JPWO2015166587A1 - Circuit board manufacturing method - Google Patents

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戸田  光昭
琢哉 長谷川
琢哉 長谷川
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Abstract

本発明の回路基板の製造方法は、パッド層(26)及び内部導電体層(50、52、54、56)を有する多層配線板(20)に貫通孔(62)を形成する貫通孔形成工程と、貫通孔(62)に金属ピン(64)を挿入し、金属ピン(64)を内部導電体層のうち目標とする目標内部導電体層(54)と接触させる準備工程と、ドリル加工機(10)を用いて多層配線板(20)に駆動するドリル刃(12)を押し付けてドリル加工を進め、ドリル刃(12)と目標内部導電体層(54)とが接触し、これらの導通が前記金属ピン(64)を介して検出されたときにドリル刃(12)の駆動を停止し、外部導電体層(24)から目標内部導電体層(54)まで延びる非貫通穴(68)を形成する非貫通穴形成工程と、を備えている。The method for manufacturing a circuit board according to the present invention includes a through hole forming step of forming a through hole (62) in a multilayer wiring board (20) having a pad layer (26) and an internal conductor layer (50, 52, 54, 56). A preparation step of inserting a metal pin (64) into the through hole (62) and bringing the metal pin (64) into contact with a target internal conductor layer (54) of the internal conductor layer, and a drilling machine The drill blade (12) driven to the multilayer wiring board (20) is pressed using (10) to advance the drilling process, and the drill blade (12) and the target internal conductor layer (54) come into contact with each other to conduct Is detected through the metal pin (64), the drive of the drill blade (12) is stopped, and the non-through hole (68) extending from the outer conductor layer (24) to the target inner conductor layer (54) And a non-through-hole forming step for forming.

Description

本発明は、回路基板の製造方法に関し、詳しくは、非貫通穴を形成する工程を含む回路基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a circuit board, and more particularly to a method for manufacturing a circuit board including a step of forming a non-through hole.

多層の回路基板において、特定の層間のみを接続するビアとして、いわゆるブラインドビアホールが知られている。このブラインドビアホールは、例えば、外部導電体層から内部導電体層に亘って延びる非貫通穴が形成され、この非貫通穴の内壁、外部導電体層及び内部導電体層に亘りめっきが施されることにより形成される。このようなブラインドビアホールを備えた多層の回路基板の製造方法としては、例えば、特許文献1に示されるような多層配線板の製造方法が知られている。   In a multilayer circuit board, so-called blind via holes are known as vias that connect only specific layers. In this blind via hole, for example, a non-through hole extending from the outer conductor layer to the inner conductor layer is formed, and plating is performed over the inner wall of the non-through hole, the outer conductor layer, and the inner conductor layer. Is formed. As a method for manufacturing a multilayer circuit board having such blind via holes, for example, a method for manufacturing a multilayer wiring board as shown in Patent Document 1 is known.

特許文献1の製造方法は、銅張り積層板を用いて不要な銅箔をエッチング除去して所定形状の内部導電体層を形成し、この内部導電体層上に、所望される非貫通穴形成予定領域を除いて絶縁層を形成することにより非貫通穴を設け、この非貫通穴内及び絶縁層の外表面にめっき処理をしてブラインドビアホール及びこのブラインドビアホールとつながった所定パターンの外部導電体層を形成することを特徴としている。   In the manufacturing method of Patent Document 1, unnecessary copper foil is removed by etching using a copper-clad laminate to form an internal conductor layer having a predetermined shape, and a desired non-through hole is formed on the internal conductor layer. A non-through hole is provided by forming an insulating layer except for a predetermined region, and a plating process is applied to the inside of the non-through hole and the outer surface of the insulating layer to connect the blind via hole and the external conductor layer having a predetermined pattern connected to the blind via hole It is characterized by forming.

ところで、特許文献1の製造方法の場合、非貫通穴形成予定領域に絶縁層が形成されないようにマスキング等を行い絶縁層を形成する必要があるので絶縁層の形成には手間がかかるとともに、このような絶縁層を形成するには、特殊な絶縁材料を使わざるを得ないため、製造コストが嵩む。   By the way, in the case of the manufacturing method of Patent Document 1, it is necessary to form an insulating layer by performing masking or the like so that the insulating layer is not formed in the non-through-hole formation scheduled region. In order to form such an insulating layer, a special insulating material must be used, which increases the manufacturing cost.

一方、多層の回路基板の製造コストを削減するため、非貫通穴をドリル加工により形成する方法も知られている。この方法は、予め製造された多層配線板を準備し、この多層配線板に、ドリルを用いて特定の層間に延びる非貫通穴を穿設する。この方法の場合、特殊な絶縁材料を使う必要はなく、穴形成が簡便であるため生産性に優れていることから、特許文献1の製造方法に比べて回路基板の製造コストを低く抑えることができる。   On the other hand, in order to reduce the manufacturing cost of a multilayer circuit board, a method of forming a non-through hole by drilling is also known. In this method, a multilayer wiring board manufactured in advance is prepared, and a non-through hole extending between specific layers is drilled in the multilayer wiring board using a drill. In the case of this method, it is not necessary to use a special insulating material, and since the hole formation is simple and the productivity is excellent, the manufacturing cost of the circuit board can be suppressed lower than the manufacturing method of Patent Document 1. it can.

このドリル加工をともなう回路基板の製造方法においては、多層配線板における表面に位置する外部導電体層から回転するドリル刃が入れられ、内部導電体層のうち目標とする内部導電体層(以下、ターゲットパッド層という)に到達する非貫通穴が形成される。そして、形成された非貫通穴の内壁、外部導電体層及びターゲットパッド層に亘ってめっきが施され、外部導電体層とターゲットパッド層とが電気的に接続される。   In this method of manufacturing a circuit board with drilling, a drill blade that rotates from an external conductor layer located on the surface of a multilayer wiring board is inserted, and a target internal conductor layer (hereinafter referred to as the following) among the internal conductor layers. A non-through hole reaching the target pad layer) is formed. Then, plating is performed over the inner wall of the formed non-through hole, the external conductor layer, and the target pad layer, and the external conductor layer and the target pad layer are electrically connected.

上記したようなドリルにより非貫通穴を形成する場合、ターゲットパッド層の位置でドリル刃の先端を高精度に止める(位置決めする)必要がある。この位置決めは、穴加工機に付属するドリル位置検出装置でドリル刃の先端とターゲットパッド層とが当接し、ドリル刃とターゲットパッド層とが導通した状態を検出することにより行われる。このような導通状態を検出するために、ドリル位置検出装置においては、一方の入力端をドリルと電気的に接続し、他方の入力端をターゲットパッド層と電気的に接続する必要がある。このとき、ターゲットパッド層は多層配線板の内部に存在するので、多層配線板の外部のドリル位置検出装置と電気的な接続ができるように、多層配線板の表層部分にターゲットパッド層と繋がった接続パッド部を形成する必要がある。そこで、通常は、この接続パッド部とターゲットパッド層とを繋ぐために、多層配線板の所定位置に電気接続用めっきスルーホールが形成される。   When the non-through hole is formed by the drill as described above, the tip of the drill blade needs to be stopped (positioned) with high accuracy at the position of the target pad layer. This positioning is performed by detecting a state in which the tip of the drill blade and the target pad layer are in contact with each other and the drill blade and the target pad layer are electrically connected by a drill position detection device attached to the hole processing machine. In order to detect such a conduction state, in the drill position detecting device, it is necessary to electrically connect one input end to the drill and to electrically connect the other input end to the target pad layer. At this time, since the target pad layer exists inside the multilayer wiring board, the target pad layer is connected to the surface layer portion of the multilayer wiring board so that it can be electrically connected to the drill position detection device outside the multilayer wiring board. It is necessary to form a connection pad portion. Therefore, normally, a plating through hole for electrical connection is formed at a predetermined position of the multilayer wiring board in order to connect the connection pad portion and the target pad layer.

この電気接続用めっきスルーホールは、例えば、以下のようにして形成される。
まず、多層配線板を厚さ方向に見たとき、表層の外部導電体層のうち接続パッド部として利用できる外部導電体層の一部の下方に、多層配線板内部のターゲットパッド層の一部が存在する所定位置に貫通孔が穿設される。これにより、この貫通孔は、多層配線板の厚さ方向に沿って延び、その開口端の周縁に接続パッド部が位置し、その内壁にターゲットパッド層が露出している。
The plated hole for electrical connection is formed as follows, for example.
First, when the multilayer wiring board is viewed in the thickness direction, a part of the target pad layer inside the multilayer wiring board is located below a part of the outer conductive layer that can be used as a connection pad portion in the outer conductive layer on the surface layer. A through hole is drilled at a predetermined position where there is. Thereby, this through-hole extends along the thickness direction of the multilayer wiring board, the connection pad portion is located at the periphery of the opening end, and the target pad layer is exposed on the inner wall thereof.

ついで、このような貫通孔を有する多層配線板にめっき処理を施し、上記した内壁に孔内めっき層を形成する。このようにして、電気接続用めっきスルーホールが形成される。この電気接続用めっきスルーホールは、その孔内めっき層によりターゲットパッド層と電気的に接続されている。   Next, the multilayer wiring board having such a through hole is subjected to a plating treatment to form an in-hole plating layer on the inner wall. In this way, a plated through hole for electrical connection is formed. The plating through hole for electrical connection is electrically connected to the target pad layer by the in-hole plating layer.

次に、このような電気接続用めっきスルーホールを備えた多層配線板に非貫通孔を形成する手順を以下に説明する。   Next, a procedure for forming non-through holes in a multilayer wiring board having such plated holes for electrical connection will be described below.

まず、ドリル刃の駆動を制御する制御装置及びドリルの位置を検出するドリル位置検出装置を備えたドリル加工機を準備する。そして、ドリル位置検出装置の一方の入力端には、リード線を介してドリル加工機のドリル刃が電気的に接続される。また、ドリル位置検出装置の他方の入力端と多層配線板の表面の接続パッド部とをリード線を介して接続する。これにより、ターゲットパッド層は、孔内めっき層、接続パッド部及びリード線を介してドリル位置検出装置の他方の入力端に電気的に接続される。   First, a drilling machine equipped with a control device that controls the driving of a drill blade and a drill position detection device that detects the position of the drill is prepared. And the drill blade of a drilling machine is electrically connected to one input end of a drill position detection apparatus via a lead wire. Further, the other input end of the drill position detecting device and the connection pad portion on the surface of the multilayer wiring board are connected via a lead wire. Thereby, the target pad layer is electrically connected to the other input end of the drill position detecting device via the in-hole plating layer, the connection pad portion, and the lead wire.

このようなドリル加工機を用いて多層配線板における非貫通穴の形成予定箇所に回転するドリル刃を押し込んでいくとドリル刃の進行にともない穴があけられていく。そして、ドリル刃がターゲットパッド層に到達し、ドリル刃とターゲットパッド層とが接触するとこれらの導通をドリル位置検出装置が検出するので、この導通の情報を基に制御装置がドリル加工機を停止させる。これによりドリルがターゲットパッド層で止まるので、ドリルの位置決めが高精度に行われる。このようにして、ターゲットパッド層まで延びる非貫通穴が形成される。   When such a drilling machine is used to push a rotating drill blade into a position where a non-through hole is to be formed in a multilayer wiring board, a hole is drilled as the drill blade advances. When the drill blade reaches the target pad layer and the drill blade and the target pad layer come into contact with each other, the drill position detecting device detects the continuity of the drill blade, and the control device stops the drilling machine based on this continuity information. Let As a result, the drill stops at the target pad layer, so that the drill is positioned with high accuracy. In this way, a non-through hole extending to the target pad layer is formed.

非貫通穴が形成された多層配線板は、続いて、ブラインドビアホールを形成するためのめっき処理が施される。その後、ブラインドビアホールを有する多層配線板は、エッチング処理等を経て、表面に回路パターンが形成された回路基板となる。   The multilayer wiring board in which the non-through holes are formed is subsequently subjected to a plating process for forming blind via holes. Thereafter, the multilayer wiring board having the blind via hole becomes a circuit board having a circuit pattern formed on the surface thereof through an etching process or the like.

特開平09−162550号公報JP 09-162550 A

ところで、上記したようなドリルにより非貫通穴を形成し、ブラインドビアホールを形成する回路基板の製造方法においては、電気接続用めっきスルーホールの孔内めっき層を形成する際と非貫通穴内へめっき層を形成する際の合計2回のめっき処理が必要となる。これらのめっき処理は、多層配線板の全体にわたって施されるため、外部導電体層上にもめっき層が2度形成されるので、外部導電体層の厚さが厚くなる。このように外部導電体層の厚さが厚くなると、エッチングによる表層の回路形成性が悪化する。このため、回路幅を細くすることが困難となり、回路の高密度化が困難となるとともに、回路幅のばらつきも大きくなるため、回路基板のインピーダンス特性が悪化する。
そこで、めっき処理の回数を減らすことができ、なお且つ、非貫通穴の深さ方向の位置決め精度を維持することができる回路基板の製造方法の開発が望まれている。
By the way, in the method of manufacturing a circuit board in which a non-through hole is formed by a drill as described above and a blind via hole is formed, a plating layer is formed when forming an in-hole plating layer of a plating through hole for electrical connection and into the non-through hole. A total of two plating processes are required when forming the film. Since these plating processes are performed over the entire multilayer wiring board, the plating layer is formed twice on the external conductor layer, so that the thickness of the external conductor layer is increased. As described above, when the thickness of the external conductor layer is increased, the circuit forming property of the surface layer by etching is deteriorated. For this reason, it is difficult to reduce the circuit width, it is difficult to increase the density of the circuit, and the variation in the circuit width also increases, so that the impedance characteristics of the circuit board deteriorate.
Therefore, it is desired to develop a method of manufacturing a circuit board that can reduce the number of plating treatments and can maintain the positioning accuracy of the non-through holes in the depth direction.

本発明は、上記の事情に基づいてなされたものであり、その目的とするところは、従来よりもめっき処理の回数を減らすことができ、なお且つ、非貫通穴の深さ方向の位置決め精度を維持することができる回路基板の製造方法を提供することにある。   The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and the object of the present invention is to reduce the number of plating treatments compared to the prior art, and to improve the positioning accuracy of the non-through holes in the depth direction. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a circuit board that can be maintained.

上記目的を達成するために、本発明によれば、絶縁性の基板と、前記基板の内部に設けられた多数の内部導電体層と、前記基板の表面部に設けられた外部導電体層及びパッド層を有する多層配線板を準備し、前記多層配線板に、前記内部導電体層のうち目標とする目標内部導電体層及び前記パッド層を貫く貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、ドリル刃を駆動するドリル刃駆動装置と、前記ドリル刃駆動装置を制御する駆動制御装置と、前記ドリル刃が電気的に接続された第1入力端及び検出対象が接続されるべき第2入力端を有し、前記第1入力端と前記第2入力端との導通を検出可能であり、前記ドリル刃と前記検出対象との導通を検出した際に、その検出情報を前記駆動制御装置へ送る導通検出装置と、前記ドリル刃で加工する対象を保持可能な治具とを有するドリル加工機を準備し、前記多層配線板を前記治具に保持し、前記パッド層と前記第2入力端とを電気的に接続するとともに、前記貫通孔に導電性物体を挿入し、前記導電性物体を前記目標内部導電体層及び前記パッド層に接触させる準備工程と、前記ドリル加工機を用いて、前記多層配線板の前記外部導電体層の部分に、駆動する前記ドリル刃を押し付けてドリル加工を進め、前記ドリル刃の先端が前記目標内部導電体層に接触しこの目標内部導電体層と前記ドリル刃との導通が前記導通検出装置により検出されたときに前記導通検出装置からの検出情報を基に前記駆動制御装置が前記ドリル刃駆動装置を停止し、前記外部導電体層から前記目標内部導電体層まで延びる非貫通穴を形成する非貫通穴形成工程と、を備えている、回路基板の製造方法が提供される。   In order to achieve the above object, according to the present invention, an insulating substrate, a number of internal conductor layers provided inside the substrate, an external conductor layer provided on a surface portion of the substrate, and A through-hole forming step of preparing a multilayer wiring board having a pad layer, and forming a target internal conductor layer among the internal conductor layers and a through-hole penetrating the pad layer in the multilayer wiring board; A drill blade drive device for driving the blade, a drive control device for controlling the drill blade drive device, a first input end to which the drill blade is electrically connected, and a second input end to which the detection target is to be connected. A continuity that can detect continuity between the first input end and the second input end, and when detecting continuity between the drill blade and the detection target, continuity to send the detection information to the drive control device. The detection device and the object to be processed by the drill blade A drilling machine having a holding jig is prepared, the multilayer wiring board is held by the jig, the pad layer and the second input end are electrically connected, and the through hole is electrically conductive. A preparation step of inserting a conductive object and bringing the conductive object into contact with the target internal conductor layer and the pad layer, and using the drilling machine, in the portion of the external conductor layer of the multilayer wiring board, The drill blade is pressed to drive the drill, the tip of the drill blade contacts the target internal conductor layer, and conduction between the target internal conductor layer and the drill blade is detected by the conduction detector. Sometimes the drive control device stops the drill blade driving device based on the detection information from the continuity detection device, and forms a non-through hole extending from the external conductor layer to the target internal conductor layer Forming process; Includes, method of manufacturing a circuit board is provided.

本発明の回路基板の製造方法によれば、従来よりもめっき処理の回数を減らすことができ、なお且つ、非貫通穴の深さ方向の位置決め精度を維持することができる。   According to the circuit board manufacturing method of the present invention, the number of plating treatments can be reduced as compared with the prior art, and the positioning accuracy of the non-through holes in the depth direction can be maintained.

本発明の第1の実施形態に係るワークボードを示す平面図である。It is a top view which shows the work board which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る多層配線板を非貫通穴加工機の構成と併せて示した平面図である。It is the top view which showed the multilayer wiring board which concerns on the 1st Embodiment of this invention with the structure of the non-through-hole processing machine. 多層配線板に貫通孔を設け、金属ピンを貫通孔内に挿入する態様を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the aspect which provides a through-hole in a multilayer wiring board and inserts a metal pin in a through-hole. 多層配線板にドリル加工を施している状態を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the state which has drilled the multilayer wiring board. ドリル刃が目標内部導電体層に到達した状態を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the state which the drill blade reached | attained the target internal conductor layer. 多層配線板からドリル及び金属ピンを抜き、その後、めっき処理を施す態様を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the aspect which extracts a drill and a metal pin from a multilayer wiring board, and performs a plating process after that. 本発明の第2の実施形態に係る多層配線板を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the multilayer wiring board which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る多層配線板にドリル加工を施している状態を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the state which has drilled to the multilayer wiring board which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る多層配線板について、ドリルを抜き、その後、めっき処理を施す態様を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the aspect which extracts a drill about the multilayer wiring board which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, and performs a plating process after that. 本発明の第4の実施形態に係る多層配線板を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the multilayer wiring board which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施形態に係る多層配線板を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the multilayer wiring board which concerns on the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施形態に係る多層配線板を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the multilayer wiring board which concerns on the 6th Embodiment of this invention.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態に係る回路基板1の製造方法について、図面を参照して以下に説明する。
(First embodiment)
A method for manufacturing the circuit board 1 according to the first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

回路基板1は、ワークボード2に複数個作り込まれている。詳しくは、図1に示すように、ワークボード2は、周縁に外枠部4を備えた基板であり、この外枠部4の内側に複数個(図1では、4個)のシート6を含んでいる。各シート6は、それぞれの周縁に捨て枠部8を有しており、この捨て枠部8の内側に複数個(図1では、2個)の回路基板1が含まれている。回路基板1は、ワークボード単位で同時に複数個製造される。これら回路基板1は、同一のものであるので、1個の回路基板1についてのみ説明する。   A plurality of circuit boards 1 are built in the work board 2. Specifically, as shown in FIG. 1, the work board 2 is a substrate having an outer frame portion 4 on the periphery, and a plurality of (four in FIG. 1) sheets 6 are placed inside the outer frame portion 4. Contains. Each sheet 6 has a discard frame portion 8 on each periphery, and a plurality (two in FIG. 1) of circuit boards 1 are included inside the discard frame portion 8. A plurality of circuit boards 1 are manufactured simultaneously in units of work boards. Since these circuit boards 1 are the same, only one circuit board 1 will be described.

まず、回路基板1の製造にあたり、非貫通穴の形成に使用するドリル加工機(以下、非貫通穴加工機という)10を準備する。非貫通穴加工機10は、図2に示すように、ドリル刃12を駆動するドリル刃駆動装置14、このドリル刃駆動装置14を制御する駆動制御装置16及びドリル刃12の位置を検出して位置検出信号を駆動制御装置16へ送るドリル位置検出装置(導通検出装置)18を含んでいる。ここで、非貫通穴加工機10の結線の態様について説明する前に、図2において非貫通穴加工機10とともに平面図として示された回路基板1の中間製品である多層配線板20について説明する。この多層配線板20は、表層に形成された外部導電体層24及びパッド層26と、内部に形成された複数の内部導電体層とを含んでいる。外部導電体層24は、表層にて回路パターンが形成される領域である。一方、パッド層26は、後述するようにドリル位置検出装置18のリード線が接続される領域である。これら外部導電体層24とパッド層26との間には溝部28が設けられており、外部導電体層24と、パッド層26とは、電気的に分離されている。なお、以後の説明で用いる各断面図は、図2におけるA−A線に沿って示される断面に対応する位置での断面図である。   First, in manufacturing the circuit board 1, a drilling machine (hereinafter referred to as a non-through hole processing machine) 10 used for forming a non-through hole is prepared. As shown in FIG. 2, the non-through hole processing machine 10 detects the position of the drill blade drive device 14 that drives the drill blade 12, the drive control device 16 that controls the drill blade drive device 14, and the drill blade 12. A drill position detection device (continuity detection device) 18 for sending a position detection signal to the drive control device 16 is included. Here, before describing the connection mode of the non-through hole processing machine 10, the multilayer wiring board 20 which is an intermediate product of the circuit board 1 shown as a plan view together with the non-through hole processing machine 10 in FIG. 2 will be described. . The multilayer wiring board 20 includes an external conductor layer 24 and a pad layer 26 formed on the surface layer, and a plurality of internal conductor layers formed inside. The external conductor layer 24 is a region where a circuit pattern is formed on the surface layer. On the other hand, the pad layer 26 is an area to which the lead wire of the drill position detecting device 18 is connected as will be described later. A groove 28 is provided between the external conductor layer 24 and the pad layer 26, and the external conductor layer 24 and the pad layer 26 are electrically separated. Each cross-sectional view used in the following description is a cross-sectional view at a position corresponding to the cross-section shown along the line AA in FIG.

ドリル位置検出装置18は、一方の第1入力端30が第1リード線32を介してドリル刃12に電気的に接続されており、他方の第2入力端34が第2リード線36を介して多層配線板20のパッド層26と電気的に接続されている。このドリル位置検出装置18は、第1入力端30及び第2入力端32が導通した際、導通を検出して導通検出信号をドリル位置検出信号として駆動制御装置16へ送信する。   In the drill position detection device 18, one first input end 30 is electrically connected to the drill blade 12 via a first lead wire 32, and the other second input end 34 is connected via a second lead wire 36. Are electrically connected to the pad layer 26 of the multilayer wiring board 20. When the first input end 30 and the second input end 32 are conducted, the drill position detection device 18 detects conduction and transmits a conduction detection signal as a drill position detection signal to the drive control device 16.

駆動制御装置16は、ドリル位置検出信号を受信すると、ドリル刃駆動装置14にドリル刃停止信号を送信する。   When receiving the drill position detection signal, the drive control device 16 transmits a drill blade stop signal to the drill blade driving device 14.

ドリル刃駆動装置14は、ドリル刃を駆動する装置であり、ドリル刃停止信号を受信するとドリル刃の駆動を停止する。   The drill blade drive device 14 is a device that drives the drill blade, and stops driving the drill blade when receiving a drill blade stop signal.

ここで、ドリル位置検出装置18と駆動制御装置16とは信号線38で繋がっており、駆動制御装置16とドリル刃駆動装置14とは信号線40で繋がっている。また、ドリル刃駆動装置14とドリル刃12とは駆動力伝達手段42により連結されている。   Here, the drill position detection device 18 and the drive control device 16 are connected by a signal line 38, and the drive control device 16 and the drill blade drive device 14 are connected by a signal line 40. Further, the drill blade driving device 14 and the drill blade 12 are connected by a driving force transmitting means 42.

更に、図3(a)に示すような多層配線板20を準備する。この多層配線板20は、上面(第1面)44及び下面(第2面)46を有する絶縁性基板48を備えている。この絶縁性基板48としては、絶縁性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、ガラス繊維製の布を重ねたものに、エポキシ樹脂を含浸させたガラスエポキシ基板が挙げられる。この絶縁性基板48は、上面44及び下面46にそれぞれ外部導電体層24、24を有しており、内部に4層の内部導電体層50、52、54、56を含んでいる。   Furthermore, a multilayer wiring board 20 as shown in FIG. The multilayer wiring board 20 includes an insulating substrate 48 having an upper surface (first surface) 44 and a lower surface (second surface) 46. The insulating substrate 48 is not particularly limited as long as it has insulating properties. For example, a glass epoxy substrate in which an epoxy resin is impregnated on a glass fiber cloth is cited. It is done. The insulating substrate 48 has external conductor layers 24 and 24 on an upper surface 44 and a lower surface 46, respectively, and includes four internal conductor layers 50, 52, 54, and 56 therein.

上面44には、上記したように、外部導電体層24と、パッド層26とを含んでおり、これら外部導電体層24とパッド層26との間には溝部28が形成されている。そして、図3(a)から明らかなように、外部導電体層24に対応する部分の所定位置に非貫通穴形成予定領域58が設定されており、パッド層26に対応する部分の所定位置に貫通孔形成予定領域60が設定されている。   As described above, the upper surface 44 includes the external conductor layer 24 and the pad layer 26, and a groove 28 is formed between the external conductor layer 24 and the pad layer 26. As is clear from FIG. 3A, a non-through hole formation scheduled region 58 is set at a predetermined position corresponding to the external conductor layer 24, and is set at a predetermined position corresponding to the pad layer 26. A through-hole formation scheduled area 60 is set.

内部導電体層50、52、54、56のうち、上面44側から3層目が目標となる目標内部導電体層(ターゲットパッド層)54である。このターゲットパッド層54は、非貫通穴形成予定領域58及び貫通孔形成予定領域60に交差するように形成されている。一方、ターゲットパッド層54以外の内部導電体層50、52、56は、非貫通穴形成予定領域58及び貫通孔形成予定領域60を避けるように予め設計されている。   Of the internal conductor layers 50, 52, 54, and 56, the target internal conductor layer (target pad layer) 54 is the third layer from the upper surface 44 side. The target pad layer 54 is formed so as to intersect the non-through hole formation planned region 58 and the through hole formation planned region 60. On the other hand, the internal conductor layers 50, 52, and 56 other than the target pad layer 54 are designed in advance so as to avoid the non-through hole formation planned region 58 and the through hole formation planned region 60.

このようにして準備された多層配線板20は、一般的なドリル加工機により貫通孔形成予定領域60にドリル加工が施され、貫通孔62が形成される(図3(b)参照)。   The multilayer wiring board 20 prepared in this way is drilled in the through-hole formation scheduled region 60 by a general drilling machine to form a through-hole 62 (see FIG. 3B).

貫通孔62が形成された多層配線板20は、図3(c)に示すように、非貫通穴加工機10の樹脂製治具66の上に配置され、図示しない固定手段により固定される。この状態の多層配線板20の貫通孔62に金属製のピンである金属ピン64が挿入される。この金属ピン64は、貫通孔62の内径寸法とほぼ等しい外径寸法を有する円柱状をなしており、貫通孔62に挿入されることにより、ターゲットパッド層54及びパッド層26と接触し、これらの層と電気的に接続される。   As shown in FIG. 3C, the multilayer wiring board 20 in which the through holes 62 are formed is disposed on a resin jig 66 of the non-through hole processing machine 10 and fixed by a fixing means (not shown). Metal pins 64 that are metal pins are inserted into the through holes 62 of the multilayer wiring board 20 in this state. The metal pin 64 has a cylindrical shape having an outer diameter dimension substantially equal to the inner diameter dimension of the through hole 62, and comes into contact with the target pad layer 54 and the pad layer 26 by being inserted into the through hole 62. Electrically connected to the layer.

次に、図4に示すように、非貫通穴加工機10のドリル位置検出装置18における第2リード36の先端をパッド層26に電気的に接続する。この状態の多層配線板20の非貫通穴形成予定領域58に、駆動されているドリル刃12を押し当ててドリル加工を施していく。ドリル刃12が多層配線板20の内部に進行していくことにともない、非貫通穴68が形成されていく。そして、図5に示すように、ドリル刃12の先端がターゲットパッド層54に到達すると、ドリル刃12とターゲットパッド層54とが導通する。つまり、ドリル位置検出装置18において、第1端子30と第2端子34とが、第1リード線32、ドリル刃12、ターゲットパッド層54、金属ピン64、パッド層26及び第2リード線36を介して電気的に接続され導通状態となる。これによりドリル位置検出装置18は、ドリル刃の先端がターゲットパッド層54の部分に位置することを検出し、ドリル位置検出信号を駆動制御装置16へ送信する。ドリル位置検出信号を受信した駆動制御装置16は、ドリル刃12の駆動停止の信号をドリル刃駆動装置14へ送信する。駆動停止の信号を受信したドリル刃駆動装置14は、ドリル刃12の駆動を停止する。これにより、高精度にドリル刃12の位置決めができ、ターゲットパッド層54までの非貫通穴68が形成される。   Next, as shown in FIG. 4, the tip of the second lead 36 in the drill position detection device 18 of the non-through hole processing machine 10 is electrically connected to the pad layer 26. In this state, the driven drill blade 12 is pressed against the non-through hole formation scheduled region 58 of the multilayer wiring board 20 to perform drilling. As the drill blade 12 advances into the multilayer wiring board 20, non-through holes 68 are formed. As shown in FIG. 5, when the tip of the drill blade 12 reaches the target pad layer 54, the drill blade 12 and the target pad layer 54 are electrically connected. That is, in the drill position detection device 18, the first terminal 30 and the second terminal 34 connect the first lead wire 32, the drill blade 12, the target pad layer 54, the metal pin 64, the pad layer 26, and the second lead wire 36. Are electrically connected to each other through a conductive state. As a result, the drill position detection device 18 detects that the tip of the drill blade is positioned at the portion of the target pad layer 54, and transmits a drill position detection signal to the drive control device 16. The drive control device 16 that has received the drill position detection signal transmits a drive stop signal for the drill blade 12 to the drill blade drive device 14. The drill blade driving device 14 that has received the drive stop signal stops driving the drill blade 12. Thereby, the drill blade 12 can be positioned with high accuracy, and the non-through hole 68 to the target pad layer 54 is formed.

非貫通穴68が形成された多層配線板20は、図6(a)に示すように、ドリル刃12が抜かれるとともに第2リード線36が取り外され、更に、図6(b)に示すように金属ピン64が抜かれた後、樹脂製治具66から取り外されて、めっき処理が施される。ここでのめっき処理は、銅の無電解めっきが好適に用いられる。なお、このとき、銅の電解めっきも併せて採用することもできる。   In the multilayer wiring board 20 in which the non-through holes 68 are formed, the drill blade 12 is pulled out and the second lead wire 36 is removed as shown in FIG. 6A. Further, as shown in FIG. After the metal pin 64 is pulled out, it is removed from the resin jig 66 and plated. For the plating treatment here, electroless plating of copper is suitably used. At this time, copper electroplating can also be employed.

ここでのめっき処理の条件は、特に限定されるものではなく、所望厚さのめっき層70が形成できる条件を採用することが好ましい。   The conditions for the plating treatment here are not particularly limited, and it is preferable to adopt conditions under which a plating layer 70 having a desired thickness can be formed.

上記のようなめっき処理により、非貫通穴68内にめっき層70が形成され、図6(c)に示すようなブラインドビアホール72を有する多層配線板20が得られる。   By the above plating process, the plated layer 70 is formed in the non-through hole 68, and the multilayer wiring board 20 having the blind via hole 72 as shown in FIG. 6C is obtained.

このようなブラインドビアホール72を有する多層配線板20は、引き続きエッチング処理等が施されることにより、所望の配線パターンを有する回路基板1となる。   The multilayer wiring board 20 having such a blind via hole 72 is subsequently subjected to an etching process or the like, thereby becoming a circuit board 1 having a desired wiring pattern.

ここで、第1の実施形態では、溝部28には、めっきレジストを塗布し、上記しためっき処理においてもめっきが施されないようにした。しかし、本発明では、この態様に限定されるものではなく、溝部28にめっきレジストを塗布せず、溝部28をめっき層70で埋めて、パッド層26の部分にもエッチング処理を行い、配線パターンを形成しても構わない。   Here, in the first embodiment, the groove 28 is coated with a plating resist so that plating is not performed even in the above-described plating process. However, the present invention is not limited to this mode. The plating resist is not applied to the groove 28, the groove 28 is filled with the plating layer 70, the pad layer 26 is etched, and the wiring pattern is formed. May be formed.

上記したような本発明の回路基板1の製造方法によれば、従来のような電気接続用めっきスルーホールを形成するためのめっき処理工程を省略することができ、めっき処理は、ブラインドビアホール72を形成するための非貫通穴68へのめっき処理の1回のみとすることができる。このため、外部導電体層24とめっき層70とが合わせられて形成された表面金属層74の厚さを従来よりも薄くできるので、配線パターンの幅を細くできるとともにばらつきを小さく抑えることができる。その結果、配線パターンの高密度化が可能となるとともに回路基板のインピーダンス特性が良好となり、また、回路形成における断線や短絡などの不良の発生率も低減でき、製品の歩留まりも向上する。更に、めっき処理の回数の削減により製造コストも従来よりも低くすることができる。   According to the method for manufacturing the circuit board 1 of the present invention as described above, the plating process for forming the plating through hole for electrical connection as in the prior art can be omitted. It is possible to perform only one plating process on the non-through hole 68 for forming. For this reason, since the thickness of the surface metal layer 74 formed by combining the external conductor layer 24 and the plating layer 70 can be made thinner than before, the width of the wiring pattern can be reduced and the variation can be reduced. . As a result, the wiring pattern can be densified, the impedance characteristics of the circuit board can be improved, the rate of occurrence of defects such as disconnection and short circuit in circuit formation can be reduced, and the yield of products can be improved. In addition, the manufacturing cost can be reduced by reducing the number of plating treatments.

(第2の実施形態)
第2の実施形態は、金属ピン64の代わりに導電性ペースト76を貫通孔62内に充填し、この導電性ペースト76によりターゲットパッド層54及びパッド層26との電気的な接続構造を形成したことを除いては、第1の実施形態と同じである。よって、第1の実施形態と同じ部材については、第1の実施形態と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略し、第1の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(Second Embodiment)
In the second embodiment, a conductive paste 76 is filled in the through holes 62 instead of the metal pins 64, and an electrical connection structure between the target pad layer 54 and the pad layer 26 is formed by the conductive paste 76. Except for this, it is the same as the first embodiment. Therefore, the same members as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted, and only portions different from those of the first embodiment will be described.

第2の実施形態においては、図7に示すように、貫通孔62を形成した多層配線板20(図3(b)参照)を非貫通穴加工機10の樹脂製治具64上に固定した後、貫通孔62内に導電性ペースト76を充填する。この導電性ペースト76としては、特に限定されるものではなく、例えば、エポキシ樹脂に銀粉末を含有させたものが好適に用いられる。   In the second embodiment, as shown in FIG. 7, the multilayer wiring board 20 (see FIG. 3B) in which the through holes 62 are formed is fixed on the resin jig 64 of the non-through hole processing machine 10. Thereafter, the conductive paste 76 is filled into the through hole 62. The conductive paste 76 is not particularly limited, and, for example, an epoxy resin containing silver powder is preferably used.

導電性ペースト76が貫通孔62に充填された多層配線板20は、図8に示すように、非貫通穴加工機10により、回転するドリル刃12が多層配線板20内に進行させられることにより非貫通穴68が形成される。そして、この第2の実施形態の場合、図9(a)に示すように、ドリル刃12を抜いた後の多層配線板20においては、導電性ペースト76は抜き出さず、貫通孔62内に保持したままとする。そして、この状態の多層配線板20にめっき処理を施すことにより、図9(b)に示すように、ブラインドビアホール72を形成する。   As shown in FIG. 8, the multilayer wiring board 20 in which the conductive paste 76 is filled in the through holes 62 is caused by the rotating drill blade 12 being advanced into the multilayer wiring board 20 by the non-through hole processing machine 10. A non-through hole 68 is formed. In the case of the second embodiment, as shown in FIG. 9A, in the multilayer wiring board 20 after the drill blade 12 has been pulled out, the conductive paste 76 is not pulled out and is inserted into the through hole 62. Keep holding. Then, by performing a plating process on the multilayer wiring board 20 in this state, blind via holes 72 are formed as shown in FIG.

第2の実施形態における多層配線板20は、導電性ペースト76が充填されている部分が上面44側のパッド層26と下面46側の外部導電体層24とを接続する導通ビアとして利用することができ、貫通孔62が無駄になることを防止できる。また、第2の実施形態においては、導電性ペースト76が粘性を備えているので、ターゲットパッド層54やパッド層26の細かい欠落部分等の形状にも合致することができ、良好な電気接続性を発揮することができる。ここで、貫通孔62はドリル加工機を用いて形成されるが、このとき、貫通孔62の開口端部に位置付けられるパッド層26はドリル刃の加工にともないめくれや欠落が起こりやすい。このため、第1の実施形態のようにストレート形状の金属ピン64では接触不良が起こってしまう場合でも、第2の実施形態の導電性ペースト76であればパッド層26と良好な電気接続性を確保できるメリットがある。   In the multilayer wiring board 20 in the second embodiment, the portion filled with the conductive paste 76 is used as a conductive via that connects the pad layer 26 on the upper surface 44 side and the external conductor layer 24 on the lower surface 46 side. It is possible to prevent the through hole 62 from being wasted. Further, in the second embodiment, since the conductive paste 76 has viscosity, it can match the shape of the target pad layer 54 and the fine missing portion of the pad layer 26, and has good electrical connectivity. Can be demonstrated. Here, the through-hole 62 is formed using a drilling machine. At this time, the pad layer 26 positioned at the opening end of the through-hole 62 is likely to be turned or missing as the drill blade is processed. For this reason, even if a contact failure occurs in the straight metal pin 64 as in the first embodiment, the conductive paste 76 of the second embodiment has good electrical connectivity with the pad layer 26. There is a merit that can be secured.

(第3の実施形態)
第3の実施形態は、金属ピン64の外径寸法を貫通孔62の内径寸法よりも大きくし、図3(c)に示すように、貫通孔62に金属ピン64を挿入する際に、金属ピン64を貫通孔62内へ圧入することを除いては、第1の実施形態と同じである。
(Third embodiment)
In the third embodiment, the outer diameter dimension of the metal pin 64 is larger than the inner diameter dimension of the through hole 62, and when the metal pin 64 is inserted into the through hole 62 as shown in FIG. Except for press-fitting the pin 64 into the through-hole 62, this is the same as in the first embodiment.

貫通孔62の開口端部に位置付けられるパッド層26は、上記したようにめくれや欠落が起こりやすく、パッド層26と金属ピン64との間の電気接続性は、不安定になりやすい。このため、金属ピン64を貫通孔62内へ圧入することにより、パッド層26と金属ピン64の密着性が高まる。
この第3の実施形態によれば、パッド層26と金属ピン64との間の接触不良は抑制されるので、第1の実施形態に比べてドリル刃12の位置検出の精度がより向上する。
(第4の実施形態)
As described above, the pad layer 26 positioned at the opening end of the through-hole 62 is likely to be turned over or missing, and the electrical connectivity between the pad layer 26 and the metal pin 64 tends to be unstable. For this reason, the press-fit of the metal pin 64 into the through hole 62 increases the adhesion between the pad layer 26 and the metal pin 64.
According to the third embodiment, since the contact failure between the pad layer 26 and the metal pin 64 is suppressed, the accuracy of position detection of the drill blade 12 is further improved as compared with the first embodiment.
(Fourth embodiment)

図10は、第4の実施形態を示す。第4の実施形態は、図10から明らかなように、金属ピン64の頭部とその周囲のパッド層26との間を導電性テープ80で電気的に接続していることを除いては、第1の実施形態と同じである。よって、第1の実施形態と同じ部材については、第1の実施形態と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略し、第1の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。   FIG. 10 shows a fourth embodiment. As is apparent from FIG. 10, the fourth embodiment, except that the head of the metal pin 64 and the surrounding pad layer 26 are electrically connected with the conductive tape 80, The same as in the first embodiment. Therefore, the same members as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted, and only portions different from those of the first embodiment will be described.

この第4の実施形態においては、図3(c)に示すように、金属ピン64を貫通孔62に挿入した後、図10に示すように金属ピン64の頭部から、その周囲のパッド層26に亘り導電性テープ80を貼付する。その後、非貫通穴加工機10を用いて非貫通穴68を形成する。   In the fourth embodiment, as shown in FIG. 3 (c), after inserting the metal pin 64 into the through hole 62, the surrounding pad layer is formed from the head of the metal pin 64 as shown in FIG. 26, a conductive tape 80 is applied. Thereafter, the non-through hole 68 is formed using the non-through hole processing machine 10.

貫通孔62の開口端部に位置付けられるパッド層26は、上記したようにめくれや欠落が起こりやすく、パッド層26と金属ピン64との間の電気接続性は、不安定になりやすい。このため、導電性テープ80を貼着することにより、電気接続性を補完することができる。   As described above, the pad layer 26 positioned at the opening end of the through-hole 62 is likely to be turned over or missing, and the electrical connectivity between the pad layer 26 and the metal pin 64 tends to be unstable. For this reason, electrical connectivity can be complemented by sticking the conductive tape 80.

この第4の実施形態によれば、パッド層26と金属ピン64との間の接触不良は抑制されるので、第1の実施形態に比べてドリル刃12の位置検出の精度がより向上する。   According to the fourth embodiment, since the contact failure between the pad layer 26 and the metal pin 64 is suppressed, the accuracy of position detection of the drill blade 12 is further improved as compared with the first embodiment.

(第5の実施形態)
図11は、第5の実施形態を示す。第5の実施形態は、図11から明らかなように、金属ピン64の代わりに、形状が先細り状となっているテーパーピン82を用いたことを除いては、第1の実施形態と同じである。よって、第1の実施形態と同じ部材については、第1の実施形態と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略し、第1の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(Fifth embodiment)
FIG. 11 shows a fifth embodiment. As apparent from FIG. 11, the fifth embodiment is the same as the first embodiment except that a tapered pin 82 having a tapered shape is used instead of the metal pin 64. is there. Therefore, the same members as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted, and only portions different from those of the first embodiment will be described.

この第5の実施形態においては、図3(b)に示すような、貫通孔62が穿設された多層配線板20を樹脂製治具66上に固定した後、図11に示すように、貫通孔62内にテーパーピン82を挿入するとともに、僅かに押し込む。その後、非貫通穴加工機10を用いて非貫通穴68を形成する。   In the fifth embodiment, as shown in FIG. 11, after fixing the multilayer wiring board 20 with the through holes 62 as shown in FIG. 3B on the resin jig 66, The taper pin 82 is inserted into the through hole 62 and pushed slightly. Thereafter, the non-through hole 68 is formed using the non-through hole processing machine 10.

貫通孔62の開口端部に位置付けられるパッド層26は、上記したようにめくれや欠落が起こりやすく、パッド層26とストレート形状の金属ピン64との間の電気接続性は、不安定になりやすい。そこで、先細り形状を有するテーパーピン82を用い、このテーパーピン82を押し込む。これにより、テーパーピン82の頭部の周縁におけるテーパー部が貫通孔62の開口端を僅かに拡径し、テーパーピン82とパッド層26との密着性を高めることができる。   As described above, the pad layer 26 positioned at the opening end of the through-hole 62 is likely to be turned over or missing, and the electrical connectivity between the pad layer 26 and the straight metal pin 64 tends to be unstable. . Therefore, a taper pin 82 having a tapered shape is used, and the taper pin 82 is pushed in. Thereby, the taper part in the periphery of the head part of the taper pin 82 can expand the opening end of the through-hole 62 slightly, and the adhesiveness of the taper pin 82 and the pad layer 26 can be improved.

この第5の実施形態によれば、パッド層26とテーパーピン82との間の接触不良は抑制されるので、第1の実施形態に比べてドリル刃12の位置検出の精度がより向上する。   According to the fifth embodiment, since the contact failure between the pad layer 26 and the taper pin 82 is suppressed, the position detection accuracy of the drill blade 12 is further improved as compared with the first embodiment.

(第6の実施形態)
図12は、第6の実施形態を示す。第6の実施形態は、図12から明らかなように、金属ピンの代わりに、かしめ加工用のかしめピン84を用いたことを除いては、第1の実施形態と同じである。よって、第1の実施形態と同じ部材については、第1の実施形態と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略し、第1の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(Sixth embodiment)
FIG. 12 shows a sixth embodiment. As apparent from FIG. 12, the sixth embodiment is the same as the first embodiment except that a caulking pin 84 for caulking is used instead of the metal pin. Therefore, the same members as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted, and only portions different from those of the first embodiment will be described.

この第6の実施形態においては、図3(b)に示すような、貫通孔62が穿設された多層配線板20を樹脂製治具66上に固定した後、図12に示すように、貫通孔62内にかしめピン84を挿入するとともに、かしめピン84の頭部84aを潰してかしめ加工を行う。その後、非貫通穴加工機10を用いて非貫通穴68を形成する。   In the sixth embodiment, after fixing the multilayer wiring board 20 with the through holes 62 as shown in FIG. 3B on the resin jig 66, as shown in FIG. The caulking pin 84 is inserted into the through hole 62, and the head portion 84a of the caulking pin 84 is crushed and caulking is performed. Thereafter, the non-through hole 68 is formed using the non-through hole processing machine 10.

貫通孔62の開口端部に位置付けられるパッド層26は、上記したようにめくれや欠落が起こりやすく、パッド層26とストレート形状の金属ピン64との間の電気接続性は、不安定になりやすい。そこで、かしめピン84を用い、このかしめピン84の頭部84aを潰す。これにより、かしめピン84の頭部84aは変形し、その周縁は拡径する。その結果、かしめピン84とパッド層26との密着性を高めることができる。   As described above, the pad layer 26 positioned at the opening end of the through-hole 62 is likely to be turned over or missing, and the electrical connectivity between the pad layer 26 and the straight metal pin 64 tends to be unstable. . Therefore, the caulking pin 84 is used and the head 84a of the caulking pin 84 is crushed. As a result, the head portion 84a of the caulking pin 84 is deformed and the peripheral edge thereof is expanded in diameter. As a result, the adhesion between the caulking pin 84 and the pad layer 26 can be improved.

この第6の実施形態によれば、パッド層26とかしめピン84との間の接触不良は抑制されるので、第1の実施形態に比べてドリル刃12の位置検出の精度がより向上する。   According to the sixth embodiment, since the contact failure between the pad layer 26 and the caulking pin 84 is suppressed, the accuracy of position detection of the drill blade 12 is further improved as compared with the first embodiment.

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、上記の各実施形態を組み合わせることも可能である。例えば、貫通孔62よりも大径の金属ピン64、テーパーピン82及びかしめピン84の頭部に導電性テープ80を貼着してパッド層26と電気的に接続することも可能である。また、貫通孔62よりも大径の金属ピン64及びテーパーピン82の頭部を潰してかしめ加工を追加することも可能である。   In addition, this invention is not limited to above-described embodiment, It is also possible to combine said each embodiment. For example, the conductive tape 80 may be attached to the heads of the metal pins 64, the taper pins 82, and the caulking pins 84 having a diameter larger than that of the through holes 62 to be electrically connected to the pad layer 26. It is also possible to add a caulking process by crushing the heads of the metal pin 64 and the taper pin 82 having a diameter larger than that of the through hole 62.

ここで、本発明においては、各種のピンが挿入される、或いは、導電性ペーストが充填される貫通孔62は、ワークボードのどの位置に形成しても構わないが、貫通孔62のよりよい形成位置について以下に説明する。   Here, in the present invention, the through hole 62 into which various pins are inserted or filled with the conductive paste may be formed at any position on the work board, but the through hole 62 is better. The formation position will be described below.

まず、上記した第3の実施形態、第5の実施態様及び第6の実施態様のように、金属ピン64の圧入、テーパーピン82の押し込み又はかしめピン84のかしめ加工等により多層配線板20に多少ダメージが及ぶような場合には、図1中の参照符号86で示すような、ワークボード2の外枠部分4の所定位置に貫通孔62を設けることが好ましい。この場合、貫通孔62と製品(回路基板1)との間の間隔があき、製品(回路基板1)への影響を少なくすることができる。   First, as in the third embodiment, the fifth embodiment, and the sixth embodiment described above, the multilayer wiring board 20 is formed by press-fitting the metal pin 64, pushing the taper pin 82, or caulking the caulking pin 84, or the like. When some damage is caused, it is preferable to provide a through hole 62 at a predetermined position of the outer frame portion 4 of the work board 2 as indicated by reference numeral 86 in FIG. In this case, there is a space between the through hole 62 and the product (circuit board 1), and the influence on the product (circuit board 1) can be reduced.

一方、ワークボード2は、反りをともなうため、ドリル刃12の位置検出の精度をより上げるためには、出来る限り製品(回路基板1)に近い部分に貫通孔62を設けることが好ましい。この場合、図1中の参照符号88で示すように、捨て枠部8の所定位置に貫通孔62を設けることが好ましい。   On the other hand, since the work board 2 is warped, it is preferable to provide a through hole 62 as close to the product (circuit board 1) as possible in order to further improve the accuracy of position detection of the drill blade 12. In this case, as indicated by reference numeral 88 in FIG. 1, it is preferable to provide a through hole 62 at a predetermined position of the discard frame portion 8.

また、ドリル刃62の位置検出の精度を更に上げるためには、製品(回路基板1)内に貫通孔を設けることが好ましい。この場合、図1中の参照符号90で示すように、製品(回路基板1)内の所定位置に貫通孔62を設けることが好ましい。製品(回路基板1)内に貫通孔62を設けると、捨て枠部8に貫通孔62を設けた場合よりもドリル刃12の位置検出の精度が上がる。より好ましくは、貫通孔62は回路基板1内でも有効利用できるように導通ビアとしても使える位置に形成する。この場合、上記した導電性ペーストを用いる第2の実施形態を採用することが好ましい。   In order to further improve the accuracy of detecting the position of the drill blade 62, it is preferable to provide a through hole in the product (circuit board 1). In this case, as indicated by reference numeral 90 in FIG. 1, it is preferable to provide a through hole 62 at a predetermined position in the product (circuit board 1). When the through hole 62 is provided in the product (circuit board 1), the accuracy of detecting the position of the drill blade 12 is higher than when the through hole 62 is provided in the throwing frame portion 8. More preferably, the through hole 62 is formed at a position where it can be used as a conductive via so that it can be used effectively in the circuit board 1. In this case, it is preferable to employ the second embodiment using the above-described conductive paste.

〈本発明の実施態様〉
本発明の第1実施態様に係るプリント基板の製造方法は、絶縁性の基板と、前記基板の内部に設けられた多数の内部導電体層と、前記基板の表面部に設けられた外部導電体層及びパッド層を有する多層配線板を準備し、前記多層配線板に、前記内部導電体層のうち目標とする目標内部導電体層及び前記パッド層を貫く貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、ドリル刃を駆動するドリル刃駆動装置と、前記ドリル刃駆動装置を制御する駆動制御装置と、前記ドリル刃が電気的に接続された第1入力端及び検出対象が接続されるべき第2入力端を有し、前記第1入力端と前記第2入力端との導通を検出可能であり、前記ドリル刃と前記検出対象との導通を検出した際に、その検出情報を前記駆動制御装置へ送る導通検出装置と、前記ドリル刃で加工する対象を保持可能な治具とを有するドリル加工機を準備し、前記多層配線板を前記治具に保持し、前記パッド層と前記第2入力端とを電気的に接続するとともに、前記貫通孔に導電性物体を挿入し、前記導電性物体を前記目標内部導電体層及び前記パッド層に接触させる準備工程と、前記ドリル加工機を用いて、前記多層配線板の前記外部導電体層の部分に、駆動する前記ドリル刃を押し付けてドリル加工を進め、前記ドリル刃の先端が前記目標内部導電体層に接触しこの目標内部導電体層と前記ドリル刃との導通が前記導通検出装置により検出されたときに前記導通検出装置からの検出情報を基に前記駆動制御装置が前記ドリル刃駆動装置を停止し、前記外部導電体層から前記目標内部導電体層まで延びる非貫通穴を形成する非貫通穴形成工程と、を備えている。
<Embodiment of the present invention>
A printed circuit board manufacturing method according to a first embodiment of the present invention includes an insulating substrate, a number of internal conductor layers provided inside the substrate, and an external conductor provided on a surface portion of the substrate. A through hole forming step of preparing a multilayer wiring board having a layer and a pad layer, and forming a through hole penetrating through the target internal conductor layer and the pad layer among the internal conductor layers in the multilayer wiring board; A drill blade drive device for driving the drill blade, a drive control device for controlling the drill blade drive device, a first input terminal to which the drill blade is electrically connected, and a second input to which the detection target is to be connected And detecting the continuity between the first input end and the second input end, and detecting the continuity between the drill blade and the detection target, the detected information to the drive control device Processing with the continuity detection device to send and the drill blade A drilling machine having a jig capable of holding a target to be held, holding the multilayer wiring board on the jig, electrically connecting the pad layer and the second input end, and Inserting a conductive object into the hole and bringing the conductive object into contact with the target internal conductive layer and the pad layer; and using the drilling machine, the external conductive layer of the multilayer wiring board The drill blade is pressed against the portion to advance the drilling process, and the tip of the drill blade contacts the target internal conductor layer, and the conduction between the target internal conductor layer and the drill blade is caused by the conduction detecting device. When detected, the drive control device stops the drill blade drive device based on detection information from the continuity detection device, and forms a non-through hole extending from the external conductor layer to the target internal conductor layer. Non-through hole type It is provided with a step.

第1実施態様に係る回路基板の製造方法は、多層配線板に設けられた貫通孔内に導電性物体を挿入することにより、この導電性物体を目標とする目標内部導電体層に接触させ、この導電性物体を介して、目標内部導電体層とドリル刃との導通を検知してドリル刃の位置決めを行う。このため、従来通りの非貫通穴の深さ方向の位置決め精度を維持しつつ、従来行っていた上記したような貫通孔内へのめっき処理(電気接続用めっきスルーホールの形成)を省略することができる。したがって、めっき処理はブラインドビアホールを形成する際の1回のみとすることができるため、外部導電体層とめっき層の合計の厚さを従来よりも薄くできる。その結果、エッチングによる表層の回路形成性は従来よりも良好となる。このため、回路幅を細くすることができ、回路の高密度化が図れる。また、回路幅のばらつきも小さく抑えることができるので、回路基板のインピーダンス特性を向上させることができるとともに、回路形成における断線や短絡などの不良の発生率も低減でき、製品の歩留まりも向上する。   In the method for manufacturing a circuit board according to the first embodiment, by inserting a conductive object into a through-hole provided in the multilayer wiring board, the conductive object is brought into contact with a target internal conductor layer, Through this conductive object, the drill blade is positioned by detecting the conduction between the target internal conductor layer and the drill blade. For this reason, while maintaining the conventional positioning accuracy in the depth direction of the non-through holes, the conventional plating process (formation of plated through holes for electrical connection) as described above is omitted. Can do. Therefore, since the plating process can be performed only once when the blind via hole is formed, the total thickness of the external conductor layer and the plating layer can be made thinner than before. As a result, the surface circuit formation by etching is better than before. For this reason, the circuit width can be narrowed, and the circuit density can be increased. In addition, since variations in circuit width can be suppressed to a small level, the impedance characteristics of the circuit board can be improved, the occurrence rate of defects such as disconnection and short circuit in circuit formation can be reduced, and the yield of products can be improved.

また、上記したように従来よりもめっき処理の回数を減らすことができるので、回路基板の製造における製造コストを従来よりも低減させることができる。   Moreover, since the frequency | count of a plating process can be reduced compared with the past as mentioned above, the manufacturing cost in manufacture of a circuit board can be reduced compared with the past.

本発明の第2実施態様に係る回路基板の製造方法は、第1実施態様に係るプリント基板の製造方法であって、前記導電性物体は、金属ピンである。この構成によれば、金属ピンといった簡便な部材を用いるだけで、第1実施態様に係る効果を得ることができる。   A circuit board manufacturing method according to a second embodiment of the present invention is a printed circuit board manufacturing method according to the first embodiment, in which the conductive object is a metal pin. According to this configuration, the effect according to the first embodiment can be obtained only by using a simple member such as a metal pin.

本発明の第3実施態様に係る回路基板の製造方法は、第2実施態様に係るプリント基板の製造方法であって、前記金属ピンは、円柱状をなす円柱ピンであり、前記円柱ピンの外径は、前記円柱ピンが挿入される前記貫通孔の内径よりも大きく、前記導電性物体挿入工程で前記円柱ピンが前記貫通孔に圧入される。この構成によれば、金属ピンとパッド層との電気接続性が高まりドリル刃の位置検出精度がより向上する。   A method for manufacturing a circuit board according to a third embodiment of the present invention is a method for manufacturing a printed circuit board according to the second embodiment, wherein the metal pin is a cylindrical pin having a cylindrical shape, and the outside of the cylindrical pin. The diameter is larger than the inner diameter of the through hole into which the cylindrical pin is inserted, and the cylindrical pin is press-fitted into the through hole in the conductive object inserting step. According to this configuration, the electrical connectivity between the metal pin and the pad layer is increased, and the position detection accuracy of the drill blade is further improved.

本発明の第4実施態様に係る回路基板の製造方法は、第2実施態様に係るプリント基板の製造方法であって、前記金属ピンは、先細り形状をなすテーパーピンである。この構成によれば、金属ピンとパッド層との電気接続性が高まりドリルの位置検出精度がより向上する。   A circuit board manufacturing method according to a fourth embodiment of the present invention is a printed circuit board manufacturing method according to the second embodiment, wherein the metal pin is a tapered pin having a tapered shape. According to this configuration, the electrical connectivity between the metal pin and the pad layer is increased, and the position detection accuracy of the drill is further improved.

本発明の第5実施態様に係る回路基板の製造方法は、第2乃至第4実施態様のいずれかに係るプリント基板の製造方法であって、前記導電性物体挿入工程で前記金属ピンの頭部が潰されてかしめ加工が施される。この構成によれば、金属ピンとパッド層との電気接続性が更に高まりドリル刃の位置検出精度がより向上する。   A method for manufacturing a circuit board according to a fifth embodiment of the present invention is a method for manufacturing a printed circuit board according to any of the second to fourth embodiments, wherein the head of the metal pin in the conductive object insertion step. Is crushed and caulked. According to this configuration, the electrical connectivity between the metal pin and the pad layer is further increased, and the position detection accuracy of the drill blade is further improved.

本発明の第6実施態様に係る回路基板の製造方法は、第1乃至第5実施態様のいずれかに係るプリント基板の製造方法であって、前記金属ピンの頭部と、前記頭部の周囲に位置する前記パッド層とが導電性テープで接続されている。この構成によれば、導電性テープにより金属ピンとパッド層との電気接続性が補完されドリル刃の位置検出精度がより向上する。   A circuit board manufacturing method according to a sixth embodiment of the present invention is a printed circuit board manufacturing method according to any of the first to fifth embodiments, wherein the head of the metal pin and the periphery of the head The pad layer located at a position is connected with a conductive tape. According to this configuration, electrical conductivity between the metal pin and the pad layer is complemented by the conductive tape, and the position detection accuracy of the drill blade is further improved.

本発明の第7実施態様に係る回路基板の製造方法は、第1実施態様に係るプリント基板の製造方法であって、前記導電性物体は、導電性ペーストである。この構成によれば、上述した第1実施態様に係る効果がより顕著に奏されることになるとともに、導電性ペーストを挿入した貫通孔の部分を導通ビアとしても利用できる。   A circuit board manufacturing method according to a seventh embodiment of the present invention is a printed circuit board manufacturing method according to the first embodiment, wherein the conductive object is a conductive paste. According to this configuration, the effects according to the first embodiment described above are more remarkably exhibited, and the portion of the through hole into which the conductive paste is inserted can be used as a conductive via.

本発明の第8実施態様に係る回路基板の製造方法は、第1乃至第7実施態様のいずれかに係るプリント基板の製造方法であって、前記多層配線板は、ワークボードからなり、前記ワークボードは、周縁に位置する外枠部と、前記外枠部の内側に位置し、捨て枠部を含む複数個のシートと、前記捨て枠部の内側に位置し、製品としての回路基板となるべき複数個の製品部とを有しており、前記貫通孔形成工程にて、前記貫通孔を前記外枠部に形成する。この構成により、貫通孔と製品(回路基板)との間の間隔があき、金属ピン等の圧入にともなう製品(回路基板)へのダメージを少なくすることができる。   A circuit board manufacturing method according to an eighth embodiment of the present invention is a printed circuit board manufacturing method according to any one of the first to seventh embodiments, wherein the multilayer wiring board comprises a work board, The board is an outer frame portion positioned at the periphery, a plurality of sheets positioned inside the outer frame portion, including the discard frame portion, and a circuit board as a product positioned inside the discard frame portion. A plurality of product parts, and the through hole is formed in the outer frame part in the through hole forming step. With this configuration, there is a space between the through hole and the product (circuit board), and damage to the product (circuit board) due to press-fitting of metal pins or the like can be reduced.

本発明の第9実施態様に係る回路基板の製造方法は、第1乃至第7実施態様のいずれかに係るプリント基板の製造方法であって、前記多層配線板は、ワークボードからなり、前記ワークボードは、周縁に位置する外枠部と、前記外枠部の内側に位置し、捨て枠部を含む複数個のシートと、前記捨て枠部の内側に位置し、製品としての回路基板となるべき複数個の製品部とを有しており、前記貫通孔形成工程にて、前記貫通孔を前記捨て枠部に形成する。この構成により、ワークボードの反りにともなうドリル刃の位置検出精度への影響を少なくすることができる。   A circuit board manufacturing method according to a ninth embodiment of the present invention is a printed circuit board manufacturing method according to any of the first to seventh embodiments, wherein the multilayer wiring board is formed of a work board, The board is an outer frame portion positioned at the periphery, a plurality of sheets positioned inside the outer frame portion, including the discard frame portion, and a circuit board as a product positioned inside the discard frame portion. A plurality of product parts, and the through holes are formed in the discard frame part in the through hole forming step. With this configuration, it is possible to reduce the influence on the position detection accuracy of the drill blade due to the warping of the work board.

本発明の第10実施態様に係る回路基板の製造方法は、第1乃至第7実施態様のいずれかに係るプリント基板の製造方法であって、前記多層配線板は、ワークボードからなり、前記ワークボードは、周縁に位置する外枠部と、前記外枠部の内側に位置し、捨て枠部を含む複数個のシートと、前記捨て枠部の内側に位置し、製品としての回路基板となるべき複数個の製品部とを有しており、前記貫通孔形成工程にて、前記貫通孔を前記製品部に形成する。この構成により、ドリル刃の位置検出の精度が更に向上する。   A circuit board manufacturing method according to a tenth embodiment of the present invention is a printed circuit board manufacturing method according to any one of the first to seventh embodiments, wherein the multilayer wiring board comprises a work board, The board is an outer frame portion positioned at the periphery, a plurality of sheets positioned inside the outer frame portion, including the discard frame portion, and a circuit board as a product positioned inside the discard frame portion. A plurality of product parts, and the through hole is formed in the product part in the through hole forming step. With this configuration, the accuracy of detecting the position of the drill blade is further improved.

1 回路基板
10 非貫通穴加工機
12 ドリル刃
14 ドリル刃駆動装置
16 駆動制御装置
18 ドリル位置検出装置
20 多層配線板
24 外部導電体層
26 パッド層
54 目標内部導電体層(ターゲットパッド層)
62 貫通孔
68 非貫通穴
72 ブラインドビアホール
76 導電性ペースト
80 導電性テープ
82 テーパーピン
84 かしめピン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Circuit board 10 Non-through-hole processing machine 12 Drill blade 14 Drill blade drive device 16 Drive control device 18 Drill position detection device 20 Multilayer wiring board 24 External conductor layer 26 Pad layer 54 Target internal conductor layer (target pad layer)
62 through-hole 68 non-through-hole 72 blind via hole 76 conductive paste 80 conductive tape 82 taper pin 84 caulking pin

Claims (10)

絶縁性の基板と、前記基板の内部に設けられた多数の内部導電体層と、前記基板の表面部に設けられた外部導電体層及びパッド層を有する多層配線板を準備し、前記多層配線板に、前記内部導電体層のうち目標とする目標内部導電体層及び前記パッド層を貫く貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
ドリル刃を駆動するドリル刃駆動装置と、前記ドリル刃駆動装置を制御する駆動制御装置と、前記ドリル刃が電気的に接続された第1入力端及び検出対象が接続されるべき第2入力端を有し、前記第1入力端と前記第2入力端との導通を検出可能であり、前記ドリル刃と前記検出対象との導通を検出した際に、その検出情報を前記駆動制御装置へ送る導通検出装置と、前記ドリル刃で加工する対象を保持可能な治具とを有するドリル加工機を準備し、前記多層配線板を前記治具に保持し、前記パッド層と前記第2入力端とを電気的に接続するとともに、前記貫通孔に導電性物体を挿入し、前記導電性物体を前記目標内部導電体層及び前記パッド層に接触させる準備工程と、
前記ドリル加工機を用いて、前記多層配線板の前記外部導電体層の部分に、駆動する前記ドリル刃を押し付けてドリル加工を進め、前記ドリル刃の先端が前記目標内部導電体層に接触しこの目標内部導電体層と前記ドリル刃との導通が前記導通検出装置により検出されたときに前記導通検出装置からの検出情報を基に前記駆動制御装置が前記ドリル刃駆動装置を停止し、前記外部導電体層から前記目標内部導電体層まで延びる非貫通穴を形成する非貫通穴形成工程と、
を備えている、回路基板の製造方法。
Preparing a multilayer wiring board having an insulating substrate, a number of internal conductor layers provided inside the substrate, and an external conductor layer and a pad layer provided on a surface portion of the substrate; A through hole forming step for forming a through hole penetrating the target internal conductor layer and the pad layer among the internal conductor layers on the plate;
A drill blade driving device for driving a drill blade, a drive control device for controlling the drill blade driving device, a first input end to which the drill blade is electrically connected, and a second input end to which a detection target is to be connected When the continuity between the first input end and the second input end can be detected and the continuity between the drill blade and the detection target is detected, the detection information is sent to the drive control device. A drilling machine having a continuity detecting device and a jig capable of holding an object to be processed by the drill blade is prepared, the multilayer wiring board is held by the jig, the pad layer and the second input end And electrically connecting the conductive object to the through hole, and the conductive object is brought into contact with the target internal conductor layer and the pad layer, and
Using the drilling machine, the drill blade is pushed against the portion of the external conductor layer of the multilayer wiring board to advance the drilling process, and the tip of the drill blade comes into contact with the target internal conductor layer. When the continuity between the target internal conductor layer and the drill blade is detected by the continuity detection device, the drive control device stops the drill blade drive device based on the detection information from the continuity detection device, A non-through hole forming step of forming a non-through hole extending from an external conductor layer to the target internal conductor layer;
A method for manufacturing a circuit board, comprising:
前記導電性物体は、金属ピンである、請求項1に記載の回路基板の製造方法。   The circuit board manufacturing method according to claim 1, wherein the conductive object is a metal pin. 前記金属ピンは、円柱状をなす円柱ピンであり、前記円柱ピンの外径は、前記円柱ピンが挿入される前記貫通孔の内径よりも大きく、前記導電性物体挿入工程で前記円柱ピンが前記貫通孔に圧入される、請求項2に記載の回路基板の製造方法。   The metal pin is a cylindrical pin having a cylindrical shape, and an outer diameter of the cylindrical pin is larger than an inner diameter of the through hole into which the cylindrical pin is inserted, and the cylindrical pin is inserted in the conductive object insertion step. The method for manufacturing a circuit board according to claim 2, wherein the circuit board is press-fitted into the through hole. 前記金属ピンは、先細り形状をなすテーパーピンである、請求項2に記載の回路基板の製造方法。   The circuit board manufacturing method according to claim 2, wherein the metal pin is a tapered pin having a tapered shape. 前記導電性物体挿入工程で前記金属ピンの頭部が潰されてかしめ加工が施される、請求項2〜4のいずれかに記載の回路基板の製造方法。   The method of manufacturing a circuit board according to claim 2, wherein a head portion of the metal pin is crushed and caulking is performed in the conductive object insertion step. 前記金属ピンの頭部と、前記頭部の周囲に位置する前記パッド層とが導電性テープで接続されている、請求項1〜5のいずれかに記載の回路基板の製造方法。   The circuit board manufacturing method according to claim 1, wherein a head of the metal pin and the pad layer located around the head are connected by a conductive tape. 前記導電性物体は、導電性ペーストである、請求項1に記載の回路基板の製造方法。   The circuit board manufacturing method according to claim 1, wherein the conductive object is a conductive paste. 前記多層配線板は、ワークボードからなり、前記ワークボードは、周縁に位置する外枠部と、前記外枠部の内側に位置し、捨て枠部を含む複数個のシートと、前記捨て枠部の内側に位置し、製品としての回路基板となるべき複数個の製品部とを有しており、
前記貫通孔形成工程にて、前記貫通孔を前記外枠部に形成する、請求項1〜7のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
The multilayer wiring board is formed of a work board, and the work board is located on a peripheral edge, a plurality of sheets positioned inside the outer frame part and including a discard frame part, and the discard frame part. And has a plurality of product parts to be circuit boards as products,
The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the through hole is formed in the outer frame portion in the through hole forming step.
前記多層配線板は、ワークボードからなり、前記ワークボードは、周縁に位置する外枠部と、前記外枠部の内側に位置し、捨て枠部を含む複数個のシートと、前記捨て枠部の内側に位置し、製品としての回路基板となるべき複数個の製品部とを有しており、
前記貫通孔形成工程にて、前記貫通孔を前記捨て枠部に形成する、請求項1〜7のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
The multilayer wiring board is formed of a work board, and the work board is located on a peripheral edge, a plurality of sheets positioned inside the outer frame part and including a discard frame part, and the discard frame part. And has a plurality of product parts to be circuit boards as products,
The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the through hole is formed in the discard frame portion in the through hole forming step.
前記多層配線板は、ワークボードからなり、前記ワークボードは、周縁に位置する外枠部と、前記外枠部の内側に位置し、捨て枠部を含む複数個のシートと、前記捨て枠部の内側に位置し、製品としての回路基板となるべき複数個の製品部とを有しており、
前記貫通孔形成工程にて、前記貫通孔を前記製品部に形成する、請求項1〜7のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
The multilayer wiring board is formed of a work board, and the work board is located on a peripheral edge, a plurality of sheets positioned inside the outer frame part and including a discard frame part, and the discard frame part. And has a plurality of product parts to be circuit boards as products,
The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the through hole is formed in the product portion in the through hole forming step.
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