JPWO2016052116A1 - Shutter device and driving device - Google Patents

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    • G03B9/00—Exposure-making shutters; Diaphragms
    • G03B9/08—Shutters
    • G03B9/36—Sliding rigid plate

Abstract

２組のブレード及びアクチュエータを有するシャッタ装置を簡単な構成で実現する。第１アクチュエータ（１０２，１０２）及び第２アクチュエータ（２０２，２０２）はそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有している。複数のビームは、所定の平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム（１２１，２２１）と、湾曲しない第２ビーム（１２２，２２２）とを含む。第１ブレード（１０４）は、第１アクチュエータ（１０２，１０２）において第１ビーム（１２１）が湾曲するときに第２ユニット（２００）の方へ移動するように第２ビーム（１２２，１２２）に連結されている。第２ブレード（２０４）は、第２アクチュエータ（２０２，２０２）において第１ビーム（２２１）が湾曲するときに第１ユニット（１００）の方へ移動するように第１ビーム（２２１，２２１）に連結されている。A shutter device having two sets of blades and actuators is realized with a simple configuration. Each of the first actuator (102, 102) and the second actuator (202, 202) has a plurality of beams connected so as to be folded in a predetermined plane. The plurality of beams include a first beam (121, 221) that is curved to one side with respect to a predetermined plane and a second beam (122, 222) that is not curved. The first blade (104) is moved to the second beam (122, 122) so as to move toward the second unit (200) when the first beam (121) is curved in the first actuator (102, 102). It is connected. The second blade (204) is moved to the first beam (221, 221) so as to move toward the first unit (100) when the first beam (221) is curved in the second actuator (202, 202). It is connected.

Description

ここに開示された技術は、シャッタ装置及び駆動装置に関するものである。   The technology disclosed herein relates to a shutter device and a driving device.

従来より、所定の光路を遮断及び開通させるシャッタ装置が知られている。   Conventionally, a shutter device that blocks and opens a predetermined optical path is known.

例えば、特許文献１に記載のシャッタ装置は、移動体と、該移動体を駆動するアクチュエータとを備えた駆動装置を含んでいる。具体的には、該シャッタ装置は、アクチュエータと、アクチュエータにより駆動される、移動体としてのブレードとを備えている。アクチュエータは、静電力により傾動するように構成されている。ブレードは、アクチュエータの先端部に取り付けられている。アクチュエータに通電していないときには、ブレードは、光路を遮断している。アクチュエータに通電することによって、アクチュエータが傾動し、ブレードが光路を遮断している位置から光路を開通させる位置へ移動する。   For example, the shutter device described in Patent Document 1 includes a drive device that includes a moving body and an actuator that drives the moving body. Specifically, the shutter device includes an actuator and a blade as a moving body driven by the actuator. The actuator is configured to tilt by electrostatic force. The blade is attached to the tip of the actuator. When the actuator is not energized, the blade blocks the optical path. By energizing the actuator, the actuator tilts and moves from a position where the blade blocks the optical path to a position where the optical path is opened.

特開２００４−３３８０４４号公報JP 2004-338044 A

ところで、特許文献１のシャッタ装置は、１つのブレードを１つのアクチュエータで駆動している。そのため、光路を遮断及び開通させる際のブレードの移動量、即ち、アクチュエータの駆動量が大きくなる。   Incidentally, the shutter device of Patent Document 1 drives one blade by one actuator. Therefore, the movement amount of the blade when the optical path is blocked and opened, that is, the driving amount of the actuator is increased.

そこで、ブレード及びアクチュエータをそれぞれ２つずつにすることによって、各ブレードの移動量を小さくすることが考えられる。しかしながら、ブレード及びアクチュエータが１つから２つに増えるため、シャッタ装置の構成が複雑になってしまう。   Therefore, it is conceivable to reduce the amount of movement of each blade by using two blades and two actuators. However, since the number of blades and actuators is increased from one to two, the configuration of the shutter device becomes complicated.

ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、２組のブレード及びアクチュエータを有するシャッタ装置を簡単な構成で実現することにある。   The technology disclosed herein has been made in view of such a point, and an object thereof is to realize a shutter device having two sets of blades and an actuator with a simple configuration.

ここに開示された技術は、所定の光路を遮断及び開通させるシャッタ装置であって、第１ブレード、及び該第１ブレードを駆動する第１アクチュエータを有する第１ユニットと、第２ブレード、及び該第２ブレードを駆動する第２アクチュエータを有する第２ユニットとを備え、前記第１アクチュエータ及び第２アクチュエータはそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、前記第１ユニットと前記第２ユニットとは、前記平面と交差する方向に並んで配置されており、前記第１ブレードは、前記第１アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第２ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、前記第２ブレードは、前記第２アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第１ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、前記第１ブレード及び前記第２ブレードは、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させないときには互いに離間して前記光路を開通させる開通位置に位置する一方、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させるときには互いに接近して前記光路を遮断する遮断位置へ移動するものとする。   The technology disclosed herein is a shutter device that blocks and opens a predetermined optical path, and includes a first unit having a first blade, a first actuator that drives the first blade, a second blade, and the A second unit having a second actuator for driving a second blade, wherein each of the first actuator and the second actuator has a plurality of beams connected to be folded in a predetermined plane, The beam includes a first beam that is curved to one side with respect to the plane, and a second beam that is not curved or is less curved than the first beam. The first unit and the second unit are: Are arranged side by side in a direction intersecting the plane, and the first blade is bent when the first beam is curved in the first actuator. The second beam is connected to the first beam or the second beam so as to move toward the second unit, and the second blade of the first unit is bent when the first beam is curved in the second actuator. Connected to the first beam or the second beam so as to move in a direction, the first blade and the second blade being separated from each other when the first actuator and the second actuator do not curve the first beam. The first actuator and the second actuator are moved closer to each other and moved to a blocking position for blocking the optical path when the first beam and the second actuator curve the first beam.

この構成によれば、第１ブレードと第２ブレードとで光路を遮断するため、第１ブレードを駆動する第１アクチュエータの駆動量及び第２ブレードを駆動する第２アクチュエータの駆動量を、１つのブレードで光路を遮断する場合と比べてそれぞれ低減することができる。   According to this configuration, in order to block the optical path between the first blade and the second blade, the driving amount of the first actuator that drives the first blade and the driving amount of the second actuator that drives the second blade are reduced to one. This can be reduced compared to the case where the optical path is blocked by the blade.

また、前記の構成とすることによって、第１ブレードと第２ブレードとを互いに接近する方向に、即ち、互いに反対向きに移動させる構成を容易に実現することができる。   In addition, by adopting the above-described configuration, it is possible to easily realize a configuration in which the first blade and the second blade are moved in directions approaching each other, that is, in opposite directions.

詳しくは、第１ビームと第２ビームとは互いに折り返すように連結されている。そして、第１ビームは湾曲する一方、第２ビームは、湾曲しないか又は第１ビームよりも湾曲が小さく、実質的に直線状に延びている。そのため、第１ビーム及び第２ビームそれぞれの、連結部とは反対側の端部は、互いに離間した状態となる。   Specifically, the first beam and the second beam are connected so as to be folded back. The first beam is curved, while the second beam is not curved or is less curved than the first beam and extends substantially linearly. For this reason, the end portions of the first beam and the second beam on the side opposite to the connecting portion are in a state of being separated from each other.

このように、第１ビームと第２ビームとが折り返す構成においては、ブレードを第１ビーム及び第２ビームに対してどのように連結するかによって、第１ビームが湾曲したときにブレードを前記平面に対してどちら側に移動させるかを切り替えることができる。   As described above, in the configuration in which the first beam and the second beam are folded, the blade is moved into the plane when the first beam is curved depending on how the blade is connected to the first beam and the second beam. It can be switched to which side to move.

例えば、第１ビームから第２ビームが折り返し、第２ビームにブレードが連結されている場合、第１ビームは、所定の平面に対して一方側に湾曲するため、第１ビームと第２ビームとの折り返し部分は、該平面よりも一方側に位置するようになる。そして、第２ビームは、第１ビームから折り返し、第１ビームの折り返し部近傍の傾きと同じ傾きで実質的に直線状に延びているため、第２ビームの先端部は、該平面よりも他方側に位置することになる。そのため、第２ビームの先端部にブレードを連結しておけば、第１ビームが湾曲するときに、ブレードは、該平面よりも他方側へ移動することになる。一方、第２ビームから第１ビームが折り返し、第１ビームにブレードが連結されている場合、第２ビームは、所定の平面内で実質的に直線状に延びている。そして、第１ビームは、第２ビームから折り返し、該平面の一方側へ湾曲するため、第１ビームの先端部は、該平面よりも一方側に位置することになる。そのため、第１ビームの先端部にブレードを連結しておけば、第１ビームが湾曲するときに、ブレードは、該平面よりも一方側へ移動することになる。   For example, when the second beam is folded from the first beam and the blade is connected to the second beam, the first beam is curved to one side with respect to a predetermined plane. The folded portion is located on one side of the plane. The second beam is folded back from the first beam and extends substantially linearly with the same slope as the slope in the vicinity of the folded portion of the first beam. Will be located on the side. Therefore, if a blade is connected to the tip of the second beam, the blade moves to the other side of the plane when the first beam is curved. On the other hand, when the first beam is folded from the second beam and the blade is connected to the first beam, the second beam extends substantially linearly within a predetermined plane. Then, since the first beam is folded back from the second beam and is bent to one side of the plane, the front end portion of the first beam is located on one side of the plane. Therefore, if the blade is connected to the tip of the first beam, the blade moves to one side of the plane when the first beam is curved.

このように、ブレードを第１ビーム及び第２ビームに対してどのように連結するかによって、ブレードを所定の平面に対してどちらの側に移動させるかを切り替えることができる。その結果、第１ブレードと第２ブレードとで光路を遮断する構成を、同じようなアクチュエータを用いて容易に実現することができる。   In this way, it can be switched to which side the blade is moved with respect to a predetermined plane depending on how the blade is connected to the first beam and the second beam. As a result, a configuration in which the optical path is blocked by the first blade and the second blade can be easily realized by using a similar actuator.

また、ここに開示された技術は、移動体と、前記移動体を駆動する２つのアクチュエータとを備えた駆動装置であって、前記アクチュエータは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有すると共に、折り返す２本のビームを１単位として該折り返す２本のビームを複数単位含んでおり、前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、前記アクチュエータのうち前記折り返すように連結された複数のビームの先端部には、所定の回転軸回りに湾曲する連結部を介して前記移動体が連結されており、一方の前記連結部の前記回転軸と他方の前記連結部の前記回転軸とは、一直線上に並ばないように配置されているものとする。   The technology disclosed herein is a driving device including a moving body and two actuators that drive the moving body, and the actuator includes a plurality of actuators connected so as to be folded in a predetermined plane. The beam includes a plurality of two folded beams with the folded two beams as a unit, the plurality of beams being curved to one side with respect to the plane; Or a second beam having a smaller curvature than that of the first beam, and a connecting portion that curves around a predetermined rotation axis is provided at the tip of the plurality of beams that are connected to be folded back among the actuators. The moving bodies are connected to each other, and the rotating shaft of one of the connecting portions and the rotating shaft of the other connecting portion are arranged so as not to be aligned on a straight line.

この構成によれば、２つのアクチュエータには、連結部を介して移動体が連結されており、該２つのアクチュエータによって移動体が駆動される。アクチュエータは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有しており、複数のビームのうちの第１ビームが湾曲することによって移動体が駆動される。このとき、移動体がビームに直接連結されている場合には、移動体は、ビームのうち該移動体が連結された部分と同様の傾動角で傾動する（すなわち、一体的に傾動する）。しかしながら、前記の構成では、ビームと移動体とが連結部を介して連結され、該連結部が所定の回転軸回りに湾曲する。そのため、ビームの傾動の一部は連結部の湾曲により吸収され、移動体は、ビームのうち該移動体が連結された部分とは必ずしも同様には傾動しない。   According to this configuration, the moving body is connected to the two actuators via the connecting portion, and the moving body is driven by the two actuators. The actuator has a plurality of beams connected so as to be folded back within a predetermined plane, and the moving body is driven by bending the first beam of the plurality of beams. At this time, when the moving body is directly connected to the beam, the moving body tilts at the same tilt angle as the portion of the beam to which the moving body is connected (that is, tilts integrally). However, in the above configuration, the beam and the moving body are connected via the connecting portion, and the connecting portion is curved around a predetermined rotation axis. Therefore, a part of the tilt of the beam is absorbed by the bending of the connecting portion, and the moving body does not always tilt in the same manner as the portion of the beam to which the moving body is connected.

それに加え、一方のアクチュエータと移動体とを連結する連結部の回転軸と、他方のアクチュエータと移動体とを連結する連結部の回転軸とが一直線上に並ばないように配置されている。そのため、移動体が一方の連結部の回転軸回りに回転しようとしても、他方の連結部が移動体のうち一方の連結部の回転軸上にはない部分を支持しており、一方の連結部の回転軸回りの移動体の回転を規制する。同様に、移動体が他方の連結部の回転軸回りに回転しようとする場合には、一方の連結部が移動体の回転を規制する。こうして、移動体は、一方の連結部の回転軸回りにも、他方の連結部の回転軸回りにも回転し難くなる。これらの結果、移動体を２つのアクチュエータで駆動する際に平行移動させ易くなる（即ち、移動体の姿勢を維持したまま移動させ易くなる）。   In addition, the rotating shaft of the connecting portion that connects one actuator and the moving body and the rotating shaft of the connecting portion that connects the other actuator and the moving body are arranged so as not to be aligned. Therefore, even if the moving body tries to rotate around the rotation axis of one connecting portion, the other connecting portion supports a portion of the moving body that is not on the rotating shaft of one connecting portion, and the one connecting portion The rotation of the moving body around the rotation axis is regulated. Similarly, when the moving body tries to rotate around the rotation axis of the other connecting portion, the one connecting portion regulates the rotation of the moving body. Thus, the moving body is difficult to rotate both around the rotation axis of one of the connecting portions and around the rotation axis of the other connecting portion. As a result, the movable body can be easily moved in parallel when driven by two actuators (that is, it can be easily moved while maintaining the posture of the movable body).

前記シャッタ装置によれば、２組のブレード及びアクチュエータを有するシャッタ装置を簡単な構成で実現することができる。   According to the shutter device, a shutter device having two sets of blades and actuators can be realized with a simple configuration.

実施形態１に係るシャッタ装置の、一部を切断した斜視図である。It is the perspective view which cut a part of shutter device concerning Embodiment 1. FIG. 第１ユニットの平面図である。It is a top view of the 1st unit. 第１ユニットを部分的に拡大した平面図である。It is the top view which expanded the 1st unit partially. 図３のIV−IV線における第１ユニット及び第２ユニットの断面図である。It is sectional drawing of the 1st unit and the 2nd unit in the IV-IV line of FIG. 第１ビームを湾曲させたときのシャッタ装置の斜視図である。It is a perspective view of the shutter device when the first beam is curved. 第２ユニットの平面図である。It is a top view of the 2nd unit. 第２ユニットを部分的に拡大した平面図である。It is the top view which expanded the 2nd unit partially. 実施形態２に係るシャッタ装置の第１ユニットの平面図である。6 is a plan view of a first unit of a shutter device according to Embodiment 2. FIG. 第１ユニットを部分的に拡大した平面図である。It is the top view which expanded the 1st unit partially. 図９のＸ−Ｘ線における第１ユニット及び第２ユニットの断面図である。It is sectional drawing of the 1st unit and the 2nd unit in the XX line of FIG. フレームを省略した第１ユニットの斜視図である。It is a perspective view of the 1st unit which omitted a frame. 第２ユニットの平面図である。It is a top view of the 2nd unit. 第２ユニットを部分的に拡大した平面図である。It is the top view which expanded the 2nd unit partially. 第１ビームを湾曲させたときの第１ユニットの斜視図である。It is a perspective view of the 1st unit when making the 1st beam bend. 変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。It is a top view of an actuator which has an upper electrode concerning a modification. 別の変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。It is a top view of an actuator which has an upper electrode concerning another modification.

以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, exemplary embodiments will be described in detail with reference to the drawings.

《発明の実施形態１》
図１は、実施形態１に係るシャッタ装置１０００の、一部を切断した斜視図を示す。Embodiment 1 of the Invention
FIG. 1 is a perspective view of the shutter device 1000 according to the first embodiment with a part thereof cut.

シャッタ装置１０００は、第１ユニット１００と、第２ユニット２００と、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間に介設されたスペーサ３００，３００と、第２ユニット２００を支持するベース４００とを備えている。シャッタ装置１０００は、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間を通過する光路Ｌを遮断及び開通させる。   The shutter device 1000 includes a first unit 100, a second unit 200, spacers 300 and 300 interposed between the first unit 100 and the second unit 200, and a base 400 that supports the second unit 200. It has. The shutter device 1000 blocks and opens the optical path L that passes between the first unit 100 and the second unit 200.

図２は、第１ユニット１００の平面図であり、図３は、第１ユニット１００を部分的に拡大した平面図であり、図４は、図３のIV−IV線における第１ユニット１００及び第２ユニット２００の断面図である。   2 is a plan view of the first unit 100, FIG. 3 is a partially enlarged plan view of the first unit 100, and FIG. 4 is a plan view of the first unit 100 taken along line IV-IV in FIG. 4 is a cross-sectional view of a second unit 200. FIG.

第１ユニット１００は、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板Ｓを用いて製造されている（図４参照）。ＳＯＩ基板Ｓは、単結晶シリコンで形成された第１シリコン層ｓ１と、ＳｉＯ２で形成された酸化膜層ｓ２と、単結晶シリコンで形成された第２シリコン層ｓ３とがこの順で積層されて構成されている。The first unit 100 is manufactured using an SOI (Silicon on Insulator) substrate S (see FIG. 4). SOI substrate S includes a first silicon layer s1 formed by the single crystal silicon, the oxide film layer s2 formed of SiO 2, and a second silicon layer s3 formed of single crystal silicon are laminated in this order Configured.

第１ユニット１００は、フレーム１０１と、フレーム１０１に連結された２つの第１アクチュエータ１０２，１０２と、２つの第１アクチュエータ１０２，１０２にそれぞれヒンジ１０３，１０３を介して連結された第１ブレード１０４とを有している。尚、２つの第１アクチュエータ１０２，１０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第１アクチュエータ１０２Ａ、第１アクチュエータ１０２Ｂと称する。図２，３において、第１アクチュエータ１０２Ａが下方に位置し、第１アクチュエータ１０２Ｂが上方に位置している。第１ユニット１００は、駆動装置の一例である。   The first unit 100 includes a frame 101, two first actuators 102 and 102 connected to the frame 101, and a first blade 104 connected to the two first actuators 102 and 102 via hinges 103 and 103, respectively. And have. In order to distinguish the two first actuators 102 and 102, the reference numerals are changed and they are referred to as a first actuator 102A and a first actuator 102B, respectively. 2 and 3, the first actuator 102A is positioned below, and the first actuator 102B is positioned above. The first unit 100 is an example of a driving device.

フレーム１０１は、概略長方形の枠状に形成されている。ただし、フレーム１０１は、完全に閉じた枠状ではなく、一部が切り欠かれて、開いた形状をしている。フレーム１０１は、第１シリコン層ｓ１、酸化膜層ｓ２及び第２シリコン層ｓ３で形成されている。尚、フレーム１０１の第１シリコン層ｓ１側の表面には、ＳｉＯ２膜１２８が成膜されている。このＳｉＯ２膜１２８は、後述する第１アクチュエータ１０２のＳｉＯ２膜１２８と同じ膜である。The frame 101 is formed in a substantially rectangular frame shape. However, the frame 101 is not a completely closed frame shape, but is partially cut out to have an open shape. The frame 101 is formed of a first silicon layer s1, an oxide film layer s2, and a second silicon layer s3. A SiO 2 film 128 is formed on the surface of the frame 101 on the first silicon layer s1 side. This SiO 2 film 128 is the same film as the SiO 2 film 128 of the first actuator 102 described later.

以下、説明の便宜上、フレーム１０１の長手方向をＸ方向、フレーム１０１の短手方向をＹ方向、フレーム１０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図２，３における左側を左側、図２，３における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図２、３における上側を前側、図２，３における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。   Hereinafter, for convenience of explanation, the longitudinal direction of the frame 101 is referred to as the X direction, the short direction of the frame 101 is referred to as the Y direction, and the thickness direction of the frame 101 is referred to as the Z direction. In the X direction, the left side in FIGS. 2 and 3 may be referred to as the left side, and the right side in FIGS. In the Y direction, the upper side in FIGS. 2 and 3 may be referred to as the front side, and the lower side in FIGS. In the Z direction, the first silicon layer s1 side may be referred to as the upper side, and the second silicon layer s3 side may be referred to as the lower side.

２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂは、フレーム１０１内において、第１ブレード１０４を挟んでＹ方向に並んで配置されている。各第１アクチュエータ１０２は、基端部がフレーム１０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第１ブレード１０４が連結されている。各第１アクチュエータ１０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面（例えば、第１シリコン層ｓ１の表面）内で折り返すように連結された４本のビームを有している。４本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する２本の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと、湾曲しないか又は該第１ビーム１２１ａ，１２１ｃよりも湾曲が小さい２本の第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄとを含んでいる。第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄとは、交互に連結されている。第１ビーム１２１ａ，１２１ｃ及び第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム１２１ａと第１ビーム１２１ｃとを区別しないときには、単に第１ビーム１２１と称する。また、第２ビーム１２２ｂと第２ビーム１２２ｄとを区別しないときには、単に第２ビーム１２２と称する。   The two first actuators 102 </ b> A and 102 </ b> B are arranged in the Y direction in the frame 101 with the first blade 104 interposed therebetween. Each first actuator 102 has a cantilever structure in which a base end portion is connected to the frame 101 and a tip end portion is a free end. A first blade 104 is connected to a tip portion that is a free end. Each first actuator 102 has four beams connected so as to be folded back within the main surface of the SOI substrate S (for example, the surface of the first silicon layer s1). The four beams are two first beams 121a and 121c that are curved to one side with respect to the main surface, and two second beams that are not curved or have a smaller curvature than the first beams 121a and 121c. 122b, 122d. The first beams 121a and 121c and the second beams 122b and 122d are connected alternately. The first beams 121a and 121c and the second beams 122b and 122d are arranged in parallel to each other. When the first beam 121a and the first beam 121c are not distinguished from each other, they are simply referred to as the first beam 121. When the second beam 122b and the second beam 122d are not distinguished, they are simply referred to as the second beam 122.

詳しくは、第１アクチュエータ１０２Ａにおいて、第１ビーム１２１ａの基端部がフレーム１０１のＸ方向の右端部に固定され、第１ビーム１２１ａは、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ａの先端部には、第２ビーム１２２ｂが連結されている。第２ビーム１２２ｂは、第１ビーム１２１ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｂの先端部には、第１ビーム１２１ｃが連結されている。第１ビーム１２１ｃは、第２ビーム１２２ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ｃの先端部には、第２ビーム１２２ｄが連結されている。第２ビーム１２２ｄは、第１ビーム１２１ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｄの先端部には、ヒンジ１０３を介して第１ブレード１０４が連結されている。   Specifically, in the first actuator 102A, the base end portion of the first beam 121a is fixed to the right end portion in the X direction of the frame 101, and the first beam 121a extends toward the left side in the X direction. The second beam 122b is connected to the tip of the first beam 121a. The second beam 122b is folded back from the first beam 121a and extends toward the right side in the X direction. The first beam 121c is connected to the tip of the second beam 122b. The first beam 121c is folded from the second beam 122b and extends toward the left side in the X direction. The second beam 122d is connected to the tip of the first beam 121c. The second beam 122d is folded from the first beam 121c and extends toward the right side in the X direction. The first blade 104 is connected to the tip of the second beam 122d via a hinge 103.

一方、第１アクチュエータ１０２Ｂにおいて、第１ビーム１２１ａの基端部がフレーム１０１のＸ方向の左端部に固定され、第１ビーム１２１ａは、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ａの先端部には、第２ビーム１２２ｂが連結されている。第２ビーム１２２ｂは、第１ビーム１２１ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｂの先端部には、第１ビーム１２１ｃが連結されている。第１ビーム１２１ｃは、第２ビーム１２２ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム１２１ｃの先端部には、第２ビーム１２２ｄが連結されている。第２ビーム１２２ｄは、第１ビーム１２１ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム１２２ｄの先端部には、ヒンジ１０３を介して第１ブレード１０４が連結されている。   On the other hand, in the first actuator 102B, the base end portion of the first beam 121a is fixed to the left end portion in the X direction of the frame 101, and the first beam 121a extends toward the right side in the X direction. The second beam 122b is connected to the tip of the first beam 121a. The second beam 122b is folded back from the first beam 121a and extends toward the left side in the X direction. The first beam 121c is connected to the tip of the second beam 122b. The first beam 121c is folded back from the second beam 122b and extends toward the right side in the X direction. The second beam 122d is connected to the tip of the first beam 121c. The second beam 122d is folded from the first beam 121c and extends toward the left side in the X direction. The first blade 104 is connected to the tip of the second beam 122d via a hinge 103.

つまり、第１アクチュエータ１０２Ａ及び第１アクチュエータ１０２Ｂは、フレーム１０１に連結されているビームは第１ビーム１２１であり、そこから交互に、第２ビーム１２２、第１ビーム１２１が連結され、最終的に第２ビーム１２２ｄの先端部に第１ブレード１０４が連結されている点で共通する。一方、第１アクチュエータ１０２Ａ及び第１アクチュエータ１０２Ｂは、第１ビーム１２１ａの基端部がＸ方向において反対の位置でそれぞれフレーム１０１に固定されている点、及び、第２ビーム１２２ｄの先端部がＸ方向において反対の位置にそれぞれ位置する点で異なっている。   That is, in the first actuator 102A and the first actuator 102B, the beam connected to the frame 101 is the first beam 121, and the second beam 122 and the first beam 121 are alternately connected from there, and finally the beam is finally connected. This is common in that the first blade 104 is connected to the tip of the second beam 122d. On the other hand, in the first actuator 102A and the first actuator 102B, the base end of the first beam 121a is fixed to the frame 101 at the opposite position in the X direction, and the tip of the second beam 122d is X. They differ in that they are located at opposite positions in the direction.

続いて、各ビームの構成について説明する。第１アクチュエータ１０２Ａと第１アクチュエータ１０２Ｂとで各ビームの構成は同様である。例えば、第１アクチュエータ１０２Ａの第１ビーム１２１ａと第１アクチュエータ１０２Ｂの第１ビーム１２１ａの構成は同様である。   Next, the configuration of each beam will be described. The configuration of each beam is the same between the first actuator 102A and the first actuator 102B. For example, the configurations of the first beam 121a of the first actuator 102A and the first beam 121a of the first actuator 102B are the same.

第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、ビーム本体１２３と、ビーム本体１２３の表面に積層された圧電素子１２４とを有している。   The first beams 121 a and 121 c include a beam main body 123 and a piezoelectric element 124 stacked on the surface of the beam main body 123.

ビーム本体１２３は、断面方形の棒状に形成されている。ビーム本体１２３は、第１シリコン層ｓ１で形成されている。   The beam body 123 is formed in a bar shape having a square cross section. The beam body 123 is formed of the first silicon layer s1.

圧電素子１２４は、ビーム本体１２３の一方の表面に設けられている。ビーム本体１２３の表面にはＳｉＯ２膜１２８が積層されており、圧電素子１２４は、ＳｉＯ２膜１２８上に積層されている。圧電素子１２４は、下部電極１２５と、上部電極１２７と、これらに挟持された圧電体層１２６とを有する。下部電極１２５、圧電体層１２６、上部電極１２７は、ＳｉＯ２膜１２８上にこの順で積層されている。圧電素子１２４は、ＳＯＩ基板Ｓとは別の部材で形成されている。詳しくは、下部電極１２５は、Ｐｔ／Ｔｉ膜又はＩｒ／Ｔｉ膜で形成されている。圧電体層１２６は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成されている。上部電極１２７は、Ａｕ／Ｔｉ膜で形成されている。The piezoelectric element 124 is provided on one surface of the beam body 123. A SiO 2 film 128 is laminated on the surface of the beam body 123, and the piezoelectric element 124 is laminated on the SiO 2 film 128. The piezoelectric element 124 includes a lower electrode 125, an upper electrode 127, and a piezoelectric layer 126 sandwiched therebetween. The lower electrode 125, the piezoelectric layer 126, and the upper electrode 127 are laminated on the SiO 2 film 128 in this order. The piezoelectric element 124 is formed of a member different from the SOI substrate S. Specifically, the lower electrode 125 is formed of a Pt / Ti film or an Ir / Ti film. The piezoelectric layer 126 is made of lead zirconate titanate (PZT). The upper electrode 127 is formed of an Au / Ti film.

圧電素子１２４の上部電極１２７及び下部電極１２５に電圧が印加されると、ビーム本体１２３のうち圧電素子１２４が積層された表面が伸縮し、ビーム本体１２３は、圧電素子１２４を内側にして湾曲する。   When a voltage is applied to the upper electrode 127 and the lower electrode 125 of the piezoelectric element 124, the surface of the beam body 123 on which the piezoelectric element 124 is laminated expands and contracts, and the beam body 123 curves with the piezoelectric element 124 inside. .

第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄは、ビーム本体１２３と、ダミー膜１２９とを有している。ビーム本体１２３の表面には、ＳｉＯ２膜１２８が成膜されており、ＳｉＯ２膜１２８上にダミー膜１２９が積層されている。ダミー膜１２９には、下部電極１２５、圧電体層１２６及び上部電極１２７が含まれている。つまり、ダミー膜１２９は、圧電素子１２４と同様の構成をしている。しかし、ダミー膜１２９は、電圧が印加されることはなく、圧電素子としては機能しない。これらの薄膜は、複数のビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルするためのものである。詳しくは、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、第１シリコン層ｓ１で形成されたビーム本体１２３の表面に、ＳｉＯ２膜１２８、下部電極１２５、圧電体層１２６及び上部電極１２７をスパッタリング等の方法により成膜されており、その成膜過程の温度変動等によって成膜後にビームに反りが生じ得る。例えば、ビーム本体１２３のうち薄膜が成膜された側の表面が収縮して、該表面を内側にして反り上がる場合がある。しかしながら、例えば第１ビーム１２１ａには、第２ビーム１２２ｂが折り返すように連結され、第２ビーム１２２ｂのビーム本体１２３にも圧電素子１２４と同様のダミー膜１２９が成膜されている。つまり、第１ビーム１２１ａと第２ビーム１２２ｂとが、互いに略平行な状態で反る。その結果、第１ビーム１２１ａの先端部及び第２ビーム１２２ｂの基端部は、浮き上がった状態となるものの、第２ビーム１２２ｂの先端部は、第１ビーム１２１ａの基端部と同じ高さに戻ってくる。こうして、第２ビーム１２２ｂの先端部においては、初期反りによるＳＯＩ基板Ｓの厚み方向の変位をキャンセルすることができる。第１ビーム１２１ｃ及び第２ビーム１２２ｄにおいても同様である。また、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、シリコン、ＳｉＯ２、Ｐｔ／Ｔｉ等の熱膨張率が異なる材料を積層させているので、温度が変化したときに、各膜がその熱膨張率に応じて様々に収縮する。そのため、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃが反る場合がある。しかしながら、第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄも、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと同様の積層構造をしているので、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと同様の反りが生じる。その結果、初期反りの場合と同様に、第１ビーム１２１ａの反りを第２ビーム１２２ｂがキャンセルし、第１ビーム１２１ｃの反りを第２ビーム１２２ｄがキャンセルする。The second beams 122b and 122d have a beam body 123 and a dummy film 129. A SiO 2 film 128 is formed on the surface of the beam body 123, and a dummy film 129 is laminated on the SiO 2 film 128. The dummy film 129 includes a lower electrode 125, a piezoelectric layer 126, and an upper electrode 127. That is, the dummy film 129 has the same configuration as that of the piezoelectric element 124. However, the dummy film 129 is not applied with a voltage and does not function as a piezoelectric element. These thin films are for canceling initial warpage of a plurality of beams and warpage due to temperature change. Specifically, the first beams 121a and 121c are formed by sputtering the SiO 2 film 128, the lower electrode 125, the piezoelectric layer 126, and the upper electrode 127 on the surface of the beam main body 123 formed of the first silicon layer s1. The film is formed, and the beam may be warped after the film formation due to temperature fluctuation in the film formation process. For example, the surface of the beam body 123 on the side on which the thin film is formed may contract and warp with the surface inward. However, for example, the first beam 121a is connected so that the second beam 122b is folded back, and a dummy film 129 similar to the piezoelectric element 124 is formed on the beam main body 123 of the second beam 122b. That is, the first beam 121a and the second beam 122b are warped in a substantially parallel state. As a result, the distal end portion of the first beam 121a and the proximal end portion of the second beam 122b are lifted, but the distal end portion of the second beam 122b is at the same height as the proximal end portion of the first beam 121a. Come back. Thus, the displacement in the thickness direction of the SOI substrate S due to the initial warp can be canceled at the tip of the second beam 122b. The same applies to the first beam 121c and the second beam 122d. In addition, since the first beams 121a and 121c are formed by laminating materials having different thermal expansion coefficients such as silicon, SiO 2 , and Pt / Ti, when the temperature changes, each film has a corresponding thermal expansion coefficient. Various contractions. Therefore, the first beams 121a and 121c may be warped. However, since the second beams 122b and 122d have the same laminated structure as the first beams 121a and 121c, the same warp as the first beams 121a and 121c occurs. As a result, as in the case of the initial warp, the second beam 122b cancels the warp of the first beam 121a, and the second beam 122d cancels the warp of the first beam 121c.

ここで、第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄのＳｉＯ２膜１２８は、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃのＳｉＯ２膜１２８と一体的に形成されている。また、ダミー膜１２９の下部電極１２５及び圧電体層１２６は、圧電素子１２４の下部電極１２５及び圧電体層１２６と一体的に形成されている。しかし、ダミー膜１２９の上部電極１２７と圧電素子１２４の上部電極１２７とは、基本的には絶縁されている。Here, the second beam 122b, SiO 2 film 128 of 122d, the first beam 121a, are SiO 2 film 128 formed integrally with the 121c. Further, the lower electrode 125 and the piezoelectric layer 126 of the dummy film 129 are formed integrally with the lower electrode 125 and the piezoelectric layer 126 of the piezoelectric element 124. However, the upper electrode 127 of the dummy film 129 and the upper electrode 127 of the piezoelectric element 124 are basically insulated.

ただし、第２ビーム１２２ｂのダミー膜１２９において、上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７と第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７とを導通させるための配線パターン１２７ｂを含んでいる。詳しくは、ダミー膜１２９の上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と絶縁された、ダミー上部電極１２７ａ，１２７ｃと、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と導通する配線パターン１２７ｂとを有している。ダミー上部電極１２７ａ，１２７ｃと配線パターン１２７ｂとは、互いに絶縁されている。この構成により、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７に電圧が印加されると、第２ビーム１２２ｂの配線パターン１２７ｂを介して第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７にも電圧が印加される。このとき、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ，１２７ｃには電圧が印加されない。   However, in the dummy film 129 of the second beam 122b, the upper electrode 127 includes a wiring pattern 127b for electrically connecting the upper electrode 127 of the first beam 121a and the upper electrode 127 of the first beam 121c. Specifically, the upper electrode 127 of the dummy film 129 is insulated from the upper electrode 127 of the first beam 121a and the upper electrode 127 of the first beam 121c, and the upper electrode 127 of the first beam 121a. And a wiring pattern 127b that is electrically connected to the upper electrode 127 of the first beam 121c. The dummy upper electrodes 127a and 127c and the wiring pattern 127b are insulated from each other. With this configuration, when a voltage is applied to the upper electrode 127 of the first beam 121a, a voltage is also applied to the upper electrode 127 of the first beam 121c via the wiring pattern 127b of the second beam 122b. At this time, no voltage is applied to the dummy upper electrodes 127a and 127c of the second beam 122b.

尚、配線パターン１２７ｂに通電することによって、第２ビーム１２２ｂにおいて、配線パターン１２７ｂと下部電極１２５との間に電圧が印加されることになるが、配線パターン１２７ｂは十分に細いため、第２ビーム１２２ｂの圧電体層１２６には歪みがほとんど生じない。仮に該圧電体層１２６に歪みが生じたとしても、その歪みは十分に小さいので、第２ビーム１２２ｂは僅かに湾曲するだけで、その湾曲量は第１ビーム１２１ａ，１２１ｃに比べて十分に小さい。   Note that, by energizing the wiring pattern 127b, a voltage is applied between the wiring pattern 127b and the lower electrode 125 in the second beam 122b. However, since the wiring pattern 127b is sufficiently thin, the second beam There is almost no distortion in the piezoelectric layer 126 of 122b. Even if the piezoelectric layer 126 is distorted, the distortion is sufficiently small. Therefore, the second beam 122b is slightly bent, and the amount of bending is sufficiently smaller than that of the first beams 121a and 121c. .

一方、第２ビーム１２２ｄには配線パターンを設ける必要が無いので、第２ビーム１２２ｄの上部電極１２７は、圧電素子１２４の上部電極１２７と同様の構成をしている。   On the other hand, since it is not necessary to provide a wiring pattern for the second beam 122d, the upper electrode 127 of the second beam 122d has the same configuration as the upper electrode 127 of the piezoelectric element 124.

第１ブレード１０４は、ブレード本体１４１と、ヒンジ１０３，１０３を介して第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂに連結される連結ビーム１４２，１４２とを有している。ブレード本体１４１は、略方形の板状に形成されている。第１ブレード１０４は、移動体の一例である。   The first blade 104 has a blade body 141 and connecting beams 142 and 142 connected to the first actuators 102A and 102B via hinges 103 and 103, respectively. The blade body 141 is formed in a substantially square plate shape. The first blade 104 is an example of a moving body.

ブレード本体１４１は、フレーム１０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体１４１は、第１シリコン層ｓ１、酸化膜層ｓ２及び第２シリコン層ｓ３で形成されている。ブレード本体１４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜１４３が成膜されている。   The blade main body 141 is arranged at the approximate center in the X direction in the frame 101 so that the thickness direction thereof coincides with the Y direction. The blade body 141 is formed of a first silicon layer s1, an oxide film layer s2, and a second silicon layer s3. An Au film 143 is formed on one surface of the blade body 141 (the surface facing the front side in the Y direction and facing the incident side of the optical path).

連結ビーム１４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム１４２，１４２は、ブレード本体１４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。連結ビーム１４２は、第１シリコン層ｓ１で形成されている。ここで、各連結ビーム１４２の先端部は、Ｘ方向において、第１アクチュエータ１０２の第２ビーム１２２ｄの先端部よりも外側まで延びている。   The connecting beam 142 is formed in a rod shape extending in the X direction. The connecting beams 142 and 142 extend in the X direction from both ends of one end edge of the blade body 141 in the Z direction. The connection beam 142 is formed of the first silicon layer s1. Here, the distal end portion of each connection beam 142 extends to the outside of the distal end portion of the second beam 122d of the first actuator 102 in the X direction.

ヒンジ１０３は、弾性的に変形可能に構成されている。具体的には、ヒンジ１０３は、複数の直線部と、隣り合う直線部の端部同士を連結する折り返し部とを有し、全体として蛇行した形状をしている。直線部は、Ｙ方向に延びており、ヒンジ１０３は、Ｙ方向に延びる軸、即ち、回転軸１０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ１０３の一端部は、第１アクチュエータ１０２の第２ビーム１２２ｄの先端部に連結され、ヒンジ１０３の他端部は、連結ビーム１４２の先端部に連結されている。第２ビーム１２２ｄに連結される一端部より、連結ビーム１４２に連結される他端部の方がＸ方向の外側に位置している。ヒンジ１０３は、連結部の一例である。   The hinge 103 is configured to be elastically deformable. Specifically, the hinge 103 has a plurality of linear portions and folded portions that connect ends of adjacent linear portions, and has a meandering shape as a whole. The straight line portion extends in the Y direction, and the hinge 103 is easily curved around an axis extending in the Y direction, that is, around the rotation shaft 103a. One end of the hinge 103 is connected to the tip of the second beam 122d of the first actuator 102, and the other end of the hinge 103 is connected to the tip of the connecting beam 142. The other end connected to the connection beam 142 is located outside the one end connected to the second beam 122d in the X direction. The hinge 103 is an example of a connecting part.

フレーム１０１には、第１アクチュエータ１０２の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃの上部電極１２７，１２７に電気的に接続された第１上部給電端子１１１と、アクチュエータ１０２の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃの下部電極１２５，１２５に電気的に接続された第１下部給電端子１１２と、配線を介して第１上部給電端子１１１と電気的に接続された上部接続端子１１３と、配線を介して第１下部給電端子１１２と電気的に接続された下部接続端子１１４とが設けられている。第１上部給電端子１１１からは、第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂの第１ビーム１２１ａ，１２１ａの上部電極１２７，１２７まで配線が延びている。フレーム１０１のＳｉＯ２膜１２８上には、部分的に、下部電極１２５及び圧電体層１２６が積層され、圧電体層１２６上に第１上部給電端子１１１、第１下部給電端子１１２、上部接続端子１１３、下部接続端子１１４及び配線が設けられている。ただし、下部接続端子１１４が設けられている圧電体層１２６には、下部電極１２５に達する開口（図２において破線で図示）が形成されている。下部接続端子１１４は、この開口を覆うように設けられており、下部電極１２５と電気的に接続されている。これにより、第１下部給電端子１１２は、下部電極１２５と電気的に接続されている。これら第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２は、第１端子の一例である。The frame 101 includes a first upper feed terminal 111 electrically connected to the upper electrodes 127 and 127 of the first beams 121a and 121c of the first actuator 102, and a lower electrode 125 of the first beams 121a and 121c of the actuator 102. , 125, a first lower power supply terminal 112 electrically connected to the first upper power supply terminal 111 through a wiring, and a first lower power supply terminal 112 through the wiring. And a lower connection terminal 114 electrically connected to each other. Wiring extends from the first upper power supply terminal 111 to the upper electrodes 127 and 127 of the first beams 121a and 121a of the first actuators 102A and 102B. A lower electrode 125 and a piezoelectric layer 126 are partially stacked on the SiO 2 film 128 of the frame 101, and a first upper power supply terminal 111, a first lower power supply terminal 112, and an upper connection terminal are formed on the piezoelectric layer 126. 113, a lower connection terminal 114, and wiring are provided. However, an opening (shown by a broken line in FIG. 2) reaching the lower electrode 125 is formed in the piezoelectric layer 126 provided with the lower connection terminal 114. The lower connection terminal 114 is provided so as to cover the opening, and is electrically connected to the lower electrode 125. Thereby, the first lower power supply terminal 112 is electrically connected to the lower electrode 125. The first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 are examples of the first terminal.

続いて、このように構成された第１ユニット１００の動作について説明する。図５に、第１ビームを湾曲させたときのシャッタ装置の斜視図を示す。   Next, the operation of the first unit 100 configured as described above will be described. FIG. 5 is a perspective view of the shutter device when the first beam is curved.

第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２に電圧を印加すると、各第１アクチュエータ１０２の第１ビーム１２１ａ，１２１ｃの圧電素子１２４，１２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃは、圧電素子１２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、図５に示すように、フレーム１０１から第１ビーム１２１ａが上側へ反り上がるように延び、第１ビーム１２１ａの先端部から第２ビーム１２２ｂが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム１２２ｂの先端部から第１ビーム１２１ｃが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム１２１ｃの先端部から第２ビーム１２２ｄが折り返して、略直線状に延びた状態となる。   When a voltage is applied to the first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112, a voltage is applied to the piezoelectric elements 124 and 124 of the first beams 121 a and 121 c of the first actuators 102. Thus, the first beams 121a and 121c are curved upward with respect to the surface of the SOI substrate S with the piezoelectric element 124 inside. On the other hand, the second beams 122b and 122d are not substantially curved and remain in a substantially linear state. That is, as shown in FIG. 5, the first beam 121a extends from the frame 101 so as to warp upward, the second beam 122b is folded back from the tip of the first beam 121a, extends substantially linearly, and the second beam The first beam 121c is folded from the front end portion of 122b and extends so as to warp upward, and the second beam 122d is folded from the front end portion of the first beam 121c and extends substantially linearly.

さらに詳しくは、第１ビーム１２１ａの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム１２１ａの先端部から折り返す第２ビーム１２２ｂは、第１ビーム１２１ａの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム１２２ｂは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム１２２ｂの先端部は、第１ビーム１２１ａの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム１２１ｃの基端部は、第２ビーム１２２ｂと同じ傾きで、第２ビーム１２２ｂの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム１２１ｃの曲率は、第１ビーム１２１ａの曲率と略同じであるが、第１ビーム１２１ａの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム１２１ｃの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム１２１ｃの先端部は、第１ビーム１２１ａの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム１２１ｃの先端部は、第１ビーム１２１ａの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム１２２ｄは、第１ビーム１２１ｃの先端部と同じ傾きで第１ビーム１２１ｃの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム１２２ｄは、第２ビーム１２２ｂよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム１２２ｄの先端部は、第２ビーム１２２ｂの先端部よりも下方に位置する。   More specifically, the tip of the first beam 121a is inclined obliquely upward. The second beam 122b turned back from the tip of the first beam 121a has the same inclination as the tip of the first beam 121a. That is, the second beam 122b extends substantially linearly downward, and the distal end portion of the second beam 122b is lower than the base end portion of the first beam 121a, that is, the surface of the SOI substrate S. Located below. The proximal end portion of the first beam 121c is folded back from the distal end portion of the second beam 122b with the same inclination as the second beam 122b. Here, the curvature of the first beam 121c is substantially the same as the curvature of the first beam 121a, but the base end of the first beam 121a is substantially parallel to the surface of the SOI substrate S. Since the proximal end portion of the beam 121c is inclined obliquely upward toward the distal end side, the distal end portion of the first beam 121c floats further upward than the distal end portion of the first beam 121a. Furthermore, the tip of the first beam 121c is inclined further obliquely upward than the tip of the first beam 121a (that is, the tilt angle with respect to the surface of the SOI substrate S is increased). Then, the second beam 122d is folded back from the tip of the first beam 121c with the same inclination as the tip of the first beam 121c. As a result, the second beam 122d extends obliquely downward with a larger inclination angle than the second beam 122b, and the tip of the second beam 122d is positioned below the tip of the second beam 122b.

ここで、第１アクチュエータ１０２Ａと第１アクチュエータ１０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第１アクチュエータ１０２Ａの第２ビーム１２２ｄの先端部と、第１アクチュエータ１０２Ｂの第２ビーム１２２ｄの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ下降した位置に位置している。その結果、第１ブレード１０４は、連結ビーム１４２，１４２が略同じ量だけ下降するので、ブレード本体１４１が下方へ平行移動する。   Here, since the same voltage is applied to the first actuator 102A and the first actuator 102B, the tip of the second beam 122d of the first actuator 102A and the tip of the second beam 122d of the first actuator 102B Is located at a position lowered from the surface of the SOI substrate S by substantially the same amount. As a result, in the first blade 104, the connecting beams 142 and 142 are lowered by substantially the same amount, so that the blade body 141 is translated downward.

尚、第２ビーム１２２ｄの先端部は、電圧印加前と比べて、Ｘ方向の内側に少しだけ変位するが、この変位はヒンジ１０３がＸ方向へ伸びることによって吸収される。   Note that the tip of the second beam 122d is slightly displaced inward in the X direction as compared to before voltage application, but this displacement is absorbed by the extension of the hinge 103 in the X direction.

続いて、第２ユニット２００について説明する。第２ユニット２００の基本的な構成は、第１ユニット１００と同様である。第１ユニット１００の要素には、１００番台の符号を付しているのに対し、第２ユニット２００の要素には、２００番台の符号を付している。第１ユニット１００の要素と第２ユニット２００の要素とで、十の位以下の符号が同じ要素は同様の機能を有する。以下では、第２ユニット２００のうち、第１ユニット１００と異なる部分を中心に説明する。図６に、第２ユニット２００の平面図を示し、図７に、第２ユニット２００を部分的に拡大した平面図を示す。   Next, the second unit 200 will be described. The basic configuration of the second unit 200 is the same as that of the first unit 100. The elements of the first unit 100 are denoted by reference numerals in the 100s, whereas the elements of the second unit 200 are denoted by reference numerals in the 200s. Elements of the first unit 100 and elements of the second unit 200 that have the same sign in the tens place have the same function. Hereinafter, the second unit 200 will be described with a focus on portions different from the first unit 100. FIG. 6 shows a plan view of the second unit 200, and FIG. 7 shows a plan view in which the second unit 200 is partially enlarged.

第２ユニット２００は、ＳＯＩ基板Ｓを用いて製造されている。第２ユニット２００は、フレーム２０１と、フレーム２０１に連結された２つの第２アクチュエータ２０２，２０２と、２つの第２アクチュエータ２０２，２０２にそれぞれヒンジ２０３，２０３を介して連結された第２ブレード２０４とを有している。尚、２つの第２アクチュエータ２０２，２０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第２アクチュエータ２０２Ａ、第２アクチュエータ２０２Ｂと称する。図６，７において、第２アクチュエータ２０２Ａが下方に位置し、第２アクチュエータ２０２Ｂが上方に位置している。第２ユニット２００は、駆動装置の一例である。   The second unit 200 is manufactured using the SOI substrate S. The second unit 200 includes a frame 201, two second actuators 202 and 202 connected to the frame 201, and a second blade 204 connected to the two second actuators 202 and 202 via hinges 203 and 203, respectively. And have. In order to distinguish the two second actuators 202 and 202, they are referred to as a second actuator 202A and a second actuator 202B, respectively, with different signs. 6 and 7, the second actuator 202A is positioned below, and the second actuator 202B is positioned above. The second unit 200 is an example of a driving device.

フレーム２０１は、概略長方形の枠状に形成されている。フレーム２０１は、フレーム１０１とは異なり、完全に閉じた枠状に形成されている。以下、説明の便宜上、フレーム２０１の長手方向をＸ方向、フレーム２０１の短手方向をＹ方向、フレーム２０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図６，７における左側を左側、図６，７における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図６，７における上側を前側、図６，７における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。   The frame 201 is formed in a substantially rectangular frame shape. Unlike the frame 101, the frame 201 is formed in a completely closed frame shape. Hereinafter, for convenience of explanation, the longitudinal direction of the frame 201 is referred to as the X direction, the short direction of the frame 201 is referred to as the Y direction, and the thickness direction of the frame 201 is referred to as the Z direction. In the X direction, the left side in FIGS. 6 and 7 may be referred to as the left side, and the right side in FIGS. In the Y direction, the upper side in FIGS. 6 and 7 may be referred to as the front side, and the lower side in FIGS. In the Z direction, the first silicon layer s1 side may be referred to as the upper side, and the second silicon layer s3 side may be referred to as the lower side.

２つの第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂは、フレーム２０１内において、第２ブレード２０４を挟んでＹ軸方向に並んで配置されている。各第２アクチュエータ２０２は、基端部がフレーム２０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第２ブレード２０４が連結されている。各第２アクチュエータ２０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面内で折り返すように連結された４本のビームを有している。４本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する２本の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄと、湾曲しないか又は該第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄよりも湾曲が小さい２本の第２ビーム２２２ａ，２２２ｃとを含んでいる。第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄと第２ビーム２２２ａ，２２２ｃとは、交互に連結されている。第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄ及び第２ビーム２２２ａ，２２２ｃは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム２２１ｂと第１ビーム２２１ｄとを区別しないときには、単に第１ビーム２２１と称する。また、第２ビーム２２２ａと第２ビーム２２２ｃとを区別しないときには、単に第２ビーム２２２と称する。   The two second actuators 202A and 202B are arranged side by side in the Y-axis direction with the second blade 204 in between in the frame 201. Each second actuator 202 has a cantilever structure in which a base end portion is connected to the frame 201 and a tip end portion is a free end. A second blade 204 is connected to a tip portion that is a free end. Each second actuator 202 has four beams connected so as to be folded back within the main surface of the SOI substrate S. The four beams are two first beams 221b and 221d that are curved to one side with respect to the main surface, and two second beams that are not curved or have a smaller curvature than the first beams 221b and 221d. 222a, 222c. The first beams 221b and 221d and the second beams 222a and 222c are alternately connected. The first beams 221b and 221d and the second beams 222a and 222c are arranged in parallel to each other. When the first beam 221b and the first beam 221d are not distinguished, they are simply referred to as the first beam 221. When the second beam 222a and the second beam 222c are not distinguished, they are simply referred to as the second beam 222.

詳しくは、第２アクチュエータ２０２Ａにおいて、第２ビーム２２２ａの基端部がフレーム２０１のＸ方向の左端部に固定され、第２ビーム２２２ａは、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ａの先端部には、第１ビーム２２１ｂが連結されている。第１ビーム２２１ｂは、第２ビーム２２２ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｂの先端部には、第２ビーム２２２ｃが連結されている。第２ビーム２２２ｃは、第１ビーム２２１ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ｃの先端部には、第１ビーム２２１ｄが連結されている。第１ビーム２２１ｄは、第２ビーム２２２ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｄの先端部には、ヒンジ２０３を介して第２ブレード２０４が連結されている。   Specifically, in the second actuator 202A, the base end portion of the second beam 222a is fixed to the left end portion in the X direction of the frame 201, and the second beam 222a extends toward the right side in the X direction. The first beam 221b is connected to the tip of the second beam 222a. The first beam 221b is folded back from the second beam 222a and extends toward the left side in the X direction. A second beam 222c is connected to the tip of the first beam 221b. The second beam 222c is folded back from the first beam 221b and extends toward the right side in the X direction. The first beam 221d is connected to the tip of the second beam 222c. The first beam 221d is folded from the second beam 222c and extends toward the left side in the X direction. A second blade 204 is connected to the tip of the first beam 221d via a hinge 203.

一方、第２アクチュエータ２０２Ｂにおいて、第２ビーム２２２ａの基端部がフレーム２０１のＸ方向の右端部に固定され、第２ビーム２２２ａは、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ａの先端部には、第１ビーム２２１ｂが連結されている。第１ビーム２２１ｂは、第２ビーム２２２ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｂの先端部には、第２ビーム２２２ｃが連結されている。第２ビーム２２２ｃは、第１ビーム２２１ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第２ビーム２２２ｃの先端部には、第１ビーム２２１ｄが連結されている。第１ビーム２２１ｄは、第２ビーム２２２ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第１ビーム２２１ｄの先端部には、ヒンジ２０３を介して第２ブレード２０４が連結されている。   On the other hand, in the second actuator 202B, the base end portion of the second beam 222a is fixed to the right end portion in the X direction of the frame 201, and the second beam 222a extends toward the left side in the X direction. The first beam 221b is connected to the tip of the second beam 222a. The first beam 221b is folded from the second beam 222a and extends toward the right side in the X direction. A second beam 222c is connected to the tip of the first beam 221b. The second beam 222c is folded back from the first beam 221b and extends toward the left side in the X direction. The first beam 221d is connected to the tip of the second beam 222c. The first beam 221d is folded from the second beam 222c and extends toward the right side in the X direction. A second blade 204 is connected to the tip of the first beam 221d via a hinge 203.

つまり、第２アクチュエータ２０２Ａ及び第２アクチュエータ２０２Ｂは、フレーム２０１に連結されているビームが第２ビーム２２２であり、そこから交互に、第１ビーム２２１、第２ビーム２２２が連結され、最終的に第１ビーム２２１ｄの先端部に第２ブレード２０４が連結されている点で共通する。一方、第２アクチュエータ２０２Ａ及び第２アクチュエータ２０２Ｂは、第２ビーム２２２ａの基端部がＸ方向において反対の位置でそれぞれフレーム２０１に固定されている点、及び、第１ビーム２２１ｄの先端部がＸ方向において反対の位置にそれぞれ位置する点で異なっている。   That is, in the second actuator 202A and the second actuator 202B, the beam connected to the frame 201 is the second beam 222, and from there, the first beam 221 and the second beam 222 are alternately connected, and finally This is common in that the second blade 204 is connected to the tip of the first beam 221d. On the other hand, in the second actuator 202A and the second actuator 202B, the base end portion of the second beam 222a is fixed to the frame 201 at the opposite position in the X direction, and the tip end portion of the first beam 221d is X. They differ in that they are located at opposite positions in the direction.

続いて、各ビームの構成について説明する。第２アクチュエータ２０２Ａと第２アクチュエータ２０２Ｂとで各ビームの構成は同様である。例えば、第２アクチュエータ２０２Ａの第１ビーム２２１ｂと第２アクチュエータ２０２Ｂの第１ビーム２２１ｂの構成は同様である。   Next, the configuration of each beam will be described. The configuration of each beam is the same between the second actuator 202A and the second actuator 202B. For example, the configurations of the first beam 221b of the second actuator 202A and the first beam 221b of the second actuator 202B are the same.

第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄは、ビーム本体２２３と、ビーム本体２２３の表面に積層された圧電素子２２４とを有している。ビーム本体２２３は、第１アクチュエータ１０２のビーム本体１２３と同様の構成であり、圧電素子２２４は、第１アクチュエータ１０２の圧電素子１２４と同様の構成である。すなわち、ビーム本体２２３の表面にはＳｉＯ２膜１２８が積層されており、ＳｉＯ２膜１２８上に圧電素子２２４が積層されている。圧電素子２２４は、下部電極２２５と、上部電極２２７と、これらに挟持された圧電体層２２６とを有する。圧電素子２２４の上部電極２２７及び下部電極２２５に電圧が印加されると、ビーム本体２２３のうち圧電素子２２４が積層された表面が伸縮し、ビーム本体２２３は、圧電素子２２４を内側にして湾曲する。The first beams 221b and 221d have a beam main body 223 and a piezoelectric element 224 stacked on the surface of the beam main body 223. The beam body 223 has the same configuration as the beam body 123 of the first actuator 102, and the piezoelectric element 224 has the same configuration as the piezoelectric element 124 of the first actuator 102. That is, the SiO 2 film 128 is laminated on the surface of the beam body 223, and the piezoelectric element 224 is laminated on the SiO 2 film 128. The piezoelectric element 224 includes a lower electrode 225, an upper electrode 227, and a piezoelectric layer 226 sandwiched therebetween. When a voltage is applied to the upper electrode 227 and the lower electrode 225 of the piezoelectric element 224, the surface of the beam body 223 on which the piezoelectric element 224 is stacked expands and contracts, and the beam body 223 curves with the piezoelectric element 224 inside. .

第２ビーム２２２ａ，２２２ｃは、ビーム本体２２３と、ダミー膜２２９とを有している。ビーム本体２２３の表面には、ＳｉＯ２膜２２８が成膜されており、ＳｉＯ２膜２２８上にダミー膜２２９が積層されている。ダミー膜２２９には、下部電極２２５、圧電体層２２６及び上部電極２２７が含まれている。つまり、ダミー膜２２９は、圧電素子２２４と同様の構成をしている。しかし、ダミー膜２２９は、電圧が印加されることはなく、圧電素子としては機能しない。ダミー膜２２９は、第１アクチュエータ１０２のダミー膜１２９と同様に、ビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルするためのものである。The second beams 222 a and 222 c have a beam body 223 and a dummy film 229. A SiO 2 film 228 is formed on the surface of the beam body 223, and a dummy film 229 is laminated on the SiO 2 film 228. The dummy film 229 includes a lower electrode 225, a piezoelectric layer 226, and an upper electrode 227. That is, the dummy film 229 has a configuration similar to that of the piezoelectric element 224. However, the dummy film 229 is not applied with a voltage and does not function as a piezoelectric element. Similar to the dummy film 129 of the first actuator 102, the dummy film 229 is for canceling the initial warp of the beam and the warp due to the temperature change.

尚、第２ビーム２２２ａ，２２２ｃのダミー膜２２９は何れも、第２ビーム１２２ｂのダミー膜１２９と同じタイプである。つまり、ダミー膜２２９の上部電極２２７は、第１ビーム２２１ｂの上部電極２２７及び第１ビーム２２１ｄの上部電極２２７と絶縁された、ダミー上部電極２２７ａ，２２７ｃと、第１ビーム２２１ｂの上部電極２２７及び第１ビーム２２１ｄの上部電極２２７と導通する配線パターン２２７ｂとを有している。   The dummy films 229 of the second beams 222a and 222c are all the same type as the dummy film 129 of the second beam 122b. That is, the upper electrode 227 of the dummy film 229 is insulated from the upper electrode 227 of the first beam 221b and the upper electrode 227 of the first beam 221d, the upper electrode 227 of the first beam 221b, The upper electrode 227 of the first beam 221d has a wiring pattern 227b that is electrically connected.

第２ブレード２０４は、ブレード本体２４１と、ヒンジ２０３，２０３を介して第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂに連結される連結ビーム２４２，２４２とを有している。第２ブレード２０４は、第１ブレード１０４とＹ方向位置がずれている。第２ブレード２０４は、移動体の一例である。   The second blade 204 has a blade body 241 and connecting beams 242 and 242 connected to the second actuators 202A and 202B via hinges 203 and 203, respectively. The second blade 204 is displaced in the Y direction from the first blade 104. The second blade 204 is an example of a moving body.

ブレード本体２４１は、略方形の板状に形成されている。ブレード本体２４１は、フレーム２０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体２４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜２４３が成膜されている。   The blade body 241 is formed in a substantially square plate shape. The blade body 241 is arranged at the approximate center in the X direction in the frame 201 so that the thickness direction thereof coincides with the Y direction. An Au film 243 is formed on one surface of the blade body 241 (a surface facing the front side in the Y direction and facing the incident side of the optical path).

連結ビーム２４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム２４２，２４２は、ブレード本体２４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。ここで、各連結ビーム２４２の先端部は、Ｘ方向において、第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｄの先端部よりも外側まで延びている。   The connecting beam 242 is formed in a rod shape extending in the X direction. The connecting beams 242 and 242 extend in the X direction from both ends of one end edge of the blade body 241 in the Z direction. Here, the distal end portion of each connection beam 242 extends to the outside of the distal end portion of the first beam 221d of the second actuator 202 in the X direction.

ヒンジ２０３は、第１アクチュエータ１０２のヒンジ１０３と同様の構成をしている。ヒンジ２０３は、直線部に沿ってＹ方向に延びる回転軸２０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ２０３は、連結部の一例である。   The hinge 203 has the same configuration as the hinge 103 of the first actuator 102. The hinge 203 is easily bent around the rotation axis 203a extending in the Y direction along the straight line portion. The hinge 203 is an example of a connecting portion.

フレーム２０１には、第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄの上部電極２２７，２２７に電気的に接続された第２上部給電端子２１１と、第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄの下部電極２２５，２２５に電気的に接続された第２下部給電端子２１２とが設けられている。第２上部給電端子２１１からは、第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂの第２ビーム２２２ａ，２２２ａの配線パターン２２７ｂ，２２７ｂまで配線が延びている。フレーム２０１のＳｉＯ２膜２２８上には、部分的に、下部電極２２５及び圧電体層２２６が積層され、圧電体層２２６上に第２上部給電端子２１１、第２下部給電端子２１２及び配線が設けられている。ただし、第２下部給電端子２１２が設けられている圧電体層２２６には、下部電極２２５に達する開口（図６において破線で図示）が形成されている。第２下部給電端子２１２は、この開口を覆うように設けられており、下部電極２２５と電気的に接続されている。これら第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、第２端子の一例である。The frame 201 includes a second upper power supply terminal 211 electrically connected to the upper electrodes 227 and 227 of the first beams 221b and 221d of the second actuator 202, and a lower portion of the first beams 221b and 221d of the second actuator 202. A second lower power supply terminal 212 electrically connected to the electrodes 225 and 225 is provided. Wiring extends from the second upper power supply terminal 211 to the wiring patterns 227b and 227b of the second beams 222a and 222a of the second actuators 202A and 202B. A lower electrode 225 and a piezoelectric layer 226 are partially stacked on the SiO 2 film 228 of the frame 201, and a second upper power supply terminal 211, a second lower power supply terminal 212, and wiring are provided on the piezoelectric layer 226. It has been. However, an opening (shown by a broken line in FIG. 6) reaching the lower electrode 225 is formed in the piezoelectric layer 226 provided with the second lower power supply terminal 212. The second lower power supply terminal 212 is provided so as to cover this opening, and is electrically connected to the lower electrode 225. The second upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 are examples of the second terminal.

続いて、このように構成された第２ユニット２００の動作について説明する。   Next, the operation of the second unit 200 configured as described above will be described.

第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２に電圧を印加すると、各第２アクチュエータ２０２の第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄの圧電素子２２４，２２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム２２１ｂ，２２１ｄは、圧電素子２２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム２２２ａ，２２２ｃは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、図５に示すように、フレーム２０１から第２ビーム２２２ａがＳＯＩ基板Ｓの表面と平行に略直線状に延び、第１ビーム２２１ｂが第２ビーム２２２ａの先端部からが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム２２１ｂの先端部から第２ビーム２２２ｃが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム２２２ｃの先端部から第１ビーム２２１ｄが折り返して、上側へ反り上がるように延びた状態となる。   When a voltage is applied to the second upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212, a voltage is applied to the piezoelectric elements 224 and 224 of the first beams 221 b and 221 d of the second actuators 202. Thereby, the first beams 221b and 221d are curved upward with respect to the surface of the SOI substrate S with the piezoelectric element 224 inside. On the other hand, the second beams 222a and 222c are not substantially curved and remain in a substantially linear state. That is, as shown in FIG. 5, the second beam 222a extends from the frame 201 in a substantially straight line parallel to the surface of the SOI substrate S, and the first beam 221b is folded back from the front end portion of the second beam 222a to the upper side. The second beam 222c is folded back from the tip of the first beam 221b and extends substantially linearly, and the first beam 221d is folded back from the tip of the second beam 222c so as to warp upward. It will be in the extended state.

さらに詳しくは、第１ビーム２２１ｂの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム２２１ｂの先端部から折り返す第２ビーム２２２ｃは、第１ビーム２２１ｂの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム２２２ｃは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム２２２ｃの先端部は、第１ビーム２２１ｂの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム２２１ｄの基端部は、第２ビーム２２２ｃと同じ傾きで、第２ビーム２２２ｃの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム２２１ｄの曲率は、第１ビーム２２１ｂの曲率と略同じであるが、第１ビーム２２１ｂの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム２２１ｄの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム２２１ｄの先端部は、第１ビーム２２１ｂの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。   More specifically, the tip of the first beam 221b is inclined obliquely upward. The second beam 222c turned back from the tip of the first beam 221b has the same inclination as the tip of the first beam 221b. That is, the second beam 222c extends substantially linearly downward, and the distal end portion of the second beam 222c is lower than the base end portion of the first beam 221b, that is, more than the surface of the SOI substrate S. Located below. The proximal end portion of the first beam 221d is folded back from the distal end portion of the second beam 222c with the same inclination as the second beam 222c. Here, the curvature of the first beam 221d is substantially the same as the curvature of the first beam 221b, but the base end of the first beam 221b is substantially parallel to the surface of the SOI substrate S, whereas Since the proximal end portion of the beam 221d is inclined obliquely upward toward the distal end side, the distal end portion of the first beam 221d floats further upward than the distal end portion of the first beam 221b.

ここで、第２アクチュエータ２０２Ａと第２アクチュエータ２０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第２アクチュエータ２０２Ａの第１ビーム２２１ｄの先端部と、第２アクチュエータ２０２Ｂの第１ビーム２２１ｄの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ上昇した位置に位置している。その結果、第２ブレード２０４は、連結ビーム２４２，２４２が略同じ量だけ上昇するので、ブレード本体２４１が上方へ平行移動する。   Here, since the same voltage is applied to the second actuator 202A and the second actuator 202B, the tip of the first beam 221d of the second actuator 202A and the tip of the first beam 221d of the second actuator 202B Is located at a position elevated from the surface of the SOI substrate S by substantially the same amount. As a result, in the second blade 204, the connecting beams 242 and 242 rise by substantially the same amount, so that the blade body 241 translates upward.

尚、第１ビーム２２１ｄの先端部は、電圧印加前と比べて、Ｘ方向の内側に少しだけ変位するが、この変位はヒンジ２０３がＸ方向へ伸びることによって吸収される。   Note that the tip of the first beam 221d is slightly displaced inward in the X direction as compared to before voltage application, but this displacement is absorbed by the extension of the hinge 203 in the X direction.

また、第２アクチュエータ２０２の第２ビーム２２２ａは、第２ブレード２０４の上昇にほとんど寄与しないため省略してもよいが、第２ビーム２２２ａが第１ビーム２２１ｂと対をなすことによって、前述の如く、第１ビーム２２１ｂの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルする機能を有する。   The second beam 222a of the second actuator 202 may be omitted because it hardly contributes to the rise of the second blade 204. However, as described above, the second beam 222a is paired with the first beam 221b. The first beam 221b has a function of canceling the initial warp and the warp due to the temperature change.

このように構成された第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、スペーサ３００，３００を介して重ね合わされている。スペーサ３００は、ガラスで形成されている。スペーサ３００は、図２，３に示すように、フレーム１０１の短辺及び長辺に沿って、平面視Ｌ字状に形成されている。ただし、一方のスペーサ３００の、フレーム１０１の長辺に沿う部分と、他方のスペーサ３００の、フレーム１０１の長辺に沿う部分とは、つながっておらず、間隔を空けて配置されている。   The first unit 100 and the second unit 200 configured as described above are overlapped via the spacers 300 and 300. The spacer 300 is made of glass. As shown in FIGS. 2 and 3, the spacer 300 is formed in an L shape in plan view along the short side and the long side of the frame 101. However, the portion of one spacer 300 along the long side of the frame 101 and the portion of the other spacer 300 along the long side of the frame 101 are not connected and are spaced apart.

スペーサ３００，３００を設けることにより、図１，４に示すように、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間にはそれらの積層方向において間隔が形成される。このとき、フレーム１０１とフレーム２０１との間には、フレーム１０１、フレーム２０１及び２つのスペーサ３００，３００により区画される開口３１０が形成される。この開口３１０を通過するように光路Ｌが設定される。   By providing the spacers 300 and 300, as shown in FIGS. 1 and 4, a space is formed between the first unit 100 and the second unit 200 in the stacking direction. At this time, an opening 310 defined by the frame 101, the frame 201, and the two spacers 300 and 300 is formed between the frame 101 and the frame 201. The optical path L is set so as to pass through the opening 310.

また、第２ユニット２００のうち、スペーサ３００，３００と反対の面にはベース４００が接合されている。ベース４００は、ガラスで形成されている。ベース４００は、概略長方形の枠状に形成されている。   Further, the base 400 is bonded to the surface of the second unit 200 opposite to the spacers 300 and 300. The base 400 is made of glass. The base 400 is formed in a substantially rectangular frame shape.

こうして、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを積層させた状態において、第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２は、フレーム１０１のＺ方向上向きの面に配設され、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、フレーム２０１のＺ方向上向きの面に配設されている。また、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２が設けられている部分は、第１ユニット１００のフレーム１０１が切り欠かれて、第２ユニット２００のフレーム２０１が露出している部分である。そのため、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを積層させた状態において、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、上方へ露出している。上部接続端子１１３と第２上部給電端子２１１とは、ワイヤボンディングにより接続される。下部接続端子１１４と第２下部給電端子２１２とは、ワイヤボンディングにより接続される。   Thus, in a state where the first unit 100 and the second unit 200 are stacked, the first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 of the first unit 100 are arranged on the Z-direction upward surface of the frame 101. The second upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 of the second unit 200 are disposed on the Z-direction upward surface of the frame 201. Further, in the portion of the second unit 200 where the second upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 are provided, the frame 101 of the first unit 100 is notched and the frame 201 of the second unit 200 is exposed. It is the part which is doing. Therefore, in a state where the first unit 100 and the second unit 200 are stacked, the second upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 of the second unit 200 are exposed upward. The upper connection terminal 113 and the second upper power supply terminal 211 are connected by wire bonding. The lower connection terminal 114 and the second lower power supply terminal 212 are connected by wire bonding.

第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２に駆動電圧が給電されていないときには、第１ブレード１０４は、Ｚ方向においてフレーム１０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。同様に、第２ブレード２０４は、Ｚ方向においてフレーム２０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。このときの第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４の位置を、開通位置と称する。すなわち、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４が開通位置に位置するときには、光路Ｌが開通しており、第１ユニット１００と第２ユニット２００との間の光路Ｌを光が通過することができる。   When the drive voltage is not supplied to the first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 of the first unit 100, the first blade 104 is positioned at substantially the same position as the frame 101 in the Z direction, and the optical path L Not shut off. Similarly, the second blade 204 is located at substantially the same position as the frame 201 in the Z direction and does not block the optical path L. The positions of the first blade 104 and the second blade 204 at this time are referred to as open positions. That is, when the first blade 104 and the second blade 204 are in the open position, the optical path L is open, and light can pass through the optical path L between the first unit 100 and the second unit 200. .

一方、第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２に駆動電圧が給電されると、第１ユニット１００の第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂ及び第２ユニット２００の第２アクチュエータ２０２Ａ，２０２Ｂに駆動電圧が印加される。第１ブレード１０４は、Ｚ方向下側、即ち、第２ユニット２００の方へ移動し、第２ブレード２０４は、Ｚ方向上側、即ち、第１ユニット１００の方へ移動する。最終的に、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４は、ブレード本体１４１とブレード本体２４１がオーバーラップする位置まで移動する。このときの第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４の位置を、遮断位置と称する。遮断位置においては、ブレード本体１４１の下端縁がブレード本体２４１の上端縁よりも下方に位置している。すなわち、Ｙ方向を向いて見たときに（光路Ｌの方向を向いて見たときに）ブレード本体１４１の下端部とブレード本体２４１の上端部とが重なり合っている。その結果、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４により光路Ｌが遮断される。尚、ブレード本体１４１の下端部とブレード本体２４１の上端部とは、Ｙ方向に隙間を有しており、干渉していない。   On the other hand, when a driving voltage is supplied to the first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 of the first unit 100, the first actuators 102A and 102B of the first unit 100 and the second actuator 202A of the second unit 200 are used. , 202B is applied with a drive voltage. The first blade 104 moves downward in the Z direction, that is, toward the second unit 200, and the second blade 204 moves upward in the Z direction, that is, toward the first unit 100. Finally, the first blade 104 and the second blade 204 move to a position where the blade body 141 and the blade body 241 overlap. The positions of the first blade 104 and the second blade 204 at this time are referred to as a blocking position. In the blocking position, the lower end edge of the blade body 141 is located below the upper end edge of the blade body 241. That is, when viewed in the Y direction (when viewed in the optical path L direction), the lower end portion of the blade body 141 and the upper end portion of the blade body 241 overlap each other. As a result, the optical path L is blocked by the first blade 104 and the second blade 204. Note that the lower end portion of the blade body 141 and the upper end portion of the blade body 241 have a gap in the Y direction and do not interfere with each other.

以上のように、シャッタ装置１０００は、第１ブレード１０４、及び第１ブレード１０４を駆動する第１アクチュエータ１０２，１０２を有する第１ユニット１００と、第２ブレード２０４、及び第２ブレード２０４を駆動する第２アクチュエータ２０２，２０２を有する第２ユニット２００とを備え、第１アクチュエータ１０２，１０２及び第２アクチュエータ２０２，２０２はそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム１２１，２２１と、湾曲しないか又は第１ビーム１２１，２２１よりも湾曲が小さい第２ビーム１２２，２２２とを含み、第１ユニット１００と第２ユニット２００とは、前記平面と交差する方向に並んで配置されており、第１ブレード１０４は、第１アクチュエータ１０２において、第１ビーム１２１が湾曲するときに第２ユニット２００の方へ移動するように第１ビーム１２１又は第２ビーム１２２に連結され、第２ブレード２０４は、第２アクチュエータ２０２において、第１ビーム２２１が湾曲するときに第１ユニット１００の方へ移動するように第１ビーム２２１又は第２ビーム２２２に連結され、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４は、第１アクチュエータ１０２，１０２及び第２アクチュエータ２０２，２０２が第１ビーム１２１，２２１を湾曲させないときには互いに離間して光路Ｌを開通させる開通位置に位置する一方、第１アクチュエータ１０２，１０２及び第２アクチュエータ２０２，２０２が第１ビーム１２１，２２１を湾曲させるときには互いに接近して光路Ｌを遮断する遮断位置へ移動する。   As described above, the shutter device 1000 drives the first blade 100 and the first unit 100 including the first actuators 102 and 102 that drive the first blade 104, the second blade 204, and the second blade 204. A second unit 200 having second actuators 202, 202, each of the first actuators 102, 102 and the second actuators 202, 202 having a plurality of beams connected so as to be folded in a predetermined plane, The plurality of beams include first beams 121 and 221 that are curved to one side with respect to the plane, and second beams 122 and 222 that are not curved or are less curved than the first beams 121 and 221. 1 unit 100 and 2nd unit 200 are arranged along with the direction which intersects the plane. The first blade 104 is connected to the first beam 121 or the second beam 122 in the first actuator 102 so as to move toward the second unit 200 when the first beam 121 is curved, and the second blade 204 is The second actuator 202 is connected to the first beam 221 or the second beam 222 so as to move toward the first unit 100 when the first beam 221 is curved, and the first blade 104 and the second blade 204 are connected to each other. When the first actuators 102 and 102 and the second actuators 202 and 202 do not curve the first beams 121 and 221, the first actuators 102 and 102 are positioned apart from each other to open the optical path L. Actuators 202 and 202 bend the first beams 121 and 221 Move to the blocking position for blocking the light path L close to each other when to.

この構成によれば、第１ブレード１０４と第２ブレード２０４とで光路Ｌを遮断するため、第１ブレード１０４を駆動する第１アクチュエータ１０２，１０２の駆動量及び第２ブレード２０４を駆動する第２アクチュエータ２０２，２０２の駆動量を、１つのブレードで光路Ｌを遮断する場合と比べてそれぞれ低減することができる。   According to this configuration, in order to block the optical path L between the first blade 104 and the second blade 204, the driving amount of the first actuators 102 and 102 that drive the first blade 104 and the second amount that drives the second blade 204. The driving amount of the actuators 202 and 202 can be reduced as compared with the case where the optical path L is blocked by one blade.

この場合、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近する方向、即ち、反対向きに移動させる必要がある。前記の構成とすることで、第１アクチュエータ１０２と第２アクチュエータ２０２とを概ね同様の構成としつつ、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに反対向きに移動させることができる。   In this case, it is necessary to move the first blade 104 and the second blade 204 toward each other, that is, in opposite directions. With this configuration, the first blade 104 and the second blade 204 can be moved in opposite directions while the first actuator 102 and the second actuator 202 have substantially the same configuration.

詳しくは、第１アクチュエータ１０２は、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム１２１と、湾曲しないか又は第１ビーム１２１よりも湾曲が小さい第２ビーム１２２とを含む。第２アクチュエータ２０２は、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム２２１と、湾曲しないか又は第１ビーム２２１よりも湾曲が小さい第２ビーム２２２とを含む。第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、これらの点で構成が共通する。   Specifically, the first actuator 102 has a plurality of beams coupled so as to be folded back within a predetermined plane, and the plurality of beams are curved with a first beam 121 that curves to one side with respect to the plane, Or a second beam 122 having a smaller curvature than the first beam 121. The second actuator 202 has a plurality of beams connected so as to be folded back within a predetermined plane, and the plurality of beams are not curved with a first beam 221 that curves to one side with respect to the plane. And a second beam 222 having a smaller curvature than the first beam 221. The first unit 100 and the second unit 200 have the same configuration in these respects.

第１ビーム１２１（２２１）と第２ビーム１２２（２２２）とが互いに折り返すように連結された構成においては、第１ビーム１２１（２２１）は湾曲する一方、第２ビーム１２２（２２２）は、湾曲しないか又は第１ビーム１２１（２２１）よりも湾曲が小さく、実質的に直線状に延びているので、第１ビーム１２１（２２１）及び第２ビーム１２２（２２２）それぞれの、連結部とは反対側の端部は、互いに離間した状態となる。   In the configuration in which the first beam 121 (221) and the second beam 122 (222) are connected so as to be folded back, the first beam 121 (221) is curved while the second beam 122 (222) is curved. Or has a smaller curvature than the first beam 121 (221) and extends substantially linearly, so that the first beam 121 (221) and the second beam 122 (222) are opposite to the connecting portions. The end portions on the side are separated from each other.

ここで、第１ビーム１２１を基準として、第１ビーム１２１から第２ビーム１２２が折り返している構成を見ると、第１ビーム１２１が所定の平面に対して一方の側へ湾曲すると、第１ビーム１２１と第２ビーム１２２との折り返し部分は、該平面よりも一方側に位置する。そして、第２ビーム１２２は、第１ビーム１２１から折り返し、第１ビーム１２１の折り返し部近傍の傾きと同じ傾きで実質的に直線状に延びている。そのため、第２ビーム１２２の先端部（連結部とは反対側の端部）は、該平面よりも他方側に位置する。つまり、第１ビーム１２１が湾曲することによって、第２ビーム１２２の先端部は、所定の平面よりも他方側に位置することになる。   Here, when the configuration in which the second beam 122 is folded back from the first beam 121 on the basis of the first beam 121 is viewed, the first beam 121 is bent to one side with respect to a predetermined plane. The folded portion of 121 and the second beam 122 is located on one side of the plane. The second beam 122 is folded back from the first beam 121 and extends substantially linearly with the same slope as that of the vicinity of the folded portion of the first beam 121. Therefore, the tip end portion (the end portion on the side opposite to the connecting portion) of the second beam 122 is located on the other side of the plane. That is, when the first beam 121 is curved, the tip of the second beam 122 is positioned on the other side of the predetermined plane.

一方、第２ビーム２２２を基準として、第２ビーム２２２から第１ビーム２２１が折り返している構成を見ると、第２ビーム２２２は、所定の平面内で実質的に直線状に延びている。そして、第２ビーム２２２から折り返す第１ビーム２２１が、該平面の一方側へ湾曲すると、第１ビーム２２１の先端部は、該平面よりも一方側に位置する。つまり、第１ビーム２２１が湾曲することによって、第１ビーム２２１の先端部は、所定の平面よりも一方側へ移動することになる。   On the other hand, when the configuration in which the first beam 221 is folded back from the second beam 222 with reference to the second beam 222, the second beam 222 extends substantially linearly within a predetermined plane. Then, when the first beam 221 turned back from the second beam 222 is curved to one side of the plane, the tip of the first beam 221 is positioned on one side of the plane. That is, when the first beam 221 is curved, the tip portion of the first beam 221 moves to one side of the predetermined plane.

このように、第１アクチュエータ１０２と第２アクチュエータ２０２を同様の構成とした場合であっても、第１ビーム１２１，２２１を湾曲させたときに、第１ビーム１２１，２２１と第２ビーム１２２，２２２とをそれぞれ、前記平面に対して反対側に移動させることができる。そこで、第１ユニット１００においては、第１ビーム１２１を湾曲させたときに第１ブレード１０４が第２ユニット２００の方へ移動するように第１ブレード１０４を第１ビーム１２１及び第２ビーム１２２に適宜、連結し、第２ユニット２００においては、第１ビーム２２１を湾曲させたときに第２ブレード２０４が第１ユニット１００の方へ移動するように第２ブレード２０４を第１ビーム２２１及び第２ビーム２２２に適宜、連結することによって、第１ブレード１０４と第２ブレード２０４とが互いに接近する方向に移動する構成を容易に実現することができる。   Thus, even when the first actuator 102 and the second actuator 202 have the same configuration, when the first beams 121 and 221 are curved, the first beams 121 and 221 and the second beams 122 and 222 can be moved to the opposite side with respect to the plane. Therefore, in the first unit 100, the first blade 104 is moved to the first beam 121 and the second beam 122 so that the first blade 104 moves toward the second unit 200 when the first beam 121 is bent. As appropriate, in the second unit 200, when the first beam 221 is curved, the second blade 204 is moved to the first unit 100 so that the second blade 204 moves toward the first unit 100. By appropriately connecting to the beam 222, a configuration in which the first blade 104 and the second blade 204 move in directions approaching each other can be easily realized.

具体的には、第１ブレード１０４は、第１アクチュエータ１０２，１０２において第２ビーム１２２，１２２に連結され、第２ブレード２０４は、第２アクチュエータ２０２，２０２において第１ビーム２２１，２２１に連結されている。   Specifically, the first blade 104 is connected to the second beams 122 and 122 in the first actuators 102 and 102, and the second blade 204 is connected to the first beams 221 and 221 in the second actuators 202 and 202. ing.

この構成によれば、第１アクチュエータ１０２においては、第１ビーム１２１から第２ビーム１２２が折り返し、第２ビーム１２２に第１ブレード１０４が連結されている。そのため、第１ブレード１０４は、第１ビーム１２１が湾曲することによって、所定の平面よりも他方側に位置することになる。   According to this configuration, in the first actuator 102, the second beam 122 is folded from the first beam 121, and the first blade 104 is connected to the second beam 122. Therefore, the first blade 104 is positioned on the other side of the predetermined plane when the first beam 121 is curved.

一方、第２アクチュエータ２０２においては、第２ビーム２２２から第１ビーム２２１が折り返し、第１ビーム２２１に第２ブレード２０４が連結されている。そのため、第２ブレード２０４は、第１ビーム２２１が湾曲することによって、所定の平面よりも一方側に位置することになる。   On the other hand, in the second actuator 202, the first beam 221 is turned back from the second beam 222, and the second blade 204 is connected to the first beam 221. Therefore, the second blade 204 is positioned on one side of the predetermined plane as the first beam 221 is curved.

こうして、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに反対向きに移動させることができる。この反対向きの移動が、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４が互いに接近する方向の移動となるように、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを配置することによって、第１ブレード１０４と第２ブレード２０４とが互いに接近する方向に移動する構成を容易に実現することができる。   Thus, the first blade 104 and the second blade 204 can be moved in directions opposite to each other. By arranging the first unit 100 and the second unit 200 so that the movement in the opposite direction is the movement in the direction in which the first blade 104 and the second blade 204 approach each other, A configuration in which the two blades 204 move in a direction approaching each other can be easily realized.

尚、第２ビーム１２２の先端から第１ビーム１２１と同様の構成のビームを折り返し、そのビームの先端に第１ブレード１０４を連結する構成であっても、該ビームの長さが短ければ、第１ビーム１２１が湾曲したときに第１ブレード１０４は所定の平面よりも他方側（第１ブレード１０４を第２ビーム１２２に直接連結する場合と同じ側）に移動する。このような場合、第２ビーム１２２の先端から折り返すビームは、第１ブレード１０４と第２ビーム１２２とを連結する連結部とみなすことができる。同様に、第１ビーム２２１の先端から第２ビーム２２２と同様の構成のビームを折り返し、そのビームの先端に第２ブレード２０４を連結する構成であっても、該ビームの長さが短ければ、第１ビーム２２１が湾曲したときに第２ブレード２０４は所定の平面よりも一方側（第２ブレード２０４を第１ビーム２２１に直接連結する場合と同じ側）に移動する。このような場合、第１ビーム２２１の先端から折り返すビームは、第２ブレード２０４と第１ビーム２２１とを連結する連結部とみなすことができる。つまり、ここで言う第１ビーム１２１、２２１は、第１ビーム１２１，２２１を湾曲させることによって第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４を所定の平面よりも一方側へ移動させることができるビームであり、ここで言う第２ビーム１２２、２２２は、第１ビーム１２１，２２１を湾曲させることによって第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４を所定の平面よりも他方側へ移動させることができるビームである。第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４が所定の平面に対して移動する側を切り替えることに寄与しないビームは、単に第１ブレード１０４又は第２ブレード２０４の連結部に過ぎない。   Even in the configuration in which the beam having the same configuration as the first beam 121 is folded from the tip of the second beam 122 and the first blade 104 is connected to the tip of the beam, if the length of the beam is short, the first beam When the first beam 121 is curved, the first blade 104 moves to the other side of the predetermined plane (the same side as when the first blade 104 is directly connected to the second beam 122). In such a case, the beam turned back from the tip of the second beam 122 can be regarded as a connecting portion that connects the first blade 104 and the second beam 122. Similarly, even when the beam having the same configuration as the second beam 222 is folded from the tip of the first beam 221 and the second blade 204 is connected to the tip of the beam, if the length of the beam is short, When the first beam 221 is curved, the second blade 204 moves to one side of the predetermined plane (the same side as when the second blade 204 is directly connected to the first beam 221). In such a case, the beam turned back from the tip of the first beam 221 can be regarded as a connecting portion that connects the second blade 204 and the first beam 221. That is, the first beams 121 and 221 referred to here are beams that can move the first blade 104 or the second blade 204 to one side of a predetermined plane by curving the first beams 121 and 221. Here, the second beams 122 and 222 are beams that can move the first blade 104 or the second blade 204 to the other side of the predetermined plane by curving the first beams 121 and 221. The beam that does not contribute to switching the side on which the first blade 104 or the second blade 204 moves with respect to a predetermined plane is merely a connection portion of the first blade 104 or the second blade 204.

また、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２のそれぞれにおいて、第１ビーム１２１，２２１と第２ビーム１２２，２２２とは、交互に連結されている。   Further, in each of the first actuator 102 and the second actuator 202, the first beams 121 and 221 and the second beams 122 and 222 are alternately connected.

すなわち、第１アクチュエータ１０２においては、第１ビーム１２１と第２ビーム１２２とが交互に連結され、第２アクチュエータ２０２においては、第１ビーム２２１と第２ビーム２２２とが交互に連結されている。   That is, in the first actuator 102, the first beam 121 and the second beam 122 are alternately connected, and in the second actuator 202, the first beam 221 and the second beam 222 are alternately connected.

例えば、第１ビーム１２１，１２１同士が折り返している場合、両者は平行な状態のまま湾曲するので、一方の第１ビーム１２１から折り返した第１ビーム１２１の先端部は、一方の第１ビーム１２１の基端部と同じ位置に戻ってくる。つまり、アクチュエータの中に種類が同じビームが折り返す構成が含まれていてもよいが、そのような構成は、ブレードの移動にはほとんど寄与しない。それに対し、第１ビーム１２１（２２１）と第２ビーム１２２（２２２）とを折り返すように連結すると、前述の如く、第１ビーム１２１（２２１）及び第２ビーム１２２（２２２）の折り返し部とは反対側の端部は、互いに離間するようになる。つまり、ブレードの移動という観点では、各ビームを有効に活用することができる。   For example, when the first beams 121 and 121 are folded back, they are curved in a parallel state, so that the tip of the first beam 121 folded from one of the first beams 121 is one of the first beams 121. It returns to the same position as the base end of. That is, the actuator may include a configuration in which the same type of beam is folded back, but such a configuration hardly contributes to the movement of the blade. On the other hand, when the first beam 121 (221) and the second beam 122 (222) are connected so as to be folded back, as described above, the folded portions of the first beam 121 (221) and the second beam 122 (222) are defined. The opposite ends are spaced apart from each other. That is, each beam can be used effectively from the viewpoint of blade movement.

さらに、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２のそれぞれは、偶数本のビームを含んでいる。   Further, each of the first actuator 102 and the second actuator 202 includes an even number of beams.

折り返すように連結された２本のビームは、前述の如く、初期反り及び温度変化による反りを互いにキャンセルすることができる。各アクチュエータに含まれるビームの本数が偶数であれば、ビームは２本で１組の対ができあがるので、初期反り及び温度変化による反りを低減することができる。   As described above, the two beams connected to be folded back can cancel each other from the initial warpage and the warpage due to the temperature change. If the number of beams included in each actuator is an even number, a pair of two beams can be formed, so that initial warpage and warpage due to temperature change can be reduced.

尚、各アクチュエータに含まれるビームが偶数本の場合、第１ブレード１０４を第１ビーム１２１及び第２ビーム１２２の一方に連結し、第２ブレード２０４を第１ビーム２２１及び第２ビーム２２２の他方に連結するためには、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２の一方においては、ブレードから数えて偶数番目のビームが第１ビームであり、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２の他方においては、ブレードから数えて奇数番目のビームが第１ビームとなる。   When the number of beams included in each actuator is an even number, the first blade 104 is connected to one of the first beam 121 and the second beam 122, and the second blade 204 is connected to the other of the first beam 221 and the second beam 222. In order to connect to the first actuator 102 and the second actuator 202, the even-numbered beam counted from the blade is the first beam, and the other of the first actuator 102 and the second actuator 202 is The odd-numbered beam counted from the blade becomes the first beam.

また、第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、互いに重ね合わせられている。ここで、重ね合わせられているとは、直接的に重ね合わせられていてもよいし、間接的に重ね合わせられていてもよい。   Further, the first unit 100 and the second unit 200 are overlapped with each other. Here, “superposed” may be directly superimposed or indirectly superimposed.

それに加えて、第１アクチュエータ１０２及び第２アクチュエータ２０２は、圧電効果により湾曲する圧電型アクチュエータであり、第１ユニット１００は、第１アクチュエータ１０２に印加する電圧が供給される第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２を有し、第２ユニット２００は、第２アクチュエータ２０２に印加する電圧が供給される第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２を有し、第１ユニット１００及び第２ユニット２００は、それぞれＳＯＩ基板Ｓから形成され、第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２は、第１ユニット１００のＳＯＩ基板Ｓの一の表面に設けられ、第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２は、第２ユニット２００のＳＯＩ基板Ｓのうち、前記第１ユニット１００の前記一の表面と同じ方向を向く表面に設けられている。   In addition, the first actuator 102 and the second actuator 202 are piezoelectric actuators that bend due to the piezoelectric effect, and the first unit 100 includes a first upper power supply terminal 111 to which a voltage to be applied to the first actuator 102 is supplied. The second unit 200 includes a second upper power supply terminal 211 and a second lower power supply terminal 212 to which a voltage to be applied to the second actuator 202 is supplied. The second unit 200 is formed of an SOI substrate S, and the first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 are provided on one surface of the SOI substrate S of the first unit 100, and the second upper power supply The terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 are the first unit of the SOI substrate S of the second unit 200. Provided on the surface facing the same direction as 100 the first surface of.

この構成によれば、第１ユニット１００の第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２と、第２ユニット２００の第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２が、それぞれのＳＯＩ基板Ｓにおいて同じ方向を向く面に設けられているので、配線の引き回しが容易になる。   According to this configuration, the first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 of the first unit 100 and the second upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 of the second unit 200 are respectively provided on the respective SOI substrates. Since it is provided on the surface facing the same direction in S, the wiring can be easily routed.

さらに、第１アクチュエータ１０２及び２アクチュエータ２０２は、ＳＯＩ基板Ｓ上に圧電素子１２４，２２４を積層させた圧電型アクチュエータであり、第１アクチュエータ１０２の圧電素子１２４は、第１ユニット１００のＳＯＩ基板Ｓにおいて第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられ、第２アクチュエータ２０２の圧電素子２２４は、第２ユニット２００のＳＯＩ基板Ｓにおいて第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられている。   Further, the first actuator 102 and the second actuator 202 are piezoelectric actuators in which the piezoelectric elements 124 and 224 are stacked on the SOI substrate S. The piezoelectric element 124 of the first actuator 102 is the SOI substrate S of the first unit 100. The piezoelectric element 224 of the second actuator 202 is provided on the second surface of the SOI substrate S of the second unit 200 on the surface facing the same direction as the surface on which the first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 are provided. The upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 are provided on the surface facing in the same direction as the surface provided.

この構成によれば、第１ユニット１００において、圧電素子１２４と第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く表面に設けられているので、圧電素子１２４と第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２の成膜を容易に行うことができる。つまり、スパッタリング等によって成膜を行う場合、ＳＯＩ基板Ｓの向き等を変える必要がないので、成膜工程を簡易にすることができる。尚、本実施形態では、圧電素子１２４と第１上部給電端子１１１及び第１下部給電端子１１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ表面に設けられている。   According to this configuration, in the first unit 100, the piezoelectric element 124, the first upper feeding terminal 111, and the first lower feeding terminal 112 are provided on the surface of the SOI substrate S that faces the same direction. The first upper power supply terminal 111 and the first lower power supply terminal 112 can be easily formed. In other words, when film formation is performed by sputtering or the like, it is not necessary to change the orientation of the SOI substrate S, so that the film formation process can be simplified. In the present embodiment, the piezoelectric element 124, the first upper power supply terminal 111, and the first lower power supply terminal 112 are provided on the same surface of the SOI substrate S.

同様に、第２ユニット２００において、圧電素子２２４と第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く表面に設けられているので、圧電素子２２４と第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２の成膜を容易に行うことができる。つまり、スパッタリング等によって成膜を行う場合、ＳＯＩ基板Ｓの向き等を変える必要がないので、成膜工程を簡易にすることができる。尚、本実施形態では、圧電素子２２４と第２上部給電端子２１１及び第２下部給電端子２１２とはＳＯＩ基板Ｓの同じ表面に設けられている。   Similarly, in the second unit 200, the piezoelectric element 224, the second upper power supply terminal 211, and the second lower power supply terminal 212 are provided on the surface of the SOI substrate S facing the same direction. The upper power supply terminal 211 and the second lower power supply terminal 212 can be easily formed. In other words, when film formation is performed by sputtering or the like, it is not necessary to change the orientation of the SOI substrate S, so that the film formation process can be simplified. In the present embodiment, the piezoelectric element 224, the second upper power supply terminal 211, and the second lower power supply terminal 212 are provided on the same surface of the SOI substrate S.

このように、各ユニットにおいて圧電素子と端子とをＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く面に設けると共に、第１ユニット１００と第２ユニット２００とを両方の端子が同じ方向を向くように重ね合わせる構成においては、第１ユニット１００において圧電素子１２４が設けられた面と、第２ユニット２００において圧電素子２２４が設けられた面とは、同じ方向を向くようになる。これにより、第１ユニット１００の第１ビーム１２１と、第２ユニット２００の第１ビーム２２１とは、同じ側に湾曲する。そのため、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４をそれぞれの第１ビーム１２１，２２１に連結すると、第１ビーム１２１，１２２を湾曲させても、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４は同じ側にしか移動しない。つまり、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近させて光路Ｌを遮断することができない。それに対し、前記の構成においては、第１ブレード１０４を第２ビーム１２２に連結し、第２ブレード２０４を第１ビーム２２１に連結することによって、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近する方向に移動させることができる。こうすることで、成膜及び配線の引き回しを容易にしつつ、第１ブレード１０４及び第２ブレード２０４を互いに接近する方向に移動させる構成を容易に実現することができる。   As described above, in each unit, the piezoelectric element and the terminal are provided on the surface of the SOI substrate S facing the same direction, and the first unit 100 and the second unit 200 are overlapped so that both terminals face the same direction. , The surface of the first unit 100 on which the piezoelectric element 124 is provided and the surface of the second unit 200 on which the piezoelectric element 224 is provided are oriented in the same direction. Thereby, the 1st beam 121 of the 1st unit 100 and the 1st beam 221 of the 2nd unit 200 curve to the same side. Therefore, if the first blade 104 and the second blade 204 are connected to the first beams 121 and 221, the first blade 104 and the second blade 204 are only on the same side even if the first beams 121 and 122 are curved. Do not move. That is, the optical path L cannot be blocked by bringing the first blade 104 and the second blade 204 closer to each other. On the other hand, in the above configuration, the first blade 104 and the second blade 204 are brought close to each other by connecting the first blade 104 to the second beam 122 and connecting the second blade 204 to the first beam 221. Can be moved in the direction. By doing so, it is possible to easily realize a configuration in which the first blade 104 and the second blade 204 are moved in a direction approaching each other while facilitating film formation and wiring routing.

尚、第１ブレード１０４を第１ビーム１２１に連結し、第２ブレード２０４を第２ビーム２２２に連結するようにしてもよい。その場合には、第１ユニット１００に対して、第１ビーム１２１が湾曲する側に第２ユニット２００が配置される。   The first blade 104 may be connected to the first beam 121, and the second blade 204 may be connected to the second beam 222. In that case, the second unit 200 is arranged on the side where the first beam 121 is curved with respect to the first unit 100.

また、第１ユニット１００は、第１ブレード１０４と、第１ブレード１０４を駆動する第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂとを備え、第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有すると共に、折り返す２本のビームを１単位として該折り返す２本のビームを複数単位含んでおり、複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム１２１と、湾曲しないか又は該第１ビーム１２１よりも湾曲が小さい第２ビーム１２２とを含み、第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂのうち折り返すように連結された複数のビームの先端部には、所定の回転軸１０３ａ回りに湾曲するヒンジ１０３を介して第１ブレード１０４が連結されており、一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａと他方のヒンジの回転軸１０３ａとは、一直線上に並ばないように配置されている。   The first unit 100 includes a first blade 104 and first actuators 102A and 102B that drive the first blade 104, and the first actuators 102A and 102B are connected so as to be folded back within a predetermined plane. The first beam 121 includes a plurality of beams and includes a plurality of the two folded beams with the folded two beams as a unit. The plurality of beams are curved to one side with respect to the plane. A second beam 122 that does not bend or has a smaller curvature than the first beam 121, and a plurality of first actuators 102A and 102B that are connected so as to be folded back have a predetermined rotation axis. A first blade 104 is connected via a hinge 103 that curves around 103 a, and the rotation axis 1 of one hinge 103 is connected. 3a and the other hinge of the rotary shaft 103a, is disposed so as not aligned in a straight line.

この構成によれば、２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂには、ヒンジ１０３，１０３を介して第１ブレード１０４が連結されており、２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂによって第１ブレード１０４が駆動される。アクチュエータ１０２は、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有しており、複数のビームのうちの第１ビーム１２１が湾曲することによって第１ブレード１０４が駆動される。このとき、第１ブレード１０４がビーム１２１，１２２に直接連結されている場合には、第１ブレード１０４は、ビームのうち該第１ブレード１０４が連結された部分と同様の傾動角で傾動する（すなわち、一体的に傾動する）。しかしながら、前記の構成では、ビーム１２１，１２２と第１ブレード１０４とがヒンジ１０３を介して連結され、ヒンジ１０３が回転軸１０３ａ回りに湾曲する。そのため、ビームの傾動の一部はヒンジ１０３ａの湾曲により吸収され、第１ブレード１０４は、ビームのうち第１ブレード１０４が連結された部分とは必ずしも同様には傾動しない。   According to this configuration, the first blade 104 is connected to the two first actuators 102A and 102B via the hinges 103 and 103, and the first blade 104 is driven by the two first actuators 102A and 102B. The The actuator 102 has a plurality of beams connected so as to be folded back within a predetermined plane, and the first blade 104 is driven by bending the first beam 121 of the plurality of beams. At this time, when the first blade 104 is directly coupled to the beams 121 and 122, the first blade 104 tilts at the same tilt angle as the portion of the beam to which the first blade 104 is coupled ( That is, it tilts integrally). However, in the above configuration, the beams 121 and 122 and the first blade 104 are connected via the hinge 103, and the hinge 103 is curved around the rotation shaft 103a. Therefore, part of the tilt of the beam is absorbed by the curvature of the hinge 103a, and the first blade 104 does not necessarily tilt in the same manner as the portion of the beam to which the first blade 104 is connected.

それに加え、第１アクチュエータ１０２Ａと第１ブレード１０４とを連結するヒンジ１０３の回転軸１０３ａと、第１アクチュエータ１０２Ｂと第１ブレード１０４とを連結するヒンジ１０３の回転軸１０３ａとが一直線上に並ばないように配置されている。そのため、第１ブレード１０４が一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りに回転しようとしても、他方のヒンジ１０３が第１ブレード１０４のうち一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ上にはない部分を支持しており、一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りの第１ブレード１０４の回転を規制する。同様に、第１ブレード１０４が他方のヒンジ１０３の回転軸１３０ａ回りに回転しようとする場合には、一方のヒンジ１０３が第１ブレード１０４の回転を規制する。こうして、第１ブレード１０４は、一方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りにも、他方のヒンジ１０３の回転軸１０３ａ回りにも回転し難くなる。これらの結果、第１ブレード１０４を２つの第１アクチュエータ１０２Ａ，１０２Ｂで駆動する際に平行移動させ易くなる（即ち、第１ブレード１０４の姿勢を維持したまま移動させ易くなる）。   In addition, the rotation shaft 103a of the hinge 103 that connects the first actuator 102A and the first blade 104 and the rotation shaft 103a of the hinge 103 that connects the first actuator 102B and the first blade 104 do not line up in a straight line. Are arranged as follows. Therefore, even if the first blade 104 tries to rotate around the rotation axis 103a of one hinge 103, the other hinge 103 supports a portion of the first blade 104 that is not on the rotation axis 103a of one hinge 103. And the rotation of the first blade 104 around the rotation shaft 103a of one hinge 103 is restricted. Similarly, when the first blade 104 tries to rotate around the rotation axis 130 a of the other hinge 103, the one hinge 103 regulates the rotation of the first blade 104. Thus, the first blade 104 is difficult to rotate both around the rotation axis 103 a of one hinge 103 and around the rotation axis 103 a of the other hinge 103. As a result, the first blade 104 can be easily translated when driven by the two first actuators 102A and 102B (that is, the first blade 104 can be easily moved while maintaining the posture of the first blade 104).

尚、第２ユニット２００、第１ユニット５００及び第２ユニット６００も同様の構成をしており、同様の作用効果を奏する。   In addition, the 2nd unit 200, the 1st unit 500, and the 2nd unit 600 are also the same structures, and there exists the same effect.

《発明の実施形態２》
続いて、実施形態２に係るシャッタ装置２０００について説明する。<< Embodiment 2 of the Invention >>
Next, the shutter device 2000 according to the second embodiment will be described.

シャッタ装置２０００は、第１ユニット５００と、第２ユニット６００と、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間に介設されたスペーサ７００，７００と、第２ユニット６００を支持するベース８００とを備えている。シャッタ装置２０００は、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間を通過する光路Ｌを遮断及び開通させる。シャッタ装置２０００は、第１ユニット５００及び第２ユニット６００のそれぞれにおいて、２つのアクチュエータが長方形のフレーム内で長手方向に並列されている点で、２つのアクチュエータが長方形のフレーム内で短手方向に並列されているシャッタ装置１０００と異なる。シャッタ装置２０００の各要素の基本的な構成は、シャッタ装置１０００と同様である。   The shutter device 2000 includes a first unit 500, a second unit 600, spacers 700 and 700 interposed between the first unit 500 and the second unit 600, and a base 800 that supports the second unit 600. It has. The shutter device 2000 blocks and opens the optical path L that passes between the first unit 500 and the second unit 600. In each of the first unit 500 and the second unit 600, the shutter device 2000 has two actuators arranged in parallel in the longitudinal direction in the rectangular frame, and the two actuators are arranged in the short direction in the rectangular frame. Different from the shutter devices 1000 arranged in parallel. The basic configuration of each element of the shutter device 2000 is the same as that of the shutter device 1000.

図８は、第１ユニット５００の平面図であり、図９は、第１ユニット５００を部分的に拡大した平面図であり、図１０は、図９のＸ−Ｘ線における第１ユニット５００及び第２ユニット６００の断面図である。図１１は、フレームを省略した第１ユニット５００の斜視図である。   8 is a plan view of the first unit 500, FIG. 9 is a partially enlarged plan view of the first unit 500, and FIG. 10 is a plan view of the first unit 500 taken along line XX in FIG. FIG. 6 is a sectional view of a second unit 600. FIG. 11 is a perspective view of the first unit 500 with the frame omitted.

第１ユニット５００は、ＳＯＩ基板Ｓを用いて製造されている。第１ユニット５００は、フレーム５０１と、フレーム５０１に連結された２つの第１アクチュエータ５０２，５０２と、２つの第１アクチュエータ５０２，５０２にそれぞれヒンジ５０３，５０３を介して連結された第１ブレード５０４とを有している。尚、２つの第１アクチュエータ５０２，５０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第１アクチュエータ５０２Ａ、第１アクチュエータ５０２Ｂと称する。図８，９において、第１アクチュエータ５０２Ａが右側に位置し、第１アクチュエータ５０２Ｂが左側に位置している。第１ユニット５００は、駆動装置の一例である。   The first unit 500 is manufactured using the SOI substrate S. The first unit 500 includes a frame 501, two first actuators 502 and 502 connected to the frame 501, and a first blade 504 connected to the two first actuators 502 and 502 via hinges 503 and 503, respectively. And have. When distinguishing between the two first actuators 502 and 502, the reference numerals are changed and they are referred to as a first actuator 502A and a first actuator 502B, respectively. 8 and 9, the first actuator 502A is located on the right side, and the first actuator 502B is located on the left side. The first unit 500 is an example of a driving device.

フレーム５０１は、概略長方形の枠状に形成されている。ただし、フレーム５０１は、完全に閉じた枠状ではなく、一部が切り欠かれて、開いた形状をしている。以下、説明の便宜上、フレーム５０１の長手方向をＸ方向、フレーム５０１の短手方向をＹ方向、フレーム５０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図８，９における左側を左側、図８，９における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図８、９における上側を前側、図８，９における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。   The frame 501 is formed in a substantially rectangular frame shape. However, the frame 501 is not a completely closed frame shape, but is partially cut out to have an open shape. Hereinafter, for convenience of explanation, the longitudinal direction of the frame 501 is referred to as the X direction, the short direction of the frame 501 is referred to as the Y direction, and the thickness direction of the frame 501 is referred to as the Z direction. In the X direction, the left side in FIGS. 8 and 9 may be referred to as the left side, and the right side in FIGS. In the Y direction, the upper side in FIGS. 8 and 9 may be referred to as the front side, and the lower side in FIGS. In the Z direction, the first silicon layer s1 side may be referred to as the upper side, and the second silicon layer s3 side may be referred to as the lower side.

２つの第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂは、フレーム５０１内において、Ｘ方向に並んで配置されている。各第１アクチュエータ５０２は、基端部がフレーム５０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第１ブレード５０４が連結されている。各第１アクチュエータ５０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面内で折り返すように連結された６本のビームを有している。６本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する３本の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅと、湾曲しないか又は該第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅよりも湾曲が小さい３本の第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆとを含んでいる。第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅと第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆとは、交互に連結されている。第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅ及び第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム５２１ａと第１ビーム５２１ｃと第１ビーム５２１ｅとを区別しないときには、単に第１ビーム５２１と称する。また、第２ビーム５２２ｂと第２ビーム５２２ｄと第２ビーム５２２ｆとを区別しないときには、単に第２ビーム５２２と称する。   The two first actuators 502A and 502B are arranged in the X direction in the frame 501. Each first actuator 502 has a cantilever structure in which a base end portion is connected to the frame 501 and a tip end portion is a free end. A first blade 504 is connected to a tip portion that is a free end. Each first actuator 502 has six beams connected so as to be folded back within the main surface of the SOI substrate S. The six beams are three first beams 521a, 521c, and 521e that are curved to one side with respect to the main surface, and three beams that are not curved or are less curved than the first beams 521a, 521c, and 521e. Second beams 522b, 522d, and 522f. The first beams 521a, 521c, 521e and the second beams 522b, 522d, 522f are alternately connected. The first beams 521a, 521c, 521e and the second beams 522b, 522d, 522f are arranged in parallel to each other. When the first beam 521a, the first beam 521c, and the first beam 521e are not distinguished, they are simply referred to as the first beam 521. When the second beam 522b, the second beam 522d, and the second beam 522f are not distinguished, they are simply referred to as the second beam 522.

詳しくは、第１アクチュエータ５０２Ａにおいて、第１ビーム５２１ａの基端部がフレーム５０１のＸ方向の右端部に固定され、第１ビーム５２１ａは、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム５２１ａの先端部には、第２ビーム５２２ｂが連結されている。第２ビーム５２２ｂは、第１ビーム５２１ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム５２２ｂの先端部には、第１ビーム５２１ｃが連結されている。第１ビーム５２１ｃは、第２ビーム５２２ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム５２１ｃの先端部には、第２ビーム５２２ｄが連結されている。第２ビーム５２２ｄは、第１ビーム５２１ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム５２２ｄの先端部には、第１ビーム５２１ｅが連結されている。第１ビーム５２１ｅは、第２ビーム５２２ｄから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム５２１ｅの先端部には、第２ビーム５２２ｆが連結されている。第２ビーム５２２ｆは、第１ビーム５２１ｅから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム５２２ｆの先端部には、ヒンジ５０３を介して第１ブレード５０４が連結されている。   Specifically, in the first actuator 502A, the base end portion of the first beam 521a is fixed to the right end portion of the frame 501 in the X direction, and the first beam 521a moves to the left side in the X direction and is approximately in the center of the frame 501 in the X direction. It extends to. A second beam 522b is connected to the tip of the first beam 521a. The second beam 522b is folded back from the first beam 521a and extends toward the right side in the X direction. The first beam 521c is connected to the tip of the second beam 522b. The first beam 521c is folded back from the second beam 522b and extends to the left side in the X direction to the approximate center of the frame 501 in the X direction. A second beam 522d is connected to the tip of the first beam 521c. The second beam 522d is folded from the first beam 521c and extends toward the right side in the X direction. The first beam 521e is connected to the tip of the second beam 522d. The first beam 521e is folded back from the second beam 522d and extends to the left side in the X direction to the approximate center of the frame 501 in the X direction. A second beam 522f is connected to the tip of the first beam 521e. The second beam 522f is folded back from the first beam 521e and extends toward the right side in the X direction. A first blade 504 is connected to the tip of the second beam 522f via a hinge 503.

一方、第１アクチュエータ５０２Ｂにおいて、第１ビーム５２１ａの基端部がフレーム５０１のＸ方向略中央部に固定され、第１ビーム５２１ａは、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム５２１ａの先端部には、第２ビーム５２２ｂが連結されている。第２ビーム５２２ｂは、第１ビーム５２１ａから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム５２２ｂの先端部には、第１ビーム５２１ｃが連結されている。第１ビーム５２１ｃは、第２ビーム５２２ｂから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム５２１ｃの先端部には、第２ビーム５２２ｄが連結されている。第２ビーム５２２ｄは、第１ビーム５２１ｃから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム５２２ｄの先端部には、第１ビーム５２１ｅが連結されている。第１ビーム５２１ｅは、第２ビーム５２２ｄから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム５２１ｅの先端部には、第２ビーム５２２ｆが連結されている。第２ビーム５２２ｆは、第１ビーム５２１ｅから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム５０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム５２２ｆの先端部には、ヒンジ５０３を介して第１ブレード５０４が連結されている。   On the other hand, in the first actuator 502B, the base end portion of the first beam 521a is fixed to the substantially central portion in the X direction of the frame 501, and the first beam 521a extends toward the left side in the X direction. A second beam 522b is connected to the tip of the first beam 521a. The second beam 522b is folded back from the first beam 521a and extends to the right side in the X direction to the approximate center of the frame 501 in the X direction. The first beam 521c is connected to the tip of the second beam 522b. The first beam 521c is folded from the second beam 522b and extends toward the left side in the X direction. A second beam 522d is connected to the tip of the first beam 521c. The second beam 522d is folded back from the first beam 521c and extends to the substantially center of the frame 501 in the X direction toward the right side in the X direction. The first beam 521e is connected to the tip of the second beam 522d. The first beam 521e is folded from the second beam 522d and extends toward the left side in the X direction. A second beam 522f is connected to the tip of the first beam 521e. The second beam 522f is folded back from the first beam 521e and extends to the right side in the X direction to the approximate center of the frame 501 in the X direction. A first blade 504 is connected to the tip of the second beam 522f via a hinge 503.

第１ビーム５２１は、シャッタ装置１０００の第１ビーム１２１と同様の構成をしている。すなわち、第１ビーム５２１は、ビーム本体５２３と、ＳｉＯ２膜５２８を介してビーム本体５２３の表面に積層された圧電素子５２４とを有している。The first beam 521 has the same configuration as the first beam 121 of the shutter device 1000. That is, the first beam 521 has a beam body 523 and a piezoelectric element 524 laminated on the surface of the beam body 523 via the SiO 2 film 528.

また、第２ビーム５２２は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２と同様の構成をしている。すなわち、第２ビーム５２２は、ビーム本体５２３と、ＳｉＯ２膜５２８を介してビーム本体５２３の表面に積層されたダミー膜５２９とを有している。尚、第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄのダミー膜５２９は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２ｂと同じタイプである。つまり、ダミー膜５２９の上部電極５２７は、ダミー上部電極５２７ａ，５２７ｃと、第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの上部電極５２７と導通する配線パターン５２７ｂとを有している。一方、第２ビーム５２２ｆのダミー膜５２９は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２ｄと同じタイプである。つまり、ダミー膜５２９の上部電極５２７は、圧電素子５２４の上部電極５２７と同様の構成をしている。Further, the second beam 522 has the same configuration as the second beam 122 of the shutter device 1000. That is, the second beam 522 has a beam body 523 and a dummy film 529 laminated on the surface of the beam body 523 via the SiO 2 film 528. The dummy film 529 of the second beams 522b and 522d is the same type as the second beam 122b of the shutter device 1000. That is, the upper electrode 527 of the dummy film 529 has dummy upper electrodes 527a and 527c and a wiring pattern 527b that is electrically connected to the upper electrode 527 of the first beams 521a, 521c, and 521e. On the other hand, the dummy film 529 of the second beam 522f is the same type as the second beam 122d of the shutter device 1000. That is, the upper electrode 527 of the dummy film 529 has the same configuration as the upper electrode 527 of the piezoelectric element 524.

第１ブレード５０４は、ブレード本体５４１と、ヒンジ５０３，５０３を介して第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂに連結される連結ビーム５４２，５４２とを有している。第１ブレード５０４は、移動体の一例である。   The first blade 504 includes a blade body 541 and connecting beams 542 and 542 connected to the first actuators 502A and 502B via hinges 503 and 503, respectively. The first blade 504 is an example of a moving body.

ブレード本体５４１は、フレーム５０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体５４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜５４３が成膜されている。   The blade main body 541 is arranged at the approximate center in the X direction in the frame 501 so that the thickness direction thereof coincides with the Y direction. An Au film 543 is formed on one surface of the blade body 541 (a surface facing the front side in the Y direction and facing the incident side of the optical path).

連結ビーム５４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム５４２，５４２は、ブレード本体５４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。ここで、第１アクチュエータ５０２Ａの第２ビーム５２２ｆの先端部は、Ｘ方向の右端部に位置するのに対し、第２アクチュエータ５０２Ｂの第２ビーム５２２ｆの先端部は、Ｘ方向略中央部に位置する。そのため、第１アクチュエータ５０２Ａの第２ビーム５２２ｆに連結される連結ビーム５４２は長く、第１アクチュエータ５０２Ｂの第２ビーム５２２ｆに連結される連結ビーム５４２は短くなっている。   The connecting beam 542 is formed in a rod shape extending in the X direction. The coupling beams 542 and 542 extend in the X direction from both ends of one end edge of the blade body 541 in the Z direction. Here, the tip of the second beam 522f of the first actuator 502A is located at the right end in the X direction, while the tip of the second beam 522f of the second actuator 502B is located at a substantially central part in the X direction. To do. Therefore, the connection beam 542 connected to the second beam 522f of the first actuator 502A is long, and the connection beam 542 connected to the second beam 522f of the first actuator 502B is short.

ヒンジ５０３は、シャッタ装置１０００のヒンジ１０３と同様の構成をしている。ヒンジ５０３は、直線部に沿ってＹ方向に延びる回転軸５０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ５０３は、連結部の一例である。   The hinge 503 has the same configuration as the hinge 103 of the shutter device 1000. The hinge 503 is easily bent around the rotation axis 503a extending in the Y direction along the straight line portion. The hinge 503 is an example of a connecting portion.

フレーム５０１には、第１アクチュエータ５０２の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの上部電極５２７に電気的に接続された第１上部給電端子５１１と、第１アクチュエータ５０２の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの下部電極５２５に電気的に接続された第１下部給電端子５１２と、配線を介して第１上部給電端子５１１と電気的に接続された上部接続端子５１３と、配線を介して第１下部給電端子５１２と電気的に接続された下部接続端子５１４とが設けられている。第１上部給電端子５１１からは、第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂの第１ビーム５２１ａ，５２１ａまで配線が延びている。フレーム５０１のＳｉＯ２膜５２８上には、部分的に、下部電極５２５及び圧電体層５２６が積層され、圧電体層５２６上に第１上部給電端子５１１、第１下部給電端子５１２、上部接続端子５１３、下部接続端子５１４及び配線が設けられている。ただし、下部接続端子５１４が設けられている圧電体層５２６には、下部電極５２５に達する開口（図８において破線で図示）が形成されている。下部接続端子５１４は、この開口を覆うように設けられており、下部電極５２５と電気的に接続されている。これら第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２は、第１端子の一例である。The frame 501 includes a first upper feeding terminal 511 electrically connected to the upper electrode 527 of the first beams 521a, 521c, and 521e of the first actuator 502, and the first beams 521a, 521c, and 521e of the first actuator 502. A first lower power supply terminal 512 electrically connected to the lower electrode 525, an upper connection terminal 513 electrically connected to the first upper power supply terminal 511 through a wiring, and a first lower power supply through the wiring. A lower connection terminal 514 that is electrically connected to the terminal 512 is provided. Wiring extends from the first upper power supply terminal 511 to the first beams 521a and 521a of the first actuators 502A and 502B. A lower electrode 525 and a piezoelectric layer 526 are partially stacked on the SiO 2 film 528 of the frame 501, and a first upper power supply terminal 511, a first lower power supply terminal 512, and an upper connection terminal are stacked on the piezoelectric layer 526. 513, a lower connection terminal 514, and wiring are provided. However, an opening (illustrated by a broken line in FIG. 8) reaching the lower electrode 525 is formed in the piezoelectric layer 526 provided with the lower connection terminal 514. The lower connection terminal 514 is provided so as to cover this opening, and is electrically connected to the lower electrode 525. The first upper power supply terminal 511 and the first lower power supply terminal 512 are examples of the first terminal.

続いて、このように構成された第１ユニット５００の動作について説明する。図１４に、第１ビームを湾曲させたときの第１ユニットの斜視図を示す。   Next, the operation of the first unit 500 configured as described above will be described. FIG. 14 is a perspective view of the first unit when the first beam is bent.

第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２に電圧を印加すると、各第１アクチュエータ５０２の第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅの圧電素子５２４，５２４，５２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅは、圧電素子５２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、フレーム５０１から第１ビーム５２１ａが上側へ反り上がるように延び、第１ビーム５２１ａの先端部から第２ビーム５２２ｂが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム５２２ｂの先端部から第１ビーム５２１ｃが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム５２１ｃの先端部から第２ビーム５２２ｄが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム５２２ｄの先端部から第１ビーム５２１ｅが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム５２１ｅの先端部から第２ビーム５２２ｆが折り返して、略直線状に延びた状態となる。   When a voltage is applied to the first upper power supply terminal 511 and the first lower power supply terminal 512, a voltage is applied to the piezoelectric elements 524, 524, 524 of the first beams 521a, 521c, 521e of the first actuators 502. As a result, the first beams 521a, 521c, and 521e are curved upward with respect to the surface of the SOI substrate S with the piezoelectric element 524 inside. On the other hand, the second beams 522b, 522d, and 522f are not substantially curved and remain in a substantially linear state. That is, the first beam 521a extends from the frame 501 so as to warp upward, the second beam 522b is folded from the front end portion of the first beam 521a, extends substantially linearly, and extends from the front end portion of the second beam 522b. The beam 521c is folded back and extends upward, the second beam 522d is folded from the tip of the first beam 521c, extends substantially linearly, and the first beam 521e is folded from the tip of the second beam 522d. Thus, the second beam 522f is folded back from the distal end portion of the first beam 521e and is extended in a substantially linear shape.

さらに詳しくは、第１ビーム５２１ａの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム５２１ａの先端部から折り返す第２ビーム５２２ｂは、第１ビーム５２１ａの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム５２２ｂは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム５２２ｂの先端部は、第１ビーム５２１ａの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム５２１ｃの基端部は、第２ビーム５２２ｂと同じ傾きで、第２ビーム５２２ｂの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム５２１ｃの曲率は、第１ビーム５２１ａの曲率と略同じであるが、第１ビーム５２１ａの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム５２１ｃの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム５２１ｃの先端部は、第１ビーム５２１ａの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム５２１ｃの先端部は、第１ビーム５２１ａの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム５２２ｄは、第１ビーム５２１ｃの先端部と同じ傾きで第１ビーム５２１ｃの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム５２２ｄは、第２ビーム５２２ｂよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム５２２ｄの先端部は、第２ビーム５２２ｂの先端部よりも下方に位置する。第１ビーム５２１ｅの基端部は、第２ビーム５２２ｄと同じ傾きで、第２ビーム５２２ｄの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム５２１ｅの曲率は、第１ビーム５２１ｃの曲率と略同じであるが、第１ビーム５２１ｅの基端部は、第１ビーム５２１ｃの基端部よりも傾斜がきついので、第１ビーム５２１ｅの先端部は、第１ビーム５２１ｃの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム５２１ｅの先端部は、第１ビーム５２１ｃの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム５２２ｆは、第１ビーム５２１ｅの先端部と同じ傾きで第１ビーム５２１ｅの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム５２２ｆは、第２ビーム５２２ｄよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム５２２ｆの先端部は、第２ビーム５２２ｄの先端部よりも下方に位置する。   More specifically, the tip of the first beam 521a is inclined obliquely upward. The second beam 522b turned back from the tip of the first beam 521a has the same inclination as the tip of the first beam 521a. That is, the second beam 522b extends substantially linearly downward, and the distal end portion of the second beam 522b is lower than the base end portion of the first beam 521a, that is, more than the surface of the SOI substrate S. Located below. The proximal end portion of the first beam 521c is folded back from the distal end portion of the second beam 522b with the same inclination as the second beam 522b. Here, the curvature of the first beam 521c is substantially the same as the curvature of the first beam 521a, but the base end of the first beam 521a is substantially parallel to the surface of the SOI substrate S, whereas Since the proximal end portion of the beam 521c is inclined obliquely upward toward the distal end side, the distal end portion of the first beam 521c floats further upward than the distal end portion of the first beam 521a. Further, the tip end portion of the first beam 521c is inclined further obliquely upward than the tip end portion of the first beam 521a (that is, the tilt angle with respect to the surface of the SOI substrate S is increased). Then, the second beam 522d is folded back from the tip of the first beam 521c with the same inclination as the tip of the first beam 521c. As a result, the second beam 522d extends obliquely downward with a larger inclination angle than the second beam 522b, and the tip of the second beam 522d is positioned below the tip of the second beam 522b. The proximal end portion of the first beam 521e is folded back from the distal end portion of the second beam 522d with the same inclination as the second beam 522d. Here, the curvature of the first beam 521e is substantially the same as the curvature of the first beam 521c, but the base end of the first beam 521e is more inclined than the base end of the first beam 521c. The tip of one beam 521e floats further upward than the tip of the first beam 521c. Further, the tip end portion of the first beam 521e is inclined further obliquely upward than the tip end portion of the first beam 521c (that is, the tilt angle with respect to the surface of the SOI substrate S is increased). Then, the second beam 522f is folded back from the distal end portion of the first beam 521e with the same inclination as the distal end portion of the first beam 521e. As a result, the second beam 522f extends obliquely downward with a larger inclination angle than the second beam 522d, and the tip of the second beam 522f is positioned below the tip of the second beam 522d.

ここで、第１アクチュエータ５０２Ａと第１アクチュエータ５０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第１アクチュエータ５０２Ａの第２ビーム５２２ｆの先端部と、第１アクチュエータ５０２Ｂの第２ビーム５２２ｆの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ下降した位置に位置している。その結果、第１ブレード５０４は、連結ビーム５４２，５４２が略同じ量だけ下降するので、ブレード本体５４１が下方へ平行移動する。   Here, since the same voltage is applied to the first actuator 502A and the first actuator 502B, the tip of the second beam 522f of the first actuator 502A and the tip of the second beam 522f of the first actuator 502B Is located at a position lowered from the surface of the SOI substrate S by substantially the same amount. As a result, since the connecting beams 542 and 542 of the first blade 504 are lowered by substantially the same amount, the blade body 541 is translated downward.

続いて、第２ユニット６００について説明する。第２ユニット６００の基本的な構成は、第１ユニット５００と同様である。第１ユニット５００の要素には、５００番台の符号を付しているのに対し、第２ユニット６００の要素には、６００番台の符号を付している。第１ユニット５００の要素と第２ユニット６００の要素とで、十の位以下の符号が同じ要素は同様の機能を有する。以下では、第２ユニット６００のうち、第１ユニット５００と異なる部分を中心に説明する。図１２に、第２ユニット６００の平面図を示し、図１３に、第２ユニット６００を部分的に拡大した平面図を示す。   Next, the second unit 600 will be described. The basic configuration of the second unit 600 is the same as that of the first unit 500. Elements of the first unit 500 are numbered in the 500s, whereas elements of the second unit 600 are numbered in the 600s. Elements of the first unit 500 and elements of the second unit 600 that have the same reference numerals at the tens place have the same function. In the following, the second unit 600 will be described focusing on the parts different from the first unit 500. FIG. 12 shows a plan view of the second unit 600, and FIG. 13 shows a plan view in which the second unit 600 is partially enlarged.

第２ユニット６００は、ＳＯＩ基板Ｓを用いて製造されている。第２ユニット６００は、フレーム６０１と、フレーム６０１に連結された２つの第２アクチュエータ６０２，６０２と、２つの第２アクチュエータ６０２，６０２にそれぞれヒンジ６０３，６０３を介して連結された第２ブレード６０４とを有している。尚、２つの第２アクチュエータ６０２，６０２を区別するときには、符号を変えて、それぞれ第２アクチュエータ６０２Ａ、第２アクチュエータ６０２Ｂと称する。図１２，１３において、第２アクチュエータ６０２Ａが右側に位置し、第２アクチュエータ６０２Ｂが左側に位置している。第２ユニット６００は、駆動装置の一例である。   The second unit 600 is manufactured using the SOI substrate S. The second unit 600 includes a frame 601, two second actuators 602 and 602 connected to the frame 601, and a second blade 604 connected to the two second actuators 602 and 602 via hinges 603 and 603, respectively. And have. Note that when distinguishing between the two second actuators 602 and 602, the symbols are changed to be referred to as a second actuator 602A and a second actuator 602B, respectively. 12 and 13, the second actuator 602A is located on the right side, and the second actuator 602B is located on the left side. The second unit 600 is an example of a driving device.

フレーム６０１は、概略長方形の枠状に形成されている。フレーム６０１は、フレーム５０１とは異なり、完全に閉じた枠状に形成されている。以下、説明の便宜上、フレーム６０１の長手方向をＸ方向、フレーム６０１の短手方向をＹ方向、フレーム６０１の厚み方向をＺ方向と称する。尚、Ｘ方向において、図１２，１３における左側を左側、図１２，１３における右側を右側と称することもある。Ｙ方向において、図１２，１３における上側を前側、図１２，１３における下側を後側と称することもある。Ｚ方向において、第１シリコン層ｓ１側を上側、第２シリコン層ｓ３側を下側と称することもある。   The frame 601 is formed in a substantially rectangular frame shape. Unlike the frame 501, the frame 601 is formed in a completely closed frame shape. Hereinafter, for convenience of explanation, the longitudinal direction of the frame 601 is referred to as the X direction, the lateral direction of the frame 601 is referred to as the Y direction, and the thickness direction of the frame 601 is referred to as the Z direction. In the X direction, the left side in FIGS. 12 and 13 may be referred to as the left side, and the right side in FIGS. In the Y direction, the upper side in FIGS. 12 and 13 may be referred to as the front side, and the lower side in FIGS. In the Z direction, the first silicon layer s1 side may be referred to as the upper side, and the second silicon layer s3 side may be referred to as the lower side.

２つの第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂは、フレーム６０１内において、Ｘ方向に並んで配置されている。各第２アクチュエータ６０２は、基端部がフレーム６０１に連結され、先端部が自由端となるカンチレバー構造をしている。自由端となる先端部に、第２ブレード６０４が連結されている。各第２アクチュエータ６０２は、ＳＯＩ基板Ｓの主面内で折り返すように連結された６本のビームを有している。６本のビームは、主面に対して一方の側へ湾曲する３本の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆと、湾曲しないか又は該第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆよりも湾曲が小さい３本の第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅとを含んでいる。第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆと第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅとは、交互に連結されている。第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆ及び第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅは、互いに平行に配列されている。尚、第１ビーム６２１ｂと第１ビーム６２１ｄと第１ビーム６２１ｆとを区別しないときには、単に第１ビーム６２１と称する。また、第２ビーム６２２ａと第２ビーム６２２ｃ第２ビーム６２２ｅとを区別しないときには、単に第２ビーム６２２と称する。   The two second actuators 602A and 602B are arranged side by side in the X direction in the frame 601. Each second actuator 602 has a cantilever structure in which a base end portion is connected to the frame 601 and a tip end portion is a free end. A second blade 604 is connected to a tip portion that is a free end. Each second actuator 602 has six beams connected so as to be folded back within the main surface of the SOI substrate S. The six beams are three first beams 621b, 621d, and 621f that are curved to one side with respect to the main surface, and three beams that are not curved or are less curved than the first beams 621b, 621d, and 621f. Second beams 622a, 622c, and 622e. The first beams 621b, 621d, and 621f and the second beams 622a, 622c, and 622e are alternately connected. The first beams 621b, 621d, 621f and the second beams 622a, 622c, 622e are arranged in parallel to each other. When the first beam 621b, the first beam 621d, and the first beam 621f are not distinguished, they are simply referred to as the first beam 621. Further, when the second beam 622a and the second beam 622c and the second beam 622e are not distinguished, they are simply referred to as the second beam 622.

詳しくは、第２アクチュエータ６０２Ａにおいて、第２ビーム６２２ａの基端部がフレーム６０１のＸ方向の略中央に固定され、第２ビーム６２２ａは、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム６２２ａの先端部には、第１ビーム６２１ｂが連結されている。第１ビーム６２１ｂは、第２ビーム６２２ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム６２１ｂの先端部には、第２ビーム６２２ｃが連結されている。第２ビーム６２２ｃは、第１ビーム６２１ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム６２２ｃの先端部には、第１ビーム６２１ｄが連結されている。第１ビーム６２１ｄは、第２ビーム６２２ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム６２１ｄの先端部には、第２ビーム６２２ｅが連結されている。第２ビーム６２２ｅは、第１ビーム６２１ｄから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かって延びている。第２ビーム６２２ｅの先端部には、第１ビーム６２１ｆが連結されている。第１ビーム６２１ｆは、第２ビーム６２２ｅから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第１ビーム６２１ｆの先端部には、ヒンジ６０３を介して第２ブレード６０４が連結されている。   Specifically, in the second actuator 602A, the base end portion of the second beam 622a is fixed to the approximate center of the frame 601 in the X direction, and the second beam 622a extends toward the right side in the X direction. The first beam 621b is connected to the tip of the second beam 622a. The first beam 621b is folded back from the second beam 622a and extends to the left side in the X direction to the approximate center of the frame 601 in the X direction. A second beam 622c is connected to the tip of the first beam 621b. The second beam 622c is folded back from the first beam 621b and extends toward the right side in the X direction. The first beam 621d is connected to the tip of the second beam 622c. The first beam 621d is folded back from the second beam 622c and extends to the left side in the X direction to the approximate center of the frame 601 in the X direction. A second beam 622e is connected to the tip of the first beam 621d. The second beam 622e is folded back from the first beam 621d and extends toward the right side in the X direction. The first beam 621f is connected to the tip of the second beam 622e. The first beam 621f is folded back from the second beam 622e and extends to the left side in the X direction to the approximate center of the frame 601 in the X direction. A second blade 604 is connected to the tip of the first beam 621f via a hinge 603.

一方、第２アクチュエータ６０２Ｂにおいて、第２ビーム６２２ａの基端部がフレーム６０１のＸ方向の左端部に固定され、第２ビーム６２２ａは、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム６２２ａの先端部には、第１ビーム６２１ｂが連結されている。第１ビーム６２１ｂは、第２ビーム６２２ａから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム６２１ｂの先端部には、第２ビーム６２２ｃが連結されている。第２ビーム６２２ｃは、第１ビーム６２１ｂから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム６２２ｃの先端部には、第１ビーム６２１ｄが連結されている。第１ビーム６２１ｄは、第２ビーム６２２ｃから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム６２１ｄの先端部には、第２ビーム６２２ｅが連結されている。第２ビーム６２２ｅは、第１ビーム６２１ｄから折り返して、Ｘ方向の右側へ向かってフレーム６０１のＸ方向略中央まで延びている。第２ビーム６２２ｅの先端部には、第１ビーム６２１ｆが連結されている。第１ビーム６２１ｆは、第２ビーム６２２ｅから折り返して、Ｘ方向の左側へ向かって延びている。第１ビーム６２１ｆの先端部には、ヒンジ６０３を介して第２ブレード６０４が連結されている。   On the other hand, in the second actuator 602B, the base end portion of the second beam 622a is fixed to the left end portion of the frame 601 in the X direction, and the second beam 622a moves to the right side in the X direction to the approximate center of the frame 601 in the X direction. It extends. The first beam 621b is connected to the tip of the second beam 622a. The first beam 621b is folded from the second beam 622a and extends toward the left side in the X direction. A second beam 622c is connected to the tip of the first beam 621b. The second beam 622c is folded back from the first beam 621b and extends to the right side in the X direction to the approximate center of the frame 601 in the X direction. The first beam 621d is connected to the tip of the second beam 622c. The first beam 621d is folded from the second beam 622c and extends toward the left side in the X direction. A second beam 622e is connected to the tip of the first beam 621d. The second beam 622e is folded back from the first beam 621d and extends to the right side in the X direction to the approximate center of the frame 601 in the X direction. The first beam 621f is connected to the tip of the second beam 622e. The first beam 621f is folded back from the second beam 622e and extends toward the left side in the X direction. A second blade 604 is connected to the tip of the first beam 621f via a hinge 603.

第１ビーム６２１は、シャッタ装置１０００の第１ビーム１２１と同様の構成をしている。すなわち、第１ビーム６２１は、ビーム本体６２３と、ＳｉＯ２膜６２８を介してビーム本体６２３の表面に積層された圧電素子６２４とを有している。The first beam 621 has the same configuration as the first beam 121 of the shutter device 1000. That is, the first beam 621 includes a beam main body 623 and a piezoelectric element 624 stacked on the surface of the beam main body 623 via the SiO 2 film 628.

また、第２ビーム６２２は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２と同様の構成をしている。すなわち、第２ビーム６２２は、ビーム本体６２３と、ＳｉＯ２膜６２８を介してビーム本体６２３の表面に積層されたダミー膜６２９とを有している。ダミー膜６２９は、シャッタ装置１０００の第２ビーム１２２ｂと同じタイプである。つまり、ダミー膜６２９の上部電極６２７は、ダミー上部電極６２７ａ，６２７ｃと、第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの上部電極６２７と導通する配線パターン６２７ｂとを有している。The second beam 622 has the same configuration as the second beam 122 of the shutter device 1000. In other words, the second beam 622 includes a beam body 623 and a dummy film 629 stacked on the surface of the beam body 623 via the SiO 2 film 628. The dummy film 629 is the same type as the second beam 122b of the shutter device 1000. That is, the upper electrode 627 of the dummy film 629 includes dummy upper electrodes 627a and 627c and a wiring pattern 627b that is electrically connected to the upper electrode 627 of the first beams 621b, 621d, and 621f.

第２ブレード６０４は、ブレード本体６４１と、ヒンジ６０３，６０３を介して第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂに連結される連結ビーム６４２，６４２とを有している。第２ブレード６０４は、移動体の一例である。   The second blade 604 has a blade body 641 and connecting beams 642 and 642 connected to the second actuators 602A and 602B via hinges 603 and 603, respectively. The second blade 604 is an example of a moving body.

ブレード本体６４１は、フレーム６０１内のＸ方向略中央において、その厚み方向がＹ方向に一致するように配置されている。ブレード本体６４１の一方の表面（Ｙ方向前側を向く面であり、光路の入射側を向く面）には、Ａｕ膜６４３が成膜されている。   The blade body 641 is arranged at the approximate center in the X direction in the frame 601 so that the thickness direction thereof coincides with the Y direction. An Au film 643 is formed on one surface of the blade body 641 (a surface facing the front side in the Y direction and facing the incident side of the optical path).

連結ビーム６４２は、Ｘ方向に延びる棒状に形成されている。連結ビーム６４２，６４２は、ブレード本体６４１のＺ方向の一方の端縁の両端部からＸ方向に延びている。ここで、第２アクチュエータ６０２Ａの第１ビーム６２１ｆの先端部は、Ｘ方向略中央部に位置するのに対し、第２アクチュエータ６０２Ｂの第１ビーム６２１ｆの先端部は、Ｘ方向の左端部に位置する。そのため、第２アクチュエータ６０２Ａの第１ビーム６２１ｆに連結される連結ビーム６４２は短く、第２アクチュエータ６０２Ｂの第１ビーム６２１ｆに連結される連結ビーム６４２は長くなっている。   The connecting beam 642 is formed in a rod shape extending in the X direction. The connecting beams 642 and 642 extend in the X direction from both ends of one end edge in the Z direction of the blade body 641. Here, the tip of the first beam 621f of the second actuator 602A is located at the substantially central portion in the X direction, while the tip of the first beam 621f of the second actuator 602B is located at the left end in the X direction. To do. Therefore, the connection beam 642 connected to the first beam 621f of the second actuator 602A is short, and the connection beam 642 connected to the first beam 621f of the second actuator 602B is long.

ヒンジ６０３は、シャッタ装置１０００のヒンジ１０３と同様の構成をしている。ヒンジ６０３は、直線部に沿ってＹ方向に延びる回転軸６０３ａ回りに湾曲しやすくなっている。ヒンジ６０３は、連結部の一例である。   The hinge 603 has the same configuration as the hinge 103 of the shutter device 1000. The hinge 603 is easily bent around the rotation axis 603a extending in the Y direction along the straight line portion. The hinge 603 is an example of a connecting part.

フレーム６０１には、第２アクチュエータ６０２の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの上部電極６２７に電気的に接続された第２上部給電端子６１１と、第２アクチュエータ６０２の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの下部電極６２５に電気的に接続された第２下部給電端子６１２とが設けられている。第２上部給電端子６１１からは、第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂの第２ビーム６２２ａ，６２２ａの配線パターン６２７ｂ，６２７ｂまで配線が延びている。フレーム６０１のＳｉＯ２膜６２８上には、部分的に、下部電極６２５及び圧電体層６２６が積層され、圧電体層６２６上に第２上部給電端子６１１、第２下部給電端子６１２及び配線が設けられている。ただし、第２下部給電端子６１２が設けられている圧電体層６２６には、下部電極６２５に達する開口（図１２において破線で図示）が形成されている。第２下部給電端子６１２は、この開口を覆うように設けられており、下部電極６２５と電気的に接続されている。これら第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２は、第２端子の一例である。The frame 601 includes a second upper feed terminal 611 electrically connected to the upper electrode 627 of the first beams 621b, 621d, and 621f of the second actuator 602, and the first beams 621b, 621d, and 621f of the second actuator 602. A second lower power supply terminal 612 electrically connected to the lower electrode 625 is provided. The wiring extends from the second upper power supply terminal 611 to the wiring patterns 627b and 627b of the second beams 622a and 622a of the second actuators 602A and 602B. A lower electrode 625 and a piezoelectric layer 626 are partially stacked on the SiO 2 film 628 of the frame 601, and a second upper power supply terminal 611, a second lower power supply terminal 612, and wiring are provided on the piezoelectric layer 626. It has been. However, the piezoelectric layer 626 provided with the second lower power supply terminal 612 has an opening (illustrated by a broken line in FIG. 12) reaching the lower electrode 625. The second lower power supply terminal 612 is provided so as to cover this opening, and is electrically connected to the lower electrode 625. The second upper power supply terminal 611 and the second lower power supply terminal 612 are examples of the second terminal.

続いて、このように構成された第２ユニット６００の動作について説明する。   Next, the operation of the second unit 600 configured as described above will be described.

第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２に電圧を印加すると、各第２アクチュエータ６０２の第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆの圧電素子６２４，６２４，６２４に電圧が印加される。これにより、第１ビーム６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆは、圧電素子６２４を内側にして、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対して上側に湾曲する。一方、第２ビーム６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅは、実質的に湾曲せず、略直線状に延びた状態のままである。つまり、フレーム６０１から第２ビーム６２２ａがＳＯＩ基板Ｓの表面と平行に略直線状に延び、第１ビーム６２１ｂが第２ビーム６２２ａの先端部からが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム６２１ｂの先端部から第２ビーム６２２ｃが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム６２２ｃの先端部から第１ビーム６２１ｄが折り返して、上側へ反り上がるように延び、第１ビーム６２１ｄの先端部から第２ビーム６２２ｅが折り返して、略直線状に延び、第２ビーム６２２ｅの先端部から第１ビーム６２１ｆが折り返して、上側へ反り上がるように延びた状態となる。   When a voltage is applied to the second upper power supply terminal 611 and the second lower power supply terminal 612, a voltage is applied to the piezoelectric elements 624, 624, and 624 of the first beams 621b, 621d, and 621f of the second actuators 602. Thereby, the first beams 621b, 621d, and 621f are curved upward with respect to the surface of the SOI substrate S with the piezoelectric element 624 inside. On the other hand, the second beams 622a, 622c, and 622e are not substantially curved and remain in a substantially linear state. That is, the second beam 622a extends from the frame 601 in a substantially straight line parallel to the surface of the SOI substrate S, the first beam 621b extends from the front end portion of the second beam 622a so as to warp upward, The second beam 622c is folded from the tip of the first beam 621b and extends substantially linearly, and the first beam 621d is folded from the tip of the second beam 622c so as to warp upward, and the first beam 621d The second beam 622e is folded from the distal end and extends substantially linearly, and the first beam 621f is folded from the distal end of the second beam 622e and extends so as to warp upward.

さらに詳しくは、第１ビーム６２１ｂの先端部は、斜め上方へ向かって傾斜している。第１ビーム６２１ｂの先端部から折り返す第２ビーム６２２ｃは、第１ビーム６２１ｂの先端部と同じ傾きとなっている。つまり、第２ビーム６２２ｃは、斜め下方へ向かって、略直線状に延び、第２ビーム６２２ｃの先端部は、第１ビーム６２１ｂの基端部よりも下方、即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面よりも下方に位置する。第１ビーム６２１ｄの基端部は、第２ビーム６２２ｃと同じ傾きで、第２ビーム６２２ｃの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム６２１ｄの曲率は、第１ビーム６２１ｂの曲率と略同じであるが、第１ビーム６２１ｂの基端部が、ＳＯＩ基板Ｓの表面と略平行であるのに対し、第１ビーム６２１ｄの基端部は、先端側へ向かって斜め上方に傾斜しているので、第１ビーム６２１ｄの先端部は、第１ビーム６２１ｂの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。さらに、第１ビーム６２１ｄの先端部は、第１ビーム６２１ｂの先端部よりもさらに斜め上方へ傾いた状態となる（即ち、ＳＯＩ基板Ｓの表面に対する傾斜角が大きくなる）。そして、第２ビーム６２２ｅは、第１ビーム６２１ｄの先端部と同じ傾きで第１ビーム６２１ｄの先端部から折り返す。その結果、第２ビーム６２２ｅは、第２ビーム６２２ｃよりも大きな傾斜角で斜め下方へ延び、第２ビーム６２２ｅの先端部は、第２ビーム６２２ｃの先端部よりも下方に位置する。第１ビーム６２１ｆの基端部は、第２ビーム６２２ｅと同じ傾きで、第２ビーム６２２ｅの先端部から折り返す。ここで、第１ビーム６２１ｆの曲率は、第１ビーム６２１ｄの曲率と略同じであるが、第１ビーム６２１ｆの基端部は、第１ビーム６２１ｄの基端部よりも傾斜がきついので、第１ビーム６２１ｆの先端部は、第１ビーム６２１ｄの先端部よりもさらに上方へ浮き上がる。   More specifically, the tip of the first beam 621b is inclined obliquely upward. The second beam 622c turned back from the tip of the first beam 621b has the same inclination as the tip of the first beam 621b. That is, the second beam 622c extends substantially linearly downward, and the distal end portion of the second beam 622c is lower than the base end portion of the first beam 621b, that is, more than the surface of the SOI substrate S. Located below. The proximal end portion of the first beam 621d is folded back from the distal end portion of the second beam 622c with the same inclination as the second beam 622c. Here, the curvature of the first beam 621d is substantially the same as the curvature of the first beam 621b, but the first end of the first beam 621b is substantially parallel to the surface of the SOI substrate S. Since the proximal end portion of the beam 621d is inclined obliquely upward toward the distal end side, the distal end portion of the first beam 621d floats further upward than the distal end portion of the first beam 621b. Further, the tip end portion of the first beam 621d is inclined further obliquely upward than the tip end portion of the first beam 621b (that is, the tilt angle with respect to the surface of the SOI substrate S is increased). Then, the second beam 622e is folded back from the tip of the first beam 621d with the same inclination as the tip of the first beam 621d. As a result, the second beam 622e extends obliquely downward with a larger inclination angle than the second beam 622c, and the tip of the second beam 622e is located below the tip of the second beam 622c. The proximal end portion of the first beam 621f is folded back from the distal end portion of the second beam 622e with the same inclination as the second beam 622e. Here, the curvature of the first beam 621f is substantially the same as the curvature of the first beam 621d, but the base end of the first beam 621f is more inclined than the base end of the first beam 621d. The tip of the one beam 621f floats further upward than the tip of the first beam 621d.

ここで、第２アクチュエータ６０２Ａと第２アクチュエータ６０２Ｂには同じ電圧が印加されているので、第２アクチュエータ６０２Ａの第１ビーム６２１ｆの先端部と、第２アクチュエータ６０２Ｂの第１ビーム６２１ｆの先端部とは、ＳＯＩ基板Ｓの表面から略同じ量だけ上昇した位置に位置している。その結果、第２ブレード６０４は、連結ビーム６４２，６４２が略同じ量だけ上昇するので、ブレード本体６４１が上方へ平行移動する。   Here, since the same voltage is applied to the second actuator 602A and the second actuator 602B, the tip of the first beam 621f of the second actuator 602A and the tip of the first beam 621f of the second actuator 602B Is located at a position elevated from the surface of the SOI substrate S by substantially the same amount. As a result, in the second blade 604, the connecting beams 642 and 642 rise by substantially the same amount, so that the blade body 641 translates upward.

尚、第２アクチュエータ６０２の第２ビーム６２２ａは、第２ブレード６０４の上昇にほとんど寄与しないため省略してもよいが、第２ビーム６２２ａが第１ビーム６２１ｂと対をなすことによって、前述の如く、第１ビーム６２１ｂの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルする機能を有する。   The second beam 622a of the second actuator 602 may be omitted because it hardly contributes to the rise of the second blade 604. However, as described above, the second beam 622a is paired with the first beam 621b. The first beam 621b has a function of canceling the initial warp and the warp due to the temperature change.

このように構成された第１ユニット５００及び第２ユニット６００は、スペーサ７００，７００を介して重ね合わされている。スペーサ７００は、ガラスで形成されている。スペーサ７００は、図８，１２に示すように、フレーム６０１の短辺から両方の長辺に亘って延び、平面視略Ｃ字状に形成されている。ただし、２つのスペーサ７００，７００は、つながっておらず、フレーム６０１の長辺においては、一方のスペーサ７００と他方のスペーサ７００との間に間隔が形成されている。   The first unit 500 and the second unit 600 configured as described above are overlapped via spacers 700 and 700. The spacer 700 is made of glass. As shown in FIGS. 8 and 12, the spacer 700 extends from the short side of the frame 601 to both long sides, and is formed in a substantially C shape in plan view. However, the two spacers 700 and 700 are not connected, and an interval is formed between one spacer 700 and the other spacer 700 on the long side of the frame 601.

スペーサ７００，７００を設けることにより、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間にはそれらの積層方向において間隔が形成される。このとき、フレーム５０１とフレーム６０１との間には、フレーム５０１、フレーム６０１及び２つのスペーサ７００，７００により区画される開口７１０が形成される。この開口７１０を通過するように光路Ｌが設定される。   By providing the spacers 700 and 700, a space is formed between the first unit 500 and the second unit 600 in the stacking direction. At this time, an opening 710 defined by the frame 501, the frame 601, and the two spacers 700 and 700 is formed between the frame 501 and the frame 601. The optical path L is set so as to pass through the opening 710.

また、第２ユニット６００のうち、スペーサ７００，７００と反対の面にはベース８００が接合されている。ベース８００は、ガラスで形成されている。ベース８００は、概略長方形の枠状に形成されている。   In addition, a base 800 is bonded to the surface of the second unit 600 opposite to the spacers 700 and 700. The base 800 is made of glass. The base 800 is formed in a substantially rectangular frame shape.

こうして、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを積層させた状態において、第１ユニット５００の第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２は、フレーム５０１のＺ方向上向きの面に配設され、第２ユニット６００の第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２は、フレーム６０１のＺ方向上向きの面に配設されている。また、第２ユニット６００の第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２が設けられている部分は、第１ユニット５００のフレーム５０１が切り欠かれて、第２ユニット６００のフレーム６０１が露出している部分である。そのため、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを積層させた状態において、第２ユニット６００の第２上部給電端子６１１及び第２下部給電端子６１２は、上方へ露出している。上部接続端子５１３と第２上部給電端子６１１とは、ワイヤボンディングにより接続される。下部接続端子５１４と第２下部給電端子６１２とは、ワイヤボンディングにより接続される。   Thus, in a state where the first unit 500 and the second unit 600 are stacked, the first upper power supply terminal 511 and the first lower power supply terminal 512 of the first unit 500 are arranged on the Z direction upward surface of the frame 501. The second upper power supply terminal 611 and the second lower power supply terminal 612 of the second unit 600 are disposed on the Z-direction upward surface of the frame 601. Further, in the portion of the second unit 600 where the second upper power supply terminal 611 and the second lower power supply terminal 612 are provided, the frame 501 of the first unit 500 is notched and the frame 601 of the second unit 600 is exposed. It is the part which is doing. Therefore, in a state where the first unit 500 and the second unit 600 are stacked, the second upper power supply terminal 611 and the second lower power supply terminal 612 of the second unit 600 are exposed upward. The upper connection terminal 513 and the second upper power supply terminal 611 are connected by wire bonding. The lower connection terminal 514 and the second lower power supply terminal 612 are connected by wire bonding.

第１ユニット５００の第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２に駆動電圧が給電されていないときには、第１ブレード５０４は、Ｚ方向においてフレーム５０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。同様に、第２ブレード６０４は、Ｚ方向においてフレーム６０１と略同じ位置に位置し、光路Ｌを遮断していない。このときの第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４の位置を、開通位置と称する。すなわち、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４が開通位置に位置するときには、光路Ｌが開通しており、第１ユニット５００と第２ユニット６００との間の光路Ｌを光が通過することができる。   When the drive voltage is not supplied to the first upper power supply terminal 511 and the first lower power supply terminal 512 of the first unit 500, the first blade 504 is positioned at substantially the same position as the frame 501 in the Z direction, and the optical path L Not shut off. Similarly, the second blade 604 is located at substantially the same position as the frame 601 in the Z direction and does not block the optical path L. The positions of the first blade 504 and the second blade 604 at this time are referred to as open positions. That is, when the first blade 504 and the second blade 604 are located at the open position, the optical path L is open, and light can pass through the optical path L between the first unit 500 and the second unit 600. .

一方、第１ユニット５００の第１上部給電端子５１１及び第１下部給電端子５１２に駆動電圧が給電されると、第１ユニット５００の第１アクチュエータ５０２Ａ，５０２Ｂ及び第２ユニット６００の第２アクチュエータ６０２Ａ，６０２Ｂに駆動電圧が印加される。第１ブレード５０４は、Ｚ方向下側、即ち、第２ユニット６００の方へ移動し、第２ブレード６０４は、Ｚ方向上側、即ち、第１ユニット５００の方へ移動する。最終的に、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４は、ブレード本体５４１とブレード本体６４１がオーバーラップする位置まで移動する。このときの第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４の位置を、遮断位置と称する。遮断位置においては、ブレード本体５４１の下端縁がブレード本体６４１の上端縁よりも下方に位置している。すなわち、Ｙ方向を向いて見たときに（光路Ｌの方向を向いて見たときに）ブレード本体５４１の下端部とブレード本体６４１の上端部とが重なり合っている。その結果、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４により光路Ｌが遮断される。尚、ブレード本体５４１とブレード本体６４１とは、Ｙ方向に隙間を有しており、干渉していない。   On the other hand, when driving voltage is supplied to the first upper power supply terminal 511 and the first lower power supply terminal 512 of the first unit 500, the first actuators 502A and 502B of the first unit 500 and the second actuator 602A of the second unit 600 are used. , 602B is applied with a drive voltage. The first blade 504 moves downward in the Z direction, that is, toward the second unit 600, and the second blade 604 moves upward in the Z direction, that is, toward the first unit 500. Finally, the first blade 504 and the second blade 604 move to a position where the blade body 541 and the blade body 641 overlap. The positions of the first blade 504 and the second blade 604 at this time are referred to as a blocking position. In the blocking position, the lower end edge of the blade body 541 is located below the upper end edge of the blade body 641. That is, when viewed in the Y direction (when viewed in the direction of the optical path L), the lower end portion of the blade body 541 and the upper end portion of the blade body 641 overlap each other. As a result, the optical path L is blocked by the first blade 504 and the second blade 604. The blade body 541 and the blade body 641 have a gap in the Y direction and do not interfere with each other.

以上のように、シャッタ装置２０００は、第１ブレード５０４、及び第１ブレード５０４を駆動する第１アクチュエータ５０２，５０２を有する第１ユニット５００と、第２ブレード６０４、及び第２ブレード６０４を駆動する第２アクチュエータ６０２，６０２を有する第２ユニット６００とを備え、第１アクチュエータ５０２，５０２及び第２アクチュエータ６０２，６０２はそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、複数のビームは、該平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビーム５２１，６２１と、湾曲しないか又は第１ビーム５２１，６２１よりも湾曲が小さい第２ビーム５２２，６２２とを含み、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４は、第１アクチュエータ５０２，５０２及び第２アクチュエータ６０２，６０２が第１ビーム５２１，６２１を湾曲させないときには互いに離間して光路Ｌを開通させる開通位置に位置する一方、第１アクチュエータ５０２，５０２及び第２アクチュエータ６０２，６０２が第１ビーム５２１，６２１を湾曲させるときには互いに接近して光路Ｌを遮断する遮断位置へ移動し、第１ブレード５０４は、第１アクチュエータ５０２，５０２において第２ビーム５２２，５２２に連結され、第２ブレード６０４は、第２アクチュエータ６０２，６０２において第１ビーム６２１，６２１に連結されている。   As described above, the shutter device 2000 drives the first blade 500 and the first unit 500 including the first actuators 502 and 502 that drive the first blade 504, the second blade 604, and the second blade 604. A second unit 600 having second actuators 602 and 602, each of the first actuators 502 and 502 and the second actuators 602 and 602 having a plurality of beams connected so as to be folded in a predetermined plane, The plurality of beams include first beams 521 and 621 that are curved to one side with respect to the plane, and second beams 522 and 622 that are not curved or are smaller in curvature than the first beams 521 and 621. The first blade 504 and the second blade 604 include the first actuators 502 and 502 and the second actuator. When the first and second actuators 602 and 602 do not curve the first beams 521 and 621, they are positioned apart from each other so as to open the optical path L, while the first actuators 502 and 502 and the second actuators 602 and 602 are disposed in the first beam 521. When the 621 is curved, the two blades 504 move to a blocking position that blocks the optical path L, and the first blade 504 is connected to the second beams 522 and 522 in the first actuators 502 and 502, and the second blade 604 is Two actuators 602 and 602 are connected to the first beams 621 and 621.

この構成によれば、第１ブレード５０４と第２ブレード６０４とで光路Ｌを遮断するため、第１ブレード５０４を駆動する第１アクチュエータ５０２，５０２の駆動量及び第２ブレード６０４を駆動する第２アクチュエータ６０２，６０２の駆動量を、１つのブレードで光路Ｌを遮断する場合と比べてそれぞれ低減することができる。   According to this configuration, in order to block the optical path L between the first blade 504 and the second blade 604, the driving amount of the first actuators 502 and 502 that drive the first blade 504 and the second amount that drives the second blade 604. The drive amount of the actuators 602 and 602 can be reduced as compared with the case where the optical path L is blocked by one blade.

そして、第１アクチュエータ５０２と第２アクチュエータ６０２を同様の構成とした場合であっても、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を連結するビームを、第２ビーム５２２と第１ビーム６２１とで異ならせることによって、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を互いに反対向きに移動させることができる。この反対向きの移動が互いに接近する方向の移動となるように、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを配置することによって、第１ブレード５０４と第２ブレード６０４とが互いに接近する方向に移動する構成を容易に実現することができる。   Even if the first actuator 502 and the second actuator 602 have the same configuration, the beam connecting the first blade 504 and the second blade 604 is different between the second beam 522 and the first beam 621. By doing so, the first blade 504 and the second blade 604 can be moved in directions opposite to each other. By arranging the first unit 500 and the second unit 600 so that the movements in the opposite directions are in the direction of approaching each other, the first blade 504 and the second blade 604 are moved in the direction of approaching each other. It is possible to easily realize the configuration.

また、ユニットにおいて圧電素子と端子とをＳＯＩ基板Ｓの同じ方向を向く面に設けると共に、第１ユニット５００と第２ユニット６００とを両方の給電端子が同じ方向を向くように重ね合わせる構成において、第１ブレード５０４を第２ビーム５２２に連結し、第２ブレード６０４を第１ビーム６２１に連結することによって、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を互いに接近する方向に移動させることができる。こうすることで、成膜及び配線の引き回しを容易にしつつ、第１ブレード５０４及び第２ブレード６０４を互いに接近する方向に移動させる構成を容易に実現することができる。   In addition, in the configuration in which the piezoelectric element and the terminal are provided on the surface of the SOI substrate S facing the same direction in the unit, and the first unit 500 and the second unit 600 are overlapped so that both the power feeding terminals face the same direction, By connecting the first blade 504 to the second beam 522 and connecting the second blade 604 to the first beam 621, the first blade 504 and the second blade 604 can be moved in a direction approaching each other. By doing so, it is possible to easily realize a configuration in which the first blade 504 and the second blade 604 are moved in directions toward each other while facilitating film formation and wiring routing.

尚、第１ブレード５０４を第１ビーム５２１に連結し、第２ブレード６０４を第２ビーム６２２に連結するようにしてもよい。その場合には、第１ユニット５００に対して、第１ビーム５２１が湾曲する側に第２ユニット６００が配置される。   The first blade 504 may be connected to the first beam 521, and the second blade 604 may be connected to the second beam 622. In that case, the second unit 600 is arranged on the side where the first beam 521 is curved with respect to the first unit 500.

《その他の実施形態》
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、上記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、上記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。<< Other Embodiments >>
As described above, the embodiment has been described as an example of the technique disclosed in the present application. However, the technology in the present disclosure is not limited to this, and can also be applied to an embodiment in which changes, replacements, additions, omissions, and the like are appropriately performed. Moreover, it is also possible to combine each component demonstrated by the said embodiment and it can also be set as new embodiment. In addition, among the components described in the accompanying drawings and detailed description, not only the components essential for solving the problem, but also the components not essential for solving the problem in order to exemplify the above technique. May also be included. Therefore, it should not be immediately recognized that these non-essential components are essential as those non-essential components are described in the accompanying drawings and detailed description.

前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。   About the said embodiment, it is good also as following structures.

前記実施形態における形状、寸法、材質は、例示に過ぎず、これらに限られるものではない。例えば、ブレード本体１４１，２４１，５４１，６４１は、略方形でなくてもよく、略円形や三角形や五角形の多角形であってもよい。また、ブレード本体１４１，２４１，５４１，６４１の表面には、入射側を向く面にＡｕ膜が成膜されているが、対象光を遮光する膜であれば、Ａｕ膜に限られない。また、この遮光性を有する膜は、ブレード本体１４１，２４１，５４１，６４１の表面のうち入射側を向く面ではなく、出射側を向く面に成膜されていてもよく、入射側を向く面と出射側を向く面との両方の面に成膜されていてもよい。   The shape, size, and material in the embodiment are merely examples, and are not limited to these. For example, the blade main bodies 141, 241, 541, and 641 do not have to be substantially rectangular, and may be substantially circular, triangular, or pentagonal polygons. In addition, an Au film is formed on the surface of the blade main body 141, 241, 541, 641 so as to face the incident side. However, the Au film is not limited to the Au film as long as the target light is shielded. Further, the light-shielding film may be formed on the surface facing the light emitting side, not the surface facing the light incident side of the surfaces of the blade bodies 141, 241, 541, 641. The film may be formed on both surfaces facing the light exit side.

また、各アクチュエータの構成は、前記の構成に限られるものではない。例えば、各アクチュエータに含まれるビームの本数は、第１ビームと第２ビームとを少なくとも１本ずつ含む限り、任意に設定することができる。また、第１ビームと第２ビームとは、交互に配列されているものに限らず、第１ビーム、第２ビーム、第２ビーム、第２ビーム、第１ビームのように、何れかのビームが連続して連結された構成であってもよい。さらに、各アクチュエータに含まれるビームの本数は、奇数であってもよい。さらにまた、第１アクチュエータ１０２と第２アクチュエータ２０２とで、ビームの本数が異なっていてもよい。同様に、第１アクチュエータ５０２と第２アクチュエータ６０２とで、ビームの本数が異なっていてもよい。   The configuration of each actuator is not limited to the above configuration. For example, the number of beams included in each actuator can be arbitrarily set as long as at least one of the first beam and the second beam is included. In addition, the first beam and the second beam are not limited to being alternately arranged, and any one of the beams such as the first beam, the second beam, the second beam, the second beam, and the first beam. May be connected continuously. Furthermore, the number of beams included in each actuator may be an odd number. Furthermore, the number of beams may be different between the first actuator 102 and the second actuator 202. Similarly, the number of beams may be different between the first actuator 502 and the second actuator 602.

また、前記実施形態では、第２ビーム１２２，２２２，５２２，６２２にダミー膜１２９，２２９，５２９，６２９を設けているが、省略してもよい。   In the embodiment, the dummy films 129, 229, 529, and 629 are provided on the second beams 122, 222, 522, and 622, but may be omitted.

また、各アクチュエータは、圧電効果により湾曲する圧電型アクチュエータであるが、これに限られるものではない。例えば、各アクチュエータは、熱膨張率の異なる材料を重ね合わせたビームで構成され、熱膨張率の差によって湾曲する熱型アクチュエータであってもよい。   Each actuator is a piezoelectric actuator that bends due to the piezoelectric effect, but is not limited thereto. For example, each actuator may be a thermal actuator that is configured by a beam in which materials having different coefficients of thermal expansion are superposed, and is curved depending on the difference in coefficient of thermal expansion.

さらに、スペーサ３００，７００は、ガラスで形成されるものに限られない。スペーサ３００，７００は、シリコンで形成されていてもよい。また、ベース４００，８００は、ガラスで形成されるものに限られない。ベース４００，８００は、シリコンで形成されていてもよい。これらスペーサ３００，７００及びベース４００，８００がシリコンで形成される場合、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００とスペーサ３００，７００及びベース４００，８００との接合は、接着剤によりなされる。スペーサ３００，７００及びベース４００，８００がガラスで形成されている場合には、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００とスペーサ３００，７００及びベース４００，８００とは、陽極接合により接合され得る。それに対し、スペーサ３００，７００及びベース４００，８００がシリコンで形成される場合には、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００とスペーサ３００，７００及びベース４００，８００とは、接着剤により接合することができるので、第１ユニット１００，５００及び第２ユニット２００，６００の第１アクチュエータ１０２，５０２及び第２アクチュエータ２０２，６０２が高電界に晒されることを防止することができる。   Furthermore, the spacers 300 and 700 are not limited to those formed of glass. The spacers 300 and 700 may be made of silicon. Further, the bases 400 and 800 are not limited to those formed of glass. The bases 400 and 800 may be made of silicon. When the spacers 300 and 700 and the bases 400 and 800 are made of silicon, the first units 100 and 500 and the second units 200 and 600 and the spacers 300 and 700 and the bases 400 and 800 are joined by an adhesive. The When the spacers 300 and 700 and the bases 400 and 800 are made of glass, the first units 100 and 500 and the second units 200 and 600 and the spacers 300 and 700 and the bases 400 and 800 are joined by anodic bonding. Can be done. On the other hand, when the spacers 300 and 700 and the bases 400 and 800 are formed of silicon, the first units 100 and 500 and the second units 200 and 600 and the spacers 300 and 700 and the bases 400 and 800 are adhesives. Therefore, the first actuators 102 and 502 and the second actuators 202 and 602 of the first units 100 and 500 and the second units 200 and 600 can be prevented from being exposed to a high electric field.

《上部電極の変形例》
次に、上部電極の変形例について実施形態１を例に説明する。図３，４に示すように、第２ビーム１２２ｂの上部電極１２７は、他のビーム（第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと第２ビーム１２２ｄ）の上部電極１２７とは形状及び表面積が異なっている。このため、第２ビーム１２２ｂの上部電極１２７に他のビームの上部電極１２７とは異なる膜応力が加わって、第２ビーム１２２ｂと他のビームとで初期反り及び温度変化による反りが十分にキャンセルできなくなり、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度が低下してしまうおそれがある。<< Modification of upper electrode >>
Next, a modified example of the upper electrode will be described using Embodiment 1 as an example. As shown in FIGS. 3 and 4, the upper electrode 127 of the second beam 122b is different in shape and surface area from the upper electrode 127 of the other beams (the first beams 121a and 121c and the second beam 122d). For this reason, film stress different from that of the upper electrode 127 of the other beam is applied to the upper electrode 127 of the second beam 122b, so that the initial warpage and the warp due to the temperature change can be sufficiently canceled between the second beam 122b and the other beam. There is a risk that the alignment accuracy of the initial height of the first blade 104 (see FIG. 1) may be reduced.

そこで、以下に例示するように、アクチュエータを構成するすべてのビームで上部電極の形状及び表面積が同じになるようにしてもよい。   Therefore, as exemplified below, the shape and surface area of the upper electrode may be the same for all the beams constituting the actuator.

図１５は、変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。上述したように、実施形態１に係る第１アクチュエータ１０２は、第１ビーム１２１ａ、第２ビーム１２２ｂ、第１ビーム１２１ｃ、第２ビーム１２２ｄが基端部を左右に入れ替えながら交互に連結されてなる。   FIG. 15 is a plan view of an actuator having an upper electrode according to a modification. As described above, the first actuator 102 according to the first embodiment is configured such that the first beam 121a, the second beam 122b, the first beam 121c, and the second beam 122d are alternately connected with the base end portion being changed left and right. .

第２ビーム１２２ｂの上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と絶縁された、ダミー上部電極１２７ａと、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と導通する配線パターン１２７ｂとを有している。ダミー上部電極１２７ａと配線パターン１２７ｂとは、互いに絶縁されている。配線パターン１２７ｂは十分に細く、それに対してダミー上部電極１２７ａは十分に太い。   The upper electrode 127 of the second beam 122b includes a dummy upper electrode 127a that is insulated from the upper electrode 127 of the first beam 121a and the upper electrode 127 of the first beam 121c, and the upper electrode 127 and the first beam of the first beam 121a. The wiring pattern 127b is electrically connected to the upper electrode 127 of 121c. The dummy upper electrode 127a and the wiring pattern 127b are insulated from each other. The wiring pattern 127b is sufficiently thin, while the dummy upper electrode 127a is sufficiently thick.

第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７は、いずれも、第１上部電極１２７ｄと、第２上部電極１２７ｅとを有している。第１上部電極１２７ｄと第２上部電極１２７ｅとは一端部で連結されている。第１上部電極１２７ｄは十分に細く、第２ビーム１２２ｂの配線パターン１２７ｂと同じ太さである。これに対して、第２上部電極１２７ｅは十分に太く、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａと同じ太さである。   Each of the upper electrode 127 of the first beam 121a and the upper electrode 127 of the first beam 121c has a first upper electrode 127d and a second upper electrode 127e. The first upper electrode 127d and the second upper electrode 127e are connected at one end. The first upper electrode 127d is sufficiently thin and has the same thickness as the wiring pattern 127b of the second beam 122b. In contrast, the second upper electrode 127e is sufficiently thick and has the same thickness as the dummy upper electrode 127a of the second beam 122b.

第２ビーム１２２ｄの上部電極１２７は、第１ビーム１２１ａの上部電極１２７及び第１ビーム１２１ｃの上部電極１２７と絶縁された、第１ダミー上部電極１２７ｆ及び第２ダミー上部電極１２７ｇを有している。第１ダミー上部電極１２７ｆと第２ダミー上部電極１２７ｇとは一端部で連結されている。第１ダミー上部電極１２７ｆは十分に細く、第２ビーム１２２ｂの配線パターン１２７ｂと同じ太さである。これに対して、第２ダミー上部電極１２７ｇは十分に太く、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａと同じ太さである。   The upper electrode 127 of the second beam 122d includes a first dummy upper electrode 127f and a second dummy upper electrode 127g that are insulated from the upper electrode 127 of the first beam 121a and the upper electrode 127 of the first beam 121c. . The first dummy upper electrode 127f and the second dummy upper electrode 127g are connected at one end. The first dummy upper electrode 127f is sufficiently thin and has the same thickness as the wiring pattern 127b of the second beam 122b. In contrast, the second dummy upper electrode 127g is sufficiently thick and has the same thickness as the dummy upper electrode 127a of the second beam 122b.

このように前記変形例では、いずれのビームも上位電極１２７の形状が同じ、すなわち、上部電極１２７が細い電極（第１ビーム１２１ａ，１２１ｃでは第１上部電極１２７ｄ、第２ビーム１２２ｂでは配線パターン１２７ｂ、第２ビーム１２２ｄでは第２ダミー上部電極１２７ｆ）と、太い電極（第１ビーム１２１ａ，１２１ｃでは第２上部電極１２７ｅ、第２ビーム１２２ｂではダミー上部電極１２７ａ、第２ビーム１２２ｄでは第１ダミー上部電極１２７ｇ）とが並列に配置されてなる。これにより、すべてのビームで上部電極１２７の形状及び表面積が同じになり、複数のビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルして、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度を向上させることができる。   As described above, in the above modification, the upper electrode 127 has the same shape in any beam, that is, the upper electrode 127 is thin (the first upper electrode 127d in the first beams 121a and 121c, and the wiring pattern 127b in the second beam 122b. In the second beam 122d, the second dummy upper electrode 127f) and a thick electrode (the second upper electrode 127e in the first beams 121a and 121c, the dummy upper electrode 127a in the second beam 122b, and the first dummy upper electrode in the second beam 122d). The electrode 127g) is arranged in parallel. As a result, the shape and surface area of the upper electrode 127 are the same for all the beams, and the initial warp of the plurality of beams and the warp due to temperature change are canceled, and the position of the initial height of the first blade 104 (see FIG. 1). The alignment accuracy can be improved.

なお、第１ビーム１２１ａ，１２１ｃにおいて、第１上部電極１２７ｄと第２上部電極１２７ｅとを中央部で連結してもよいし、両端部の２箇所で連結してもよいし、あるいは第１上部電極１２７ｄと第２上部電極１２７ｅとを連結せずに第１上部電極１２７ｄを第２上部電極１２７ｅと絶縁してもよい。同様に、第２ビーム１２２ｄにおいて、第１ダミー上部電極１２７ｆと第２ダミー上部電極１２７ｇとを中央部で連結してもよいし、両端部の２箇所で連結してもよいし、あるいは第１ダミー上部電極１２７ｆと第２ダミー上部電極１２７ｇとを連結しなくてもよい。   In the first beams 121a and 121c, the first upper electrode 127d and the second upper electrode 127e may be connected at the center, or may be connected at two locations at both ends, or the first upper electrode The first upper electrode 127d may be insulated from the second upper electrode 127e without connecting the electrode 127d and the second upper electrode 127e. Similarly, in the second beam 122d, the first dummy upper electrode 127f and the second dummy upper electrode 127g may be connected at the center, or may be connected at two locations on both ends, or the first beam The dummy upper electrode 127f and the second dummy upper electrode 127g may not be connected.

また、各ビームの上部電極１２７を構成する細い電極と太い電極の配置位置は任意である。例えば、第２ビーム１２２ｄにおいて、図１３における上側に第１ダミー上部電極１２７ｆを、下側に第２ダミー上部電極１２７ｇを、それぞれ配置しているが、これを逆にして、上側に第２ダミー上部電極１２７ｇを、下側に第１ダミー上部電極１２７ｆを、それぞれ配置してもよい。   Further, the arrangement positions of the thin electrodes and the thick electrodes constituting the upper electrode 127 of each beam are arbitrary. For example, in the second beam 122d, the first dummy upper electrode 127f is disposed on the upper side in FIG. 13 and the second dummy upper electrode 127g is disposed on the lower side. The upper electrode 127g may be disposed, and the first dummy upper electrode 127f may be disposed on the lower side.

ところで、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの上部電極１２７は他の電極から絶縁されたフロート電極であるため、電荷が蓄積されると電荷の逃げ場がない。特に、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇの表面積は比較的大きいため、製造時に電荷が蓄積されやすい。そして、これらダミー上部電極に電荷が蓄積されると、ダミー上部電極と下部電極１２５（図４参照）との間で電位差が生じて第１ビーム１２１ａ，１２１ｃと第２ビーム１２２ｂ，１２２ｄとで初期反りが十分にキャンセルできなくなり、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度が低下してしまうおそれがある。   By the way, the dummy upper electrode 127a of the second beam 122b and the upper electrode 127 of the second beam 122d are float electrodes that are insulated from other electrodes. In particular, since the surface areas of the dummy upper electrode 127a of the second beam 122b and the second dummy upper electrode 127g of the second beam 122d are relatively large, charges are likely to be accumulated during manufacturing. When charges are accumulated in these dummy upper electrodes, a potential difference is generated between the dummy upper electrode and the lower electrode 125 (see FIG. 4), and the initial difference between the first beams 121a and 121c and the second beams 122b and 122d. The warp cannot be canceled sufficiently, and the alignment accuracy of the initial height of the first blade 104 (see FIG. 1) may be reduced.

そこで、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇと下部電極１２５（図４参照）とを電気的に接続して、これらダミー上部電極に電荷が蓄積されない、あるいは蓄積されても放電可能にしてもよい。   Therefore, the dummy upper electrode 127a of the second beam 122b and the second dummy upper electrode 127g of the second beam 122d are electrically connected to the lower electrode 125 (see FIG. 4), and charges are not accumulated in these dummy upper electrodes. Alternatively, it may be stored or discharged.

図１６は、別の変形例に係る上部電極を有するアクチュエータの平面図である。図１６に示した第１アクチュエータ１０２は、図１５に示した第１アクチュエータ１０２における第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇの中央部分に、下部電極１２５（図４参照）に達する開口（コンタクト１２０）を設けたものである。   FIG. 16 is a plan view of an actuator having an upper electrode according to another modification. The first actuator 102 shown in FIG. 16 has a lower electrode 125 at the center of the dummy upper electrode 127a of the second beam 122b and the second dummy upper electrode 127g of the second beam 122d in the first actuator 102 shown in FIG. An opening (contact 120) reaching (see FIG. 4) is provided.

コンタクト１２０は、例えば次のようにして形成することができる。まず、圧電体層１２６（図４参照）の成膜後に、ウェットエッチング等の方法により圧電体層１２６の一部に、下部電極１２５（図４参照）に達する孔を空ける。その後、上部電極１２７をスパッタリング等の方法により成膜する。これにより、ダミー上部電極１２７ａ及び第２ダミー上部電極１２７ｇに、下部電極１２５（図４参照）にまで達するコンタクト１２０が形成される。   The contact 120 can be formed as follows, for example. First, after forming the piezoelectric layer 126 (see FIG. 4), a hole reaching the lower electrode 125 (see FIG. 4) is formed in a part of the piezoelectric layer 126 by a method such as wet etching. Thereafter, the upper electrode 127 is formed by a method such as sputtering. As a result, the contact 120 reaching the lower electrode 125 (see FIG. 4) is formed on the dummy upper electrode 127a and the second dummy upper electrode 127g.

このように、コンタクト１２０を設けることで、第２ビーム１２２ｂのダミー上部電極１２７ａ及び第２ビーム１２２ｄの第２ダミー上部電極１２７ｇは下部電極１２５（図４参照）と電気的に接続されてグランド電位となる。これにより、製造時や使用時にこれらダミー上部電極に電極が蓄積されなくなり、あるいは蓄積されても放電可能になって、複数のビームの初期反り及び温度変化による反りをキャンセルして、第１ブレード１０４（図１参照）の初期高さの位置合わせ精度を向上させることができる。   As described above, by providing the contact 120, the dummy upper electrode 127a of the second beam 122b and the second dummy upper electrode 127g of the second beam 122d are electrically connected to the lower electrode 125 (see FIG. 4) to be connected to the ground potential. It becomes. As a result, the electrodes are not accumulated in these dummy upper electrodes during manufacturing or use, or discharge is possible even when accumulated, and the first blade 104 is canceled by canceling the initial warpage of multiple beams and the warpage due to temperature changes. The alignment accuracy of the initial height (see FIG. 1) can be improved.

なお、コンタクト１２０は、各ダミー上部電極に１個あればよい。また、各ダミー上部電極においてコンタクト１２０の配置箇所は任意である。コンタクト１２０の形状及び大きさも任意である。例えば、コンタクト１２０を円形にしてもよい。   One contact 120 is required for each dummy upper electrode. Further, the location of the contact 120 in each dummy upper electrode is arbitrary. The shape and size of the contact 120 are also arbitrary. For example, the contact 120 may be circular.

上述した上部電極１２７の変形例は、実施形態１の第１アクチュエータ１０２以外に、実施形態１の第２アクチュエータ２０２（図７参照）及び実施形態２の第１アクチュエータ５０２（図９参照）及び第２アクチュエータ６０２（図１３参照）にも適用可能である。   In addition to the first actuator 102 of the first embodiment, the modification of the upper electrode 127 described above includes the second actuator 202 (see FIG. 7) of the first embodiment, the first actuator 502 (see FIG. 9) of the second embodiment, and the first actuator 102. It can also be applied to the two actuators 602 (see FIG. 13).

以上説明したように、ここに開示された技術は、シャッタ装置について有用である。   As described above, the technique disclosed herein is useful for the shutter device.

１０００ シャッタ装置
１００ 第１ユニット
１１１ 第１上部給電端子（第１端子）
１１２ 第１下部給電端子（第２端子）
１０２Ａ，１０２Ｂ 第１アクチュエータ
１２１ａ，１２１ｃ 第１ビーム
１２２ｂ，１２２ｄ 第２ビーム
１２４ 圧電素子
１０４ 第１ブレード
２００ 第２ユニット
２１１ 第２上部給電端子（第１端子）
２１２ 第２下部給電端子（第２端子）
２０２Ａ，２０２Ｂ 第２アクチュエータ
２２１ｂ，２２１ｄ 第１ビーム
２２２ａ，２２２ｃ 第２ビーム
２２４ 圧電素子
２０４ 第２ブレード
２０００ シャッタ装置
５００ 第１ユニット
５１１ 第１上部給電端子（第１端子）
５１２ 第１下部給電端子（第２端子）
５０２Ａ，５０２Ｂ 第１アクチュエータ
５２１ａ，５２１ｃ，５２１ｅ 第１ビーム
５２２ｂ，５２２ｄ，５２２ｆ 第２ビーム
５２４ 圧電素子
５０４ 第１ブレード
６００ 第２ユニット
６１１ 第２上部給電端子（第１端子）
６１２ 第２下部給電端子（第２端子）
６０２Ａ，６０２Ｂ 第２アクチュエータ
６２１ｂ，６２１ｄ，６２１ｆ 第１ビーム
６２２ａ，６２２ｃ，６２２ｅ 第２ビーム
６２４ 圧電素子
６０４ 第２ブレード
Ｌ 光路
Ｓ ＳＯＩ基板（基板）1000 Shutter device 100 First unit 111 First upper power supply terminal (first terminal)
112 First lower power supply terminal (second terminal)
102A, 102B First actuators 121a, 121c First beams 122b, 122d Second beam 124 Piezoelectric element 104 First blade 200 Second unit 211 Second upper power supply terminal (first terminal)
212 Second lower power supply terminal (second terminal)
202A, 202B Second actuators 221b, 221d First beams 222a, 222c Second beam 224 Piezoelectric element 204 Second blade 2000 Shutter device 500 First unit 511 First upper power supply terminal (first terminal)
512 First lower power supply terminal (second terminal)
502A, 502B First actuators 521a, 521c, 521e First beams 522b, 522d, 522f Second beam 524 Piezoelectric element 504 First blade 600 Second unit 611 Second upper power supply terminal (first terminal)
612 Second lower power supply terminal (second terminal)
602A, 602B Second actuators 621b, 621d, 621f First beams 622a, 622c, 622e Second beam 624 Piezoelectric element 604 Second blade L Optical path S SOI substrate (substrate)

Claims (8)

所定の光路を遮断及び開通させるシャッタ装置であって、
第１ブレード、及び該第１ブレードを駆動する第１アクチュエータを有する第１ユニットと、
第２ブレード、及び該第２ブレードを駆動する第２アクチュエータを有する第２ユニットとを備え、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータはそれぞれ、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有し、
前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、
前記第１ユニットと前記第２ユニットとは、前記平面と交差する方向に並んで配置されており、
前記第１ブレードは、前記第１アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第２ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、
前記第２ブレードは、前記第２アクチュエータにおいて、前記第１ビームが湾曲するときに前記第１ユニットの方へ移動するように前記第１ビーム又は前記第２ビームに連結され、
前記第１ブレード及び前記第２ブレードは、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させないときには互いに離間して前記光路を開通させる開通位置に位置する一方、前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータが前記第１ビームを湾曲させるときには互いに接近して前記光路を遮断する遮断位置へ移動するシャッタ装置。A shutter device that blocks and opens a predetermined optical path,
A first unit having a first blade and a first actuator for driving the first blade;
A second blade, and a second unit having a second actuator for driving the second blade,
Each of the first actuator and the second actuator has a plurality of beams connected to be folded in a predetermined plane;
The plurality of beams include a first beam that is curved to one side with respect to the plane, and a second beam that is not curved or less curved than the first beam,
The first unit and the second unit are arranged side by side in a direction intersecting the plane,
The first blade is connected to the first beam or the second beam so that the first blade moves toward the second unit when the first beam is curved in the first actuator;
The second blade is connected to the first beam or the second beam so that the second blade moves toward the first unit when the first beam is curved in the second actuator,
The first blade and the second blade are positioned at an open position where the first actuator and the second actuator are spaced apart from each other and open the optical path when the first actuator and the second actuator do not curve the first beam. When the second actuator bends the first beam, the shutter moves toward each other and moves to a blocking position that blocks the optical path. 請求項１に記載のシャッタ装置において、
前記第１ブレードは、前記第１アクチュエータにおいて前記第１ビーム及び前記第２ビームの一方に連結され、
前記第２ブレードは、前記第２アクチュエータにおいて前記第１ビーム及び前記第２ビームの他方に連結されているシャッタ装置。The shutter device according to claim 1,
The first blade is connected to one of the first beam and the second beam in the first actuator,
The second blade is a shutter device connected to the other of the first beam and the second beam in the second actuator. 請求項１又は２に記載のシャッタ装置において、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれにおいて、前記第１ビームと前記第２ビームとは、交互に連結されているシャッタ装置。The shutter device according to claim 1 or 2,
The shutter device in which the first beam and the second beam are alternately connected in each of the first actuator and the second actuator. 請求項１乃至３の何れか１つに記載のシャッタ装置において、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータのそれぞれは、偶数本のビームを含むシャッタ装置。The shutter device according to any one of claims 1 to 3,
Each of the first actuator and the second actuator is a shutter device including an even number of beams. 請求項１乃至４の何れか１つに記載のシャッタ装置において、
前記第１ユニット及び前記第２ユニットは、互いに重ね合わせられているシャッタ装置。The shutter device according to any one of claims 1 to 4,
The shutter unit in which the first unit and the second unit are overlapped with each other. 請求項５に記載のシャッタ装置において、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータは、圧電効果により湾曲する圧電型アクチュエータ又は熱膨張率の差によって湾曲する熱型アクチュエータであり、
前記第１ユニットは、前記第１アクチュエータに印加する電圧が供給される第１端子を有し、
前記第２ユニットは、前記第２アクチュエータに印加する電圧が供給される第２端子を有し、
前記第１ユニット及び前記第２ユニットは、それぞれ基板から形成され、
前記第１端子は、前記第１ユニットの基板の一の表面に設けられ、
前記第２端子は、前記第２ユニットの基板のうち、前記第１ユニットの前記一の表面と同じ方向を向く表面に設けられているシャッタ装置。The shutter device according to claim 5,
The first actuator and the second actuator are a piezoelectric actuator that is bent by a piezoelectric effect or a thermal actuator that is bent by a difference in thermal expansion coefficient,
The first unit has a first terminal to which a voltage to be applied to the first actuator is supplied,
The second unit has a second terminal to which a voltage to be applied to the second actuator is supplied,
The first unit and the second unit are each formed from a substrate,
The first terminal is provided on one surface of the substrate of the first unit;
The second terminal is a shutter device provided on a surface of the substrate of the second unit that faces in the same direction as the one surface of the first unit. 請求項６に記載のシャッタ装置において、
前記第１アクチュエータ及び前記第２アクチュエータは、基板上に圧電素子を積層させた圧電型アクチュエータであり、
前記第１アクチュエータの前記圧電素子は、前記第１ユニットの基板において前記第１端子が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられ、
前記第２アクチュエータの前記圧電素子は、前記第２ユニットの基板において前記第２端子が設けられた表面と同じ方向を向く表面に設けられているシャッタ装置。The shutter device according to claim 6,
The first actuator and the second actuator are piezoelectric actuators in which piezoelectric elements are stacked on a substrate,
The piezoelectric element of the first actuator is provided on a surface facing the same direction as the surface on which the first terminal is provided on the substrate of the first unit,
The shutter device, wherein the piezoelectric element of the second actuator is provided on a surface of the substrate of the second unit that faces the same direction as the surface on which the second terminal is provided. 移動体と、
前記移動体を駆動する２つのアクチュエータとを備えた駆動装置であって、
前記アクチュエータは、所定の平面内で折り返すように連結された複数のビームを有すると共に、折り返す２本のビームを１単位として該折り返す２本のビームを複数単位含んでおり、
前記複数のビームは、前記平面に対して一方の側へ湾曲する第１ビームと、湾曲しないか又は該第１ビームよりも湾曲が小さい第２ビームとを含み、
前記アクチュエータのうち前記折り返すように連結された複数のビームの先端部には、所定の回転軸回りに湾曲する連結部を介して前記移動体が連結されており、
一方の前記連結部の前記回転軸と他方の前記連結部の前記回転軸とは、一直線上に並ばないように配置されている駆動装置。A moving object,
A drive device comprising two actuators for driving the movable body,
The actuator includes a plurality of beams connected so as to be folded in a predetermined plane, and includes a plurality of units of the two beams to be folded with the two beams to be folded as a unit.
The plurality of beams include a first beam that is curved to one side with respect to the plane, and a second beam that is not curved or less curved than the first beam,
The moving body is connected to the tip portions of the plurality of beams connected so as to be folded among the actuators via a connecting portion that curves around a predetermined rotation axis,
The drive device which is arrange | positioned so that the said rotating shaft of one said connection part and the said rotating shaft of the other said connection part may not line up on a straight line.
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