JPWO2019093108A1 - Sheet for processing assistance of adherend - Google Patents
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Abstract
パンチング後のグリーンシートに対し貫通孔の変形や詰まりを生じさせることがなく、かつパンチング後のグリーンシートに対して十分な保持力を発現しつつも、破断することなく綺麗に剥離可能である、セラミックグリーンシートの加工補助用シートを提供する。本発明の加工補助用シートは、セラミックグリーンシートに貫通孔をパンチング加工するのに先立ち、該グリーンシートに積層して使用されるものであって、突刺強度が10N以下で、かつ厚さが10μm以上の樹脂フィルムを含むことを特徴とする。樹脂フィルムは、厚み1μmあたりの突き刺し強度が0.2N以下であることが好ましい。It does not cause deformation or clogging of through holes in the green sheet after punching, and while exhibiting sufficient holding power for the green sheet after punching, it can be peeled off cleanly without breaking. Provided is a processing auxiliary sheet for a ceramic green sheet. The processing auxiliary sheet of the present invention is used by laminating it on the ceramic green sheet prior to punching through holes in the ceramic green sheet, and has a piercing strength of 10 N or less and a thickness of 10 μm. It is characterized by containing the above resin film. The resin film preferably has a piercing strength of 0.2 N or less per 1 μm of thickness.
Description
本発明は、各種積層セラミック製品の製造過程で使用される被着体(セラミックグリーンシートなど)に積層して使用される、被着体の加工補助用シートと、該シートを用いた加工方法とに関する。 The present invention comprises a sheet for assisting processing of an adherend, which is used by laminating it on an adherend (ceramic green sheet, etc.) used in the manufacturing process of various laminated ceramic products, and a processing method using the sheet. Regarding.
各種積層セラミック製品の製造過程で使用される、被着体の一例としてのセラミックグリーンシートに、層間接続用の微小な貫通孔をパンチング(打ち抜き)加工する際、該グリーンシートの上面に粘着層を介して仮着(積層)される、樹脂フィルムを含むパンチング加工補助用シートが知られている(特許文献1,2)。 When punching (punching) minute through holes for interlayer connection to a ceramic green sheet as an example of an adherend used in the manufacturing process of various laminated ceramic products, an adhesive layer is formed on the upper surface of the green sheet. A punching processing auxiliary sheet containing a resin film, which is temporarily attached (laminated) through the sheet, is known (Patent Documents 1 and 2).
この種の加工補助用シートに要求される条件として、パンチング加工性が高い(すなわち、パンチングに対してせん断強度が小さい)ことの他、パンチング後のグリーンシートから破断することなく綺麗に剥離可能なことが必要である。 The conditions required for this type of processing auxiliary sheet are high punching workability (that is, low shear strength with respect to punching), and that the green sheet after punching can be peeled off cleanly without breaking. It is necessary.
しかしながら、特許文献1,2による技術など、従来の加工補助用シートは、加工性が十分ではなく、その結果、加工補助用シートでの貫通孔の打ち抜き形状が悪くなって、グリーンシート側へ食い込む方向にバリ(補助シートの小片またはささくれ)や欠けが発生し、グリーンシートに形成される貫通孔が変形し、または穴詰まりを引き起こすことがあった。 However, the conventional processing auxiliary sheet such as the technique according to Patent Documents 1 and 2 is not sufficiently workable, and as a result, the punched shape of the through hole in the processing auxiliary sheet is deteriorated and bites into the green sheet side. Burrs (small pieces or hangnail of the auxiliary sheet) or chips may occur in the direction, and the through holes formed in the green sheet may be deformed or clogged.
また、特許文献1,2による加工補助用シートに、予め、セラミックグリーンシート表面に形成すべき導体パターン(配線回路パターン)に対応する穴あけ加工をパンチングにより施し、穴あけ加工済み加工補助用シートとした上で、該グリーンシートの上面に仮着(積層)して使用する態様も考えられる。しかしながら、この態様の場合も、従来構成のパンチング加工補助用シートと同様、穴あけ加工による打ち抜き形状が悪くなって、グリーンシート側へ食い込む方向にバリや欠けが発生することが懸念される。その結果、例えば、下記(a)〜(c)などの不都合が生じることも想定される。
(a)セラミックグリーンシートへの仮着後、打ち抜き穴を通じて充填される導体ペーストのパターン形状に変形が生じる。
(b)導体ペーストにバリが巻き込まれることに起因して、使用目的を終えた後のグリーンシートから取り除く際に剥離不良が起こる。
(c)焼成後の導体パターンにクラックが発生する。Further, the processing auxiliary sheet according to Patent Documents 1 and 2 is punched in advance corresponding to the conductor pattern (wiring circuit pattern) to be formed on the surface of the ceramic green sheet to obtain a drilled processing auxiliary sheet. Above, it is also conceivable to temporarily attach (laminate) the green sheet to the upper surface of the green sheet for use. However, also in this aspect, there is a concern that the punching shape due to the punching process may be deteriorated and burrs or chips may be generated in the direction of biting into the green sheet side, as in the case of the conventional punching processing auxiliary sheet. As a result, for example, the following inconveniences (a) to (c) may occur.
(A) After temporary attachment to the ceramic green sheet, the pattern shape of the conductor paste filled through the punched holes is deformed.
(B) Due to the burrs being caught in the conductor paste, peeling failure occurs when the conductor paste is removed from the green sheet after the intended use.
(C) Cracks occur in the conductor pattern after firing.
加工性が良くなるよう、樹脂フィルム(基材)を極薄(数μm)の厚みで構成すると、パンチング後または導体ペースト印刷後のグリーンシートから剥離する際に、破断することがあり、結果、綺麗に剥離することができないことがあった。 If the resin film (base material) is made of an ultra-thin (several μm) thickness so as to improve workability, it may break when peeled from the green sheet after punching or conductor paste printing, resulting in Sometimes it couldn't be peeled off cleanly.
なお、この種の加工補助用シートには、パンチング後または導体ペースト印刷後のグリーンシートに対し、浮きを生じない程度の保持力(接着力)を有することも求められる。 It should be noted that this type of processing auxiliary sheet is also required to have a holding force (adhesive force) that does not cause floating with respect to the green sheet after punching or conductor paste printing.
本発明の一側面では、パンチング後の被着体に対し貫通孔の変形や詰まりを生じさせることがなく、かつパンチング後の被着体に対して十分な保持力を発現しつつも、破断することなく綺麗に剥離可能である、被着体の加工補助用シートと、該シートを用いた加工方法を提供する。 In one aspect of the present invention, the adherend after punching does not deform or clog the through hole, and the adherend after punching exhibits sufficient holding force while breaking. Provided are a processing assisting sheet for an adherend, which can be peeled off cleanly without any trouble, and a processing method using the sheet.
本発明の他の側面では、被着体上に形成される、導体ペーストパターンの変形や焼成後の導体パターンへのクラックを生じさせることがなく、かつ導体ペースト印刷後の被着体に対して十分な保持力を発現しつつも、破断することなく綺麗に剥離可能である、被着体の加工補助用シートと、該シートを用いた加工方法を提供する。 In another aspect of the present invention, the conductor paste pattern formed on the adherend does not deform or crack the conductor pattern after firing, and the adherend after printing the conductor paste is not formed. Provided are a processing auxiliary sheet for an adherend, which can be neatly peeled off without breaking while exhibiting sufficient holding power, and a processing method using the sheet.
本発明者らは、使用する樹脂フィルムの突刺強度と厚さを制御することにより、使用する樹脂フィルムの材質の如何を問わず、パンチング特性、保持性、及び剥離性をすべて同時に満足できることを見出し、本発明を完成させた。 The present inventors have found that by controlling the puncture strength and thickness of the resin film used, punching characteristics, retention, and peelability can all be satisfied at the same time regardless of the material of the resin film used. , The present invention has been completed.
本発明に係る被着体の加工補助用シート(本発明シート)は、被着体に積層して使用されるものであって、突刺強度が10N以下で、かつ厚さが10μm以上の樹脂フィルムを含むことを特徴とする。 The sheet for assisting processing of an adherend according to the present invention (the sheet of the present invention) is a resin film which is laminated on an adherend and has a puncture strength of 10 N or less and a thickness of 10 μm or more. It is characterized by including.
本発明に係る第1の加工方法は、被着体に補助シートを積層した状態で、前記被着体に貫通孔をパンチング加工するにあたり、補助シートとして、上記本発明の加工補助用シートを用いたことを特徴とする。 In the first processing method according to the present invention, when the through hole is punched in the adherend in a state where the auxiliary sheet is laminated on the adherend, the processing auxiliary sheet of the present invention is used as the auxiliary sheet. It is characterized by being there.
本発明に係る第2の加工方法は、被着体に補助シートを積層した状態で、前記被着体表面に導体パターンを形成加工するにあたり、補助シートとして、被着体表面に形成すべき導体パターンに対応する穴あけ加工がパンチングにより施された形態での、上記本発明の加工補助用シートを用いたことを特徴とする。
なお、以下、上述した第1の加工方法と第2の加工方法を合わせて「本発明方法」と略記する。In the second processing method according to the present invention, a conductor to be formed on the surface of an adherend as an auxiliary sheet when forming a conductor pattern on the surface of the adherend in a state where an auxiliary sheet is laminated on the adherend. It is characterized by using the processing auxiliary sheet of the present invention in a form in which a hole corresponding to a pattern is punched.
Hereinafter, the above-mentioned first processing method and the second processing method are collectively abbreviated as "the method of the present invention".
本発明シートは、被着体に貫通孔をパンチング加工するのに先立ち、該被着体に積層して使用される、被着体のパンチング加工補助用シートであることができる。
本発明シートは、被着体表面に形成すべき導体パターンに対応する穴あけ加工をパンチングにより施した上で、該被着体に積層して使用される、被着体表面への導体パターン形成加工補助用シートであることができる。The sheet of the present invention can be a sheet for assisting punching of an adherend, which is used by being laminated on the adherend prior to punching a through hole in the adherend.
The sheet of the present invention is punched to correspond to the conductor pattern to be formed on the surface of the adherend, and then laminated on the adherend to form a conductor pattern on the surface of the adherend. It can be an auxiliary sheet.
本発明シート及び本発明方法において、樹脂フィルムは、厚み1μmあたりの突き刺し強度が0.2N以下であることが好ましい。
本発明シート及び本発明方法において、樹脂フィルムの、被着体に積層する側に再剥離性粘着層を有することが好ましい。 In the sheet of the present invention and the method of the present invention, the resin film preferably has a piercing strength of 0.2 N or less per 1 μm of thickness.
In the sheet of the present invention and the method of the present invention, it is preferable to have a removable adhesive layer on the side of the resin film to be laminated on the adherend.
本発明でいう被着体とは、各種積層セラミック製品(例えば、積層セラミックコンデンサ、セラミック多層回路基板など)の製造過程で使用される、未焼成物または焼成後の焼成物を意味する。例えば、セラミックグリーンシート(未焼成物)や、該シートを含むものの焼成物などが挙げられる。 The adherend referred to in the present invention means an unfired product or a fired product after firing, which is used in the manufacturing process of various laminated ceramic products (for example, multilayer ceramic capacitors, ceramic multilayer circuit boards, etc.). For example, a ceramic green sheet (unfired product), a fired product containing the sheet, and the like can be mentioned.
本発明シートは、ベース基材として所定特性かつ所定厚みの樹脂フィルムを含むため、パンチング後の被着体に対し貫通孔の変形や詰まりを生じさせることがない。また、被着体上に形成される、導体ペーストパターンの変形や焼成後の導体パターンへのクラックを生じさせることがない。これらに加え、加工(パンチングまたは導体ペースト印刷)後の被着体に対して十分な保持力を発現しつつも、破断することなく綺麗に剥離することができる。 Since the sheet of the present invention contains a resin film having a predetermined characteristic and a predetermined thickness as a base base material, the adherend after punching does not deform or clog the through holes. In addition, the conductor paste pattern formed on the adherend does not deform or crack the conductor pattern after firing. In addition to these, it can be peeled off cleanly without breaking while exhibiting sufficient holding power for the adherend after processing (punching or conductor paste printing).
本発明方法は、本発明の上記加工補助用シートを用いるため、被着体側へ食い込む方向に、バリ(補助シートの小片またはささくれ)や欠けが発生しない。このため、第1の加工方法は、パンチング後の被着体に対し貫通孔の変形や詰まりを生じさせることがない。第2の加工方法は、被着体上に形成される、導体ペーストパターンの変形や焼成後の導体パターンへのクラックを生じさせることがない。これらに加え、本発明方法は、加工(パンチングまたは導体ペースト印刷)後に被着体との間で浮きを生じることはないにもかかわらず、剥離の際、破断することもない。したがって、使用目的を終えた補助シートを被着体から綺麗に取り除くことができる。 Since the method of the present invention uses the processing auxiliary sheet of the present invention, burrs (small pieces or hangnail of the auxiliary sheet) or chips do not occur in the direction of biting into the adherend side. Therefore, the first processing method does not cause deformation or clogging of the through holes in the adherend after punching. The second processing method does not cause deformation of the conductor paste pattern formed on the adherend or cracks in the conductor pattern after firing. In addition to these, the method of the present invention does not cause floating with the adherend after processing (punching or conductor paste printing), but does not break during peeling. Therefore, the auxiliary sheet that has finished its intended use can be cleanly removed from the adherend.
以下、被着体が、脆弱で僅かな衝撃により変形や破損してしまう、未焼成物(セラミックグリーンシート)である場合を例示して説明する。 Hereinafter, a case where the adherend is an unfired material (ceramic green sheet) that is fragile and is deformed or damaged by a slight impact will be described as an example.
被着体の一例に係るセラミックグリーンシートは、セラミック原料粉末と有機質バインダーと溶媒を含むスラリーをドクターブレード法によってキャリアテープ上に薄く延ばして成形(いわゆるテープ成形)されたものである。このテープ成形されたセラミックグリーンシートは、一般に、所定寸法に切断され、層間接続用の微小な貫通孔(ビアホール)がNC金型パンチング装置等によりパンチング(打ち抜き)加工される。その後、シート表面への導体パターンの印刷、複数枚のセラミックグリーンシートの積層、焼成の各工程を経て積層セラミック製品(セラミック多層回路基板など)が製造される。 The ceramic green sheet according to an example of the adherend is formed by thinly spreading a slurry containing a ceramic raw material powder, an organic binder and a solvent on a carrier tape by a doctor blade method (so-called tape molding). This tape-formed ceramic green sheet is generally cut to a predetermined size, and minute through holes (via holes) for interlayer connection are punched (punched) by an NC mold punching device or the like. After that, a laminated ceramic product (ceramic multilayer circuit board, etc.) is manufactured through each process of printing a conductor pattern on the sheet surface, laminating a plurality of ceramic green sheets, and firing.
本発明の一例(本例)に係る加工補助用シートは、上記セラミックグリーンシートに貫通孔をパンチング加工するのに先立ち、該グリーンシートの上面に仮着(積層)して使用され、その使用目的(貫通孔のパンチング)を終えた後、グリーンシートから取り除かれる用途(セラミックグリーンシートのパンチング加工補助用シート)へ好適に使用しうるものである。
本例の加工補助用シートは、上記パンチング加工補助用のほか、予め、上記セラミックグリーンシート表面に形成すべき導体パターン(配線回路パターン)に対応する穴あけ加工をパンチングにより施し、穴あけ加工済み補助シートとした上で、その加工済み補助シートを該グリーンシートの上面に仮着(積層)して使用することもできる(セラミックグリーンシート表面への導体パターン形成加工補助用シート、つまりマスキングシート)。使用目的(セラミックグリーンシートへの仮着後、打ち抜き穴を通じて充填される導体ペーストの印刷)を終えた後は、貫通孔のパンチングと同様、グリーンシートから取り除かれる。The processing auxiliary sheet according to an example (this example) of the present invention is used by being temporarily attached (laminated) to the upper surface of the green sheet prior to punching a through hole in the ceramic green sheet, and the purpose of use thereof. It can be suitably used for applications (a ceramic green sheet punching auxiliary sheet) that are removed from the green sheet after finishing (punching of through holes).
In addition to the punching auxiliary sheet, the processing auxiliary sheet of this example is punched in advance to correspond to the conductor pattern (wiring circuit pattern) to be formed on the surface of the ceramic green sheet. Then, the processed auxiliary sheet can be temporarily attached (laminated) to the upper surface of the green sheet (a conductor pattern forming auxiliary sheet on the surface of the ceramic green sheet, that is, a masking sheet). After the purpose of use (printing of the conductor paste filled through the punched holes after temporary attachment to the ceramic green sheet) is completed, it is removed from the green sheet in the same manner as punching through holes.
本例の加工補助用シートは、ベース基材を含む。本例で用いられるベース基材は、所定特性の樹脂フィルムで構成される。本例では、樹脂フィルムとして、突刺強度が10N以下であり、かつ厚みが10μm以上のものを用いる。 The processing auxiliary sheet of this example includes a base base material. The base base material used in this example is composed of a resin film having predetermined characteristics. In this example, a resin film having a piercing strength of 10 N or less and a thickness of 10 μm or more is used.
本発明者らは、ベース基材に使用する樹脂フィルム(例えばPET)の厚みを薄くしていくことで加工補助用シートのパンチング加工性の向上(バリや欠け発生の低減)を確認し、基材厚を10μm未満にまで薄くすれば、その樹脂フィルムのせん断強度が十分に低下し、その結果、バリや欠け発生の低減に良好な結果を得た。一方、基材厚が10μm未満と薄いと、加工(パンチングまたは導体ペースト印刷)後のグリーンシートから剥離する際に、基材が破断し、またはグリーンシート側へ粘着層(後述)が糊残りするなど、加工補助用シートをグリーンシートから綺麗に剥離することができなかった。 The present inventors have confirmed that the punching workability of the processing auxiliary sheet is improved (reduction of burrs and chipping) by reducing the thickness of the resin film (for example, PET) used for the base base material. When the material thickness was reduced to less than 10 μm, the shear strength of the resin film was sufficiently reduced, and as a result, good results were obtained in reducing the occurrence of burrs and chips. On the other hand, if the base material thickness is as thin as less than 10 μm, the base material breaks or the adhesive layer (described later) remains on the green sheet side when peeling from the green sheet after processing (punching or conductor paste printing). The processing auxiliary sheet could not be peeled off cleanly from the green sheet.
そこで本発明者らは、バリや欠け発生の低減とグリーンシートからの綺麗な剥離の他、加工(パンチングまたは導体ペースト印刷)後のグリーンシートに対する十分な保持力の発現を、同時満足させるべく鋭意検討を重ねた結果、ベース基材に使用する樹脂フィルムの突刺強度が所定値以下であれば、基材厚が、加工補助用シートにグリーンシートからの綺麗な剥離効果を発現させる厚みである10μm以上としても、パンチング後のグリーンシートに対し貫通孔の変形や詰まりを生じさせなくでき、またグリーンシート上に形成される、導体ペーストパターンの変形や焼成後の導体パターンへのクラックを生じさせなくできることを見出した。
なお、基材厚が10μm未満と薄いと、グリーンシートへの積層または貼り合わせの難易度が上がり、結果、位置合わせに苦労したり、皺が入ることが多く、作業性が低下することもあり得る。Therefore, the present inventors are working diligently to reduce the occurrence of burrs and chips, to peel off the green sheet cleanly, and to simultaneously satisfy the development of sufficient holding power for the green sheet after processing (punching or conductor paste printing). As a result of repeated studies, if the piercing strength of the resin film used for the base base material is equal to or less than a predetermined value, the base material thickness is 10 μm, which is the thickness at which the processing auxiliary sheet exhibits a beautiful peeling effect from the green sheet. Even as described above, it is possible to prevent the green sheet after punching from being deformed or clogged with through holes, and to prevent the conductor paste pattern formed on the green sheet from being deformed or cracks in the conductor pattern after firing. I found out what I could do.
If the thickness of the base material is as thin as less than 10 μm, the difficulty of laminating or laminating on the green sheet increases, and as a result, alignment may be difficult, wrinkles may occur, and workability may decrease. obtain.
本例で用いられる樹脂フィルムは、第1に、突刺強度が10N以下(好ましくは9N以下、より好ましくは8N以下)であることが必要である。使用する樹脂フィルムの突刺強度が10Nを超えると、その樹脂フィルムを含む補助シートでは、パンチング加工性が悪化する。これに加え、グリーンシートの位置ずれを起こしにくい薄さ(薄厚)で粘着層(後述)を形成した場合に、加工(パンチングまたは導体ペースト印刷)後のグリーンシートに対して十分な保持力を発現させにくい。 First, the resin film used in this example needs to have a puncture strength of 10 N or less (preferably 9 N or less, more preferably 8 N or less). If the puncture strength of the resin film used exceeds 10 N, the punching workability of the auxiliary sheet containing the resin film deteriorates. In addition to this, when the adhesive layer (described later) is formed with a thickness (thinness) that does not easily cause misalignment of the green sheet, sufficient holding power is exhibited for the green sheet after processing (punching or conductor paste printing). It is difficult to make it.
突刺強度は、カテラン針(協和界面化学社製、サイズ:22G(=外径0.7mm)×長さ:33mm)をセットしたテンシロン万能材料試験機(A&D社製、RTC−1210A)を用い、針先端を樹脂フィルムに対向させた状態で、針を50mm/分の速度で樹脂フィルムに進入させ、針が貫通するまでに樹脂フィルムにかかった最大荷重(単位はN)を意味する。 For the puncture strength, a Tencilon universal material tester (manufactured by A & D, RTC-1210A) set with a cateran needle (manufactured by Kyowa Surface Chemical Co., Ltd., size: 22 G (= outer diameter 0.7 mm) x length: 33 mm) was used. It means the maximum load (unit: N) applied to the resin film until the needle penetrates the resin film at a speed of 50 mm / min with the tip of the needle facing the resin film.
本例で用いられる樹脂フィルムは、第2に、樹脂フィルムの厚みが10μm以上であることが必要である。使用する樹脂フィルムの厚みが10μm未満であると、その樹脂フィルムを含む補助シートを加工(パンチングまたは導体ペースト印刷)後のグリーンシートから綺麗に剥離させる効果を発現させにくい。 Secondly, the resin film used in this example needs to have a thickness of 10 μm or more. If the thickness of the resin film used is less than 10 μm, it is difficult to exhibit the effect of neatly peeling the auxiliary sheet containing the resin film from the green sheet after processing (punching or conductor paste printing).
樹脂フィルムの厚みは、グリーンシートからの剥離性向上(グリーンシートからの綺麗な剥離効果の発現)の観点から、好ましくは20μm以上、より好ましくは50μm以上である。一方、厚みが厚すぎると、10N以下の突刺強度を実現することは困難であるため、厚み上限は、100μm程度とすることができる。 The thickness of the resin film is preferably 20 μm or more, more preferably 50 μm or more, from the viewpoint of improving the peelability from the green sheet (exhibiting a beautiful peeling effect from the green sheet). On the other hand, if the thickness is too thick, it is difficult to achieve a puncture strength of 10 N or less, so the upper limit of the thickness can be set to about 100 μm.
本例で用いられる樹脂フィルムは、上記2つの条件に加え、厚み1μmあたりの突き刺し強度が0.2N以下であることが好ましい。この場合、パンチング加工性とグリーンシートからの綺麗な剥離効果がより一層、高度にバランスされることが期待される。 In addition to the above two conditions, the resin film used in this example preferably has a piercing strength of 0.2 N or less per 1 μm of thickness. In this case, it is expected that the punching workability and the beautiful peeling effect from the green sheet are more highly balanced.
本例で用いられる樹脂フィルムとしては、その材質に特段の限定はない。例えば、ポリエチレン系樹脂; ポリプロピレン系樹脂; ノルボルネン樹脂等の環状ポリオレフィン系樹脂; シンジオタクチックポリスチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂; アクリロニトリル−スチレン共重合体(AS樹脂); アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂); ポリ塩化ビニル系樹脂; フッ素系樹脂; ポリ(メタ)アクリル系樹脂; ポリカーボネート系樹脂; ポリエチレンテレフタレート(PET)またはポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル系樹脂; 各種のナイロン等のポリアミド系樹脂; ポリイミド系樹脂; ポリアミドイミド系樹脂; ポリアリールフタレート系樹脂; シリコーン系樹脂; ポリスルホン系樹脂; ポリフェニレンスルフィド系樹脂; ポリエーテルスルホン系樹脂; ポリウレタン系樹脂; アセタール系樹脂; セルロース系樹脂;等、樹脂材料とするものを使用することができる。 The material of the resin film used in this example is not particularly limited. For example, polyethylene-based resin; polypropylene-based resin; cyclic polyolefin-based resin such as norbornene resin; polystyrene-based resin such as syndiotactic polystyrene resin; acrylonitrile-styrene copolymer (AS resin); acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer ( ABS resin); Polyvinyl chloride resin; Fluorine resin; Poly (meth) acrylic resin; Polycarbonate resin; Polyester resin such as polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN); Polyethylene such as various nylons Based resin; Polyethylene based resin; Polyamiimide resin; Polyarylphthalate resin; Silicone resin; Polysulfone resin; Polyphenylene sulfide resin; Polyethersulfone resin; Polyurethane resin; Acetal resin; Cellulosic resin; etc. , A resin material can be used.
本例で用いられる樹脂フィルムは、例えば、上記の樹脂材料を1種または2種以上を使用して形成したものを使用することができる。上記材料からなる樹脂フィルムは、単独で使用してもよいし、接着剤等を使用して2層以上積層してもよい。 As the resin film used in this example, for example, one formed by using one kind or two or more kinds of the above resin materials can be used. The resin film made of the above materials may be used alone, or may be laminated in two or more layers by using an adhesive or the like.
本例では、樹脂フィルムとして、上記特性かつ厚みを持ち、かつ、ミクロボイド(微小な空隙)を有するポリプロピレン樹脂からなるものを用いた場合、特に良好な結果が得られる。 In this example, when a resin film made of polypropylene resin having the above characteristics and thickness and having microvoids (microvoids) is used, particularly good results can be obtained.
ボイド(空隙)は、無機微粒子または有機フィラーを用いることで形成される。無機微粒子または有機フィラーの平均粒子径は、例えば0.01〜15μm、より好ましくは0.01〜8μmであるとよい。 Voids are formed by using inorganic fine particles or organic fillers. The average particle size of the inorganic fine particles or the organic filler is, for example, 0.01 to 15 μm, more preferably 0.01 to 8 μm.
樹脂フィルム中での上記空隙の存在率は、好ましくは1.0%以上、より好ましくは2.0%以上であるとよい。空隙存在率が少なすぎると、突刺強度が必要以上に高くなりすぎ、パンチング特性の低下を生じ得るからである。一方、空隙存在率は、好ましくは60%以下、より好ましくは35%以下であるとよい。空隙存在率が多すぎると、補助シート全体での機械的強度確保が難しくなり得る。 The abundance of the voids in the resin film is preferably 1.0% or more, more preferably 2.0% or more. This is because if the void abundance rate is too small, the piercing strength becomes too high and the punching characteristics may be deteriorated. On the other hand, the void abundance rate is preferably 60% or less, more preferably 35% or less. If the abundance of voids is too large, it may be difficult to secure the mechanical strength of the entire auxiliary sheet.
本例で用いる樹脂フィルムとして特に好適な市販品としては、例えば、FPG60(ユポ・コーポレーション社製、厚さ60μm、延伸処理によりボイドを形成した多孔質ポリプロピレンフィルム)などが挙げられる。 Examples of a commercially available product particularly suitable as the resin film used in this example include FPG60 (manufactured by Yupo Corporation, 60 μm in thickness, porous polypropylene film in which voids are formed by stretching treatment) and the like.
本例の加工補助用シートは、ベース基材のグリーンシートに積層される側に、粘着層が積層されていてもよい。粘着層はベース基材の両面に積層されていてもよい。
粘着層は、少なくとも樹脂成分を含む。樹脂成分としては、再剥離性があり、剥離時に糊残りを生じないものであればよく、このような成分としては、特に制限されないが、例えば、アクリル系、ゴム系、ポリビニールエーテル系、シリコーン系、ウレタン系、ポリエステル系などの樹脂成分が挙げられる。In the processing auxiliary sheet of this example, an adhesive layer may be laminated on the side to be laminated on the green sheet of the base base material. The adhesive layer may be laminated on both sides of the base base material.
The adhesive layer contains at least a resin component. The resin component may be any as long as it has re-peelability and does not leave adhesive residue at the time of peeling. Such a component is not particularly limited, but is, for example, acrylic, rubber, polyvinyl ether, or silicone. Examples include resin components such as based, urethane, and polyester.
本例では、上記樹脂成分に架橋剤を配合させて粘着層としてもよい。架橋剤としては例えば、イソシアネート系化合物、アルミキレート、アジリジニル系化合物、エポキシ系化合物等が挙げられる。架橋剤の配合量は、樹脂成分の全固形分を100質量部としたときに、0.01〜20質量部程度、配合すればよい。 In this example, a cross-linking agent may be blended with the resin component to form an adhesive layer. Examples of the cross-linking agent include isocyanate compounds, aluminum chelates, aziridinyl compounds, epoxy compounds and the like. The amount of the cross-linking agent to be blended may be about 0.01 to 20 parts by mass when the total solid content of the resin component is 100 parts by mass.
粘着層の接着力は、グリーンシートに対して、0.01〜5.0N/25mmが好ましく、0.01〜4.5N/25mmがより好ましく、0.01〜4.0N/25mmがさらに好ましい。特に、0.01〜3.0N/25mmが好ましく、0.01〜2.8N/25mmがより好ましく、0.01〜2.5N/25mmがさらに好ましい。当該範囲にすることによって、グリーンシートとの接着力を好適に維持することができ、且つ、グリーンシートから本例の加工補助用シートを剥離する際に、グリーンシート側への糊残りを発生することがない。0.01N/25mm未満であると、グリーンシートとの接着力が不足する場合があり、パンチング等の際に加工補助用シートが位置ずれしやすくなる。5.0N/25mm超であると、グリーンシートとの接着力が増大することから、使用目的を終え、グリーンシートから加工補助用シートを剥離する際にグリーンシート側へ糊残りを生じ、またグリーンシートの表面を荒らしてしまうおそれもある。 The adhesive strength of the adhesive layer is preferably 0.01 to 5.0 N / 25 mm, more preferably 0.01 to 4.5 N / 25 mm, still more preferably 0.01 to 4.0 N / 25 mm with respect to the green sheet. .. In particular, 0.01 to 3.0 N / 25 mm is preferable, 0.01 to 2.8 N / 25 mm is more preferable, and 0.01 to 2.5 N / 25 mm is further preferable. By setting the temperature within this range, the adhesive strength with the green sheet can be suitably maintained, and when the processing auxiliary sheet of this example is peeled from the green sheet, adhesive residue is generated on the green sheet side. Never. If it is less than 0.01 N / 25 mm, the adhesive force with the green sheet may be insufficient, and the processing auxiliary sheet tends to be misaligned during punching or the like. If it exceeds 5.0 N / 25 mm, the adhesive force with the green sheet increases. Therefore, when the purpose of use is finished and the processing auxiliary sheet is peeled off from the green sheet, adhesive residue is generated on the green sheet side, and the green There is also a risk of roughening the surface of the sheet.
粘着層の厚さは、それを増やすことで、グリーンシートとの接着力が向上する(同一の成分で比較した場合)が、1〜15μmの範囲が一般的である。 By increasing the thickness of the adhesive layer, the adhesive strength with the green sheet is improved (when compared with the same components), but the thickness is generally in the range of 1 to 15 μm.
本例に係る加工補助用シートは、粘着層を含む場合、該粘着層を構成する樹脂成分を有機溶剤に溶解・分散させた粘着層形成用塗料をベース基材(樹脂フィルム)に塗布乾燥することにより形成することができる。 When the processing auxiliary sheet according to this example contains an adhesive layer, a coating material for forming an adhesive layer in which the resin component constituting the adhesive layer is dissolved and dispersed in an organic solvent is applied to a base base material (resin film) and dried. Can be formed by
なお、加工補助用シートが粘着層を含む場合、取扱性の観点で、粘着層を有する面にセパレータを設けることが好ましい。セパレータとしては、特に限定されず、紙や合成紙、ポリエチレンラミネート紙、プラスチックフィルム等が使用可能である。セパレータは、粘着層との離型性を向上させるため、粘着層と接する面に、ポリエチレンワックスやシリコーン離型剤を塗布し、離型処理を施したものであってもよい。 When the processing auxiliary sheet contains an adhesive layer, it is preferable to provide a separator on the surface having the adhesive layer from the viewpoint of handleability. The separator is not particularly limited, and paper, synthetic paper, polyethylene laminated paper, plastic film and the like can be used. In order to improve the releasability from the adhesive layer, the separator may be one obtained by applying a polyethylene wax or a silicone mold release agent to the surface in contact with the adhesive layer and performing a mold release treatment.
本例に係る第1の加工方法(パンチング方法)は、セラミックグリーンシートの上面に本例の加工補助用シートを、その粘着層を対向させて積層した状態で、該加工補助用シートとともに前記グリーンシートに貫通孔をパンチングする。加工補助用シートは、使用目的(貫通孔のパンチング)を終えた後、グリーンシートから取り除かれる。 In the first processing method (punching method) according to this example, the processing auxiliary sheet of this example is laminated on the upper surface of the ceramic green sheet with the adhesive layers facing each other, and the green is combined with the processing auxiliary sheet. Punch through holes in the sheet. The processing auxiliary sheet is removed from the green sheet after the intended use (punching of through holes) is completed.
本例に係る第2の加工方法(導体パターン形成方法)は、まず、本例の加工補助用シートに対し、セラミックグリーンシート表面に形成すべき導体パターン(配線回路パターン)に対応する穴あけ加工をパンチングにより施したもの(穴あけ加工済み補助シート)を準備する。次に、セラミックグリーンシートの上面に、準備した穴あけ加工済み補助シートを、その粘着層を対向させて積層する。この状態で、導体ペーストを補助シートの穴あき部分(打ち抜き穴)に充填することで、前記グリーンシートに導体パターンを形成する。穴あけ加工済み補助シートは、使用目的(導体ペーストの印刷)を終えた後、グリーンシートから取り除かれる。 In the second processing method (conductor pattern forming method) according to this example, first, the processing auxiliary sheet of this example is punched according to the conductor pattern (wiring circuit pattern) to be formed on the surface of the ceramic green sheet. Prepare the punched material (drilled auxiliary sheet). Next, the prepared auxiliary sheet with holes has been laminated on the upper surface of the ceramic green sheet with the adhesive layers facing each other. In this state, the conductor paste is filled in the perforated portion (punched hole) of the auxiliary sheet to form a conductor pattern on the green sheet. The perforated auxiliary sheet is removed from the green sheet after the intended use (printing of conductor paste) is completed.
本例のパンチング方法及び導体パターン形成方法は、本例の加工補助用シートを用いるため、グリーンシート側へ食い込む方向に、バリや欠けが発生しない。このため、本例のパンチング方法は、パンチング後のグリーンシートに対し貫通孔の変形や詰まりを生じさせることがない。また本例の導体パターン形成方法は、グリーンシート上に形成される、導体ペーストパターンの変形や焼成後の導体パターンへのクラックを生じさせることがない。これらに加え、本例のパンチング方法及び導体パターン形成方法は、パンチング後または導体ペースト印刷後にグリーンシートとの間で浮きを生じることはないにもかかわらず、剥離の際、破断することもない。したがって、使用目的を終えた補助シートをグリーンシートから綺麗に取り除くことができる。さらに、グリーンシートへの積層または貼り合わせの際、位置合わせに苦労することは少なく、かつ積層または貼り合わせ時に皺が入ることもない。したがって、グリーンシートへの積層または貼り合わせの作業性向上も期待できる。 Since the punching method and the conductor pattern forming method of this example use the processing auxiliary sheet of this example, burrs and chips do not occur in the direction of biting into the green sheet side. Therefore, the punching method of this example does not cause deformation or clogging of the through holes in the green sheet after punching. Further, the conductor pattern forming method of this example does not cause deformation of the conductor paste pattern formed on the green sheet or cracks in the conductor pattern after firing. In addition to these, the punching method and the conductor pattern forming method of this example do not cause floating with the green sheet after punching or conductor paste printing, but do not break during peeling. Therefore, the auxiliary sheet that has finished its intended use can be removed cleanly from the green sheet. Further, when laminating or laminating on the green sheet, there is little difficulty in alignment, and wrinkles do not occur during laminating or laminating. Therefore, it can be expected that the workability of laminating or laminating on the green sheet will be improved.
以下、実施例により本発明を更に説明する。なお、「部」、「%」は特に示さない限り、重量基準とする。 Hereinafter, the present invention will be further described with reference to Examples. Unless otherwise specified, "parts" and "%" are based on weight.
1.樹脂フィルムの準備
下記記載の樹脂フィルム(市販品)を準備した。
・フィルムa: 厚さ12μm、空隙非含有ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(三菱ケミカル社製、O310)
・フィルムb: 厚さ23μm、空隙非含有PETフィルム(東洋紡績社製、A4300)
・フィルムc: 厚さ38μm、空隙非含有PETフィルム(東洋紡績社製、A4300)1. 1. Preparation of resin film The following resin film (commercially available) was prepared.
-Film a: Polyethylene terephthalate (PET) film with a thickness of 12 μm and no voids (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, O310)
-Film b: PET film with a thickness of 23 μm and no voids (manufactured by Toyobo Co., Ltd., A4300)
-Film c: PET film with a thickness of 38 μm and no voids (manufactured by Toyobo Co., Ltd., A4300)
・フィルムd: 厚さ40μm、二軸延伸ポリプロピレン(OPP)フィルム(サントックス社製、PA21)
・フィルムe−1: 厚さ50μm、PPSフィルム(東レ社製、トレリナ)
・フィルムe−2: 厚さ50μm、空隙非含有PETフィルム(東洋紡績社製、A4300)-Film d: 40 μm thick, biaxially stretched polypropylene (OPP) film (manufactured by Santox, PA21)
-Film e-1: Thickness 50 μm, PPS film (Toray Industries, Inc., Trerina)
-Film e-2: PET film with a thickness of 50 μm and no voids (manufactured by Toyobo Co., Ltd., A4300)
・フィルムf−1: 厚さ60μm、トリアセチルセルロース(TAC)フィルム
・フィルムf−2: 厚さ60μm、OPPフィルム(サントックス社製、PA21)
・フィルムf−3: 厚さ60μm、空隙含有PPフィルム(ユポ・コーポレーション社製、FPG60)-Film f-1: thickness 60 μm, triacetyl cellulose (TAC) film film f-2: thickness 60 μm, OPP film (manufactured by Santox, PA21)
-Film f-3: Thickness 60 μm, void-containing PP film (manufactured by Yupo Corporation, FPG60)
・フィルムg−1: 厚さ75μm、空隙非含有PETフィルム(東洋紡績社製、A4300)
・フィルムg−2: 厚さ75μm、空隙含有PETフィルム(東洋紡績社製、クリスパー)
・フィルムh: 厚さ80μm、TACフィルム-Film g-1: PET film with a thickness of 75 μm and no voids (manufactured by Toyobo Co., Ltd., A4300)
-Film g-2: 75 μm thick, void-containing PET film (manufactured by Toyobo Co., Ltd., Crisper)
-Film h: Thickness 80 μm, TAC film
・フィルムi: 厚さ100μm、空隙非含有PETフィルム(東洋紡績社製、A4300)
・フィルムj: 厚さ6μm、空隙非含有PETフィルム(三菱ケミカル社製、K200)-Film i: PET film with a thickness of 100 μm and no voids (manufactured by Toyobo Co., Ltd., A4300)
-Film j: PET film with a thickness of 6 μm and no voids (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, K200)
2.樹脂フィルムの特性
(2−1)突刺強度
上記各樹脂フィルムa〜jに対し、カテラン針(協和界面化学社製、サイズ:22G(=外径0.7mm)×長さ:33mm)をセットしたテンシロン万能材料試験機(A&D社製、RTC−1210A)を用い、針の先端を各樹脂フィルムに対向させた状態で、針を各樹脂フィルムに50mm/分の速度で進入させ、針が貫通するまでに各樹脂フィルムにかかった最大荷重の絶対値(単位はN)を読み取った。測定は各樹脂フィルムごとに5回ずつ行い、その平均値で示した。結果を表1に示す。2. 2. Characteristics of resin film (2-1) Puncture strength Cateran needles (manufactured by Kyowa Surface Chemical Co., Ltd., size: 22 G (= outer diameter 0.7 mm) x length: 33 mm) were set for each of the above resin films a to j. Using a Tencilon universal material tester (RTC-1210A, manufactured by A & D), the needle is made to enter each resin film at a speed of 50 mm / min with the tip of the needle facing each resin film, and the needle penetrates. The absolute value (unit: N) of the maximum load applied to each resin film was read. The measurement was performed 5 times for each resin film, and the average value was shown. The results are shown in Table 1.
(2−2)単位厚さ当たりの突刺強度
上記(2−1)で測定された各値を、各樹脂フィルムの厚さで除すことにより、単位厚さ(1μm)当たりの突刺強度(N/μm)を算出した。結果を表1に示す。(2-2) Puncture strength per unit thickness By dividing each value measured in (2-1) above by the thickness of each resin film, the piercing strength (N) per unit thickness (1 μm) / Μm) was calculated. The results are shown in Table 1.
3.シートサンプルの作製
[実験例1〜14]
基材として、上記a〜jを使用し、その片面に、アクリル系粘着剤(アクリル酸エステル共重合体(ライオンスペシャリティケミカルズ社製、AS409)100部に硬化剤(ライオンスペシャリティケミカルズ社製、B−45)2部を配合したもの)を4μmの厚さで塗布し、乾燥を行って粘着層を形成し、各実験例のシートサンプルを作製した。3. 3. Preparation of sheet sample [Experimental Examples 1 to 14]
The above a to j are used as the base material, and 100 parts of an acrylic pressure-sensitive adhesive (acrylic acid ester copolymer (manufactured by Lion Specialty Chemicals, AS409) and a curing agent (manufactured by Lion Specialty Chemicals, B-) are used on one side thereof. 45) (a mixture of two parts) was applied to a thickness of 4 μm and dried to form an adhesive layer, and sheet samples of each experimental example were prepared.
4.評価
各実験例で得られたシートサンプルについて、下記項目の評価をした。結果を表1に示す。4. Evaluation The following items were evaluated for the sheet samples obtained in each experimental example. The results are shown in Table 1.
(4−1)パンチング加工性
まず、ドクターブレード法でテープ成形され、100℃で3時間熱アニールを行って、セラミックグリーンシートを準備した。次に、得られたセラミックグリーンシートの上面に、各実験例で作製したシートサンプルをその粘着層を対向させて仮着(積層)した。次に、セラミックグリーンシートの下面にあるキャリアテープを剥がし、これを、カテラン針(協和界面化学社製、サイズ:22G(=外径0.7mm)×長さ:33mm)がセットされたテンシロン万能材料試験機(A&D社製、RTC−1210A)にセットし、各実験例で作製したシートサンプルを介してセラミックグリーンシートに貫通孔をパンチング加工した。
次に、シートサンプルに形成された貫通孔を、目視及びマイクロスコープ(KEYENCE社製、超深度カラー3D形状測定顕微鏡VK−9510)を用いて100倍で観察し、評価した。評価基準は以下のとおりである。(4-1) Punching Workability First, a ceramic green sheet was prepared by tape molding by the doctor blade method and heat annealing at 100 ° C. for 3 hours. Next, the sheet samples prepared in each experimental example were temporarily attached (laminated) to the upper surface of the obtained ceramic green sheet with their adhesive layers facing each other. Next, the carrier tape on the lower surface of the ceramic green sheet is peeled off, and this is Tencilon universal set with a cateran needle (manufactured by Kyowa Surface Chemical Co., Ltd., size: 22G (= outer diameter 0.7mm) x length: 33mm). It was set in a material testing machine (RTC-1210A manufactured by A & D Co., Ltd.), and through holes were punched in a ceramic green sheet through a sheet sample prepared in each experimental example.
Next, the through holes formed in the sheet sample were visually observed and evaluated at 100 times using a microscope (manufactured by KEYENCE, ultra-depth color 3D shape measuring microscope VK-9510). The evaluation criteria are as follows.
◎:バリや欠けの発生が全く見られない(非常に優れている)。
○:バリや欠けの発生が見られない(優れている)。
△:バリや欠けの発生がほぼ見られない(良好)。
×:バリまたは欠けの発生が見られる(不良)。⊚: No burrs or chips are observed (very excellent).
◯: No burrs or chips are observed (excellent).
Δ: Almost no burrs or chips are observed (good).
X: Occurrence of burrs or chips is observed (defective).
(4−2)パンチング後の保持性
上記(4−1)によるパンチング加工後のグリーンシートの貫通孔付近を、マイクロスコープ(KEYENCE社製、超深度カラー3D形状測定顕微鏡VK−9510)を用いて100倍で観察し、グリーンシートとシートサンプルの間での浮きの発生状況を評価した。評価基準は以下のとおりである。(4-2) Retention after punching Using a microscope (manufactured by KEYENCE, ultra-deep color 3D shape measurement microscope VK-9510), the vicinity of the through hole of the green sheet after punching according to (4-1) above was used. By observing at 100 times, the occurrence of floating between the green sheet and the sheet sample was evaluated. The evaluation criteria are as follows.
○:浮きの発生が見られない(優れている)。
△:浮きの発生がほぼ見られない(良好)。
×:浮きの発生が見られる(不良)。◯: No floating is observed (excellent).
Δ: Almost no floating occurred (good).
X: Floating is observed (defective).
(4−3)剥離性
上記(4−1)によるパンチング加工後のグリーンシートからシートサンプルを剥がし、グリーンシートの、シートサンプル引き剥がし面を、目視及びマイクロスコープ(KEYENCE社製、超深度カラー3D形状測定顕微鏡VK−9510)を用いて100倍で観察し、評価した。評価基準は以下のとおりである。(4-3) Peelability Peel the sheet sample from the green sheet after punching according to (4-1) above, and visually check the peeled surface of the sheet sample of the green sheet and use a microscope (manufactured by KEYENCE, ultra-depth color 3D). It was observed and evaluated at 100 times using a shape measuring microscope VK-9510). The evaluation criteria are as follows.
○:目視及びマイクロスコープで糊残りが確認できなかった(優れている)
△:目視では確認できなかったが、マイクロスコープで確認できた(良好)
×:目視で明らかに糊残りが確認でき、またはシートサンプルが破断した(不良)。◯: No adhesive residue could be confirmed visually or with a microscope (excellent).
Δ: Although it could not be confirmed visually, it could be confirmed with a microscope (good).
X: Adhesive residue could be clearly confirmed visually, or the sheet sample was broken (defective).
5.考察
表1に示すように、ベース基材として突刺強度が10N以下で、かつ厚さ10μm以上の樹脂フィルムを用いた場合(実験例1,2,4,5,7,9,12)に、得られるシートサンプルの有用性が確認された。中でも、樹脂フィルムの厚さが50μm以上の場合(実験例7,9,12)、他の実験例(1,2,4,5)と比較して、パンチング加工性、剥離性及び保持性のバランスが優れていた。5. Discussion As shown in Table 1, when a resin film having a puncture strength of 10 N or less and a thickness of 10 μm or more is used as the base base material (Experimental Examples 1, 2, 4, 5, 7, 9, 12), The usefulness of the obtained sheet sample was confirmed. Above all, when the thickness of the resin film is 50 μm or more (Experimental Examples 7, 9, 12), the punching workability, peelability and retention are higher than those of other Experimental Examples (1, 2, 4, 5). The balance was excellent.
これに対し、突刺強度が10N以下でも厚さ10μm未満であったり、また厚さ10μm以上であっても突刺強度が10N超の場合(実験例3,6,8,10,11,13,14)、パンチング加工性、剥離性及び保持性のいずれかが不良となり、すべてを同時満足できないことが確認できた。
On the other hand, when the piercing strength is 10 N or less but less than 10 μm in thickness, or when the piercing strength is more than 10 N even if the thickness is 10 μm or more (Experimental Examples 3, 6, 8, 10, 11, 13, 14). ), Punching workability, peelability and retention were poor, and it was confirmed that all of them could not be satisfied at the same time.
Claims (8)
前記補助シートとして、請求項1〜6の何れかに記載の加工補助用シートを用いたことを特徴とする加工方法。When punching through holes in the adherend with the auxiliary sheet laminated on the adherend,
A processing method characterized in that the processing auxiliary sheet according to any one of claims 1 to 6 is used as the auxiliary sheet.
前記補助シートとして、前記被着体表面に形成すべき導体パターンに対応する穴あけ加工がパンチングにより施されている形態での、請求項1〜6の何れかに記載の加工補助用シートを用いたことを特徴とする加工方法。
In forming a conductor pattern on the surface of the adherend in a state where the auxiliary sheet is laminated on the adherend,
The processing auxiliary sheet according to any one of claims 1 to 6 is used as the auxiliary sheet in a form in which a hole is punched corresponding to the conductor pattern to be formed on the surface of the adherend. A processing method characterized by that.
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