JPWO2016068039A1 - 極低温冷凍機 - Google Patents

Abstract

極低温冷凍機１において、ディスプレーサ２は、内部空間を有し、当該内部空間を作動ガスが流通する。シリンダ４は、ディスプレーサ２を往復移動可能に収容し、ディスプレーサ２の底部２ｂとの間に作動ガスの膨張空間３を形成する。複数の環状の凸部１８は、膨張空間３の底面において、多重構造となるように設けられている。複数の環状の凹部１７は、ディスプレーサ２の底部２ｂにおいて、複数の環状の凸部１８を受け入れるように設けられている。

Description

本発明は、圧縮装置から供給される高圧の作動ガスを用いて、サイモン膨張を発生させて極低温の寒冷を発生する極低温冷凍機に関する。

極低温を発生する冷凍機の一例としてギフォードマクマホン（Gifford-McMahon；ＧＭ）冷凍機が知られている。ＧＭ冷凍機は、シリンダ内でディスプレーサを往復移動することにより、膨張空間の体積を変化させる。この体積変化に対応して膨張空間と圧縮機の吐出側又は吸気側を選択的に接続することで、作動ガスが膨張空間で膨張する。このとき発生する寒冷によって、冷却対象を冷却する。

特許５５７５８８０号公報

本発明の目的は、極低温冷凍機の冷凍性能を向上する技術を提供することである。

上記課題を解決するために、本発明のある態様の極低温冷凍機は、内部空間を有し、当該内部空間を作動ガスが流通するディスプレーサと、ディスプレーサを往復移動可能に収容し、ディスプレーサの底部との間に作動ガスの膨張空間を形成するシリンダと、膨張空間の底面において、多重構造となるように設けられた複数の環状の凸部と、ディスプレーサの底部において、複数の環状の凸部を受け入れるように設けられた複数の環状の凹部とを備える。

本発明によれば、極低温冷凍機の冷凍性能を向上する技術を提供することができる。

図１（ａ）−（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態に係る極低温冷凍機を模式的に示す図である。 図２（ａ）−（ｃ）は、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機を、シリンダの軸方向に垂直な平面で切断した断面を模式的に示す図である。 膨張空間内の作動ガスがディスプレーサの内部空間に回収される際に通る経路を示す模式図である。 図４（ａ）−（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態に係る極低温冷凍機を模式的に示す図である。 本発明の第３の実施の形態に係る極低温冷凍機の低温部を模式的に示す図である。 本発明の第３の実施の形態に係る極低温冷凍機の低温部を模式的に示す図である。 本発明の第４の実施の形態に係る極低温冷凍機の低温部を模式的に示す図である。 第４の実施の形態に係る極低温冷凍機を、シリンダの軸方向に垂直な平面で切断した断面を模式的に示す図である。 本発明の第５の実施の形態に係る極低温冷凍機の低温部の一部を模式的に示す図である。 本発明の第５の実施の形態に係る極低温冷凍機の低温部の一部を模式的に示す図である。

本発明の実施の形態について図面と共に説明する。

（第１の実施の形態）
図１（ａ）−（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１を模式的に示す図である。第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１は、例えば、作動ガスとしてヘリウムガスを用いるギフォードマクマホンタイプの冷凍機である。極低温冷凍機１は、ディスプレーサ２と、ディスプレーサ２との間に膨張空間３を形成するシリンダ４と、膨張空間３に隣接するとともに外包するように位置する有底円筒状の冷却ステージ５を備える。冷却ステージ５は、冷却対象と作動ガスとの間の熱交換を行う熱交換器として機能する。

圧縮機１２は、吸気側から低圧の作動ガスを回収し、これを圧縮した後に高圧の作動ガスを極低温冷凍機１に供給する。作動ガスとしては、例えばヘリウムガスを用いることができるがこれに限定されるものではない。

シリンダ４は、ディスプレーサ２を長手方向に往復移動可能に収容する。シリンダ４には強度、熱伝導率、ヘリウム遮断能などの観点から、例えばステンレス鋼が用いられる。

ディスプレーサ２は、本体部２ａと底部２ｂとを含む。ディスプレーサ２の本体部２ａには、比重、強度、熱伝導率などの観点から、例えばフェノール樹脂等が用いられる。蓄冷材は例えば金網等により構成される。底部２ｂは、本体部２ａと同一の部材で構成されてもよい。また、底部２ｂは、本体部２ａよりも熱伝導率が高い材質で構成されてもよい。そうすると、底部２ｂは、底部２ｂ内を流れる作動ガスとの間で熱交換を行なう熱伝導部としても機能する。底部２ｂには、例えば、銅、アルミニウム、ステンレスなど、少なくとも本体部２ａよりも熱伝導率の大きな材料が用いられる。冷却ステージ５は、例えば銅、アルミニウム、ステンレス等により構成される。

ディスプレーサ２の高温端には、ディスプレーサ２を往復駆動する図示しないスコッチヨーク機構が設けられている。ディスプレーサ２はシリンダ４の軸方向にそって、シリンダ４内において上死点ＵＰと下死点ＬＰとの間を往復移動する。なお、図１（ａ）は、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１において、ディスプレーサ２が上死点ＵＰに位置する様子を示す模式図である。また図１（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１において、ディスプレーサ２が下死点ＬＰに位置する様子を示す模式図である。

ディスプレーサ２は円筒状の外周面を有しており、ディスプレーサ２の内部には、蓄冷材が充填されている。このディスプレーサ２の内部空間は蓄冷器７を構成する。蓄冷器７の上端側および下端側には、それぞれヘリウムガスの流れを整流する上端側整流器９および下端側整流器１０が設けられている。

ディスプレーサ２の高温端には、室温室８からディスプレーサ２に作動ガスを流通する上部開口１１が形成されている。室温室８は、シリンダ４とディスプレーサ２の高温端により形成される空間であり、ディスプレーサ２の往復移動に伴い容積が変化する。

室温室８には、圧縮機１２、サプライバルブ１３、リターンバルブ１４からなる吸排気系統を相互に接続する配管のうち、給排共通配管が接続されている。また、ディスプレーサ２の高温端よりの部分とシリンダ４との間にはシール１５が装着されている。

ディスプレーサ２の底部２ｂには、ディスプレーサ２の内部空間と膨張空間３とを結ぶ作動ガスの流路１６が形成されている。流路１６は、ディスプレーサ２の底部２ｂの中心部を貫通し、膨張空間３に作動ガスを導入する作動ガスの吹き出し口として機能する。また、膨張空間３の作動ガスをディスプレーサ２の内部空間に戻す作動ガスの吸入口としても機能する。

膨張空間３は、シリンダ４とディスプレーサ２により形成される空間であり、ディスプレーサ２の往復移動に伴い容積が変化する。シリンダ４の外周および底部の膨張空間３に対応する位置には、冷却対象に熱的に接続された冷却ステージ５が配置されている。作動ガスは、流路１６を通って膨張空間３に流入する作動ガスにより膨張空間３に供給される。

膨張空間３の底面には、複数の環状の凸部１８が多重構造となるように設けられている。また、ディスプレーサ２の底部２ｂには、複数の環状の凸部１８を受け入れるように設けられた複数の環状の凹部１７が設けられている。さらに、膨張空間３の底面のうち流路１６に対向する領域には、棒状部材１９が設けられている。この棒状部材１９は、少なくともディスプレーサ２が下死点ＬＰに位置するときに、流路１６に挿入されている状態となるように構成されている。なお、凹部１７、凸部１８、および棒状部材１９についての詳細は後述する。

次に、極低温冷凍機１の動作を説明する。作動ガス供給工程のある時点においては、ディスプレーサ２は、図１（ｂ）に示すようにシリンダ４の下死点ＬＰに位置する。それと同時、またはわずかにずれたタイミングでサプライバルブ１３を開くと、サプライバルブ１３を介して高圧の作動ガスが給排共通配管からシリンダ４内に供給される。この結果、ディスプレーサ２の上部に位置する上部開口１１から、高圧の作動ガスがディスプレーサ２の内部の蓄冷器７に流入する。蓄冷器７に流入した高圧の作動ガスは、蓄冷材により冷却されながらディスプレーサ２の下部に位置する流路１６を介して、膨張空間３に供給される。

膨張空間３が高圧の作動ガスで満たされると、サプライバルブ１３は閉じられる。この時、図１（ａ）に示すように、ディスプレーサ２はシリンダ４内の上死点ＵＰに位置する。ディスプレーサ２がシリンダ４内の上死点ＵＰに位置すると同時、またはわずかにずれたタイミングでリターンバルブ１４を開くと、膨張空間３の作動ガスは減圧され、膨張する。膨張により低温になった膨張空間３のヘリウムガスは、作動ガスは冷却ステージ５の熱を吸収する。

ディスプレーサ２は下死点ＬＰに向けて移動し、膨張空間３の容積は減少する。膨張空間３内の作動ガスは、流路１６を通ってディスプレーサ２内に回収される。このとき、作動ガスは冷却ステージ５の熱を吸収する。膨張空間３から蓄冷器７に戻った作動ガスは、蓄冷器７内の蓄冷材も冷却する。ディスプレーサ２に回収された作動ガスはさらに、蓄冷器７、上部開口１１を介して圧縮機１２の吸入側に戻される。以上の工程を１サイクルとし、極低温冷凍機１はこの冷却サイクルを繰り返すことで、冷却ステージ５を冷却する。

図２（ａ）−（ｃ）は、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１を、シリンダ４の軸方向に垂直な平面で切断した断面を模式的に示す図である。より具体的に、図２（ａ）は、図１（ａ）におけるＡＡ断面を示す図である。また図２（ｂ）は、図１（ａ）におけるＢＢ断面を示す図である。図２（ｃ）は、図１（ｂ）におけるＣＣ断面を示す図である。

上述したように、ディスプレーサ２は円筒状の外周面を有している。このためディスプレーサ２の底部２ｂに設けられた凹部１７も、円環状の形状を有する。図２（ａ）に示す例では、ディスプレーサ２の底部２ｂには、第１凹部１７ａと第２凹部１７ｂとの２つの凸部が設けられており、いずれも円環状の溝として形成されている。以下本明細書において、第１凹部１７ａと第２凹部１７ｂとを特に区別しない場合には、単に「凹部１７」と総称する。

第１凹部１７ａの半径は第２凹部１７ｂの半径よりも大きい。このため図２（ａ）に示すように、第１凹部１７ａの内側に第２凹部１７ｂが設けられている。このように、凹部１７は複数の円環形状の溝が、いわば「入れ子式」に形成された多重構造となっている。なお、流路１６は円環形状ではないが、ディスプレーサ２の底部２ｂに設けられた凹部の１つと見なすこともできる。

膨張空間３のうち凹部１７と対向する領域、すなわち膨張空間３の底面には、多重構造となるように設けられた複数の凸部１８が設けられている。図２（ｂ）に示す例では、第１凸部１８ａと第２凸部１８ｂとの２つの凸部が設けられている。以下本明細書において、第１凸部１８ａと第２凸部１８ｂとを特に区別しない場合には、単に「凸部１８」と総称する。

ここで第１凹部１７ａと第２凹部１７ｂとは、それぞれ第１凸部１８ａと第２凸部１８ｂとをゆとりを持って受け入れられるように、各凸部１８の厚さよりも広い幅の溝として形成されている。凹部１７が凸部１８を収容したときに形成されるゆとり、ないしクリアランスは、膨張空間３内の作動ガスの流路ともなる。

膨張空間３の底面において流路１６と対向する位置には、棒状部材１９が設けられてもよい。棒状部材１９は、少なくともディスプレーサ２が下死点ＬＰにあるときに、流路１６内に挿入された状態となるように形成されている。棒状部材１９はまた、ディスプレーサ２が上死点ＵＰにあるときに、少なくとも一部が流路１６内に挿入された状態となるように形成されてもよい。このため、棒状部材１９の高さ、すなわちシリンダ４の軸方向に沿った長さは、凸部１８の高さよりも高くてもよい。

棒状部材１９は、流路１６内に挿入されたとき、流路１６との間にクリアランスが形成されるような太さとなっている。このため、棒状部材１９が流路１６内に挿入されても、作動ガスは棒状部材１９と流路１６との間のクリアランスを流れることができる。なお、棒状部材１９は円環形状ではなく円筒形状であるが、膨張空間３の底面に設けられた凸部のひとつと見なすこともできる。

図２（ｃ）は、各凹部１７が各凸部１８を受け入れたときに、凹部１７と凸部１８との間で形成されるクリアランスを示す図である。図２（ｃ）に示すように、凹部１７が凸部１８を収容して形成されるクリアランスは、ディスプレーサ２の中心軸の遠くに形成されるクリアランスの方が、近くに形成されるクリアランスと比較して、広くなるように形成されている。

例えば、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスは、流路１６に棒状部材１９が収容されたときに流路１６と棒状部材１９との間に形成されるクリアランスよりも広い。同様に、第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスは、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも広い。膨張空間３の外側は内側よりも多くの作動ガスが存在する。ディスプレーサ２の中心軸の遠くに形成されるクリアランスを広くすることで流路抵抗を減少させ、結果として極低温冷凍機１の圧力損失を抑制することができる。

これを実現するためには種々の方法が考えられる。例えば、第１凹部１７ａの溝の幅と第２凹部１７ｂの溝の幅とを同一にし、第１凸部１８ａの厚さの方が、第２凸部１８ｂの厚さよりも薄くなるようする。これにより、第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスは、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも広くなる。別の実現方法として、第１凸部１８ａの厚さと第２凸部１８ｂの厚さとを同一にし、第１凹部１７ａの溝の幅を第２凹部１７ｂの溝の幅よりも広くするようにすることもできる。これにより、第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスは、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも広くなる。

あるいは、図１（ａ）−（ｂ）に示す例のように、第１凹部１７ａの溝の幅と第２凹部１７ｂの溝の幅を異なるようにし、かつ第１凸部１８ａの厚さと第２凸部１８ｂの厚さとを異なるようにすることもできる。図１（ａ）−（ｂ）に示す例では、第１凹部１７ａの溝の幅の方が、第２凹部１７ｂの溝の幅よりも狭い。このため、第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスは、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも広くするために、第１凸部１８ａの厚さは、第２凸部１８ｂの厚さよりも狭くなっている。このように、第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスは、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも広くなれば、凹部１７の幅および凸部１８の厚さはどのように構成してもよい。

図２（ｃ）に示す例は、円環状の形状を有する第１凸部１８ａが、円環状の形状を有する溝である第１凹部１７ａの中央に受け入れられる場合の例を示している。同様に、図２（ｃ）に示す例では、円環状の形状を有する第２凸部１８ｂが、円環状の形状を有する溝である第２凹部１７ｂの中央に受け入れられている。このため、第１凸部１８ａと第１凹部１７ａとの間の内側に形成される隙間の大きさは、外側に形成される隙間の大きさと等しい。これに代えて、第１凸部１８ａと第１凹部１７ａとの間の形成される内側の隙間の方が、外側の隙間よりも狭くなるようにしてもよい。これは例えば第１凸部１８ａの半径を小さくするか、または第１凹部１７ａの半径を大きくすることで実現できる。第２凸部１８ｂと第２凹部１７ｂとの関係も同様である。

図３は、膨張空間３内の作動ガスがディスプレーサ２の内部空間に回収される際に通る経路を示す模式図であり、ディスプレーサ２が上死点ＵＰにあるときの膨張空間３を拡大して示す図である。図３に示すように、凹部１７は、ディスプレーサ２が上死点ＵＰにあるときも、凸部１８を収容した状態となるように形成されている。すなわち、ディスプレーサ２が往復移動中のどの位置にある場合であっても、凸部１８の少なくとも一部は、凹部１７に収容された状態となっている。これにより、ディスプレーサ２の往復移動時に凸部１８が凹部１７から外れ、ディスプレーサ２の底部２ｂと接触することを抑制できる。

膨張空間３内で膨張した作動ガスは、流路１６を通ってディスプレーサ２の内部空間に回収される。流路１６は膨張空間３の中央部に備えられているため、膨張空間３内の作動ガスは、膨張空間３の外側から内側に向かって移動して回収される。図３において、矢印２０は回収行程における作動ガスの流路を示す。矢印２０に示すように、作動ガスは凹部１７と凸部１８との間のクリアランスは通る。クリアランスは熱交換器として機能するので、凹部１７と凸部１８とが形成されない場合と比較して、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換面積が増加し、熱交換効率が上昇する。

特に、膨張空間３の外側は内側よりも多くの作動ガスが存在するので、多くの作動ガスがディスプレーサ２内部空間に回収されるまでの間に冷却ステージ５と熱交換することになる。結果として熱交換効率が上昇する。

さらに、ディスプレーサ２の往復移動に伴って、凹部１７内に凸部１８が挿入される動作が繰り返される。この結果、膨張空間３内の作動ガスに乱流が生じる。これにより、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換効率をさらに上昇させることができる。

また上述したように、ディスプレーサ２の往復移動において棒状部材１９が流路１６内に挿入される。これにより、流路１６の体積が死容積（dead volume）となることを抑制できる。さらに、棒状部材１９と流路１６との間のクリアランスが熱交換器として機能するため、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換面積をさらに増加させることができる。なお、第１凹部１７ａの容積と第２凹部１７ｂの容積とが等しいか、または近い容積とするようにしてもよい。これにより、膨張空間３内における作動ガスの分布が平準化され、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換効率をさらに上昇させることができる。

以上説明したように、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１によれば、膨張空間３内で膨張した作動ガスをディスプレーサ２の内部空間に回収する際に、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換面積を増加することができる。また、凹部１７内に凸部１８を収容する際に作動ガスに乱流を生じさせることができる。これにより、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換効率が向上し、極低温冷凍機１の冷凍性能を向上することができる。

（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１について説明する。以下、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１と重複する記載については、適宜省略または簡略化して説明する。

図４（ａ）−（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１を模式的に示す図である。具体的には、図４（ａ）は、第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１において、ディスプレーサ２が上死点ＵＰに位置する様子を示す模式図である。また図４（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１において、ディスプレーサ２が下死点ＬＰに位置する様子を示す模式図である。

第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１においても、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１と同様に、膨張空間３の底面において、複数の環状の凸部１８が多重構造となるように設けられている。また、ディスプレーサ２の底部２ｂにおいて、凸部１８を受け入れるように複数の環状の凹部が設けられている。

一方、第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１は、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１とは異なり、ディスプレーサ２の底部２ｂの中心部を貫通し、ディスプレーサ２の内部空間と膨張空間３とを結ぶ作動ガスの流路が備えられていない。その代わり、第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１においては、ディスプレーサ２の側壁とシリンダ４の内壁との間のクリアランスは、ディスプレーサ２の内部空間と膨張空間３とを結ぶ作動ガスの流路１６となっている。また、第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１のディスプレーサ２には、流路１６となるクリアランスに作動ガスを導入する吹き出し口２１が備えられている。これにより、第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１は、吹き出し口２１および流路１６を介してディスプレーサ２の内部空間と膨張空間３とが連通する。

このため、第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１においては、第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１とは異なり、作動ガスは膨張空間３の内側から外側に向かって移動してディスプレーサ２に回収される。つまり、膨張空間３の内側に存在する作動ガスは、外側に存在する作動ガスと比較すると、ディスプレーサ２の内部空間に回収されるまでに通る経路の長さが長くなる。

そこで図４（ａ）−（ｂ）に示すように、凹部１７が凸部１８を収容して形成されるクリアランスは、ディスプレーサ２の中心軸の近くに形成されるクリアランスの方が、遠くに形成されるクリアランスと比較して、広くなるように形成されている。これにより、作動ガスの排気時における膨張空間３の内側の流路抵抗が小さくなる。作動ガスの回収時における最も長い経路の流路抵抗が小さくなり、極低温冷凍機１の圧力損失を低減させる効果が大きい。

これを実現するためには種々の方法が考えられる。例えば、第１凹部１７ａの溝の幅、第２凹部１７ｂの溝の幅、および第３凹部１７ｃの溝の幅を同一にし、第１凸部１８ａの厚さの方が、第２凸部１８ｂの厚さよりも厚くなるようする。また、第２凸部１８ｂの厚さの方が、第３凸部１８ｃの厚さよりも厚くなるようする。これにより、第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスは、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも狭くなる。さらに、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスは、第３凹部１７ｃに第３凸部１８ｃが収容されたときに形成されるクリアランスよりも狭くなる。

別の実現方法としては、第１凸部１８ａの厚さ、第２凸部１８ｂの厚さ、および第３凸部１８ｃの厚さを同一にし、第１凹部１７ａの溝の幅の方が第２凹部１７ｂの溝の幅よりも狭くするようにする。また、第２凹部１７ｂの溝の幅の方が第３凹部１７ｃの溝の幅よりも狭くするようにする。これにより、第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスは、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも狭くなる。さらに、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスは、第３凹部１７ｃに第３凸部１８ｃが収容されたときに形成されるクリアランスよりも狭くなる。

あるいは、第１凹部１７ａの溝の幅、第２凹部１７ｂの溝の幅、および第３凹部１７ｃの溝の幅が異なるようにし、かつ第１凸部１８ａの厚さ、第２凸部１８ｂの厚さ、および第３凸部１８ｃの厚さが異なるようにすることもできる。第１凹部１７ａに第１凸部１８ａが収容されたときに形成されるクリアランスが、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスよりも狭くなり、かつ、第２凹部１７ｂに第２凸部１８ｂが収容されたときに形成されるクリアランスが、第３凹部１７ｃに第３凸部１８ｃが収容されたときに形成されるクリアランスよりも狭くなれば、凹部１７の幅および凸部１８の厚さはどのように構成してもよい。

第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１と同様に、凹部１７が凸部１８を受け入れたときに形成されるクリアランスは熱交換器として機能する。このため、凹部１７と凸部１８とが形成されない場合と比較して、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換面積が増加し、熱交換効率が上昇する。さらに、ディスプレーサ２の往復移動に伴って、凹部１７内に凸部１８が挿入される動作が繰り返される。この結果、膨張空間３内の作動ガスに乱流が生じる。これにより、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換効率をさらに上昇させることができる。

膨張空間３の外側は内側よりも多くの作動ガスが存在する。第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１においては、多くの作動ガスが存在する膨張空間３の外側の方が、凹部１７が凸部１８を受け入れたときに形成されるクリアランスが狭くなる。

一般に、クリアランスが狭い方が、熱交換の効率が上昇する。このため、２の実施の形態に係る極低温冷凍機１においては、多くの作動ガスが存在する膨張空間３の外側での熱交換効率が高いため、極低温冷凍機１全体として熱交換効率を高めることができる。

以上説明したように、第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１によれば、膨張空間３内で膨張した作動ガスをディスプレーサ２の内部空間に回収する際に、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換面積を増加することができる。また、凹部１７内に凸部１８を収容する際に作動ガスに乱流を生じさせることができる。これにより、作動ガスと冷却ステージ５との間の熱交換効率が向上し、極低温冷凍機１の冷凍性能を向上することができる。

（第３の実施の形態）
上述のように、第１及び第２の実施の形態の凸部１８と凹部１７の組み合わせのようなフィン式の熱交換器においては、凸部１８と凹部１７の間に狭いクリアランスを形成することが熱交換効率を向上するうえで好ましい。熱交換効率の向上は、極低温冷凍機１の冷凍能力の向上に役立つ。しかし、狭すぎるクリアランスは、そこを流れる作動ガスの粘性に起因して、ディスプレーサ２の移動に対する抵抗力を大きくする。また、作動ガスの流動抵抗が過大であると、膨張空間３に供給される作動ガス量が不足する原因にもなりうる。したがって、狭すぎるクリアランスは、極低温冷凍機１の冷凍能力を低下させうる。

こうしたトレードオフの関係を考慮して、第３の実施の形態に係る極低温冷凍機１は、第１及び第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１と比べて、冷却ステージ５に設けられる熱交換器フィン基部の幅が薄い。つまり、フィン基部の幅がフィン先端部の幅より小さい。このようにして、第３の実施の形態に係る極低温冷凍機１のフィン式熱交換器は、部分的に拡大されたクリアランスを有する。作動ガスの流動抵抗はクリアランスの幅に相関するので、拡大されたクリアランスは流動抵抗を小さくすることができる。熱交換器フィンの先端部は、第１及び第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１と同様に狭いクリアランスを形成する。そのため、熱交換効率の向上という有利な効果は得られる。

よって、第３の実施の形態においては、複数の環状の凸部１８のうち少なくとも１つの環状の凸部１８は、環状の先端部と、環状の先端部を膨張空間３の底面に接続する環状の薄肉部と、を備える。環状の先端部は、当該環状の凸部１８を受け入れる環状の凹部１７との間に幅狭クリアランスを形成する。環状の薄肉部は、当該環状の凸部１８を受け入れる環状の凹部１７との間に幅狭クリアランスに連続する幅広クリアランスを形成する。

図５を参照して、第３の実施の形態に係る極低温冷凍機１について説明する。以下、第１の実施の形態及び／または第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１と重複する記載については、適宜省略または簡略化して説明する。

図５は、本発明の第３の実施の形態に係る極低温冷凍機１の低温部を模式的に示す図である。図５に示される極低温冷凍機１は、軸方向において部分的に薄幅の熱交換器フィン（すなわち凸部１８）と、第１の実施の形態と同様に縦吹き式の作動ガス吹き出し口との組み合わせを有する。図５は、ディスプレーサが上死点に位置する様子を示す。なお理解のために、図５においてディスプレーサが下死点に位置する様子を破線で示す。

図５に示されるように、複数の環状の凸部１８は、環状の第１凸部１８ａと、環状の第１凸部１８ａに囲まれる環状の第２凸部１８ｂと、を含む。第２凸部１８ｂは、シリンダ中心軸を囲む。また、複数の環状の凹部１７は、第１凸部１８ａを受け入れる環状の第１凹部１７ａと、第２凸部１８ｂを受け入れる及び環状の第２凹部１７ｂと、を含む。ディスプレーサの底部２ｂは、隣接する凹部１７どうしを仕切り、または、流路１６とこれに隣接する凹部１７とを仕切るディスプレーサ凸部２６を備える。

第１凸部１８ａは、環状の第１先端部２２ａと、環状の第１薄肉部２３ａと、を備える。第１薄肉部２３ａは、第１先端部２２ａを膨張空間３の底面、すなわち冷却ステージ５の内部底面に接続する。環状の第１先端部２２ａは、環状の第１凹部１７ａに第１幅狭クリアランス２４ａを形成する。環状の第１薄肉部２３ａは、環状の第１凹部１７ａに第１幅広クリアランス２５ａを形成する。第１幅広クリアランス２５ａは、軸方向に第１幅狭クリアランス２４ａに連続する。第１幅狭クリアランス２４ａは第１先端部２２ａの径方向両側に形成され、第１幅広クリアランス２５ａは第１薄肉部２３ａの径方向両側に形成される。径方向において第１幅狭クリアランス２４ａの幅は、第１幅広クリアランス２５ａの幅より小さい。ここで径方向は、シリンダの軸方向及び周方向に垂直な方向である。周方向は、一般には、軸を囲むように延びる環状の凸部１８の延在方向である。

同様に、第２凸部１８ｂは、環状の第２先端部２２ｂと、環状の第２薄肉部２３ｂと、を備える。第２薄肉部２３ｂは、第２先端部２２ｂを膨張空間３の底面に接続する。環状の第２先端部２２ｂは環状の第２凹部１７ｂに第２幅狭クリアランス２４ｂを形成し、環状の第２薄肉部２３ｂは環状の第２凹部１７ｂに第２幅広クリアランス２５ｂを形成する。第２幅広クリアランス２５ｂは軸方向に第２幅狭クリアランス２４ｂに連続する。第２幅狭クリアランス２４ｂ及び第２幅広クリアランス２５ｂは、第２凸部１８ｂの径方向両側に形成される。第２幅狭クリアランス２４ｂの径方向幅は、第２幅広クリアランス２５ｂの径方向幅より小さい。

中心軸からの距離とクリアランスの広さとの関係は、第３の実施の形態においても第１の実施の形態と同様である。凹部１７が凸部１８を収容して形成されるクリアランスは、ディスプレーサの中心軸の遠くに形成されるクリアランスの方が、近くに形成されるクリアランスと比較して、広くなるように形成されている。よって、第１幅狭クリアランス２４ａの径方向幅は第２幅狭クリアランス２４ｂの径方向幅より広く、かつ、第１幅広クリアランス２５ａの径方向幅は第２幅広クリアランス２５ｂの径方向幅より広い。

なお、ある凸部１８が対応する凹部１７に形成するクリアランスは、別の凸部１８が対応する別の凹部１７に形成するクリアランスと同じ広さを有してもよい。よって、第１幅狭クリアランス２４ａの径方向幅は第２幅狭クリアランス２４ｂの径方向幅に等しくてもよい。第１幅広クリアランス２５ａの径方向幅は第２幅広クリアランス２５ｂの径方向幅に等しくてもよい。

以下本明細書において、第１先端部２２ａと第２先端部２２ｂとを特に区別しない場合には、単に「先端部２２」と総称する。また、第１薄肉部２３ａと第２薄肉部２３ｂとを特に区別しない場合には、単に「薄肉部２３」と総称する。幅狭クリアランス及び幅広クリアランスについても同様に、「幅狭クリアランス２４」、「幅広クリアランス２５」と総称する。

幅狭クリアランス２４は、径方向において先端部２２とディスプレーサ凸部２６との間に形成される。幅広クリアランス２５は、径方向において薄肉部２３とディスプレーサ凸部２６との間に形成される。

棒状部材１９もまた、凹部１７と同様に、細い基部を有する。すなわち、棒状部材１９は、先端部と、当該先端部を膨張空間３の底面に接続する小径部と、を備える。棒状部材１９の先端部は、流路１６に幅狭クリアランスを形成する。棒状部材１９の小径部は、流路１６に幅広クリアランスを形成する。棒状部材１９は、凸部１８と等しい軸方向高さを有する。

図示されるように、ディスプレーサが下死点にあるとき薄肉部２３は凹部１７に幅広クリアランス２５を形成する。ディスプレーサが上死点にあるとき幅広クリアランス２５は開放される。そのため、薄肉部２３または小径部の軸方向高さは、凸部１８の軸方向全高の１／３より大きく２／３より小さいことが好ましい。軸方向高さは、膨張空間３の底面から軸方向に測定される長さである。

極低温冷凍機１は、凸部１８とディスプレーサの底部２ｂとの軸方向の重なりが常に保たれるよう構成されている。したがって、凸部１８の少なくとも上方部分はディスプレーサの往復運動の１周期を通じて凹部１７に受け入れられている。第３の実施の形態においては、先端部２２が常に凹部１７に収容されている。図示されるように、ディスプレーサが上死点にあるとき先端部２２が凹部１７の中に位置し薄肉部２３が凹部１７の外に位置する。ディスプレーサが上死点にあるときの凸部１８とディスプレーサの底部２ｂとの重なり部分の軸方向長さは、例えば、凸部１８の軸方向全高の１／３以下、１／５以下、または１／１０以下であってもよい。

よって、ディスプレーサが下死点またはその近傍から上動するとき、すなわちディスプレーサから膨張空間３に作動ガスが供給されるとき、ディスプレーサの底部２ｂと凸部１８との間に幅広クリアランス２５が形成される。幅が広いので作動ガスの流通が容易であり、故に、ディスプレーサの運動に対する抵抗は小さい。一方、ディスプレーサが上死点またはその近傍から下動するとき、すなわち膨張し冷却された作動ガスが膨張空間３からディスプレーサに回収されるとき、作動ガスは幅狭クリアランス２４を通る。幅狭クリアランス２４において充分な熱交換がなされる。このようにして、上述のような狭すぎるクリアランスによる副作用を低減し、熱交換効率ひいては冷凍能力を向上することができる。

なお、凸部１８は先端部２２と薄肉部２３との間に１つの段部を有するが、これに限られない。凸部１８は、２以上の段部を有してもよい。例えば、凸部１８が２つの段部を有する場合、凸部１８は、先端部と、先端部より薄い中間部と、中間部より薄い基部と、を有してもよい。あるいは、先端部２２から薄肉部２３への段付き表面に代えて、凸部１８は滑らかな表面を有してもよい。例えば、凸部１８は、幅狭クリアランス２４から幅広クリアランス２５へと徐々に広がるよう形成された滑らかな表面を有してもよい。

極低温冷凍機１は、軸方向において部分的に薄幅の熱交換器フィンと横吹き式の吹き出し口２１との組み合わせを有してもよい。この場合、図６に示されるように、中心軸からの距離とクリアランスの広さとの関係は、第２の実施の形態と同様であってもよい。よって、第１幅狭クリアランスは、第２幅狭クリアランスより狭くてもよい。第１幅広クリアランスは、第２幅広クリアランスより狭くてもよい。

（第４の実施の形態）
図７は、本発明の第４の実施の形態に係る極低温冷凍機１の低温部を模式的に示す図である。図７は、ディスプレーサが上死点に位置する様子を示す。なお理解のために、図７においてディスプレーサが下死点に位置する様子を破線で示す。また、図８は、第４の実施の形態に係る極低温冷凍機１を、シリンダの軸方向に垂直な平面で切断した断面を模式的に示す図である。より具体的に、図８は、図７におけるＤＤ断面を示す図である。以下、上述のいずれかの実施の形態に係る極低温冷凍機１と重複する記載については、適宜省略または簡略化して説明する。

図７および図８に示される極低温冷凍機１は、第３の実施の形態に係る極低温冷凍機１と同様に軸方向において部分的に薄幅の熱交換器フィン（すなわち凸部１８）を備えるが、作動ガスの流路構成に関して異なる。図７および図８に示される極低温冷凍機１は、複数の縦吹き式の作動ガス吹き出し口と、図４および図６に示される極低温冷凍機１と同様に横吹き式の吹き出し口２１とを有する。

詳しくは後述するが、極低温冷凍機１は、ディスプレーサの底部２ｂを貫通し、ディスプレーサの内部空間と複数の環状の凹部１７のうちある環状の凹部とを結ぶ少なくとも１つの作動ガスの流路を備える。また、複数の環状の凸部１８のうちある環状の凸部とその隣の環状の凸部との間隔は、複数の環状の凹部１７のうちある環状の凸部を受け入れる環状の凹部の幅より広い。

図７に示されるように、複数の環状の凸部１８は、環状の第１凸部１８ａと、環状の第１凸部１８ａに囲まれる環状の第２凸部１８ｂと、環状の第２凸部１８ｂに囲まれる環状の第３凸部１８ｃと、を含む。第３凸部１８ｃは、シリンダ中心軸上に配設された棒状部材１９を囲む。棒状部材１９は、凸部１８の１つであるとみなされてもよい。また、複数の環状の凹部１７は、第１凸部１８ａを受け入れる環状の第１凹部１７ａと、第２凸部１８ｂを受け入れる及び環状の第２凹部１７ｂと、第３凸部１８ｃを受け入れる及び環状の第３凹部１７ｃと、を含む。また、棒状部材１９を受け入れる第４凹部１７ｄがディスプレーサの底部２ｂに設けられている。第４凹部１７ｄは、凹部１７の１つとみなされてもよい。ディスプレーサの底部２ｂは、隣接する凹部１７どうしを仕切る複数のディスプレーサ凸部２６を備える。

極低温冷凍機１は、ディスプレーサの内部空間（すなわち蓄冷器７）と膨張空間３とを結ぶ作動ガスの複数の流路１６を有する。流路１６は、第１流路１６ａ、第２流路１６ｂ、第３流路１６ｃ、および第４流路１６ｄを含む。第１流路１６ａは、ディスプレーサ側壁とシリンダ内壁との間のクリアランスであり、吹き出し口２１を膨張空間３に接続する。

第２流路１６ｂは、ディスプレーサの底部２ｂを貫通し、ディスプレーサの内部空間を第２凹部１７ｂに連通する。同様に、第３流路１６ｃおよび第４流路１６ｄはそれぞれ、ディスプレーサの底部２ｂを貫通し、ディスプレーサの内部空間を第３凹部１７ｃおよび第４凹部１７ｄに連通する。図８に示されるように、第２流路１６ｂは、複数（図において８つ）の貫通孔からなる。第３流路１６ｃは、複数（図において４つ）の貫通孔からなる。これらの貫通孔はディスプレーサの底部２ｂにおいて周方向に等間隔に形成されている。第４流路１６ｄは、ディスプレーサの底部２ｂの中心部を貫通する単一の穴である。

このように、極低温冷凍機１は、複数の縦吹き式の作動ガス吹き出し口、具体的には第２流路１６ｂ、第３流路１６ｃ、および第４流路１６ｄを有する。中心の第４流路１６ｄに加えて、その周囲に第２流路１６ｂおよび第３流路１６ｃが設けられている。作動ガスの吹き出し流路が広くなるので、熱交換面積が増え、作動ガスと熱交換フィン（すなわち凸部１８）との熱交換が促進される。よって、極低温冷凍機１の冷凍性能を向上することができる。また、作動ガスの吹き出し流路が広いので、作動ガスの流動抵抗が低減され、極低温冷凍機１の駆動モータへの負荷低減も期待できる。

各凸部１８は、先端部２２および薄肉部２３を有する。先端部２２は対応する凹部１７に幅狭クリアランス２４を形成し、薄肉部２３は対応する凹部１７に幅広クリアランス２５を形成する。中心軸からの距離とクリアランスの広さとの関係は、第１から第３の実施の形態とは異なる。第４の実施の形態においては、クリアランスの広さは、中心軸からの距離によらず一定である。そのため、複数の凸部１８の径方向幅は共通である。また、複数の凹部１７の径方向幅は共通である。しかし、第４の実施の形態においても他の実施の形態と同様に、中心軸からの距離とクリアランスの広さとが関係づけられていてもよい。

複数の環状の凸部１８のうちある環状の凸部１８とその隣の環状の凸部１８との間隔Ｐは、その環状の凸部１８（または隣の環状の凸部１８）を受け入れる環状の凹部１７の幅Ｑより広い。言い換えれば、あるディスプレーサ凸部２６とその両側のクリアランスとの合計の幅Ｐは、そのディスプレーサ凸部２６と隣のディスプレーサ凸部２６との間隔Ｑより広い。

凹部１７に存在する作動ガスは、極低温冷凍機１の排気工程において（すなわちディスプレーサが下死点へと移動するとき）流路１６から直ちに蓄冷器７に戻るので、冷却への貢献が比較的小さい。それに対し、２つの隣り合う凸部１８間に存在する作動ガスは凸部１８とディスプレーサ凸部２６とのクリアランスを通って蓄冷器７に戻る。このとき作動ガスと凸部１８との間で熱交換がなされるので、凸部１８間に存在する作動ガスは、冷却への貢献が比較的大きい。上述のように凸部１８間の間隔Ｐを凹部１７の幅Ｑより広くすることにより、凸部１８間に存在する作動ガスの容積を増やすことができる。したがって、作動ガスと熱交換フィンとの熱交換が促進され、極低温冷凍機１の冷凍性能が向上される。

（第５の実施の形態）
図９は、本発明の第５の実施の形態に係る極低温冷凍機１の低温部の一部を模式的に示す図である。棒状部材１９は、冷却ステージ５とは別の部材として製作され、冷却ステージ５に取り付けられている。そのために、棒状部材１９はその下端に、ねじ部１９ａを有する。冷却ステージ５は、ねじ部１９ａに対応するねじ穴５ａを有する。棒状部材１９のねじ部１９ａが冷却ステージ５のねじ穴５ａにねじ込まれることによって、棒状部材１９が冷却ステージ５に固定される。棒状部材１９は、ろう付けにより冷却ステージ５に確実に固定される。

棒状部材１９が取り外されているとき、第３凸部１８ｃ内の空間は、棒状部材１９が取り付けられているときに比べて広くなる。そのため、第３凸部１８ｃを容易に加工することができる。このように、棒状部材１９を別体の部材とすることにより、冷却ステージ５の凸部１８の製作が容易になる。とくに、凸部１８が銅などの比較的軟らかい金属で形成される場合に有効である。

あるいは、ねじ係合に代えて、棒状部材１９は、冷却ステージ５に圧入またはその他の固定手段により固定されてもよい。

同様に、ディスプレーサ凸部２６の少なくとも１つがディスプレーサとは別の部材として製作され、ねじ係合、圧入、またはその他の固定手段によってディスプレーサに取り付けられてもよい。凸部１８の少なくとも１つが冷却ステージ５とは別の部材として製作され、ねじ係合、圧入、またはその他の固定手段によって冷却ステージ５に取り付けられてもよい。

あるいは、図１０に示されるように、棒状部材１９の径Ｒは、他の凸部１８（例えば隣の凸部）の径方向幅Ｓより大きくてもよい。このようにすれば、棒状部材１９の剛性が高まり、第３凸部１８ｃの加工中における工具との干渉等による棒状部材１９の変形が防止されうる。そのため、冷却ステージ５の製作が容易になる。

図９に示される冷却ステージ５は、第１から第４の実施の形態のいずれかに適用されてもよい。同様に、図１０に示される冷却ステージ５は、第１から第４の実施の形態のいずれかに適用されてもよい。

以上、本発明を実施の形態をもとに説明した。これらの実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が可能である。

例えば、上述した極低温冷凍機においては、段数が１段である場合を示したが、この段数は２段以上とする等、適宜選択することが可能である。また、各実施の形態では、極低温冷凍機がＧＭ冷凍機である例について説明したが、これに限られない。例えば、本発明は、スターリング冷凍機、ソルベイ冷凍機など、ディスプレーサを備えるいずれの冷凍機にも適用することができる。

上記の各実施の形態に係る極低温冷凍機１はいずれも、円環形状の凸部１８と、凸部１８を受け入れるように形成された円環形状の凹部１７とを備える場合について説明した。しかしながら、凹部１７および凸部１８の形状は円環形状に限られない。これの形状は閉じた図形であればよく、例えば多角形や星形の形状であってもよい。一方で、凹部１７および凸部１８が円環形状である場合には、仮にディスプレーサ２とシリンダ４との相対位置がシリンダ４の軸を中心に回転したとしても、凹部１７が凸部１８を受け入れることに支障がない点で有利である。

上記の第１の実施の形態に係る極低温冷凍機１では、凹部１７と凸部１８とがそれぞれ２つある場合について説明した。しかしながら、凹部１７と凸部１８との数は２つに限られず、それよりも多くてもよい。また上記の第２の実施の形態に係る極低温冷凍機１では、凹部１７と凸部１８とがそれぞれ３つある場合について説明した。しかしながら、凹部１７と凸部１８との数は３つに限られない。例えば、凹部１７と凸部１８とはそれぞれ２つでもよく、また４つ以上であってもよい。

１ 極低温冷凍機、 ２ ディスプレーサ、 ２ａ 本体部、 ２ｂ 底部、 ３ 膨張空間、 ４ シリンダ、 ５ 冷却ステージ、 ７ 蓄冷器、 ８ 室温室、 ９ 上端側整流器、 １０ 下端側整流器、 １１ 上部開口、 １２ 圧縮機、 １３ サプライバルブ、 １４ リターンバルブ、 １５ シール、 １６ 流路、 １７ 凹部、 １７ａ 第１凹部、 １７ｂ 第２凹部、 １８ 凸部、 １８ａ 第１凸部、 １８ｂ 第２凸部、 １９ 棒状部材、 ２１ 吹き出し口。

Claims (12)

1. 内部空間を有し、当該内部空間を作動ガスが流通するディスプレーサと、
   前記ディスプレーサを往復移動可能に収容し、前記ディスプレーサの底部との間に作動ガスの膨張空間を形成するシリンダと、
   前記膨張空間の底面において、多重構造となるように設けられた複数の環状の凸部と、
   前記ディスプレーサの底部において、前記複数の環状の凸部を受け入れるように設けられた複数の環状の凹部とを備えることを特徴とする極低温冷凍機。
2. 前記ディスプレーサの底部の中心部を貫通し、前記ディスプレーサの内部空間と前記膨張空間とを結ぶ作動ガスの流路をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の極低温冷凍機。
3. 前記膨張空間のうち前記流路に対向する領域に設けられ、少なくとも前記ディスプレーサが下死点に位置するときに、前記流路に挿入されている棒状部材をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の極低温冷凍機。
4. 前記複数の環状の凹部に受け入れられた前記複数の環状の凸部と前記複数の環状の凹部との間に複数のクリアランスが形成され、前記複数のクリアランスは、前記ディスプレーサの中心軸の遠くに形成され第１クリアランス幅を有する第１クリアランスと、前記ディスプレーサの中心軸の近くに形成され第２クリアランス幅を有する第２クリアランスと、を含み、前記第１クリアランス幅は、前記第２クリアランス幅より大きいことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の極低温冷凍機。
5. 前記ディスプレーサの側壁と前記シリンダの内壁との間のクリアランスは、前記ディスプレーサの内部空間と前記膨張空間とを結ぶ作動ガスの流路であり、
   前記ディスプレーサは、前記クリアランスに作動ガスを導入する吹き出し口を備え、
   前記複数の環状の凹部に収容された前記複数の環状の凸部と前記複数の環状の凹部との間に複数のクリアランスが形成され、前記複数のクリアランスは、前記ディスプレーサの中心軸の近くに形成され第１クリアランス幅を有する第１クリアランスと、前記ディスプレーサの中心軸の遠くに形成され第２クリアランス幅を有する第２クリアランスと、を含み、前記第１クリアランス幅は、前記第２クリアランス幅より大きいことを特徴とする請求項１に記載の極低温冷凍機。
6. 前記複数の環状の凹部は、前記ディスプレーサが上死点にあるときも、前記複数の環状の凸部を収容するように形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の極低温冷凍機。
7. 前記複数の環状の凸部のうち少なくとも１つの環状の凸部は、環状の先端部と、前記環状の先端部を前記膨張空間の底面に接続する環状の薄肉部と、を備え、
   前記環状の先端部は、当該環状の凸部を受け入れる環状の凹部に幅狭クリアランスを形成し、
   前記環状の薄肉部は、前記環状の凹部に前記幅狭クリアランスに連続する幅広クリアランスを形成することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の極低温冷凍機。
8. 前記少なくとも１つの環状の凸部は、前記シリンダの中心軸の方向に軸方向全高を有し、前記薄肉部は、前記軸方向全高の１／３から２／３である軸方向高さを有することを特徴とする請求項７に記載の極低温冷凍機。
9. 前記複数の環状の凸部は、環状の第１凸部と、前記環状の第１凸部に囲まれる環状の第２凸部と、を含み、
   前記複数の環状の凹部は、前記環状の第１凸部及び前記環状の第２凸部をそれぞれ受け入れる環状の第１凹部及び環状の第２凹部を含み、
   前記環状の第１凸部は、環状の第１先端部と、前記環状の第１先端部を前記膨張空間の底面に接続する環状の第１薄肉部と、を備え、前記環状の第１先端部は、前記環状の第１凹部に第１幅狭クリアランスを形成し、前記環状の第１薄肉部は、前記環状の第１凹部に前記第１幅狭クリアランスに連続する第１幅広クリアランスを形成し、
   前記環状の第２凸部は、環状の第２先端部と、前記環状の第２先端部を前記膨張空間の底面に接続する環状の第２薄肉部と、を備え、前記環状の第２先端部は、前記環状の第２凹部に第２幅狭クリアランスを形成し、前記環状の第２薄肉部は、前記環状の第２凹部に前記第２幅狭クリアランスに連続する第２幅広クリアランスを形成し、
   前記第１幅狭クリアランスは前記第２幅狭クリアランスより広くかつ前記第１幅広クリアランスは前記第２幅広クリアランスより広く、または、前記第１幅狭クリアランスは前記第２幅狭クリアランスより狭くかつ前記第１幅広クリアランスは前記第２幅広クリアランスより狭いことを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の極低温冷凍機。
10. 前記ディスプレーサの底部を貫通し、前記ディスプレーサの内部空間と前記複数の環状の凹部のうちある環状の凹部とを結ぶ作動ガスの流路をさらに備えることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の極低温冷凍機。
11. 前記ディスプレーサの側壁と前記シリンダの内壁との間のクリアランスは、前記ディスプレーサの内部空間と前記膨張空間とを結ぶ作動ガスの流路であり、
    前記ディスプレーサは、前記クリアランスに作動ガスを導入する吹き出し口を備えることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の極低温冷凍機。
12. 前記複数の環状の凸部のうちある環状の凸部とその隣の環状の凸部との間隔は、前記複数の環状の凹部のうち前記ある環状の凸部を受け入れる環状の凹部の幅より広いことを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の極低温冷凍機。

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