JPWO2014199991A1 - Cover member, display device, and method of manufacturing cover member - Google Patents

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耕司 池上
伊村 正明
正明 伊村
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敏正 金井
悦二 福井
悦二 福井
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Abstract

防汚膜が剥離しにくいカバー部材を提供する。カバー部材1は、基材10と、防汚膜20とを備える。基材10は、基材本体11と、酸化ケイ素層12L1とを有する。酸化ケイ素層12L1は、基材本体11の上に配されている。酸化ケイ素層12L1は、基材10の最表層を構成している。防汚膜20は、酸化ケイ素層12L1の上に配されている。防汚膜20は、含フッ素重合体を含む。含フッ素重合体は、主鎖中にケイ素を含む。酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である。Provided is a cover member in which an antifouling film is difficult to peel off. The cover member 1 includes a base material 10 and an antifouling film 20. The substrate 10 includes a substrate body 11 and a silicon oxide layer 12L1. The silicon oxide layer 12L1 is disposed on the base body 11. The silicon oxide layer 12L1 constitutes the outermost layer of the base material 10. The antifouling film 20 is disposed on the silicon oxide layer 12L1. The antifouling film 20 contains a fluorine-containing polymer. The fluorine-containing polymer contains silicon in the main chain. The surface roughness of the surface of the silicon oxide layer 12L1 is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001.

Description

本発明は、カバー部材、それを備える表示装置及びカバー部材の製造方法に関する。   The present invention relates to a cover member, a display device including the same, and a method for manufacturing the cover member.

従来、表示装置には、表示面を保護するカバー部材が設けられている。カバー部材には、機械的強度が高いことに加えて、汚れにくいことが求められている。このため、例えば特許文献1などにおいて、カバー部材の最表面に防汚膜を設けることが提案されている。   Conventionally, a display device is provided with a cover member that protects the display surface. The cover member is required to be resistant to contamination in addition to high mechanical strength. For this reason, for example, Patent Document 1 proposes to provide an antifouling film on the outermost surface of the cover member.

国際公開第2011/066496号International Publication No. 2011-066496

防汚膜が指や他の部材と接触することにより防汚膜が剥離すると、防汚特性が低下する。このため、防汚膜の剥離を抑制したいという要望がある。   When the antifouling film peels off due to the antifouling film coming into contact with fingers or other members, the antifouling properties are deteriorated. For this reason, there is a demand for suppressing peeling of the antifouling film.

本発明の主な目的は、防汚膜が剥離しにくいカバー部材を提供することにある。   A main object of the present invention is to provide a cover member from which an antifouling film is difficult to peel off.

本発明に係る第1のカバー部材は、基材と、防汚膜とを備える。基材は、基材本体と、酸化ケイ素層とを有する。酸化ケイ素層は、基材本体の上に配されている。酸化ケイ素層は、基材の最表層を構成している。防汚膜は、酸化ケイ素層の上に配されている。防汚膜は、含フッ素重合体を含む。含フッ素重合体は、主鎖中にケイ素を含む。酸化ケイ素層の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である。   The first cover member according to the present invention includes a base material and an antifouling film. The substrate has a substrate body and a silicon oxide layer. The silicon oxide layer is disposed on the substrate body. The silicon oxide layer constitutes the outermost layer of the substrate. The antifouling film is disposed on the silicon oxide layer. The antifouling film contains a fluoropolymer. The fluorine-containing polymer contains silicon in the main chain. The surface roughness of the surface of the silicon oxide layer is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001.

本発明に係る第1のカバー部材では、防汚膜の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下であることが好ましい。   In the first cover member according to the present invention, the surface roughness of the antifouling film is preferably 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001.

本発明に係る第2のカバー部材は、基材と、防汚膜とを備える。基材は、基材本体と、酸化ケイ素層とを有する。酸化ケイ素層は、基材本体の上に配されている。酸化ケイ素層は、基材の最表層を構成している。防汚膜は、酸化ケイ素層の上に配されている。防汚膜は、含フッ素重合体を含む。含フッ素重合体は、主鎖中にケイ素を含む。防汚膜の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である。   The second cover member according to the present invention includes a base material and an antifouling film. The substrate has a substrate body and a silicon oxide layer. The silicon oxide layer is disposed on the substrate body. The silicon oxide layer constitutes the outermost layer of the substrate. The antifouling film is disposed on the silicon oxide layer. The antifouling film contains a fluoropolymer. The fluorine-containing polymer contains silicon in the main chain. The surface roughness of the surface of the antifouling film is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001.

本発明に係る第3のカバー部材は、基材を備える。基材は、基材本体と、酸化ケイ素層とを有する。酸化ケイ素層は、基材本体の上に配されている。酸化ケイ素層は、基材の最表層を構成している。酸化ケイ素層の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である。   The 3rd cover member concerning the present invention is provided with a substrate. The substrate has a substrate body and a silicon oxide layer. The silicon oxide layer is disposed on the substrate body. The silicon oxide layer constitutes the outermost layer of the substrate. The surface roughness of the surface of the silicon oxide layer is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001.

本発明に係る第1、第2または第3のカバー部材では、基材が、基材本体の上に配されており、酸化ケイ素層と、酸化ケイ素層よりも高い屈折率を有する高屈折率層とを含む多層膜を有していてもよい。その場合、多層膜を構成している各層の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下であることが好ましい。   In the first, second, or third cover member according to the present invention, the base material is disposed on the base body, and has a silicon oxide layer and a high refractive index having a higher refractive index than the silicon oxide layer. A multilayer film including a layer may be included. In that case, the surface roughness of each layer constituting the multilayer film is preferably 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001.

多層膜は、酸化ケイ素層を含む、相対的に低い屈折率を有する低屈折率層と、高屈折率層と、高屈折率層と低屈折率層との間に配されており、高屈折率層の屈折率と低屈折率層の屈折率との間に位置する屈折率を有する中屈折率層とを含んでいることが好ましい。   The multilayer film is disposed between a low refractive index layer having a relatively low refractive index, including a silicon oxide layer, a high refractive index layer, and a high refractive index layer and a low refractive index layer. It is preferable to include a middle refractive index layer having a refractive index located between the refractive index of the refractive index layer and the refractive index of the low refractive index layer.

中屈折率層は、当該中屈折率層に隣接する低屈折率層に含まれるカチオンと、当該中屈折率層に隣接する高屈折率層に含まれるカチオンとの両方を含むことが好ましい。   The middle refractive index layer preferably includes both cations contained in the low refractive index layer adjacent to the middle refractive index layer and cations contained in the high refractive index layer adjacent to the middle refractive index layer.

基材本体の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下であることが好ましい。   It is preferable that the surface roughness of the base body is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001.

基材本体の表面が未研磨面であることが好ましい。   The surface of the substrate body is preferably an unpolished surface.

基材本体はガラスにより構成されていてもよい。基材本体は強化ガラスにより構成されていてもよい。   The base body may be made of glass. The base body may be made of tempered glass.

基材本体が、オーバーフローダウンドロー法により成形されたガラス板により構成されていることが好ましい。   It is preferable that the base body is composed of a glass plate formed by an overflow downdraw method.

酸化ケイ素層に含まれるカチオンにおけるケイ素のモル比((ケイ素)/(カチオン))が0.9以上であることが好ましい。   The silicon molar ratio ((silicon) / (cation)) in the cation contained in the silicon oxide layer is preferably 0.9 or more.

酸化ケイ素層がアルミニウムを含んでいてもよい。   The silicon oxide layer may contain aluminum.

本発明に係る表示装置は、本発明に係る第1,第2または第3のカバー部材と、表示装置本体とを備える。表示装置本体は、表示面を有する。表示面は、カバー部材により覆われている。   A display device according to the present invention includes the first, second, or third cover member according to the present invention, and a display device body. The display device body has a display surface. The display surface is covered with a cover member.

本発明に係るカバー部材の製造方法は、本発明に係る第1,第2または第3のカバー部材を製造する方法に関する。本発明に係るカバー部材の製造方法では、酸化ケイ素層を、圧力が0.15Pa以下であるチャンバ中において、スパッタリング法により形成する。   The manufacturing method of the cover member which concerns on this invention is related with the method of manufacturing the 1st, 2nd or 3rd cover member which concerns on this invention. In the method for manufacturing a cover member according to the present invention, the silicon oxide layer is formed by a sputtering method in a chamber having a pressure of 0.15 Pa or less.

本発明によれば、防汚膜が剥離しにくいカバー部材を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the cover member from which an antifouling film | membrane cannot peel easily can be provided.

第1の実施形態に係るカバー部材の略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing of the cover member which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態における多層膜の略図的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a multilayer film according to a first embodiment. 第1の実施形態における基材の略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing of the base material in 1st Embodiment. 第2の実施形態における多層膜の略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing of the multilayer film in 2nd Embodiment. 第3の実施形態に係る表示装置の略図的分解斜視図である。FIG. 6 is a schematic exploded perspective view of a display device according to a third embodiment. 実施例1,2において行った第1の密着強度評価を説明するための模式的側面図である。It is a typical side view for demonstrating the 1st adhesion strength evaluation performed in Example 1,2. 実施例1,2及び比較例1,2における往復回数と水の接触角との関係を表すグラフである(第1の密着強度評価)。It is a graph showing the relationship between the number of reciprocations and the contact angle of water in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 (first adhesion strength evaluation). 実施例1,2及び比較例1,2における往復回数と水の接触角との関係を表すグラフである(第2の密着強度評価)。It is a graph showing the relationship between the number of reciprocations and the contact angle of water in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 (second adhesion strength evaluation).

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。   Hereinafter, an example of the preferable form which implemented this invention is demonstrated. However, the following embodiment is merely an example. The present invention is not limited to the following embodiments.

また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。   Moreover, in each drawing referred in embodiment etc., the member which has a substantially the same function shall be referred with the same code | symbol. The drawings referred to in the embodiments and the like are schematically described. A ratio of dimensions of an object drawn in a drawing may be different from a ratio of dimensions of an actual object. The dimensional ratio of the object may be different between the drawings. The specific dimensional ratio of the object should be determined in consideration of the following description.

(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係るカバー部材の略図的断面図である。図1に示されるカバー部材1は、例えば、表示装置などの各種装置、表示物、建物などの表面を保護するために用いられる。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a cover member according to the first embodiment. The cover member 1 shown in FIG. 1 is used, for example, to protect the surfaces of various devices such as display devices, display objects, and buildings.

カバー部材1は、基材10と、防汚膜20とを有する。   The cover member 1 has a base material 10 and an antifouling film 20.

基材10は、基材本体11と、多層膜12とを有する。基材本体11は、多層膜12と防汚膜20とを支持できるものであれば特に限定されない。基材本体11は、板であってもよい。その場合、基材本体11の厚みは、0.1mm〜0.7mm程度であることが好ましい。   The substrate 10 includes a substrate main body 11 and a multilayer film 12. The substrate body 11 is not particularly limited as long as it can support the multilayer film 12 and the antifouling film 20. The substrate body 11 may be a plate. In that case, the thickness of the base body 11 is preferably about 0.1 mm to 0.7 mm.

カバー部材1に透光性が要求される場合は、基材本体11は、透光性を有することが好ましい。もっとも、カバー部材1に透光性が要求されない場合は、基材本体11が透光性を有する必要は必ずしもない。   When the cover member 1 is required to have translucency, the substrate body 11 preferably has translucency. But when the translucency is not requested | required of the cover member 1, the base-material main body 11 does not necessarily need to have translucency.

基材本体11は、例えば、ガラス、単結晶、樹脂等により構成することができる。高い機械的強度、高い光透過率を有し、コストが低い基材本体11を実現する観点からは、基材本体11は、強化ガラス、無アルカリガラス、ソーダガラスなどのガラスにより構成されていることが好ましい。なかでも、基材本体11は、強化ガラスにより構成されていることが好ましい。基材本体11に好ましく用いられる強化ガラスの具体例としては、例えば、ガラス組成として、質量%で、SiO 50〜80%、Al 5〜25%、B 0〜15%、NaO 1〜20%、KO 0〜10%を含有し、表面にイオン交換による圧縮応力層を有する強化ガラスが挙げられる。The base body 11 can be made of, for example, glass, single crystal, resin, or the like. From the viewpoint of realizing the base body 11 having high mechanical strength, high light transmittance, and low cost, the base body 11 is made of glass such as tempered glass, alkali-free glass, or soda glass. It is preferable. Especially, it is preferable that the base-material main body 11 is comprised with the tempered glass. As a specific example of the tempered glass preferably used for the substrate main body 11, for example, as a glass composition, by mass%, SiO 2 50 to 80%, Al 2 O 3 5 to 25%, B 2 O 3 0 to 15%. And tempered glass containing Na 2 O 1-20% and K 2 O 0-10% and having a compressive stress layer by ion exchange on the surface.

図2は、第1の実施形態における多層膜の略図的断面図である。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the multilayer film according to the first embodiment.

多層膜12は、基材本体11の上に配されている。多層膜12は、高屈折率層12Hと、低屈折率層12Lとを有する。高屈折率層12Hは、相対的に高い屈折率を有しており、低屈折率層12Lは、相対的に低い屈折率を有する。多層膜12においては、高屈折率層12Hと低屈折率層12Lとが交互に配されている。このため、多層膜12は、表面反射を抑制する機能を有する。よって、多層膜12は、反射抑制膜(AR(Anti−reflection)膜)を構成している。   The multilayer film 12 is disposed on the base body 11. The multilayer film 12 includes a high refractive index layer 12H and a low refractive index layer 12L. The high refractive index layer 12H has a relatively high refractive index, and the low refractive index layer 12L has a relatively low refractive index. In the multilayer film 12, high refractive index layers 12H and low refractive index layers 12L are alternately arranged. For this reason, the multilayer film 12 has a function of suppressing surface reflection. Therefore, the multilayer film 12 constitutes an anti-reflection film (AR (Anti-reflection) film).

高屈折率層12Hは、例えば、酸化ニオブ、酸化チタン、酸化ランタン、酸化イットリウム、酸化タンタル、酸化タングステン、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ニオブ、窒化チタン、窒化ランタン、窒化イットリウム、窒化タンタル、窒化タングステンなどにより構成することができる。低屈折率層12Lは、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等により構成することができる。   The high refractive index layer 12H includes, for example, niobium oxide, titanium oxide, lanthanum oxide, yttrium oxide, tantalum oxide, tungsten oxide, silicon nitride, aluminum nitride, niobium nitride, titanium nitride, lanthanum nitride, yttrium nitride, tantalum nitride, tungsten nitride. Etc. can be configured. The low refractive index layer 12L can be made of, for example, silicon oxide, aluminum oxide, or the like.

多層膜12を構成している高屈折率層12Hと低屈折率層12Lとの層数や各層の厚みは、例えば、反射を抑制しようとする波長域や、要求される反射率等に応じて適宜設定することができる。多層膜12を構成している高屈折率層12Hと低屈折率層12Lとの層数は、例えば、2〜18程度であることが好ましく、4〜10程度であることがより好ましい。多層膜12を構成している各層の厚みは、例えば、5nm〜200nm程度とすることができる。多層膜12全体の厚みは、例えば、300nm〜400nm程度とすることができる。   The number of layers of the high refractive index layer 12H and the low refractive index layer 12L constituting the multilayer film 12 and the thickness of each layer depend on, for example, the wavelength range in which reflection is to be suppressed, the required reflectance, and the like. It can be set appropriately. The number of high refractive index layers 12H and low refractive index layers 12L constituting the multilayer film 12 is, for example, preferably about 2 to 18, and more preferably about 4 to 10. The thickness of each layer constituting the multilayer film 12 can be, for example, about 5 nm to 200 nm. The thickness of the entire multilayer film 12 can be set to, for example, about 300 nm to 400 nm.

多層膜12の最表面は、低屈折率層12Lにより構成されている。多層膜12の最表面を構成している低屈折率層12Lは、酸化ケイ素層12L1により構成されている。なお、酸化ケイ素層12L1は、酸化ケイ素を含んでいればよい。酸化ケイ素層12L1は、酸化ケイ素に加え、アルミニウム等の他の原子を含んでいてもよい。酸化ケイ素層12L1は、アルミニウムなどのケイ素以外の原子がドープされた酸化ケイ素により構成されていてもよい。すなわち、酸化ケイ素層12L1が酸化ケイ素のみからなる必要は必ずしもない。酸化ケイ素層12L1がケイ素以外のカチオンを含む場合、酸化ケイ素層12L1に含まれるカチオンにおけるケイ素のモル比((ケイ素)/(カチオン))は、0.9以上であることが好ましい。   The outermost surface of the multilayer film 12 is composed of a low refractive index layer 12L. The low refractive index layer 12L constituting the outermost surface of the multilayer film 12 is composed of a silicon oxide layer 12L1. Note that the silicon oxide layer 12L1 only needs to contain silicon oxide. Silicon oxide layer 12L1 may contain other atoms such as aluminum in addition to silicon oxide. The silicon oxide layer 12L1 may be made of silicon oxide doped with atoms other than silicon, such as aluminum. That is, the silicon oxide layer 12L1 is not necessarily made of only silicon oxide. When the silicon oxide layer 12L1 contains a cation other than silicon, the molar ratio of silicon in the cation contained in the silicon oxide layer 12L1 ((silicon) / (cation)) is preferably 0.9 or more.

酸化ケイ素層12L1の上には、防汚膜20が設けられている。防汚膜20は、カバー部材1の表面が汚染されることを抑制するための膜である。防汚膜20は、主鎖中にケイ素を含む含フッ素重合体を含んでいる。このため、防汚膜20は、撥水性を有する。防汚膜20は、撥水性を有すると共に、撥油性を有していることが好ましい。防汚膜20に含まれる含フッ素重合体は、例えば、主鎖中に、シロキサン結合(−Si−O−Si−)を有し、かつ、フッ素を含む撥水性の官能基を側鎖に有する重合体であってもよい。含フッ素重合体は、例えばシラノールを脱水縮合することにより合成することができる。   An antifouling film 20 is provided on the silicon oxide layer 12L1. The antifouling film 20 is a film for preventing the surface of the cover member 1 from being contaminated. The antifouling film 20 contains a fluorine-containing polymer containing silicon in the main chain. For this reason, the antifouling film 20 has water repellency. The antifouling film 20 preferably has water repellency and oil repellency. The fluorine-containing polymer contained in the antifouling film 20 has, for example, a siloxane bond (—Si—O—Si—) in the main chain and a water-repellent functional group containing fluorine in the side chain. It may be a polymer. The fluorine-containing polymer can be synthesized, for example, by dehydrating condensation of silanol.

防汚膜20の厚みは、例えば、1nm〜30nm程度であることが好ましく、4nm〜20nmであることがより好ましい。   The thickness of the antifouling film 20 is, for example, preferably about 1 nm to 30 nm, and more preferably 4 nm to 20 nm.

次に、カバー部材1の製造方法の一例について説明する。まず、図3に示されるように、基材本体11の上に、多層膜12を形成する。多層膜12は、例えば、スパッタリング法、蒸着法等により形成することができる。   Next, an example of a method for manufacturing the cover member 1 will be described. First, as shown in FIG. 3, the multilayer film 12 is formed on the base body 11. The multilayer film 12 can be formed by, for example, a sputtering method, a vapor deposition method, or the like.

次に図2に示すように、多層膜12の最表層を構成している酸化ケイ素層12L1の上に、防汚膜20を形成する。防汚膜20は、例えば、シラノールや、ヒドロキシル基がアルコキシル基に置換されたシラノールを含む液を酸化ケイ素層12L1の上に塗布し、脱水縮合させることにより形成することができる。   Next, as shown in FIG. 2, an antifouling film 20 is formed on the silicon oxide layer 12 </ b> L <b> 1 constituting the outermost layer of the multilayer film 12. The antifouling film 20 can be formed, for example, by applying a silanol or a liquid containing silanol having a hydroxyl group substituted with an alkoxyl group on the silicon oxide layer 12L1 and dehydrating and condensing it.

なお、基材本体11を構成するためのガラス板は、例えば、オーバーフローダウンドロー法を用いて製造することができる。製造されたガラス板の表面を研磨せず、未研磨面としておくことが、基材本体の表面粗さを算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下にできるため、好ましい。また、製造されたガラス板をイオン交換することにより強化処理して強化ガラス板としてもよい。   In addition, the glass plate for comprising the base-material main body 11 can be manufactured using the overflow down draw method, for example. It is preferable to leave the surface of the produced glass plate unpolished and leave it as an unpolished surface, because the surface roughness of the substrate body can be 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra). Moreover, it is good also as a tempered glass board by carrying out the tempering process by ion-exchange the manufactured glass board.

オーバーフローダウンドロー法によりガラス板を成形することにより、未研磨で表面品位が良好な平板形状のガラスを製造することができる。その理由は、オーバーフローダウンドロー法の場合、ガラス板の表面となるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形されるからである。ここで、オーバーフローダウンドロー法は、溶融ガラスを耐熱性の樋状構造物の両側から溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下端で合流させながら、下方に延伸成形して平板形状のガラスを製造する方法である。樋状構造物の構造や材質は、ガラスの寸法や表面精度を所望の状態とし、所望の品位を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行うためにガラスに対してどのような方法で力を印加するものであってもよい。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。   By forming the glass plate by the overflow down draw method, it is possible to produce flat glass having a good surface quality without being polished. The reason is that, in the case of the overflow downdraw method, the surface to be the surface of the glass plate is not in contact with the bowl-like refractory and is molded in a free surface state. Here, the overflow down draw method is a flat plate shape in which molten glass is overflowed from both sides of a heat-resistant bowl-shaped structure, and the molten glass overflowed is joined at the lower end of the bowl-shaped structure and stretched downward. It is a method of manufacturing the glass. The structure and material of the bowl-shaped structure are not particularly limited as long as the dimensions and surface accuracy of the glass are in a desired state and a desired quality can be realized. Further, a force may be applied to the glass by any method in order to perform downward stretching. For example, a method may be adopted in which a heat-resistant roll having a sufficiently large width is rotated and stretched in contact with glass, or a plurality of pairs of heat-resistant rolls are contacted only near the end face of the glass. It is also possible to adopt a method of stretching by stretching.

また、基材本体11を構成するためのガラス板は、例えば、オーバーフローダウンドロー法以外の方法によって製造することもできる。基材本体11を構成するためのガラス板は、例えば、スロットダウン法、リドロー法等のダウンドロー法により製造することができる。   Moreover, the glass plate for comprising the base-material main body 11 can also be manufactured by methods other than the overflow downdraw method, for example. The glass plate for constituting the base body 11 can be manufactured by, for example, a downdraw method such as a slot down method or a redraw method.

ところで、カバー部材においては、基材と防汚膜との密着強度が高いことが求められる。一般的には、基材の表面、すなわち、酸化ケイ素層の表面の表面粗さ(Ra)が大きいほど基材と防汚膜との密着強度が高くなると考えられる。基材と防汚膜との間の界面の表面積が大きくなり、かつ、作用するアンカー効果が強くなるためである。   By the way, the cover member is required to have high adhesion strength between the base material and the antifouling film. Generally, it is considered that the adhesion strength between the base material and the antifouling film increases as the surface roughness (Ra) of the surface of the base material, that is, the surface of the silicon oxide layer increases. This is because the surface area of the interface between the base material and the antifouling film increases, and the acting anchor effect becomes stronger.

しかしながら、本発明者らが鋭意研究した結果、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さ(Ra)を小さくした方が基材10と防汚膜20との密着強度が向上することが見出された。そこで、本実施形態では、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下とされている。このため、酸化ケイ素層12L1と防汚膜20との密着強度が高い。よって、防汚膜20が剥離しにくい。その結果、カバー部材1の防汚特性が低下しにくい。防汚膜20の剥離をより効果的に抑制する観点からは、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.3nm以下であることがより好ましい。   However, as a result of intensive studies by the present inventors, it has been found that the adhesion strength between the substrate 10 and the antifouling film 20 is improved when the surface roughness (Ra) of the surface of the silicon oxide layer 12L1 is reduced. It was. Therefore, in this embodiment, the surface roughness of the surface of the silicon oxide layer 12L1 is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001. For this reason, the adhesion strength between the silicon oxide layer 12L1 and the antifouling film 20 is high. Therefore, the antifouling film 20 is difficult to peel off. As a result, the antifouling property of the cover member 1 is unlikely to deteriorate. From the viewpoint of more effectively suppressing peeling of the antifouling film 20, the surface roughness of the silicon oxide layer 12L1 is 0.3 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001. More preferably.

通常は、防汚膜20が薄いため、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さと、防汚膜20の表面の表面粗さとは相関する。このため、防汚膜20の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である場合は、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さも、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下となると考えられる。従って、防汚膜20の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である場合は、防汚膜20の剥離が抑制される。防汚膜20の剥離をより効果的に抑制する観点からは、防汚膜20の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.3nm以下であることがより好ましい。   Usually, since the antifouling film 20 is thin, the surface roughness of the surface of the silicon oxide layer 12L1 correlates with the surface roughness of the surface of the antifouling film 20. For this reason, when the surface roughness of the antifouling film 20 is 0.5 nm or less in arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001, the surface roughness of the surface of the silicon oxide layer 12L1 is also The arithmetic average roughness (Ra) defined in JIS B0601-2001 is considered to be 0.5 nm or less. Therefore, when the surface roughness of the antifouling film 20 is 0.5 nm or less in arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001, peeling of the antifouling film 20 is suppressed. From the viewpoint of more effectively suppressing the peeling of the antifouling film 20, the surface roughness of the antifouling film 20 is 0.3 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001. More preferably.

なお、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さ(Ra)を小さくした方が基材10と防汚膜20との密着強度が向上する理由としては、定かではないが、以下の理由が考えられる。   The reason why the adhesion strength between the substrate 10 and the antifouling film 20 is improved by reducing the surface roughness (Ra) of the surface of the silicon oxide layer 12L1 is not clear, but the following reasons are conceivable. .

上述のように、防汚膜20が形成される際に、脱水縮合反応が生じる。酸化ケイ素層12L1の表面にもケイ素に結合したヒドロキシル基が存在しているため、脱水縮合反応は、シラノール間において生じるのみならず、酸化ケイ素層12L1の表面に存在しているヒドロキシル基と、シラノール若しくはシラノールの重合体のヒドロキシル基との間においても脱水縮合反応が生じる。従って、酸化ケイ素層12L1と防汚膜20との密着強度は、酸化ケイ素層12L1の表面に存在しているヒドロキシル基と、シラノール若しくはシラノールの重合体のヒドロキシル基との間において生じた脱水縮合反応により形成されたSi−O−Si結合の単位面積あたりの数量に依存するものと考えられる。ここで、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下と非常に小さい場合は、シラノール若しくはシラノールの重合体のヒドロキシル基と反応可能な、酸化ケイ素層12L1の表面におけるヒドロキシル基の単位面積あたりの数量が多い。従って、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下と非常に小さくした場合に、酸化ケイ素層12L1と防汚膜20との密着強度が向上するものと考えられる。   As described above, a dehydration condensation reaction occurs when the antifouling film 20 is formed. Since there are hydroxyl groups bonded to silicon on the surface of the silicon oxide layer 12L1, not only dehydration condensation occurs between silanols, but also hydroxyl groups present on the surface of the silicon oxide layer 12L1 and silanols. Alternatively, a dehydration condensation reaction occurs with the hydroxyl group of the silanol polymer. Accordingly, the adhesion strength between the silicon oxide layer 12L1 and the antifouling film 20 is determined by the dehydration condensation reaction generated between the hydroxyl group present on the surface of the silicon oxide layer 12L1 and the hydroxyl group of silanol or a polymer of silanol. This is considered to depend on the quantity per unit area of Si—O—Si bonds formed by the above. Here, when the surface roughness of the silicon oxide layer 12L1 is as small as 0.5 nm or less in arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001, hydroxyl of silanol or a polymer of silanol is used. The quantity per unit area of hydroxyl groups on the surface of the silicon oxide layer 12L1 that can react with the groups is large. Therefore, when the surface roughness of the surface of the silicon oxide layer 12L1 is as small as 0.5 nm or less in arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001, the silicon oxide layer 12L1 and the antifouling film It is considered that the adhesion strength with 20 is improved.

酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さは、基材本体11の表面の表面粗さ、多層膜12を構成している各層の表面の表面粗さと相関する。このため、基材本体11の表面の表面粗さと、多層膜12を構成している各層の表面の表面粗さとは、それぞれ、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で、0.5nm以下であることが好ましく、0.3nm以下であることがより好ましい。基材本体11の表面の表面粗さを小さくする観点からは、基材本体11の表面が未研磨面であることが好ましく、基材本体11がオーバーフローダウンドロー法により成形されたガラス板により構成されていることが好ましい。   The surface roughness of the surface of the silicon oxide layer 12L1 correlates with the surface roughness of the surface of the base body 11 and the surface roughness of the surfaces of the layers constituting the multilayer film 12. For this reason, the surface roughness of the surface of the substrate body 11 and the surface roughness of the surface of each layer constituting the multilayer film 12 are arithmetic average roughness (Ra) defined in JIS B0601-2001, respectively. The thickness is preferably 0.5 nm or less, and more preferably 0.3 nm or less. From the viewpoint of reducing the surface roughness of the surface of the substrate body 11, the surface of the substrate body 11 is preferably an unpolished surface, and the substrate body 11 is composed of a glass plate formed by the overflow downdraw method. It is preferable that

上述のように、多層膜12における隣接する層間の密着強度を高める観点からは、多層膜12を構成している各層の表面の表面粗さが大きくなるように各層を形成するのが一般的である。例えばスパッタリング法により成膜する場合は、チャンバの圧力を高くした方が層の表面粗さが大きくなる。よって、スパッタリング法により成膜する場合は、チャンバの圧力は、通常、0.3Pa〜0.6Pa程度と高く設定される。   As described above, from the viewpoint of increasing the adhesion strength between adjacent layers in the multilayer film 12, it is common to form each layer so that the surface roughness of the surface of each layer constituting the multilayer film 12 is increased. is there. For example, when the film is formed by sputtering, the surface roughness of the layer increases as the pressure in the chamber is increased. Therefore, when the film is formed by the sputtering method, the pressure of the chamber is usually set as high as about 0.3 Pa to 0.6 Pa.

一方、本実施形態では、酸化ケイ素層12L1の表面の表面粗さを小さくしたいため、圧力が0.15Pa以下、より好ましくは、0.1Pa以下であるチャンバ中において、スパッタリング法により多層膜12を構成している各層を形成する。チャンバの圧力が低すぎると層を安定的に形成することが困難となるため、通常は、スパッタリングの際のチャンバの圧力を0.03Pa以下にまで低くすることはない。多層膜12を構成している各層をスパッタリングにより形成する際のチャンバの圧力は、0.05Pa以上であることが好ましい。   On the other hand, in this embodiment, in order to reduce the surface roughness of the silicon oxide layer 12L1, the multilayer film 12 is formed by sputtering in a chamber having a pressure of 0.15 Pa or less, more preferably 0.1 Pa or less. Each constituent layer is formed. If the pressure in the chamber is too low, it is difficult to stably form a layer. Therefore, the pressure in the chamber during sputtering is not usually reduced to 0.03 Pa or less. The pressure of the chamber when forming each layer constituting the multilayer film 12 by sputtering is preferably 0.05 Pa or more.

酸化ケイ素層12L1は、化学的耐久性を向上させるために、アルミニウムを含むことが好ましい。酸化ケイ素層12L1に含まれるカチオンにおけるアルミニウムのモル比((アルミニウム)/(カチオン))は、0.02〜0.1程度であることが好ましく、0.04〜0.06程度であることがより好ましい。   The silicon oxide layer 12L1 preferably contains aluminum in order to improve chemical durability. The molar ratio of aluminum in the cation contained in the silicon oxide layer 12L1 ((aluminum) / (cation)) is preferably about 0.02 to 0.1, and is preferably about 0.04 to 0.06. More preferred.

なお、本実施形態では、カバー部材1に反射抑制機能を付与するため、基材本体11の上に多層膜12を設ける例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、基材本体11の上に、酸化ケイ素層のみが形成されていてもよい。   In the present embodiment, an example in which the multilayer film 12 is provided on the base body 11 in order to provide the cover member 1 with a reflection suppressing function has been described. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, only the silicon oxide layer may be formed on the base body 11.

以下、本発明の好ましい実施形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第1の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。   Hereinafter, other examples of preferred embodiments of the present invention will be described. In the following description, members having substantially the same functions as those of the first embodiment are referred to by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

(第2の実施形態)
図4は、第2の実施形態における多層膜の略図的断面図である。
(Second Embodiment)
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the multilayer film according to the second embodiment.

本実施形態に係るカバー部材は、多層膜12が、中屈折率層12Mを有する点において、第1の実施形態に係るカバー部材1と異なる。   The cover member according to the present embodiment is different from the cover member 1 according to the first embodiment in that the multilayer film 12 includes a medium refractive index layer 12M.

本実施形態では、多層膜12において、高屈折率層12Hと低屈折率層12Lとの間に中屈折率層12Mが設けられている。中屈折率層12Mの屈折率は、その中屈折率層12Mと隣接する高屈折率層12Hの屈折率よりも低く、その中屈折率層12Mと隣接する低屈折率層12Lの屈折率よりも高い。中屈折率層12Mは、その中屈折率層12Mと隣接する高屈折率層12Hに含まれるカチオンと、その中屈折率層12Mと隣接する低屈折率層12Lに含まれるカチオンとの両方を含む。このような中屈折率層12Mを設けることにより、高屈折率層12Hと低屈折率層12Lとの密着強度を向上することができる。   In the present embodiment, in the multilayer film 12, an intermediate refractive index layer 12M is provided between the high refractive index layer 12H and the low refractive index layer 12L. The refractive index of the medium refractive index layer 12M is lower than the refractive index of the high refractive index layer 12H adjacent to the medium refractive index layer 12M, and is higher than the refractive index of the low refractive index layer 12L adjacent to the medium refractive index layer 12M. high. The medium refractive index layer 12M includes both cations included in the high refractive index layer 12H adjacent to the medium refractive index layer 12M and cations included in the low refractive index layer 12L adjacent to the medium refractive index layer 12M. . By providing such a medium refractive index layer 12M, the adhesion strength between the high refractive index layer 12H and the low refractive index layer 12L can be improved.

具体的には、例えば、低屈折率層12Lが酸化ケイ素により、高屈折率層12Hが酸化ニオブにより構成されている場合は、ケイ素とニオブの複合酸化物からなる中屈折率層12Mを設けることが好ましい。   Specifically, for example, when the low refractive index layer 12L is made of silicon oxide and the high refractive index layer 12H is made of niobium oxide, the middle refractive index layer 12M made of a composite oxide of silicon and niobium is provided. Is preferred.

(第3の実施形態)
図5は、第3の実施形態に係る表示装置の略図的分解斜視図である。図5に示されるように、表示装置2は、装置本体30と、カバー部材1とを有する。装置本体30は、一主面に表示面31を有する。装置本体30の表示面31が設けられた一主面の上には、カバー部材1が配されている。このカバー部材1により表示面31が覆われている。
(Third embodiment)
FIG. 5 is a schematic exploded perspective view of a display device according to the third embodiment. As shown in FIG. 5, the display device 2 includes a device main body 30 and a cover member 1. The apparatus main body 30 has a display surface 31 on one main surface. The cover member 1 is disposed on one main surface on which the display surface 31 of the apparatus main body 30 is provided. The display surface 31 is covered with the cover member 1.

上述のように、カバー部材1では、防汚膜20がはがれにくい。このため、カバー部材1の防汚特性は低下しにくい。従って、表示装置2の視認性が低下しにくい。   As described above, in the cover member 1, the antifouling film 20 is difficult to peel off. For this reason, the antifouling property of the cover member 1 is unlikely to deteriorate. Therefore, the visibility of the display device 2 is unlikely to decrease.

なお、表示装置2は、例えば、携帯電話、スマートフォン、タブレット型パーソナルコンピューターなどの携帯端末であってもよいし、固定して使用される表示装置であってもよい。   The display device 2 may be, for example, a mobile terminal such as a mobile phone, a smartphone, or a tablet personal computer, or may be a display device that is used in a fixed manner.

以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail on the basis of specific examples. However, the present invention is not limited to the following examples, and may be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the present invention. Is possible.

(実施例)
オーバーフロー法により製造されたアルカリアルミノケイ酸塩ガラスをイオン交換することにより作製した強化ガラス板(日本電気硝子社製T2X−1)の未研磨面からなる表面上に、表1に示す層構成の多層膜を、チャンバ内の圧力を0.056Paとして、スパッタリング法により形成した。
(Example)
On the surface consisting of the unpolished surface of a tempered glass plate (T2X-1 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) produced by ion-exchange of alkali aluminosilicate glass produced by the overflow method, the multilayer structure shown in Table 1 The film was formed by sputtering at a pressure in the chamber of 0.056 Pa.

Figure 2014199991
Figure 2014199991

次に、多層膜の上に、フッ素系コーティング剤(ダイキン社製オプツール(登録商標))を塗布し、乾燥させることにより主鎖中にケイ素を含む含フッ素重合体を含む防汚膜を形成し、カバー部材のサンプルを作製した。多層膜の表面の表面粗さ(Ra)は、0.2nmであった。強化ガラス板の表面の表面粗さ(Ra)は、0.2nmであった。   Next, a fluorine-based coating agent (Optool (registered trademark) manufactured by Daikin) is applied on the multilayer film and dried to form an antifouling film containing a fluorine-containing polymer containing silicon in the main chain. A cover member sample was prepared. The surface roughness (Ra) of the surface of the multilayer film was 0.2 nm. The surface roughness (Ra) of the surface of the tempered glass plate was 0.2 nm.

(実施例2)
オーバーフロー法により製造された無アルカリガラス板(日本電気硝子社製OA−10G)の未研磨面からなる表面上に、表2に示す層構成の多層膜を、チャンバ内の圧力を0.056Paとして、スパッタリング法により形成した。
(Example 2)
On the surface consisting of the unpolished surface of a non-alkali glass plate manufactured by the overflow method (OA-10G manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.), a multilayer film having a layer structure shown in Table 2 is set to a pressure in the chamber of 0.056 Pa. And formed by sputtering.

Figure 2014199991
Figure 2014199991

次に、多層膜の上に、フッ素系コーティング剤(ダイキン社製オプツール(登録商標))を塗布し、乾燥させることにより主鎖中にケイ素を含む含フッ素重合体を含む防汚膜を形成し、カバー部材のサンプルを作製した。多層膜の表面の表面粗さ(Ra)は、0.22nmであった。無アルカリガラス板の表面の表面粗さ(Ra)は、0.2nmであった。   Next, a fluorine-based coating agent (Optool (registered trademark) manufactured by Daikin) is applied on the multilayer film and dried to form an antifouling film containing a fluorine-containing polymer containing silicon in the main chain. A cover member sample was prepared. The surface roughness (Ra) of the surface of the multilayer film was 0.22 nm. The surface roughness (Ra) of the surface of the alkali-free glass plate was 0.2 nm.

(比較例1)
多層膜を形成する際のチャンバ内の圧力を0.3Paとしたこと以外は、実施例1と同様にしてカバー部材のサンプルを作製した。多層膜の表面の表面粗さ(Ra)は、0.8nmであった。
(Comparative Example 1)
A cover member sample was produced in the same manner as in Example 1 except that the pressure in the chamber when forming the multilayer film was 0.3 Pa. The surface roughness (Ra) of the surface of the multilayer film was 0.8 nm.

(比較例2)
多層膜を形成せず、強化ガラス板の上に防汚膜を直接形成したこと以外は、実施例1と同様にしてカバー部材のサンプルを作製した。
(Comparative Example 2)
A cover member sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the multilayer film was not formed and the antifouling film was directly formed on the tempered glass plate.

(第1の密着強度評価)
図6に示されるように、実施例及び比較例1,2のそれぞれにおいて作製したサンプル101の防汚膜の上に、消しゴム(Minoan社製RubberEraser)102を配置した。なお、消しゴム102は、直径が6mmで高さが6mmである円柱状であった。消しゴム102の上に、1000gの錘103を配置した状態で、消しゴム102を、40mmのストロークで、40往復/分の速度で前後方向に移動させた。
(First adhesion strength evaluation)
As shown in FIG. 6, an eraser (RubberEraser manufactured by Minoan) 102 was placed on the antifouling film of the sample 101 produced in each of the examples and comparative examples 1 and 2. The eraser 102 had a cylindrical shape with a diameter of 6 mm and a height of 6 mm. With the 1000 g weight 103 placed on the eraser 102, the eraser 102 was moved in the front-rear direction at a speed of 40 reciprocations / minute with a stroke of 40 mm.

消しゴム102を500往復させる毎に、各サンプル101の防汚膜の上に、0.1mlの水滴をスポイトから滴下し、防汚膜と水滴との接触角を測定した。なお、接触角は、young公式に基づくATAN1/2θ法に基づいて測定した。結果を図7に示す。図7において、実施例1の結果を丸で示す。実施例2の結果を三角で示す。比較例1の結果を菱形で示す。比較例2の結果を四角で示す。   Every time the eraser 102 was reciprocated 500 times, 0.1 ml of water droplets were dropped from a dropper on the antifouling film of each sample 101, and the contact angle between the antifouling film and the water droplets was measured. The contact angle was measured based on the Atan 1 / 2θ method based on the Young formula. The results are shown in FIG. In FIG. 7, the results of Example 1 are indicated by circles. The results of Example 2 are indicated by triangles. The results of Comparative Example 1 are indicated by diamonds. The results of Comparative Example 2 are indicated by squares.

図7に示される結果から、多層膜の最表面を構成している酸化ケイ素膜の表面の表面粗さ(Ra)を小さくすることにより、防汚膜の撥水能が低下しにくくなることが分かる。この結果から、多層膜の最表面を構成している酸化ケイ素膜の表面の表面粗さ(Ra)を小さくすることにより、防汚層の密着強度を向上できることが分かる。   From the results shown in FIG. 7, the water repellency of the antifouling film is less likely to be reduced by reducing the surface roughness (Ra) of the surface of the silicon oxide film constituting the outermost surface of the multilayer film. I understand. From this result, it can be seen that the adhesion strength of the antifouling layer can be improved by reducing the surface roughness (Ra) of the surface of the silicon oxide film constituting the outermost surface of the multilayer film.

(第2の密着強度評価)
実施例1,2及び比較例1,2のそれぞれにおいて作製したサンプルの防汚膜の上に、10mm□のボンスター スチールウール(#0000)を配置した。スチールウール(#0000)の上に、1000gの錘を配置した状態で、スチールウール(#0000)を、40mmのストロークで、60往復/分の速度で前後方向に移動させた。
(Second adhesion strength evaluation)
On the antifouling film of the sample produced in each of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, 10 mm □ Bonster steel wool (# 0000) was placed. With a 1000 g weight placed on steel wool (# 0000), steel wool (# 0000) was moved back and forth at a speed of 60 reciprocations per minute with a stroke of 40 mm.

スチールウール(#0000)を500往復させる毎に、各サンプルの防汚膜の上に、0.3μlの水滴をスポイトから滴下し、防汚膜と水滴との接触角を測定した。なお、接触角は、young公式に基づくATAN1/2θ法に基づいて測定した。結果を図8に示す。図8において、実施例1の結果を丸で示す。実施例2の結果を三角で示す。比較例1の結果を菱形で示す。比較例2の結果を四角で示す。   Every time the steel wool (# 0000) was reciprocated 500 times, 0.3 μl of a water droplet was dropped on the antifouling membrane of each sample from a dropper, and the contact angle between the antifouling membrane and the water droplet was measured. The contact angle was measured based on the Atan 1 / 2θ method based on the Young formula. The results are shown in FIG. In FIG. 8, the results of Example 1 are indicated by circles. The results of Example 2 are indicated by triangles. The results of Comparative Example 1 are indicated by diamonds. The results of Comparative Example 2 are indicated by squares.

図8に示される結果から、多層膜の最表面を構成している酸化ケイ素膜の表面の表面粗さ(Ra)を小さくすることにより、防汚膜の撥水能が低下しにくくなることが分かる。この結果から、多層膜の最表面を構成している酸化ケイ素膜の表面の表面粗さ(Ra)を小さくすることにより、防汚層の密着強度を向上できることが分かる。   From the results shown in FIG. 8, it is difficult to reduce the water repellency of the antifouling film by reducing the surface roughness (Ra) of the surface of the silicon oxide film constituting the outermost surface of the multilayer film. I understand. From this result, it can be seen that the adhesion strength of the antifouling layer can be improved by reducing the surface roughness (Ra) of the surface of the silicon oxide film constituting the outermost surface of the multilayer film.

1…カバー部材
2…表示装置
10…基材
11…基材本体
12…多層膜
12H…高屈折率層
12M…中屈折率層
12L…低屈折率層
12L1…酸化ケイ素層
20…防汚膜
30…装置本体
31…表示面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cover member 2 ... Display apparatus 10 ... Base material 11 ... Base material main body 12 ... Multilayer film 12H ... High refractive index layer 12M ... Middle refractive index layer 12L ... Low refractive index layer 12L1 ... Silicon oxide layer 20 ... Antifouling film 30 ... Device body 31 ... Display surface

Claims (17)

基材本体と、前記基材本体の上に配されており、最表層を構成している酸化ケイ素層とを有する基材と、
前記酸化ケイ素層の上に配されており、主鎖中にケイ素を含む含フッ素重合体を含む防汚膜と、
を備え、
前記酸化ケイ素層の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下であるカバー部材。
A substrate having a substrate body and a silicon oxide layer disposed on the substrate body and constituting an outermost layer;
An antifouling film which is disposed on the silicon oxide layer and contains a fluoropolymer containing silicon in the main chain;
With
The cover member whose surface roughness of the surface of the said silicon oxide layer is 0.5 nm or less by arithmetic mean roughness (Ra) prescribed | regulated by JISB0601-2001.
前記防汚膜の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である、請求項1に記載のカバー部材。   The cover member according to claim 1, wherein the surface roughness of the antifouling film is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001. 基材本体と、前記基材本体の上に配されており、最表層を構成している酸化ケイ素層とを有する基材と、
前記酸化ケイ素層の上に配されており、主鎖中にケイ素を含む含フッ素重合体を含む防汚膜と、
を備え、
前記防汚膜の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下であるカバー部材。
A substrate having a substrate body and a silicon oxide layer disposed on the substrate body and constituting an outermost layer;
An antifouling film which is disposed on the silicon oxide layer and contains a fluoropolymer containing silicon in the main chain;
With
The cover member whose surface roughness of the surface of said antifouling film is 0.5 nm or less in arithmetic mean roughness (Ra) prescribed | regulated by JISB0601-2001.
基材本体と、前記基材本体の上に配されており、最表層を構成している酸化ケイ素層とを有する基材を備え、
前記酸化ケイ素層の表面の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下であるカバー部材。
A base material body, and a base material having a silicon oxide layer disposed on the base material body and constituting an outermost layer;
The cover member whose surface roughness of the surface of the said silicon oxide layer is 0.5 nm or less by arithmetic mean roughness (Ra) prescribed | regulated by JISB0601-2001.
前記基材は、前記基材本体の上に配されており、前記酸化ケイ素層と、前記酸化ケイ素層よりも高い屈折率を有する高屈折率層とを含む多層膜を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載のカバー部材。   The substrate is disposed on the substrate body, and has a multilayer film including the silicon oxide layer and a high refractive index layer having a higher refractive index than the silicon oxide layer. The cover member according to any one of 4. 前記多層膜を構成している各層の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である、請求項5に記載のカバー部材。   The cover member according to claim 5, wherein the surface roughness of each layer constituting the multilayer film is 0.5 nm or less in terms of arithmetic average roughness (Ra) defined by JIS B0601-2001. 前記多層膜は、
前記酸化ケイ素層を含む、相対的に低い屈折率を有する低屈折率層と、
前記高屈折率層と、
前記高屈折率層と前記低屈折率層との間に配されており、前記高屈折率層の屈折率と前記低屈折率層の屈折率との間に位置する屈折率を有する中屈折率層と、
を含む、請求項6に記載のカバー部材。
The multilayer film is
A low refractive index layer having a relatively low refractive index comprising the silicon oxide layer;
The high refractive index layer;
A medium refractive index disposed between the high refractive index layer and the low refractive index layer and having a refractive index located between the refractive index of the high refractive index layer and the refractive index of the low refractive index layer. Layers,
The cover member according to claim 6, comprising:
前記中屈折率層は、当該中屈折率層に隣接する前記低屈折率層に含まれるカチオンと、当該中屈折率層に隣接する前記高屈折率層に含まれるカチオンとの両方を含む、請求項7に記載のカバー部材。   The medium refractive index layer includes both cations included in the low refractive index layer adjacent to the medium refractive index layer and cations included in the high refractive index layer adjacent to the medium refractive index layer. Item 8. The cover member according to Item 7. 前記基材本体の表面粗さが、JIS B0601−2001で規定される算術平均粗さ(Ra)で0.5nm以下である、請求項1〜8のいずれか一項に記載のカバー部材。   The cover member as described in any one of Claims 1-8 whose surface roughness of the said base-material main body is 0.5 nm or less in arithmetic mean roughness (Ra) prescribed | regulated by JISB0601-2001. 前記基材本体の表面が未研磨面である、請求項1〜9のいずれか一項に記載のカバー部材。   The cover member as described in any one of Claims 1-9 whose surface of the said base-material main body is an unpolished surface. 前記基材本体がガラスにより構成されている、請求項1〜10のいずれか一項に記載のカバー部材。   The cover member according to claim 1, wherein the base body is made of glass. 前記基材本体が強化ガラスにより構成されている、請求項11に記載のカバー部材。   The cover member according to claim 11, wherein the base body is made of tempered glass. 前記基材本体が、オーバーフローダウンドロー法により成形されたガラス板により構成されている、請求項11または12に記載のカバー部材。   The cover member according to claim 11 or 12, wherein the base body is made of a glass plate formed by an overflow downdraw method. 前記酸化ケイ素層に含まれるカチオンにおけるケイ素のモル比((ケイ素)/(カチオン))が0.9以上である、請求項1〜13のいずれか一項に記載のカバー部材。   The cover member as described in any one of Claims 1-13 whose molar ratio ((silicon) / (cation)) of the silicon in the cation contained in the said silicon oxide layer is 0.9 or more. 前記酸化ケイ素層がアルミニウムを含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載のカバー部材。   The cover member according to claim 1, wherein the silicon oxide layer contains aluminum. 請求項1〜15のいずれか一項に記載のカバー部材と、
前記カバー部材により覆われた表示面を有する表示装置本体と、
を備える表示装置。
The cover member according to any one of claims 1 to 15,
A display device body having a display surface covered by the cover member;
A display device comprising:
請求項1〜15のいずれか一項に記載のカバー部材の製造方法であって、
前記酸化ケイ素層を、圧力が0.15Pa以下であるチャンバ中において、スパッタリング法により形成する、カバー部材の製造方法。
It is a manufacturing method of the cover member according to any one of claims 1 to 15,
The method for manufacturing a cover member, wherein the silicon oxide layer is formed by a sputtering method in a chamber having a pressure of 0.15 Pa or less.
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