JPWO2018155535A1 - 光偏向デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
図7A,図7Bは第1の光偏向デバイスのデバイス構造を示す。光偏向デバイス101Aは、2種類の異なる直径の円孔111a,111bを繰り返してなる二重周期構造を有するフォトニック結晶導波路102を備える。
図7C,図7Dは第2の光偏向デバイスのデバイス構造を示す。光偏向デバイス101Bは、1種類の直径の円孔111cを繰り返してなる周期構造のフォトニック結晶導波路102上に表面回折格子103が配設されてなる。
光偏向デバイスの第1の形態において、フォトニック結晶導波路及び回折機構は、高屈折率部材の面内に導波路コアの長さ方向に沿って2種類の異なる大きさの低屈折率部位が周期配列された二重周期構造の格子配列を備える。
回折機構の各周期部位の第1の配置形態は、各周期部位を導波路コアの長さ方向に対してV字形状又は逆V字形状の形状に配置する。
回折機構の各周期部位の第2の配置形態は、格子配列の一部の低屈折率部位の直線配列を導波路コアの長さ方向に対して位置ずれさせて配置する、格子シフトと呼ばれる配置形態であり、二重周期構造において、導波路コアの長さ方向に並ぶ低屈折率部位の直線配列において、導波路コアに対して対称の位置にある2つの直線配列は他の直線配列に対して導波路コアの長さ方向に位置ずれさせて配列する。この第2配置形態による格子シフト付V字形状配置は、格子シフトさせていないフォトニック結晶導波路の偏向角特性を均一化する効果を奏する。
回折機構の各周期部位の第3の配置形態は、格子配列において、導波路コアの近傍の格子配列については二重周期構造とし、二重周期構造の2種類の周期部位について第1の配置形態と同様にV字形状又は逆V字形状の形状に配置し、その他の格子配列については周期構造とする配置形態であり、フォトニック結晶導波路の格子配列において、導波路コアの長さ方向に沿って配列された2種類の異なる大きさの低屈折率部位が周期配列された格子配列の内、導波路コアに近傍の複数列の格子配列は二重周期構造とし、残りの格子配列は同じ大きさの低屈折率部位が周期配列された周期構造とする。
回折機構の各周期部位の第4の配置形態は、第1の配置形態と同様にV字形状又は逆V字形状に配置すると共に、格子配列の二重周期構造の2種類の周期部位について、低屈折率部位の大きさをグラデーション配列するものであり、低屈折率部位の大きさが低屈折率部位の配列方向に沿って順に増加又は減少するように配列する。
回折機構の各周期部位の第5の配置形態は、二重周期構造の2種類の周期部位が導波路コアと鋭角又は鈍角で交差する配置形態であり、導波路コアを中心にして、一方の側の周期部位を導波路コアの長さ方向に対して鋭角に配置し、他方の側の周期部位を導波路コアの長さ方向に対して鈍角に配置する。
光偏向デバイスの第2の形態は、1種類の大きさの低屈折率部位を繰り返してなる周期構造の格子配列のフォトニック結晶導波路と、回折機構としてこのフォトニック結晶導波路上に配置された表面回折格子を備える。
表面回折格子の各周期部位の第1の配置形態は、各周期部位を導波路コアの長さ方向に対してV字形状又は逆V字形状の形状に配置する。表面回折格子の周期部位の第1の配置形態においても、二重周期構造においてV字形状又は逆V字形状の形状の周期部位を配置する形態と同様の効果を奏する。
表面回折格子の各周期部位の第2の配置形態は、周期構造の周期部位が導波路コアと鋭角又は鈍角で交差する配置形態であり、導波路コアを中心にして、一方の側の周期部位を導波路コアの長さ方向に対して鋭角に配置し、他方の側の周期部位を導波路コアの長さ方向に対して鈍角に配置する。
図1は本願発明の光偏向デバイスの概略を説明するための図である。
本発明の光偏向デバイスの第1の形態について図2A〜図2D,図3A〜図3F,図4A,図4Bを用いて説明する。図2は第1の概略構成、及び放射光ビームの横方向の広がりを説明するための図であり、図3A〜図3F,図4A,図4Bは第1の形態の二重周期構造の構成例を説明するための図である。
第1の配置形態は、各周期部位4A(4Aa,4Ab)を導波路コア5の長さ方向に対してV字形状又は逆V字形状に配置する。図3A,図3Bは回折機構を構成する各周期部位の第1の配置形態を示し、図3AはV字形状の配置を示し、図3Bは逆V字形状の配置を示している。
図3Cは回折機構を構成する各周期部位の第2の配置形態を示している。回折機構3の各周期部位の第2の配置形態は、格子配列12中の周期部位4Aa,4Abの一部の低屈折率部位11a,11bの直線配列13を導波路コア5の長さ方向に対して位置ずれさせて配置する構成であり、格子シフトと呼ばれる配置形態である。
図3Dは回折機構を構成する各周期部位の第3の配置形態を示している。回折機構3を構成する周期部位の第3の配置形態は、格子配列12において、導波路コア5の近傍の格子配列14A,14Bについては二重周期構造とし、二重周期構造の2種類の周期部位4Aa,4Abについて第1の配置形態と同様にV字形状又は逆V字形状の形状に配置し、その他の格子配列15A,15Bについては同一の周期構造とする。
図3E,図3Fは回折機構を構成する各周期部位の第4の配置形態を示している。回折機構の各周期部位の第4の配置形態は、第1の配置形態と同様にV字形状又は逆V字形状の形状に配置すると共に、格子配列12の二重周期構造の2種類の周期部位について、低屈折率部位の大きさをグラデーション配列するものである。図3Eでは、低屈折率部位11bの大きさが低屈折率部位の配列方向に沿って順に増加するように配列する。
また、図3Fでは、低屈折率部位11aの大きさが低屈折率部位の配列方向に沿って順に増加するように配列する。
図4A,図4Bは回折機構を構成する各周期部位の第5の配置形態を示している。回折機構の各周期部位の第5の配置形態は、二重周期構造の2種類の周期部位が導波路コアと鋭角又は鈍角で交差する配置形態である。図4Aにおいて、導波路コア5を中心にして、一方の側の周期部位16Aを導波路コア5の長さ方向に対して鋭角に配置し、他方の側の周期部位16Bを導波路コア5の長さ方向に対して鈍角に配置する。図4Bに示す配置形態は、図4Aに示す配置形態を導波路コア5を中心に対称として構成を示している。
本発明の光偏向デバイスの第2の形態について図5A,図5B,図6A〜図6Eを用いて説明する。図5A,図5Bは第2の概略構成を説明するための図であり、図6A〜図6Eは第2の形態の表面回折格子の構成例を説明するための図である。
表面回折格子3Bの周期部位(凸部4Ba、凹部4Bb)の第1の配置形態は、各周期部位4Bの凸部4Ba、凹部4Bbを導波路コア5の長さ方向に対してV字形状又は逆V字形状の形状に配置する。この表面回折格子による周期部位の第1の配置形態においても、二重周期構造に周期部位をV字形状又は逆V字形状の形状に配置する形態と同様の効果を奏する。
表面回折格子の各周期部位の第2の配置形態は、周期構造の周期部位が導波路コアと鋭角又は鈍角で交差する配置形態であり、導波路コアを中心にして、一方の側の周期部位を導波路コアの長さ方向に対して鋭角に配置し、他方の側の周期部位を導波路コアの長さ方向に対して鈍角に配置する。
2 フォトニック結晶導波路
3 回折機構
3A 二重周期構造
3B 表面回折格子
4A,4B,4Aa,4Ab 周期部位
4Ba 凸部
4Bb 凹部
5 導波路コア
6 クラッド
10 高屈折率部材
11 低屈折率部位
11a 低屈折率部位(円孔)
11b 低屈折率部位(円孔)
12 格子配列
13,13A,13B 直線配列
14A,14B 格子配列
15A,15B 格子配列
16A,16B 周期部位
101 高屈折率部材
101A,101B 光偏向デバイス
102 フォトニック結晶導波路
103 表面回折格子
105 導波路コア
106 クラッド
110 高屈折率材料
111 低屈折率部位(円孔)
111a,111b,111c 円孔
112 格子配列
Claims (10)
- 高屈折率部材の面内に低屈折率部位が周期的に格子配列されたフォトニック結晶導波路と、
前記フォトニック結晶導波路の導波路コアの伝搬光を偏向させ外部に放射光ビームを放射する回折機構とを備え、
前記回折機構は、前記導波路コアの長さ方向に沿って配列された複数の周期部位を備え、各周期部位は前記導波路コアの長さ方向に対して鋭角又は鈍角に配置される、光偏向デバイス。 - 前記フォトニック結晶導波路及び前記回折機構は、高屈折率部材の面内に導波路コアの長さ方向に沿って2種類の異なる大きさの低屈折率部位が周期配列された二重周期構造の格子配列を備え、
前記回折機構は、前記二重周期構造の格子配列において、それぞれ同じ大きさの低屈折率部位が周期配列された2種類の周期部位を備え、
前記2種類の周期部位は前記導波路コアの長さ方向に沿って交互に配列され、前記導波路コアの長さ方向に対して鋭角又は鈍角に配置される、請求項1に記載の光偏向デバイス。 - 前記回折機構の各周期部位の配置は、前記導波路コアの長さ方向に対してV字形状又は逆V字形状である、請求項2に記載の光偏向デバイス。
- 前記フォトニック結晶導波路の格子配列において、
前記導波路コアの長さ方向に沿って配列された2種類の異なる大きさの低屈折率部位が周期配列された格子配列の内、前記導波路コアに近傍の複数列の格子配列は二重周期構造であり、残りの格子配列は同じ大きさの低屈折率部位が周期配列された周期構造である、請求項3に記載の光偏向デバイス。 - 前記回折機構の各周期部位において、
前記導波路コアを中心にして、一方の側の周期部位は前記導波路コアの長さ方向に対して鋭角に配置され、他方の側の周期部位は前記導波路コアの長さ方向に対して鈍角に配置される、請求項2に記載の光偏向デバイス。 - 前記二重周期構造において、前記導波路コアの長さ方向に並ぶ低屈折率部位の直線配列において、前記導波路コアに対して対称の位置にある2つの直線配列は他の直線配列に対して導波路コアの長さ方向に位置ずれした配列である、請求項2から4の何れか一つに記載の光偏向デバイス。
- 前記各周期部位は、それぞれの周期部位において、当該低屈折率部位の大きさが低屈折率部位の配列方向に沿って順に増加又は減少する、請求項2から4の何れか一つに記載の光偏向デバイス。
- 前記フォトニック結晶導波路は、高屈折率部材の面内に導波路コアの長さ方向に沿って同じ大きさの低屈折率部位が周期配列された周期構造の格子配列を備え、
前記回折機構は、
前記フォトニック結晶導波路の格子配列上に配置された表面回折格子であり、
前記表面回折格子が備える周期部位は凹凸配列であり、各周期部位は前記導波路コアに対して鋭角又は鈍角に配置される、請求項1に記載の光偏向デバイス。 - 前記回折機構の各周期部位の配置は、前記導波路コアの長さ方向に対してV字形状又は逆V字形状である、請求項8に記載の光偏向デバイス。
- 前記回折機構の各周期部位は、前記導波路コアを中心にして、一方の側の周期部位は前記導波路コアの長さ方向に対して鋭角に配置され、他方の側の周期部位は前記導波路コアの長さ方向に対して鈍角に配置される、請求項8に記載の光偏向デバイス。
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