG) laser and a gas (UV excimer) laser. It is preferable to use a spectrum having a wavelength of 308 nm or the like (see Japanese Patent Publication No. 2007-512568 and Japanese Patent Publication No. 2012-511173).
(2) A method of forming a release layer on the support before applying the resin composition to the support, and then obtaining a composition including a polyimide resin film / a release layer / support to remove the polyimide resin film. .. Examples of the release layer include Parylene (registered trademark, manufactured by Japan Parylene Godo Kaisha) and tungsten oxide; vegetable oil-based, silicone-based, fluorine-based, alkyd-based release agents and the like may be used (JP 2010-067957 A). Japanese Patent Laid-Open No. 2013-179306, etc.).
This method (2) and the laser irradiation of method (1) may be used in combination.

(3)支持体としてエッチング可能な金属基板を用いて、ポリイミド樹脂膜/支持体を含む構成体を得た後、エッチャントで金属をエッチングすることにより、ポリイミド樹脂フィルムを得る方法。金属としては、例えば、銅(具体例としては、三井金属鉱業株式会社製の電解銅箔「DFF」)、アルミニウム等を使用することができる。エッチャントとしては、銅に対しては塩化第二鉄等を、アルミニウムに対しては希塩酸等を使用することができる。
(4)上記方法によりポリイミド樹脂膜/支持体を含む構成体を得た後、ポリイミド樹脂膜表面に粘着フィルムを貼り付けて、支持体から粘着フィルム/ポリイミド樹脂膜を分離し、その後粘着フィルムからポリイミド樹脂膜を分離する方法。
(3) A method of obtaining a polyimide resin film by using a metal substrate that can be etched as a support to obtain a structure containing a polyimide resin film / support and then etching the metal with an etchant. As the metal, for example, copper (specifically, electrolytic copper foil “DFF” manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.), aluminum or the like can be used. As the etchant, ferric chloride or the like can be used for copper and dilute hydrochloric acid or the like can be used for aluminum.
(4) After obtaining a structure containing a polyimide resin film / support by the above method, an adhesive film is attached to the surface of the polyimide resin film to separate the adhesive film / polyimide resin film from the support, and then from the adhesive film. Method for separating polyimide resin film.

これらの剥離方法の中でも、得られるポリイミド樹脂フィルムの表裏の屈折率差、YI値及び伸度の観点から、方法(1)又は(2)が好ましい。得られるポリイミド樹脂フィルムの表裏の屈折率差の観点から方法(1)、すなわち、剥離工程に先立って、支持体側からレ−ザ−を照射する照射工程を行うことがより好ましい。なお、方法(3)において、支持体として銅を用いた場合は、得られるポリイミド樹脂フィルムのYI値が大きくなり、伸度が小さくなる傾向が見られる。これは、銅イオンの影響であると考えられる。   Among these peeling methods, the method (1) or (2) is preferable from the viewpoint of the difference in refractive index between the front and back of the obtained polyimide resin film, the YI value, and the elongation. From the viewpoint of the refractive index difference between the front and back of the obtained polyimide resin film, it is more preferable to perform the irradiation step of irradiating the laser from the support side prior to the peeling step (1). In the method (3), when copper is used as the support, the obtained polyimide resin film tends to have a large YI value and a small elongation. This is considered to be the effect of copper ions.

得られるポリイミドフィルムの厚さは、限定されないが、好ましくは1〜200μm、より好ましくは5〜100μmである。   The thickness of the obtained polyimide film is not limited, but is preferably 1 to 200 μm, more preferably 5 to 100 μm.

〈黄色度(YI値)〉
本実施形態の樹脂組成物から得られるポリイミドフィルムの、膜厚10μmにおけるYI値は、良好な光学特性を得る観点で、好ましくは20以下、より好ましくは18以下、更に好ましくは16以下、特に好ましくは14以下、特に好ましくは13以下、特に好ましくは10以下、特に好ましくは7以下である。YI値は、ポリイミド前駆体のモノマー骨格によって異なるが、同一のモノマー骨格であれば、ポリイミド前駆体の重量平均分子量が大きいほどYI値が小さい傾向がある。
<Yellowness (YI value)>
The YI value at a film thickness of 10 μm of the polyimide film obtained from the resin composition of the present embodiment is preferably 20 or less, more preferably 18 or less, still more preferably 16 or less, particularly preferably from the viewpoint of obtaining good optical characteristics. Is 14 or less, particularly preferably 13 or less, particularly preferably 10 or less, particularly preferably 7 or less. The YI value varies depending on the monomer skeleton of the polyimide precursor, but if the monomer skeleton is the same, the YI value tends to decrease as the weight average molecular weight of the polyimide precursor increases.

YI値は、例えば使用するケイ素含有化合物のアミン価に影響され、アミン価が高いとYI値は大きく、アミン価が小さいとYI値も小さくなる傾向にある。しかしながら、精製したケイ素含有化合物を用いた、すなわち一般式(3)で表される化合物の総量が上記の範囲内であるポリイミド前駆体は、同じアミン価を有する精製していないケイ素含有化合物を用いたポリイミド前駆体に比べて、得られるポリイミド樹脂膜のYI値が低い傾向にある。このメカニズムについては未だ明らかではないが、発明者らは以下のように推定している。すなわち、従来の精製方法では、ポリイミド前駆体の製造に用いた、環状ではない低分子量のジアミンが残存し、ポリイミド硬化時に分解してラジカルを発生し、YI値を増大させる(悪化させる)原因になりうる。一般式(3)で表される環状シロキサンの量を少なくすることにより、精製時に一般式(3)で表される環状シロキサンだけが除去されるわけではなく、アミン価を増大させるジアミン成分のうち、比較的揮発しやすい低分子量のジアミンも除去されると考えられる。したがって、本実施形態に従い一般式(3)で表される化合物の総量が低減されたポリイミド前駆体は、ポリイミド樹脂膜のYI値がより改善されると推定される。従来の精製方法では、環状ではない低分子量のジアミンを低減することが難しいため、たとえ精製を行ったとしても、ポリイミド樹脂膜のYI値の改善の程度が本実施形態に比べて小さいと考えられる。   The YI value is influenced by, for example, the amine value of the silicon-containing compound used. When the amine value is high, the YI value is large, and when the amine value is small, the YI value tends to be small. However, a polyimide precursor using a purified silicon-containing compound, that is, a polyimide precursor in which the total amount of the compounds represented by the general formula (3) is within the above range, uses an unpurified silicon-containing compound having the same amine value. The YI value of the obtained polyimide resin film tends to be lower than that of the conventional polyimide precursor. Although this mechanism is not yet clear, the present inventors presume as follows. That is, in the conventional purification method, the non-cyclic low molecular weight diamine used in the production of the polyimide precursor remains, decomposes during polyimide curing to generate radicals, and causes a YI value increase (deterioration). Can be. By reducing the amount of the cyclic siloxane represented by the general formula (3), not only the cyclic siloxane represented by the general formula (3) is removed at the time of purification, but also among diamine components that increase the amine value. It is considered that low molecular weight diamine, which is relatively volatile, is also removed. Therefore, it is estimated that the YI value of the polyimide resin film is further improved in the polyimide precursor in which the total amount of the compound represented by the general formula (3) is reduced according to the present embodiment. Since it is difficult to reduce the low molecular weight diamine which is not cyclic by the conventional purification method, it is considered that the degree of improvement in the YI value of the polyimide resin film is smaller than that of the present embodiment even if the purification is performed. ..

本実施形態において、精製したケイ素含有化合物を用いたポリイミド前駆体と、精製していないケイ素含有化合物を用いたポリイミド前駆体とのYI値の差は、以下の式から求められる。
(YI値の差)=(精製を行っていないケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体を硬化したポリイミド樹脂膜のYI値)−(精製を行ったケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体を硬化したポリイミド樹脂膜のYI値)
YI値の差が大きいほどYIがより改善されたことを示すため好ましい。本実施形態において、YI値の差は、好ましくは1.5以上、より好ましくは2以上、更に好ましくは2.5以上である。YI値の測定方法は、実施例の欄を参照されたい。
In the present embodiment, the difference in YI value between the polyimide precursor using the purified silicon-containing compound and the polyimide precursor using the non-purified silicon-containing compound is obtained from the following formula.
(Difference in YI value) = (YI value of polyimide resin film obtained by curing polyimide precursor obtained by using unpurified silicon compound)-(Polyimide precursor obtained by using purified silicon compound) (YI value of cured polyimide resin film)
The larger the difference in YI value, the better the YI is, which is preferable. In the present embodiment, the difference in YI value is preferably 1.5 or more, more preferably 2 or more, still more preferably 2.5 or more. For the method of measuring the YI value, see the section of Examples.

《ポリイミドフィルムの用途》
本実施形態の樹脂組成物から得られるポリイミドフィルムは、例えば、半導体絶縁膜、薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ(TFT−LCD)絶縁膜、電極保護膜として、また、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ、電子ペーパー等の表示装置の透明基板等として適用できる。特に、本実施形態の樹脂組成物から得られるポリイミドフィルムは、フレキシブルデバイスの製造において、薄膜トランジスタ(TFT)基板、カラーフィルタ基板、タッチパネル基板、透明導電膜(ITO、Indium Thin Oxide)の基板として好適に使用することができる。本実施形態におけるポリイミドフィルムを適用可能なフレキシブルデバイスとしては、例えば、フレキシブルディスプレイ用TFTデバイス、フレキシブル太陽電池、フレキシブルタッチパネル、フレキシブル照明、フレキシブルバッテリー、フレキシブルプリント基板、フレキシブルカラーフィルター、スマートフォン向け表面カバーレンズ等を挙げることができる。
<< Use of polyimide film >>
The polyimide film obtained from the resin composition of the present embodiment is, for example, a semiconductor insulating film, a thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD) insulating film, an electrode protective film, a liquid crystal display, an organic electroluminescent display, a field emission display, It can be applied as a transparent substrate of a display device such as electronic paper. In particular, the polyimide film obtained from the resin composition of the present embodiment is suitable as a substrate of a thin film transistor (TFT) substrate, a color filter substrate, a touch panel substrate, a transparent conductive film (ITO, Indium Thin Oxide) in the production of flexible devices. Can be used. Examples of the flexible device to which the polyimide film according to the present embodiment can be applied include TFT devices for flexible displays, flexible solar cells, flexible touch panels, flexible lighting, flexible batteries, flexible printed boards, flexible color filters, surface cover lenses for smartphones, and the like. Can be mentioned.

ポリイミドフィルムを使ったフレキシブル基板上にTFTを形成する工程は、典型的には、150〜650℃の広い範囲の温度で実施される。具体的にはアモルファスシリコンを使用したTFTデバイスを作製する場合には、一般的に250℃〜350℃のプロセス温度が必要となり、本実施形態のポリイミドフィルムはその温度に耐えうる必要があるため、具体的にはプロセス温度以上のガラス転移温度、熱分解開始温度を有するポリマー構造を適宜選択する必要がある。   The process of forming a TFT on a flexible substrate using a polyimide film is typically performed at a wide temperature range of 150 to 650 ° C. Specifically, when manufacturing a TFT device using amorphous silicon, a process temperature of 250 ° C. to 350 ° C. is generally required, and the polyimide film of the present embodiment needs to be able to withstand that temperature. Specifically, it is necessary to appropriately select a polymer structure having a glass transition temperature above the process temperature and a thermal decomposition initiation temperature.

金属酸化物半導体(IGZO等)を使用したTFTデバイスを作製する場合には、一般的に320℃〜400℃のプロセス温度が必要となり、本実施形態のポリイミドフィルムはその温度に耐えうる必要があるため、TFT作製プロセス最高温度以上のガラス転移温度、熱分解開始温度を有するポリマー構造を適宜選択する必要がある。   When manufacturing a TFT device using a metal oxide semiconductor (IGZO or the like), a process temperature of 320 ° C. to 400 ° C. is generally required, and the polyimide film of this embodiment needs to be able to withstand the temperature. Therefore, it is necessary to appropriately select a polymer structure having a glass transition temperature and a thermal decomposition initiation temperature which are higher than the maximum temperature of the TFT manufacturing process.

低温ポリシリコン(LTPS)を使用したTFTデバイスを作製する場合には、一般的に380℃〜520℃のプロセス温度が必要となり、本実施形態のポリイミドフィルムはその温度に耐えうる必要があるため、TFT作製プロセス最高温度以上のガラス転移温度、熱分解開始温度を適宜選択有する必要がある。
一方で、これら熱履歴により、ポリイミドフィルムの光学特性(特に、光線透過率、レタデーション特性及びYI値)は高温プロセスにさらされるほどに低下する傾向にある。しかし、本実施形態のポリイミド前駆体から得られるポリイミドは、熱履歴を経ても良好な光学特性を有する。
When manufacturing a TFT device using low temperature polysilicon (LTPS), a process temperature of 380 ° C. to 520 ° C. is generally required, and the polyimide film of this embodiment needs to be able to withstand that temperature. It is necessary to properly select the glass transition temperature and the thermal decomposition starting temperature which are higher than the maximum temperature of the TFT manufacturing process.
On the other hand, due to these thermal histories, the optical properties of the polyimide film (particularly, the light transmittance, retardation property and YI value) tend to decrease as it is exposed to a high temperature process. However, the polyimide obtained from the polyimide precursor of this embodiment has good optical characteristics even after undergoing thermal history.

以下に、本実施形態のポリイミドフィルムの用途例として、ディスプレイ及び積層体の製造方法について説明する。   Hereinafter, a method for manufacturing a display and a laminate will be described as an application example of the polyimide film of the present embodiment.

〈ディスプレイの製造方法〉
本実施形態のディスプレイの製造方法は、支持体の表面上に、本実施形態の樹脂組成物を塗布する塗布工程と;上記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と;上記ポリイミド樹脂膜上に素子を形成する素子形成工程と;上記素子が形成された上記ポリイミド樹脂膜を上記支持体から剥離する剥離工程とを含む。
<Display manufacturing method>
The display manufacturing method of the present embodiment includes a coating step of applying the resin composition of the present embodiment on the surface of a support; a film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film; An element forming step of forming an element on the polyimide resin film; and a peeling step of peeling the polyimide resin film having the element formed thereon from the support.

フレキシブル有機ELディスプレイの製造例
図1は、本実施形態のディスプレイの例として、トップエミッション型フレキシブル有機ELディスプレイのポリイミド基板より上部の構造を示す模式図である。図1の有機EL構造部25について説明する。例えば、赤色光を発光する有機EL素子250aと、緑色光を発光する有機EL素子250bと、青色光を発光する有機EL素子250cと1単位として、マトリクス状に配列されており、隔壁(バンク)251により、各有機EL素子の発光領域が画定されている。各有機EL素子は、下部電極(陽極)252、正孔輸送層253、発光層254、上部電極(陰極)255から構成されている。窒化ケイ素(SiN)や酸化ケイ素(SiO)からなるCVD複層膜(マルチバリヤーレイヤー)を示す下部層2a上には、有機EL素子を駆動するためのTFT256(低温ポリシリコン(LTPS)や金属酸化物半導体(IGZO等)から選択される)、コンタクトホール257を備えた層間絶縁膜258、及び下部電極259が複数設けられている。有機EL素子は封止基板2bで封入されており、各有機EL素子と封止基板2bとの間に中空部261が形成されている。
Manufacturing Example of Flexible Organic EL Display FIG. 1 is a schematic view showing a structure above a polyimide substrate of a top emission type flexible organic EL display as an example of the display of the present embodiment. The organic EL structure 25 of FIG. 1 will be described. For example, an organic EL element 250a that emits red light, an organic EL element 250b that emits green light, and an organic EL element 250c that emits blue light are arranged in a matrix as one unit, and partition walls (banks) are provided. The light emitting area of each organic EL element is defined by 251. Each organic EL element is composed of a lower electrode (anode) 252, a hole transport layer 253, a light emitting layer 254, and an upper electrode (cathode) 255. On the lower layer 2a showing the CVD multilayer film (multi-barrier layer) made of silicon nitride (SiN) or silicon oxide (SiO), the TFT 256 (low temperature polysilicon (LTPS) or metal oxide) for driving the organic EL element is formed. A plurality of semiconductors (selected from IGZO, etc.), an interlayer insulating film 258 having a contact hole 257, and a plurality of lower electrodes 259 are provided. The organic EL element is enclosed by the sealing substrate 2b, and a hollow portion 261 is formed between each organic EL element and the sealing substrate 2b.

フレキシブル有機ELディスプレイの製造工程は、ガラス基板支持体上にポリイミドフィルムを作製し、その上部に上記図1に示される有機EL基板を製造する工程と、封止基板を製造する工程と、両基板を貼り合わせる組み立て工程と、ガラス基板支持体からポリイミドフィルム上に作製された有機ELディスプレイを剥離する剥離工程とを含む。有機EL基板製造工程、封止基板製造工程、及び組み立て工程は、周知の製造工程を適用することができる。以下ではその一例を挙げるが、これに限定されるものではない。剥離工程は、上述したポリイミドフィルムの剥離工程と同一である。   The manufacturing process of the flexible organic EL display includes the steps of manufacturing a polyimide film on a glass substrate support and manufacturing the organic EL substrate shown in FIG. 1 above the polyimide film, manufacturing a sealing substrate, and both substrates. And an exfoliation step of exfoliating the organic EL display formed on the polyimide film from the glass substrate support. Well-known manufacturing processes can be applied to the organic EL substrate manufacturing process, the sealing substrate manufacturing process, and the assembly process. An example thereof will be given below, but the present invention is not limited to this. The peeling process is the same as the above-described polyimide film peeling process.

例えば、図1を参照すれば、まず、上記の方法によりガラス基板支持体上にポリイミドフィルムを作製し、その上部にCVD法やスパッタ法により窒化ケイ素(SiN)と酸化ケイ素(SiO)の複層構造からなるマルチバリアレイヤー(図1中の下部基板2a)を作製し、その上部にTFTを駆動するためのメタル配線層を、フォトレジスト等を使用して作製する。その上部にCVD法を用いてSiO等のアクティブバッファー層を作製し、その上部に金属酸化物半導体(IGZO)や低温ポリシリコン(LTPS)などのTFTデバイス(図1中のTFT256)を作製する。フレキシブルディスプレイ用TFT基板を作製後、感光性アクリル樹脂等でコンタクトホール257を備えた層間絶縁膜258を形成する。スパッタ法等にてITO膜を成膜し、TFTと対をなすように下部電極259を形成する。   For example, referring to FIG. 1, first, a polyimide film is prepared on a glass substrate support by the method described above, and a multilayer film of silicon nitride (SiN) and silicon oxide (SiO) is formed on the polyimide film by a CVD method or a sputtering method. A multi-barrier layer (lower substrate 2a in FIG. 1) having a structure is formed, and a metal wiring layer for driving the TFT is formed on the multi-barrier layer using a photoresist or the like. An active buffer layer of SiO or the like is formed on the upper portion of the same by using a CVD method, and a TFT device (TFT 256 in FIG. 1) such as a metal oxide semiconductor (IGZO) or low temperature polysilicon (LTPS) is formed on the upper portion of the active buffer layer. After manufacturing the TFT substrate for flexible display, an interlayer insulating film 258 having a contact hole 257 is formed with a photosensitive acrylic resin or the like. An ITO film is formed by a sputtering method or the like, and a lower electrode 259 is formed so as to form a pair with the TFT.

次に、感光性ポリイミド等で隔壁(バンク)251を形成した後、隔壁で区画された各空間内に、正孔輸送層253、発光層254を形成する。発光層254及び隔壁(バンク)251を覆うように上部電極(陰極)255を形成する。その後、ファインメタルマスク等をマスクにして、赤色光を発光する有機EL材料(図1中の、赤色光を発光する有機EL素子250aに対応)、緑色光を発光する有機EL材料(図1中の、緑色光を発光する有機EL素子250bに対応)及び青色光を発光する有機EL材料(図1中の、青色光を発光する有機EL素子250cに対応)を公知の方法にて蒸着することで、有機EL基板を作製する。有機EL基板を封止フィルム等(図1中の封止基板2b)で封止し、ガラス基板支持体からポリイミド基板より上部のデバイスをレーザー剥離等の公知の剥離方法で剥離することで、トップエミッション形フレキシブル有機ELディスプレイを作製することができる。本実施形態のポリイミドを使用する場合は、シースルー型のフレキシブル有機ELディスプレイを作製することができる。公知の方法でボトムエミッション形のフレキシブル有機ELディスプレイを作製してもよい。   Next, after forming partition walls (banks) 251 with photosensitive polyimide or the like, a hole transport layer 253 and a light emitting layer 254 are formed in each space partitioned by the partition walls. An upper electrode (cathode) 255 is formed so as to cover the light emitting layer 254 and the partition (bank) 251. Then, using a fine metal mask or the like as a mask, an organic EL material that emits red light (corresponding to the organic EL element 250a that emits red light in FIG. 1) and an organic EL material that emits green light (in FIG. 1) Of the organic EL element 250b that emits green light) and an organic EL material that emits blue light (corresponding to the organic EL element 250c that emits blue light in FIG. 1) are deposited by a known method. Then, an organic EL substrate is manufactured. By sealing the organic EL substrate with a sealing film or the like (sealing substrate 2b in FIG. 1) and peeling the device above the polyimide substrate from the glass substrate support by a known peeling method such as laser peeling, An emission type flexible organic EL display can be manufactured. When the polyimide of this embodiment is used, a see-through type flexible organic EL display can be manufactured. A bottom emission type flexible organic EL display may be manufactured by a known method.

フレキシブル液晶ディスプレイの製造例
本実施形態のポリイミドフィルムを使用してフレキシブル液晶ディスプレイを作製することができる。具体的な作製方法としては、上記の方法でガラス基板支持体上にポリイミドフィルムを作製し、上記の方法を用いて、例えばアモルファスシリコン、金属酸化物半導体(IGZO等)、及び低温ポリシリコンからなるTFT基板を作製する。別途、本実施形態の塗布工程及び膜形成工程に従って、ガラス基板支持体上にポリイミドフィルムを作製し、公知の方法に従ってカラーレジスト等を使用して、ポリイミドフィルムを備えたカラーフィルターガラス基板(CF基板)を作製する。TFT基板およびCF基板の一方に、スクリーン印刷により、熱硬化性エポキシ樹脂などからなるシール材料を液晶注入口の部分を欠いた枠状パターンに塗布し、他方の基板に液晶層の厚さに相当する直径を持ち、プラスチックまたはシリカからなる球状のスペーサーを散布する。
Manufacturing Example of Flexible Liquid Crystal Display A flexible liquid crystal display can be manufactured using the polyimide film of the present embodiment. As a specific manufacturing method, a polyimide film is manufactured on the glass substrate support by the above method, and is made of, for example, amorphous silicon, metal oxide semiconductor (IGZO, etc.), and low temperature polysilicon. A TFT substrate is manufactured. Separately, a polyimide film is prepared on a glass substrate support according to the coating process and the film forming process of the present embodiment, and a color filter glass substrate (CF substrate) provided with the polyimide film using a color resist or the like according to a known method. ) Is produced. One of the TFT substrate and the CF substrate is screen-printed with a sealing material such as a thermosetting epoxy resin in a frame-shaped pattern lacking the liquid crystal injection port, and the other substrate is equivalent to the thickness of the liquid crystal layer. Disperse spherical spacers of plastic or silica with a diameter of

次いで、TFT基板とCF基板とを貼り合わせ、シール材料を硬化させる。そして、TFT基板及びCF基板並びにシール材料で囲まれる空間に、減圧法により液晶材料を注入し、液晶注入口に熱硬化樹脂を塗布し、加熱によって液晶材料を封止することで液晶層を形成する。最後に、CF側のガラス基板とTFT側のガラス基板とをレーザー剥離法などでポリイミドフィルムとガラス基板の界面で剥離することで、フレキシブル液晶ディスプレイを作製することができる。   Next, the TFT substrate and the CF substrate are bonded together, and the sealing material is cured. Then, a liquid crystal material is injected into the space surrounded by the TFT substrate, the CF substrate, and the sealing material by a decompression method, a thermosetting resin is applied to the liquid crystal injection port, and the liquid crystal material is sealed by heating to form a liquid crystal layer. To do. Finally, the CF side glass substrate and the TFT side glass substrate are peeled off at the interface between the polyimide film and the glass substrate by a laser peeling method or the like, whereby a flexible liquid crystal display can be manufactured.

〈積層体の製造方法〉
本実施形態の積層体の製造方法は、支持体の表面上に、本実施形態の樹脂組成物を塗布する塗布工程と;上記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と;上記ポリイミド樹脂膜上に素子を形成する素子形成工程とを含む。
<Method of manufacturing laminated body>
The method for manufacturing a laminate of the present embodiment includes a coating step of applying the resin composition of the present embodiment on the surface of a support; a film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film. An element forming step of forming an element on the polyimide resin film.

積層体における素子としては、上記のフレキシブルデバイスの製造に例示したものが挙げられる。支持体としては、例えばガラス基板を用いることができる。塗布工程及び膜形成工程の好ましい具体的手順は、上記のポリイミドフィルムの製造方法に関して記載したものと同様である。素子形成工程においては、支持体上に形成された、フレキシブル基板としてのポリイミド樹脂膜の上に、上記の素子を形成する。その後、任意に剥離工程においてポリイミド樹脂膜及び素子を支持体から剥離してもよい。   Examples of the element in the laminated body include those exemplified in the production of the above flexible device. As the support, for example, a glass substrate can be used. Preferable specific procedures of the coating step and the film forming step are the same as those described in the above-mentioned method for producing a polyimide film. In the element forming step, the above element is formed on the polyimide resin film as a flexible substrate formed on the support. After that, the polyimide resin film and the element may be optionally peeled from the support in a peeling step.

以下、実施例及び比較例により本発明の実施形態を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例及び比較例に限定されるものではない。   Hereinafter, the embodiments of the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples and Comparative Examples.

《測定及び評価方法》
〈固形分〉
ポリイミド前駆体に用いたモノマーの総質量を樹脂組成物に含まれる固形分の質量として用いることができる。あるいは、固形分の質量は、樹脂組成物をガスクロマトグラフィー(以下GCともいう)分析をすることにより溶媒の質量を求め、樹脂組成物の質量から溶媒の質量を差し引くことから求めることができる。
GCの条件としては、下記の条件が挙げられる。
装置:ガスクロマトグラフ(アジレント社製、ガスクロマトグラフ6890N型)
注入口温度:280℃
注入量:1μL
オーブン温度:50℃で1分ホールド後、昇温速度20℃/分で350℃まで昇温し、350℃で5分ホールドする。
キャリアガス:He、1.0ml/min
カラム:SGE社製、BPX5(0.25mmφ×30m、膜厚0.25μm)
スプリット比:50:1
検出器:水素炎イオン化型検出器
検出器温度:355℃
<< Measurement and evaluation method >>
<Solid content>
The total mass of the monomers used for the polyimide precursor can be used as the mass of the solid content contained in the resin composition. Alternatively, the mass of the solid content can be determined by gas chromatography (hereinafter also referred to as GC) analysis of the resin composition to determine the mass of the solvent and subtracting the mass of the solvent from the mass of the resin composition.
The following conditions are mentioned as conditions of GC.
Equipment: Gas chromatograph (Agilent gas chromatograph 6890N type)
Inlet temperature: 280 ℃
Injection volume: 1 μL
Oven temperature: Hold at 50 ° C. for 1 minute, then raise to 350 ° C. at a temperature rising rate of 20 ° C./minute, and hold at 350 ° C. for 5 minutes.
Carrier gas: He, 1.0 ml / min
Column: SGE, BPX5 (0.25 mmφ × 30 m, film thickness 0.25 μm)
Split ratio: 50: 1
Detector: Hydrogen flame ionization detector Detector temperature: 355 ° C

〈重量平均分子量〉
重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエ−ションクロマトグラフィー(GPC)にて、下記の条件により測定した。
溶媒として、NMP(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用、測定直前に24.8mmol/Lの臭化リチウム一水和物(和光純薬工業社製、純度99.5%)及び63.2mmol/Lのリン酸(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用)を加えて溶解したもの)を使用した。重量平均分子量を算出するための検量線は、スタンダ−ドポリスチレン(東ソ−社製)を用いて作製した。
カラム:Shodex KD−806M(昭和電工社製)
流速:1.0mL/分
カラム温度:40℃
ポンプ:PU−2080Plus(JASCO社製)
検出器:RI−2031Plus(RI:示差屈折計、JASCO社製)及びUV−2075Plus(UV−VIS:紫外可視吸光計、JASCO社製)
<Weight average molecular weight>
The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) were measured by gel permeation chromatography (GPC) under the following conditions.
As a solvent, NMP (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, for high performance liquid chromatography, 24.8 mmol / L of lithium bromide monohydrate (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, purity 99.5%) immediately before measurement and 63 0.2 mmol / L phosphoric acid (made by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., for high performance liquid chromatography) was added and dissolved) was used. The calibration curve for calculating the weight average molecular weight was prepared using standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation).
Column: Shodex KD-806M (manufactured by Showa Denko KK)
Flow rate: 1.0 mL / min Column temperature: 40 ° C
Pump: PU-2080Plus (made by JASCO)
Detector: RI-2031Plus (RI: differential refractometer, manufactured by JASCO) and UV-2075Plus (UV-VIS: ultraviolet-visible absorption meter, manufactured by JASCO)

〈低分子環状シロキサン濃度の分析〉
ポリイミド前駆体とケイ素含有化合物(一般式(3)及び(4))とを含む樹脂組成物中に含まれる、一般式(3)及び一般式(4)の低分子環状シロキサン濃度の分析は、以下に示すように、GC(ガスクロマトグラフィー分析)により定量を行った(下記、低分子環状シロキサン濃度の分析(ケイ素含有化合物基準)参照)。
<Analysis of low molecular cyclic siloxane concentration>
The analysis of the low molecular cyclic siloxane concentration of the general formula (3) and the general formula (4) contained in the resin composition containing the polyimide precursor and the silicon-containing compound (the general formulas (3) and (4)) is as follows. As shown below, quantification was performed by GC (gas chromatography analysis) (see the following analysis of low molecular cyclic siloxane concentration (silicon-containing compound standard)).

〈低分子環状シロキサン濃度の分析(組成物基準・固形分基準)〉
(1)概要
環状シロキサンの量を定量するための検量線を作成した。検量線は、一般式(4)のn=4の環状シロキサン(以下、D4体ともいう)の標品(東京化成工業製)を用いて、後述する方法に従って作成した。
樹脂組成物に含まれる低分子環状シロキサンの量は、パイロライザー内で樹脂組成物を150℃および200℃で30分間加熱し、生じた揮発成分をGC/MSで分析することにより測定した。予め作成した検量線を用いて、得られた各化合物のピーク面積をD4体濃度に換算した。
GC/MS測定は、以下の装置を用いて行った。
パイロライザー:Py−3030iD (フロンティアラボ)
GC system:7890B (アジレントテクノロジー)
MSD:5977A (アジレントテクノロジー)
カラム:UA−1 (内径0.25mm、長さ15m、液相厚0.25μm)(フロンティアラボ)
GC/MS測定は全て以下の測定条件で行った。
カラム温度:40℃で5分保持、20℃/分で昇温、320℃で11分保持、合計30分
注入口温度:320℃
注入法:スプリット法(スプリット比1/20)
インターフェース温度:320℃
イオン源温度:230℃
イオン化法:電子イオン化法(EI)
測定法:SCAN法(m/z 10−800)
<Analysis of low molecular cyclic siloxane concentration (composition standard / solid content standard)>
(1) Outline A calibration curve for quantifying the amount of cyclic siloxane was prepared. The calibration curve was prepared according to the method to be described later, using a standard sample (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) of n = 4 cyclic siloxane (hereinafter also referred to as D4 body) of the general formula (4).
The amount of low molecular cyclic siloxane contained in the resin composition was measured by heating the resin composition in a pyrolyzer at 150 ° C. and 200 ° C. for 30 minutes and analyzing the resulting volatile components by GC / MS. Using the calibration curve prepared in advance, the peak area of each obtained compound was converted into the D4 concentration.
The GC / MS measurement was performed using the following device.
Pyrolyzer: Py-3030iD (Frontier Lab)
GC system: 7890B (Agilent Technology)
MSD: 5977A (Agilent Technology)
Column: UA-1 (inner diameter 0.25 mm, length 15 m, liquid phase thickness 0.25 μm) (Frontier Lab)
All the GC / MS measurements were performed under the following measurement conditions.
Column temperature: Hold at 40 ° C for 5 minutes, raise at 20 ° C / minute, hold at 320 ° C for 11 minutes, total 30 minutes Inlet temperature: 320 ° C
Injection method: split method (split ratio 1/20)
Interface temperature: 320 ℃
Ion source temperature: 230 ℃
Ionization method: Electron ionization method (EI)
Measurement method: SCAN method (m / z 10-800)

(2)検量線の作成
一般式(4)のn=4の化合物(以下、D4体ともいう)の標品(東京化成工業製)を10mLメスフラスコに測りとり、クロロホルムを溶媒として用いて、D4体の濃度が0.1mg/mLのサンプルと、0.01mg/mLのサンプルを作製した。
400℃に設定したパイロライザーに液体試料用サンプラーを取り付け、濃度を調整した上記サンプルをマイクロシリンジで1μL測りとり、パイロライザーにインジェクションした。パイロライザーを400℃に加熱している間はカラムを液体窒素につけて、揮発成分をカラム内にトラップさせた。加熱終了1分後にカラムを液体窒素から取り出し、GC/MS測定を行った。D4体の濃度と、得られたピーク面積から、D4体検量線の傾きを求めた。
使用した装置及び測定条件を用いたGC/MS測定における環状シロキサンの保持時間は下表1のとおりである。以降のGC/MS測定において同様である。
(2) Preparation of calibration curve A sample (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) of n = 4 compound of general formula (4) (hereinafter, also referred to as D4 body) was measured in a 10 mL volumetric flask, and chloroform was used as a solvent. A sample having a concentration of D4 bodies of 0.1 mg / mL and a sample having a concentration of 0.01 mg / mL were prepared.
A sampler for liquid sample was attached to a pyrolyzer set to 400 ° C., 1 μL of the sample having the adjusted concentration was measured with a microsyringe and injected into the pyrolyzer. While heating the pyrolyzer to 400 ° C., the column was immersed in liquid nitrogen to trap volatile components in the column. One minute after the end of heating, the column was taken out of the liquid nitrogen, and GC / MS measurement was performed. The slope of the D4 body calibration curve was determined from the concentration of the D4 body and the obtained peak area.
The retention time of cyclic siloxane in the GC / MS measurement using the apparatus and measurement conditions used is as shown in Table 1 below. The same applies to the subsequent GC / MS measurement.

Figure 2019208587
Figure 2019208587

上記表1におけるDn(n=3〜8)は、上記一般式(4)のn=3〜8に対応する環状シロキサンである。上記表1におけるジメチルmジフェニル1、Dmφ(m=3〜5)は、上記一般式(3)のm=3〜5に対応する環状シロキサンである。   Dn (n = 3 to 8) in Table 1 above is a cyclic siloxane corresponding to n = 3 to 8 in the general formula (4). Dimethyl m diphenyl 1 and Dmφ (m = 3 to 5) in Table 1 above are cyclic siloxanes corresponding to m = 3 to 5 in the general formula (3).

(3)樹脂組成物中の一般式(3)及び(4)の低分子環状シロキサン濃度の分析
樹脂組成物中に含まれる一般式(3)のフェニル側鎖体の濃度は、樹脂組成物を200℃に加熱し、生じた揮発成分のGC/MS測定を行うことにより測定した。一般式(4)のメチル側鎖体の濃度は、樹脂組成物を150℃に加熱し、生じた揮発成分のGC/MS測定を行うことにより測定した。樹脂組成物の揮発成分測定結果のピーク面積から各化合物の濃度を算出した。各化合物のピークが他の化合物と重なっていなければ、トータルイオンクロマトグラム(TIC)から求めたピーク面積を用いた。他の化合物と重なっている場合は、m/z=281のマスクロマトグラム(MS)から求めたピーク面積を用いた。
(3) Analysis of Concentration of Low Molecular Cyclic Siloxane of General Formulas (3) and (4) in Resin Composition The concentration of the phenyl side chain of the general formula (3) contained in the resin composition depends on the resin composition. It was measured by heating to 200 ° C. and performing GC / MS measurement of the generated volatile component. The concentration of the methyl side chain of the general formula (4) was measured by heating the resin composition to 150 ° C. and performing GC / MS measurement of the generated volatile component. The concentration of each compound was calculated from the peak area of the measurement result of the volatile component of the resin composition. If the peak of each compound does not overlap with other compounds, the peak area obtained from the total ion chromatogram (TIC) was used. When overlapping with other compounds, the peak area obtained from the mass chromatogram (MS) at m / z = 281 was used.

A.樹脂組成物中の一般式(3)(フェニル側鎖体)の低分子環状シロキサン濃度の分析
200℃に設定したパイロライザーの加熱炉(He雰囲気)に、約1mgで秤量した樹脂組成物が入った試料カップを入れ、200℃で30分加熱した。生じた揮発成分をGC/MSで分析することにより測定した。予め作成した検量線を用いて、得られた各化合物のピーク面積をD4体濃度に換算した。一般式(3)の低分子環状シロキサン量は、下記式に従って計算した。
Dmφ(μg/g)={Dmφ(GC−Area)}/{D4体検量線の傾き}/{秤量した樹脂組成物の質量(mg)}×1000
式中のmは、一般式(3)の炭素数mに対応し、mは3以上の整数である。
A. Analysis of Low Molecular Cyclic Siloxane Concentration of General Formula (3) (Phenyl Side Chain) in Resin Composition A pyrolyzer heating furnace (He atmosphere) set at 200 ° C. contains the resin composition weighed at about 1 mg. The sample cup was placed and heated at 200 ° C. for 30 minutes. The generated volatile components were measured by analyzing by GC / MS. Using the calibration curve prepared in advance, the peak area of each obtained compound was converted into the D4 concentration. The amount of low molecular cyclic siloxane of the general formula (3) was calculated according to the following formula.
Dmφ (μg / g) = {Dmφ (GC-Area)} / {D4 slope of the calibration curve} / {mass of the weighed resin composition (mg)} × 1000
M in the formula corresponds to the carbon number m in the general formula (3), and m is an integer of 3 or more.

B.樹脂組成物中の一般式(4)(メチル側鎖体)の低分子環状シロキサン濃度の分析
150℃に設定したパイロライザーの加熱炉(He雰囲気)に、約1mgの樹脂組成物を入れた試料カップを入れ、150℃で30分加熱した。生じた揮発成分をGC/MSで分析することにより測定した。予め作成した検量線を用いて、得られた各化合物のピーク面積をD4体濃度に換算した。
Dn(μg/g)={Dn(GC−Area)}/{D4体検量線の傾き}/{秤量した樹脂組成物の質量(mg)}×1000
式中のnは、一般式(4)の炭素数nに対応し、nは3以上の整数である。
B. Analysis of Concentration of Low-Molecular Cyclic Siloxane of General Formula (4) (Methyl Side Chain) in Resin Composition Sample containing about 1 mg of resin composition in a pyrolyzer heating furnace (He atmosphere) set at 150 ° C. The cup was put and it heated at 150 degreeC for 30 minutes. The generated volatile components were measured by analyzing by GC / MS. Using the calibration curve prepared in advance, the peak area of each obtained compound was converted into the D4 concentration.
Dn (μg / g) = {Dn (GC-Area)} / {D4 slope of the calibration curve} / {mass of the weighed resin composition (mg)} × 1000
In the formula, n corresponds to the carbon number n of the general formula (4), and n is an integer of 3 or more.

(5)樹脂組成物に含まれる固形分中の一般式(3)及び(4)の低分子環状シロキサン濃度の分析
固形分中に含まれる一般式(3)及び(4)の低分子環状シロキサン濃度の分析は、前述する樹脂組成物中の一般式(3)及び(4)の低分子環状シロキサン濃度から算出した。すなわち、各実施例及び比較例のポリイミド前駆体に用いたモノマーの総質量を樹脂組成物に含まれる固形分の質量として、樹脂組成物中の一般式(3)及び(4)の環状シロキサン濃度とその総質量から、固形分中の式(3)及び(4)の環状シロキサン濃度を算出した。樹脂組成物に含まれる固形分の質量は、前述のとおり、樹脂組成物をGC分析することにより溶媒の質量を求め、樹脂組成物の質量から溶媒の質量を差し引くこと、又は樹脂組成物を加熱し、溶媒を揮発除去し、溶媒の質量を求め、樹脂組成物の質量から溶媒の質量を差し引くことから求めることもできる。
(5) Analysis of Concentration of Low Molecular Cyclic Siloxane of General Formulas (3) and (4) in Solid Content Included in Resin Composition Low Molecular Cyclic Siloxane of General Formulas (3) and (4) Contained in Solid Content The analysis of the concentration was calculated from the concentration of the low molecular cyclic siloxane of the general formulas (3) and (4) in the resin composition described above. That is, the total mass of the monomers used in the polyimide precursors of Examples and Comparative Examples is defined as the mass of the solid content contained in the resin composition, and the concentration of the cyclic siloxanes of the general formulas (3) and (4) in the resin composition. The concentration of the cyclic siloxanes of the formulas (3) and (4) in the solid content was calculated from the total mass and the total mass. The mass of the solid content contained in the resin composition is, as described above, the mass of the solvent is obtained by GC analysis of the resin composition, and the mass of the solvent is subtracted from the mass of the resin composition, or the resin composition is heated. Then, the solvent can be volatilized and removed, the mass of the solvent can be determined, and the mass of the solvent can be subtracted from the mass of the resin composition.

〈原料組成物に含まれる低分子環状シロキサン濃度の分析(ケイ素含有化合物基準)〉
(概要)
低分子環状シロキサン濃度の分析は、アセトン(内部標準物質としてn−テトラデカンを含む)に溶解させた、ケイ素含有化合物(一般式(3)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物を含有する。)の溶液をGCで分析することにより測定した。得られた各化合物のピーク面積から、後述する方法に従ってn−テトラデカンのピーク面積を基準として各化合物濃度を求めた。
GC測定は、以下の装置を用いて行った。
GC system:7890A (アジレントテクノロジー)
カラム:J&W Scientific Durabond DB−5MS (MEGABORE 内径0.53mm、長さ30m、液相厚1.0μm)
GC測定は全て以下の測定条件で行った。
カラム温度:50℃、10℃/分で昇温、280℃で17分保持、合計40分
注入口温度:270℃
キャリアガス:He
注入法:スプリット法(スプリット比1/10)
検出器:FID(300℃)
<Analysis of Concentration of Low-Molecular Cyclic Siloxane Contained in Raw Material Composition (Based on Silicon-Containing Compound)>
(Overview)
Analysis of low molecular weight cyclic siloxane concentrations includes silicon-containing compounds (general formulas (3), (4) and (5)) dissolved in acetone (containing n-tetradecane as an internal standard). .) Solution was analyzed by GC. From the obtained peak area of each compound, the concentration of each compound was determined based on the peak area of n-tetradecane according to the method described below.
The GC measurement was performed using the following device.
GC system: 7890A (Agilent Technology)
Column: J & W Scientific Durabond DB-5MS (MEGABORE inner diameter 0.53 mm, length 30 m, liquid phase thickness 1.0 μm)
All the GC measurements were performed under the following measurement conditions.
Column temperature: 50 ° C, temperature rise at 10 ° C / min, hold at 280 ° C for 17 minutes, total 40 minutes Inlet temperature: 270 ° C
Carrier gas: He
Injection method: split method (split ratio 1/10)
Detector: FID (300 ℃)

(低分子環状シロキサン量の計算)
一般式(3)の低分子環状シロキサン量は、下記式に従って計算した。
Dmφ(μm/g)={一般式(3)の化合物の総量(μg)}/{一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)の化合物の合計質量(g)}={Dmφ(GC−Area)}/{n−テトラデカン(GC−Area)×GC−Area Factor}×20×100
式中のmは、一般式(3)の炭素数mに対応し、mは3以上の整数である。
式中のGC−Area Factorは下記式に従って計算した。
GC−Area Factor=分子量/炭素数
(Calculation of the amount of low molecular weight cyclic siloxane)
The amount of low molecular cyclic siloxane of the general formula (3) was calculated according to the following formula.
Dmφ (μm / g) = {total amount of compounds of general formula (3) (μg)} / {total mass of compounds of general formulas (3-1), (3-2), (4) and (5) ( g)} = {Dmφ (GC-Area)} / {n-tetradecane (GC-Area) × GC-Area Factor} × 20 × 100
M in the formula corresponds to the carbon number m in the general formula (3), and m is an integer of 3 or more.
The GC-Area Factor in the formula was calculated according to the following formula.
GC-Area Factor = molecular weight / carbon number

一般式(4)の低分子環状シロキサン量は、下記式に従って計算した。
Dn(μg/g)={一般式(4)の化合物の総量(μg)}/{一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)の化合物の合計質量(g)}={Dn(GC−Area)}/{n−テトラデカン(GC−Area)×GC−Area Factor}×20×100
式中のnは、一般式(4)の炭素数nに対応し、nは3以上の整数である。
式中のGC−Area Factorは下記式に従って計算した。
GC−Area Factor=分子量/炭素数
The amount of low molecular cyclic siloxane of the general formula (4) was calculated according to the following formula.
Dn (μg / g) = {total amount (μg) of compounds of general formula (4)} / {total mass of compounds of general formulas (3-1), (3-2), (4) and (5) ( g)} = {Dn (GC-Area)} / {n-tetradecane (GC-Area) × GC-Area Factor} × 20 × 100
In the formula, n corresponds to the carbon number n of the general formula (4), and n is an integer of 3 or more.
The GC-Area Factor in the formula was calculated according to the following formula.
GC-Area Factor = molecular weight / carbon number

使用した装置及び上記測定条件を用いたGC測定における環状シロキサンの保持時間(分)は、下記表2のとおりである。以降のGC測定において同様である。   The retention time (minutes) of the cyclic siloxane in the GC measurement using the apparatus used and the above measurement conditions is as shown in Table 2 below. The same applies to the subsequent GC measurements.

Figure 2019208587
Figure 2019208587

上記表2におけるDn(n=3〜8)は、上記一般式(4)のnに対応する環状シロキサンである。また、上記表2におけるDmφ(m=3〜5)は、上記一般式(3)のmに対応する環状シロキサンである。   Dn (n = 3 to 8) in Table 2 above is a cyclic siloxane corresponding to n in the general formula (4). Further, Dmφ (m = 3 to 5) in Table 2 is a cyclic siloxane corresponding to m in the general formula (3).

(低分子環状シロキサン濃度の分析)
ケイ素含有化合物に含まれる一般式(3)及び(4)の低分子環状シロキサン濃度の分析は、下記手順で行った。ケイ素含有化合物0.1gをアセトン10mL(内部標準物質としてn−テトラデカン20μg/mL含有)に溶解させ、16時間放置した。放置した溶液をマイクロシリンジで1μL測り取り、GCへ導入し測定を実施した。得られたクロマトグラムにおいて、各低分子環状シロキサンとn−テトラデカンのピーク面積をGC付属のソフトウェアで計算し、上記に示した計算式で、低分子環状シロキサン濃度を求めた。
(Analysis of low molecular cyclic siloxane concentration)
The analysis of the low molecular cyclic siloxane concentration of the general formulas (3) and (4) contained in the silicon-containing compound was performed by the following procedure. 0.1 g of the silicon-containing compound was dissolved in 10 mL of acetone (containing 20 μg / mL of n-tetradecane as an internal standard substance), and the mixture was left standing for 16 hours. The solution left to stand was measured by 1 μL with a microsyringe and introduced into the GC for measurement. In the obtained chromatogram, the peak area of each low-molecular cyclic siloxane and n-tetradecane was calculated by the software attached to GC, and the low-molecular cyclic siloxane concentration was calculated by the above-described calculation formula.

〈ポリイミド樹脂膜の異物カウント評価〉
この評価では、オーブンを用いて、多量のポリイミド前駆体を乾燥及び硬化した後、同一のオーブン内でポリイミド樹脂膜を製造した場合において、ポリイミド樹脂膜の表面に付着する異物の多寡を評価した。
実施例及び比較例の樹脂組成物を、200mm角の無アルカリガラス基板(以下、ガラス基板ともいう)に、硬化後膜厚が10μmになるように塗布して塗膜を形成した。塗布はスリットコーター(TN25000、東京応化工業製)を用いた。このとき、1種の樹脂組成物ごとに、50枚のガラス基板上に形成された樹脂組成物を作製した。樹脂組成物の塗膜を有するガラス基板のうち1枚について、オーブン(KLO−30NH、光洋サーモシステム製)内で、窒素雰囲気下(酸素濃度300ppm以下)、100℃で30分間乾燥して溶媒を除去した。続いて、窒素雰囲気下(酸素濃度300ppm以下)、350℃で1時間加熱して、ガラス基板上にポリイミド樹脂膜を形成した。得られた200mm角のポリイミド樹脂膜のうち中心50mm角の範囲について、マイクロスコープ(VHX−6000、キーエンス製)を用いて、異物のサイズと数をカウントした。
観察条件は下記のとおりである。
レンズ:100倍
しきい値:オート
そして、長径50μm以上1000μm未満の異物の個数を下記基準で評価した。
異物の個数が10個以上50個未満 :A(良好)
異物の個数が50個以上100個未満:B(可)
異物の個数が100個以上 :C(不可)
観察された異物を走査電子顕微鏡(JSM−IT500HR、日本電子(株)製)を用いてEDS分析(元素分析)したところ、C、Si、O元素等が観察され、N元素は観察されなかった。この結果より、当該異物は真空乾燥時に揮発した低分子環状シロキサンが乾燥機内壁に付着し、落下、付着等したものと推定される。
なお、異なる種類の樹脂組成物の評価を行う際は、オーブンを600℃で5時間以上空焼きしてから評価するようにした。
<Foreign matter count evaluation of polyimide resin film>
In this evaluation, after a large amount of polyimide precursor was dried and cured using an oven, and when a polyimide resin film was manufactured in the same oven, the amount of foreign matter attached to the surface of the polyimide resin film was evaluated.
The resin compositions of Examples and Comparative Examples were applied to a 200 mm square non-alkali glass substrate (hereinafter also referred to as a glass substrate) so that the film thickness after curing would be 10 μm to form a coating film. A slit coater (TN25000, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was used for coating. At this time, a resin composition formed on 50 glass substrates was prepared for each resin composition. One of the glass substrates having a coating film of the resin composition was dried in an oven (KLO-30NH, manufactured by Koyo Thermo System) under a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 300 ppm or less) at 100 ° C. for 30 minutes to remove the solvent. Removed. Then, under a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 300 ppm or less), heating was performed at 350 ° C. for 1 hour to form a polyimide resin film on the glass substrate. The size and the number of foreign matters were counted using a microscope (VHX-6000, manufactured by Keyence Corporation) in the range of the central 50 mm square of the obtained 200 mm square polyimide resin film.
The observation conditions are as follows.
Lens: 100 times threshold: Auto Then, the number of foreign matters having a major axis of 50 μm or more and less than 1000 μm was evaluated according to the following criteria.
The number of foreign matters is 10 or more and less than 50: A (good)
The number of foreign substances is 50 or more and less than 100: B (possible)
100 or more foreign substances: C (not possible)
When the observed foreign matter was subjected to EDS analysis (elemental analysis) using a scanning electron microscope (JSM-IT500HR, manufactured by JEOL Ltd.), C, Si, O elements and the like were observed, and N element was not observed. . From this result, it is presumed that the foreign matter is a low-molecular cyclic siloxane that is volatilized during vacuum drying and is attached to the inner wall of the dryer and dropped or attached.
When evaluating different types of resin compositions, the oven was baked at 600 ° C. for 5 hours or more before evaluation.

〈YI値の差の評価〉
この評価では、精製したケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体と、精製を行っていないケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体を、それぞれ硬化して得られるポリイミド樹脂膜のYI値の差を評価した。
実施例及び比較例の樹脂組成物を、200mm角の無アルカリガラス基板(以下、ガラス基板ともいう)に、硬化後膜厚が10μmになるように塗布して塗膜を形成した。塗布はスリットコーター(TN25000、東京応化工業)を用いて行った。得られた樹脂組成物の塗膜を有するガラス基板のうち1枚を、オーブン(KLO−30NH、光洋サーモシステム)内で、窒素雰囲気下(酸素濃度300ppm以下)、100℃で30分間乾燥して溶媒を除去した。その後、窒素雰囲気下(酸素濃度300ppm以下)、400℃で1時間加熱し、ガラス基板上にポリイミド樹脂膜を形成した。
得られたポリイミド樹脂膜を用いて、日本電色工業(株)製(Spectrophotometer:SE600)を用いてYI値を測定した。光源にはD65光源を用いた。YI値の差は、下記式から求めた。
(YI値の差)=(精製を行っていないケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体を硬化したポリイミド樹脂膜のYI値)−(精製を行ったケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体を硬化したポリイミド樹脂膜のYI値)
なお、YI値の差を求めるにあたり、精製を行っていないケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体の硬化と、精製を行ったケイ素化合物を用いて得られたポリイミド前駆体の硬化は、同じオーブンのバッチで加熱処理することにより、装置誤差を排除した。
<Evaluation of difference in YI value>
In this evaluation, the polyimide precursor obtained using the purified silicon compound and the polyimide precursor obtained using the unpurified silicon compound were each cured to obtain the YI value of the polyimide resin film. The difference was evaluated.
The resin compositions of Examples and Comparative Examples were applied to a 200 mm square non-alkali glass substrate (hereinafter also referred to as a glass substrate) so that the film thickness after curing would be 10 μm to form a coating film. The coating was performed using a slit coater (TN25000, Tokyo Ohka Kogyo). One of the glass substrates having a coating film of the obtained resin composition was dried in an oven (KLO-30NH, Koyo Thermo System) at 100 ° C. for 30 minutes under a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 300 ppm or less). The solvent was removed. Then, in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 300 ppm or less), it was heated at 400 ° C. for 1 hour to form a polyimide resin film on the glass substrate.
Using the obtained polyimide resin film, the YI value was measured using Nippon Denshoku Industries Co., Ltd. (Spectrophotometer: SE600). A D65 light source was used as a light source. The difference in YI value was obtained from the following formula.
(Difference in YI value) = (YI value of polyimide resin film obtained by curing polyimide precursor obtained by using unpurified silicon compound)-(Polyimide precursor obtained by using purified silicon compound) (YI value of cured polyimide resin film)
In obtaining the difference in YI value, the curing of the polyimide precursor obtained by using the unpurified silicon compound and the curing of the polyimide precursor obtained by using the purified silicon compound are the same. Instrumentation was eliminated by heating in a batch of ovens.

《ケイ素含有化合物の精製方法》
後述する実施例及び比較例に記載のケイ素含有化合物は、下記の精製方法で処理し、含まれる低分子環状シロキサンを低減した。精製後の低分子環状シロキサンの濃度は上記の方法で分析した。
〈精製A〉
ケイ素含有化合物10kgをフラスコ内に入れ、窒素ガスを吹き込みながら、温度160℃、圧力270Paで、8時間ストリッピングを行った。
〈精製B−1〉
ケイ素含有化合物1kgをフラスコ内に入れ、窒素ガスを吹き込みながら、温度200℃、圧力200Paで、8時間ストリッピングを行った。
〈精製B−2〉
ケイ素含有化合物10kgをフラスコ内に入れ、窒素ガスを吹き込みながら、温度200℃、圧力200Paで、8時間ストリッピングを行った。
〈精製C〉特開2016−029126号公報に記載の両末端アミノ変性シリコーンオイル(精製品)の合成例に準拠
ケイ素含有化合物100g中に、アセトン1000gを添加し、室温で30分間撹拌した。遠心分離機で2500rpm、15分間の遠心分離を行い、アセトンとシリコーンオイルを分離した後、アセトンをデカンテーションにより除去した。この操作を3回繰り返した後に、アセトンをエバポレータで留去して、精製されたケイ素含有化合物を得た。
〈精製D〉特開2006−028533号公報に記載の精製例1に準拠
ケイ素含有化合物500gをフラスコ内に入れ、窒素ガスを吹き込みながら、温度250℃、圧力1330Paで8時間ストリッピングを行った。
〈精製E〉特開2006−028533号公報に記載の精製例2に準拠
ケイ素含有化合物100gを2−ブタノン300g中に入れて均一に溶解した。この溶液をメタノール中に攪拌しながらゆっくり投入して、再沈殿を行った。上記の再沈殿を合計3回繰り返した後、乾燥して精製されたケイ素含有化合物を得た。
<< Purification method of silicon-containing compound >>
The silicon-containing compounds described in Examples and Comparative Examples described later were treated by the following purification method to reduce the amount of low-molecular cyclic siloxane contained. The concentration of the low-molecular cyclic siloxane after purification was analyzed by the above method.
<Purification A>
10 kg of a silicon-containing compound was placed in a flask, and stripping was performed at a temperature of 160 ° C. and a pressure of 270 Pa for 8 hours while blowing nitrogen gas.
<Purification B-1>
1 kg of a silicon-containing compound was placed in a flask, and stripping was performed at a temperature of 200 ° C. and a pressure of 200 Pa for 8 hours while blowing a nitrogen gas.
<Purification B-2>
10 kg of a silicon-containing compound was placed in a flask, and stripping was performed at a temperature of 200 ° C. and a pressure of 200 Pa for 8 hours while blowing a nitrogen gas.
<Purification C> According to the synthesis example of amino-terminal modified silicone oil (purified product) described in JP-A-2016-029126 1000 g of acetone was added to 100 g of a silicon-containing compound, and the mixture was stirred at room temperature for 30 minutes. Centrifugation was performed at 2500 rpm for 15 minutes with a centrifuge to separate acetone and silicone oil, and then acetone was removed by decantation. After repeating this operation three times, acetone was distilled off by an evaporator to obtain a purified silicon-containing compound.
<Purification D> Based on Purification Example 1 described in JP 2006-028533 A 500 g of a silicon-containing compound was placed in a flask, and stripping was performed at a temperature of 250 ° C. and a pressure of 1330 Pa for 8 hours while blowing a nitrogen gas.
<Purification E> Based on Purification Example 2 described in JP 2006-028533 A 100 g of a silicon-containing compound was put into 300 g of 2-butanone and uniformly dissolved. This solution was slowly poured into methanol with stirring to perform reprecipitation. The above reprecipitation was repeated a total of 3 times and then dried to obtain a purified silicon-containing compound.

《実施例1》
表2に記載するように、ケイ素含有化合物(1)(一般式(1)において、L及びLがアミノ基、Rが−CHCHCH−であり、R、R、R、Rがメチル基、R、Rがフェニル基、j/(i+j+k)=0.15であり、数平均分子量4400の化合物)を、精製Bの方法で精製した。撹拌棒付き3Lセパラブルフラスコに、窒素ガスを導入しながら、溶媒としてNMP(332g)、ジアミンとして4,4’−DAS(14.2g)、TFMB(37.8g)、及び精製したケイ素含有化合物(1)(10.56g)を撹拌しながら加え、続いて酸二無水物としてPMDA(21.8g)を加えた。酸二無水物、ジアミンのモル比は、100:97であった。混合物を室温で48時間撹拌し、透明なポリアミド酸のNMP溶液(以下、ワニスともいう)を得た。得られたワニスを冷凍庫(設定−20℃、以下同様)で保管し、評価をする際は解凍して使用した。
<< Example 1 >>
As described in Table 2, the silicon-containing compound (1) (in the general formula (1), L 1 and L 2 are amino groups, R 1 is —CH 2 CH 2 CH 2 —, and R 2 and R 3 are , R 6 and R 7 are methyl groups, R 4 and R 5 are phenyl groups, and j / (i + j + k) = 0.15, and the number average molecular weight is 4,400). While introducing nitrogen gas into a 3 L separable flask equipped with a stir bar, NMP (332 g) as a solvent, 4,4′-DAS (14.2 g) as a diamine, TFMB (37.8 g), and a purified silicon-containing compound (1) (10.56 g) was added with stirring, followed by PMDA (21.8 g) as an acid dianhydride. The molar ratio of acid dianhydride and diamine was 100: 97. The mixture was stirred at room temperature for 48 hours to obtain a transparent NMP solution of polyamic acid (hereinafter, also referred to as varnish). The obtained varnish was stored in a freezer (setting -20 ° C, the same applies below), and thawed before use for evaluation.

《実施例2〜32、及び比較例17〜19》
実施例1において、溶媒、酸二無水物、ジアミン、ケイ素含有化合物の種類及び量を表2及び3に記載したものに変更したことを除いて、実施例1と同様に行った。
表3中のケイ素含有化合物の種類は、下記のとおりである。
ケイ素含有化合物(2):一般式(1)において、L及びLがアミノ基、Rが−CHCHCH−であり、R、R、R、Rがメチル基、R、Rがフェニル基、j/(i+j+k)=0.15であり、数平均分子量が1340の化合物
ケイ素含有化合物(3):一般式(1)において、L及びLが酸無水物基、Rが−CHCHCH−であり、R、R、R、Rがメチル基、R、Rがフェニル基、j/(i+j+k)=0.15であり、数平均分子量4200の化合物
ケイ素含有化合物(4):一般式(1)において、L及びLがエポキシ基、Rが−CHCHCH−であり、R、R、R、Rがメチル基、R、Rがフェニル基、j/(i+j+k)=0.15であり、数平均分子量1240の化合物
<< Examples 2-32 and Comparative Examples 17-19 >>
Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the types and amounts of the solvent, the acid dianhydride, the diamine and the silicon-containing compound were changed to those described in Tables 2 and 3.
The types of silicon-containing compounds in Table 3 are as follows.
Silicon-containing compound (2): In the general formula (1), L 1 and L 2 are amino groups, R 1 is —CH 2 CH 2 CH 2 —, and R 2 , R 3 , R 6 , and R 7 are methyl. Group, R 4 and R 5 are phenyl groups, j / (i + j + k) = 0.15, and the number average molecular weight is 1340. Silicon-containing compound (3): In the general formula (1), L 1 and L 2 are An acid anhydride group, R 1 is —CH 2 CH 2 CH 2 —, R 2 , R 3 , R 6 and R 7 are methyl groups, R 4 and R 5 are phenyl groups, and j / (i + j + k) = 0. 0.15 and a compound having a number average molecular weight of 4,200 Silicon-containing compound (4): In the general formula (1), L 1 and L 2 are epoxy groups, R 1 is —CH 2 CH 2 CH 2 —, and R 2 is , R 3, R 6, R 7 is a methyl group, R 4, R 5 is a phenyl group, A /(Itasujtasuk)=0.15, compounds having a number average molecular weight 1240

《比較例1》
表3に記載するように、撹拌棒付き3Lセパラブルフラスコに、窒素ガスを導入しながら、溶媒としてNMP(319g)、ジアミンとして4,4’−DAS(14.3g)、TFMB(12.3g)、未精製のケイ素含有化合物(一般式(1)において、L及びLがアミノ基、Rが−CHCHCH−であり、R、R、R、Rがメチル基、R、Rがフェニル基、jが15、i+j+kが10であり、数平均分子量4400の化合物)(5.72g)を撹拌しながら加え、続いて酸二無水物としてPMDA(15.3g)を加えた。酸二無水物とジアミンとのモル比は、100:97であった。次に、室温で48時間撹拌し、透明なポリアミド酸のNMP溶液(以下、ワニスともいう)を得た。得られたワニスを冷凍庫(設定−20℃、以下同様)で保管し、評価をする際は解凍して使用した。
<< Comparative Example 1 >>
As described in Table 3, NMP (319 g) as a solvent, 4,4′-DAS (14.3 g) as a diamine, and TFMB (12.3 g) as a solvent were introduced into a 3 L separable flask equipped with a stirring rod while introducing nitrogen gas. ), A crude silicon-containing compound (in the general formula (1), L 1 and L 2 are amino groups, R 1 is —CH 2 CH 2 CH 2 —, and R 2 , R 3 , R 6 , and R 7 are Is a methyl group, R 4 and R 5 are phenyl groups, j is 15, and i + j + k is 10, and the compound having a number average molecular weight of 4400) (5.72 g) is added with stirring, followed by PMDA (as a dianhydride). 15.3 g) was added. The molar ratio of acid dianhydride and diamine was 100: 97. Next, the mixture was stirred at room temperature for 48 hours to obtain a transparent NMP solution of polyamic acid (hereinafter, also referred to as varnish). The obtained varnish was stored in a freezer (setting -20 ° C, the same applies below), and thawed before use for evaluation.

《比較例2〜比較例16》
比較例1において、溶媒、酸二無水物、ジアミン、ケイ素含有化合物の種類及び量を表3に記載したものに変更したことを除いて、比較例1と同様に行った。
<< Comparative Examples 2 to 16 >>
Comparative Example 1 was carried out in the same manner as Comparative Example 1 except that the kinds and amounts of the solvent, acid dianhydride, diamine and silicon-containing compound were changed to those listed in Table 3.

実施例及び比較例の樹脂組成物について、樹脂組成物基準、固形分基準、及びケイ素含有化合物基準の低分子環状シロキサン濃度;ポリイミド前駆体の分子量;異物カウント評価;及びYI値の差を評価した。結果を表5及び6に示す。表5及び6において、「式(3)化合物」は、一般式(3)の化合物に対応し、mは3〜5であり、「式(4)化合物」は、一般式(4)の化合物に対応し、nは3〜8である。   With respect to the resin compositions of Examples and Comparative Examples, low molecular cyclic siloxane concentrations based on resin composition, based on solid content, and based on silicon-containing compound; molecular weight of polyimide precursor; foreign matter count evaluation; and difference in YI value were evaluated. .. The results are shown in Tables 5 and 6. In Tables 5 and 6, "compound of formula (3)" corresponds to compound of general formula (3), m is 3 to 5, and "compound of formula (4)" is compound of general formula (4). And n is 3-8.

Figure 2019208587
Figure 2019208587

Figure 2019208587
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Figure 2019208587
Figure 2019208587

Figure 2019208587
Figure 2019208587

2a 下部基板
2b 封止基板
25 有機EL構造部
250a 赤色光を発光する有機EL素子
250b 緑色光を発光する有機EL素子
250c 青色光を発光する有機EL素子
251 隔壁(バンク)
252 下部電極(陽極)
253 正孔輸送層
254 発光層
255 上部電極(陰極)
256 TFT
257 コンタクトホール
258 層間絶縁膜
259 下部電極
261 中空部
2a Lower substrate 2b Encapsulation substrate 25 Organic EL structure part 250a Organic EL element emitting red light 250b Organic EL element emitting green light 250c Organic EL element emitting blue light 251 Partition (bank)
252 Lower electrode (anode)
253 Hole transport layer 254 Light emitting layer 255 Upper electrode (cathode)
256 TFT
257 Contact hole 258 Interlayer insulating film 259 Lower electrode 261 Hollow part

Claims (34)

下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量が、前記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く1,100ppm以下であるか、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物の総量が、前記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く1,300ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more;
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
Whether the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more in the following general formula (3-1) or (3-2) is more than 0 ppm and 1,100 ppm or less based on the mass of the resin composition, Alternatively,
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more and the compound in which n is an integer of 3 or more in the following general formula (4) is the above resin. Greater than 0 ppm and less than or equal to 1,300 ppm, based on the weight of the composition,
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
前記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量が、前記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く300ppm以下である、請求項1に記載の樹脂組成物。   The total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more in the general formula (3-1) or (3-2) is more than 0 ppm and 300 ppm or less based on the mass of the resin composition. The resin composition according to. 下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、前記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く650ppm以下であるか、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、前記樹脂組成物の質量を基準として、0ppmより多く350ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2);
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is 3 is more than 0 ppm and 650 ppm or less based on the mass of the resin composition, or
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is 4 is more than 0 ppm and 350 ppm or less based on the mass of the resin composition,
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量が、前記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く7,500ppm以下であり、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量が、前記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く8,600ppm以下である、樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
M among the polyimide precursor and the following general formula (3-1) or (3-2) containing the structural unit represented by the following general formula (1) and the structural unit represented by the following general formula (2). And at least one compound in which is an integer of 3 or more;
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is greater than 0 ppm and equal to or less than 7,500 ppm based on the mass of the solid content in the resin composition. Or
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of the compound in which m is an integer of 3 or more and the compound in which n is an integer of 3 or more in the following general formula (4) is A resin composition which is more than 0 ppm and not more than 8,600 ppm based on the mass of the solid content in the resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、前記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く4,500ppm以下であるか、あるいは、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、前記樹脂組成物中の固形分の質量を基準として、0ppmより多く2,500ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2);
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
Is the total amount of compounds in which m is 3 in the following general formula (3-1) or (3-2) is more than 0 ppm and not more than 4,500 ppm based on the mass of the solid content in the resin composition. , Or
In the following general formula (3-1) or (3-2), the total amount of compounds in which m is 4 is more than 0 ppm and 2,500 ppm or less based on the mass of the solid content in the resin composition,
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
前記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物において、mは3〜5の整数である、請求項1、2及び4のいずれか一項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1, 2 and 4, wherein m is an integer of 3 to 5 in the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2). 前記一般式(4)で表される化合物において、nは3〜8の整数である、請求項1、2及び4のいずれか一項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1, 2 and 4, wherein in the compound represented by the general formula (4), n is an integer of 3 to 8. 前記ポリイミド前駆体を硬化して得られるポリイミド樹脂膜が、フレキシブル基板に用いられる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the polyimide resin film obtained by curing the polyimide precursor is used for a flexible substrate. 前記ポリイミド前駆体を硬化して得られるポリイミド樹脂膜が、フレキシブルディスプレイに用いられる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the polyimide resin film obtained by curing the polyimide precursor is used in a flexible display. 下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
前記樹脂組成物は、以下:
下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む方法により製造され、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)で表されるケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く46,000ppm以下であるか、あるいは、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量は、前記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く47,000ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more;
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
The resin composition is as follows:
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one of the compounds of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more,
Optionally prepared by a method comprising polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. ,
Among the following general formulas (3-1) and (3-2) contained in the raw material composition, the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is the following general formulas (3-1) and (3-2). ), (4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compounds, more than 0ppm and 46,000ppm or less, or
A compound in which m is an integer of 3 or more in the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, and n is an integer of 3 or more in the following general formula (4). The total amount with a certain compound is more than 0 ppm and not more than 47,000 ppm, based on the total mass of the silicon-containing compounds of the general formulas (3-1), (3-2), (4) and (5),
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
前記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物において、mは3〜5の整数である、請求項10に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 10, wherein m is an integer of 3 to 5 in the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2). 前記一般式(4)で表される化合物において、nは3〜8の整数である、請求項10に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 10, wherein n is an integer of 3 to 8 in the compound represented by the general formula (4). 下記一般式(1)で表される構造単位、及び下記一般式(2)で表される構造単位を含む、ポリイミド前駆体と;
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と;
任意に、下記一般式(4)で表される化合物と
を含む、樹脂組成物であって、
前記樹脂組成物は、以下:
下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む方法により製造され、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く25,000ppm以下であるか、あるいは、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く15,000ppm以下である、
樹脂組成物。
Figure 2019208587
{式中、Pは、2価の有機基を示し、Pは、4価の有機基を示し、pは正の整数を示す。}
Figure 2019208587
{式中、P及びPは、それぞれ独立に、炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素、又は炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、qは、1〜200の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
A polyimide precursor containing a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2);
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2);
A resin composition, optionally comprising a compound represented by the following general formula (4):
The resin composition is as follows:
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2),
Optionally prepared by a method comprising polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. ,
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, the total amount of compounds in which m is 3 is represented by the following general formula (3-1), (3-2), (3 4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compound, more than 0ppm and 25,000ppm or less, or
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, the total amount of compounds in which m is 4 is represented by the following general formula (3-1), (3-2), (3-2), 4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compound is more than 0ppm and 15,000ppm or less,
Resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, P 1 represents a divalent organic group, P 2 represents a tetravalent organic group, and p represents a positive integer. }
Figure 2019208587
{In the formula, P 3 and P 4 are each independently a monovalent aliphatic hydrocarbon having 1 to 5 carbon atoms or a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, and q is 1 to It is an integer of 200. }
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
前記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基及びエポキシ基からなる群から選択される、請求項10〜13のいずれか一項に記載の樹脂組成物。14. The silicon-containing compound represented by the general formula (5), wherein L 1 and L 2 are each independently selected from the group consisting of an amino group, an acid anhydride group and an epoxy group. The resin composition according to any one of claims. 前記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、アミノ基である、請求項10〜14のいずれか一項に記載の樹脂組成物。The resin composition according to claim 10, wherein L 1 and L 2 of the silicon-containing compound represented by the general formula (5) are amino groups. 前記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物が、前記一般式(3−1)で表される化合物である、請求項10〜15のいずれか一項に記載の樹脂組成物。   The compound represented by the said General formula (3-1) or (3-2) is a compound represented by the said General formula (3-1), Any one of Claims 10-15. Resin composition. 前記テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、及びシクロブタンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも1つである、請求項10〜16のいずれか一項に記載の樹脂組成物。   The tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, cyclohexanetetracarboxylic dianhydride. The resin composition according to any one of claims 10 to 16, wherein the resin composition is at least one selected from the group consisting of a compound and cyclobutanetetracarboxylic dianhydride. 前記ジアミンが、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、m−トリジン、p−フェニレンジアミン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、及び2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群から選択される少なくとも1つである、請求項10〜17のいずれか一項に記載の樹脂組成物。   The diamine is 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, m-tolidine, p-phenylenediamine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, and 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy). ) The resin composition according to any one of claims 10 to 17, which is at least one selected from the group consisting of phenyl] propane. 下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む、樹脂組成物の製造方法であって、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物の総量は、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)で表されるケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く46,000ppm以下であるか、あるいは、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3以上の整数である化合物と、下記一般式(4)のうちnが3以上の整数である化合物との総量は、前記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く47,000ppm以下である、
樹脂組成物の製造方法。
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one of the compounds of the following general formula (3-1) or (3-2), wherein m is an integer of 3 or more,
A resin composition, which optionally comprises polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. The manufacturing method of
Among the following general formulas (3-1) and (3-2) contained in the raw material composition, the total amount of compounds in which m is an integer of 3 or more is the following general formulas (3-1) and (3-2). ), (4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compounds, more than 0ppm and 46,000ppm or less, or
A compound in which m is an integer of 3 or more in the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, and n is an integer of 3 or more in the following general formula (4). The total amount with a certain compound is more than 0 ppm and not more than 47,000 ppm, based on the total mass of the silicon-containing compounds of the general formulas (3-1), (3-2), (4) and (5),
A method for producing a resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
前記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物において、mは3〜5の整数である、請求項19に記載の方法。   The method according to claim 19, wherein in the compound represented by the general formula (3-1) or (3-2), m is an integer of 3 to 5. 前記一般式(4)で表される化合物において、nは3〜8の整数である、請求項19に記載の方法。   The method according to claim 19, wherein in the compound represented by the general formula (4), n is an integer of 3 to 8. 下記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物と、
下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3又は4である、少なくともいずれか一方の化合物と、
任意に、下記一般式(4)で表される化合物とを含有する原料組成物を、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと重縮合反応させてポリイミド前駆体を提供することを含む、樹脂組成物の製造方法であって、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが3である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く25,000ppm以下であるか、あるいは、
前記原料組成物に含まれる、下記一般式(3−1)又は(3−2)のうちmが4である化合物の総量が、下記一般式(3−1)、(3−2)、(4)及び(5)のケイ素含有化合物の合計質量を基準として、0ppmより多く15,000ppm以下である、
樹脂組成物の製造方法。
Figure 2019208587
{式中、mは1以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、nは2以上の整数である。}
Figure 2019208587
{式中、Rは、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜10の二価の有機基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数1〜5の一価の脂肪族炭化水素基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基であり、少なくとも一つは炭素数6〜10の一価の芳香族基であり、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の一価の有機基で、少なくとも一つは不飽和脂肪族炭化水素基を有する有機基であり、L及びLは、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基、イソシアネート基、カルボキシル基、酸エステル基、酸ハライド基、ヒドロキシ基、エポキシ基、又はメルカプト基であり、i及びjは、それぞれ独立に、1〜200の整数であり、kは、0〜200の整数であり、0.05≦j/(i+j+k)≦0.50である。}
A silicon-containing compound represented by the following general formula (5),
At least one compound in which m is 3 or 4 in the following general formula (3-1) or (3-2),
A resin composition, which optionally comprises polycondensing a raw material composition containing a compound represented by the following general formula (4) with a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to provide a polyimide precursor. The manufacturing method of
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, the total amount of compounds in which m is 3 is represented by the following general formula (3-1), (3-2), (3 4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compound, more than 0ppm and 25,000ppm or less, or
Of the following general formula (3-1) or (3-2) contained in the raw material composition, the total amount of compounds in which m is 4 is represented by the following general formula (3-1), (3-2), (3-2), 4) and (5) based on the total mass of the silicon-containing compound is more than 0ppm and 15,000ppm or less,
A method for producing a resin composition.
Figure 2019208587
{In the formula, m is an integer of 1 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, n is an integer of 2 or more. }
Figure 2019208587
{In the formula, R 1 is each independently a single bond or a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms. At least one is a monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, R 4 and R 5 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, At least one is a monovalent aromatic group having 6 to 10 carbon atoms, R 6 and R 7 are each independently a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, and at least one is an unsaturated fatty group. Is an organic group having a group hydrocarbon group, L 1 and L 2 are each independently an amino group, an acid anhydride group, an isocyanate group, a carboxyl group, an acid ester group, an acid halide group, a hydroxy group, an epoxy group, Or a mercapto group, and i and j are each independently an integer of 1 to 200. And a, k is an integer of 0 to 200, is 0.05 ≦ j / (i + j + k) ≦ 0.50. }
前記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、それぞれ独立に、アミノ基、酸無水物基及びエポキシ基からなる群から選択される、請求項19〜22のいずれか一項に記載の方法。23. The silicon-containing compound represented by the general formula (5), wherein L 1 and L 2 are each independently selected from the group consisting of an amino group, an acid anhydride group and an epoxy group. The method according to any one of claims. 前記一般式(5)で表されるケイ素含有化合物の、L及びLが、アミノ基である、請求項19〜23のいずれか一項に記載の方法。The method according to any one of claims 19 to 23, wherein L 1 and L 2 of the silicon-containing compound represented by the general formula (5) are amino groups. 前記一般式(3−1)又は(3−2)で表される化合物が、前記一般式(3−1)で表される化合物である、請求項19〜24のいずれか一項に記載の方法。   25. The compound represented by the general formula (3-1) or (3-2) is the compound represented by the general formula (3-1), according to any one of claims 19 to 24. Method. 前記テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、及びシクロブタンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも1つである、請求項19〜25のいずれか一項に記載の方法。   The tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, cyclohexanetetracarboxylic dianhydride. 26. The method according to any one of claims 19 to 25, wherein the method is at least one selected from the group consisting of a compound and cyclobutanetetracarboxylic dianhydride. 前記ジアミンが、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、m−トリジン、p−フェニレンジアミン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、及び2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群から選択される少なくとも1つである、請求項19〜26のいずれか一項に記載の方法。   The diamine is 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, m-tolidine, p-phenylenediamine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, and 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy). ) Phenyl] propane, at least one selected from the group consisting of the method according to any one of claims 19 to 26. 支持体の表面上に、請求項1〜18のいずれか一項のいずれか一項に記載の樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
前記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と、
前記ポリイミド樹脂膜を前記支持体から剥離する剥離工程と、
を含む、ポリイミドフィルムの製造方法。
A coating step of coating the resin composition according to any one of claims 1 to 18 on the surface of a support,
A film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film,
A peeling step of peeling the polyimide resin film from the support,
A method for producing a polyimide film, comprising:
前記剥離工程に先立って、前記支持体側から前記樹脂組成物にレーザーを照射する照射工程を含む、請求項28に記載のポリイミドフィルムの製造方法。   The method for producing a polyimide film according to claim 28, comprising an irradiation step of irradiating the resin composition with a laser from the support side prior to the peeling step. 支持体の表面上に、請求項1〜18のいずれか一項に記載の樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
前記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と、
前記ポリイミド樹脂膜上に素子を形成する素子形成工程と、
前記素子が形成された前記ポリイミド樹脂膜を前記支持体から剥離する剥離工程と、
を含む、ディスプレイの製造方法。
A coating step of coating the resin composition according to any one of claims 1 to 18 on the surface of a support;
A film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film,
An element forming step of forming an element on the polyimide resin film,
A peeling step of peeling the polyimide resin film on which the element is formed from the support,
A method of manufacturing a display, including:
支持体の表面上に、請求項1〜18のいずれか一項に記載の樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
前記樹脂組成物を加熱してポリイミド樹脂膜を形成する膜形成工程と、
前記ポリイミド樹脂膜上に素子を形成する素子形成工程と、
を含む、積層体の製造方法。
A coating step of coating the resin composition according to any one of claims 1 to 18 on the surface of a support;
A film forming step of heating the resin composition to form a polyimide resin film,
An element forming step of forming an element on the polyimide resin film,
The manufacturing method of a laminated body containing.
前記素子が形成された前記ポリイミド樹脂膜を前記支持体から剥離する工程をさらに含む、請求項31に記載の積層体の製造方法。   32. The method for manufacturing a laminate according to claim 31, further comprising a step of peeling the polyimide resin film having the element formed thereon from the support. 請求項31又は32に記載の方法で積層体を製造することを含む、フレキシブルデバイスの製造方法。   A method for manufacturing a flexible device, comprising manufacturing a laminate by the method according to claim 31 or 32. 請求項1〜18のいずれか一項に記載の樹脂組成物の硬化物である、ポリイミドフィルム。   A polyimide film, which is a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 18.
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