JPWO2014084284A1 - Organic EL light emitting module manufacturing system and organic EL light emitting module manufacturing method - Google Patents
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Abstract
有機EL発光モジュールの製造システムは、吸湿層5および保護層6が積層された封止部材10を作製する封止部材作製装置100と、有機EL素子3が形成されている基板2の一方の面21に封止部材10を貼り合せて有機EL素子3を封止する封止部材貼り合せ装置400とを備える。封止部材作製装置100は、吸着ヘッド130が吸湿層5および保護層6を順次吸着することによって吸湿層5および保護層6が積層された封止部材10を作製する。The organic EL light emitting module manufacturing system includes a sealing member manufacturing apparatus 100 that manufactures a sealing member 10 in which a moisture absorption layer 5 and a protective layer 6 are laminated, and one surface of a substrate 2 on which an organic EL element 3 is formed. 21 is provided with a sealing member bonding apparatus 400 that bonds the sealing member 10 to the organic EL element 3. The sealing member manufacturing apparatus 100 manufactures the sealing member 10 in which the moisture absorbing layer 5 and the protective layer 6 are laminated by the adsorption head 130 sequentially adsorbing the moisture absorbing layer 5 and the protective layer 6.
Description
本発明は、有機EL発光モジュールの製造システム、および有機EL発光モジュールの製造方法に関する。 The present invention relates to an organic EL light emitting module manufacturing system and an organic EL light emitting module manufacturing method.
有機エレクトロルミネッセンス(EL)発光モジュールは、例えば、ガラスやプラスチックなどの透光性基板、透明電極からなる陽極、有機薄膜からなる有機EL層、陰極を順次積層した有機EL素子を具備する。有機EL発光モジュールは、数V程度の低電圧で高輝度の面発光を示すこと、発光物質の選択により任意の色調での発光が可能であることなどの理由により、近年実用化に向けて精力的に開発が行なわれている。 An organic electroluminescence (EL) light emitting module includes an organic EL element in which a light-transmitting substrate such as glass or plastic, an anode made of a transparent electrode, an organic EL layer made of an organic thin film, and a cathode are sequentially laminated. The organic EL light emitting module has been energetically aimed at practical use in recent years because it exhibits surface emission with high brightness at a low voltage of about several volts and light emission in an arbitrary color tone is possible by selecting a light emitting material. Development is underway.
特許文献1〜3には、それぞれ有機EL発光モジュールの製造方法が記載されている。 Patent Documents 1 to 3 each describe a method for manufacturing an organic EL light emitting module.
有機EL発光モジュールは、有機EL層や陰極を大気に晒された状態で放置すると、大気中の水分により有機EL層の発光領域が収縮するように非発光領域が拡大する現象(シュリンク)が生じ、その結果有機EL素子が劣化する。 When the organic EL light emitting module is left exposed to the atmosphere with the organic EL layer or cathode exposed to the air, a phenomenon (shrink) occurs in which the non-light emitting region expands so that the light emitting region of the organic EL layer contracts due to moisture in the air. As a result, the organic EL element deteriorates.
特許文献1および特許文献2には、金属箔を用いて有機EL層を封止する方法が記載されている。また、特許文献3には、封止用接着剤によって有機EL層を封止する方法が記載されている。また、特許文献4には、封止層内に脱水剤や脱酸素剤を配置して、有機EL素子の水分や酸素による劣化を防ぐ構造が記載されている。
Patent Document 1 and
特許文献1〜3には、1層によって有機EL層を封止する方法が記載されているが、当該1層では、外部からの水分が透過し、有機EL素子を劣化させるおそれがある。 Patent Documents 1 to 3 describe a method of sealing an organic EL layer with one layer. However, in the one layer, moisture from the outside may pass through and the organic EL element may be deteriorated.
また、特許文献4には、脱水剤等を配置することにより有機EL素子の劣化を防ぐ構造が記載されているが、このような複雑な積層構造を有する封止構造を精度よくかつ効率的に実現する製造システムや製造方法については十分な検討がなされていないのが実情である。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、有機EL素子の劣化を良好に抑制することができる有機EL発光モジュールの高精度かつ高効率な製造システム、および有機EL発光モジュールの高精度かつ高効率な製造方法を提供することにある。 This invention is made | formed in view of such a subject, The place made into the objective is the highly accurate and highly efficient manufacturing system of the organic electroluminescent light emitting module which can suppress deterioration of an organic electroluminescent element favorably, Another object of the present invention is to provide a highly accurate and highly efficient manufacturing method of an organic EL light emitting module.
上述した目的を達成するため、本発明の要旨は、以下の[1]〜[18]に存する。 In order to achieve the above-described object, the gist of the present invention resides in the following [1] to [18].
[1] 有機EL発光モジュールの製造システムであって、
有機EL素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機EL素子を封止する封止部材貼り合せ装置を備え、
前記封止部材貼り合せ装置は、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを含み、
前記基板が、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とにより吸着された状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持される状態とし、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とし、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造システム。[1] An organic EL light emitting module manufacturing system,
A sealing member laminating apparatus that seals the organic EL element between the substrate and the sealing member by attaching a sealing member to one surface of the substrate on which the organic EL element is formed;
The sealing member laminating apparatus is
A substrate adsorbing upper surface for adsorbing the substrate;
A support base which is located below the upper surface of the suction and can support only the end of the substrate from below;
A member set part that is located below the substrate adsorption upper surface part and on which the sealing member is placed;
A movable suction part provided in the center of the substrate suction upper surface part, capable of sucking the center part of the substrate and movable up and down;
The substrate is supported by the movable suction portion and the support base by releasing the suction of the substrate suction upper surface portion from the state where the substrate is sucked by the substrate suction upper surface portion and the movable suction portion. State and
Thereafter, by moving the movable suction portion downward, the central portion of the substrate is pushed downward from the support base portion,
Next, while holding the suction of the substrate by the movable suction portion, while moving the member set portion on which the sealing member is placed, while interlocking the substrate and the movable suction portion, The substrate and the sealing member are bonded together in order from the center portion to the end portion of the substrate by pressing the member setting portion together with the substrate and the sealing member against the suction upper surface portion. Organic EL light emitting module manufacturing system.
[2] 有機EL発光モジュールの製造システムであって、
第1のシート状部材、および前記第1のシート状部材よりも広い面を有する第2のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置と、
有機EL素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機EL素子を封止する封止部材貼り合せ装置とを備え、
前記封止部材作製装置は、
部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面を有するシート状部材吸着部と、
前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部とを含み、
前記シート状部材吸着部が前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材を順次吸着することによって前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材が積層された前記封止部材を作製する前記封止部材作製装置であって、
前記ステージ部には、前記第1のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第2のシート状部材が載置され、
前記封止部材作製装置は、前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材の載置の位置合わせのために、第1側面を有する台部と第2側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有する複数の位置合わせ部をさらに含み、
前記複数の位置合わせ部は、前記第1側面の相互の距離が前記第2側面の相互の距離よりも短いように設置され、
前記第1のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第1側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第1のシート状部材を前記吸着面に吸着し、
前記第2のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第2側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第2のシート状部材を前記第1のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第1のシート状部材と前記第2のシート状部材とを積層する
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造システム。[2] An organic EL light emitting module manufacturing system,
A sealing member producing apparatus for producing a sealing member in which a first sheet-like member and a second sheet-like member having a wider surface than the first sheet-like member are laminated;
A sealing member laminating apparatus for laminating the sealing member on one surface of a substrate on which an organic EL element is formed, and sealing the organic EL element between the substrate and the sealing member; Prepared,
The sealing member manufacturing apparatus is
A sheet-like member adsorption portion having an adsorption surface provided with a plurality of suction holes for adsorbing members;
A stage portion having a stage surface on which the first sheet-like member and the second sheet-like member can be sequentially placed;
The sealing in which the first sheet-like member and the second sheet-like member are stacked by the sheet-like member adsorbing portion sequentially adsorbing the first sheet-like member and the second sheet-like member. The sealing member manufacturing apparatus for manufacturing a member,
In the stage portion, the second sheet-like member is placed in a region including a region where the first sheet-like member is placed,
The sealing member manufacturing apparatus includes a base portion having a first side surface and a second side surface for positioning the first sheet-like member and the second sheet-like member. A plurality of alignment portions each having a standing portion standing upward from the portion;
The plurality of alignment portions are installed such that a mutual distance between the first side surfaces is shorter than a mutual distance between the second side surfaces,
The first sheet-like member is placed on the stage surface of the stage portion such that an end portion thereof abuts on the first side surface of each of the plurality of alignment portions.
The sheet-like member adsorption unit adsorbs the first sheet-like member placed on the stage surface of the stage unit by adjoining the stage unit to the adsorption surface,
The second sheet-like member is placed on the stage surface of the stage portion so that an end portion thereof abuts on the second side surface of each of the plurality of alignment portions.
The said sheet-like member adsorption | suction part makes the said 1st sheet-like member adsorb | suck the said 2nd sheet-like member mounted in the said stage surface of the said stage part by making it adjoin to the said stage part. A manufacturing system of an organic EL light emitting module, wherein the first sheet-like member and the second sheet-like member are stacked on and adsorbed on a surface.
[3] 前記封止部材作製装置は、前記シート状部材吸着部が吸着して積層された前記第1シート状部材と前記第2シート状部材とを前記吸着面に押しつけるとともに、前記第1シート状部材と前記第2シート状部材とを加熱する熱圧着処理を行って前記第1シート状部材と前記第2シート状部材とによる前記封止部材を形成する熱圧着部をさらに含み、
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第2シート状部材に対向する領域のうち、前記第1シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする前記[2]に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。[3] The sealing member manufacturing apparatus presses the first sheet-like member and the second sheet-like member, which are stacked by adsorbing the sheet-like member adsorption portion, against the adsorption surface, and the first sheet A thermocompression bonding part that forms a sealing member by the first sheet-like member and the second sheet-like member by performing a thermocompression-bonding process for heating the shape-like member and the second sheet-like member;
The sheet-like member adsorbing portion is provided outside a region facing the first sheet-like member in a region facing the second sheet-like member during execution of the thermocompression processing by the thermocompression-bonding portion. The organic EL light-emitting module manufacturing system according to [2], wherein inhalation is performed only through the suction hole.
[4] 前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置をさらに備え、
前記粘着材は、シート状に形成されており、シート状に形成された前記粘着材の一の面には剥離紙が貼付され、前記剥離紙の前記一の面とは反対の面は帯状のテープ部材に貼付され、
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着部と、
円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部とを含み、
前記テープ部材吸着部は、前記第1のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持し、
前記ローラ部は、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる
ことを特徴とする前記[2]または[3]に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。[4] An adhesive material laminating apparatus for laminating an adhesive material for laminating the sealing member to the substrate to the sealing member,
The adhesive material is formed in a sheet shape, a release paper is attached to one surface of the adhesive material formed in a sheet shape, and a surface opposite to the one surface of the release paper is a belt-like shape Affixed to the tape member,
The adhesive material laminating apparatus is
A tape member adsorbing portion that performs an adsorbing operation for adsorbing the surface opposite to the surface on which the adhesive material is affixed in the tape member to which the adhesive material is affixed;
A roller portion that is formed in a cylindrical shape and rotates around a central axis,
The tape member suction part sucks and holds the tape member above the sealing member placed on the placement table so that the first sheet-like member forms part of the upper surface,
The roller portion is configured such that the tape member is peeled from the tape member suction portion while the tape member is separated from the tape member along the longitudinal direction of the tape member between the tape member suction portion and the tape member. [2] or [2], wherein the adhesive material is bonded to the sealing member by rolling in the direction of the portion and pressing the adhesive material against the sealing member from the tape member side by a peripheral surface. 3] The manufacturing system of the organic EL light emitting module according to [3].
[5] 前記テープ部材吸着部は、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する
ことを特徴とする前記[4]に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。[5] The tape member adsorbing portion is formed on the other end side of the tape member when the roller portion peels the tape member from one end side along the longitudinal direction of the tape member. The system for producing an organic EL light-emitting module according to [4], wherein the adsorption operation is continued.
[6] 前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする前記[4]または[5]に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。[6] The tape member has a pasting area to which the release paper is pasted and a blank area outside the pasting area.
The roller portion rolls from the blank region at one end of the tape member in the longitudinal direction to the other end so as to bond the adhesive material to the sealing member over the pasting region. The production system for an organic EL light-emitting module according to [4] or [5], wherein:
[7] 前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第1状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第2状態との間で相互に遷移し、
少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第1状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換動作が行われ、前記第2状態においても前記空間内を窒素雰囲気に維持する
ことを特徴とする前記[4]〜[6]のうちいずれか1つに記載の有機EL発光モジュールの製造システム。[7] The adhesive material laminating apparatus includes:
Including an upper surface portion covering the upper side of the tape member adsorbing portion, a lower surface portion covering the lower side of the mounting table, and a side surface portion covering a side of a space sandwiched between the upper surface portion and the lower surface portion,
When the lower surface portion and the upper surface portion are relatively close to each other, the upper end of the side surface portion is in contact with the upper surface portion, and the lower surface portion is in contact with the lower end of the side surface portion, and the tape member A first state in which the space containing the placement table on which the tape member suction portion and the sealing member on which the sealing member is placed is sealed, and the lower surface portion are separated from the upper surface portion. By the transition between the tape member adsorption portion and the tape member between the second state having a gap in which the roller portion can roll,
In the nitrogen replacement chamber that accommodates at least the lower surface portion, a nitrogen replacement operation is performed in which nitrogen is supplied to the space after air is exhausted from the space when the first state is established. The interior of the space is maintained in a nitrogen atmosphere. The manufacturing system of an organic EL light emitting module according to any one of the above [4] to [6].
[8] 前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離するテープ部材剥離装置をさらに備え、
前記テープ部材剥離装置は、
窒素雰囲気中に設置され、
前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する把持部と、
前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙が載置され、前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台とを含み、
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台は、上方に移動すると前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる
ことを特徴とする前記[4]〜[7]のうちいずれか1つに記載の有機EL発光モジュールの製造システム。[8] The apparatus further comprises a tape member peeling device for peeling the release paper attached to the tape member together with the tape member from the adhesive material,
The tape member peeling device is
Installed in a nitrogen atmosphere,
A gripping part for gripping a blank area outside the sticking area to which the release paper is stuck in the tape member, and for peeling the release paper stuck to the tape member together with the tape member from the adhesive material;
The tape member peeled from the adhesive material and the release paper are placed, and a mounting table having an upper surface on which the tape member can be placed;
The partition member for partitioning the nitrogen atmosphere and the outside air is provided with a through-hole that fits the mounting table on the top surface when the mounting table moves upward, and a lid that covers the through-hole from the outside. Installed,
The organic EL light emitting device according to any one of [4] to [7], wherein when the mounting table moves upward, the lid portion is pushed up by the upper surface on which the tape member is mounted. Module manufacturing system.
[9] 前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置をさらに備え、
前記熱圧着装置は、
前記封止部材を前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行うホットプレート部を含み、
前記ホットプレート部は、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられている
ことを特徴とする前記[1]〜[8]のうちいずれか1つに記載の有機EL発光モジュールの製造システム。[9] A thermocompression bonding apparatus that thermocompression-bonds the sealing member and the substrate,
The thermocompression bonding apparatus is
Including a hot plate portion for pressing the sealing member against the substrate and performing a sealing member thermocompression treatment for heating the sealing member;
The hot plate portion is provided with a convex portion at a position corresponding to an end portion of the sealing member. The organic EL light emission according to any one of [1] to [8], Module manufacturing system.
[10] 有機EL素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機EL素子を封止する有機EL発光モジュールの製造方法であって、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを有する封止部材貼り合せ装置が、
前記基板を、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とによって吸着する状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持する状態とする基板支持ステップと、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とする基板押下ステップと、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる貼り合せステップとを実行する
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造方法。[10] Manufacture of an organic EL light emitting module in which a sealing member is bonded to one surface of a substrate on which an organic EL element is formed, and the organic EL element is sealed between the substrate and the sealing member A method,
A substrate adsorbing upper surface for adsorbing the substrate;
A support base which is located below the upper surface of the suction and can support only the end of the substrate from below;
A member set part that is located below the substrate adsorption upper surface part and on which the sealing member is placed;
A sealing member laminating device provided at the center of the substrate suction upper surface portion and having a movable suction portion that can suck the center portion of the substrate and move up and down,
A state in which the substrate is supported by the movable suction portion and the support base by releasing the suction of the substrate suction upper surface portion from a state in which the substrate is sucked by the substrate suction upper surface portion and the movable suction portion. A substrate support step,
Thereafter, a substrate pressing step for moving the movable suction portion downward to bring the central portion of the substrate downward from the support base, and
Next, while holding the suction of the substrate by the movable suction portion, while moving the member set portion on which the sealing member is placed, while interlocking the substrate and the movable suction portion, A pressing step of pressing the member set portion together with the substrate and the sealing member against the suction upper surface portion, and sequentially bonding the substrate and the sealing member from the central portion toward the end portion of the substrate; A method for manufacturing an organic EL light emitting module, comprising:
[11] 有機EL発光モジュールの製造方法であって、
第1のシート状部材、および前記第1のシート状部材よりも広い面を有する第2のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置の、前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部に、前記第1のシート状部材が載置される第1のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置のシート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第1のシート状部材を前記ステージ面に対向して部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面に吸着する第1のシート状部材吸着ステップと、
前記ステージ部において、前記第1のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第2のシート状部材が載置される第2のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置の前記シート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第2のシート状部材を前記第1のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第1のシート状部材と前記第2のシート状部材とを積層する第2のシート状部材吸着ステップと、
封止部材貼り合せ装置が、有機EL素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機EL素子を封止する有機EL封止ステップとを含み、
前記第1のシート状部材載置ステップでは、前記第1のシート状部材の載置の位置合わせのために、第1側面を有する台部と第2側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有し、前記第1側面の相互の距離が前記第2側面の相互の距離よりも短いように複数の位置合わせ部が設置され、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第1側面に端部が当接するように前記第1のシート状部材を前記ステージ部に載置し、
前記第2のシート状部材載置ステップでは、前記第2のシート状部材の載置の位置合わせのために、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第2側面に端部が当接するように前記第2のシート状部材を前記ステージ部に載置する
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造方法。[11] A method of manufacturing an organic EL light emitting module,
The first sheet-like member of a sealing member producing apparatus for producing a sealing member in which a first sheet-like member and a second sheet-like member having a wider surface than the first sheet-like member are laminated. A first sheet-like member placement step in which the first sheet-like member is placed on a stage portion having a stage surface on which a member and the second sheet-like member can be placed in sequence;
By sucking the sheet-like member suction portion of the sealing member manufacturing apparatus close to the stage portion, the first sheet-like member placed on the stage surface faces the stage surface and sucks the member. A first sheet-like member adsorption step for adsorbing to an adsorption surface provided with a plurality of holes;
A second sheet-like member placement step in which the second sheet-like member is placed in a region including a region where the first sheet-like member is placed in the stage portion;
By bringing the sheet-like member suction portion of the sealing member manufacturing apparatus close to the stage portion, the first sheet-like member is sucked by the second sheet-like member placed on the stage surface. A second sheet-like member adsorption step of adsorbing and superposing on the adsorption surface, and laminating the first sheet-like member and the second sheet-like member;
A sealing member bonding apparatus bonds the sealing member to one surface of the substrate on which the organic EL element is formed, and seals the organic EL element between the substrate and the sealing member. An organic EL sealing step,
In the first sheet-like member placement step, for the positioning of the placement of the first sheet-like member, the base portion having the first side surface and the second side surface are disposed upward from the base portion. A plurality of alignment portions, each having a plurality of alignment portions, the plurality of alignment portions being installed such that a mutual distance between the first side surfaces is shorter than a mutual distance between the second side surfaces. The first sheet-like member is placed on the stage portion so that the end portion comes into contact with the first side surface of each of the first side surface,
In the second sheet-like member placement step, an end portion is brought into contact with the second side surface of each of the plurality of alignment portions in order to align the placement of the second sheet-like member. The method for manufacturing an organic EL light emitting module, wherein the second sheet-like member is placed on the stage portion.
[12] 前記封止部材作製装置の熱圧着部が、前記第2のシート状部材吸着ステップで前記シート状部材吸着部によって積層された前記第1シート状部材と前記第2シート状部材とを前記吸着面に押しつけるとともに、前記第1シート状部材と前記第2シート状部材とを加熱する熱圧着処理を行って前記第1シート状部材と前記第2シート状部材とによる前記封止部材を形成するシート状部材熱圧着ステップをさらに含み、
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着ステップで、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第2シート状部材に対向する領域のうち、前記第1シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする前記[11]に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。[12] The thermocompression bonding part of the sealing member manufacturing apparatus includes the first sheet-like member and the second sheet-like member laminated by the sheet-like member adsorption part in the second sheet-like member adsorption step. The sealing member formed by the first sheet-like member and the second sheet-like member is pressed against the suction surface and subjected to a thermocompression treatment for heating the first sheet-like member and the second sheet-like member. A sheet-like member thermocompression bonding step to be formed;
In the thermocompression bonding step, the sheet-like member adsorption portion faces the first sheet-like member in a region facing the second sheet-like member during execution of the thermocompression treatment by the thermocompression-bonding portion. The method for producing an organic EL light emitting module according to [11], wherein suction is performed only through a suction hole provided outside the area to be performed.
[13] 前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材であって、シート状に形成されて予め一の面には剥離紙が貼付され、前記一の面とは反対の面は前記剥離紙が帯状のテープ部材に貼付された前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置のテープ部材吸着部が、前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着ステップと、
前記テープ部材吸着部が、前記第1のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持する吸着保持ステップと、
前記粘着材貼り合せ装置の円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部が、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せステップを含む
ことを特徴とする前記[11]または[12]に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。[13] An adhesive material for bonding the sealing member to the substrate, which is formed in a sheet shape and has a release paper pasted on one surface in advance, and the surface opposite to the one surface is the surface A tape member adsorbing part of an adhesive material laminating apparatus for adhering the adhesive material with a release paper affixed to a strip-shaped tape member to the sealing member, the adhesive material in the tape member with the adhesive material affixed thereto A tape member adsorption step for performing an adsorption operation to adsorb the surface opposite to the surface being performed;
The suction holding unit that sucks and holds the tape member above the sealing member that is placed on the placement table so that the first sheet-like member forms part of the upper surface of the tape member suction unit. Steps,
A roller portion that is formed in a cylindrical shape of the adhesive material laminating device and rotates around a central axis peels off the tape member from the tape member adsorption portion, and forms a band between the tape member adsorption portion and the tape member. Rolling from one end portion to the other end portion along the longitudinal direction of the tape member, and pressing the adhesive material against the sealing member from the tape member side by a peripheral surface The method for producing an organic EL light-emitting module according to [11] or [12], further including an adhesive material bonding step of bonding to the sealing member.
[14] 前記テープ部材吸着部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する
ことを特徴とする前記[13]に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。[14] The tape member adsorbing portion is the tape when the roller portion peels the tape member from one end side along the longitudinal direction of the tape member in the adhesive material laminating step. The method of manufacturing an organic EL light-emitting module according to [13], wherein the adsorption operation is continued on the other end side of the member.
[15] 前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする前記[13]または[14]に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。[15] The tape member has a pasting area to which the release paper is pasted and a blank area outside the pasting area,
In the adhesive material laminating step, the roller portion applies the adhesive material to the sealing member over the pasting region from the blank region at one end portion in the longitudinal direction of the tape member to the other end portion. The method for producing an organic EL light-emitting module according to [13] or [14], wherein the organic EL light-emitting module is rolled so as to be attached to the organic EL light-emitting module.
[16] 前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第1状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第2状態との間で相互に遷移し、
前記粘着材貼り合せステップが実行される前に、少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第1状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換ステップが実行され、
前記窒素置換ステップが行われた後に、前記第2状態において前記空間内を窒素雰囲気に維持し、前記粘着材貼り合せステップが実行される
ことを特徴とする前記[13]〜[15]のうちいずれか1つに記載の有機EL発光モジュールの製造方法。[16] The adhesive material laminating apparatus comprises:
Including an upper surface portion covering the upper side of the tape member adsorbing portion, a lower surface portion covering the lower side of the mounting table, and a side surface portion covering a side of a space sandwiched between the upper surface portion and the lower surface portion,
When the lower surface portion and the upper surface portion are relatively close to each other, the upper end of the side surface portion is in contact with the upper surface portion, and the lower surface portion is in contact with the lower end of the side surface portion, and the tape member A first state in which the space containing the placement table on which the tape member suction portion and the sealing member on which the sealing member is placed is sealed, and the lower surface portion are separated from the upper surface portion. By the transition between the tape member adsorption portion and the tape member between the second state having a gap in which the roller portion can roll,
Before the adhesive bonding step is performed, nitrogen is supplied to the space after air is exhausted from the space when the first state is established in the nitrogen replacement chamber containing at least the lower surface portion. A nitrogen substitution step is performed,
Of the above [13] to [15], after the nitrogen replacement step is performed, the space is maintained in a nitrogen atmosphere in the second state, and the adhesive material bonding step is performed. The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting module as described in any one.
[17] 窒素雰囲気中に設置されたテープ部材剥離装置の把持部が、前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する粘着材剥離ステップと、
前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台に、前記粘着材剥離ステップで前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙を載置するテープ部材載置ステップとを含み、
窒素雰囲気と外気とは仕切り部材で仕切られ、
前記仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台を上方に移動させて前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる蓋部押し上げステップをさらに含む
ことを特徴とする前記[13]〜[16]のうちいずれか1つに記載の有機EL発光モジュールの製造方法。[17] A gripping part of a tape member peeling device installed in a nitrogen atmosphere grips a blank area outside the sticking area where the release paper is stuck on the tape member, and together with the tape member, the tape member An adhesive material peeling step for peeling the release paper affixed to the adhesive material;
The mounting table having an upper surface on which the tape member can be mounted includes a tape member mounting step for mounting the tape member and the release paper on which the grip portion has been peeled off from the adhesive material in the adhesive material peeling step. ,
The nitrogen atmosphere and the outside air are partitioned by a partition member,
The partition member is provided with a through hole that fits with the mounting table when the mounting table moves upward, and a lid that covers the through hole from the outside is installed,
Any one of the above [13] to [16], further comprising a lid pushing-up step of pushing up the lid by the upper surface on which the tape member is placed by moving the mounting table upward. The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting module of description.
[18] 前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置において、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているホットプレート部が、前記貼り合せステップで前記基板に貼り付けられた前記封止部材をさらに前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行う封止部材熱圧着ステップを含む
ことを特徴とする前記[10]〜[17]のうちいずれか1つに記載の有機EL発光モジュールの製造方法。[18] In the thermocompression bonding apparatus for thermocompression bonding the sealing member and the substrate, a hot plate portion provided with a convex portion at a position corresponding to an end portion of the sealing member is the bonding step. [10] to [10], further including a sealing member thermocompression bonding step of performing a sealing member thermocompression treatment for further pressing the sealing member attached to the substrate against the substrate and heating the sealing member. [17] The method for producing an organic EL light emitting module according to any one of [17].
本発明によれば、第1のシート状部材と第2のシート状部材とが積層された封止部材で有機EL素子を封止するので、外部から有機EL素子への水分等の透過を良好に防止し、透過した水分等による有機EL素子の劣化を良好に抑制する有機EL発光モジュールを製造することができる。 According to the present invention, since the organic EL element is sealed with the sealing member in which the first sheet-like member and the second sheet-like member are laminated, the transmission of moisture and the like from the outside to the organic EL element is good. Thus, it is possible to manufacture an organic EL light emitting module that can prevent the deterioration of the organic EL element due to the transmitted moisture and the like.
また、第1のシート状部材と第2のシート状部材とが、位置合わせ部によって精度良く位置合わせされて基板上に積層されるので、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機EL発光モジュールの製造システムを実現することができる。 In addition, since the first sheet-like member and the second sheet-like member are accurately aligned by the alignment portion and stacked on the substrate, the production efficiency in which generation of defective products due to misalignment is suppressed is suppressed. A manufacturing system of a high organic EL light emitting module can be realized.
また、サイズの異なる第1のシート状部材と第2のシート状部材とが、同じ位置合わせ機構によって位置合わせを行うため、精度良く位置合わせすることが出来、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機EL発光モジュールの製造システムを実現することができる。 In addition, since the first sheet-like member and the second sheet-like member having different sizes are aligned by the same alignment mechanism, the first and second sheet-like members can be aligned with high accuracy, and the occurrence of defective products due to misalignment is suppressed. It is possible to realize a manufacturing system of the organic EL light emitting module with high production efficiency.
また、サイズの異なる第1のシート状部材と第2のシート状部材とが、同じ位置合わせ機構によって位置合わせを行うため、装置を簡略化することが出来るので、低コストの有機EL発光モジュールの製造システムを実現することができる。 In addition, since the first sheet-like member and the second sheet-like member having different sizes are aligned by the same alignment mechanism, the apparatus can be simplified, so that the low-cost organic EL light emitting module can be simplified. A manufacturing system can be realized.
また、サイズの異なる第1のシート状部材と第2のシート状部材とが、同じ位置合わせ機構によって位置合わせを行うため、タクトタイムの短縮化を図ることができ、生産効率の高い有機EL発光モジュールの製造システムを実現することができる。 In addition, since the first sheet-like member and the second sheet-like member having different sizes are aligned by the same alignment mechanism, the tact time can be shortened, and organic EL light emission with high production efficiency is achieved. A module manufacturing system can be realized.
熱圧着部による熱圧着処理の実行中には、第2シート状部材に対向する領域のうち、第1シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行うように構成されているので、第1シート状部材においてシート状部材吸着部の吸着面に設けられた吸入孔による吸入の痕跡による凹凸の形成を良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機EL発光モジュールを製造することができる。 During the execution of the thermocompression bonding process by the thermocompression bonding section, the suction is performed only through the suction hole provided outside the region facing the first sheet-like member among the regions facing the second sheet-like member. Therefore, in the first sheet-like member, it is possible to satisfactorily prevent the formation of irregularities due to the traces of inhalation by the suction holes provided on the suction surface of the sheet-like member suction portion, and thus organic EL light emission with good sealing performance Modules can be manufactured.
また、熱圧着処理によって、シート状部材吸着部の吸着面に対向する領域において第1シート状部材と第2シート状部材を密着させ、当該領域における第1シート状部材と第2シート状部材との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機EL発光モジュールを製造することができる。 Further, the first sheet-like member and the second sheet-like member are brought into close contact with each other in the region facing the adsorption surface of the sheet-like member adsorption portion by thermocompression treatment, and the first sheet-like member and the second sheet-like member in the region Therefore, it is possible to satisfactorily prevent a space from being formed between them, so that an organic EL light emitting module having a good sealing performance can be manufactured.
ローラ部が、テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材側から粘着材を封止部材に押しつけて粘着材を封止部材に貼り合せるように構成されているので、粘着材と封止部材との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機EL発光モジュールを製造することができる。 The roller part rolls from one end part to the other end part along the longitudinal direction of the tape member, and the adhesive member is pressed against the sealing member from the tape member side by the peripheral surface to seal the adhesive member Since it is comprised so that it may affix on a member, since it can prevent favorably that a space arises between an adhesive material and a sealing member, an organic electroluminescent light emitting module with favorable sealing performance can be manufactured. it can.
テープ部材吸着部は、ローラ部がテープ部材の長手方向に沿って一方の端部側からテープ部材を封止部材に貼合していくときに、テープ部材の他方の端部側において吸着動作を継続するので、ローラ部の転動中にテープ部材の下方への落下を防止することができる。また、他方の端部が吸着されて固定されているため、ローラ部の転動中にテープ部材と封止部材との相対位置がずれることなく精度良くテープ部材と封止部材とが貼合され、かつ、封止部材に貼り合わせる粘着材におけるしわの発生を良好に防ぐことができるため、高精度かつ高効率な有機EL発光モジュールの製造システムを実現することができる。 The tape member adsorption portion performs an adsorption operation on the other end portion side of the tape member when the roller portion sticks the tape member to the sealing member from one end portion side along the longitudinal direction of the tape member. Since it continues, it is possible to prevent the tape member from falling downward while the roller portion is rolling. In addition, since the other end is adsorbed and fixed, the tape member and the sealing member are bonded with high accuracy without the relative position of the tape member and the sealing member being shifted during the rolling of the roller portion. And since generation | occurrence | production of a wrinkle in the adhesive material affixed on a sealing member can be prevented favorably, the manufacturing system of a highly accurate and highly efficient organic electroluminescent light emitting module is realizable.
下面部と上面部とが相対的に近づいた第1状態で窒素置換動作が行われるように構成されているので、窒素置換を行う空間の体積を小さくすることができるため、真空減圧工程および窒素ガス導入工程の時間を短縮でき、有機EL発光モジュールの生産効率を高めることができる。 Since the nitrogen replacement operation is performed in the first state in which the lower surface portion and the upper surface portion are relatively close to each other, the volume of the space for performing the nitrogen replacement can be reduced. The time of the gas introduction process can be shortened, and the production efficiency of the organic EL light emitting module can be increased.
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材に、載置台が上方に移動すると載置台と嵌合する貫通孔が設けられ、載置台の上面によって当該貫通孔を覆う蓋部を押し上げるように構成されているので、貫通孔を通した窒素と外気との混合を良好に防いで外気の混合による不良品発生を良好に抑制することができ、有機EL発光モジュールの生産効率を高めることができる。 The partition member for partitioning the nitrogen atmosphere and the outside air is provided with a through hole that fits into the mounting table when the mounting table moves upward, and is configured to push up the lid that covers the through hole by the upper surface of the mounting table. Therefore, it is possible to satisfactorily prevent the mixing of nitrogen and outside air through the through-holes, to suppress the generation of defective products due to the mixing of outside air, and to increase the production efficiency of the organic EL light emitting module.
基板が可動式吸着部と支持台部とにより支持される状態とし、その後、可動式吸着部を下方に移動させることにより基板の中央部を支持台部より下方に押し下げた状態とし、次いで、可動式吸着部による基板の吸着を保持したまま、粘着材が貼り合された封止部材が載置された部材セット部を上方に移動させ、基板と可動式吸着部とを連動させながら、部材セット部を基板と粘着材が貼り合された封止部材とともに吸着上面部に押し付けることで、基板の中央部から端部に向かって順次基板と封止部材とを粘着材を介して貼り合わせるように構成されているので、基板と封止部材との間に空隙が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機EL発光モジュールを製造することができる。 The substrate is in a state of being supported by the movable suction portion and the support base, and then the central portion of the substrate is pushed downward from the support base by moving the movable suction portion downward, and then movable. While holding the adsorption of the substrate by the type adsorption unit, the member set unit on which the sealing member bonded with the adhesive material is moved is moved upward, and the substrate and the movable adsorption unit are interlocked to set the member. The substrate and the sealing member are sequentially bonded to each other from the center to the end of the substrate by pressing the portion together with the sealing member on which the substrate and the adhesive are bonded to the upper surface portion of the substrate. Since it is comprised, it can prevent favorably that a space | gap arises between a board | substrate and a sealing member, Therefore An organic electroluminescent light emitting module with favorable sealing performance can be manufactured.
また、可動式吸着部による基板の吸着を保持したまま当該基板と封止部材とを貼り合わせるので、基板における所定の位置に精度良く粘着材及び封止部材を貼付することができるため、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機EL発光モジュールの製造システムを実現することができる。 In addition, since the substrate and the sealing member are bonded together while holding the suction of the substrate by the movable suction unit, the adhesive material and the sealing member can be attached to a predetermined position on the substrate with high accuracy. The production system of the organic EL light emitting module with high production efficiency in which the generation of defective products due to the above is suppressed can be realized.
ホットプレート部には、封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているので、粘着材が貼り合された封止部材の外縁部をより確実に基板に熱圧着し、基板の一方の面に形成された有機EL素子および第1のシート状部材をより確実に封止して、有機EL素子の劣化を良好に抑制することができる。 Since the hot plate portion is provided with a convex portion at a position corresponding to the end portion of the sealing member, the outer edge portion of the sealing member to which the adhesive material is bonded is more reliably thermocompression bonded to the substrate. It is possible to more reliably seal the organic EL element and the first sheet-like member formed on one surface of the film, and satisfactorily suppress deterioration of the organic EL element.
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態について、実施の形態および変形例に基づき詳細に説明する。なお、本発明は以下に説明する内容に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において任意に変更して実施することが可能である。また、実施の形態の説明に用いる図面は、いずれも本発明による有機EL発光モジュールの製造システムを模式的に示すものであって、理解を深めるべく部分的な強調、拡大、縮小、または省略などを行っており、各構成部材の縮尺や形状等を正確に表すものとはなっていない場合がある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings based on the embodiments and modifications. In addition, this invention is not limited to the content demonstrated below, In the range which does not change the summary, it can change arbitrarily and can implement. The drawings used for describing the embodiments schematically show the manufacturing system of the organic EL light emitting module according to the present invention, and include partial emphasis, enlargement, reduction, omission, etc. to deepen understanding. In some cases, it does not accurately represent the scale or shape of each component.
本発明において、「窒素」または「N2」と記載された箇所は、窒素のみでなく、アルゴンなどの不活性ガスとしてもよいものとする。窒素またはアルゴンなどの不活性ガス中には、通常、水分および酸素が100ppm以下、好ましくは10ppm以下であり、更に好ましくは5ppm以下である。In the present invention, the portion described as “nitrogen” or “N 2 ” is not limited to nitrogen but may be an inert gas such as argon. In an inert gas such as nitrogen or argon, water and oxygen are usually 100 ppm or less, preferably 10 ppm or less, and more preferably 5 ppm or less.
また、本発明において、雰囲気としての「真空」とは、大気圧から減圧された状態全般を指し、通常1×10−3〜100Pa程度の真空度である。Further, in the present invention, “vacuum” as an atmosphere refers to a general state where pressure is reduced from atmospheric pressure, and is usually a vacuum degree of about 1 × 10 −3 to 100 Pa.
まず、本発明による有機EL発光モジュールの製造システムおよび有機EL発光モジュールの製造方法によって製造される有機EL発光モジュール1について説明する。 First, the organic EL light emitting module 1 manufactured by the organic EL light emitting module manufacturing system and the organic EL light emitting module manufacturing method according to the present invention will be described.
図1は、本発明による有機EL発光モジュールの製造システムおよび有機EL発光モジュールの製造方法によって製造される有機EL発光モジュール1の構成例を示す断面図である。図1に示すように、有機EL発光モジュール1は、基板2、有機EL素子3、粘着材4、吸湿層5(第1のシート状部材)、および保護層6(第2のシート状部材)を含む。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration example of an organic EL light emitting module 1 manufactured by the organic EL light emitting module manufacturing system and the organic EL light emitting module manufacturing method according to the present invention. As shown in FIG. 1, the organic EL light emitting module 1 includes a
なお、本実施の形態では、1枚の基板2に、有機EL素子3、粘着材4、吸湿層5、および保護層6という有機EL発光モジュール1の要素がそれぞれ複数個形成され、各個間で切断されることにより、複数の有機EL発光モジュール1が製造される。具体的には例えば、1枚の基板2に、有機EL素子3、粘着材4、吸湿層5、および保護層6が3行4列に並設されて、12個の有機EL発光モジュール1が製造される。以下に示す図面では、各要素がそれぞれ複数示されている場合があるが、複数示されている各要素は互いに同様に構成されている。そして、各図面においては、便宜的に各要素を2個または3個示した図を用いた。なお、各要素が行方向と列方向との少なくとも一方向に複数並設されてもよいし、基板2に1個だけ形成されていてもよい。また、各要素は、行列状に限られず、任意の態様で並設されていてもよい。生産性を向上させる観点からは複数の要素が基板上に形成されていることが好ましく、有機EL発光モジュール1を断裁しやすいことから行列状に配置されていることが更に好ましい。
In the present embodiment, a plurality of elements of the organic EL light emitting module 1 such as the
図1に示すように、基板2の一方の面21には有機EL素子3が形成されている。そして、有機EL素子3は、基板2の当該一方の面21に配置されたシート状の粘着材4と当該基板2の当該一方の面21とによって挟まれている。従って、有機EL素子3の一方の面31は基板2の一方の面21に覆われ、他方の面32は粘着材4に覆われている。
As shown in FIG. 1, the
粘着材4において、有機EL素子3の他方の面32を覆う一方の面41の反対側の他方の面42には、シート状に形成された吸湿層5が配置されている。従って、吸湿層5は、粘着材4を挟んで有機EL素子3の他方の面32に対向するように配置される。なお、吸湿層5は、粘着材4の他方の面42において、当該粘着材4の一方の面41における有機EL素子3に対向している範囲よりも広い範囲に配置されている。
In the
保護層6は、吸湿層5を収容する凹部領域61と当該凹部領域61の周囲の平坦領域62とを有する。そして、保護層6において、平坦領域62が粘着材4の他方の面42に貼り合されている。
The
保護層6は、吸湿層5を収容する領域をあらかじめ凹状に成型加工して凹部領域61を形成しておくか、または吸湿層5が形成された後、吸湿層5の形状に合わせて保護層6に凹部領域61を形成することが好ましい。凹部の深さは、吸湿層5の厚みと略同等であることが好ましい。その理由は、吸湿層5と保護層6とによって形成される面が平面となるため粘着材4との密着性が良好になり、外部からの水分や酸素の浸入を良好に防ぐことができるからである。なお、保護層6と、当該保護層6の凹部領域61に収容された吸湿層5とで封止部材10を構成する。
The
次に、有機EL発光モジュール1の各構成要素について説明する。
(基板)
基板2は有機EL素子の支持体となるものであり、石英やガラスの板、金属板や金属箔、プラスチックフィルムやシート等を用いることができる。特にガラス板や、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリカーボネート、ポリスルホン等の透明な合成樹脂の板またはシートが好ましい。合成樹脂製基板を使用する場合には、ガスバリア性に留意する必要がある。基板2のガスバリア性が小さすぎると、基板2を透過した外気により有機EL素子3が劣化することがある。このため、合成樹脂製基板の少なくとも片面に緻密なシリコン酸化膜等を設けてガスバリア性を確保する方法も好ましい方法の一つである。基板2の厚みは、通常0.01〜10mm、好ましくは0.02〜1mmである。Next, each component of the organic EL light emitting module 1 will be described.
(substrate)
The
(有機EL素子)
有機EL素子3は、基板2上に形成された第1の電極と、第1の電極上に形成された有機EL層と、有機EL層上に形成された第2の電極とを有する。有機EL素子3の有機EL層の発光層で発せられた光は、基板2を通して取り出される。有機EL素子3の構成およびその構成材料には、従来から公知のものを採用することができる。(Organic EL device)
The
(粘着材)
粘着材4は、基板2および有機EL素子3と、吸湿層5および保護層6とを貼り合せるものであり、例えば、厚さ25〜100μm程度の熱可塑性のシート状粘着材によってなる。粘着材4の特性は、吸湿層5、保護層6とともに、有機EL発光モジュール1の封止性能に大きな影響を及ぼすため、より水分や酸素を保持しにくい材料であることが好ましい。(Adhesive material)
The
粘着材4は熱可塑性であることが好ましく、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。粘着材4に含まれる熱可塑性樹脂としては特に限定されないが、例えばポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリイソブチレン、ポリエステル、ポリイソプレンなどを挙げることができる。これらは単独で又は2種以上組み合わせて使用してもよい。熱可塑性樹脂のガラス転移温度は、耐熱性の観点から、通常−80℃以上、好ましくは−20℃以上であり、上限は特に限定されない。粘着材4にはさらに、石油樹脂や環状オレフィン系重合体を含むことも好ましい。
The
(吸湿層)
吸湿層5には乾燥剤が含まれるが、乾燥剤としては吸湿性の高いものであれば特に限定されるものではない。例えば、アルカリ土類金属、アルカリ金属若しくはそれらの酸化物、又は無機多孔質材料などを挙げることができる。これらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。中でも、吸湿性と取り扱いの安全性の観点から、アルカリ土類金属又はアルカリ金属の酸化物、無機多孔質材料が好ましく、酸化カルシウム、ゼオライトが特に好ましい。吸湿層5はシート状であることが好ましい。シート状の吸湿層は、例えば粉末状の乾燥剤を樹脂と混合してシート状に成型して作製することができる。吸湿層は、乾燥剤以外の成分を含有していてもよく、例えば、高熱伝導性のSi,AlN,Cからなる粒子、ロッドなどを挙げることができる。(Hygroscopic layer)
Although the
図1に示すように、本実施の形態の吸湿層5はシート状に形成されており、厚みの下限値は、通常0.1μm、好ましくは1μm、より好ましくは10μmである。また厚みの上限値は、通常500μm、好ましくは200μm、より好ましくは100μmである。
As shown in FIG. 1, the
(保護層)
保護層6は、外部からの水分や酸素を遮断するとともに、背面部材を製造する際の支持体としても機能する場合もある。また、保護層6は、可撓性を有していてもよい。(Protective layer)
The
保護層6は、通常、金属箔又はプラスチックフィルムと無機化合物層との積層体などを用いることができる。保護層6は、ガスバリア性を有するものが好ましい。ガスバリア性を有する金属としては、例えば、アルミニウム、銅、ニッケルや、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料などが挙げられる。また、プラスチックフィルムと無機化合物層との積層体としては、プラスチックフィルムに酸化ケイ素、酸化アルミニウムなどの無機酸化物の層、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物の層を一層又は多層積層してなる積層フィルムなどがあげられる。保護層6は、外部からの水分や酸素の遮断性の観点からは金属箔が好ましく、金属箔としては、コスト低減および加工性の観点から銅箔およびアルミニウム箔が好ましく、適度な剛性を有する観点ではアルミニウム箔が好ましい。また、可撓性を有する観点においてはプラスチックフィルムと無機化合物の積層体が好ましい。
As the
保護層6の厚みの下限値は、通常1μm、好ましくは10μm、より好ましくは40μmである。保護層6の厚みの上限値は、通常500μm、好ましくは200μm、より好ましくは100μmである。
The lower limit of the thickness of the
次に、本発明による有機EL発光モジュール1の製造システムの全体構成について説明する。図2は、本発明による有機EL発光モジュール1の製造システムの実施の形態の全体構成を示すフロー図である。図2に示すように、本発明による有機EL発光モジュール1の製造システムは、封止部材作製装置100と、粘着材貼り合せ装置200と、テープ部材剥離装置300と、封止部材貼り合せ装置400と、熱圧着装置500とを含む。
Next, the whole structure of the manufacturing system of the organic EL light emitting module 1 according to the present invention will be described. FIG. 2 is a flowchart showing the overall configuration of the embodiment of the manufacturing system of the organic EL light emitting module 1 according to the present invention. As shown in FIG. 2, the manufacturing system of the organic EL light emitting module 1 according to the present invention includes a sealing
封止部材作製装置100は、吸湿層5と保護層6とを積層して封止部材10を形成する。粘着材貼り合せ装置200は、粘着材4を封止部材10に貼り合せる。テープ部材剥離装置300は、粘着材4に予め貼付されている剥離紙45(図1および図2において図示せず)を当該粘着材4から剥離する。封止部材貼り合せ装置400は、封止部材10を有機EL素子3が予め形成された基板2に貼り付ける。熱圧着装置500は、封止部材10と基板2とを熱圧着する。
In the sealing
次に、各装置の構成および動作について説明する。
(封止部材作製装置)
図3(a),(b)は、封止部材作製装置100の要部断面図である。図3(a),(b)に示すように、封止部材作製装置100は、複数のピン部材110(位置合わせ部)と複数のステージ部材120(ステージ部)と吸着ヘッド130(シート状部材吸着部)とを含み、さらに図3において図示しないホットプレート150(熱圧着部)を含む。Next, the configuration and operation of each device will be described.
(Sealing member manufacturing device)
3A and 3B are cross-sectional views of the main part of the sealing
ピン部材110は、台部111と台部111の上面112に立設された立設部113とを含む。台部111は、所定の第1の径の円筒形状である第1台部114と、第1台部114から上方に亘って形成され、上面112を有し、当該上面112に近づくにつれて径が小さくなるように構成された円錐台形状である第2台部115とを含む。
The
そして、ピン部材110において第1台部114の周面による側面を第1側面119aという。
In the
また、立設部113は、第1の径よりも小さい所定の第2の径の円筒形状である第1立設部116と、第1立設部116から上方に亘って形成され、上面117を有し、当該上面117に近づくにつれて径が小さくなるように構成された円錐台形状である第2立設部118とを含む。
Further, the standing portion 113 is formed from a first standing portion 116 that is a cylindrical shape having a predetermined second diameter smaller than the first diameter, and from the first standing portion 116 upward, and an
そして、ピン部材110において、第1立設部116の周面による側面を第2側面119bという。
And in the
なお、本実施の形態では、ピン部材110の第1側面119aを構成する第1台部114および第2側面119bを構成する第1立設部116はいずれも円筒形状であるとしているが、いずれか一方または両方が直方体形状等の他の形状であってもよい。従って、後述するように、吸湿層5の位置合わせが可能なように第1側面119aを構成すれば、第1台部114は直方体形状等の他の形状であってもよい。また、保護層6の位置合わせが可能なように第2側面119bを構成すれば、第1立設部116は直方体形状等の他の形状であってもよい。
In the present embodiment, the
ステージ部材120は、図3(a)に実線で示されているように吸湿層5を載置可能であるとともに、図3(b)に実線で示されているように保護層6において裏側に凹部領域61が形成されて凸形状に形成されている部分である中央部を載置可能な上面であるステージ面121を有する。
The
図3(a),(b)に示す例では、ステージ面121は、吸湿層5の全体および保護層6の中央部に応じた形状および広さを有するように形成されている。なお、図3(b)に実線で示すように、保護層6の平坦領域62は、ピン部材110の台部111の上面112に載置される。従って、保護層6は、ステージ面121からピン部材110の台部111の上面112に亘って載置される。
In the example shown in FIGS. 3A and 3B, the
また、図3(b)に示す例では、保護層6の凹部領域61の裏側の領域は、平坦領域62の裏側の平面領域に対して凸形状に形成されている。そして、図3(b)に実線で示すように、保護層6は、凹部領域61が吸着ヘッド130の吸着面131に対向する向きで載置される。従って、保護層6がステージ部材120に載置されるときには、ステージ面121の位置は、ピン部材110の台部111の上面112よりも前述した保護層6の凸形状の高さに応じて低くなるように設定されている。
In the example shown in FIG. 3B, the region on the back side of the recessed
図4は、ピン部材110とステージ部材120との位置関係を示す上面図である。図4に示す例では、正方形状(長方形状であってもよい)のステージ面121を有するステージ部材120においてステージ面121の端辺の中央部分に隣接して、各ピン部材110がそれぞれ設置されている。そして、各ピン部材110は、第1側面119aの相互の距離が第2側面119bの相互の距離よりも短いように設置されている。なお、ピン部材110とステージ部材120との位置関係は図4に示す例に限られず、ステージ面121よりも広い上面に等間隔で貫通孔が設けられ、各貫通孔にそれぞれピン部材110が配置され、各ピン部材110の間にステージ面121に相当する広さの正方形状(長方形状であってもよい)の平面が設けられてもよい。
FIG. 4 is a top view showing the positional relationship between the
また、図4には1つのステージ部材120が示され、図3(a),(b)には2つのステージ部材120が示されているが、ステージ部材120が3つ以上設置されるとともに、各ステージ部材120の周囲にピン部材110がそれぞれ設置されてもよい。具体的には、例えば、ステージ部材120が3行4列に並べられるとともに、各ステージ部材120の周囲にピン部材110がそれぞれ設置されてもよい。そのような構成によれば、吸湿層5および保護層6を順次3行4列に並べて12個の封止部材10を1回の作業工程で生成することが可能になる。
4 shows one
ステージ部材120は、ステージ面121と吸着ヘッド130の吸着面131(吸着面131については後述する)との間の距離が変化するように上下に移動する。図3(a)に示す例では、ステージ面121が、ピン部材110の台部111の第1側面119aに隣接する位置まで下がっている。それに対して、図3(b)に示す例では、ステージ面121がピン部材110の台部111の上面112に対して前述した保護層6の凸形状の高さに応じた低い位置まで上方に移動している。
The
ステージ部材120がこのように上下に移動することによって、低い位置にあるときには、ステージ面121に載置される吸湿層5の位置合わせに各ピン部材110の台部111の第1側面119aを利用することができ、高い位置にあるときには、ステージ面121からピン部材110の台部111の上面112に亘って載置される保護層6の位置合わせに各ピン部材110の立設部113の第2側面119bを利用することができる。
When the
ここで、前述の通り、第2台部115は円錐台形状であるとしたが、保護層6の位置合わせが可能なように第2台部を設計すれば、たとえば第2台部115の側面と上面112との境界付近であって、少なくとも保護層6の設置側に凹部または切り欠きを有する形状であってもよい。
Here, as described above, the
第2台部115が円錐台形状である場合、第2台部115の側面と上面112との境界付近が保護層6に接触することによって保護層6の中央部がステージ面121から浮いた状態にならない程度に、第2台部115は上面112に近づくにつれて径を小さくすることが好ましい。その理由は、保護層6の位置合わせおよび吸湿層5との貼り合わせが精度良く行なえること、および、吸湿層5を、ステージ部材120のステージ面121上であって、ピン部材110の第1側面119aによって定められた位置に配置する際、吸湿層5がピン部材110の台部111の上面112の端部に引っかかりにくいことである。
When the
同様に、第2台部115の側面と上面112との境界付近であって、少なくとも保護層6の設置側に凹部または切り欠きを有する形状を有する場合、第2台部115の側面と上面112の境界付近が保護層6に接触することによって保護層6の中央部がステージ面121から浮いた状態にならないように、第2台部115の側面と上面112との境界付近が保護層6に接触しない形状とすることが好ましい。その理由は、保護層6の位置合わせおよび吸湿層5との貼り合わせが精度良く行なえること、および、保護層6を、ステージ部材120のステージ面121上であって、ピン部材110の第1立設部116の第2側面119bによって定められた位置に配置する際、保護層6がピン部材110の第1立設部116の第2側面119bの上面117の端部に引っかかりにくいことである。
Similarly, when it has a shape near the boundary between the side surface of the
また、前述の通り、第2立設部118は円錐台形状であるとしたが、保護層6を吸着面131に吸着させる妨げにならないように精密に設計・作製すれば、第2立設部118は第1立設部116と同一、言い換えれば第2立設部118がない構造でもよい。
Further, as described above, the
ピン部材110の形状をこのような構造とすることで、ピン部材110を上下させるだけの単純な機構によって、大きさの異なる2つのシート部材を精度良く配置することが可能となる。
By setting the shape of the
ピン部材110の形状をこのような構造とすることで、大きさの異なる吸湿層5と保護層6とが同じピン部材110によって位置合わせされて載置されるので、積層されたときの吸湿層5と保護層6とのずれを良好に抑制することができる。従って、保護層6の凹部領域61に確実に吸湿層5を収容することができる。
Since the
図3(a),(b)に示すように、吸着ヘッド130は、ピン部材110およびステージ部材120の上方に設置されてステージ面121に対向する吸着面131を有する。吸着面131には複数の吸入孔132が設けられており、ステージ面121に近接すると当該ステージ面121に順次載置された吸湿層5および保護層6を順次真空吸着する。
As shown in FIGS. 3A and 3B, the
そして、図5に示すように、ホットプレート150は、吸着ヘッド130の吸着面131に吸着されている吸湿層5および保護層6を加熱して互いに貼り合せる。
Then, as shown in FIG. 5, the
次に、封止部材作製装置100の動作について説明する。まず、図3(a)に示すようにステージ部材120が低い位置にある状態で、端部がピン部材110の第1側面119aに当接するように吸湿層5がステージ面121に載置される。そして、吸着ヘッド130は、ステージ面121に近接する方向に下降して、当該ステージ面121に載置された吸湿層5を吸着面131に吸着する。
Next, the operation of the sealing
この際、ピン部材110は、吸着ヘッド130とともに両者の位置関係を維持したまま下降することで、吸着ヘッド130がステージ面121と近接することを可能とする。吸着ヘッド130とピン部材110が下降するのではなく、ステージ部材120が上昇する構造としてもよい。
At this time, the
すると、図3(a)に破線で示されているように、吸着ヘッド130の吸着面131に吸湿層5が吸着され、ステージ面121の上方に保持される。
Then, as indicated by a broken line in FIG. 3A, the
次いで、図3(b)に示すようにステージ面121が前記高い位置になるようにステージ部材120が移動し、保護層6の端部がピン部材110の第2側面119bに当接するように、保護層6がステージ面121からピン部材110の台部111の上面112に亘って載置される。そして、吸着ヘッド130は、ステージ面121に近接して、当該ステージ面121に載置された保護層6を保持している吸湿層5に重畳して吸着面131に吸着する。この際のピン部材110の動き方は、吸湿層5の吸着の場合と同様である。
Next, as shown in FIG. 3B, the
すると、図3(b)に破線で示されているように、吸着ヘッド130の吸着面131に保護層6が吸着して当該保護層6の凹部領域61に吸湿層5が収容され、封止部材10を構成する吸湿層5と保護層6とが積層される。
Then, as indicated by a broken line in FIG. 3B, the
封止部材10が吸湿層5と保護層6とによって構成されているので、当該封止部材10によって封止された有機EL素子3に外部から水分等の透過を良好に防止するとともに、透過した一部の水分を吸湿層5が吸収するので、当該有機EL素子3の劣化を良好に抑制することができる。
Since the sealing
また、吸湿層5と保護層6とがピン部材110によって正確に位置合わせされて積層されるので、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機EL発光モジュールの製造システムを実現することができる。
Further, since the
図5は、吸湿層5と保護層6とを加熱するホットプレート150を示す説明図である。吸着ヘッド130は、封止部材10を吸着したまま、下方にホットプレート150が位置する別の場所に移動される。図5に示すように、吸着ヘッド130の吸着面131に積層されて上方に吸着されている吸湿層5と保護層6とは、ホットプレート150によって下方から加熱されて互いに貼り合される。なお、ホットプレート150は、吸湿層5と保護層6とを加熱するとともに吸着ヘッド130の吸着面131に押しつけて、熱圧着してもよい。熱圧着する場合の加熱温度は、通常40℃以上、好ましくは50℃以上であり、通常300℃以下、好ましくは200℃以下である。熱圧着する場合の加熱時間は、通常1秒以上、好ましくは5秒以上であり、通常30分以下、好ましくは15分以下である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a
また、吸着ヘッド130は、ホットプレート150が吸湿層5と保護層6とを加熱しているときには、吸着面131において、保護層6に対向する領域のうち吸湿層5に対向する領域外に設けられた吸入孔132のみによって吸着を行う。すると、吸湿層5の吸着面131に対向する面に吸入孔132による吸着の痕跡による凹凸の形成を防ぐことができるため好ましい。また、吸着ヘッド130は、保護層6に対向する領域のうち吸湿層5に対向する領域外に設けられた吸入孔132のうち、吸湿層5に対向する領域の周囲の近傍に設けられた吸入孔132によって吸着を行うことが好ましい。すると、吸湿層5と保護層6との境界部分が真空に吸入されて境界部分で吸湿層5と保護層6とが密着し、後述する基板2との貼り合わせ時に、当該境界部分の空隙の発生を防ぐことができる。
Further, when the
図6は、吸湿層5と保護層6とが積層されて互いに貼り合された封止部材10が載置された載置テーブル610を示す説明図である。ホットプレート150により貼り合された吸湿層5と保護層6は、吸着ヘッド130に吸着されたまま、下方に載置テーブル610が位置する窒素置換チャンバ600内に移動される。載置テーブル610は、窒素置換チャンバ600内に設置され、保護層6に凹部領域61が形成されたことによって生じた凸形状の高さに応じた凹部616を上面615に有する。そして、図6に示すように、吸湿層5と保護層6とが積層されて互いに貼り合された封止部材10は、載置テーブル610の上面615における凹部616内に保護層6の凸形状が収容されるように載置される。なお、図6に示すように、封止部材10は、保護層6の凹部領域61が上側となる向きで載置テーブル610の凹部616に載置される。載置テーブル610の凹部616は、吸入孔を有していて封止部材10を吸着できることが好ましい。
FIG. 6 is an explanatory view showing a mounting table 610 on which the sealing
(粘着材貼り合せ装置)
図7(a),(b)は、粘着材貼り合せ装置200の要部断面図である。図7(a),(b)に示すように、粘着材貼り合せ装置200は、複数のピン部材210と複数のステージ部材220と吸着ヘッド230とを含む。粘着材貼り合せ装置200は、さらに吸着反転部材240(図7(a),(b)において図示せず)、テープ部材吸着部である吸着移載部材250(図7(a),(b)において図示せず)、載置テーブル610(図7(a),(b)において図示せず)、およびローラ部材611(図7(a),(b)において図示せず)を含む。(Adhesive material bonding equipment)
7A and 7B are cross-sectional views of the main part of the adhesive
ステージ部材220は、両面に剥離紙43a,43bが予めそれぞれ貼付された粘着材4を載置可能な上面であるステージ面221を有する。図7(a)に示す例では、ステージ面221は、複数のピン部材210によって、粘着材4の全体に応じた形状および広さを有するように形成されている。なお、粘着材4には、一方の面にのみ剥離紙が貼付されていてもよい。
The
図7(a),(b)に示すように、複数のピン部材210は、例えば、円筒形状の第1台部211と、第1台部211から上方に亘って形成され、上面212を有し、当該上面212に近づくにつれて径が小さくなるように構成された円錐台形状である第2台部215とを含む。そして、第1台部211の周面によってピン部材210の側面219が構成されている。
As shown in FIGS. 7A and 7B, the plurality of
そして、ピン部材210は、図7(a)に示すように、粘着材4がステージ面221上に載置された場合に粘着材4が側面219に当接するようにされて、上面212がステージ部材220のステージ面221よりも高い位置になる高い状態から、当該上面212が当該ステージ面221と略同じ高さになる低い状態に相互に遷移する。つまり、ピン部材210は、ステージ部材220のステージ面221に対して相対的に上下に移動する。
As shown in FIG. 7A, the
まず、ピン部材210を前記高い状態とし、粘着材4を、剥離紙43aが上面になるようにステージ面221上に設置する。ピン部材210の側面219により、複数の粘着材4の相対的な位置関係が所定の配置に維持される。
First, the
次に、図7(a),(b)に示すように、吸着ヘッド230は、一方の面に剥離紙43aが、他方の面に剥離紙43bが予め貼付されてステージ部材220のステージ面221に載置された粘着材4を上方から吸着して保持する。具体的には、ステージ部材220とピン部材210とを一体として上方に移動させる。吸着ヘッド230の表面とピン部材210の上面212とが当接した後は、なおもステージ部材220のみを上方に移動させ、吸着ヘッド230と粘着材4とを近接させることにより、吸着ヘッド230に粘着材4を吸着させる。吸着ヘッド230は、剥離紙43aを吸着して、粘着材4および剥離紙43bを上方に保持する。
Next, as shown in FIGS. 7A and 7B, the
そして、粘着材4を吸着ヘッド230に吸着後、再度吸着ヘッド230とステージ部材220をある程度離間させて、ピン部材210を前記低い状態とし、複数のステージ部材220のステージ面221および複数のピン部材210の上面212に亘って、帯状のテープ部材7が載置される。なお、載置されたテープ部材7において上方を向く一方の面71は粘着性を有する。そして、図7(b)に示すように、吸着ヘッド230によって上方に吸着されて保持されている粘着材4が、吸着ヘッド230とステージ部材220とを再度近接させることにより、テープ部材7の粘着性を有する一方の面71上に載置されて、剥離紙43bを介してテープ部材7に貼付される。次いで、テープ部材7から剥離紙43aが除去される。剥離紙43aの除去は、人手で行われてもよいし、剥離紙除去用の装置によって行われてもよい。
Then, after adsorbing the
図7(b)においてテープ部材7は帯状としたが、テープ部材7は帯状であってもよいし、あらかじめ所定のサイズに断裁されたシート状であっても良い。テープ部材7が帯状であるほうが、連続生産において巻き出し操作によって簡便に連続的にテープ部材を供給できることから好ましい。
In FIG. 7B, the
なお、粘着材4が貼付された帯状のテープ部材において少なくとも一の端部には、粘着材4が貼付されていない余白領域72が設けられている。換言すれば、帯状のテープ部材は、粘着材4が貼付されたときに、少なくとも一の端部に粘着材4が貼付されていない余白領域72が設けられるように複数のステージ部材220のステージ面221および複数のピン部材210の上面212に亘って載置される。図7(b)においては、粘着材4が貼付された帯状のテープ部材7において、長手方向の巻きだし側とは反対側の端部(図7(b)の向かって右側)に粘着材4が貼付されていない余白領域72が設けられている図を示した。しかしながら、粘着材4が貼付されていない余白領域72は、図7(b)においてテープの巻きだし側(図7(b)の向かって左側)であっても良いし、帯状のテープ部材の巻きだし方向に平行な辺を有する端部(図7(b)の向かって手前側または奥側)であってもよい。
Note that a
図8は、吸着反転部材240の動作を示す説明図である。図8に示すように、吸着反転部材240には、テープ部材7に貼付された複数の粘着材4の互いの間の領域および余白領域72をそれぞれ吸着するための吸着面241を有する。吸着反転部材240は、複数のステージ部材220のステージ面221および複数のピン部材210の上面212に亘って載置されているテープ部材7の上方から、吸着面241に当該テープ部材7を吸着する。つまり、テープ部材7の一方の面71において、貼付された複数の粘着材4の間の領域および余白領域72は、吸着反転部材240の吸着面241の下方に吸着される。
FIG. 8 is an explanatory view showing the operation of the
そして、吸着反転部材240は、図8に示すように上下反転動作を行う。つまり、テープ部材7の一方の面71において、貼付された複数の粘着材4の間の領域、および余白領域72は、吸着反転部材240の吸着面241の上方に吸着されることになる。なお、吸着反転部材240は、例えば、長手方向の両端部において回転可能に支持され、当該長手方向を軸に回転して上下反転動作を行う。吸着反転部材240が行う上下反転動作は他の方法で行われてもよい。
Then, the
図9は、吸着反転部材240と吸着移載部材250(テープ部材吸着部)とによるテープ部材7の受け渡しを示す説明図である。図9に示すように、吸着移載部材250は、吸着反転部材240の吸着面241の上方から、テープ部材7の一方の面71の裏側の他方の面73を下方に吸着するとともに、吸着反転部材240は、吸着動作を終了する。すると、テープ部材7は、吸着反転部材240から吸着移載部材250に渡される。吸着移載部材250は、窒素置換チャンバ600上にテープ部材7とともに移動する。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing delivery of the
剥離紙43bのみが貼付されている粘着材4を用いる場合、まず、図7(a)同様に、剥離紙43bのみが添付されている粘着材4を、ピン部材210の側面219に当接し、かつ、剥離紙43b側の面がステージ部材220のステージ面221に接するように配置する。そして、吸着ヘッド230の表面を、粘着材4が粘着しない素材で形成しておけば、前述と同様の工程で粘着材4とテープ部材7の貼付が可能である。粘着材4が粘着しない素材は例えばフッ素化された樹脂を用いることができ、具体的にはポリテトラフルオロエチレンなどが挙げられる。
When the
剥離紙43aのみが貼付されている粘着材4を用いる場合、まず、図7(a)同様に、剥離紙43aのみが貼付されている粘着材4を、ピン部材210の側面219に当接し、かつ、剥離紙43aの反対側の粘着材面がステージ部材220のステージ面221に接するように配置する。ステージ面221は、粘着材4が粘着しない素材で形成されている。粘着材4が粘着しない素材は例えばフッ素化された樹脂を用いることができ、具体的にはポリテトラフルオロエチレンなどが挙げられる。
When the
次に、ピン部材210を粘着材4の剥離紙43aの面の高さと同じか低い位置まで下げる。
Next, the
次に、粘着性を有するテープ部材7の粘着性を有する面を粘着材4の剥離紙43aに対向するように配置し、テープ部材7の粘着性を有する面を粘着材4の剥離紙43aに貼り合せる。
Next, the adhesive surface of the
以上の工程により、剥離紙43aを介して粘着材4が貼付されたテープ部材7を得ることができる。この方法によれば、粘着材4が貼付されたテープ部材7を反転させる工程が不要となり生産効率を高めることができる。
Through the above steps, the
工程を簡略化できる観点においては、片面のみに剥離紙が添付されている粘着材4を用いる本工程の方が好ましい。
From the viewpoint of simplifying the process, the present process using the
粘着材4の取り扱い性の観点においては、両面に剥離紙が添付された粘着材4を用いる工程の方が好ましい。
From the viewpoint of handleability of the pressure-sensitive
図10(a),(b)は、窒素置換チャンバ600による窒素置換の工程を示す説明図である。図10(a)に示すように、窒素置換チャンバ600は貫通孔605が設けられた上面606を有している。
FIGS. 10A and 10B are explanatory views showing a nitrogen replacement process in the
また、図10(a)に示すように、テープ部材7を下方に吸着した吸着移載部材250は、封止部材10が載置されている窒素置換チャンバ600内の載置テーブル610の上方に移動する。なお、載置テーブル610には、テープ部材7の長手方向に沿って移動可能な後述するローラ部材611が設置されている。
Further, as shown in FIG. 10A, the
図10(a)に示すように、吸着移載部材250の上方は上面部601によって覆われ、載置テーブル610の下方は下面部602によって覆われている。また、載置テーブル610の側方は、側面部603によって覆われている。図10(a)に示す例では、側面部603は、下端が下面部602の上面に当接している。そして、側面部603において載置テーブル610に対向する面の反対側の面である外側面604は、窒素置換チャンバ600の上面606に設けられた貫通孔605の端部607に当接している。
As shown in FIG. 10A, the upper portion of the
従って、窒素置換チャンバ600の上面606に設けられた貫通孔605は、側面部603および下面部602によって塞がれて、当該窒素置換チャンバ600内の窒素が外部に流出しない状態にできるように構成されている。
Accordingly, the through
そして、図10(b)に示すように、上面部601が下方に移動して、または下面部602、側面部603及び窒素置換チャンバ600が上方に移動して、上面部601と下面部602とが相対的に近づいて、上面部601と下面部602との間の空間が側面部603によって覆われ(側面部603の上端が上面部601に当接し、側面部603の下端が下面部602に当接し)、当該空間が密閉された状態(第1状態)になる。なお、ローラ部材611は、上面部601と下面部602とが近づいても干渉しない位置に配置されているとする。また、このとき、粘着材4と封止部材10とは接触しない配置である。そして、当該空間が密閉された状態で当該空間から空気を排出して真空排気してから窒素を供給し、当該空間内を窒素雰囲気にする。
Then, as shown in FIG. 10B, the
このように、当該空間の第1状態の窒素置換は、上面部601と下面部602とが近づいた状態で行われるので、空気の排出及び窒素置換を行う空間の体積を狭くすることができるため、より短時間で当該空間内を窒素雰囲気とすることができる。
Thus, nitrogen replacement in the first state of the space is performed in a state in which the
図11(a),(b),(c)は、粘着材4を封止部材10に貼付する工程を示す説明図である。図11(a)に示すように、下面部602が下方に移動して、または上面部601と側面部603が上方に移動して、上面部601と下面部602とが相対的に離間し、ローラ部材611は、テープ部材7の長手方向に沿って移動可能な状態(第2状態)になる。図11の形態の装置においては、下面部602が下方に移動する。
FIGS. 11A, 11 </ b> B, and 11 </ b> C are explanatory diagrams illustrating a process of attaching the
図11(a),(b),(c)に示すように、ローラ部材611は、支持部612およびローラ部613を含む。支持部612は、一端は載置テーブル610によってテープ部材7の長手方向に沿って移動可能に支持され、他端はローラ部613を回動可能に支持する。ローラ部613は、円筒形状に形成され、中心軸周りに回転する。
As shown in FIGS. 11A, 11 </ b> B, and 11 </ b> C, the
図11(b),(c)に示すように、ローラ部613は、吸着移載部材250からテープ部材7を剥離しながら吸着移載部材250とテープ部材7との間を帯状のテープ部材7の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動する。つまり、ローラ部材611の支持部612がテープ部材7の長手方向に沿って移動するに伴って、ローラ部613が吸着移載部材250からテープ部材7を剥離しながら転動する。また、ローラ部613の周面は、テープ部材7側から粘着材4を封止部材10に押しつけて粘着材4を封止部材10に貼り合せる。
As shown in FIGS. 11B and 11C, the
ローラ部613が、テープ部材7の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材7側から粘着材4を封止部材10に押しつけて粘着材4を封止部材10に貼り合せるように構成されているので、粘着材4と封止部材10との間に空間が生じることを良好に防ぐことができる。
The
なお、吸着移載部材250は、テープ部材7の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ当該テープ部材7を剥離していくときに、当該テープ部材の他方の端部側の吸着動作を継続することが好ましい。これにより、ローラ部613の転動中にテープ部材7の下方への落下を防止することができる。また、ローラの転動中にテープ部材7と封止部材10の位置がずれることなく精度良くテープ部材7と封止部材10とを貼り合わせることが出来、かつ、粘着材4におけるしわの発生を良好に防ぎ、粘着材4と封止部材10との間に空隙ができることを防ぐことができる。
The
また、ローラ部613による粘着材4と封止部材10との貼り合せの位置合わせ調整を容易にするために、上面部601および吸着移載部材250の少なくとも一部に、内部が作業者によって、または撮影手段等の監視装置によって確認可能なように窓部が設けられていることが好ましい。
Further, in order to facilitate the alignment adjustment of the bonding of the
(吸着ハンド)
吸着ハンド700について説明する。吸着ハンド700は、互いに貼り合された粘着材4、封止部材10、およびテープ部材7を窒素置換チャンバ600から真空チャンバ800に移載するために用いられる。なお、真空チャンバ800は、内部を真空雰囲気とすることが可能な容器である。(Suction hand)
The
図12(a),(b)は、吸着ハンド700の動作を示す説明図である。図12(a)に示すように、吸着ハンド700は、載置テーブル610に互いに貼り合されて載置されているテープ部材7、粘着材4、および封止部材10を、上方にあるテープ部材7の他方の面73側から上方に吸着して保持する。
12A and 12B are explanatory diagrams showing the operation of the
そして、図12(b)に示すように、吸着ハンド700は、互いに貼り合わされているテープ部材7、粘着材4、および封止部材10を吸着して保持したまま、真空チャンバ800内に設置されて上面801を有する載置テーブル802の上方に移動する。次いで、吸着ハンド700は、互いに貼り合されているテープ部材7、粘着材4、および封止部材10を載置テーブル802の上面801に載置する。
Then, as shown in FIG. 12B, the
(テープ部材剥離装置)
図13(a),(b)は、テープ部材剥離装置300の動作を示す説明図である。図13(a)に示すように、テープ部材剥離装置300は、テープ部材折り曲げ部材301とテープ部材把持部材302(把持部)、テープ部材剥離補助部材303とを含み、さらに図13(a),(b)において図示しないテープ部材載置台304(載置台)を含む。(Tape member peeling device)
FIGS. 13A and 13B are explanatory views showing the operation of the tape
図13(a)に示すように、テープ部材折り曲げ部材301は、例えば、載置テーブル802の上面801に載置されたテープ部材7に向かって移動可能に支持されている棒状体であり、先端部がテープ部材7の余白領域72に当接することによって、当該テープ部材7の余白領域72を上方に折り曲げる。
As shown in FIG. 13A, the tape member bending member 301 is, for example, a rod-like body that is supported so as to be movable toward the
そして、テープ部材把持部材302は、折り曲げられた当該テープ部材7の余白領域72の少なくとも一部を把持しながらテープ部材7から離間するように移動することによって、当該テープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bを粘着材4から剥離する。
Then, the tape
具体的には、テープ部材把持部材302が、折り曲げられた当該テープ部材7の余白領域72を把持しながらテープ部材7から離間するように移動する。テープ部材剥離補助部材303が、移動しているテープ部材把持部材302の下方のテープ部材7を粘着材4に押しつけながら、当該テープ部材把持部材302と同様にテープ部材7の長手方向に移動する。すると、テープ部材剥離補助部材303が粘着材4に押しつけている箇所を支点にテープ部材7がテープ部材把持部材302によって引っ張られ、テープ部材把持部材302およびテープ部材剥離補助部材303の移動に伴ってテープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bは粘着材4から剥離される。
Specifically, the tape
テープ部材剥離補助部材303によってテープ部材7を封止部材10側に押し付けておくことによって、テープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bを剥離する際に、封止部材10及び粘着材4が載置テーブル802の上面801の所定の位置からずれることを良好に抑制する。
When the
なお、図13(a),(b)に示す例では、テープ部材剥離補助部材303は直角三角形状の断面を有するように形成されているが、他の形状であってもよい。テープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bを粘着材4からムラ無く均一に剥離するために、剥離されたテープ部材7の剥離角(剥離されたテープ部材7の面と、テープ部材7を剥離した封止部材10に貼り合された粘着材4の面とのなす角)は鋭角であることが好ましい。剥離されたテープ部材7の剥離角を鋭角にするためには、テープ部材剥離補助部材303は、テープ部材7と接する面が平面であり、テープ部材7がテープ部材把持部材302によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の角度が鋭角形状であることが好ましい。また、テープ部材剥離補助部材303の形状が薄板状である場合、テープ部材剥離補助部材303の、テープ部材7がテープ部材把持部材302によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の形状の曲率半径は、テープ部材7を切断しないためには5μm以上であることが好ましい。また、テープ部材剥離補助部材303の、テープ部材7がテープ部材把持部材302によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の形状の曲率半径は、剥離角を鋭角に保ってムラ無く均一に剥離するためには5mm以下であることが好ましい。
In the example shown in FIGS. 13A and 13B, the tape member peeling
テープ部材把持部材302は、粘着材4から剥離したテープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bを、テープ部材載置台304の上面305上に載置する。図14は、テープ部材把持部材302による粘着材4から剥離したテープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bをテープ部材載置台304の上面305上に載置する動作を示す説明図である。図14の右側に示されているように、テープ部材把持部材302は、粘着材4から剥離したテープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bを、図14の左側に示されているように、テープ部材載置台304の上面305上に載置する。
The tape
テープ部材剥離装置300は、仕切り部材310によって外気と仕切られた窒素雰囲気内に設置されている。そして、図14の左側に示すように、テープ部材載置台304は、仕切り部材310の天面に設けられ、押し上げられると開状態になる蓋311(蓋部)によって外方から覆われている貫通孔312の下方に移動する。なお、テープ部材載置台304の外形形状および外径と、貫通孔312の内形形状および内径とは、テープ部材載置台304と貫通孔312とが嵌合可能なようにそれぞれ設定されている。また、蓋311は、例えば、Oリング等の密封用部材を介して仕切り部材310の天面の外面に当接している。そして、テープ部材載置台304が上方に移動すると、テープ部材載置台304は貫通孔312と嵌合状態になり、テープ部材載置台304の上面305が蓋311を上方に押し上げる。
The tape
図15(a)〜(f)は、テープ部材載置台304の動作を示す説明図である。図15(a)に示すように貫通孔312の下方に移動したテープ部材載置台304は、図15(b)に示すように上方に移動して、上面305が剥離されたテープ部材7を介して蓋311の下面に密着する。そして、テープ部材載置台304はさらに上方に移動すると、図15(c)に示すようにテープ部材載置台304は上面305で蓋311を上方に押し上げる。
FIGS. 15A to 15F are explanatory views showing the operation of the tape member mounting table 304. As shown in FIG. 15A, the tape member mounting table 304 that has moved below the through-
図15(d)に示すように、テープ部材載置台304の上面305によって上方に押し上げられた蓋311が図示しない蓋支持部材によってさらに上方に持ち上げられるとともに、図示しないテープ部材除去部材によって、テープ部材載置台304の上面305に載置されているテープ部材7および当該テープ部材7に貼付されている剥離紙43bが除去される。この工程は人の手で行ってもよいし、テープ部材除去用の装置によって行われてもよい。
As shown in FIG. 15D, the
なお、前述したように、テープ部材載置台304の外形形状および外径と、貫通孔312の内形形状および内径とは、テープ部材載置台304と貫通孔312とが嵌合可能なようにそれぞれ設定されている。そのため、図15(c),(d)に示すように蓋311が開状態であっても、貫通孔312を通る外気の流入を良好に防止することができる。なお、窒素雰囲気の気圧が外部の気圧よりも高ければ、気密性が高くなくとも外気の流入をより効果的に防止することができるため好ましい。
As described above, the outer shape and outer diameter of the tape member mounting table 304 and the inner shape and inner diameter of the through
そして、図15(e)に示すようにテープ部材載置台304が下方に移動すると蓋311が閉状態となり、さらにテープ部材載置台304が下方に移動すると、図15(f)に示すようにテープ部材載置台304の上面305は蓋311の下面から離間する。
When the tape member mounting table 304 moves downward as shown in FIG. 15 (e), the
(封止部材貼り合せ装置)
次に、封止部材貼り合せ装置400について説明する。有機EL素子3が形成された基板2は、搬入室(図示せず)から有機EL発光モジュールの製造システムに搬入される。図16は、有機EL発光モジュールの製造システムに搬入された基板2の移動を示す説明図である。図16に示すように、基板2は、回動可能にそれぞれ支持されている複数のローラ411によって下方から支持されて移動する。(Sealing member laminating device)
Next, the sealing
図17は、封止部材貼り合せ装置400における基板2の位置調整を示す説明図である。図17に示すように、封止部材貼り合せ装置400は、基板2を撮影する撮影手段401と、基板2が載置されるとともに、撮影手段401の撮影結果に基づいて基板2を移動および回転させる調整台402とを含む。撮影手段401は、調整台402に載置されている基板2を撮影する。調整台402は、予め基板2における対向する二隅や四隅に示されているアライメントマークが撮影された位置にもとづいて、基板2の位置を調整する。より具体的には、調整台402の制御部(図示せず)は、撮影結果に基づいて基板2の位置が規定の位置と比べてローラ411による移動方向にずれていると判断した場合には、ローラ411を回転駆動して基板2を規定の位置に移動させる。また、調整台402の制御部は、撮影結果に基づいて基板2の向きが規定の向きに対して載置面上で斜めになっていると判断した場合には、基板2が規定の向きになるように調整台402を載置面に沿って回転させる。
FIG. 17 is an explanatory diagram showing position adjustment of the
図18(a),(b)は、基板2の真空チャンバ800内への移動を示す説明図である。調整台402は、基板2の位置等の調整が終了すると基板2を載置した状態で真空チャンバ800の蓋部803の下方に移動する(図18(a))。蓋部803は、下方を開口方向とする凹部804を有している。そして、蓋部803の下方に設けられ、下面820に基板2を真空吸着するための複数の吸入孔が設けられている基板吸着部材805(基板吸着上面部)が、図18(a)に破線で示されているように調整台402に載置されている基板2を吸着して上方に保持する。基板吸着部材805が調整台402に載置されている基板2を吸着して上方に保持すると、調整台402は、撮影手段401等が設置されて位置等の調整を行った場所に移動して、真空チャンバ800の蓋部803の下方から離れる。
18A and 18B are explanatory views showing the movement of the
そして、粘着材4が貼り合された封止部材10が載置された載置テーブル802(部材セット部)が、調整台402が離れた真空チャンバ800の蓋部803の下方の位置に、当該載置テーブル802の下方および側方を覆い上方を開口方向とする凹部806を有するチャンバ下部807とともに移動する。そして、真空チャンバ800の蓋部803における凹部804の端面とチャンバ下部807の凹部806の端面808とが当接することによって、真空チャンバ800の内部と外部とが仕切られ、基板吸着部材805による基板2の吸着動作が終了するとともに、真空チャンバ800の内部を真空雰囲気にするための真空引きの動作が行われ、当該内部は真空雰囲気となる。
Then, the mounting table 802 (member setting unit) on which the sealing
なお、図18(b)に破線で示すように、チャンバ下部807の凹部806の開口形状は、端面808が基板2の外縁部を支持するように形成されている。従って、基板吸着部材805による基板2の吸着動作が終了すると、基板2は、チャンバ下部807の凹部806の端面808(支持台部)によって外縁部が支持される。下面820と、端面808との高さの差は、基板2の外縁部への接触時の衝撃を抑制するため、通常10mm以下、好ましくは5mm以下、更に好ましくは2mm以下である。真空チャンバ800の蓋部803における凹部804の端面とチャンバ下部807の凹部806の端面808とが当接した際に、基板2の外縁部が端面808に接触することを防止するため、下面820と、端面808との高さの差は、基板2の厚みにプラスして通常0.01mm以上、好ましくは0.1mm以上である。
As shown by a broken line in FIG. 18B, the opening shape of the
なお、図18(b)においては、チャンバ下部807の凹部806の端面808(支持台部)は、蓋部803の凹部804の端面と対向する面と同一であるが、段差を設けて端面808を形成してもよい。
In FIG. 18B, the end surface 808 (support base) of the
チャンバ下部807の凹部806の端面808に当接して支持される基板2の外縁部は、長方形状の基板2の四隅であってもよいし、対向する二つの短辺または長辺に沿う端辺部であってもよい。
The outer edge portion of the
図19は、基板2を粘着材4が貼り合された封止部材10に貼り合わせる装置を示す説明図である。図19に示すように、基板吸着部材805の中央部には、図中の上下方向に移動させることが出来、基板2を下方に押下可能な可動式中央吸着部810(可動式吸着部)が設けられている。図19に示すように、可動式中央吸着部810には、基板2において有機EL素子3が形成されている一方の面21の裏側の他方の面22に当接する押下面811が先端に形成されている。そして、押下面811にも、基板2を吸着可能な吸入孔が設けられている。可動式吸着部810の押下面811が形成されている先端は、図19に示すように凸状部812となってもよい。
FIG. 19 is an explanatory view showing an apparatus for bonding the
ここで、基板2の外縁部のみがチャンバ下部807の凹部806の端面808によって支持された場合は、基板2は基板2自身の重みで下方に撓むことになる。特に、基板2の中央部ほど、下方への変位量が大きくなる。可動式中央吸着部810の制御部には、基板2を吸着した状態で基板2の外縁部のみが支持されて自重により下方に撓んだときの、当該基板2の中央部の変位量をあらかじめ把握させておくことが好ましい。
Here, when only the outer edge portion of the
図20(a),(b),(c),(d)に、基板吸着部材805における可動式中央吸着部810の配置パターンのみを下面820側から見た概念図を示す。
FIGS. 20A, 20B, 20C, and 20D are conceptual views of only the arrangement pattern of the movable
可動式中央吸着部810は、長方形状の基板2の中央部に応じた位置に設けられていてもよいし(図20(a))、基板2の長手方向における中央部を通る短手方向の直線に沿って基板2の短辺程度の長さを有して設けられていてもよい(図20(b))。また、可動式中央吸着部810は、基板2の短手方向における中央部を通る長手方向の直線に沿って基板2の短長辺程度の長さを有して設けられていてもよい(図20(c))。その場合、可動式中央吸着部810を複数並べる形態としてもよい(例えば図20(d))。
The movable
また、図19に示すように、チャンバ下部807内の載置テーブル802は、上方に移動可能であり、上面801に載置されている粘着材4が貼り合された封止部材10を、基板2の一方の面21に形成されている有機EL素子3に粘着材4を挟んで当接させ、封止部材10と基板2とを粘着材4を介して貼り合わせることができる。載置テーブル802は、上面801に載置されている粘着材4が貼り合された封止部材10を吸着可能な吸着孔(図示せず)を有することが好ましい。
Further, as shown in FIG. 19, the mounting table 802 in the chamber
図21(a),(b),(c),(d)は、基板2と封止部材10とを粘着材4を介して貼り合わせる工程を示す説明図である。まず、図21(a)に示すように、基板2は、基板吸着部材805の下面820、および可動式中央吸着部810の押下面811によって上方に吸着されている。真空チャンバ800の内部の空間(より具体的には、蓋部803およびチャンバ下部807によって囲まれた空間)は、蓋部803およびチャンバ下部807が当接するまでは、例えば、大気圧の窒素雰囲気であるとする。蓋部803およびチャンバ下部807が当接して密着した後、基板2と封止部材10とを粘着材4を介して貼り合せ始めるまでの間に、真空チャンバ800の内部の空間を真空引きして真空雰囲気にする。このとき、可動式中央吸着部の吸着方式が真空吸着である場合には、可動式中央吸着部の真空吸着によって基板2の吸着が保たれる程度に、可動式中央吸着部の吸着の真空度の方が、真空チャンバ800の内部の空間の真空度よりも高くする。同様に、載置テーブル802の上面801に載置されている粘着材4を貼り合せた封止部材10が真空吸着によって載置テーブル802の上面801に吸着されている場合も、粘着材4を貼り合せた封止部材10を載置テーブル802の上面801に真空吸着する真空度の方が真空チャンバ800の内部の空間の真空度よりも高くする。
21A, 21 </ b> B, 21 </ b> C, and 21 </ b> D are explanatory diagrams illustrating a process of bonding the
そして、可動式中央吸着部810の押下面811による吸着動作を継続するとともに、基板吸着部材805の下面820による吸着動作を停止すると、図21(b)に示すように、基板2の外縁部が当該基板2自身の重みで下方に撓み、当該外縁部は、チャンバ下部807の凹部806の端面808に当接する。本操作中、真空チャンバ800の内部は真空引きを開始していなくても良いし、真空引きを開始していても良く、真空引きを開始していてかつ所定の真空度になっていなくてもよい。
Then, when the suction operation by the
さらに、可動式中央吸着部810の押下面811による吸着動作を継続するとともに、可動式中央吸着部810を下方に移動させる(図21(c),(d))。なお、可動式中央吸着部810は、前述したように、自重により下方に撓む基板2の中央部の変位量の分だけ下方に移動する。本操作中、真空チャンバ800の内部は真空引きを開始していなくても良いし、真空引きを開始していても良く、真空引きを開始していてかつ所定の真空度になっていなくてもよい。
Further, the suction operation by the
そして、載置テーブル802が上方に移動すると、上面801に載置されている封止部材10が粘着材4を介して基板2の一方の面21に形成されている有機EL素子3に当接し、封止部材10と基板2とが粘着材4を介して基板2の中央部から端部方向へと順次貼り合わされる。可動式中央吸着部810による吸着動作は、封止部材10と基板2とが粘着材4を介して全面に亘って貼り合わされるまで継続され、可動式中央吸着部810は、載置テーブル802により基板2が押し上げられるのに合わせて上方に移動する。なお、本操作開始時には、真空チャンバ800の内部は所定の真空度になっていることが好ましい。
When the mounting table 802 moves upward, the sealing
可動式中央吸着部810による吸着動作が、封止部材10と基板2とが粘着材4を介して全面に亘って貼り合わされるまで継続されるので、基板2の封止部材10に対する相対位置が撓みによって移動することを良好に防止し、基板2における所定の貼り合せ位置に粘着材4が貼り合された封止部材10を貼付することができる。
Since the suction operation by the movable
このとき、基板2の自重による撓みが大きい方が、基板2と封止部材10とのなす角が大きく、空隙の発生を良好に抑制して均一に密着させることが出来るため好ましい。
At this time, it is preferable that the deflection due to the weight of the
したがって、チャンバ下部807の凹部806の端面808に当接して支持される基板2の外縁部が長方形状の基板2の四隅である場合は、基板2の自重による撓み量が最大になることから好ましい。端面808に当接して支持される基板2の外縁部が長方形基板の対向する二つの短辺または長辺に沿う端辺部である場合は、基板2の外縁部が端面808に当接して支持されるとともに、端面808に当接して支持される基板2の端辺に平行な中心線上を可動式中央吸着部810が吸着することが出来ることから、基板を安定に保持でき好ましい。端面808に当接して支持される基板2の外縁部が長方形基板の短辺に沿う端辺部である場合は、基板2を安定に保持でき、かつ、撓み量が大きいことから最も好ましい。
Accordingly, when the outer edge portions of the
また、基板2と封止部材10とを粘着材4を介して貼り合わせる工程の間、可動式中央吸着部810が基板2を吸着し続けること、および、載置テーブル802が封止部材10を載置テーブル802の上面801に吸着し続けることによって、基板2および封止部材10の位置ずれを良好に防止し、基板2と封止部材10とを粘着材4を介して精度良く貼り合わせることが出来る。
Further, during the step of bonding the
なお、可動式中央吸着部810は、基板2の自重で下方に撓んだ変位量の分だけ下方に移動するとして説明したが、可動式中央吸着部810の下方への移動量は自重での変位量から適宜変更した値に設定されてもよい。また、可動式中央吸着部810は、載置テーブル802が上方に移動して基板2に形成された有機EL素子3が粘着材4を介して封止部材10に接したときに、載置テーブル802の上方への移動速度と同じ速度で吸着している基板2を上方に移動させてもよいし、当該移動中に下方へ(つまり、基板2に)所定の荷重を加えておき、載置テーブル802の押し上げに応じて基板2と一体となって上方に移動するようにされてもよい。
The movable
図22は、粘着材4を介して貼り合わされた基板2と封止部材10とが熱圧着される工程を示す説明図である。図22に示す例では、熱圧着装置500内に収容された基板2、粘着材4および封止部材10の上方にある上部ホットプレート部501が基板2の他方の面22側から当該基板2を加熱するとともに当該基板2を粘着材4を介して封止部材10に向かって押下する。また、熱圧着装置500内に収容された基板2、粘着材4および封止部材10の下方にある下部ホットプレート部502(ホットプレート部)が封止部材10の保護層6側から当該封止部材10を加熱するとともに当該封止部材10を基板2に向かって押し付ける。従って、基板2、粘着材4および封止部材10は、上部ホットプレート部501と下部ホットプレート部502とによって挟まれて熱圧着される。
FIG. 22 is an explanatory diagram illustrating a process in which the
なお、図22に示し、前述したように、保護層6の凹部領域61の裏側の領域は、平坦領域62の裏側の平面領域に対して凸形状に形成されている。そこで、当該凸形状に対向する下部ホットプレート部502において平坦領域62の裏側の平面領域に対向する範囲に、凸形状に応じた形状および高さを有する、好ましくは、凸形状に応じた形状であって、凸形状よりも高く形成された凸部503が設けられている。
As shown in FIG. 22 and described above, the area on the back side of the recessed
従って、下部ホットプレート部502の凸部503が、封止部材10の保護層6の平坦領域62の裏側の平面領域に対向する範囲、つまり、粘着材4が貼り合された封止部材10の外縁部をより確実に基板2に熱圧着し、基板2の一方の面21に形成された有機EL素子3および吸湿層5を封止部材10と粘着材4と基板2とでより確実に封止することができる。
Therefore, the range where the
本実施の形態によれば、吸湿層5と保護層6とが積層された封止部材10と粘着材4とで有機EL素子3を封止するので、外部からの水分等の透過による有機EL素子3の劣化を良好に抑制する有機EL発光モジュール1を製造することができる。
According to the present embodiment, the
また、大きさの異なる吸湿層5と保護層6とがピン部材110を上下させるだけの単純な機構によって精度良く位置合せされて積層されるので、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機EL発光モジュール1の製造システムを実現することができる。
Further, since the
ホットプレート150による保護層6と吸湿層5との熱圧着処理の実行中には、保護層6に対向する領域のうち、吸湿層5に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行うように構成されているので、吸湿層5において吸着ヘッド130の吸着面131に設けられた吸入孔による吸入の痕跡による凹凸の形成を良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機EL発光モジュール1を製造することができる。
During the thermocompression bonding between the
また、保護層6と吸湿層5との熱圧着処理によって、吸着ヘッド130の吸着面131に対向する領域において吸湿層5と保護層6とを密着させ、当該領域における吸湿層5と保護層6との間に空間が生じることを良好に防ぐことができる。これにより、封止性能の良好な有機EL発光モジュール1を製造することができる。
Further, by the thermocompression bonding process between the
ローラ部613が、テープ部材7の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材7側から粘着材4を封止部材10に押しつけて粘着材4を封止部材10に貼り合せるように構成されているので、粘着材4と封止部材10との間に空間が生じることを良好に防ぐことができる。これにより、封止性能の良好な有機EL発光モジュール1を製造することができる。
The
吸着移載部材250は、ローラ部613がテープ部材7の一の端部側からテープ部材7を剥離していくときに、テープ部材7の他方の端部側において吸着動作を継続するので、ローラ部613の転動中にテープ部材7の下方への落下を防止することができる。また、他方の端部が吸着されて固定されているため、ローラ部613の転動中にテープ部材7と封止部材10の位置がずれることなく精度良くテープ部材7と封止部材10とが貼合され、封止部材10に貼り合される粘着材4におけるしわの発生を良好に防ぐことができる。これにより、高精度かつ高効率な有機EL発光モジュール1を製造することができる。
The
また、上面部601と下面部602とが相対的に近づいた状態で窒素置換動作が行われるように構成されているので、窒素置換を行う空間の体積を小さくすることができるため、真空排気工程および窒素ガス導入工程の時間を短縮できる。これにより、有機EL発光モジュール1の生産効率を高めることができる。
Further, since the nitrogen replacement operation is performed in a state where the
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材310に、テープ部材載置台304が上方に移動するとテープ部材載置台304と嵌合する貫通孔312が設けられ、テープ部材載置台304の上面によって当該貫通孔312を覆う蓋311を押し上げるように構成されているので、窒素と外気との貫通孔312を通した混合を良好に防ぐことができる。これにより、有機EL発光モジュール1の生産効率を高めることができる。
The
基板2が、可動式中央吸着部810とチャンバ下部807の凹部806の端面808とにより支持される状態とし、その後、可動式中央吸着部810を下方に移動させることにより基板2の中央部をチャンバ下部807の凹部806の端面808より下方に押し下げた状態とし、次いで、可動式中央吸着部810による基板2の吸着を保持したまま、粘着材4が貼り合された封止部材10が載置された載置テーブル802を上方に移動させ、基板2と可動式中央吸着部810とを連動させながら、載置テーブル802を基板2と粘着材4が貼り合された封止部材10とともに基板吸着部材805に押し付けることで、基板2の中央部から端部に向かって順次基板2と封止部材10とを粘着材4を介して貼り合わせるように構成されている。これにより、基板2と封止部材10との間に空隙が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機EL発光モジュール1を製造することができる。
The
また、可動式中央吸着部810による基板2の吸着を保持したまま当該基板2と封止部材10とを粘着材4を介して貼り合わせるので、基板2における所定の位置に粘着材4及び封止部材10を貼付することができる。これにより、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機EL発光モジュール1の製造システムを実現することができる。
Further, since the
下部ホットプレート部502には、封止部材10の端部に対応する位置に凸部503が設けられているので、粘着材4が貼り合された封止部材10の外縁部をより確実に基板2に熱圧着し、基板2の一方の面21に形成された有機EL素子3および吸湿層5をより確実に封止して、有機EL素子3の劣化を良好に抑制することができる。
Since the
また、可撓性が高いかもしくは剛性の低い粘着材料、吸湿層材料や保護層材料、あるいは、ガラス転移温度が室温以下であって室温でほとんど剛性の無い粘着材材料は、取扱いが非常に困難であるため、従来は有機EL発光モジュール1の封止構造に用いることが困難であったが、本実施の形態によれば、各材料全体を吸着する機構を有していることを始めとする種々の工夫によって、上述のような剛性の低い材料を用いた場合であっても、封止特性が良好な有機EL発光モジュール1を高精度かつ高効率に生産可能な有機EL発光モジュール1の製造システムを実現可能である。 Also, it is very difficult to handle adhesive materials with high flexibility or low rigidity, hygroscopic layer materials, protective layer materials, or adhesive materials with glass transition temperatures below room temperature and almost no rigidity at room temperature. Therefore, in the past, it was difficult to use the sealing structure of the organic EL light emitting module 1, but according to the present embodiment, it has a mechanism for adsorbing each material as a whole. Manufacturing the organic EL light-emitting module 1 that can produce the organic EL light-emitting module 1 having good sealing characteristics with high accuracy and high efficiency even when a material having low rigidity as described above is used by various devices. The system can be realized.
本発明を詳細にまた特定の実施形態を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。本出願は、2012年11月30日出願の日本特許出願(特願2012−263047)に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。 Although the invention has been described in detail and with reference to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the invention. This application is based on a Japanese patent application filed on November 30, 2012 (Japanese Patent Application No. 2012-263047), the contents of which are incorporated herein by reference.
1 有機EL発光モジュール
2 基板
3 有機EL素子
4 粘着材
5 吸湿層
6 保護層
7 テープ部材
110 ピン部材
120 ステージ部材
121 ステージ面
130 吸着ヘッド
150 ホットプレート
230 吸着ヘッド
302 テープ部材把持部材
304 テープ部材載置台
502 下部ホットプレート部
503 凸部
601 上面部
602 下面部
603 側面部
613 ローラ部
802 載置テーブル
805 基板吸着部材
808 端面
810 可動式中央吸着部DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL light emitting
Claims (18)
有機EL素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機EL素子を封止する封止部材貼り合せ装置を備え、
前記封止部材貼り合せ装置は、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを含み、
前記基板が、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とにより吸着された状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持される状態とし、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とし、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造システム。An organic EL light emitting module manufacturing system,
A sealing member laminating apparatus that seals the organic EL element between the substrate and the sealing member by attaching a sealing member to one surface of the substrate on which the organic EL element is formed;
The sealing member laminating apparatus is
A substrate adsorbing upper surface for adsorbing the substrate;
A support base which is located below the upper surface of the suction and can support only the end of the substrate from below;
A member set part that is located below the substrate adsorption upper surface part and on which the sealing member is placed;
A movable suction part provided in the center of the substrate suction upper surface part, capable of sucking the center part of the substrate and movable up and down;
The substrate is supported by the movable suction portion and the support base by releasing the suction of the substrate suction upper surface portion from the state where the substrate is sucked by the substrate suction upper surface portion and the movable suction portion. State and
Thereafter, by moving the movable suction portion downward, the central portion of the substrate is pushed downward from the support base portion,
Next, while holding the suction of the substrate by the movable suction portion, while moving the member set portion on which the sealing member is placed, while interlocking the substrate and the movable suction portion, The substrate and the sealing member are bonded together in order from the center portion to the end portion of the substrate by pressing the member setting portion together with the substrate and the sealing member against the suction upper surface portion. Organic EL light emitting module manufacturing system.
第1のシート状部材、および前記第1のシート状部材よりも広い面を有する第2のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置と、
有機EL素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機EL素子を封止する封止部材貼り合せ装置とを備え、
前記封止部材作製装置は、
部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面を有するシート状部材吸着部と、
前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部とを含み、
前記シート状部材吸着部が前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材を順次吸着することによって前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材が積層された前記封止部材を作製する前記封止部材作製装置であって、
前記ステージ部には、前記第1のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第2のシート状部材が載置され、
前記封止部材作製装置は、前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材の載置の位置合わせのために、第1側面を有する台部と第2側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有する複数の位置合わせ部をさらに含み、
前記複数の位置合わせ部は、前記第1側面の相互の距離が前記第2側面の相互の距離よりも短いように設置され、
前記第1のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第1側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第1のシート状部材を前記吸着面に吸着し、
前記第2のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第2側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第2のシート状部材を前記第1のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第1のシート状部材と前記第2のシート状部材とを積層する
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造システム。An organic EL light emitting module manufacturing system,
A sealing member producing apparatus for producing a sealing member in which a first sheet-like member and a second sheet-like member having a wider surface than the first sheet-like member are laminated;
A sealing member laminating apparatus for laminating the sealing member on one surface of a substrate on which an organic EL element is formed, and sealing the organic EL element between the substrate and the sealing member; Prepared,
The sealing member manufacturing apparatus is
A sheet-like member adsorption portion having an adsorption surface provided with a plurality of suction holes for adsorbing members;
A stage portion having a stage surface on which the first sheet-like member and the second sheet-like member can be sequentially placed;
The sealing in which the first sheet-like member and the second sheet-like member are stacked by the sheet-like member adsorbing portion sequentially adsorbing the first sheet-like member and the second sheet-like member. The sealing member manufacturing apparatus for manufacturing a member,
In the stage portion, the second sheet-like member is placed in a region including a region where the first sheet-like member is placed,
The sealing member manufacturing apparatus includes a base portion having a first side surface and a second side surface for positioning the first sheet-like member and the second sheet-like member. A plurality of alignment portions each having a standing portion standing upward from the portion;
The plurality of alignment portions are installed such that a mutual distance between the first side surfaces is shorter than a mutual distance between the second side surfaces,
The first sheet-like member is placed on the stage surface of the stage portion such that an end portion thereof abuts on the first side surface of each of the plurality of alignment portions.
The sheet-like member adsorption unit adsorbs the first sheet-like member placed on the stage surface of the stage unit by adjoining the stage unit to the adsorption surface,
The second sheet-like member is placed on the stage surface of the stage portion so that an end portion thereof abuts on the second side surface of each of the plurality of alignment portions.
The said sheet-like member adsorption | suction part makes the said 1st sheet-like member adsorb | suck the said 2nd sheet-like member mounted in the said stage surface of the said stage part by making it adjoin to the said stage part. A manufacturing system of an organic EL light emitting module, wherein the first sheet-like member and the second sheet-like member are stacked on and adsorbed on a surface.
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第2シート状部材に対向する領域のうち、前記第1シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする請求項2に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。The sealing member manufacturing apparatus presses the first sheet-like member and the second sheet-like member stacked by adsorbing the sheet-like member adsorbing portion against the adsorption surface, and the first sheet-like member It further includes a thermocompression bonding part that performs thermocompression treatment for heating the second sheet-like member to form the sealing member by the first sheet-like member and the second sheet-like member,
The sheet-like member adsorbing portion is provided outside a region facing the first sheet-like member in a region facing the second sheet-like member during execution of the thermocompression processing by the thermocompression-bonding portion. The system for manufacturing an organic EL light emitting module according to claim 2, wherein suction is performed only through the suction hole.
前記粘着材は、シート状に形成されており、シート状に形成された前記粘着材の一の面には剥離紙が貼付され、前記剥離紙の前記一の面とは反対の面は帯状のテープ部材に貼付され、
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着部と、
円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部とを含み、
前記テープ部材吸着部は、前記第1のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持し、
前記ローラ部は、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。An adhesive material laminating apparatus for laminating an adhesive material for laminating the sealing member to the substrate to the sealing member;
The adhesive material is formed in a sheet shape, a release paper is attached to one surface of the adhesive material formed in a sheet shape, and a surface opposite to the one surface of the release paper is a belt-like shape Affixed to the tape member,
The adhesive material laminating apparatus is
A tape member adsorbing portion that performs an adsorbing operation for adsorbing the surface opposite to the surface on which the adhesive material is affixed in the tape member to which the adhesive material is affixed;
A roller portion that is formed in a cylindrical shape and rotates around a central axis,
The tape member suction part sucks and holds the tape member above the sealing member placed on the placement table so that the first sheet-like member forms part of the upper surface,
The roller portion is configured such that the tape member is peeled from the tape member suction portion while the tape member is separated from the tape member along the longitudinal direction of the tape member between the tape member suction portion and the tape member. The roller is rolled in the direction of the portion, and the adhesive material is pressed against the sealing member from the tape member side by a peripheral surface, and the adhesive material is bonded to the sealing member. 4. A manufacturing system of the organic EL light emitting module according to 3.
ことを特徴とする請求項4に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。The said tape member adsorption | suction part is the said adsorption | suction operation | movement in the other edge part side of the said tape member, when the said roller part peels the said tape member from one edge part side along the longitudinal direction of the said tape member. The manufacturing system of the organic EL light emitting module according to claim 4, wherein
前記ローラ部は、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。The tape member has a pasting area to which the release paper is pasted and a blank area outside the pasting area,
The roller portion rolls from the blank region at one end of the tape member in the longitudinal direction to the other end so as to bond the adhesive material to the sealing member over the pasting region. The manufacturing system of the organic EL light emitting module according to claim 4 or 5.
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第1状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第2状態との間で相互に遷移し、
少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第1状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換動作が行われ、前記第2状態においても前記空間内を窒素雰囲気に維持する
ことを特徴とする請求項4から請求項6のうちいずれか1項に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。The adhesive material laminating apparatus is
Including an upper surface portion covering the upper side of the tape member adsorbing portion, a lower surface portion covering the lower side of the mounting table, and a side surface portion covering a side of a space sandwiched between the upper surface portion and the lower surface portion,
When the lower surface portion and the upper surface portion are relatively close to each other, the upper end of the side surface portion is in contact with the upper surface portion, and the lower surface portion is in contact with the lower end of the side surface portion, and the tape member A first state in which the space containing the placement table on which the tape member suction portion and the sealing member on which the sealing member is placed is sealed, and the lower surface portion are separated from the upper surface portion. By the transition between the tape member adsorption portion and the tape member between the second state having a gap in which the roller portion can roll,
In the nitrogen replacement chamber that accommodates at least the lower surface portion, a nitrogen replacement operation is performed in which nitrogen is supplied to the space after air is exhausted from the space when the first state is established. The interior of the space is maintained in a nitrogen atmosphere. The organic EL light emitting module manufacturing system according to any one of claims 4 to 6, wherein the space is maintained in a nitrogen atmosphere.
前記テープ部材剥離装置は、
窒素雰囲気中に設置され、
前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する把持部と、
前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙が載置され、前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台とを含み、
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台は、上方に移動すると前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる
ことを特徴とする請求項4から請求項7のうちいずれか1項に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。A tape member peeling device for peeling the release paper affixed to the tape member together with the tape member from the adhesive material;
The tape member peeling device is
Installed in a nitrogen atmosphere,
A gripping part for gripping a blank area outside the sticking area to which the release paper is stuck in the tape member, and for peeling the release paper stuck to the tape member together with the tape member from the adhesive material;
The tape member peeled from the adhesive material and the release paper are placed, and a mounting table having an upper surface on which the tape member can be placed;
The partition member for partitioning the nitrogen atmosphere and the outside air is provided with a through-hole that fits the mounting table on the top surface when the mounting table moves upward, and a lid that covers the through-hole from the outside. Installed,
The organic EL light emitting module according to any one of claims 4 to 7, wherein when the mounting table moves upward, the lid is pushed up by the upper surface on which the tape member is mounted. Manufacturing system.
前記熱圧着装置は、
前記封止部材を前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行うホットプレート部を含み、
前記ホットプレート部は、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項8のうちいずれか1項に記載の有機EL発光モジュールの製造システム。A thermocompression bonding apparatus for thermocompression bonding the sealing member and the substrate;
The thermocompression bonding apparatus is
Including a hot plate portion for pressing the sealing member against the substrate and performing a sealing member thermocompression treatment for heating the sealing member;
The organic EL light emitting module according to any one of claims 1 to 8, wherein the hot plate portion is provided with a convex portion at a position corresponding to an end portion of the sealing member. Manufacturing system.
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを有する封止部材貼り合せ装置が、
前記基板を、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とによって吸着する状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持する状態とする基板支持ステップと、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とする基板押下ステップと、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる貼り合せステップとを実行する
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造方法。A method of manufacturing an organic EL light emitting module, in which a sealing member is bonded to one surface of a substrate on which an organic EL element is formed, and the organic EL element is sealed between the substrate and the sealing member. And
A substrate adsorbing upper surface for adsorbing the substrate;
A support base which is located below the upper surface of the suction and can support only the end of the substrate from below;
A member set part that is located below the substrate adsorption upper surface part and on which the sealing member is placed;
A sealing member laminating device provided at the center of the substrate suction upper surface portion and having a movable suction portion that can suck the center portion of the substrate and move up and down,
A state in which the substrate is supported by the movable suction portion and the support base by releasing the suction of the substrate suction upper surface portion from a state in which the substrate is sucked by the substrate suction upper surface portion and the movable suction portion. A substrate support step,
Thereafter, a substrate pressing step for moving the movable suction portion downward to bring the central portion of the substrate downward from the support base, and
Next, while holding the suction of the substrate by the movable suction portion, while moving the member set portion on which the sealing member is placed, while interlocking the substrate and the movable suction portion, A pressing step of pressing the member set portion together with the substrate and the sealing member against the suction upper surface portion, and sequentially bonding the substrate and the sealing member from the central portion toward the end portion of the substrate; A method for manufacturing an organic EL light emitting module, comprising:
第1のシート状部材、および前記第1のシート状部材よりも広い面を有する第2のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置の、前記第1のシート状部材および前記第2のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部に、前記第1のシート状部材が載置される第1のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置のシート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第1のシート状部材を前記ステージ面に対向して部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面に吸着する第1のシート状部材吸着ステップと、
前記ステージ部において、前記第1のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第2のシート状部材が載置される第2のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置の前記シート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第2のシート状部材を前記第1のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第1のシート状部材と前記第2のシート状部材とを積層する第2のシート状部材吸着ステップと、
封止部材貼り合せ装置が、有機EL素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機EL素子を封止する有機EL封止ステップとを含み、
前記第1のシート状部材載置ステップでは、前記第1のシート状部材の載置の位置合わせのために、第1側面を有する台部と第2側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有し、前記第1側面の相互の距離が前記第2側面の相互の距離よりも短いように複数の位置合わせ部が設置され、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第1側面に端部が当接するように前記第1のシート状部材を前記ステージ部に載置し、
前記第2のシート状部材載置ステップでは、前記第2のシート状部材の載置の位置合わせのために、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第2側面に端部が当接するように前記第2のシート状部材を前記ステージ部に載置する
ことを特徴とする有機EL発光モジュールの製造方法。A method of manufacturing an organic EL light emitting module,
The first sheet-like member of a sealing member producing apparatus for producing a sealing member in which a first sheet-like member and a second sheet-like member having a wider surface than the first sheet-like member are laminated. A first sheet-like member placement step in which the first sheet-like member is placed on a stage portion having a stage surface on which a member and the second sheet-like member can be placed in sequence;
By sucking the sheet-like member suction portion of the sealing member manufacturing apparatus close to the stage portion, the first sheet-like member placed on the stage surface faces the stage surface and sucks the member. A first sheet-like member adsorption step for adsorbing to an adsorption surface provided with a plurality of holes;
A second sheet-like member placement step in which the second sheet-like member is placed in a region including a region where the first sheet-like member is placed in the stage portion;
By bringing the sheet-like member suction portion of the sealing member manufacturing apparatus close to the stage portion, the first sheet-like member is sucked by the second sheet-like member placed on the stage surface. A second sheet-like member adsorption step of adsorbing and superposing on the adsorption surface, and laminating the first sheet-like member and the second sheet-like member;
A sealing member bonding apparatus bonds the sealing member to one surface of the substrate on which the organic EL element is formed, and seals the organic EL element between the substrate and the sealing member. An organic EL sealing step,
In the first sheet-like member placement step, for the positioning of the placement of the first sheet-like member, the base portion having the first side surface and the second side surface are disposed upward from the base portion. A plurality of alignment portions, each having a plurality of alignment portions, the plurality of alignment portions being installed such that a mutual distance between the first side surfaces is shorter than a mutual distance between the second side surfaces. The first sheet-like member is placed on the stage portion so that the end portion comes into contact with the first side surface of each of the first side surface,
In the second sheet-like member placement step, an end portion is brought into contact with the second side surface of each of the plurality of alignment portions in order to align the placement of the second sheet-like member. The method for manufacturing an organic EL light emitting module, wherein the second sheet-like member is placed on the stage portion.
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着ステップで、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第2シート状部材に対向する領域のうち、前記第1シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする請求項11に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。The thermocompression-bonding part of the sealing member manufacturing apparatus attaches the first sheet-like member and the second sheet-like member laminated by the sheet-like member adsorption part in the second sheet-like member adsorption step to the adsorption surface. A sheet that presses against the first sheet-like member and heat-compresses the first sheet-like member and the second sheet-like member to form the sealing member by the first sheet-like member and the second sheet-like member And further comprising a thermocompression bonding step,
In the thermocompression bonding step, the sheet-like member adsorption portion faces the first sheet-like member in a region facing the second sheet-like member during execution of the thermocompression treatment by the thermocompression-bonding portion. The method for manufacturing an organic EL light emitting module according to claim 11, wherein suction is performed only through a suction hole provided outside the region to be operated.
前記テープ部材吸着部が、前記第1のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持する吸着保持ステップと、
前記粘着材貼り合せ装置の円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部が、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せステップを含む
ことを特徴とする請求項11または請求項12に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。An adhesive for adhering the sealing member to the substrate, which is formed into a sheet shape and has a release paper pasted on one surface in advance, and the opposite surface to the one surface is the release paper A tape member adsorbing portion of an adhesive material laminating apparatus for adhering the adhesive material affixed to a strip-shaped tape member to the sealing member, the adhesive material in the tape member affixed with the adhesive material is affixed A tape member adsorption step for performing an adsorption operation to adsorb the surface opposite to the surface;
The suction holding unit that sucks and holds the tape member above the sealing member that is placed on the placement table so that the first sheet-like member forms part of the upper surface of the tape member suction unit. Steps,
A roller portion that is formed in a cylindrical shape of the adhesive material laminating device and rotates around a central axis peels off the tape member from the tape member adsorption portion, and forms a band between the tape member adsorption portion and the tape member. Rolling from one end portion to the other end portion along the longitudinal direction of the tape member, and pressing the adhesive material against the sealing member from the tape member side by a peripheral surface The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting module of Claim 11 or Claim 12 including the adhesive material bonding step bonded to the said sealing member.
ことを特徴とする請求項13に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。The tape member adsorbing part is the other of the tape members when the roller part peels the tape member from one end side along the longitudinal direction of the tape member in the adhesive material laminating step. The method of manufacturing an organic EL light emitting module according to claim 13, wherein the adsorption operation is continued on the end side of the organic EL light emitting module.
前記ローラ部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする請求項13または請求項14に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。The tape member has a pasting area to which the release paper is pasted and a blank area outside the pasting area,
In the adhesive material laminating step, the roller portion applies the adhesive material to the sealing member over the pasting region from the blank region at one end portion in the longitudinal direction of the tape member to the other end portion. It rolls so that it may stick together. The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting module of Claim 13 or Claim 14 characterized by the above-mentioned.
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第1状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第2状態との間で相互に遷移し、
前記粘着材貼り合せステップが実行される前に、少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第1状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換ステップが実行され、
前記窒素置換ステップが行われた後に、前記第2状態において前記空間内を窒素雰囲気に維持し、前記粘着材貼り合せステップが実行される
ことを特徴とする請求項13から請求項15のうちいずれか1項に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。The adhesive material laminating apparatus is
Including an upper surface portion covering the upper side of the tape member adsorbing portion, a lower surface portion covering the lower side of the mounting table, and a side surface portion covering a side of a space sandwiched between the upper surface portion and the lower surface portion,
When the lower surface portion and the upper surface portion are relatively close to each other, the upper end of the side surface portion is in contact with the upper surface portion, and the lower surface portion is in contact with the lower end of the side surface portion, and the tape member A first state in which the space containing the placement table on which the tape member suction portion and the sealing member on which the sealing member is placed is sealed, and the lower surface portion are separated from the upper surface portion. By the transition between the tape member adsorption portion and the tape member between the second state having a gap in which the roller portion can roll,
Before the adhesive bonding step is performed, nitrogen is supplied to the space after air is exhausted from the space when the first state is established in the nitrogen replacement chamber containing at least the lower surface portion. A nitrogen substitution step is performed,
16. The method according to any one of claims 13 to 15, wherein after the nitrogen replacement step is performed, the space is maintained in a nitrogen atmosphere in the second state, and the adhesive material bonding step is executed. The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting module of Claim 1.
前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台に、前記粘着材剥離ステップで前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙を載置するテープ部材載置ステップとを含み、
窒素雰囲気と外気とは仕切り部材で仕切られ、
前記仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台を上方に移動させて前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる蓋部押し上げステップをさらに含む
ことを特徴とする請求項13から請求項16のうちいずれか1項に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。The gripping part of the tape member peeling device installed in a nitrogen atmosphere grips a blank area outside the sticking area where the release paper is stuck on the tape member, and is stuck to the tape member together with the tape member. An adhesive material peeling step for peeling the release paper from the adhesive material;
The mounting table having an upper surface on which the tape member can be mounted includes a tape member mounting step for mounting the tape member and the release paper on which the grip portion has been peeled off from the adhesive material in the adhesive material peeling step. ,
The nitrogen atmosphere and the outside air are partitioned by a partition member,
The partition member is provided with a through hole that fits with the mounting table when the mounting table moves upward, and a lid that covers the through hole from the outside is installed,
The lid part pushing-up step of pushing up the lid part by moving the mounting table upward and pushing the lid part by the upper surface on which the tape member is placed is further included. The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting module of description.
ことを特徴とする請求項10から請求項17のうちいずれか1項に記載の有機EL発光モジュールの製造方法。In the thermocompression bonding apparatus for thermocompression bonding the sealing member and the substrate, a hot plate portion provided with a convex portion at a position corresponding to an end portion of the sealing member is bonded to the substrate in the bonding step. The sealing member thermocompression-bonding step which performs the sealing member thermocompression-bonding process which heats the said sealing member while pressing the said sealing member further attached to the said board | substrate is included. The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting module of any one of them.
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