JPWO2014041816A1 - Transparent polyimide laminate and method for producing the same - Google Patents

Transparent polyimide laminate and method for producing the same Download PDF

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Abstract

光透過性が高く、面内位相差が小さく、かつ支持基材から容易に剥離可能な透明ポリイミド層を有する透明ポリイミド積層体を提供することを課題とする。上記課題を解決するため、支持基材と、前記支持基材上に積層された透明ポリイミド層とを含む透明ポリイミド積層体の製造方法であって、a)テトラカルボン酸成分及びジアミン成分を反応させてなるポリイミド前駆体と溶剤とを含むポリイミド前駆体含有溶液を、前記支持基材上に塗布する工程と、b)前記ポリイミド前駆体含有溶液の塗膜からなるポリイミド前駆体フィルムを、前記透明ポリイミド層のガラス転移温度以上で加熱する工程とを含み、前記透明ポリイミド層は、ガラス転移温度が260℃以上、全光線透過率が80%以上、ヘイズが5%以下、L*a*b表色系におけるb値の絶対値が5以下、かつ面内位相差が10nm以下であり、前記支持基材から前記透明ポリイミド層を剥離する際のピール強度が0.005〜0.20kN/mである、透明ポリイミド積層体の製造方法とする。It is an object of the present invention to provide a transparent polyimide laminate having a transparent polyimide layer that has a high light transmittance, a small in-plane retardation, and can be easily peeled off from a support substrate. In order to solve the above problems, a method for producing a transparent polyimide laminate comprising a support substrate and a transparent polyimide layer laminated on the support substrate, wherein a) a tetracarboxylic acid component and a diamine component are reacted. A step of coating a polyimide precursor-containing solution containing a polyimide precursor and a solvent on the support substrate; and b) a polyimide precursor film comprising a coating film of the polyimide precursor-containing solution, the transparent polyimide The transparent polyimide layer has a glass transition temperature of 260 ° C. or higher, a total light transmittance of 80% or higher, a haze of 5% or lower, and an L * a * b color specification. The absolute value of the b value in the system is 5 or less, the in-plane retardation is 10 nm or less, and the peel strength when peeling the transparent polyimide layer from the support substrate is 0.005 to 0 It is 20 kN / m, the method for producing a transparent polyimide laminate.

Description

本発明は、透明ポリイミド積層体及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a transparent polyimide laminate and a method for producing the same.

ポリイミド樹脂は優れた耐熱性、機械特性を有しており、各種フレキシブルプリント配線板の基板等に、ポリイミドフィルムが適用されている。ポリイミドフィルムの作製方法の一つに、キャスト法がある。キャスト法は、(i)支持基材上にポリイミド前駆体を塗布し、(ii)加熱処理によってポリイミド前駆体をイミド化させ、(iii)支持基材からポリイミドフィルムを剥離して、ポリイミドフィルムを得る方法である。支持基材は、一般的にはガラス基板であるが、支持基材を金属板や非熱可塑性樹脂等とすることも提案されている(特許文献1〜3)。   Polyimide resins have excellent heat resistance and mechanical properties, and polyimide films are applied to substrates of various flexible printed wiring boards. One method for producing a polyimide film is a casting method. The casting method includes (i) applying a polyimide precursor on a supporting substrate, (ii) imidizing the polyimide precursor by heat treatment, (iii) peeling the polyimide film from the supporting substrate, How to get. The support base material is generally a glass substrate, but it has also been proposed that the support base material be a metal plate, a non-thermoplastic resin, or the like (Patent Documents 1 to 3).

従来、液晶表示素子や、有機EL表示素子等のディスプレイでは、透明材料である無機ガラスがパネル基板等に使用されている。ただし、無機ガラスは、比重(重さ)が高く、さらに屈曲性や耐衝撃性が低い。そこで、フレキシブル性が要求される液晶表示素子や有機EL表示素子等の基板には、PET(ポリエチレンテレフタレート)やPEN(ポリエチレンナフタレート)からなるフィルムが広く用いられている。しかし、これらのフィルムは耐熱性が低く、各種素子形成時の温度が制限される。そこで、より高い耐熱性を有する基板が求められている。   Conventionally, in a display such as a liquid crystal display element or an organic EL display element, an inorganic glass which is a transparent material is used for a panel substrate or the like. However, inorganic glass has a high specific gravity (weight), and further has low flexibility and impact resistance. Therefore, films made of PET (polyethylene terephthalate) or PEN (polyethylene naphthalate) are widely used for substrates such as liquid crystal display elements and organic EL display elements that require flexibility. However, these films have low heat resistance, and the temperature at the time of forming various elements is limited. Therefore, a substrate having higher heat resistance is required.

一方、軽量性、耐衝撃性、加工性、及びフレキシブル性に優れるポリイミドフィルムを、フレキシブルデバイスのパネル基板に適用することも検討されている。しかし、前述の特許文献1〜3の技術で得られるポリイミドフィルムは光透過性が低く、フレキシブルディスプレイのパネル基板に適用することは難しかった。これに対し、高い透明性、及び耐熱性を兼ね備えるフィルムとして、ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンをテトラカルボン酸成分と反応させて得られるポリイミドフィルムが提案されている(特許文献4)。   On the other hand, application of a polyimide film excellent in lightness, impact resistance, workability, and flexibility to a panel substrate of a flexible device has also been studied. However, the polyimide film obtained by the techniques of Patent Documents 1 to 3 described above has low light transmittance, and it has been difficult to apply it to a panel substrate of a flexible display. On the other hand, a polyimide film obtained by reacting bis (trifluoromethyl) benzidine with a tetracarboxylic acid component has been proposed as a film having both high transparency and heat resistance (Patent Document 4).

特開2011−56825号公報JP 2011-56825 A 特開2004−322441号公報JP 2004-322441 A 特開平11−10664号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-10664 特開2012−40836号公報JP2012-40836A

しかし、キャスト法で作製された特許文献4のポリイミドフィルムは、支持基材(ガラス基材)からの剥離が難しく、ポリイミドフィルムを剥離するためには、支持基材及びポリイミドフィルムを水に浸漬したり、支持基材とポリイミドフィルムとの界面にレーザー光を照射すること等が必要であった。   However, the polyimide film of Patent Document 4 produced by the casting method is difficult to peel from the support substrate (glass substrate), and in order to peel the polyimide film, the support substrate and the polyimide film are immersed in water. In other words, it is necessary to irradiate the interface between the supporting substrate and the polyimide film with laser light.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものである。本発明は、光透過性が高く、面内位相差が小さく、かつ支持基材から容易に剥離可能な透明ポリイミド層を有する透明ポリイミド積層体、さらにその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances. An object of this invention is to provide the transparent polyimide laminated body which has a transparent polyimide layer with high light transmittance, a small in-plane phase difference, and which can be easily peeled from a support base material, and its manufacturing method.

本発明の第1は、以下の透明ポリイミド積層体の製造方法に関する。   1st of this invention is related with the manufacturing method of the following transparent polyimide laminated bodies.

[1]支持基材と、前記支持基材上に積層された透明ポリイミド層とを含む透明ポリイミド積層体の製造方法であって、a)テトラカルボン酸成分及びジアミン成分を反応させてなるポリイミド前駆体と溶剤とを含むポリイミド前駆体含有溶液を、前記支持基材上に塗布する工程と、b)前記ポリイミド前駆体含有溶液の塗膜からなるポリイミド前駆体フィルムを、前記透明ポリイミド層のガラス転移温度以上で加熱する工程とを含み、前記透明ポリイミド層は、ガラス転移温度が260℃以上、全光線透過率が80%以上、ヘイズが5%以下、L*a*b表色系におけるb値の絶対値が5以下、かつ面内位相差が10nm以下であり、前記支持基材から前記透明ポリイミド層を剥離する際のピール強度が0.005〜0.20kN/mである、透明ポリイミド積層体の製造方法。   [1] A method for producing a transparent polyimide laminate comprising a supporting substrate and a transparent polyimide layer laminated on the supporting substrate, wherein a) a polyimide precursor obtained by reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component A step of coating a polyimide precursor-containing solution containing a body and a solvent on the support substrate; and b) a glass transition of the transparent polyimide layer with a polyimide precursor film comprising a coating film of the polyimide precursor-containing solution. The transparent polyimide layer has a glass transition temperature of 260 ° C. or higher, a total light transmittance of 80% or higher, a haze of 5% or lower, and a b value in the L * a * b color system. The absolute value is 5 or less, the in-plane retardation is 10 nm or less, and the peel strength when peeling the transparent polyimide layer from the support substrate is 0.005 to 0.20 kN / m. , The method for producing a transparent polyimide laminate.

[2]前記支持基材が、フレキシブル基材である、[1]に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
[3]前記ポリイミド前駆体含有溶液に、離型剤がさらに含まれる、[1]または[2]に記載のポリイミド積層体の製造方法。
[4]前記工程b)の200℃を超える温度領域では、雰囲気の酸素濃度を5体積%以下とする、[1]〜[3]のいずれかに記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
[5]前記工程b)の200℃を超える温度領域では、雰囲気を減圧する、[1]〜[3]のいずれかに記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
[6]前記工程b)は、150℃以下から200℃超まで昇温しながら前記ポリイミド前駆体フィルムを加熱する工程であり、前記工程b)における150〜200℃の温度領域の平均昇温速度を0.25〜50℃/分とする、[1]〜[5]のいずれかに記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
[2] The method for producing a transparent polyimide laminate according to [1], wherein the support substrate is a flexible substrate.
[3] The method for producing a polyimide laminate according to [1] or [2], wherein a release agent is further included in the polyimide precursor-containing solution.
[4] The method for producing a transparent polyimide laminate according to any one of [1] to [3], wherein the oxygen concentration of the atmosphere is 5% by volume or less in the temperature range exceeding 200 ° C. in the step b).
[5] The method for producing a transparent polyimide laminate according to any one of [1] to [3], wherein the atmosphere is decompressed in a temperature range exceeding 200 ° C. in the step b).
[6] The step b) is a step of heating the polyimide precursor film while raising the temperature from 150 ° C. or lower to over 200 ° C., and the average temperature rising rate in the temperature range of 150 to 200 ° C. in the step b). The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body in any one of [1]-[5] which makes 0.25-50 degree-C / min.

[7]前記ポリイミド前駆体が、下記一般式(a)で表される1種以上のテトラカルボン酸二無水物を含むテトラカルボン酸成分(A)と、下記一般式(b−1)〜(b−3)で表される化合物からなる群から選ばれる1種以上のジアミンを含むジアミン成分(B)とを反応させてなる化合物である、[1]〜[6]のいずれかに記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。

Figure 2014041816
(一般式(a)中、Rは炭素数4〜27の4価の基を示し、かつ
脂肪族基、単環式脂肪族基、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基、もしくは縮合多環式芳香族基を示すか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基を示すか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基を示す)
Figure 2014041816
Figure 2014041816
Figure 2014041816
[7] The polyimide precursor includes a tetracarboxylic acid component (A) containing at least one tetracarboxylic dianhydride represented by the following general formula (a), and the following general formulas (b-1) to ( The compound according to any one of [1] to [6], which is a compound obtained by reacting a diamine component (B) containing one or more diamines selected from the group consisting of compounds represented by b-3). A method for producing a transparent polyimide laminate.
Figure 2014041816
(In the general formula (a), R 1 represents a tetravalent group having 4 to 27 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group, a condensed polycyclic aliphatic group, or a monocyclic aromatic group. Or a condensed polycyclic aromatic group, a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cycloaliphatic groups are linked directly or by a bridging member, or an aromatic group is directly or a bridging member Represents non-condensed polycyclic aromatic groups linked together by
Figure 2014041816
Figure 2014041816
Figure 2014041816

[8]前記ポリイミド前駆体が、下記一般式(I)で表される繰り返し単位を有し、一般式(I)における1,4-ビスメチレンシクロヘキサン骨格(X)は、式(X1)で表されるトランス体と、式(X2)で表されるシス体とからなり、前記トランス体とシス体の含有比(トランス体+シス体=100%)が、60%≦トランス体≦100%、0%≦シス体≦40%である、[7]に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。

Figure 2014041816
Figure 2014041816
(一般式(I)中、R10は炭素数4〜27の4価の基を示し、かつ
脂肪族基、単環式脂肪族基、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基、もしくは縮合多環式芳香族基を示すか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基を示すか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基を示す)[8] The polyimide precursor has a repeating unit represented by the following general formula (I), and the 1,4-bismethylenecyclohexane skeleton (X) in the general formula (I) is represented by the formula (X1). And a cis isomer represented by the formula (X2), the content ratio of the trans isomer to the cis isomer (trans isomer + cis isomer = 100%) is 60% ≦ trans isomer ≦ 100%, The method for producing a transparent polyimide laminate according to [7], wherein 0% ≦ cis body ≦ 40%.
Figure 2014041816
Figure 2014041816
(In the general formula (I), R 10 represents a tetravalent group having 4 to 27 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group, a condensed polycyclic aliphatic group, or a monocyclic aromatic group. Or a condensed polycyclic aromatic group, a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cycloaliphatic groups are linked directly or by a bridging member, or an aromatic group is directly or a bridging member Represents non-condensed polycyclic aromatic groups linked together by

[9]前記ポリイミド前駆体が、下記一般式(G)で表される繰り返し構造単位で構成されるポリアミド酸ブロックと、下記一般式(H)で表される繰り返し構造単位で構成されるポリイミドブロックと、を有するブロックポリアミド酸イミドである、[1]〜[6]のいずれかに記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。

Figure 2014041816
(一般式(G)及び(H)中、R及びRはそれぞれ独立に炭素数4〜27の4価の基であり、かつ脂肪族基、単環式脂肪族基、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基、もしくは縮合多環式芳香族基を示すか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基を示すか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基を示し;
一般式(H)において、Rは、炭素数4〜51の2価の基であり、かつ脂肪族基、単環式脂肪族基(但し、1,4-シクロヘキシレン基を除く)、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基もしくは縮合多環式芳香族基であるか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基であるか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基である)[9] The polyimide precursor is composed of a polyamic acid block composed of a repeating structural unit represented by the following general formula (G) and a polyimide block composed of a repeating structural unit represented by the following general formula (H) The method for producing a transparent polyimide laminate according to any one of [1] to [6], which is a block polyamic acid imide.
Figure 2014041816
(In General Formulas (G) and (H), R 6 and R 8 are each independently a tetravalent group having 4 to 27 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group, or a condensed polycyclic group. Whether it represents an aliphatic group, a monocyclic aromatic group, or a condensed polycyclic aromatic group, or a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cyclic aliphatic groups are connected to each other directly or by a bridging member Or a non-condensed polycyclic aromatic group in which the aromatic groups are connected to each other directly or by a bridging member;
In the general formula (H), R 7 is a divalent group having 4 to 51 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group (excluding a 1,4-cyclohexylene group), a condensed group A polycyclic aliphatic group, a monocyclic aromatic group or a condensed polycyclic aromatic group, or a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cyclic aliphatic groups are connected to each other directly or by a bridging member Or a non-condensed polycyclic aromatic group in which the aromatic groups are connected to each other directly or by a bridging member)

[10]前記工程a)は、ロールから繰り出された前記支持基材上に、前記ポリイミド前駆体含有溶液を塗布する工程であり、前記工程b)は、前記ポリイミド前駆体フィルムの加熱後、前記透明ポリイミド積層体をロールに巻き取るステップを含む、[1]〜[9]のいずれかに記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。   [10] The step a) is a step of applying the polyimide precursor-containing solution onto the support substrate fed out from a roll, and the step b) is performed after the polyimide precursor film is heated. The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body in any one of [1]-[9] including the step which winds up a transparent polyimide laminated body on a roll.

本発明の第2は、以下の透明ポリイミド積層体や光学フィルムに関する。
[11]前記[1]〜[9]のいずれかに記載の製造方法から得られる、透明ポリイミド積層体。
[12]前記[11]記載の透明ポリイミド積層体の支持基材から透明ポリイミド層を剥離して得られる、光学フィルム。
2nd of this invention is related with the following transparent polyimide laminated bodies and optical films.
[11] A transparent polyimide laminate obtained from the production method according to any one of [1] to [9].
[12] An optical film obtained by peeling a transparent polyimide layer from a support substrate of the transparent polyimide laminate according to [11].

本発明の第3は、透明ポリイミドフィルムの製造方法、フレキシブルデバイスの製造方法、及び各種ディスプレイ装置に関する。
[13]前記[11]記載の透明ポリイミド積層体の支持基材から透明ポリイミド層を剥離し、透明ポリイミドフィルムを得る工程を含む、透明ポリイミドフィルムの製造方法。
[14]前記[11]記載の透明ポリイミド積層体の前記透明ポリイミド層上に素子を形成する工程と、前記素子を形成後の前記透明ポリイミド層を、前記支持基材から剥離する工程とを有する、フレキシブルデバイスの製造方法。
[15]前記[11]記載の製造方法で得られる透明ポリイミドフィルム上に素子を形成する工程を有する、フレキシブルデバイスの製造方法。
[16]前記[14]または[15]に記載のフレキシブルデバイスの製造方法により得られるタッチパネルディスプレイ。
[17]前記[14]または[15]に記載のフレキシブルデバイスの製造方法により得られる液晶ディスプレイ。
[18]前記[14]または[15]に記載のフレキシブルデバイスの製造方法により得られる有機ELディスプレイ。
3rd of this invention is related with the manufacturing method of a transparent polyimide film, the manufacturing method of a flexible device, and various display apparatuses.
[13] A method for producing a transparent polyimide film, comprising a step of peeling the transparent polyimide layer from the support substrate of the transparent polyimide laminate according to [11] to obtain a transparent polyimide film.
[14] A step of forming an element on the transparent polyimide layer of the transparent polyimide laminate according to [11], and a step of peeling the transparent polyimide layer after forming the element from the support substrate. A manufacturing method of a flexible device.
[15] A method for producing a flexible device, comprising a step of forming an element on a transparent polyimide film obtained by the production method according to [11].
[16] A touch panel display obtained by the method for producing a flexible device according to [14] or [15].
[17] A liquid crystal display obtained by the method for producing a flexible device according to [14] or [15].
[18] An organic EL display obtained by the method for producing a flexible device according to [14] or [15].

本発明によれば、支持基材から容易に剥離可能であり、光透過性が高く、かつ面内位相差が小さい透明ポリイミド層を有する透明ポリイミド積層体が得られる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the transparent polyimide laminated body which has the transparent polyimide layer which can be peeled easily from a support base material, has high light transmittance, and has a small in-plane phase difference is obtained.

図1は、本発明の製造方法により、長尺の透明ポリイミド積層体を製造するための製造装置の一例を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing an example of a production apparatus for producing a long transparent polyimide laminate by the production method of the present invention. 図2は、本発明の透明ポリイミド積層体を用いたフレキシブルデバイスの製造方法の一例を示す概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of a method for producing a flexible device using the transparent polyimide laminate of the present invention. 図3は、本発明の透明ポリイミド積層体を用いたフレキシブルデバイスの製造方法の他の例を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another example of a method for producing a flexible device using the transparent polyimide laminate of the present invention. 図4は、本発明の透明ポリイミド積層体を用いたフレキシブルデバイスの製造方法の他の例を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing another example of a method for producing a flexible device using the transparent polyimide laminate of the present invention.

A.透明ポリイミド積層体の製造方法
本発明の製造方法では、支持基材と、透明ポリイミド層とを含む透明ポリイミド積層体であって、支持基材から透明ポリイミド層を剥離する際のピール強度が0.005〜0.20kN/mであり、好ましくは0.01〜0.15kN/m、さらに好ましくは0.05〜0.10kN/mである透明ポリイミド積層体を製造する。ピール強度は、JIS C−6471(剥離角度90°)に準拠して測定される値である。
A. The manufacturing method of a transparent polyimide laminated body In the manufacturing method of this invention, it is a transparent polyimide laminated body containing a support base material and a transparent polyimide layer, Comprising: The peel strength at the time of peeling a transparent polyimide layer from a support base material is 0. The transparent polyimide laminate is manufactured in a range of 005 to 0.20 kN / m, preferably 0.01 to 0.15 kN / m, and more preferably 0.05 to 0.10 kN / m. The peel strength is a value measured according to JIS C-6471 (peeling angle 90 °).

前述のように、一般的なキャスト法で支持基材上にポリイミドフィルムを作製すると、得られるポリイミドフィルムと支持基材との剥離が難しく、ポリイミドフィルム及び支持基材を水に浸漬したり、支持基材とポリイミドフィルムとの界面にレーザー照射して剥離する必要であった。また、ポリイミドフィルム上に素子を形成してから、フィルムを支持基材から剥離すると、素子に応力がかかったり、素子に水が付着して、素子を損傷するおそれがあった。   As described above, when a polyimide film is produced on a supporting substrate by a general casting method, it is difficult to peel off the obtained polyimide film and the supporting substrate, and the polyimide film and the supporting substrate are immersed in water or supported. It was necessary to peel off the interface between the substrate and the polyimide film by laser irradiation. In addition, when an element is formed on a polyimide film and then the film is peeled off from the supporting substrate, there is a possibility that the element is stressed or water is attached to the element to damage the element.

これに対し、本発明の製造方法で製造される透明ポリイミド積層体では、透明ポリイミド層と支持基材とのピール強度が小さい。したがって、透明ポリイミド層上に素子を形成してからでも、容易に透明ポリイミド層を支持基材から剥離することができる。   On the other hand, in the transparent polyimide laminated body manufactured with the manufacturing method of this invention, the peel strength of a transparent polyimide layer and a support base material is small. Therefore, even after an element is formed on the transparent polyimide layer, the transparent polyimide layer can be easily peeled from the support substrate.

本発明の製造方法には、以下の2つの工程が含まれる。
a)テトラカルボン酸成分及びジアミン成分を反応させてなるポリイミド前駆体と溶剤とを含むポリイミド前駆体含有溶液を、支持基材上に塗布する工程
b)前記ポリイミド前駆体含有溶液の塗膜からなるポリイミド前駆体フィルムを、透明ポリイミド層のガラス転移温度以上で加熱する工程
The manufacturing method of the present invention includes the following two steps.
a) A step of applying a polyimide precursor-containing solution containing a polyimide precursor obtained by reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component and a solvent onto a supporting substrate. b) A coating film of the polyimide precursor-containing solution. The process of heating the polyimide precursor film above the glass transition temperature of the transparent polyimide layer

本発明の透明ポリイミド積層体は、例えば図1に示される装置によって、長尺の透明ポリイミド積層体30として製造されうる。図1に示される製造装置は、ポリイミド前駆体の塗布装置20と、無端ベルト21と、無端ベルト21の移動方向に沿って配置された複数の加熱炉10とを具備する。ロールから巻き出した支持基材11に、塗布装置20によってポリイミド前駆体を塗布し、ポリイミド前駆体の塗膜1を形成する。そして、ポリイミド前駆体の塗膜1を加熱炉10でイミド化し、支持基材11及び透明ポリイミド層1’が積層された透明ポリイミド積層体を得る。その後、長尺の透明ポリイミド積層体を巻き取って、ロール体30とする。   The transparent polyimide laminate of the present invention can be produced as a long transparent polyimide laminate 30 using, for example, the apparatus shown in FIG. The manufacturing apparatus shown in FIG. 1 includes a polyimide precursor coating device 20, an endless belt 21, and a plurality of heating furnaces 10 arranged along the moving direction of the endless belt 21. A polyimide precursor is applied to the supporting base material 11 unwound from the roll by a coating device 20 to form a coating film 1 of the polyimide precursor. And the coating film 1 of a polyimide precursor is imidized with the heating furnace 10, and the transparent polyimide laminated body on which the support base material 11 and transparent polyimide layer 1 'were laminated | stacked is obtained. Thereafter, the long transparent polyimide laminate is wound up to form a roll body 30.

1.工程a)について
テトラカルボン酸成分及びジアミン成分を反応させてなるポリイミド前駆体と溶剤とを含むポリイミド前駆体含有溶液を準備する。ポリイミド前駆体含有溶液に含まれるポリイミド前駆体の種類は、特に制限されないが、得られる透明ポリイミド層の全光線透過率を高めるとの観点から、ポリイミド前駆体の主鎖に、脂環族が含まれることが好ましい。このようなポリイミド前駆体を含むポリイミド前駆体含有溶液については、後で詳述する。
1. About Step a) A polyimide precursor-containing solution containing a polyimide precursor obtained by reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component and a solvent is prepared. The type of polyimide precursor contained in the polyimide precursor-containing solution is not particularly limited, but from the viewpoint of increasing the total light transmittance of the resulting transparent polyimide layer, the main chain of the polyimide precursor contains an alicyclic group. It is preferred that The polyimide precursor containing solution containing such a polyimide precursor will be described in detail later.

準備したポリイミド前駆体含有溶液を支持基材上に塗布する。支持基材は、耐溶剤性及び耐熱性を有するものであれば特に制限されない。支持基材は、得られる透明ポリイミド層の剥離性が良好であるものが好ましく、金属または耐熱性ポリマーフィルム等からなるフレキシブル基材であることが好ましい。金属からなるフレキシブル基材の例には、銅、アルミニウム、ステンレス、鉄、銀、パラジウム、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、ジルコニウム、金、コバルト、チタン、タンタル、亜鉛、鉛、錫、シリコン、ビスマス、インジウム、又はこれらの合金からなる金属箔が含まれる。金属箔表面には、離型剤がコーティングされていてもよい。   The prepared polyimide precursor containing solution is apply | coated on a support base material. The supporting substrate is not particularly limited as long as it has solvent resistance and heat resistance. The support substrate is preferably one having good peelability of the resulting transparent polyimide layer, and is preferably a flexible substrate made of a metal or a heat-resistant polymer film. Examples of flexible substrates made of metal include copper, aluminum, stainless steel, iron, silver, palladium, nickel, chromium, molybdenum, tungsten, zirconium, gold, cobalt, titanium, tantalum, zinc, lead, tin, silicon, bismuth , Indium, or a metal foil made of an alloy thereof. A release agent may be coated on the surface of the metal foil.

また、耐熱性ポリマーフィルムからなるフレキシブル基材の例には、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリエーテルエーテルスルホンフィルムが含まれる。耐熱性ポリマーフィルムからなるフレキシブル基材には、離型剤や耐電防止剤が含まれていてもよく、表面に離型剤や帯電防止剤がコーティングされていてもよい。得られる透明ポリイミド層との剥離性が良好であり、かつ耐熱性及び耐溶剤性が高いことから、支持基材はポリイミドフィルムであることが好ましい。   Examples of the flexible substrate made of a heat resistant polymer film include a polyimide film, an aramid film, a polyether ether ketone film, and a polyether ether sulfone film. The flexible substrate made of a heat-resistant polymer film may contain a release agent or an antistatic agent, and may be coated with a release agent or an antistatic agent on the surface. It is preferable that the supporting substrate is a polyimide film because the peelability from the obtained transparent polyimide layer is good and the heat resistance and solvent resistance are high.

支持基材の表面の十点平均粗さ(Rz)は、0.4μm未満であることが好ましく、より好ましくは0.2μm以下、更に好ましくは0.1μm以下である。支持基材の表面の十点平均粗さが小さいと、支持基材上に成膜される透明ポリイミド層のヘイズが小さくなりやすい。上記支持基材表面の十点平均粗さ(Rz)は、JIS B-0601に準拠して測定される値であり、支持基材の幅方向に向かって測定した値である。   The ten-point average roughness (Rz) of the surface of the supporting substrate is preferably less than 0.4 μm, more preferably 0.2 μm or less, and even more preferably 0.1 μm or less. When the ten-point average roughness of the surface of the supporting substrate is small, the haze of the transparent polyimide layer formed on the supporting substrate tends to be small. The ten-point average roughness (Rz) of the surface of the supporting substrate is a value measured according to JIS B-0601, and is a value measured in the width direction of the supporting substrate.

また、支持基材表面には異物の付着やスジ状の傷等からなる欠陥がないことが好ましい。上記十点平均粗さ(Rz)が低くとも、支持基材にこれらの欠陥がある場合には、得られる透明ポリイミド層のヘイズが大きくなりやすい。支持基材表面の欠陥は、「単位面積あたりの欠陥数」で評価することができる。欠陥は、目視観察で確認する。支持基材210mm×297mm(A4サイズ)当たりに含まれる欠陥の数は、通常10個以下であることが好ましく、より好ましくは5個以下であり、さらに好ましくは1個以下である。   Moreover, it is preferable that there are no defects which consist of adhesion of a foreign material, a streak-like wound, etc. on the support base material surface. Even if the ten-point average roughness (Rz) is low, the haze of the obtained transparent polyimide layer tends to increase when these defects are present in the support substrate. The defects on the surface of the supporting substrate can be evaluated by “the number of defects per unit area”. Defects are confirmed by visual observation. The number of defects contained per support substrate 210 mm × 297 mm (A4 size) is usually preferably 10 or less, more preferably 5 or less, and even more preferably 1 or less.

支持基材の形状は、製造する透明ポリイミド積層体の形状に合わせて適宜選択され、単葉シート状であってもよく、長尺状であってもよい。支持基材の厚みは、5〜150μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましい。支持基材の厚みが5μm未満であると、ポリイミド前駆体含有溶液の塗布中に、支持基材に皺が発生したり、支持基材が裂けたりする場合がある。   The shape of the support substrate is appropriately selected according to the shape of the transparent polyimide laminate to be produced, and may be a single-leaf sheet shape or a long shape. The thickness of the support substrate is preferably 5 to 150 μm, and more preferably 10 to 70 μm. When the thickness of the supporting substrate is less than 5 μm, wrinkles may be generated on the supporting substrate or the supporting substrate may be torn during application of the polyimide precursor-containing solution.

ポリイミド前駆体含有溶液の支持基材への塗布は、ポリイミド前駆体含有溶液を一定の膜厚で塗布可能な方法であれば、特に制限されない。塗布装置の例には、ダイコータ、コンマコータ、ロールコータ、グラビアコータ、カーテンコータ、スプレーコータ、リップコータ等が含まれる。   Application | coating to the support base material of a polyimide precursor containing solution will not be restrict | limited especially if the polyimide precursor containing solution can be apply | coated by a fixed film thickness. Examples of the coating apparatus include a die coater, a comma coater, a roll coater, a gravure coater, a curtain coater, a spray coater, and a lip coater.

ポリイミド前駆体含有溶液の塗膜の厚み(塗布膜厚)は、所望の透明ポリイミド層の厚みや、ポリイミド前駆体含有溶液中のポリイミド前駆体の濃度に応じて適宜選択される。   The thickness (coating film thickness) of the polyimide precursor-containing solution is appropriately selected according to the desired thickness of the transparent polyimide layer and the concentration of the polyimide precursor in the polyimide precursor-containing solution.

2.工程b)について
工程b)では、前述の工程a)で支持基材上に形成されたポリイミド前駆体含有溶液の塗膜;つまりポリイミド前駆体フィルムを加熱する。具体的には、i)ポリイミド前駆体フィルムを、150℃以下の温度から200℃超まで温度を上昇させながら加熱し、さらにii)得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度以上の温度(一定温度)で、一定時間加熱する工程であることが好ましい。
2. About Step b) In Step b), the polyimide precursor-containing solution coating film formed on the supporting substrate in Step a) described above; that is, the polyimide precursor film is heated. Specifically, i) the polyimide precursor film is heated while increasing the temperature from 150 ° C. or lower to over 200 ° C., and ii) the temperature (constant temperature) equal to or higher than the glass transition temperature of the obtained transparent polyimide layer. Thus, it is preferable to be a step of heating for a certain time.

i)一般的なポリイミド前駆体がイミド化する温度は150〜200℃である。そのため、ポリイミド前駆体フィルムの温度を急激に200℃以上まで上昇させると、ポリイミド前駆体フィルムから溶剤が揮発する前に、塗膜表面のポリイミド前駆体がイミド化する。そして、塗膜内の溶剤が発泡したり、溶剤が外部に放出される際、塗膜表面に凹凸が生じたりする。したがって、150〜200℃の温度領域では、ポリイミド前駆体フィルムの温度を徐々に上昇させることが好ましい。具体的には150〜200℃の温度領域における昇温速度を0.25〜50℃/分とすることが好ましく、より好ましくは1〜40℃/分であり、さらに好ましくは2〜30℃/分である。   i) The temperature at which a general polyimide precursor is imidized is 150 to 200 ° C. Therefore, when the temperature of the polyimide precursor film is rapidly increased to 200 ° C. or higher, the polyimide precursor on the coating film surface is imidized before the solvent is volatilized from the polyimide precursor film. And when the solvent in a coating film foams or a solvent is discharge | released outside, an unevenness | corrugation arises in the coating-film surface. Therefore, in the temperature range of 150 to 200 ° C., it is preferable to gradually increase the temperature of the polyimide precursor film. Specifically, the rate of temperature increase in the temperature range of 150 to 200 ° C. is preferably 0.25 to 50 ° C./min, more preferably 1 to 40 ° C./min, and further preferably 2 to 30 ° C./min. Minutes.

昇温は、連続的でも段階的(逐次的)でもよいが、連続的とすることが、得られる透明ポリイミド層の外観不良抑制の面から好ましい。また、上述の全温度範囲において、昇温速度を一定としてもよく、途中で変化させてもよい。   Although the temperature rise may be continuous or stepwise (sequential), it is preferable to be continuous from the viewpoint of suppressing the appearance defect of the obtained transparent polyimide layer. Moreover, in the above-mentioned whole temperature range, the temperature increase rate may be constant or may be changed in the middle.

単葉状のポリイミド前駆体フィルムを昇温しながら加熱する方法の例には、ポリイミド前駆体フィルムを加熱するためのオーブン内温度を昇温する方法がある。この場合、昇温速度は、オーブンの設定によって調整する。また、長尺状のポリイミド前駆体フィルムを昇温しながら加熱する場合、例えば図1に示されるように、ポリイミド前駆体フィルム1を加熱するための加熱炉10を、支持基材11の搬送(移動)方向に沿って複数配置し;加熱炉10の温度を、加熱炉10ごとに変化させる。例えば、支持基材11の移動方向に沿って、それぞれの加熱炉10の温度を高めればよい。この場合、昇温速度は、支持基材11の搬送速度で調整する。   An example of a method of heating a single-leaf polyimide precursor film while raising the temperature includes a method of raising the temperature in the oven for heating the polyimide precursor film. In this case, the heating rate is adjusted by the oven setting. When heating the long polyimide precursor film while raising the temperature, for example, as shown in FIG. 1, a heating furnace 10 for heating the polyimide precursor film 1 is transported to the support base 11 ( A plurality of them are arranged along the (moving) direction; the temperature of the heating furnace 10 is changed for each heating furnace 10. For example, what is necessary is just to raise the temperature of each heating furnace 10 along the moving direction of the support base material 11. FIG. In this case, the temperature increase rate is adjusted by the conveyance speed of the support substrate 11.

ii)ポリイミド前駆体フィルムを、温度を上昇させながら加熱した後、さらに得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度以上の温度(一定温度)で、一定時間加熱する。このときの温度は、得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度以上であれば特に制限されないが、より好ましくは得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度より5〜30℃高い温度、さらに好ましくは得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度より5〜20℃高い温度である。得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度以上の温度で一定時間加熱することで、ポリイミド前駆体を十分にイミド化させることができる。また、得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度より高い温度で一定時間加熱するため、透明ポリイミド層が軟化し、透明ポリイミド層内部の溶剤が十分に揮発する。ガラス転移温度以上の温度での加熱時間は、加熱温度、ポリイミド前駆体フィルムの厚み、ポリイミド前駆体含有溶液に含まれる溶剤量等に応じて、適宜選択される。通常0.5〜2時間程度である。   ii) After heating the polyimide precursor film while increasing the temperature, the polyimide precursor film is further heated at a temperature (constant temperature) equal to or higher than the glass transition temperature of the transparent polyimide layer obtained. Although the temperature at this time will not be restrict | limited especially if it is more than the glass transition temperature of the transparent polyimide layer obtained, More preferably, it is 5-30 degreeC higher than the glass transition temperature of the transparent polyimide layer obtained, More preferably, the transparent obtained The temperature is 5 to 20 ° C. higher than the glass transition temperature of the polyimide layer. The polyimide precursor can be sufficiently imidized by heating at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature of the obtained transparent polyimide layer for a certain time. Moreover, since it heats for a fixed time at the temperature higher than the glass transition temperature of the transparent polyimide layer obtained, a transparent polyimide layer softens and the solvent inside a transparent polyimide layer fully volatilizes. The heating time at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature is appropriately selected according to the heating temperature, the thickness of the polyimide precursor film, the amount of solvent contained in the polyimide precursor-containing solution, and the like. Usually, it is about 0.5 to 2 hours.

ポリイミド前駆体フィルムを、一定温度で加熱する際の加熱方法は特に制限されず、例えば、一定温度に調整したオーブン等で加熱する。また、長尺状のポリイミド前駆体フィルムは、一定に温度を保持した加熱炉等で加熱する。   The heating method for heating the polyimide precursor film at a constant temperature is not particularly limited, and for example, it is heated in an oven adjusted to a constant temperature. Further, the long polyimide precursor film is heated in a heating furnace or the like that maintains a constant temperature.

ポリイミドは、200℃を超える温度で加熱すると酸化されやすい。ポリイミドが酸化されると、得られる透明ポリイミド層が黄変し、透明ポリイミド層の全光線透過率が低下する。そこで、200℃を超える温度領域では、(i)加熱雰囲気の酸素濃度を5体積%以下とする、もしくは(ii)加熱雰囲気を減圧することが好ましい。   Polyimide is easily oxidized when heated at a temperature exceeding 200 ° C. When polyimide is oxidized, the transparent polyimide layer obtained turns yellow, and the total light transmittance of the transparent polyimide layer decreases. Therefore, in a temperature range exceeding 200 ° C., it is preferable that (i) the oxygen concentration of the heating atmosphere is 5% by volume or less, or (ii) the heating atmosphere is decompressed.

(i)加熱雰囲気の酸素濃度を5体積%以下とすると、ポリイミドの酸化反応が抑制される。200℃を超える温度領域における酸素濃度は、より好ましくは3体積%以下であり、さらに好ましくは1体積%以下である。酸素濃度を低下させる方法は、特に制限されないが、加熱雰囲気内に不活性ガスを導入する方法等でありうる。雰囲気中の酸素濃度は、市販の酸素濃度計(例えば、ジルコニア式酸素濃度計)により測定される。 (I) When the oxygen concentration in the heating atmosphere is 5% by volume or less, the oxidation reaction of polyimide is suppressed. The oxygen concentration in the temperature region exceeding 200 ° C. is more preferably 3% by volume or less, and further preferably 1% by volume or less. A method for reducing the oxygen concentration is not particularly limited, and may be a method of introducing an inert gas into the heating atmosphere. The oxygen concentration in the atmosphere is measured by a commercially available oxygen concentration meter (for example, a zirconia oxygen concentration meter).

(ii)また、加熱雰囲気を減圧することでも、ポリイミドの酸化反応が抑制される。加熱雰囲気を減圧する場合には、雰囲気内の圧力を5kPa以下とすることが好ましく、より好ましくは1kPa以下である。加熱雰囲気を減圧する場合には、減圧オーブン等でポリイミド前駆体フィルムを加熱する。 (Ii) Moreover, the oxidation reaction of polyimide is also suppressed by reducing the heating atmosphere. When the heating atmosphere is decompressed, the pressure in the atmosphere is preferably 5 kPa or less, more preferably 1 kPa or less. When reducing the heating atmosphere, the polyimide precursor film is heated in a vacuum oven or the like.

工程b)加熱終了時の透明ポリイミド層のイミド化率は90%以上であることが好ましく、より好ましくは93%以上、さらに好ましくは95%以上である。イミド化率が90%を下回ると、透明ポリイミド層の使用時にイミド化が進み、透明ポリイミド層から水分が放出されるおそれがある。イミド化率は、透明ポリイミド層のIR吸収スペクトルの測定値から算出できる。具体的には、以下の方法で算出する。   Step b) The imidation ratio of the transparent polyimide layer at the end of heating is preferably 90% or more, more preferably 93% or more, and still more preferably 95% or more. If the imidization ratio is less than 90%, imidization proceeds when the transparent polyimide layer is used, and moisture may be released from the transparent polyimide layer. The imidization rate can be calculated from the measured value of the IR absorption spectrum of the transparent polyimide layer. Specifically, it is calculated by the following method.

透明ポリイミド層を支持基材から剥離し、そのIR吸収スペクトルを測定する。そして、1500cm−1の吸収ピーク高さ(ベンゼン環のC=C伸縮振動によるピーク(基準))に対する、1370cm−1の吸収ピーク高さ(イミド環のC−N伸縮振動)の比率Aを算出する。一方、同一の組成のポリイミド前駆体含有溶液からなるポリイミド前駆体フィルムを作製し、これを270℃で2時間以上加熱して、完全にイミド化させる。このフィルムについても、IR吸収スペクトルを測定し、同様に1500cm−1の吸収ピーク高さ(ベンゼン環のC=C伸縮振動によるピーク(基準))に対する、1370cm−1の吸収ピーク高さ(イミド環のC−N伸縮振動)の比率Bを算出する。そして、比率Bに対する比率Aの値(比率A/比率B)×100(%)を求め、これをイミド化率とする。The transparent polyimide layer is peeled from the supporting substrate, and the IR absorption spectrum is measured. The calculated absorption peak height of 1500 cm -1 for (peak by C = C stretching vibration of a benzene ring (the reference)), the absorption peak height of the 1370 cm -1 ratio A of (C-N stretching vibration of an imide ring) To do. On the other hand, a polyimide precursor film made of a polyimide precursor-containing solution having the same composition is produced, and this is heated at 270 ° C. for 2 hours or longer to be completely imidized. The IR absorption spectrum of this film was also measured. Similarly, the absorption peak height (imide ring) of 1370 cm −1 with respect to the absorption peak height of 1500 cm −1 (peak (reference) due to C═C stretching vibration of the benzene ring). (C-N stretching vibration) B is calculated. And the value of the ratio A with respect to the ratio B (ratio A / ratio B) x 100 (%) is obtained, and this is set as the imidization rate.

一方、工程b)終了時に、透明ポリイミド層に残存する溶剤の量(残存する溶剤の質量×100/透明ポリイミド層の質量)は、1.0質量%以下であることが好ましく、より好ましくは0.8質量%以下であり、さらに好ましくは0.5質量%以下である。溶剤の残存量が1.0質量%を超えると、透明ポリイミド層の使用時に、透明ポリイミド層から溶剤が放出されるおそれがある。溶剤の残存量は、支持基材から透明ポリイミド層を剥離し、透明ポリイミド層を電気炉型熱分解炉等で熱分解し、熱分解された成分を、ガスクロマト質量分析装置で分析して特定する。   On the other hand, at the end of step b), the amount of solvent remaining in the transparent polyimide layer (mass of remaining solvent × 100 / mass of transparent polyimide layer) is preferably 1.0% by mass or less, more preferably 0. 0.8 mass% or less, more preferably 0.5 mass% or less. If the residual amount of the solvent exceeds 1.0% by mass, the solvent may be released from the transparent polyimide layer when the transparent polyimide layer is used. The residual amount of solvent is specified by peeling the transparent polyimide layer from the support substrate, pyrolyzing the transparent polyimide layer with an electric furnace type pyrolysis furnace, etc., and analyzing the pyrolyzed components with a gas chromatography mass spectrometer To do.

上記加熱終了後、得られた透明ポリイミド積層体が長尺である場合には、前述のように、当該透明ポリイミド積層体を巻き取り、ロール体とするステップを行ってもよい。   When the obtained transparent polyimide laminate is long after completion of the heating, a step of winding the transparent polyimide laminate to form a roll as described above may be performed.

3.ポリイミド前駆体含有溶液について
工程a)で塗布するポリイミド前駆体含有溶液には、ポリイミド前駆体と溶剤とが含まれ、必要に応じて離型剤が含まれる。ポリイミド前駆体含有溶液に離型剤が含まれると、透明ポリイミド積層体における透明ポリイミド層と支持基材との剥離性が高まる。また、ポリイミド前駆体含有溶液には、必要に応じて各種添加剤が含まれてもよい。
3. About a polyimide precursor containing solution The polyimide precursor containing solution applied in step a) contains a polyimide precursor and a solvent, and if necessary, a release agent. When a release agent is contained in the polyimide precursor-containing solution, the peelability between the transparent polyimide layer and the support substrate in the transparent polyimide laminate is increased. Moreover, various additives may be contained in the polyimide precursor containing solution as needed.

3−1.ポリイミド前駆体
ポリイミド前駆体は、テトラカルボン酸成分(A)と、ジアミン成分(B)とを反応させてなる。ポリイミド前駆体含有溶液に含まれるポリイミド前駆体の濃度は、5〜50質量%であることが好ましく、より好ましくは10〜40質量%である。ポリイミド前駆体の濃度が50質量%を超えると、ポリイミド前駆体含有溶液の粘度が過剰に高くなり、支持基材への塗布が困難となる場合がある。一方、5質量%未満であると、ポリイミド前駆体含有溶液の粘度が過剰に低く、ポリイミド前駆体フィルムを所望の厚みに塗布できない場合がある。また、溶剤の乾燥に時間がかかり、ポリイミドフィルムの製造効率が悪くなる。
3-1. Polyimide precursor The polyimide precursor is obtained by reacting a tetracarboxylic acid component (A) with a diamine component (B). It is preferable that the density | concentration of the polyimide precursor contained in a polyimide precursor containing solution is 5-50 mass%, More preferably, it is 10-40 mass%. When the density | concentration of a polyimide precursor exceeds 50 mass%, the viscosity of a polyimide precursor containing solution will become high too much, and the application | coating to a support base material may become difficult. On the other hand, when it is less than 5% by mass, the viscosity of the polyimide precursor-containing solution is excessively low, and the polyimide precursor film may not be applied to a desired thickness. Moreover, it takes time to dry the solvent, and the production efficiency of the polyimide film is deteriorated.

3−1−1.テトラカルボン酸成分(A)
ポリイミド前駆体を構成するテトラカルボン酸成分(A)には、下記一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物が含まれる。テトラカルボン酸成分(A)には、一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物が一種類のみが含まれてもよく、また2種類以上含まれてもよい。

Figure 2014041816
一般式(a)中、Rは、炭素数4〜27である4価の有機基を示す。Rは、脂肪族基;単環式脂肪族基;縮合多環式脂肪族基;単環式芳香族基;縮合多環式芳香族基;環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基;芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基でありうる。3-1-1. Tetracarboxylic acid component (A)
The tetracarboxylic acid component (A) constituting the polyimide precursor includes a tetracarboxylic dianhydride represented by the following general formula (a). The tetracarboxylic acid component (A) may contain only one type of tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a), or may contain two or more types.
Figure 2014041816
In general formula (a), R 1 represents a tetravalent organic group having 4 to 27 carbon atoms. R 1 represents an aliphatic group; a monocyclic aliphatic group; a condensed polycyclic aliphatic group; a monocyclic aromatic group; a condensed polycyclic aromatic group; A non-fused polycyclic aliphatic group linked to each other; a non-fused polycyclic aromatic group in which the aromatic groups are linked to each other directly or by a cross-linking member.

一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物は、特に芳香族テトラカルボン酸二無水物、または脂環族テトラカルボン酸二無水物であることが好ましい。   The tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a) is particularly preferably an aromatic tetracarboxylic dianhydride or an alicyclic tetracarboxylic dianhydride.

一般式(a)で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物の例には、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルフィド二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、4,4'-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ビフェニル二無水物、2,2-ビス[(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)スルフィド二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,3-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,3-ビス(3,4-ジカルボキシベンゾイル)ベンゼン二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシベンゾイル)ベンゼン二無水物、1,3-ビス(2,3-ジカルボキシベンゾイル)ベンゼン二無水物、1,4-ビス(2,3-ジカルボキシベンゾイル)ベンゼン二無水物、4,4'-イソフタロイルジフタリックアンハイドライドジアゾジフェニルメタン-3,3',4,4'-テトラカルボン酸二無水物、ジアゾジフェニルメタン-2,2',3,3'-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-チオキサントンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラキノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-キサントンテトラカルボン酸二無水物などが含まれる。   Examples of the aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a) include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfide dianhydride, bis (3,4 -Dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,4 -Bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 4,4'-bis ( , 4-dicarboxyphenoxy) biphenyl dianhydride, 2,2-bis [(3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoro Propane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) sulfide dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,3-bis (2,3-dicarboxyphenoxy) benzene 1,4-bis (2,3-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxybenzoyl) ) Benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxybenzoyl) benzene dianhydride, 1,3-bis (2,3-dicarboxybenzoyl) benzene dianhydride, 1,4-bis ( 2,3-dicarboxybenzoyl) benzene dianhydride, 4,4′-isophthaloyl diphthalic anhydride diazodiphenylmethane-3,3 ′, 4,4′-tetracarboxylic dianhydride, diazodiphenylmethane-2, 2 ', 3,3'-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-thioxanthone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthraquinone tetracarboxylic dianhydride, 2,3 , 6,7-xanthone tetracarboxylic dianhydride Murrell.

一般式(a)で表される脂環族テトラカルボン酸二無水物の例には、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクタン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,3,5-トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3,5-トリカルボン酸-6-酢酸二無水物、1-メチル-3-エチルシクロヘキサ-1-エン-3-(1,2),5,6-テトラカルボン酸二無水物、デカヒドロ-1,4,5,8-ジメタノナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、4-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-テトラリン-1,2-ジカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物などが含まれる。   Examples of the alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a) include cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1, 2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.1] heptane-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.2] oct-7 -Ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.2] octane-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,5-tri Carboxycyclopentyl acetic acid dianhydride, bicyclo [2.2.1] heptane-2,3,5-tricarboxylic acid-6-acetic acid dianhydride, 1-methyl-3-ethylcyclohex-1-ene-3- ( 1,2), 5,6-tetracarboxylic dianhydride, decahydro-1,4,5,8-dimethananaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, - (2,5-di-oxo-tetrahydrofuran-3-yl) - tetralin-1,2-dicarboxylic acid dianhydride, 3,3 ', and the like 4,4'-dicyclohexyl tetracarboxylic dianhydride.

一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物にベンゼン環等の芳香環が含まれる場合には、芳香環上の水素原子の一部、もしくは全てが、フルオロ基、メチル基、メトキシ基、トリフルオロメチル基、およびトリフルオロメトキシ基等で置換されていてもよい。また、一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物にベンゼン環等の芳香環が含まれる場合には、目的に応じて、エチニル基、ベンゾシクロブテン−4’−イル基、ビニル基、アリル基、シアノ基、イソシアネート基、ニトリロ基、及びイソプロペニル基などから選ばれる架橋点となる基がテトラカルボン酸の構造中に含まれてもよい。特に、一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物には、成形加工性を損なわない範囲内で、ビニレン基、ビニリデン基、およびエチニリデン基などの架橋点となる基が、主鎖骨格中に組み込まれていることが好ましい。   When the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a) includes an aromatic ring such as a benzene ring, a part or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring are a fluoro group, a methyl group, a methoxy group It may be substituted with a group, a trifluoromethyl group, a trifluoromethoxy group, or the like. Further, when the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a) includes an aromatic ring such as a benzene ring, an ethynyl group, a benzocyclobuten-4′-yl group, a vinyl, depending on the purpose A group serving as a crosslinking point selected from a group, an allyl group, a cyano group, an isocyanate group, a nitrilo group, an isopropenyl group, and the like may be included in the structure of the tetracarboxylic acid. In particular, the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a) has a main clavicle group having a crosslinking point such as a vinylene group, a vinylidene group, and an ethynylidene group within a range that does not impair molding processability. It is preferably incorporated in the case.

テトラカルボン酸成分(A)には、上記一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物以外に、ヘキサカルボン酸三無水物類、オクタカルボン酸四無水物類が含まれてもよい。これらの無水物類が含まれると、得られるポリイミドに、分岐鎖が導入される。これらの無水物類は一種類のみが含まれてもよく、また2種類以上が含まれてもよい。   The tetracarboxylic acid component (A) may include hexacarboxylic dianhydrides and octacarboxylic dianhydrides in addition to the tetracarboxylic dianhydrides represented by the general formula (a). . When these anhydrides are contained, a branched chain is introduced into the resulting polyimide. Only one kind of these anhydrides may be contained, or two or more kinds may be contained.

3−1−2.ジアミン成分(B)
ポリイミド前駆体を構成するジアミン成分(B)には、下記の一般式(b−1)〜(b−3)で表されるジアミンが含まれる。ジアミン成分(B)には、下記の一般式(b−1)〜(b−3)で表されるジアミンが1種のみ含まれてもよく、また2種以上含まれてもよい。また、ジアミン成分(B)には、一般式(b−1)〜(b−3)で表されるジアミン以外のジアミン(b−4)が含まれていてもよい。

Figure 2014041816
Figure 2014041816
Figure 2014041816
3-1-2. Diamine component (B)
Diamines represented by the following general formulas (b-1) to (b-3) are included in the diamine component (B) constituting the polyimide precursor. In the diamine component (B), only one diamine represented by the following general formulas (b-1) to (b-3) may be included, or two or more diamines may be included. The diamine component (B) may contain a diamine (b-4) other than the diamines represented by the general formulas (b-1) to (b-3).
Figure 2014041816
Figure 2014041816
Figure 2014041816

一般式(b−1)で表されるシクロヘキサジアミンのシクロヘキサン骨格には、以下の2種類の幾何異性体(シス体/トランス体)がある。トランス体は、下記一般式(Z−1)で示され、シス体は下記一般式(Z−2)で表される。

Figure 2014041816
The cyclohexane skeleton of cyclohexadiamine represented by the general formula (b-1) includes the following two geometric isomers (cis isomer / trans isomer). The trans isomer is represented by the following general formula (Z-1), and the cis isomer is represented by the following general formula (Z-2).
Figure 2014041816

一般式(Z−1)におけるシクロヘキサン骨格のシス/トランス比は、50/50〜0/100であることが好ましく、30/70〜0/100であることがより好ましい。トランス体の割合が高くなると、一般的にポリイミド前駆体の分子量が増大しやすい。そのため、膜の強度が高まりやすくなる。   The cis / trans ratio of the cyclohexane skeleton in the general formula (Z-1) is preferably 50/50 to 0/100, and more preferably 30/70 to 0/100. When the proportion of the trans isomer increases, the molecular weight of the polyimide precursor generally tends to increase. Therefore, the strength of the film is likely to increase.

ポリイミド前駆体に含まれるシクロヘキサン由来のユニットのシス/トランス比は、核磁気共鳴分光法によって測定される。   The cis / trans ratio of cyclohexane-derived units contained in the polyimide precursor is measured by nuclear magnetic resonance spectroscopy.

一般式(b−2)で表されるノルボルナンジアミンのアミノメチル基の位置は特に制限されない。例えば、一般式(b−2)で表されるノルボルナンジアミンには、アミノメチル基の位置が異なる構造異性体や、S体、R体を含む光学異性体等が含まれてもよい。これらはどのような割合で含まれてもよい。   The position of the aminomethyl group of norbornanediamine represented by the general formula (b-2) is not particularly limited. For example, the norbornanediamine represented by the general formula (b-2) may include structural isomers having different aminomethyl group positions, optical isomers including S and R isomers, and the like. These may be included in any ratio.

一般式(b−3)で表される1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンの1,4-ビスメチレンシクロヘキサン骨格(X)には、2種類の幾何異性体(シス体/トランス体)がある。トランス体は、下記一般式(X1)で示され、シス体は下記一般式(X2)で表される。

Figure 2014041816
The 1,4-bismethylenecyclohexane skeleton (X) of 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane represented by the general formula (b-3) has two kinds of geometric isomers (cis isomer / trans isomer). is there. The trans isomer is represented by the following general formula (X1), and the cis isomer is represented by the following general formula (X2).
Figure 2014041816

1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン由来のユニットのシス/トランス比は、40/60〜0/100であることが好ましく、20/80〜0/100であることがより好ましい。一般式(b−3)で表されるジアミンが構成成分に含まれるポリイミドのガラス転移温度は、上記シス/トランス比によって制御され、トランス体(X1)の割合が多くなると、ポリイミドのガラス転移温度が高まる。   The cis / trans ratio of the unit derived from 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane is preferably 40/60 to 0/100, and more preferably 20/80 to 0/100. The glass transition temperature of the polyimide in which the diamine represented by the general formula (b-3) is contained as a constituent component is controlled by the cis / trans ratio, and when the ratio of the trans form (X1) increases, the glass transition temperature of the polyimide. Will increase.

ポリイミド前駆体に含まれる1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン由来のユニットのシス/トランス比は、核磁気共鳴分光法によって測定される。   The cis / trans ratio of the unit derived from 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane contained in the polyimide precursor is measured by nuclear magnetic resonance spectroscopy.

ジアミン成分(B)には、上述の一般式(b−1)〜(b−3)で表されるジアミン以外の下記一般式で表されるジアミン(b−4)が含まれていてもよい。

Figure 2014041816
In the diamine component (B), a diamine (b-4) represented by the following general formula other than the diamines represented by the above general formulas (b-1) to (b-3) may be contained. .
Figure 2014041816

一般式(b−4)において、R’は、炭素数4〜51の2価の基である。R’は、脂肪族基;単環式脂肪族基(但し、1,4−シクロヘキシレン基、下記一般式(X)で表される基、及び下記一般式(Y)で表される基を除く);縮合多環式脂肪族基;単環式芳香族基;縮合多環式芳香族基;環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基;芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基でありうる。

Figure 2014041816
In General Formula (b-4), R ′ is a divalent group having 4 to 51 carbon atoms. R ′ represents an aliphatic group; a monocyclic aliphatic group (however, a 1,4-cyclohexylene group, a group represented by the following general formula (X), and a group represented by the following general formula (Y): Excluded); condensed polycyclic aliphatic group; monocyclic aromatic group; condensed polycyclic aromatic group; non-condensed polycyclic aliphatic group in which cyclic aliphatic groups are connected to each other directly or by a bridging member A non-condensed polycyclic aromatic group in which the aromatic groups are connected to each other directly or by a bridging member.
Figure 2014041816

上記一般式(b−4)で表されるジアミンの例には、ベンゼン環を有するジアミン、芳香族置換基を有するジアミン、スピロビインダン環を有するジアミン、シロキサンジアミン類、エチレングリコールジアミン類、アルキレンジアミン類、脂環族ジアミン類等が含まれる。   Examples of the diamine represented by the general formula (b-4) include a diamine having a benzene ring, a diamine having an aromatic substituent, a diamine having a spirobiindane ring, a siloxane diamine, an ethylene glycol diamine, and an alkylene diamine. , Alicyclic diamines and the like.

ベンゼン環を有するジアミンの例には、
<1>p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、p-キシリレンジアミン、m-キシリレンジアミンなどのベンゼン環を1つ有するジアミン;
<2>3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、3,4'-ジアミノジフェニルスルホン、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノベンゾフェノン、4,4'-ジアミノベンゾフェノン、3,4'-ジアミノベンゾフェノン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ジ(3-アミノフェニル)プロパン、2,2-ジ(4-アミノフェニル)プロパン、2-(3-アミノフェニル)-2-(4-アミノフェニル)プロパン、2,2-ジ(3-アミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ジ(4-アミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2-(3-アミノフェニル)-2-(4-アミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,1-ジ(3-アミノフェニル)-1-フェニルエタン、1,1-ジ(4-アミノフェニル)-1-フェニルエタン、1-(3-アミノフェニル)-1-(4-アミノフェニル)-1-フェニルエタンなどのベンゼン環を2つ有するジアミン;
<3>1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、2,6-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゾニトリル、2,6-ビス(3-アミノフェノキシ)ピリジンなどのベンゼン環を3つ有するジアミン;
<4>4,4'-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンなどのベンゼン環を4つ有するジアミン;
<5>1,3-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼンなどのベンゼン環を5つ有するジアミン;
<6>4,4'-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4'-ビス[4-(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4'-ビス[4-(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、4,4'-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ジフェニルスルホンなどのベンゼン環を6つ有するジアミンが含まれる。
Examples of diamines having a benzene ring include
<1> Diamine having one benzene ring such as p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, p-xylylenediamine, m-xylylenediamine;
<2> 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′- Diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,4 '-Diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-di (3-aminophenyl) propane, 2,2-di (4- Aminophenyl) propane, 2- (3-aminophenyl) -2- (4-aminophenyl) propane, 2,2-di (3-aminophenyl)- , 1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-di (4-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2- (3-aminophenyl) ) -2- (4-Aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,1-di (3-aminophenyl) -1-phenylethane, 1,1-di ( Diamines having two benzene rings such as 4-aminophenyl) -1-phenylethane, 1- (3-aminophenyl) -1- (4-aminophenyl) -1-phenylethane;
<3> 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4- Aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminobenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-aminobenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-aminobenzoyl) benzene, 1,4-bis ( 4-Aminobenzoyl) benzene, 1,3-bis (3-amino-α, α-dimethylbenzyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) benzene, 1,4-bis (3-Amino-α, α-dimethylbenzyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) benzene, 1,3-bis (3-amino-α, α-ditrifluoromethyl) Benzyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-α, α-ditrifluoromethylben) L) benzene, 1,4-bis (3-amino-α, α-ditrifluoromethylbenzyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-α, α-ditrifluoromethylbenzyl) benzene, 2,6- A diamine having three benzene rings such as bis (3-aminophenoxy) benzonitrile, 2,6-bis (3-aminophenoxy) pyridine;
<4> 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 2,2-bis [4 -(3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophene) Noxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3- A diamine having four benzene rings such as hexafluoropropane;
<5> 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,4-bis [4- (3- Aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, , 3-Bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,4 A diamine having five benzene rings such as bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene;
<6> 4,4′-bis [4- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4 Has 6 benzene rings such as' -bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, 4,4'-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy] diphenylsulfone Diamine is included.

芳香族置換基を有するジアミンの例には、3,3'-ジアミノ-4,4'-ジフェノキシベンゾフェノン、3,3'-ジアミノ-4,4'-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3'-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、3,3'-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン等が含まれる。   Examples of diamines with aromatic substituents include 3,3′-diamino-4,4′-diphenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4,4′-dibiphenoxybenzophenone, 3,3′-diamino -4-phenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4-biphenoxybenzophenone and the like are included.

スピロビインダン環を有するジアミンの例には、6,6'-ビス(3-アミノフェノキシ)-3,3,3',3'-テトラメチル-1,1'-スピロビインダン、6,6'-ビス(4-アミノフェノキシ)-3,3,3',3'-テトラメチル-1,1'-スピロビインダン等が含まれる。   Examples of diamines having a spirobiindane ring include 6,6′-bis (3-aminophenoxy) -3,3,3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindane, 6,6′-bis ( 4-aminophenoxy) -3,3,3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindane and the like.

シロキサンジアミン類の例には、1,3-ビス(3-アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、1,3-ビス(4-アミノブチル)テトラメチルジシロキサン、α,ω-ビス(3-アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン、α,ω-ビス(3-アミノブチル)ポリジメチルシロキサン等が含まれる。   Examples of siloxane diamines include 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, 1,3-bis (4-aminobutyl) tetramethyldisiloxane, α, ω-bis (3-aminopropyl) ) Polydimethylsiloxane, α, ω-bis (3-aminobutyl) polydimethylsiloxane and the like.

エチレングリコールジアミン類の例には、ビス(アミノメチル)エーテル、ビス(2-アミノエチル)エーテル、ビス(3-アミノプロピル)エーテル、ビス[(2-アミノメトキシ)エチル]エーテル、ビス[2-(2-アミノエトキシ)エチル]エーテル、ビス[2-(3-アミノプロトキシ)エチル]エーテル、1,2-ビス(アミノメトキシ)エタン、1,2-ビス(2-アミノエトキシ)エタン、1,2-ビス[2-(アミノメトキシ)エトキシ]エタン、1,2-ビス[2-(2-アミノエトキシ)エトキシ]エタン、エチレングリコールビス(3-アミノプロピル)エーテル、ジエチレングリコールビス(3-アミノプロピル)エーテル、トリエチレングリコールビス(3-アミノプロピル)エーテル等が含まれる。   Examples of ethylene glycol diamines include bis (aminomethyl) ether, bis (2-aminoethyl) ether, bis (3-aminopropyl) ether, bis [(2-aminomethoxy) ethyl] ether, bis [2- (2-aminoethoxy) ethyl] ether, bis [2- (3-aminoprotoxy) ethyl] ether, 1,2-bis (aminomethoxy) ethane, 1,2-bis (2-aminoethoxy) ethane, , 2-bis [2- (aminomethoxy) ethoxy] ethane, 1,2-bis [2- (2-aminoethoxy) ethoxy] ethane, ethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether, diethylene glycol bis (3-amino Propyl) ether, triethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether, and the like.

アルキレンジアミンの例には、エチレンジアミン、1,3-ジアミノプロパン、1,4-ジアミノブタン、1,5-ジアミノペンタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,7-ジアミノヘプタン、1,8-ジアミノオクタン、1,9-ジアミノノナン、1,10-ジアミノデカン、1,11-ジアミノウンデカン、1,12-ジアミノドデカン等が含まれる。   Examples of alkylenediamines include ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, and 1,8-diaminooctane. 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane and the like are included.

脂環族ジアミン類の例には、シクロブタンジアミン、シクロヘキサンジアミン、ジ(アミノメチル)シクロヘキサン〔1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサンを除くビス(アミノメチル)シクロヘキサン〕、ジアミノビシクロヘプタン、ジアミノメチルビシクロヘプタン(ノルボルナンジアミンなどのノルボルナンジアミン類を含む)、ジアミノオキシビシクロヘプタン、ジアミノメチルオキシビシクロヘプタン(オキサノルボルナンジアミンを含む)、イソホロンジアミン、ジアミノトリシクロデカン、ジアミノメチルトリシクロデカン、ビス(アミノシクロへキシル)メタン〔またはメチレンビス(シクロヘキシルアミン)〕、ビス(アミノシクロヘキシル)イソプロピリデン等が含まれる。   Examples of alicyclic diamines include cyclobutanediamine, cyclohexanediamine, di (aminomethyl) cyclohexane [bis (aminomethyl) cyclohexane excluding 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane], diaminobicycloheptane, diaminomethylbicyclo Heptane (including norbornanediamines such as norbornanediamine), diaminooxybicycloheptane, diaminomethyloxybicycloheptane (including oxanorbornanediamine), isophoronediamine, diaminotricyclodecane, diaminomethyltricyclodecane, bis (aminocyclohexane) Xyl) methane [or methylenebis (cyclohexylamine)], bis (aminocyclohexyl) isopropylidene and the like.

3−1−3.好ましいポリイミド前駆体
ポリイミド前駆体含有溶液に含まれるポリイミド前駆体は、前述のテトラカルボン酸成分(A)と、前述のジアミン成分(B)とが反応してなるものであれば特に制限されないが、ポリイミド前駆体は、上記一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物と一般式(b−1)で表されるジアミンとのポリアミド酸ブロック(下記一般式(G)で表される)と、一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物及び、一般式(b−2)、(b−3)、または(b−4)のいずれかで表されるジアミンのポリイミドブロック(下記一般式(H)で表される)とが、結合したブロックポリアミド酸イミドが好ましい。

Figure 2014041816
一般式(G)及び(H)中、R及びRはそれぞれ独立に、炭素数4〜27の4価の基を示す。R及びRはそれぞれ独立に脂肪族基;単環式脂肪族基;縮合多環式脂肪族基;単環式芳香族基;もしくは縮合多環式芳香族基;環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基;芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基でありうる。具体的には、上述の一般式(a)で表されるテトラカルボン酸二無水物におけるRと同様である。3-1-3. Preferred polyimide precursor The polyimide precursor contained in the polyimide precursor-containing solution is not particularly limited as long as the tetracarboxylic acid component (A) and the diamine component (B) described above are reacted, The polyimide precursor is represented by a polyamic acid block (represented by the following general formula (G)) of a tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a) and a diamine represented by the general formula (b-1). ), A tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a), and a diamine polyimide represented by the general formula (b-2), (b-3), or (b-4) The block polyamic acid imide which the block (represented by the following general formula (H)) couple | bonded is preferable.
Figure 2014041816
In general formulas (G) and (H), R 6 and R 8 each independently represents a tetravalent group having 4 to 27 carbon atoms. R 6 and R 8 are each independently an aliphatic group; a monocyclic aliphatic group; a condensed polycyclic aliphatic group; a monocyclic aromatic group; or a condensed polycyclic aromatic group; A non-condensed polycyclic aliphatic group directly or linked to each other by a bridging member; a non-fused polycyclic aromatic group whose aromatic groups are linked to each other directly or by a bridging member. Specifically, it is the same as R 1 in the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (a).

また、一般式(H)において、Rは炭素数4〜51の2価の基を示す。Rは脂肪族基;単環式脂肪族基(但し、1,4−シクロヘキシレン基を除く);縮合多環式脂肪族基;単環式芳香族基もしくは縮合多環式芳香族基;環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基;芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基でありうる。具体的には、上記一般式(b−4)で表されるジアミンのR’と同様、もしくは下記一般式(X)または(Y)で表される基でありうる。

Figure 2014041816
In the general formula (H), R 7 represents a divalent group having 4 to 51 carbon atoms. R 7 represents an aliphatic group; a monocyclic aliphatic group (excluding a 1,4-cyclohexylene group); a condensed polycyclic aliphatic group; a monocyclic aromatic group or a condensed polycyclic aromatic group; A non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cycloaliphatic groups are linked to each other directly or via a bridging member; may be a non-fused polycyclic aromatic group in which the aromatic groups are linked to each other directly or by a bridging member . Specifically, it may be the same as R ′ of the diamine represented by the general formula (b-4) or a group represented by the following general formula (X) or (Y).
Figure 2014041816

一般式(H)におけるRは、ノルボルナン類(上記一般式(Y)で表される基)であることが特に好ましい。すなわち、一般式(H)で表されるポリイミドブロックは、上述の一般式(b−2)で表されるジアミンを含むポリイミドのブロックであることが好ましい。R 7 in the general formula (H) is particularly preferably a norbornane (a group represented by the above general formula (Y)). That is, the polyimide block represented by the general formula (H) is preferably a polyimide block containing a diamine represented by the general formula (b-2).

式(G)と式(H)におけるmとnは、各ブロックにおける繰返し構造単位の繰返し数を示す。mの平均値とnの平均値はそれぞれ独立して、2〜1000であることが好ましく、5〜500であることがさらに好ましい。   M and n in Formula (G) and Formula (H) indicate the number of repeating structural units in each block. The average value of m and the average value of n are each independently preferably 2 to 1000, and more preferably 5 to 500.

mとnの比率は、mの平均値:nの平均値=9:1〜1:9であることが好ましく、mの平均値:nの平均値=8:2〜2:8であることがより好ましい。式(G)で表される繰返し構造単位の繰返し数mの割合が一定以上であると、得られるポリイミドフィルムの熱膨張係数が小さくなる。また、繰返し数mの割合が一定以上であると、得られるポリイミドフィルムの可視光透過率が高まる。一方、シクロヘキサンジアミンは一般的に高価であるため、式(G)で表される繰返し構造単位の繰返し数mの割合を小さくすると、低コスト化が図られる。   The ratio of m and n is preferably an average value of m: an average value of n = 9: 1 to 1: 9, and an average value of m: an average value of n = 8: 2 to 2: 8. Is more preferable. When the ratio of the repeating number m of the repeating structural unit represented by the formula (G) is a certain value or more, the thermal expansion coefficient of the obtained polyimide film becomes small. Moreover, the visible light transmittance | permeability of the polyimide film obtained as the ratio of repetition number m is more than fixed is increased. On the other hand, since cyclohexanediamine is generally expensive, reducing the ratio of the number m of repeating structural units represented by the formula (G) can reduce the cost.

ポリイミド前駆体でありうるブロックポリアミド酸イミドに含まれる、式(G)で表される繰返し構造単位の総数と、式(H)で表される繰返し構造単位の総数との比は、(G):(H)=9:1〜1:9であることが好ましく、(G):(H)=8:2〜2:8であることがより好ましい。   The ratio of the total number of repeating structural units represented by the formula (G) and the total number of repeating structural units represented by the formula (H) contained in the block polyamic acid imide that can be a polyimide precursor is (G) : (H) = 9: 1 to 1: 9 is preferable, and (G) :( H) = 8: 2 to 2: 8 is more preferable.

3−2.溶剤
ポリイミド前駆体含有溶液に含まれる溶剤は、前述のテトラカルボン酸成分(A)及びジアミン成分(B)を溶解可能な溶剤であれば特に制限されない。例えば、非プロトン性極性溶剤または水溶性アルコール系溶剤等でありうる。
3-2. Solvent The solvent contained in the polyimide precursor-containing solution is not particularly limited as long as it is a solvent that can dissolve the tetracarboxylic acid component (A) and the diamine component (B). For example, it may be an aprotic polar solvent or a water-soluble alcohol solvent.

非プロトン性極性溶剤の例には、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルフォスフォラアミド、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン等;エーテル系化合物である、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、2-(メトキシメトキシ)エトキシエタノール、2-イソプロポキシエタノール、2-ブトキシエタノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコール、1-メトキシ-2-プロパノール、1-エトキシ-2-プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、テトラヒドロフラン、ジオキサン、1,2-ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどが含まれる。   Examples of aprotic polar solvents include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphoramide, 1,3-dimethyl-2-imidazo Lidinone, etc .; ether compounds such as 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 2- (methoxymethoxy) ethoxyethanol, 2-isopropoxyethanol, 2-butoxyethanol, tetrahydrofurfuryl alcohol, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether , Diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol, triethylene glycol monoethyl ether, tetraethylene glycol, 1-methoxy-2-propanol, 1-eth Xyl-2-propanol, dipropylene glycol, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, polyethylene glycol, polypropylene glycol, tetrahydrofuran, dioxane, 1,2-dimethoxyethane, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol Diethyl ether and the like are included.

水溶性アルコール系溶剤の例には、メタノール、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、tert-ブチルアルコール、エチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、1,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、2,3-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、2-ブテン-1,4-ジオール、2-メチル-2,4-ペンタンジオール、1,2,6-ヘキサントリオール、ジアセトンアルコールなどが含まれる。   Examples of water-soluble alcohol solvents include methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, tert-butyl alcohol, ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, and 1,3-butanediol. 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, 1,5-pentanediol, 2-butene-1,4-diol, 2-methyl-2,4-pentanediol, 1,2,6-hexane Triol, diacetone alcohol and the like are included.

ポリイミド前駆体含有溶液には、これらの溶剤が1種のみ含まれてもよく、また2種以上含まれてもよい。溶剤にはN,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、もしくはこれらの混合液が含まれることが好ましい。   The polyimide precursor-containing solution may contain only one kind of these solvents, or may contain two or more kinds. The solvent preferably contains N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, or a mixture thereof.

3−3.離型剤
ポリイミド前駆体含有溶液には離型剤が含まれていてもよい。ポリイミド前駆体含有溶液に含まれる離型剤は、支持基材と透明ポリイミド層との離型性を高められるものであれば特に制限されず、公知の内部離型剤でありうる。内部離型剤の例には、脂肪族アルコール、脂肪酸エステル、トリグリセリド類、フッ素系界面活性剤、高級脂肪酸金属塩、リン酸エステル系の離型剤が含まれる。得られる透明ポリイミド層の透明性を阻害し難いとの観点から、リン酸エステル系の離型剤であることが好ましい。リン酸エステル系の離型剤の例には、特開2000−256377号公報に記載の化合物が含まれる。
3-3. Release agent The release agent may be contained in the polyimide precursor containing solution. The release agent contained in the polyimide precursor-containing solution is not particularly limited as long as the release property between the support substrate and the transparent polyimide layer can be improved, and may be a known internal release agent. Examples of the internal release agent include aliphatic alcohols, fatty acid esters, triglycerides, fluorine surfactants, higher fatty acid metal salts, and phosphate ester release agents. From the viewpoint that the transparency of the transparent polyimide layer to be obtained is hardly hindered, it is preferably a phosphate ester release agent. Examples of the phosphoric ester release agent include compounds described in JP-A No. 2000-256377.

ポリイミド前駆体含有溶液に含まれる離型剤の量は、ポリイミド前駆体含有溶液に含まれるポリイミド前駆体100質量部に対して0.01〜0.38質量部であることが好ましく、より好ましくは0.02〜0.30質量部、さらに好ましくは0.04〜0.20質量部である。離型剤の量が0.01質量部未満であると、透明ポリイミド層を支持基材から剥離する際のピール強度が大きくなる。一方、離型剤の量が0.38質量部を超えると、ポリイミド前駆体含有溶液を支持基材上に塗布し難しくなる。   The amount of the release agent contained in the polyimide precursor-containing solution is preferably 0.01 to 0.38 parts by mass, more preferably 100 parts by mass of the polyimide precursor contained in the polyimide precursor-containing solution. It is 0.02-0.30 mass part, More preferably, it is 0.04-0.20 mass part. When the amount of the release agent is less than 0.01 parts by mass, the peel strength when the transparent polyimide layer is peeled off from the support substrate is increased. On the other hand, when the amount of the release agent exceeds 0.38 parts by mass, it becomes difficult to apply the polyimide precursor-containing solution on the support substrate.

3−4.その他の添加剤
前述のように、ポリイミド前駆体含有溶液には、得られる透明ポリイミド層の透明性及び耐熱性が損なわれない範囲で、各種添加剤が含まれてもよい。各種添加剤の例には、酸化防止剤、熱安定剤、帯電防止剤、難燃剤、紫外線吸収剤が含まれる。
3-4. Other Additives As described above, the polyimide precursor-containing solution may contain various additives as long as the transparency and heat resistance of the obtained transparent polyimide layer are not impaired. Examples of various additives include antioxidants, heat stabilizers, antistatic agents, flame retardants, and ultraviolet absorbers.

3−5.ポリイミド前駆体含有溶液の調製方法
ポリイミド前駆体含有溶液は、前述のテトラカルボン酸成分(A)と、前述のジアミン成分(B)とを、前述の溶剤中で反応させて得られる。溶剤中のジアミン成分(B)のモル数をx、テトラカルボン酸成分(A)のモル数をyとしたとき、y/xは0.9〜1.1であることが好ましく、0.95〜1.05であることがより好ましく、0.97〜1.03であることがさらに好ましく、0.99〜1.01であることが特に好ましい。テトラカルボン酸成分(A)と、ジアミン成分(B)とをこのような比率で重合することにより、ポリイミド前駆体の分子量(重合度)を適度に調整することができる。
3-5. Preparation Method of Polyimide Precursor-Containing Solution The polyimide precursor-containing solution is obtained by reacting the aforementioned tetracarboxylic acid component (A) and the aforementioned diamine component (B) in the aforementioned solvent. When the number of moles of the diamine component (B) in the solvent is x and the number of moles of the tetracarboxylic acid component (A) is y, y / x is preferably 0.9 to 1.1, 0.95 -1.05 is more preferable, 0.97-1.03 is further more preferable, and 0.99-1.01 is particularly preferable. By polymerizing the tetracarboxylic acid component (A) and the diamine component (B) at such a ratio, the molecular weight (polymerization degree) of the polyimide precursor can be appropriately adjusted.

重合反応の手順は特に制限されない。例えばまず、撹拌機及び窒素導入管を備える容器を用意する。窒素置換した容器内に後述の溶剤を投入し、得られるポリイミド前駆体の固形分濃度が50質量%以下となるようにジアミンを加えて、温度調整して攪拌及び溶解させる。この溶液に、ジアミン成分(B)に対して、モル比率が1となるようにテトラカルボン酸成分(A)を加え、温度を調整して1〜50時間程度攪拌することにより、ポリイミド前駆体を含有するポリイミド前駆体含有溶液を得ることができる。   The procedure for the polymerization reaction is not particularly limited. For example, first, a container equipped with a stirrer and a nitrogen introduction tube is prepared. A solvent described later is put into a nitrogen-substituted container, diamine is added so that the solid content concentration of the obtained polyimide precursor is 50% by mass or less, and the temperature is adjusted, followed by stirring and dissolution. To this solution, the tetracarboxylic acid component (A) is added so that the molar ratio is 1 with respect to the diamine component (B), the temperature is adjusted, and the polyimide precursor is stirred for about 1 to 50 hours. The polyimide precursor containing solution to contain can be obtained.

ポリイミド前駆体をブロックポリアミド酸イミドとする場合には、例えば、アミン末端のポリアミド酸溶液に、酸無水物末端のポリイミド溶液を加えて、攪拌することによりポリアミド酸イミドを生成させればよい。ポリアミド酸のジアミンユニットには、シクロヘキサン含有ジアミン(前述の一般式(b−1)または(b−3)で表されるジアミン)が含まれることが好ましく;ポリイミドのジアミンユニットには、シクロヘキサン含有ジアミン以外のジアミン(前述の一般式(b−2)または(b−4)で表されるジアミン)が含まれることが好ましい。構造中にシクロヘキサンが含まれるポリイミド((b−1)または(b−3)で表されるジアミン)は、溶剤に溶解しにくいことがあるからである。ポリアミド酸は、前述の方法で製造する。また、離型剤は、必要に応じて適宜添加する。   When the polyimide precursor is a block polyamic acid imide, for example, a polyamic acid imide may be generated by adding an acid anhydride-terminated polyimide solution to an amine-terminated polyamic acid solution and stirring. The polyamic acid diamine unit preferably contains a cyclohexane-containing diamine (the diamine represented by the general formula (b-1) or (b-3) described above); the polyimide diamine unit contains a cyclohexane-containing diamine. It is preferable that other diamines (diamines represented by the general formula (b-2) or (b-4) described above) are included. This is because polyimide having a structure containing cyclohexane (diamine represented by (b-1) or (b-3)) may be difficult to dissolve in a solvent. Polyamic acid is produced by the method described above. Moreover, a mold release agent is added suitably as needed.

4.透明ポリイミド層について
前述の方法によって得られる透明ポリイミド積層体における、透明ポリイミド層の全光線透過率は、80%以上であり、より好ましくは83%以上であり、さらに好ましくは85%以上である。全光線透過率が80%以上であれば、透明性が必要とされる用途に透明ポリイミド層を適用できる。透明ポリイミド層の全光線透過率は、ポリイミドの種類、前述の工程b)における雰囲気の酸素濃度や圧力等で調整される。特に工程b)の200℃を超える温度領域における雰囲気の酸素濃度を低くしたり、雰囲気の圧力を低くすることで、ポリイミドの酸化が抑制され、透明ポリイミド層の全光線透過率が高まる。全光線透過率は、支持基材から透明ポリイミド層を剥離し、透明ポリイミド層についてJIS−K7105に準じて、光源D65にて測定される。
4). Regarding the transparent polyimide layer The total light transmittance of the transparent polyimide layer in the transparent polyimide laminate obtained by the above-described method is 80% or more, more preferably 83% or more, and further preferably 85% or more. If the total light transmittance is 80% or more, the transparent polyimide layer can be applied to applications requiring transparency. The total light transmittance of the transparent polyimide layer is adjusted by the kind of polyimide, the oxygen concentration of the atmosphere in the above-described step b), the pressure, and the like. In particular, by reducing the oxygen concentration of the atmosphere in the temperature range exceeding 200 ° C. in step b) or lowering the pressure of the atmosphere, the oxidation of the polyimide is suppressed and the total light transmittance of the transparent polyimide layer is increased. The total light transmittance is measured with the light source D65 according to JIS-K7105 for the transparent polyimide layer after peeling the transparent polyimide layer from the support substrate.

また、透明ポリイミド積層体における透明ポリイミド層の面内位相差は、10nm以下であり、好ましくは5nm以下、さらに好ましくは3nm以下である。透明ポリイミド層の面内位相差が10nm以下であれば、透明ポリイミド層を、フレキシブルディスプレイ装置のパネル基板等に適用することができる。前述の工程b)終了後に部分的にイミド化が進行したり、溶剤が揮発したりすると、面内位相差が大きくなりやすい。したがって、面内位相差を小さくするためには、前述の工程b)終了時のイミド化率を十分に高め、工程b)終了時の残存溶剤量を十分に少なくしておくことが好ましい。面内位相差は、光弾性定数測定装置により25℃、波長550nmの光で測定される値である。具体的には、支持基材から透明ポリイミド層を剥離し、光弾性定数測定装置で透明ポリイミド層の屈折率を測定し、屈折率が最大となる方向をX軸、このX軸に垂直な方向をY軸とする。そして、X軸方向の屈折率をnx、Y軸方向の屈折率をny、透明ポリイミド層の厚みをdとしたときに、(nx−ny)×dで表される値を、面内位相差とする。   The in-plane retardation of the transparent polyimide layer in the transparent polyimide laminate is 10 nm or less, preferably 5 nm or less, more preferably 3 nm or less. If the in-plane retardation of the transparent polyimide layer is 10 nm or less, the transparent polyimide layer can be applied to a panel substrate of a flexible display device. If imidization partially proceeds after the completion of the above-mentioned step b) or if the solvent is volatilized, the in-plane retardation tends to increase. Therefore, in order to reduce the in-plane retardation, it is preferable to sufficiently increase the imidization ratio at the end of the above-mentioned step b) and to sufficiently reduce the amount of residual solvent at the end of step b). The in-plane retardation is a value measured with a photoelastic constant measuring device with light of 25 ° C. and wavelength of 550 nm. Specifically, the transparent polyimide layer is peeled from the support substrate, the refractive index of the transparent polyimide layer is measured with a photoelastic constant measuring device, the direction in which the refractive index is maximum is the X axis, and the direction perpendicular to the X axis Is the Y axis. When the refractive index in the X-axis direction is nx, the refractive index in the Y-axis direction is ny, and the thickness of the transparent polyimide layer is d, the value represented by (nx−ny) × d is the in-plane retardation. And

透明ポリイミド積層体における透明ポリイミド層のガラス転移温度(Tg)は260℃以上であり、好ましくは270℃以上であり、さらに好ましくは300℃以上である。透明ポリイミド層のガラス転移温度が260℃以上であると、透明ポリイミド層を高い耐熱性が要求される用途にも適用できる。例えば一般に電子素子を形成する際の工程温度は250℃であり、本発明で得られる上記透明ポリイミド層は、このような電子素子を含む装置のパネル基板等にも適用可能である。透明ポリイミド層のガラス転移温度は、例えばポリイミド中に含まれるイミド基の当量、ポリイミドを構成するジアミン成分またはテトラカルボン酸二無水物成分の構造等によって調整される。上記ガラス転移温度は、熱機械分析装置(TMA)にて測定される。   The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide layer in the transparent polyimide laminate is 260 ° C. or higher, preferably 270 ° C. or higher, more preferably 300 ° C. or higher. When the glass transition temperature of the transparent polyimide layer is 260 ° C. or higher, the transparent polyimide layer can be applied to applications requiring high heat resistance. For example, the process temperature for forming an electronic element is generally 250 ° C., and the transparent polyimide layer obtained by the present invention can be applied to a panel substrate of an apparatus including such an electronic element. The glass transition temperature of the transparent polyimide layer is adjusted by, for example, the equivalent of the imide group contained in the polyimide, the structure of the diamine component or tetracarboxylic dianhydride component constituting the polyimide, and the like. The glass transition temperature is measured with a thermomechanical analyzer (TMA).

透明ポリイミド積層体における、透明ポリイミド層のヘイズは5%以下であり、好ましくは3%以下であり、さらに好ましくは1%以下である。透明ポリイミド層のヘイズが5%以下であると、当該透明ポリイミド層を各種光学フィルムに適用できる。透明ポリイミド層のヘイズは、ポリイミド前駆体含有溶液の加熱条件やポリイミドの結晶性、支持基材の表面粗さ等で調整される。   The haze of the transparent polyimide layer in the transparent polyimide laminate is 5% or less, preferably 3% or less, and more preferably 1% or less. When the haze of the transparent polyimide layer is 5% or less, the transparent polyimide layer can be applied to various optical films. The haze of the transparent polyimide layer is adjusted by the heating conditions of the polyimide precursor-containing solution, the crystallinity of the polyimide, the surface roughness of the support substrate, and the like.

さらに、透明ポリイミド積層体における、透明ポリイミド層のL*a*b表色系で表されるb値の絶対値が5以下であり、好ましくは3以下である。一方、b値は正の値(0以上)であることが好ましい。L*a*b表色系は、JIS Z 8729で規格されている。b値が正の値であると、透明ポリイミド層が黄味を帯びることを示し、b値が負の値であると、透明ポリイミド層が青みを帯びることを示す。そして、一般的なポリイミドフィルムは、b値が大きく、黄色や茶褐色であることが多い。これに対し、本発明の透明ポリイミド積層体における透明ポリイミド層は、b値の絶対値が5以下であり、着色が少ない。したがって、当該ポリイミド層は、各種ディスプレイの基板等にも適用できる。   Further, in the transparent polyimide laminate, the absolute value of the b value represented by the L * a * b color system of the transparent polyimide layer is 5 or less, preferably 3 or less. On the other hand, the b value is preferably a positive value (0 or more). The L * a * b color system is standardized in JIS Z 8729. When the b value is a positive value, the transparent polyimide layer is yellowish, and when the b value is a negative value, the transparent polyimide layer is bluish. A general polyimide film has a large b value and is often yellow or brown. On the other hand, the transparent polyimide layer in the transparent polyimide laminate of the present invention has an absolute value of b value of 5 or less and is less colored. Therefore, the polyimide layer can be applied to various display substrates.

透明ポリイミド積層体における透明ポリイミド層の厚みは特に制限されないが、5〜100μmであることが好ましく、より好ましくは10〜50μmである。このような厚みの透明ポリイミド層とすると、各種フレキシブルデバイス用の基板等として利用可能である。   The thickness of the transparent polyimide layer in the transparent polyimide laminate is not particularly limited, but is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 50 μm. When the transparent polyimide layer has such a thickness, it can be used as a substrate for various flexible devices.

ここで、本発明は、ガラス転移温度が260℃以上、全光線透過率が80%以上、ヘイズが5%以下、L*a*b表色系におけるb値の絶対値が5以下、かつ面内位相差が10nm以下であるポリイミドフィルムも提供する。当該ポリイミドフィルムは上述の透明ポリイミド積層体の製造方法で得られる透明ポリイミド層からなることが好ましい。さらに、当該ポリイミドフィルムの物性は、上述のポリイミド層と同様の範囲であることが好ましい。   Here, the present invention has a glass transition temperature of 260 ° C. or higher, a total light transmittance of 80% or higher, a haze of 5% or lower, an absolute value of b value in the L * a * b color system of 5 or lower, and a surface. A polyimide film having an internal retardation of 10 nm or less is also provided. It is preferable that the said polyimide film consists of a transparent polyimide layer obtained with the manufacturing method of the above-mentioned transparent polyimide laminated body. Furthermore, it is preferable that the physical property of the said polyimide film is the same range as the above-mentioned polyimide layer.

B.透明ポリイミド積層体の用途について
前述の透明ポリイミド積層体の透明ポリイミド層を、支持基材から剥離して得られる透明ポリイミドフィルムは、種々のフレキシブルデバイスの基板や光学フィルムに適用可能である。また、透明ポリイミドフィルムは全光線透過率が高く、かつ面内位相差が非常に小さいため、特にフレキシブルディスプレイの基板に好適である。フレキシブルディスプレイの例には、タッチパネル、液晶表示ディスプレイ、有機ELディスプレイ等が含まれる。
B. About the use of a transparent polyimide laminated body The transparent polyimide film obtained by peeling the transparent polyimide layer of the above-mentioned transparent polyimide laminated body from a support base material is applicable to the board | substrate and optical film of various flexible devices. Moreover, since the transparent polyimide film has a high total light transmittance and a very small in-plane retardation, it is particularly suitable for a flexible display substrate. Examples of the flexible display include a touch panel, a liquid crystal display, and an organic EL display.

タッチパネルは、、一般的に、(i)透明電極(検出電極層)を有する透明基板、(ii)接着層、及び(iii)透明電極(駆動電極層)を有する透明基板からなるパネル体である。前述の透明ポリイミドフィルムは、検出電極層側の透明基板、及び駆動電極層側の透明基板のいずれにも適用できる。   A touch panel is generally a panel body composed of (i) a transparent substrate having a transparent electrode (detection electrode layer), (ii) an adhesive layer, and (iii) a transparent substrate having a transparent electrode (drive electrode layer). . The above-mentioned transparent polyimide film can be applied to both the transparent substrate on the detection electrode layer side and the transparent substrate on the drive electrode layer side.

また、液晶表示ディスプレイ装置の液晶セルは、通常、(i)第一の透明板、(ii)透明電極に挟まれた液晶材料、及び(iii)第二の透明板がこの順に積層された積層構造を有するパネル体である。前述の透明ポリイミドフィルムは、上記第一の透明板、及び第二の透明板のいずれにも適用可能である。また、前述の透明ポリイミドフィルムは、液晶ディスプレイ装置におけるカラーフィルタ用の基板にも、適用可能である。   In addition, the liquid crystal cell of the liquid crystal display device is usually a laminate in which (i) a first transparent plate, (ii) a liquid crystal material sandwiched between transparent electrodes, and (iii) a second transparent plate are laminated in this order. A panel body having a structure. The aforementioned transparent polyimide film can be applied to both the first transparent plate and the second transparent plate. The transparent polyimide film described above can also be applied to a substrate for a color filter in a liquid crystal display device.

有機ELパネルは、通常、透明基板、アノード透明電極層、有機EL層、カソード反射電極層、対向基板がこの順に積層されたパネルである。前述の透明ポリイミドフィルムは、上記透明基板、及び対向基板のいずれにも適用できる。   The organic EL panel is usually a panel in which a transparent substrate, an anode transparent electrode layer, an organic EL layer, a cathode reflective electrode layer, and a counter substrate are laminated in this order. The transparent polyimide film described above can be applied to both the transparent substrate and the counter substrate.

前述の透明ポリイミド積層体の透明ポリイミド層(透明ポリイミドフィルム)は、支持基材から容易に剥離される。したがって、フレキシブルディスプレイを得る際に、透明ポリイミド層を剥離してから、透明ポリイミド層上に素子を形成してもよく、透明ポリイミド層上に素子を形成してから、透明ポリイミド層を支持基材から剥離してもよい。   The transparent polyimide layer (transparent polyimide film) of the above-mentioned transparent polyimide laminate is easily peeled from the support substrate. Therefore, when obtaining a flexible display, the transparent polyimide layer may be peeled off, and then an element may be formed on the transparent polyimide layer. After forming the element on the transparent polyimide layer, the transparent polyimide layer is supported on the support substrate. You may peel from.

透明ポリイミド層を支持基材から剥離する際には、剥離帯電により透明ポリイミド層に異物が吸着したり、素子にダメージが生じる可能性がある。したがって、透明ポリイミド積層体の帯電を防止する措置を行うことが好ましい。具体的には、(a)ポリイミド前駆体含有溶液に帯電防止剤を添加する、(b)支持基材に帯電防止剤をコーティングする、(c)ポリイミド前駆体含有溶液の塗布装置や透明ポリイミド層の剥離装置に静電気除去部材(例えば除電バー、除電糸、イオン送風型静電気除去装置等)を設置することが好ましい。これらの対策は1種のみ行ってもよく、複数の対策を行ってもよい。   When the transparent polyimide layer is peeled off from the supporting substrate, there is a possibility that foreign matters are adsorbed on the transparent polyimide layer due to peeling charging, or the element may be damaged. Therefore, it is preferable to take measures to prevent charging of the transparent polyimide laminate. Specifically, (a) an antistatic agent is added to a polyimide precursor-containing solution, (b) an antistatic agent is coated on a support substrate, (c) a polyimide precursor-containing solution coating apparatus or a transparent polyimide layer It is preferable to install a static eliminating member (for example, a neutralizing bar, a neutralizing yarn, an ion blowing static eliminating device, etc.) on the peeling device. Only one type of these measures may be taken, or a plurality of measures may be taken.

透明ポリイミド層上に素子を形成する方法には、以下の3つの方法が含まれる。なお、いずれの方法においても、素子の形成方法は特に制限されず、公知の方法でありうる。   The following three methods are included in the method of forming an element on the transparent polyimide layer. In any method, a method for forming an element is not particularly limited, and may be a known method.

(i)第1の方法
第1の方法は、図2の概略断面図に示されるように、透明ポリイミド積層体12における支持基材11から、透明ポリイミドフィルム(透明ポリイミド層)1’を剥離してから(図2(a))、透明ポリイミドフィルム1’上に素子13を形成する方法である(図2(b))。第1の方法では、剥離した透明ポリイミドフィルム1’を他の基板(図示せず)に貼り合わせてから、透明ポリイミドフィルム1’上に素子13を形成することもできる。
(I) 1st method The 1st method peels transparent polyimide film (transparent polyimide layer) 1 'from the support base material 11 in the transparent polyimide laminated body 12, as shown by the schematic sectional drawing of FIG. After that (FIG. 2A), the element 13 is formed on the transparent polyimide film 1 ′ (FIG. 2B). In the first method, the element 13 can be formed on the transparent polyimide film 1 ′ after the peeled transparent polyimide film 1 ′ is bonded to another substrate (not shown).

(ii)第2の方法
第2の方法は、図3の概略断面図に示されるように、支持基材11と積層された透明ポリイミド層1’上に素子13を形成した後(図3(a))、支持基材11から透明ポリイミドフィルム(透明ポリイミド層)1’を剥離して(図3(b))、素子13が形成された透明ポリイミドフィルム1’を得る方法である(図3(c))。第2の方法では、素子13の形成時に透明ポリイミド層1’にかかる応力が支持基材11に吸収されやすい。したがって、素子13の形成時に透明ポリイミド層1’が裂けたり割れたりし難い。
(Ii) Second Method As shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 3, the second method is to form the element 13 on the transparent polyimide layer 1 ′ laminated with the support base 11 (FIG. 3 ( a)), a transparent polyimide film (transparent polyimide layer) 1 ′ is peeled from the support substrate 11 (FIG. 3B), and a transparent polyimide film 1 ′ having an element 13 formed thereon is obtained (FIG. 3). (C)). In the second method, the stress applied to the transparent polyimide layer 1 ′ when the element 13 is formed is easily absorbed by the support base material 11. Therefore, it is difficult for the transparent polyimide layer 1 ′ to tear or break when the element 13 is formed.

(iii)第3の方法
第3の方法は、図4の概略断面図に示されるように、透明ポリイミド積層体12における支持基材11側を他の基板14に貼り合わせてから(図4(a))、透明ポリイミド層1’上に各種素子13を形成し(図4(b))、支持基材11から透明ポリイミドフィルム(透明ポリイミド層)1’を剥離して(図4(c))、素子13が形成されたポリイミドフィルム1’を得る方法である(図4(d))。第3の方法では、他の基板14を透明ポリイミド積層体12と貼り合わせるため、素子13の作製時に透明ポリイミド積層体12が撓まない。したがって、種々の方法で透明ポリイミド層1’上に素子13を形成できる。また、第3の方法でも、素子13の形成時に透明ポリイミド層1’にかかる応力が支持基材11に吸収されやすい。したがって、素子13の形成時に透明ポリイミド層1’が裂けたり割れたりし難い。
(Iii) Third Method As shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 4, the third method is performed after the supporting base material 11 side of the transparent polyimide laminate 12 is bonded to another substrate 14 (FIG. 4 ( a)), various elements 13 are formed on the transparent polyimide layer 1 ′ (FIG. 4B), and the transparent polyimide film (transparent polyimide layer) 1 ′ is peeled from the support substrate 11 (FIG. 4C). ), And a method of obtaining a polyimide film 1 ′ on which the element 13 is formed (FIG. 4D). In the third method, since the other substrate 14 is bonded to the transparent polyimide laminate 12, the transparent polyimide laminate 12 does not bend when the element 13 is manufactured. Therefore, the element 13 can be formed on the transparent polyimide layer 1 ′ by various methods. Also in the third method, the stress applied to the transparent polyimide layer 1 ′ during the formation of the element 13 is easily absorbed by the support base material 11. Therefore, it is difficult for the transparent polyimide layer 1 ′ to tear or break when the element 13 is formed.

透明ポリイミド積層体12と貼り合わせる他の基板14は、剛性を有する基板であれば特に制限されず、ガラス基板や、金属製基板、セラミック製基板、樹脂製基板等でありうる。透明ポリイミド積層体12の支持基材11と他の基板14との接着方法は特に制限されず、例えば接着剤等で貼り合わせる方法等でありうる。   The other substrate 14 to be bonded to the transparent polyimide laminate 12 is not particularly limited as long as it is a rigid substrate, and may be a glass substrate, a metal substrate, a ceramic substrate, a resin substrate, or the like. The bonding method between the support base 11 of the transparent polyimide laminate 12 and the other substrate 14 is not particularly limited, and may be a method of bonding with an adhesive or the like, for example.

5.その他
前述のポリイミド積層体の製造方法は、支持基材と各種樹脂層とを有する樹脂積層体の製造方法にも適用可能である。具体的には、(a)各種樹脂を含むワニスを支持基材上に塗布する工程と、(b)当該ワニスの塗布膜を加熱硬化させる工程とを有する、樹脂積層体の製造方法とすることができる。当該樹脂積層体の製造方法によれば、支持基材から容易に剥離可能な樹脂フィルムが得られる。各種樹脂の例には、前述した以外のポリイミド樹脂(ポリイミド前駆体)、アラミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、及びポリエーテルスルホン樹脂等が含まれる。
5. Others The method for producing a polyimide laminate described above can also be applied to a method for producing a resin laminate having a support base and various resin layers. Specifically, it is set as the manufacturing method of a resin laminated body which has the process of (a) apply | coating the varnish containing various resin on a support base material, and (b) heat-hardening the coating film of the said varnish. Can do. According to the method for producing the resin laminate, a resin film that can be easily peeled off from the support substrate is obtained. Examples of various resins include polyimide resins (polyimide precursors) other than those described above, aramid resins, polyether ether ketone resins, and polyether sulfone resins.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。しかしながら、本発明の範囲はこれによって何ら制限を受けない。実施例及び比較例では、ピール強度、イミド化率、溶剤の残存量、ガラス転移温度、全光線透過率、ヘイズ値、L*a*b表色系におけるb値、面内位相差、及び支持基材の十点平均粗さを以下の方法で測定した。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited by this. In Examples and Comparative Examples, peel strength, imidization ratio, residual amount of solvent, glass transition temperature, total light transmittance, haze value, b value in L * a * b color system, in-plane retardation, and support The ten-point average roughness of the substrate was measured by the following method.

1)ピール強度
実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド積層体を、長さ50mm、幅3.5mmに切出した。この透明ポリイミド積層体を、JIS C−6471に規定される方法に従ってピール強度を測定した。具体的には、透明ポリイミド積層体の短辺の端を把持し、支持基材から剥離角度90°、剥離速度50mm/分で剥離し、剥離時の応力を測定した。応力は、島津製作所製 引張試験機EZ−S、粘着テープ引きはがし試験装置で測定した。
1) Peel strength The transparent polyimide laminates produced in the examples and comparative examples were cut into a length of 50 mm and a width of 3.5 mm. The peel strength of this transparent polyimide laminate was measured according to the method specified in JIS C-6471. Specifically, the edge of the short side of the transparent polyimide laminate was gripped, peeled from the support substrate at a peeling angle of 90 °, and a peeling speed of 50 mm / min, and the stress at the time of peeling was measured. The stress was measured with a tensile tester EZ-S manufactured by Shimadzu Corporation and an adhesive tape peeling tester.

2)イミド化率
実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド積層体から透明ポリイミド層を剥離し、当該透明ポリイミド層のイミド化率を、以下のように算出した。なお、IR吸収スペクトルの測定は、FT-IR分光器(FT/IR 300E、日本分光社製)に、多重反射型赤外スペクトル測定装置(ATR PR0410-M 日本分光社製)を取り付けて行った。
2) Imidization rate The transparent polyimide layer was peeled off from the transparent polyimide laminates prepared in Examples and Comparative Examples, and the imidization rate of the transparent polyimide layer was calculated as follows. The IR absorption spectrum was measured by attaching a multiple reflection infrared spectrum measuring device (ATR PR0410-M manufactured by JASCO Corporation) to an FT-IR spectrometer (FT / IR 300E manufactured by JASCO Corporation). .

実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド層について、それぞれIR吸収スペクトルを測定した。そして、それぞれのフィルムについて、1500cm−1の吸収ピーク高さ(ベンゼン環のC=C伸縮振動によるピーク(基準))に対する、1370cm−1の吸収ピーク高さ(イミド環のC−N伸縮振動)の比率Aを算出した。一方、各実施例及び比較例と同様に透明ポリイミド層を作製し、これを270℃で2時間以上加熱して、完全にイミド化させた。これらのフィルムについて、それぞれ、IR吸収スペクトルを測定し、上記と同様に1500cm−1の吸収ピーク高さ(ベンゼン環のC=C伸縮振動によるピーク(基準))に対する、1370cm−1の吸収ピーク高さ(イミド環のC−N伸縮振動)の比率Bを算出した。
そして、対応するフィルムの比率Bに対する比率Aの値(比率A/比率B)×100(%)を求め、これをイミド化率とした。
About the transparent polyimide layer produced by the Example and the comparative example, IR absorption spectrum was measured, respectively. For each film, the absorption peak height of 1370 cm −1 (CN stretching vibration of imide ring) with respect to the absorption peak height of 1500 cm −1 (peak (reference) due to C = C stretching vibration of benzene ring). The ratio A was calculated. On the other hand, a transparent polyimide layer was prepared in the same manner as in each Example and Comparative Example, and this was heated at 270 ° C. for 2 hours or longer to completely imidize. About these films, IR absorption spectrum was measured, respectively, and the absorption peak height of 1370 cm −1 with respect to the absorption peak height of 1500 cm −1 (peak (reference) due to C = C stretching vibration of the benzene ring) in the same manner as described above. The ratio B (CN stretching vibration of imide ring) was calculated.
And the value of the ratio A (ratio A / ratio B) x 100 (%) with respect to the ratio B of the corresponding film was determined, and this was defined as the imidization rate.

3)溶剤残存量
実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド積層体から透明ポリイミド層を剥離し、当該透明ポリイミド層の溶剤残存量を測定した。測定は、電気炉型熱分解炉(島津製作所製PYR−2A(熱分解温度 320℃))と、ガスクロマト質量分析装置(島津製作所製GC−8A(カラムUniport HP 80/100 KG−02))とを接続し、フィルム中に含まれる溶剤量を特定した。このとき、装置のインジェクタ及びディテクタ温度は200℃、カラム温度は170℃とした。
3) Residual amount of solvent The transparent polyimide layer was peeled from the transparent polyimide laminates produced in Examples and Comparative Examples, and the residual amount of solvent in the transparent polyimide layer was measured. The measurement is performed using an electric furnace type pyrolysis furnace (Shimadzu PYR-2A (pyrolysis temperature 320 ° C.)) and a gas chromatograph mass spectrometer (Shimadzu GC-8A (column Uniport HP 80/100 KG-02)). And the amount of solvent contained in the film was specified. At this time, the injector and detector temperatures of the apparatus were 200 ° C., and the column temperature was 170 ° C.

4)全光線透過率
実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド積層体から透明ポリイミド層を剥離し、当該透明ポリイミド層の全光線透過率を測定した。具体的には、JIS−K−7105に準じて、日本電色工業製ヘーズメーターNDH2000にて、光源D65で測定した。
4) Total light transmittance The transparent polyimide layer was peeled from the transparent polyimide laminates prepared in Examples and Comparative Examples, and the total light transmittance of the transparent polyimide layer was measured. Specifically, according to JIS-K-7105, it measured with the light source D65 in Nippon Denshoku Industries haze meter NDH2000.

5)ヘイズ
実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド積層体から透明ポリイミド層を剥離し、当該透明ポリイミド層のヘイズを測定した。具体的には、JIS−K−7105に準じて、日本電色工業製ヘーズメーターNDH2000にて、光源D65で測定した。
5) Haze The transparent polyimide layer was peeled from the transparent polyimide laminates produced in Examples and Comparative Examples, and the haze of the transparent polyimide layer was measured. Specifically, according to JIS-K-7105, it measured with the light source D65 in Nippon Denshoku Industries haze meter NDH2000.

6)b値
実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド積層体から透明ポリイミド層を剥離し、透明ポリイミド層のb値を測定した。測定には、色彩色差計(測定ヘッド:CM−2500d コニカミノルタ社製)を使用し、C光源・2°、視野・SCIモードにて、校正白色板上で透明ポリイミド層のb値を3回計測した。b値は、3回の計測値の平均値とした。
6) b value The transparent polyimide layer was peeled from the transparent polyimide laminates produced in the examples and comparative examples, and the b value of the transparent polyimide layer was measured. For the measurement, a color difference meter (measuring head: CM-2500d, manufactured by Konica Minolta Co., Ltd.) was used, and the b value of the transparent polyimide layer was measured three times on a calibration white plate with a C light source, 2 °, field of view, and SCI mode. Measured. The b value was an average value of three measurement values.

7)面内位相差R0
実施例及び比較例で作製した透明ポリイミド積層体から透明ポリイミド層を剥離した。当該透明ポリイミド層の面内位相差を、Uniopt社製光弾性定数測定装置PEL−3A−102CのX,Yモードで測定した。測定温度は25℃、測定波長は550nmとした。具体的には、光弾性定数測定装置でポリイミドフィルムの屈折率を測定し、屈折率が最大となる方向をX軸、このX軸に垂直な方向をY軸とし、X軸方向の屈折率nxと、Y軸方向の屈折率nyとを導き出した。そして、フィルムの厚みをdとしたときに、(nx−ny)×dで表される値を、面内位相差とした。
7) In-plane retardation R0
The transparent polyimide layer was peeled from the transparent polyimide laminate produced in the examples and comparative examples. The in-plane retardation of the transparent polyimide layer was measured by X, Y mode of a photoelastic constant measuring device PEL-3A-102C manufactured by Uniopt. The measurement temperature was 25 ° C., and the measurement wavelength was 550 nm. Specifically, the refractive index of the polyimide film is measured with a photoelastic constant measuring device, the direction in which the refractive index is maximum is the X axis, the direction perpendicular to the X axis is the Y axis, and the refractive index nx in the X axis direction. And a refractive index ny in the Y-axis direction. And when the thickness of the film was set to d, the value represented by (nx-ny) * d was made into the in-plane phase difference.

8)支持基材の十点平均粗さ
実施例及び比較例で使用した支持基材の十点平均粗さを、JIS B0601に準拠して測定した。このとき、カットオフ値0.25mm、測定長さ2.5mmとして、支持基材の幅方向の十点平均粗さを、表面粗さ・輪郭形状測定機(サーフコム1400D 東京精密製)で測定した。
8) Ten-point average roughness of supporting substrate The ten-point average roughness of the supporting substrates used in Examples and Comparative Examples was measured according to JIS B0601. At this time, with a cut-off value of 0.25 mm and a measurement length of 2.5 mm, the ten-point average roughness in the width direction of the support substrate was measured with a surface roughness / contour shape measuring machine (Surfcom 1400D manufactured by Tokyo Seimitsu). .

実施例および比較例で用いた化合物の略称は、以下の通りである。
[ジアミン成分]
14BAC:1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン
NBDA:ノルボルナンジアミン
ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
CHDA:トランス−1,4−シクロヘキサンジアミン
[テトラカルボン酸成分]
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
[溶剤]
DMAc:N,N-ジメチルアセトアミド
NMP:N−メチル−2−ピロリドン
Abbreviations of compounds used in Examples and Comparative Examples are as follows.
[Diamine component]
14BAC: 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane NBDA: norbornanediamine ODA: 4,4′-diaminodiphenyl ether CHDA: trans-1,4-cyclohexanediamine [tetracarboxylic acid component]
PMDA: pyromellitic dianhydride BPDA: 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride [solvent]
DMAc: N, N-dimethylacetamide NMP: N-methyl-2-pyrrolidone

(合成例1)
温度計、攪拌機、及び窒素導入管を備えた300mLの5つ口セパラブルフラスコに、14BAC 469.4g(3.3モル)と、DMAc 5761gとを加えて撹拌した。この混合液に、粉体状のBPDA 970.9g(3.3モル)を添加した。BPDAの添加後、120℃に保持したオイルバスに反応容器を5分間浴した。BPDAの添加から約3分後に、塩が析出したが、その後、速やかに溶解した。この混合液を室温でさらに18時間攪拌して、ポリイミド前駆体含有溶液を得た。
(Synthesis Example 1)
To a 300 mL five-necked separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a nitrogen inlet tube, 149.4 g (3.3 mol) of 14BAC and 5761 g of DMAc were added and stirred. To this mixed solution, 970.9 g (3.3 mol) of powdery BPDA was added. After the addition of BPDA, the reaction vessel was bathed in an oil bath maintained at 120 ° C. for 5 minutes. About 3 minutes after the addition of BPDA, the salt precipitated, but then dissolved rapidly. This mixed solution was further stirred at room temperature for 18 hours to obtain a polyimide precursor-containing solution.

(合成例2)
温度計、攪拌機、及び窒素導入管及び滴下ロートを備えた300mLの5つ口セパラブルフラスコに、PMDA 39.7g(0.180モル)と、DMAc 130gとを加えて攪拌し、PMDAのスラリーを得た。一方、NBDA 27.8g(0.180モル)とDMAc 27.8gとの混合溶液を準備した。この混合溶液を、前記スラリー中に、温度を一定に保持しながら120分間かけて滴下した。その後、混合液を50℃で5時間攪拌し、ポリイミド前駆体含有溶液を得た。
(Synthesis Example 2)
PMDA 39.7 g (0.180 mol) and DMAc 130 g were added to a 300 mL 5-neck separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, a nitrogen inlet tube and a dropping funnel, and the PMDA slurry was stirred. Obtained. On the other hand, a mixed solution of 27.8 g (0.180 mol) of NBDA and 27.8 g of DMAc was prepared. This mixed solution was dropped into the slurry over 120 minutes while keeping the temperature constant. Thereafter, the mixed solution was stirred at 50 ° C. for 5 hours to obtain a polyimide precursor-containing solution.

(合成例3)
温度計、攪拌機、窒素導入管を備えた300mLの5つ口セパラブルフラスコに、14BAC 14.1g(0.099モル)、NBDA 1.7g(0.011モル)と、DMAc 189gとを加えて撹拌した。この混合液に、粉体状のBPDA 29.1g(0.099モル)、PMDA 2.4g(0.011モル)を添加した。BPDA、PMDAの添加後、120℃に保持したオイルバスに反応容器を5分間浴した。BPDA、PMDAの添加から約3分後に、塩が析出したが、その後、速やかに溶解した。この混合液を室温でさらに18時間攪拌して、ポリイミド前駆体含有溶液を得た。
(Synthesis Example 3)
To a 300 mL five-necked separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a nitrogen inlet tube were added 14.1 g (0.099 mol) of 14BAC, 1.7 g (0.011 mol) of NBDA, and 189 g of DMAc. Stir. To this mixed solution, 29.1 g (0.099 mol) of powdery BPDA and 2.4 g (0.011 mol) of PMDA were added. After the addition of BPDA and PMDA, the reaction vessel was bathed in an oil bath maintained at 120 ° C. for 5 minutes. About 3 minutes after the addition of BPDA and PMDA, a salt precipitated, but then it quickly dissolved. This mixed solution was further stirred at room temperature for 18 hours to obtain a polyimide precursor-containing solution.

(合成例4)
温度計、攪拌機、及び窒素導入管を備えた300mLの5つ口セパラブルフラスコに、ODA 10.0g(0.050モル)と、DMAc 119gとを加えて攪拌した。この混合液に、粉体状のPMDA 10.9g(0.050モル)を、温度を一定に保持しながら添加した。その後、混合液を50℃で5時間攪拌し、ポリイミド前駆体含有溶液を得た。
(Synthesis Example 4)
In a 300 mL five-necked separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a nitrogen inlet tube, 10.0 g (0.050 mol) of ODA and 119 g of DMAc were added and stirred. To this mixed solution, 10.9 g (0.050 mol) of powdery PMDA was added while keeping the temperature constant. Thereafter, the mixed solution was stirred at 50 ° C. for 5 hours to obtain a polyimide precursor-containing solution.

(合成例5)
・アミド酸オリゴマー溶液の合成
温度計、攪拌機、窒素導入管を備えた300mLの5つ口セパラブルフラスコに、CHDA 11.4g(0.100モル)と、溶媒のNMP 116gとを加え、溶液が透明になるまで攪拌した。当該溶液に、BPDA 27.1g(0.092モル)を粉状のまま装入し、反応容器を120℃に保持したオイルバス中に5分間浴した。BPDA装入後しばらくして塩が析出した。その後、塩は溶解し、均一系となって溶液の粘度が増大した。オイルバスを外してから、更に18時間室温で攪拌し、末端にCHDA由来のアミノ基を有するアミド酸オリゴマー溶液を得た。
(Synthesis Example 5)
Synthesis of amic acid oligomer solution To a 300 mL five-necked separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a nitrogen inlet tube, 11.4 g (0.100 mol) of CHDA and 116 g of NMP as a solvent were added. Stir until clear. To this solution, 27.1 g (0.092 mol) of BPDA was charged in powder form, and the reaction vessel was bathed in an oil bath maintained at 120 ° C. for 5 minutes. Some time after the BPDA was charged, salt precipitated. Thereafter, the salt dissolved and became homogeneous and the viscosity of the solution increased. After removing the oil bath, the mixture was further stirred at room temperature for 18 hours to obtain an amic acid oligomer solution having an amino group derived from CHDA at the terminal.

・イミドオリゴマー溶液の合成
温度計、攪拌機、窒素導入管を備えた300mLの5つ口セパラブルフラスコに、NBDA 11.1g(0.072モル)と、NMP 94.5gとを加え、溶液が透明になるまでて攪拌した。当該溶液に、BPDA 29.4g(0.100モル)を粉状のまま装入し、反応容器を120℃に保持したオイルバス中に5分間浴した。BPDA装入後、一時的に塩が析出した。その後、粘度増大を伴いながら再溶解し均一透明溶液となることを確認した。
当該セパラブルフラスコに冷却管とディーンスターク型濃縮器を取付けて、キシレン 80.0gを反応溶液に追加し、攪拌しながら180℃で4時間、脱水熱イミド化反応させた。当該反応後、キシレンを留去し、末端にBPDA由来の酸無水物構造を有するイミドオリゴマー溶液を得た。
・ Synthesis of imide oligomer solution To a 300 mL 5-neck separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a nitrogen inlet tube, 11.1 g (0.072 mol) of NBDA and 94.5 g of NMP were added, and the solution was transparent. Stir until. To the solution, 29.4 g (0.100 mol) of BPDA was charged in a powder form, and the reaction vessel was bathed in an oil bath maintained at 120 ° C. for 5 minutes. After the BPDA was charged, salt temporarily precipitated. Thereafter, it was confirmed that the solution was re-dissolved with increasing viscosity and became a uniform transparent solution.
A cooling tube and a Dean-Stark type concentrator were attached to the separable flask, 80.0 g of xylene was added to the reaction solution, and dehydration thermal imidization reaction was performed at 180 ° C. for 4 hours while stirring. After the reaction, xylene was distilled off to obtain an imide oligomer solution having an acid anhydride structure derived from BPDA at the end.

・ブロックポリアミド酸イミド溶液の合成
前述のアミド酸オリゴマー溶液 40.0gと、前述のイミドオリゴマー溶液 9.99gとを混合し、高粘度材料撹拌脱泡ミキサ(株式会社ジャパンユニックス社製、製品名:UM−118)にて10分間攪拌し、ブロックポリアミド酸イミド溶液を得た。
-Synthesis | combination of block polyamic-acid imide solution The above-mentioned amic acid oligomer solution 40.0g and the above-mentioned imide oligomer solution 9.99g are mixed, and a high-viscosity material stirring defoaming mixer (The product made by Japan Unix Co., Ltd., product name: UM-118) was stirred for 10 minutes to obtain a block polyamic acid imide solution.

(実施例1)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した宇部興産製のポリイミドフィルム(UPILEX50S(50μm))上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から270℃まで120分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに270℃で2時間保持し、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。得られた透明ポリイミド層の厚みは30μmであった。
ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.039kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は260℃、全光線透過率は87%、面内位相差(R0)は0.8nm、イミド化率は98%であり、溶剤残存量は0.2質量%であった。
Example 1
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was applied with a doctor blade onto a Ube Industries polyimide film (UPILEX 50S (50 μm)) fixed to a glass substrate with Kapton tape. And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven is controlled to 0.0%, the temperature is increased from 30 ° C. to 270 ° C. over 120 minutes (temperature increase rate: 2 ° C./min), and further maintained at 270 ° C. for 2 hours. A transparent polyimide laminate was produced on the substrate. The thickness of the obtained transparent polyimide layer was 30 μm.
The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.039 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 260 ° C., the total light transmittance is 87%, the in-plane retardation (R0) is 0.8 nm, the imidization rate is 98%, and the residual solvent amount is It was 0.2% by mass.

(実施例2)
イナートオーブン内の酸素濃度を5.0%に変更した以外は実施例1と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.039kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は261℃、全光線透過率は87%、面内位相差(R0)は0.8nm、イミド化率は98%であり、溶剤残存量は0.2質量%であった。
(Example 2)
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 1 except that the oxygen concentration in the inert oven was changed to 5.0%. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.039 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 261 ° C., the total light transmittance is 87%, the in-plane retardation (R0) is 0.8 nm, the imidization rate is 98%, and the residual solvent amount is It was 0.2% by mass.

(実施例3)
昇温速度を10℃/分に変更した以外は実施例1と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.032kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は260℃、全光線透過率は87%、面内位相差(R0)は0.7nm、イミド化率は95%であり、溶剤残存量は0.5質量%であった。
(Example 3)
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 1 except that the heating rate was changed to 10 ° C./min. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.032 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 260 ° C., the total light transmittance is 87%, the in-plane retardation (R0) is 0.7 nm, the imidization rate is 95%, and the residual solvent amount is It was 0.5 mass%.

(実施例4)
イナートオーブンの最高到達温度を280℃に変更し、昇温速度を2℃/分とした以外は実施例3と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.040kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は261℃、全光線透過率は86%、面内位相差(R0)は0.7nm、イミド化率は100%であり、残存溶剤は検出されなかった。
Example 4
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 3 except that the maximum temperature of the inert oven was changed to 280 ° C. and the rate of temperature increase was 2 ° C./min. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.040 kN / m.
The transparent polyimide film after peeling has a glass transition temperature (Tg) of 261 ° C., a total light transmittance of 86%, an in-plane retardation (R0) of 0.7 nm, an imidization rate of 100%, and a residual solvent detected. Was not.

(実施例5)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した宇部興産製のポリイミドフィルム(UPILEX50S)上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を20%に制御し、30℃から180℃まで75分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに180℃で2時間保持した。その後、サンプルを減圧オーブンに移し、フルバキュームにて減圧度1kPa以下としてから、昇温を開始した。減圧オーブンを30℃から270℃まで60分かけて昇温(昇温速度4℃/分)し、さらに270℃で1時間保持し、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。
ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.031kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は260℃、全光線透過率は86%、面内位相差(R0)は0.5nm、イミド化率は96%であり、溶剤残存量は0.7質量%であった。
(Example 5)
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was applied with a doctor blade onto a Ube Industries polyimide film (UPILEX50S) fixed to a glass substrate with Kapton tape. And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven was controlled to 20%, the temperature was raised from 30 ° C. to 180 ° C. over 75 minutes (temperature increase rate 2 ° C./min), and further maintained at 180 ° C. for 2 hours. Thereafter, the sample was transferred to a vacuum oven, and the temperature was increased after the vacuum was reduced to 1 kPa or less with full vacuum. The vacuum oven was heated from 30 ° C. to 270 ° C. over 60 minutes (temperature increase rate: 4 ° C./min), and further maintained at 270 ° C. for 1 hour to produce a transparent polyimide laminate on the glass substrate.
The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.031 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 260 ° C., the total light transmittance is 86%, the in-plane retardation (R0) is 0.5 nm, the imidization rate is 96%, and the residual solvent amount is It was 0.7 mass%.

(実施例6)
合成例2で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した宇部興産製のポリイミドフィルム(UPILEX50S)上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から300℃まで135分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに300℃で2時間保持し、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。
ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.029kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は290℃、全光線透過率が88%、面内位相差(R0)は0.3nm、イミド化率は98%であり、溶剤残存量は0.6質量%であった。
(Example 6)
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 2 was applied with a doctor blade onto a Ube Industries polyimide film (UPILEX50S) fixed to a glass substrate with Kapton tape. And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven is controlled to 0.0%, the temperature is increased from 30 ° C. to 300 ° C. over 135 minutes (temperature increase rate: 2 ° C./min), and further maintained at 300 ° C. for 2 hours. A transparent polyimide laminate was produced on the substrate.
The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.029 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 290 ° C., the total light transmittance is 88%, the in-plane retardation (R0) is 0.3 nm, the imidization rate is 98%, and the residual solvent amount is It was 0.6 mass%.

(実施例7)
使用するポリイミド前駆体含有溶液を合成例3で調整したものに変更し、昇温速度を2℃/分とした以外は実施例1と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.041kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は266℃、全光線透過率が88%、面内位相差(R0)は0.6nm、イミド化率は96%であり、溶剤残存量は0.3質量%であった。
(Example 7)
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 1 except that the polyimide precursor-containing solution to be used was changed to that prepared in Synthesis Example 3 and the temperature increase rate was 2 ° C./min. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.041 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 266 ° C., the total light transmittance is 88%, the in-plane retardation (R0) is 0.6 nm, the imidization rate is 96%, and the residual solvent amount is It was 0.3% by mass.

(参考例1)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した東海アルミ製のアルミ箔(50μm)上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から270℃まで120分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに270℃で2時間保持し、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.19kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は261℃、全光線透過率が85%、面内位相差(R0)は1.4nm、イミド化率は99%であり、溶剤残存量は0.1質量%であった。
(Reference Example 1)
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was coated on a Tokai aluminum aluminum foil (50 μm) fixed to a glass substrate with Kapton tape with a doctor blade. And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven is controlled to 0.0%, the temperature is increased from 30 ° C. to 270 ° C. over 120 minutes (temperature increase rate: 2 ° C./min), and further maintained at 270 ° C. for 2 hours. A transparent polyimide laminate was produced on the substrate. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.19 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 261 ° C., the total light transmittance is 85%, the in-plane retardation (R0) is 1.4 nm, the imidization rate is 99%, and the residual solvent amount is It was 0.1 mass%.

(参考例2)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液100gにデュポン製離型剤ゼレックUNを0.01g配合(固形分に対して500ppm相当)した剥離成分含有ポリイミド前駆体含有溶液を使用したこと以外は実施例8と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.007kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は260℃、全光線透過率が85%、面内位相差(R0)は1.1nm、イミド化率は99%であり、溶剤残存量は0.1質量%であった。
(Reference Example 2)
Implemented except that 100 g of the polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was mixed with 0.01 g of DuPont release agent Zelec UN (corresponding to 500 ppm with respect to the solid content) and the release component-containing polyimide precursor-containing solution was used. In the same manner as in Example 8, a transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.007 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 260 ° C., the total light transmittance is 85%, the in-plane retardation (R0) is 1.1 nm, the imidization rate is 99%, and the residual solvent amount is It was 0.1 mass%.

(参考例3)
使用する支持基材をSUS304(50μm)に変更した以外は実施例9と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.009kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は262℃、全光線透過率が86%、面内位相差(R0)は1.2nm、イミド化率は99%であり、溶剤残存量は0.2質量%であった。
(Reference Example 3)
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 9 except that the supporting substrate used was changed to SUS304 (50 μm). The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.009 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 262 ° C., the total light transmittance is 86%, the in-plane retardation (R0) is 1.2 nm, the imidization rate is 99%, and the residual solvent amount is It was 0.2% by mass.

(実施例8)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、宇部興産製のポリイミドフィルム(UPILEX50S(50μm))上にダイコーターを用いて、連続的に直接流延塗布し、酸素濃度を0.0%に制御した乾燥炉を用いて、段階的に昇温を実施し(昇温速度5℃/分相当)、最高温度270℃まで加熱を実施し、透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.039kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は261℃、全光線透過率が87%、面内位相差(R0)は2.0nm、イミド化率は97%であり、溶剤残存量は0.8質量%であった。
(Example 8)
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was continuously and continuously cast onto a polyimide film (UPILEX 50S (50 μm)) manufactured by Ube Industries using a die coater, and the oxygen concentration was adjusted to 0.0%. Using a controlled drying furnace, the temperature was raised stepwise (corresponding to a heating rate of 5 ° C./min) and heated to a maximum temperature of 270 ° C. to produce a transparent polyimide laminate. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.039 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 261 ° C., the total light transmittance is 87%, the in-plane retardation (R0) is 2.0 nm, the imidization rate is 97%, and the residual solvent amount is It was 0.8 mass%.

(実施例9)
合成例5で調製したブロックポリアミド酸イミド溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した宇部興産製のポリイミドフィルム(UPILEX50S(50μm、Rz=0.03μm))上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びブロックポリアミド酸イミドフィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から270℃まで120分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに270℃で2時間保持し、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。得られた透明ポリイミド積層体の、透明ポリイミド層の厚みは30μmであった。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.030kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は286℃、全光線透過率は85%、ヘイズが1.0%、b値が1.8、面内位相差(R0)は0.9nm、イミド化率は98%であり、溶剤残存量は0.5質量%であった。
Example 9
The block polyamic acid imide solution prepared in Synthesis Example 5 was applied with a doctor blade onto a Ube Industries polyimide film (UPILEX 50S (50 μm, Rz = 0.03 μm)) fixed to a glass substrate with Kapton tape. And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a block polyamic-acid imide film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven is controlled to 0.0%, the temperature is increased from 30 ° C. to 270 ° C. over 120 minutes (temperature increase rate: 2 ° C./min), and further maintained at 270 ° C. for 2 hours. A transparent polyimide laminate was produced on the substrate. The thickness of the transparent polyimide layer of the obtained transparent polyimide laminate was 30 μm. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.030 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 286 ° C., the total light transmittance is 85%, the haze is 1.0%, the b value is 1.8, and the in-plane retardation (R0) is 0.9 nm. The imidation ratio was 98%, and the solvent residual amount was 0.5% by mass.

(比較例1)
使用するポリイミド前駆体含有溶液を合成例4で調整したものに変更し、30℃から300℃まで135分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、300℃で2時間保持した以外は実施例1と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.025kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は検出されず、全光線透過率が78%、面内位相差(R0)は0.9nm、イミド化率は95%であり、溶剤残存量は0.9質量%であった。
(Comparative Example 1)
The polyimide precursor-containing solution to be used was changed to that prepared in Synthesis Example 4, and the temperature was raised from 30 ° C. to 300 ° C. over 135 minutes (temperature increase rate 2 ° C./min), and kept at 300 ° C. for 2 hours. Made a transparent polyimide laminate on the glass substrate in the same manner as in Example 1. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.025 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling was not detected, the total light transmittance was 78%, the in-plane retardation (R0) was 0.9 nm, the imidization rate was 95%, and the solvent remaining amount Was 0.9 mass%.

(比較例2)
イナートオーブン内の酸素濃度を10.0%に変更した以外は実施例1と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.031kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は259℃、全光線透過率が79%、面内位相差(R0)は0.8nm、イミド化率は97%であり、溶剤残存量は0.5質量%であった。
(Comparative Example 2)
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 1 except that the oxygen concentration in the inert oven was changed to 10.0%. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.031 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 259 ° C., the total light transmittance is 79%, the in-plane retardation (R0) is 0.8 nm, the imidization rate is 97%, and the residual solvent amount is It was 0.5 mass%.

(比較例3)
イナートオーブンの最高到達温度を230℃に変更した以外は実施例1と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.010kN/mであった。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は250℃、全光線透過率が90%、面内位相差(R0)は0.8nm、イミド化率は78%であり、溶剤残存量は3.0質量%であった。
(Comparative Example 3)
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 1 except that the maximum temperature of the inert oven was changed to 230 ° C. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.010 kN / m.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 250 ° C., the total light transmittance is 90%, the in-plane retardation (R0) is 0.8 nm, the imidization rate is 78%, and the residual solvent amount is It was 3.0 mass%.

(比較例4)
使用する支持基材を三井金属鉱業製の銅箔(NA−DFF(12μm))に変更した以外は実施例1と同様にし、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の銅箔(支持基材)から透明ポリイミド層を引き剥がそうと試みたが、剥がすことが出来なかった。
(Comparative Example 4)
A transparent polyimide laminate was produced on a glass substrate in the same manner as in Example 1 except that the supporting base used was changed to a copper foil (NA-DFF (12 μm)) manufactured by Mitsui Mining & Smelting. Although an attempt was made to peel off the transparent polyimide layer from the copper foil (support base material) of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate, it could not be removed.

(比較例5)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液100gにデュポン製離型剤ゼレックUNを0.10g配合(固形分に対して5000ppm相当)した剥離成分含有ポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した東海アルミ製のアルミ箔(支持基材;50μm)上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から270℃まで120分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに270℃で2時間保持した。オーブンから出した透明ポリイミド積層体は支持基材上で透明ポリイミド層が“はじき”により一部凝集しており、製膜困難であることを確認した。
(Comparative Example 5)
A release component-containing polyimide precursor-containing solution in which 0.10 g of DuPont release agent Zelec UN is mixed with 100 g of the polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 (equivalent to 5000 ppm with respect to the solid content) is added to a glass substrate with Kapton tape. It was coated with a doctor blade on an aluminum foil (support base material: 50 μm) made of Tokai Aluminum fixed in (1). And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven was controlled to 0.0%, the temperature was increased from 30 ° C. to 270 ° C. over 120 minutes (temperature increase rate 2 ° C./min), and further maintained at 270 ° C. for 2 hours. The transparent polyimide laminate taken out of the oven was confirmed to be difficult to form because the transparent polyimide layer was partially agglomerated by “repelling” on the support substrate.

(比較例6)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板上に直接ドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、ポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から270℃まで120分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに270℃で2時間保持し、ガラス基板上に透明ポリイミド層を作製した。得られた透明ポリイミド層の厚みは30μmであった。
ガラス基板から透明ポリイミド層の剥離を試みたが、容易に剥離することは困難であった。そこで、ガラス基板/透明ポリイミド層を蒸留水に浸漬してガラス基板から透明ポリイミドフィルムを剥離した。
剥離後の透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は260℃、全光線透過率は87%、面内位相差(R0)は0.8nm、イミド化率は98%であり、溶剤残存量は0.1質量%であった。
(Comparative Example 6)
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was applied directly on a glass substrate with a doctor blade. And the sample which consists of a glass substrate and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven is controlled to 0.0%, the temperature is increased from 30 ° C. to 270 ° C. over 120 minutes (temperature increase rate: 2 ° C./min), and further maintained at 270 ° C. for 2 hours. A transparent polyimide layer was produced on the substrate. The thickness of the obtained transparent polyimide layer was 30 μm.
Although an attempt was made to peel off the transparent polyimide layer from the glass substrate, it was difficult to peel off easily. Therefore, the glass substrate / transparent polyimide layer was immersed in distilled water to peel the transparent polyimide film from the glass substrate.
The glass transition temperature (Tg) of the transparent polyimide film after peeling is 260 ° C., the total light transmittance is 87%, the in-plane retardation (R0) is 0.8 nm, the imidization rate is 98%, and the residual solvent amount is It was 0.1 mass%.

(比較例7)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した宇部興産製のポリイミドフィルム(UPILEX50S(50μm、Rz=0.03μm))上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から200℃まで85分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに200℃で2時間保持した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.008kN/mであった。
(Comparative Example 7)
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was applied with a doctor blade onto a Ube Industries polyimide film (UPILEX50S (50 μm, Rz = 0.03 μm)) fixed to a glass substrate with Kapton tape. And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven was controlled to 0.0%, the temperature was raised from 30 ° C. to 200 ° C. over 85 minutes (temperature increase rate: 2 ° C./min), and further maintained at 200 ° C. for 2 hours. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.008 kN / m.

剥離後の透明ポリイミドフィルムをステンレス製の金属枠にカプトンテープで、全周固定した。これをイナートオーブンに入れ、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から250℃まで110分かけて昇温(昇温速度2℃/分)した。そして250℃で2時間保持して、膜厚30μmの透明ポリイミドフィルムを得た。得られた透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は258℃、全光線透過率は87%、ヘイズが3.7%、b値が0.9、面内位相差(R0)は80nm、イミド化率は88%であり、溶剤残存量は1.5質量%であった。   The transparent polyimide film after peeling was fixed to the stainless steel metal frame with Kapton tape all around. This was put into an inert oven, the oxygen concentration in the inert oven was controlled to 0.0%, and the temperature was increased from 30 ° C. to 250 ° C. over 110 minutes (temperature increase rate 2 ° C./min). And it hold | maintained at 250 degreeC for 2 hours, and obtained the transparent polyimide film with a film thickness of 30 micrometers. The glass transition temperature (Tg) of the obtained transparent polyimide film was 258 ° C., the total light transmittance was 87%, the haze was 3.7%, the b value was 0.9, the in-plane retardation (R0) was 80 nm, and the imide The conversion rate was 88%, and the residual solvent amount was 1.5% by mass.

(比較例8)
合成例1で調製したポリイミド前駆体含有溶液を、ガラス基板にカプトンテープで固定した宇部興産製のポリイミドフィルム(UPILEX50S(50μm、Rz=0.03μm))上にドクターブレードで塗工した。そして、ガラス基板、支持基材、及びポリイミド前駆体フィルムからなるサンプルをイナートオーブンに入れた。その後、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から270℃まで120分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに270℃で2時間保持し、ガラス基板上に透明ポリイミド積層体を作製した。ガラス基板上から取り外した透明ポリイミド積層体の支持基材/透明ポリイミド層界面のピール強度は0.039kN/mであった。
(Comparative Example 8)
The polyimide precursor-containing solution prepared in Synthesis Example 1 was applied with a doctor blade onto a Ube Industries polyimide film (UPILEX50S (50 μm, Rz = 0.03 μm)) fixed to a glass substrate with Kapton tape. And the sample which consists of a glass substrate, a support base material, and a polyimide precursor film was put into inert oven. Thereafter, the oxygen concentration in the inert oven is controlled to 0.0%, the temperature is increased from 30 ° C. to 270 ° C. over 120 minutes (temperature increase rate: 2 ° C./min), and further maintained at 270 ° C. for 2 hours. A transparent polyimide laminate was produced on the substrate. The peel strength of the support base / transparent polyimide layer interface of the transparent polyimide laminate removed from the glass substrate was 0.039 kN / m.

剥離後のフィルムをステンレス製の金属枠にカプトンテープで、全周固定した。これをイナートオーブンに入れ、イナートオーブン内の酸素濃度を0.0%に制御し、30℃から270℃まで120分かけて昇温(昇温速度2℃/分)し、さらに270℃で2時間保持して、膜厚30μmの透明ポリイミドフィルムを得た。得られた透明ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は260℃、全光線透過率は88%、ヘイズが1.5%、b値が0.8、面内位相差(R0)は12nm、イミド化率は100%であり、溶剤は検出されなかった。   The peeled film was fixed to a stainless steel metal frame with Kapton tape all around. This is put into an inert oven, the oxygen concentration in the inert oven is controlled to 0.0%, the temperature is raised from 30 ° C. to 270 ° C. over 120 minutes (temperature rising rate 2 ° C./min), and further 2 at 270 ° C. Holding for a time, a transparent polyimide film having a thickness of 30 μm was obtained. The resulting transparent polyimide film had a glass transition temperature (Tg) of 260 ° C., a total light transmittance of 88%, a haze of 1.5%, a b value of 0.8, an in-plane retardation (R0) of 12 nm, and an imide. The conversion rate was 100%, and no solvent was detected.

Figure 2014041816
Figure 2014041816

表1に示されるように、ポリイミド前駆体を、得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度以上の温度で加熱した場合(実施例1〜9、参考例1〜3、比較例2、6、及び比較例8)には、溶剤残存量がいずれも1.0質量%以下であり、イミド化率も95%以上であった。これに対し、得られる透明ポリイミド層のガラス転移温度未満で加熱した場合(比較例3及び比較例7)には、溶剤残存量が3.0質量%、かつイミド化率は90%未満であり、溶剤の乾燥やポリイミド前駆体のイミド化が不十分であった。   As shown in Table 1, when the polyimide precursor was heated at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature of the obtained transparent polyimide layer (Examples 1 to 9, Reference Examples 1 to 3, Comparative Examples 2 and 6, and comparison) In Example 8), the residual solvent amount was 1.0% by mass or less, and the imidization ratio was 95% or more. On the other hand, when heated below the glass transition temperature of the transparent polyimide layer obtained (Comparative Example 3 and Comparative Example 7), the residual solvent amount is 3.0% by mass, and the imidization rate is less than 90%. The drying of the solvent and the imidization of the polyimide precursor were insufficient.

また、支持基材上でガラス転移温度以上に加熱してポリイミドフィルムを得た場合(実施例1〜9、参考例1〜3、及び比較例1、2、6)には、面内位相差は10nm以下であった。これに対し、支持基材上でガラス転移温度以下で加熱した後、ポリイミドフィルムを支持基材から剥離し、これを金属枠に固定して更に加熱した場合(比較例7)、あるいは、支持基材上でガラス転移温度以上に加熱した後、ポリイミドフィルムを支持基材から剥離し、これを金属枠に固定して更にガラス転移温度以上で加熱した場合(比較例8)は、面内位相差は10nm超となった。面内位相差が10nm超であると、光学フィルムとしての用途が制限される。   In addition, in the case where polyimide films are obtained by heating to a temperature above the glass transition temperature on the supporting substrate (Examples 1 to 9, Reference Examples 1 to 3, and Comparative Examples 1, 2, and 6), an in-plane retardation is obtained. Was 10 nm or less. On the other hand, after heating below the glass transition temperature on the support substrate, the polyimide film is peeled off from the support substrate, and this is fixed to a metal frame and further heated (Comparative Example 7), or the support group After heating on the material above the glass transition temperature, the polyimide film is peeled off from the supporting substrate, fixed to a metal frame and further heated above the glass transition temperature (Comparative Example 8), in-plane retardation Was over 10 nm. If the in-plane retardation is more than 10 nm, the use as an optical film is limited.

また、支持基材をポリイミドフィルムとした場合(実施例1〜9、比較例1〜3、7、8)には、支持基材から透明ポリイミド層を剥離する際のピール強度が0.041kN/m以下であり、透明ポリイミド層の剥離性が良好であった。
一方、支持基材をアルミ基板とした場合には、支持基材から透明ポリイミド層を剥離する際のピール強度が0.19kN/mと比較的高かった(参考例1)。これに対し、支持基材をアルミ基板とした場合であっても、ポリイミド前駆体含有溶液に離型剤が含まれる(参考例2)とピール強度が大きく低下した。ただし、離型剤の量が多すぎると、ポリイミド前駆体含有溶液を均一に塗布することができなかった(比較例5)。また、SUS板を支持基材とし、ポリイミド前駆体含有溶液に離型剤が含まれる場合には、支持基材から透明ポリイミド層を剥離する際のピール強度が低く、剥離性が良好であった(参考例3)。
When the support substrate is a polyimide film (Examples 1 to 9, Comparative Examples 1 to 3, 7, and 8), the peel strength when peeling the transparent polyimide layer from the support substrate is 0.041 kN / m or less, and the peelability of the transparent polyimide layer was good.
On the other hand, when the support substrate was an aluminum substrate, the peel strength when peeling the transparent polyimide layer from the support substrate was relatively high at 0.19 kN / m (Reference Example 1). On the other hand, even when the support substrate was an aluminum substrate, the peel strength was greatly reduced when a release agent was included in the polyimide precursor-containing solution (Reference Example 2). However, when there was too much quantity of a mold release agent, the polyimide precursor containing solution was not able to be apply | coated uniformly (comparative example 5). Moreover, when a SUS plate was used as a supporting base material and the release agent was contained in the polyimide precursor-containing solution, the peel strength when peeling the transparent polyimide layer from the supporting base material was low, and the peelability was good. (Reference Example 3).

一方、支持基材を銅箔とし、ポリイミド前駆体含有溶液に離型剤が含まれない場合(比較例4)には、支持基材と透明ポリイミド層とのピール強度が高く、これらを剥離できなかった。また、支持基材をガラス基板とした場合(比較例6)には、支持基材と透明ポリイミド層とのピール強度が高く、水に浸漬しないと透明ポリイミド層を剥離できなかった。   On the other hand, when the supporting base material is copper foil, and the release agent is not included in the polyimide precursor-containing solution (Comparative Example 4), the peel strength between the supporting base material and the transparent polyimide layer is high, and these can be peeled off. There wasn't. Moreover, when the support base material was a glass substrate (Comparative Example 6), the peel strength between the support base material and the transparent polyimide layer was high, and the transparent polyimide layer could not be peeled unless immersed in water.

また、支持基材がアルミ基板やSUS板等であると、支持基材の表面の十点平均粗さ(Rz)が粗く、当該支持基材上に成膜される透明ポリイミド層のヘイズが高まりやすかった(参考例1〜3)。   Further, when the supporting base material is an aluminum substrate, a SUS plate, or the like, the ten-point average roughness (Rz) of the surface of the supporting base material is rough, and the haze of the transparent polyimide layer formed on the supporting base material is increased. It was easy (Reference Examples 1-3).

また、ポリイミドの主鎖に、脂環族が含まれる場合には、全光線透過率が高かった(実施例1〜9、参考例1〜3、及び比較例3、6〜8)。これに対し、全芳香族の透明ポリイミドフィルム(比較例1)は、全光線透過率が低かった。また、ポリイミドの主鎖に、脂環族が含まれていたとしても、ポリイミド前駆体含有溶液の加熱時の酸素濃度が5体積%を超える場合(比較例2)には、全光線透過率が低下した。加熱時に、ポリイミドが酸化されてしまい、フィルムが黄変したと推察される。   Moreover, when the alicyclic group was contained in the principal chain of polyimide, the total light transmittance was high (Examples 1-9, Reference Examples 1-3, and Comparative Examples 3, 6-8). In contrast, the wholly aromatic transparent polyimide film (Comparative Example 1) had a low total light transmittance. Moreover, even if the main chain of polyimide contains an alicyclic group, when the oxygen concentration during heating of the polyimide precursor-containing solution exceeds 5% by volume (Comparative Example 2), the total light transmittance is Declined. It is inferred that the polyimide was oxidized during heating and the film was yellowed.

本発明の透明ポリイミド積層体から得られる透明ポリイミドフィルムは、全光線透過率が高く、かつ面内位相差が小さい。したがって、タッチパネル用の基板や、カラーフィルタ用基板、液晶セル用基板、有機ELディスプレイ用基板等、種々のフレキシブルディスプレイのパネル基板等に適用可能である。   The transparent polyimide film obtained from the transparent polyimide laminate of the present invention has a high total light transmittance and a small in-plane retardation. Therefore, the present invention can be applied to various flexible display panel substrates such as a touch panel substrate, a color filter substrate, a liquid crystal cell substrate, and an organic EL display substrate.

1 ポリイミド前駆体フィルム
1’ 透明ポリイミド層
10 加熱炉
11 支持基材
12 透明ポリイミド積層体
13 素子
14 他の基板
20 塗布装置
21 無端ベルト
30 ロール体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polyimide precursor film 1 'Transparent polyimide layer 10 Heating furnace 11 Support base material 12 Transparent polyimide laminated body 13 Element 14 Other board | substrates 20 Coating apparatus 21 Endless belt 30 Roll body

Claims (18)

支持基材と、前記支持基材上に積層された透明ポリイミド層とを含む透明ポリイミド積層体の製造方法であって、
a)テトラカルボン酸成分及びジアミン成分を反応させてなるポリイミド前駆体と溶剤とを含むポリイミド前駆体含有溶液を、前記支持基材上に塗布する工程と、
b)前記ポリイミド前駆体含有溶液の塗膜からなるポリイミド前駆体フィルムを、前記透明ポリイミド層のガラス転移温度以上で加熱する工程とを含み、
前記透明ポリイミド層は、ガラス転移温度が260℃以上、全光線透過率が80%以上、ヘイズが5%以下、L*a*b表色系におけるb値の絶対値が5以下、かつ面内位相差が10nm以下であり、
前記支持基材から前記透明ポリイミド層を剥離する際のピール強度が0.005〜0.20kN/mである、透明ポリイミド積層体の製造方法。
A method for producing a transparent polyimide laminate comprising a support substrate and a transparent polyimide layer laminated on the support substrate,
a) a step of applying a polyimide precursor-containing solution containing a polyimide precursor obtained by reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component and a solvent onto the support substrate;
b) heating a polyimide precursor film comprising a coating film of the polyimide precursor-containing solution above the glass transition temperature of the transparent polyimide layer,
The transparent polyimide layer has a glass transition temperature of 260 ° C. or more, a total light transmittance of 80% or more, a haze of 5% or less, an absolute value of b value in the L * a * b color system of 5 or less, and an in-plane The phase difference is 10 nm or less,
The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body whose peel strength at the time of peeling the said transparent polyimide layer from the said support base material is 0.005-0.20 kN / m.
前記支持基材が、フレキシブル基材である、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。   The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body of Claim 1 whose said support base material is a flexible base material. 前記ポリイミド前駆体含有溶液に、離型剤がさらに含まれる、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。   The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body of Claim 1 with which a mold release agent is further contained in the said polyimide precursor containing solution. 前記工程b)の200℃を超える温度領域では、雰囲気の酸素濃度を5体積%以下とする、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。   The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body of Claim 1 which makes oxygen concentration of atmosphere 5 volume% or less in the temperature range exceeding 200 degreeC of the said process b). 前記工程b)の200℃を超える温度領域では、雰囲気を減圧する、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。   The method for producing a transparent polyimide laminate according to claim 1, wherein the atmosphere is depressurized in a temperature range exceeding 200 ° C in the step b). 前記工程b)は、150℃以下から200℃超まで昇温しながら前記ポリイミド前駆体フィルムを加熱する工程であり、
前記工程b)における150〜200℃の温度領域の平均昇温速度を0.25〜50℃/分とする、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
The step b) is a step of heating the polyimide precursor film while raising the temperature from 150 ° C. or lower to over 200 ° C.,
The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body of Claim 1 which makes the average temperature increase rate of the temperature range of 150-200 degreeC in the said process b) 0.25-50 degreeC / min.
前記ポリイミド前駆体が、
下記一般式(a)で表される1種以上のテトラカルボン酸二無水物を含むテトラカルボン酸成分(A)と、
下記一般式(b−1)〜(b−3)で表される化合物からなる群から選ばれる1種以上のジアミンを含むジアミン成分(B)と
を反応させてなる化合物である、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
Figure 2014041816
(一般式(a)中、Rは炭素数4〜27の4価の基を示し、かつ
脂肪族基、単環式脂肪族基、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基、もしくは縮合多環式芳香族基を示すか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基を示すか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基を示す)
Figure 2014041816
Figure 2014041816
Figure 2014041816
The polyimide precursor is
A tetracarboxylic acid component (A) containing one or more tetracarboxylic dianhydrides represented by the following general formula (a);
The compound formed by making these react with the diamine component (B) containing 1 or more types of diamine chosen from the group which consists of a compound represented by the following general formula (b-1)-(b-3). The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body of description.
Figure 2014041816
(In the general formula (a), R 1 represents a tetravalent group having 4 to 27 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group, a condensed polycyclic aliphatic group, or a monocyclic aromatic group. Or a condensed polycyclic aromatic group, a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cycloaliphatic groups are linked directly or by a bridging member, or an aromatic group is directly or a bridging member Represents non-condensed polycyclic aromatic groups linked together by
Figure 2014041816
Figure 2014041816
Figure 2014041816
前記ポリイミド前駆体が、下記一般式(I)で表される繰り返し単位を有し、
一般式(I)における1,4-ビスメチレンシクロヘキサン骨格(X)は、式(X1)で表されるトランス体と、式(X2)で表されるシス体とからなり、
前記トランス体とシス体の含有比(トランス体+シス体=100%)が、60%≦トランス体≦100%、0%≦シス体≦40%である、請求項7に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
Figure 2014041816
Figure 2014041816
(一般式(I)中、R10は炭素数4〜27の4価の基を示し、かつ
脂肪族基、単環式脂肪族基、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基、もしくは縮合多環式芳香族基を示すか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基を示すか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基を示す)
The polyimide precursor has a repeating unit represented by the following general formula (I):
The 1,4-bismethylenecyclohexane skeleton (X) in the general formula (I) is composed of a trans isomer represented by the formula (X1) and a cis isomer represented by the formula (X2).
The transparent polyimide laminate according to claim 7, wherein the content ratio of the trans isomer to the cis isomer (trans isomer + cis isomer = 100%) is 60% ≦ trans isomer ≦ 100%, 0% ≦ cis isomer ≦ 40%. Body manufacturing method.
Figure 2014041816
Figure 2014041816
(In the general formula (I), R 10 represents a tetravalent group having 4 to 27 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group, a condensed polycyclic aliphatic group, or a monocyclic aromatic group. Or a condensed polycyclic aromatic group, a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cycloaliphatic groups are linked directly or by a bridging member, or an aromatic group is directly or a bridging member Represents non-condensed polycyclic aromatic groups linked together by
前記ポリイミド前駆体が、
下記一般式(G)で表される繰り返し構造単位で構成されるポリアミド酸ブロックと、
下記一般式(H)で表される繰り返し構造単位で構成されるポリイミドブロックと、を有するブロックポリアミド酸イミドである、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
Figure 2014041816
(一般式(G)及び(H)中、R及びRはそれぞれ独立に炭素数4〜27の4価の基であり、かつ脂肪族基、単環式脂肪族基、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基、もしくは縮合多環式芳香族基を示すか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基を示すか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基を示し;
一般式(H)において、Rは、炭素数4〜51の2価の基であり、かつ脂肪族基、単環式脂肪族基(但し、1,4-シクロヘキシレン基を除く)、縮合多環式脂肪族基、単環式芳香族基もしくは縮合多環式芳香族基であるか、環式脂肪族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式脂肪族基であるか、または芳香族基が直接もしくは架橋員により相互に連結された非縮合多環式芳香族基である)
The polyimide precursor is
A polyamic acid block composed of repeating structural units represented by the following general formula (G);
The manufacturing method of the transparent polyimide laminated body of Claim 1 which is a block polyamic-acid imide which has a polyimide block comprised by the repeating structural unit represented by the following general formula (H).
Figure 2014041816
(In General Formulas (G) and (H), R 6 and R 8 are each independently a tetravalent group having 4 to 27 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group, or a condensed polycyclic group. Whether it represents an aliphatic group, a monocyclic aromatic group, or a condensed polycyclic aromatic group, or a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cyclic aliphatic groups are connected to each other directly or by a bridging member Or a non-condensed polycyclic aromatic group in which the aromatic groups are connected to each other directly or by a bridging member;
In the general formula (H), R 7 is a divalent group having 4 to 51 carbon atoms, and an aliphatic group, a monocyclic aliphatic group (excluding a 1,4-cyclohexylene group), a condensed group A polycyclic aliphatic group, a monocyclic aromatic group or a condensed polycyclic aromatic group, or a non-condensed polycyclic aliphatic group in which the cyclic aliphatic groups are connected to each other directly or by a bridging member Or a non-condensed polycyclic aromatic group in which the aromatic groups are connected to each other directly or by a bridging member)
前記工程a)は、ロールから繰り出された前記支持基材上に、前記ポリイミド前駆体含有溶液を塗布する工程であり、
前記工程b)は、前記ポリイミド前駆体フィルムの加熱後、前記透明ポリイミド積層体をロールに巻き取るステップを含む、請求項1に記載の透明ポリイミド積層体の製造方法。
The step a) is a step of applying the polyimide precursor-containing solution on the support substrate that has been fed out from a roll.
The said process b) is a manufacturing method of the transparent polyimide laminated body of Claim 1 including the step which winds up the said transparent polyimide laminated body to a roll after the said polyimide precursor film is heated.
請求項1に記載の製造方法から得られる、透明ポリイミド積層体。   The transparent polyimide laminated body obtained from the manufacturing method of Claim 1. 請求項11記載の透明ポリイミド積層体の支持基材から透明ポリイミド層を剥離して得られる、光学フィルム。   The optical film obtained by peeling a transparent polyimide layer from the support base material of the transparent polyimide laminated body of Claim 11. 請求項11記載の透明ポリイミド積層体の支持基材から透明ポリイミド層を剥離し、透明ポリイミドフィルムを得る工程を含む、透明ポリイミドフィルムの製造方法。   The manufacturing method of a transparent polyimide film including the process of peeling a transparent polyimide layer from the support base material of the transparent polyimide laminated body of Claim 11, and obtaining a transparent polyimide film. 請求項11記載の透明ポリイミド積層体の前記透明ポリイミド層上に素子を形成する工程と、
前記素子を形成後の前記透明ポリイミド層を、前記支持基材から剥離する工程とを有する、フレキシブルデバイスの製造方法。
Forming a device on the transparent polyimide layer of the transparent polyimide laminate according to claim 11,
And a step of peeling the transparent polyimide layer after forming the element from the support substrate.
請求項11記載の製造方法で得られる透明ポリイミドフィルム上に素子を形成する工程を有する、フレキシブルデバイスの製造方法。   The manufacturing method of a flexible device which has the process of forming an element on the transparent polyimide film obtained with the manufacturing method of Claim 11. 請求項14または15に記載のフレキシブルデバイスの製造方法により得られるタッチパネルディスプレイ。   The touch panel display obtained by the manufacturing method of the flexible device of Claim 14 or 15. 請求項14または15に記載のフレキシブルデバイスの製造方法により得られる液晶ディスプレイ。   The liquid crystal display obtained by the manufacturing method of the flexible device of Claim 14 or 15. 請求項14または15に記載のフレキシブルデバイスの製造方法により得られる有機ELディスプレイ。
An organic EL display obtained by the method for producing a flexible device according to claim 14.
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