JPWO2013191035A1 - Wafer lens manufacturing method and imaging lens - Google Patents

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泰宏 齊木
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克彦 浅井
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清司 湯浅
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Abstract

成形型を用いて基板の両面に複数のレンズを成形した場合に、成形型より基板を離型する際に、レンズの剥離を抑制できるウエハレンズの製造方法及びそれにより製造される撮像レンズを提供する。第1絞り部AP1との重複した面積が小さい第1のレンズL1を成形した後に、第1の成形型MD1から基板GPの離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図り、次いで、第1のレンズL1を成形した基板GPの反対側の第2面S2に第2のレンズL2を成形した後に、第2の成形型MD2から基板GPの離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っているのであり、これによりレンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。Providing a wafer lens manufacturing method and an imaging lens manufactured thereby that can suppress the peeling of the lens when the substrate is released from the molding die when a plurality of lenses are molded on both sides of the substrate using the molding die To do. After molding the first lens L1 having a small area overlapping with the first aperture part AP1, the substrate GP is released from the first molding die MD1, thereby suppressing lens peeling, and then the first After molding the second lens L2 on the second surface S2 on the opposite side of the substrate GP on which the lens L1 is molded, the substrate GP is released from the second molding die MD2, thereby further suppressing the lens peeling. As a result, the occurrence of lens peeling can be minimized.

Description

本発明は、ウエハレンズの製造方法及びその製造方法により製造された撮像レンズに関するものである。   The present invention relates to a wafer lens manufacturing method and an imaging lens manufactured by the manufacturing method.

近年、スマートフォンやタブレットPCなどの携帯電子機器が急速に普及し、これらの携帯電子機器に搭載される撮像装置用の撮像レンズには、簡素な構成でありながら十分な光学性能を備え、しかも小型で薄型のものが求められている。このような携帯電子機器に適した撮像レンズを安価に大量に製造する方法として、6インチや8インチといったサイズのガラスなどからなる透明基板上(若しくは成形型上)に硬化性樹脂材料を塗布し、成形及び硬化してウエハレンズを作製し、切断して個片化することで撮像レンズを作製する撮像レンズの製造方法が知られている。この製造方法によれば、一度に多数の撮像レンズを作製できることで、コスト面において多大なメリットがある。また、このような撮像レンズの製造方法において、基板の両面にレンズを設けることで、光学特性を向上させることも知られている。   In recent years, portable electronic devices such as smartphones and tablet PCs have rapidly spread, and an imaging lens for an imaging device mounted on these portable electronic devices has a simple configuration but sufficient optical performance and is small in size. Therefore, a thin type is required. As a method for manufacturing a large number of imaging lenses suitable for such portable electronic devices at low cost, a curable resin material is applied onto a transparent substrate (or a mold) made of glass having a size of 6 inches or 8 inches. A manufacturing method of an imaging lens is known in which a wafer lens is manufactured by molding and curing, and an imaging lens is manufactured by cutting and curing into individual pieces. According to this manufacturing method, a large number of imaging lenses can be manufactured at a time, which has a great merit in terms of cost. In addition, in such a method for manufacturing an imaging lens, it is also known to improve optical characteristics by providing lenses on both sides of a substrate.

しかしこの製造方法によれば、1枚の基板上に数千個というような大量のレンズが形成されるため、離型抵抗が大きくなり、成形型に離型剤を塗布するなどの離型処理を施していても、成形型から離型を行う際に、レンズや基板が破損したり基板とレンズとが剥離したりしやすいという問題がある。基板の両面にレンズが形成されたウエハレンズの製造においては、両面にレンズを成形した後に基板を2つの型から同時に離型することで、基板やレンズに加わるストレスを小さくすることでこのような問題を抑制することも考えられる。しかしながら、基板を2つの型から同時に離型する構成は概して装置構成が複雑になりやすく、汎用の離型装置が使えなかったりコストがかかったりするという新たな問題を生じるから、基板の一方の面に複数のレンズを形成した後、少しずつ成形型から基板を離型し、更に基板の他方の面に複数のレンズを形成した後、少しずつ成形型から基板を離型する作業が行われているというのが実情である。   However, according to this manufacturing method, a large number of lenses, such as thousands, are formed on a single substrate, so that the mold release resistance increases and a mold release treatment such as applying a mold release agent to the mold. Even if it has applied, when releasing from a shaping | molding die, there exists a problem that a lens or a board | substrate is damaged, or a board | substrate and a lens are easy to peel. In manufacturing a wafer lens in which lenses are formed on both sides of a substrate, such a stress is applied to the substrate and the lens by reducing the stress applied to the substrate and the lens by simultaneously removing the substrate from the two molds after molding the lenses on both sides. It is possible to suppress the problem. However, since the configuration in which the substrate is released from the two molds at the same time is generally complicated, the configuration of the device tends to be complicated, and there is a new problem that a general-purpose release device cannot be used or is expensive. After forming a plurality of lenses, the substrate is released from the molding die little by little, and after forming the plurality of lenses on the other surface of the substrate, the substrate is gradually released from the molding die. The fact is.

ところで、上述の携帯電子機器に適した撮像レンズにおいても、レンズに入射する不要光をカットしたり、光学性能をさらに高めたりするために、特許文献1、2に示すように、基板とレンズとの間に薄膜状の絞りを設けることが提案されている。基板に付着した薄い絞りを設けることで、金属等からなる別体の絞り部材が不要になり、部品を減らすことができ、またレンズの光軸方向の薄型化に貢献するというメリットがある。   By the way, in the imaging lens suitable for the above-described portable electronic device, in order to cut unnecessary light incident on the lens or to further improve the optical performance, as shown in Patent Documents 1 and 2, It has been proposed to provide a thin-film aperture between them. By providing a thin diaphragm attached to the substrate, there is no need for a separate diaphragm member made of metal or the like, and it is possible to reduce the number of parts and to contribute to a reduction in the thickness of the lens in the optical axis direction.

特開2010−72665号公報JP 2010-72665 A 米国特許出願公開第2009/147368号明細書US Patent Application Publication No. 2009/147368

ところが、本発明者らの検討によれば、基板とレンズとの間に薄膜状の絞りが設けられていると、基板を成形型から離型させる際に、成形されたレンズが基板から剥離し易くなるという問題があることが判明した。離型の際に基板に加わるストレスを出来るだけ小さくし、時間をかけて離型を行うことでこの問題は緩和されるものの、離型に長時間を要しては撮像レンズ全体の製造時間を短くすることができず、撮像レンズを安価に作製するという目的と相反することになってしまう。また、上述したウエハレンズの製造プロセスは、多数のレンズを同時に成形するために離型抵抗が大きく、レンズや基板の破損を防ぐために、そもそも離型工程に要する時間が長いという課題を有している。基板の両面にレンズを有するウエハレンズの場合は、上述したように2回の離型を時系列的に実行すると、さらに製造時間が長くなってしまうという課題も生じる。   However, according to the study by the present inventors, when a thin-film aperture is provided between the substrate and the lens, the molded lens is peeled from the substrate when the substrate is released from the mold. It turns out that there is a problem that it becomes easy. Although this problem can be alleviated by reducing the stress applied to the substrate as much as possible during mold release and releasing the mold over time, if a long time is required for mold release, the manufacturing time of the entire imaging lens can be reduced. It cannot be shortened, which is contrary to the purpose of manufacturing the imaging lens at low cost. In addition, the wafer lens manufacturing process described above has the problem that the mold release resistance is large because a large number of lenses are molded simultaneously, and the time required for the mold release process is long in order to prevent damage to the lens and the substrate. Yes. In the case of a wafer lens having lenses on both sides of the substrate, if the mold release is performed in time series as described above, there is a problem that the manufacturing time is further increased.

特許文献1、2には、薄膜状の絞りを基板上に設け、かつ、基板の両面にレンズを形成した構成を持つウエハレンズの製造において、離型時における基板からのレンズ剥離の問題が考慮されておらず、改善の余地がある。   In Patent Documents 1 and 2, in the manufacture of a wafer lens having a configuration in which a thin-film aperture is provided on a substrate and lenses are formed on both sides of the substrate, the problem of lens peeling from the substrate at the time of release is considered. There is room for improvement.

本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、成形型を用いて基板の両面に複数のレンズを成形した場合に、成形型より基板を離型する際に、レンズの剥離を抑制できるウエハレンズの製造方法及びそれにより製造される撮像レンズを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and when a plurality of lenses are molded on both surfaces of a substrate using a mold, the lens is peeled off when the substrate is released from the mold. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a wafer lens that can be suppressed, and an imaging lens manufactured thereby.

請求項1に記載のウエハレンズの製造方法は、基板と、前記基板の一方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第1樹脂層と、前記基板と前記第1樹脂層との間に設けられた第1絞り部と、前記基板の他方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第2樹脂層と、前記基板と前記第2樹脂層との間に設けられた第2絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第1絞り部を形成する工程と、
前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第1転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第1絞り部に重なるように第1の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第1転写型により前記成形面を有する前記第1樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第1成形型から離型する工程と、
前記基板の他方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第2絞り部を形成する工程と、
前記第1樹脂層が形成された前記基板を前記第1成形型から離型した後に、前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第2転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第2絞り部に重なるように第2の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第2転写型により前記成形面を有する前記第2樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第2成形型から離型する工程と、を有し、
光軸方向に見たときに、前記第1絞り部と前記第1樹脂層との重複した面積は、前記基板を挟んで対向する前記第2絞り部と前記第2樹脂層との重複した面積よりも小さいことを特徴とする。
The method for manufacturing a wafer lens according to claim 1, wherein a substrate, a first resin layer having a molding surface provided on one surface of the substrate and including a plurality of optical surfaces, the substrate, and the first resin layer are provided. Between the substrate and the second resin layer, a first diaphragm portion provided between the substrate, a second resin layer having a molding surface provided on the other surface of the substrate and including a plurality of optical surfaces, and A wafer lens manufacturing method comprising: a second aperture portion provided in
Forming the first diaphragm portion on one surface of the substrate in association with the plurality of optical surfaces;
A first curable resin material is interposed between the first transfer mold having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to the plurality of optical surfaces and the substrate so that at least part of the first transfer mold overlaps the first diaphragm portion. Molding the first resin layer having the molding surface with the first transfer mold;
Releasing the substrate from the first mold;
Forming the second diaphragm portion on the other surface of the substrate in association with the plurality of optical surfaces;
After releasing the substrate on which the first resin layer is formed from the first molding die, between the second transfer die having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to the plurality of optical surfaces, and the substrate A step of interposing a second curable resin material so that at least a part of the second squeezing portion overlaps, and molding the second resin layer having the molding surface by the second transfer mold;
Releasing the substrate from the second mold, and
When viewed in the optical axis direction, the overlapping area between the first diaphragm and the first resin layer is the overlapping area between the second diaphragm and the second resin layer facing each other across the substrate. It is characterized by being smaller than.

本発明者らは種々検討した結果、基板上に絞り部を設けると、レンズと基板、及び、絞りと基板では、密着性が異なることに起因して、離型時に絞り部と基板との境を起点に剥離が進展しやすくなることを見出した。この現象は、製造の時間短縮のために離型を速く行おうとするときに顕著に生じる。本発明者らは、前記第1絞り部と前記第1樹脂層との重複した面積が、前記基板を挟んで対向する前記第2絞り部と前記第2樹脂層との重複した面積よりも小さい場合であって、裏面にレンズが形成されていない状態でレンズの成形及び離型を行う場合、前記第1成形型から前記基板を離型させる方が、前記第2成形型から前記基板を離型させるよりも、レンズ剥離を抑制できることを見出した。従って、薄い基板を用いて裏面にレンズが形成されていない状態で他方の面にレンズを成形し離型を行えば、離型時に基板を撓ませることで離型を速く行うことができ、しかも離型の際にレンズが基板から剥離することも抑制することができる。更に、前記基板の一方の面に複数のレンズを形成したときは、前記基板の一方の面に複数のレンズを形成しない場合と比べると、レンズを付着させたことにより基板の剛性が増すため、離型時の基板の撓みを小さくして、基板からのレンズの剥離を抑制することができる。本発明は、これらの知見に基づいてなされたものであり、まず前記第1絞り部と重複する面積が小さい前記第1樹脂層を成形した後に、前記第1成形型から前記基板の離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図りつつ離型に要する時間を短くし、次いで、前記第1樹脂層を成形した前記基板の反対側に前記第2樹脂層を成形した後に、前記第2成形型から前記基板の離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っているのであり、これによりレンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。尚、絞り部とは、所定の径を有する開口と、当該開口の周囲を覆う遮光部とからなる。   As a result of various studies, the inventors have found that when a diaphragm is provided on the substrate, the lens and the substrate, and the diaphragm and the substrate have different adhesive properties, so that the boundary between the diaphragm and the substrate at the time of release. From the above, it has been found that peeling easily progresses. This phenomenon remarkably occurs when the mold release is performed quickly in order to shorten the manufacturing time. The inventors of the present invention have an overlapping area between the first diaphragm portion and the first resin layer that is smaller than an overlapping area between the second diaphragm portion and the second resin layer facing each other across the substrate. In the case where the lens is molded and released in a state where the lens is not formed on the back surface, the substrate is released from the second mold by releasing the substrate from the first mold. It has been found that lens peeling can be suppressed rather than molding. Therefore, if a thin substrate is used and a lens is formed on the other surface with no lens formed on the back surface, the mold can be released quickly by bending the substrate at the time of mold release. It is also possible to prevent the lens from peeling from the substrate during the mold release. Furthermore, when a plurality of lenses are formed on one surface of the substrate, the rigidity of the substrate is increased by attaching the lenses, compared to a case where a plurality of lenses are not formed on one surface of the substrate. Deflection of the substrate at the time of mold release can be reduced, and peeling of the lens from the substrate can be suppressed. The present invention has been made based on these findings. First, after molding the first resin layer having a small area overlapping with the first narrowed portion, the substrate is released from the first mold. By doing so, the time required for mold release is shortened while suppressing lens peeling, and then the second resin layer is molded on the opposite side of the substrate on which the first resin layer is molded, and then the second molding is performed. By releasing the substrate from the mold, the lens peeling is further suppressed, so that the occurrence of the lens peeling can be minimized. The diaphragm portion is composed of an opening having a predetermined diameter and a light shielding portion that covers the periphery of the opening.

請求項2に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項1に記載の発明において、前記第1絞り部と前記第2絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする。   The wafer lens manufacturing method according to claim 2 is characterized in that, in the invention according to claim 1, the first diaphragm portion and the second diaphragm portion are made of a black resist material attached to the substrate. To do.

前記第1絞り部と前記第2絞り部が、前記基板に付着される黒色レジスト材料であると、別体の絞り部材が不要になるとともに、ウエハレンズの光軸方向の厚みを小さくできる半面、離型時における基板との密着性が不足しやすく、本発明の効果が特に顕著である。   When the first diaphragm portion and the second diaphragm portion are made of a black resist material attached to the substrate, a separate diaphragm member is not necessary and the thickness of the wafer lens in the optical axis direction can be reduced. Adhesiveness with the substrate at the time of mold release tends to be insufficient, and the effect of the present invention is particularly remarkable.

請求項3に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項1又は2に記載の発明において、前記第1絞り部と前記第1樹脂層との重複した面積は、3mm2以下であることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided the wafer lens manufacturing method according to the first or second aspect of the invention, wherein an overlapping area between the first aperture part and the first resin layer is 3 mm 2 or less. And

例えば本発明の製造方法により製造したウエハレンズを、撮像レンズに用いた場合、用途やサイズ等により、絞り部の径は様々であるが、光学的な理由によって基板の表裏で絞り部の径が異なる場合は、絞り部とレンズとの重なりの小さい方を先に成形することで、本発明の効果が得られる。但し、第1絞り部と第1樹脂層との重複面積が大きすぎると、離型時の離型速度とレンズの剥離防止とを両立することが難しくなるので、前記第1絞り部と前記第1樹脂層との重複した面積は、3mm2以下であると好ましい。2mm2以下であるとさらに好ましい。For example, when the wafer lens manufactured by the manufacturing method of the present invention is used for an imaging lens, the diameter of the aperture varies depending on the application and size, etc. In the case where they are different from each other, the effect of the present invention can be obtained by first forming the one with the smaller overlap between the aperture portion and the lens. However, if the overlapping area between the first diaphragm portion and the first resin layer is too large, it becomes difficult to achieve both the mold release speed at the time of mold release and the prevention of lens peeling. The area overlapped with one resin layer is preferably 3 mm 2 or less. More preferably, it is 2 mm 2 or less.

請求項4に記載のウエハレンズの製造方法は、基板と、前記基板の対向する面上にそれぞれ設けられ複数の光学面を含む成形面を有する2つの樹脂層と、前記基板と一方の面上の第1樹脂層の間にのみに設けられた絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記絞り部を形成する工程と、
複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第1転写型と、前記基板の他方の面との間に第1の硬化性樹脂材料を介在させて、前記第1樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第1成形型から離型する工程と、
前記第1樹脂層が形成された前記基板を前記第1成形型から離型した後に、複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第2転写型と、前記基板の一方の面との間に少なくとも一部が前記絞り部に重なるように第2の硬化性樹脂材料を介在させて第2樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第2成形型から離型する工程と、を有することを特徴とする。
The method of manufacturing a wafer lens according to claim 4 includes: a substrate; two resin layers each having a molding surface that includes a plurality of optical surfaces provided on opposing surfaces of the substrate; and the substrate and one surface. A manufacturing method of a wafer lens comprising a diaphragm provided only between the first resin layers,
Forming the diaphragm portion on one surface of the substrate in association with the plurality of optical surfaces;
The first resin layer is formed by interposing a first curable resin material between a first transfer mold having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to a plurality of optical surfaces and the other surface of the substrate. A step of releasing the substrate from the first mold;
A second transfer mold having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to a plurality of optical surfaces after releasing the substrate on which the first resin layer is formed from the first mold; and one surface of the substrate; A step of releasing the substrate from the second mold after forming the second resin layer with the second curable resin material interposed so that at least a part of the second curable resin material is interposed between the second mold and the second mold. It is characterized by having.

本発明では、まず前記基板の絞り部がない一方の面に樹脂層を成形した後に、前記第1成形型から前記基板の離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図りつつ、離型を速く行うことができる。次いで、前記基板の他方の面に樹脂層を成形した後に、前記第2成形型から前記基板の離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っているのであり、これによりレンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。   In the present invention, first, after molding a resin layer on one surface of the substrate that does not have a diaphragm portion, the substrate is released from the first molding die, thereby suppressing the release of the lens and releasing the mold. Can be done fast. Next, after the resin layer is molded on the other surface of the substrate, the substrate is released from the second mold, thereby further suppressing the lens peeling, thereby generating the lens peeling. Can be minimized.

請求項5に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項4に記載の発明において、前記絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the wafer lens manufacturing method according to the fourth aspect of the invention, wherein the aperture portion is made of a black resist material attached to the substrate.

前記絞り部が、前記基板に付着される黒色レジスト材料であると、別体の絞り部材が不要になるとともに、ウエハレンズの光軸方向の厚みを小さくできる半面、離型時における基板との密着性が不足しやすく、本発明の効果が特に顕著である。   If the aperture is made of a black resist material attached to the substrate, a separate aperture member is not required, and the thickness of the wafer lens in the optical axis direction can be reduced. The effect of the present invention is particularly remarkable.

請求項6に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、前記硬化性樹脂材料は、前記複数の光学転写面毎に個別に付与されることを特徴とする。   The method for producing a wafer lens according to claim 6 is the invention according to any one of claims 1 to 5, wherein the curable resin material is individually applied to each of the plurality of optical transfer surfaces. And

前記硬化性樹脂材料は、前記複数の光学転写面に個別に付与されると、個片化する際の切断作業が容易になり、また、離型時に基板を撓ませやすくなる半面、剥離の起点がレンズ毎に生じやすくなるので、本発明の効果が特に顕著である。   When the curable resin material is individually applied to the plurality of optical transfer surfaces, the cutting work when separating into pieces becomes easy, and the half surface that makes it easy to bend the substrate at the time of mold release, the starting point of peeling Since this tends to occur for each lens, the effect of the present invention is particularly remarkable.

請求項7に記載のレンズユニットは、請求項1〜6のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを切断することにより形成されたことを特徴とする。   A lens unit according to a seventh aspect of the present invention is formed by cutting a wafer lens manufactured by the method for manufacturing a wafer lens according to any one of the first to sixth aspects.

請求項8に記載のレンズユニットは、請求項1〜6のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを積層した後、切断することにより形成されたことを特徴とする。   The lens unit according to claim 8 is formed by laminating wafer lenses manufactured by the method for manufacturing wafer lenses according to any one of claims 1 to 6 and then cutting the wafer lenses.

本発明によれば、成形型を用いて基板の両面に複数のレンズを成形した場合に、成形型より基板を離型する際に、離型に要する時間を短くし、かつ、離型時のレンズの剥離を抑制できるウエハレンズの製造方法及びそれにより製造されるレンズユニットを提供することができる。   According to the present invention, when a plurality of lenses are molded on both sides of a substrate using a mold, when the substrate is released from the mold, the time required for the mold release is shortened, and at the time of mold release It is possible to provide a wafer lens manufacturing method capable of suppressing lens peeling and a lens unit manufactured thereby.

第1の実施形態にかかるウエハレンズWLを製造する工程(a)〜(h)を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating process (a)-(h) which manufactures the wafer lens WL concerning 1st Embodiment. ウエハレンズWL、WL’を組み合わせて積層型レンズを製造する工程(a)、(b)を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating process (a), (b) which manufactures a lamination type lens combining wafer lens WL, WL '. 第2の実施形態にかかるウエハレンズWL”を製造する工程(a)〜(h)を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating process (a)-(h) which manufactures wafer lens WL "concerning 2nd Embodiment. ウエハレンズWLの斜視図である。It is a perspective view of wafer lens WL. (a)はレンズL1を光軸方向に見た図、(b)はレンズL2を光軸方向に見た図である。(A) is the figure which looked at the lens L1 in the optical axis direction, (b) is the figure which looked at the lens L2 in the optical axis direction.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、ウエハレンズの製造方法にかかる各工程を示す図であるが、レンズの形状やサイズは代表的な例を模式的に誇張して示したものであり、これに限定されるものではなく、種々変更可能である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing each process relating to a method of manufacturing a wafer lens, but the shape and size of the lens are schematically exaggerated and representative examples are not limited thereto. However, various modifications are possible.

(第1の実施形態)
まず、図1(a)に示すように、第1面S1と第2面S2を有する平行平板ガラス(もしくは樹脂)製の基板GPを準備し、図1(b)に示すように、基板GPの、第1面S1及び第2面S2に、黒色レジスト材料を塗布して、マスク露光及び現像を行うことにより、後述するレンズ部に対応する位置に等間隔に配置された、複数のドーナツ状の第1絞り部AP1及び第2絞り部AP2を形成する(図4も参照)。フォトリソ法等を用いて、絞り部を基板上に形成することで、金属製の絞り部材を別体で設ける必要がなく、光軸方向の厚みも小さくすることができる。なお、基板GPの厚みは0.2〜0.7mm程度であり、離型時にある程度撓ませることができるものである。絞り部の形成については、例えば特開2010−72665号公報に開示された技術を用いることができる。黒色塗料を用いてスクリーン印刷やインクジェットによる印刷で絞り部を形成してもよい。
(First embodiment)
First, as shown in FIG. 1A, a parallel plate glass (or resin) substrate GP having a first surface S1 and a second surface S2 is prepared, and as shown in FIG. By applying a black resist material to the first surface S1 and the second surface S2, and performing mask exposure and development, a plurality of donut shapes arranged at equal intervals at positions corresponding to lens portions to be described later First aperture portion AP1 and second aperture portion AP2 are formed (see also FIG. 4). By forming the aperture portion on the substrate using a photolithographic method or the like, it is not necessary to provide a metal aperture member separately, and the thickness in the optical axis direction can be reduced. The substrate GP has a thickness of about 0.2 to 0.7 mm, and can be bent to some extent at the time of mold release. For the formation of the aperture portion, for example, a technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-72665 can be used. You may form an aperture | diaphragm | squeeze part by screen printing or the printing by an inkjet using a black coating material.

次いで、光硬化性樹脂材料である第1の樹脂材料PL1を第1の成形型MD1のマトリクス状に並んだ複数のキャビティ(光学転写面)MD1c内に、適量だけ個別滴下する。
そして、図1(c)に示すように、第1の成形型MD1を基板GPに接近させ、基板GPの第1面S1上の第1絞り部AP1に対応する位置で、第1の樹脂材料PL1を基板GPと第1の成形型MD1とで挟み込む。
Next, an appropriate amount of the first resin material PL1 that is a photocurable resin material is individually dropped into a plurality of cavities (optical transfer surfaces) MD1c arranged in a matrix of the first mold MD1.
Then, as shown in FIG. 1C, the first molding material MD1 is brought close to the substrate GP, and the first resin material is formed at a position corresponding to the first aperture portion AP1 on the first surface S1 of the substrate GP. PL1 is sandwiched between the substrate GP and the first mold MD1.

かかる状態で、外部からUV光などの所定波長の光を照射することで第1の樹脂材料PL1が硬化するので、これにより基板GPの第1面S1に、第1のレンズ(第1樹脂層)L1が形成されることとなる。樹脂材料を個別滴下することで、光軸に垂直な方向に並ぶレンズ間に間隔ができるので、個片化の際にレンズの破損がしにくくなり、切断作業が容易になる。また、樹脂が基板全面を覆わないので、第1樹脂層成形後の離型時の基板の撓みを阻害しにくくなる。   In this state, the first resin material PL1 is cured by irradiating light of a predetermined wavelength such as UV light from the outside, so that the first lens (first resin layer) is formed on the first surface S1 of the substrate GP. ) L1 is formed. By individually dropping the resin material, a space can be formed between the lenses arranged in the direction perpendicular to the optical axis, so that the lens is less likely to be damaged during separation, and the cutting operation is facilitated. Further, since the resin does not cover the entire surface of the substrate, it is difficult to hinder the bending of the substrate at the time of mold release after the first resin layer molding.

次に、図1(d)に示すように、第1の成形型MD1を固定した状態で、基板GPの第1面S1の周囲の一部に楔状の(基板GPの一部を把持する構成でも良い。以下同じ)治具ZGを差し込み、第1の成形型MD1から遠ざかる方向に少しずつ移動させると、基板GPは治具ZG側から第1の成形型MD1より離型し離れてゆくが、このとき第1のレンズL1が基板GP上に貼り付いたまま離型される。尚、図1(e)に示すように、第1のレンズL1は、光学面OP1と、その周囲のフランジ部FL1とを有するが、その境界は、光学面OP1及びフランジ部FL1より第1面S1に近くなっている。即ち、フランジ部FL1は、第1の樹脂材料PL1の量がばらついたでも、キャビティMD1cから溢れないように機能する。光学面OP1及びフランジ部FL1の表面が成形面を構成する。   Next, as shown in FIG. 1D, a configuration in which a part of the periphery of the first surface S1 of the substrate GP is held in a wedge shape (a portion of the substrate GP is held) with the first molding die MD1 fixed. If the jig ZG is inserted and moved little by little in the direction away from the first mold MD1, the substrate GP is released from the first mold MD1 from the jig ZG side. At this time, the first lens L1 is released from the substrate GP while being stuck on the substrate GP. As shown in FIG. 1E, the first lens L1 has an optical surface OP1 and a flange portion FL1 around the optical surface OP1, but the boundary is the first surface from the optical surface OP1 and the flange portion FL1. It is close to S1. That is, the flange portion FL1 functions so as not to overflow from the cavity MD1c even if the amount of the first resin material PL1 varies. The surfaces of the optical surface OP1 and the flange portion FL1 constitute a molding surface.

ついで、図1(e)に示すように基板GPを反転し、第1のレンズL1を上面側とし、第2面S2を基板GPの下面側とする。なお、本実施形態では成形型に樹脂材料を供給しており、気泡の抑制等に有利であるが、これに限るものではなく、基板側に供給してもよい。   Next, as shown in FIG. 1E, the substrate GP is inverted so that the first lens L1 is on the upper surface side and the second surface S2 is on the lower surface side of the substrate GP. In the present embodiment, the resin material is supplied to the mold, which is advantageous for suppressing bubbles, but is not limited thereto, and may be supplied to the substrate side.

更に、光硬化性樹脂材料である第2の樹脂材料PL2を、上述したキャビティMD1cに対応して形成された第2の成形型MD2の一列又はマトリクス状に並んだ複数のキャビティ(光学転写面)MD2c内に、適量だけ個別滴下する。そして、図1(f)に示すように、第2の成形型MD2を基板GPに接近させ、基板GPの第2面S2上の第2絞り部AP2に対応する位置で、第2の樹脂材料PL2を基板GPと第2の成形型MD2とで挟み込む。   Further, a plurality of cavities (optical transfer surfaces) in which the second resin material PL2 that is a photo-curable resin material is arranged in a row or matrix of the second molding die MD2 formed corresponding to the cavities MD1c described above. An appropriate amount is individually dropped into MD2c. Then, as shown in FIG. 1 (f), the second molding material MD2 is brought close to the substrate GP, and the second resin material is formed at a position corresponding to the second aperture portion AP2 on the second surface S2 of the substrate GP. PL2 is sandwiched between the substrate GP and the second mold MD2.

かかる状態で、外部からUV光などの所定波長の光を照射することで第2の樹脂材料PL2が硬化するので、これにより基板GPの第2面S2に、第2のレンズ(第2樹脂層)L2が形成されることとなる。なお、第2樹脂材料は第1樹脂材料と同じものを用いてもよいし、異なる種類のものを用いてもよい。   In this state, the second resin material PL2 is cured by irradiating light of a predetermined wavelength such as UV light from the outside, so that the second lens (second resin layer) is formed on the second surface S2 of the substrate GP. ) L2 is formed. In addition, the 2nd resin material may use the same thing as a 1st resin material, and may use a different kind of thing.

次に、図1(g)に示すように、第2の成形型MD2を固定した状態で、基板GPの第2面S2の周囲の一部に楔状の治具ZGを差し込み、第2の成形型MD2から遠ざかる方向に移動させると、基板GPは治具ZG側から第2の成形型MD2より離型し離れてゆくが、このとき第2のレンズL2が基板GP上に貼り付いたまま離型される(図1(h))。これにより図4に示すようなウエハレンズWLが形成される。尚、図5(b)に示すように、第2のレンズL2も、光学面OP2と、その周囲のフランジ部FL2とを有するが、その境界は、光学面OP2及びフランジ部FL2より第2面S2に近くなっている。光学面OP2及びフランジ部FL2の表面が成形面を構成する。なお、図4には、基板の表面のレンズのみを図示されているが、基板の裏面にもレンズが形成されている。   Next, as shown in FIG. 1G, with the second molding die MD2 fixed, a wedge-shaped jig ZG is inserted into a part of the periphery of the second surface S2 of the substrate GP, and the second molding die is inserted. When the substrate GP is moved away from the mold MD2, the substrate GP is separated from the second mold MD2 from the jig ZG side, but at this time, the second lens L2 is detached from the substrate GP. Molded (FIG. 1 (h)). Thereby, a wafer lens WL as shown in FIG. 4 is formed. As shown in FIG. 5B, the second lens L2 also has an optical surface OP2 and a flange portion FL2 around the optical surface OP2, but the boundary is the second surface from the optical surface OP2 and the flange portion FL2. It is close to S2. The surfaces of the optical surface OP2 and the flange portion FL2 constitute a molding surface. 4 shows only the lens on the front surface of the substrate, the lens is also formed on the back surface of the substrate.

図5(a),(b)は、レンズL1、L2を光軸方向に見た図である。図5(a)、(b)を参照して、光軸方向から見たときに、第1絞り部AP1と第1のレンズL1との重複したドーナツ状の面積(上図中のハッチング領域)の内径がφ1で、外径がφ2であり、また第2絞り部AP2と第2のレンズL2との重複したドーナツ状の面積(下図中のハッチング領域)の内径がφ3で、外径がφ4であるときに、以下の式が成立する。
π((φ2−φ1)/2)2<π((φ4−φ3)/2)2 (1)
5A and 5B are views of the lenses L1 and L2 viewed in the optical axis direction. Referring to FIGS. 5A and 5B, when viewed from the optical axis direction, the overlapping donut-shaped area (hatching region in the upper diagram) of the first aperture part AP1 and the first lens L1. Has an inner diameter of φ1 and an outer diameter of φ2, and the inner diameter of the overlapping donut-shaped area (hatched area in the figure below) between the second aperture section AP2 and the second lens L2 is φ3, and the outer diameter is φ4. The following formula is established.
π ((φ2-φ1) / 2) 2 <π ((φ4-φ3) / 2) 2 (1)

本実施形態によれば、上述した式(1)に従い、第1絞り部AP1との重複した面積が小さい第1のレンズL1を成形した後に、第1の成形型MD1から基板GPの離型を行うことで、密着性の高いレンズを成形し、基板の裏面にレンズのない状態で基板を撓ませて離型を行うことにより、レンズ剥離の抑制を図りつつ、比較的短時間で離型を行うことができる。次いで、第1のレンズL1を成形した基板GPの反対側の第2面S2に第2のレンズL2を成形した後に、第2の成形型MD2から基板GPの離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っている。これにより、レンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。   According to this embodiment, after molding the first lens L1 having a small area overlapping with the first aperture part AP1 in accordance with the above-described formula (1), the substrate GP is released from the first mold MD1. By forming a lens with high adhesion, the substrate is bent without the lens on the back side of the substrate and then released, thereby releasing the lens in a relatively short time while suppressing lens peeling. It can be carried out. Next, after forming the second lens L2 on the second surface S2 on the opposite side of the substrate GP on which the first lens L1 is formed, the substrate GP is released from the second molding die MD2, thereby further increasing the lens. The suppression of peeling is aimed at. Thereby, generation | occurrence | production of lens peeling can be suppressed to the minimum.

更に、同様な工程を経て、基板GP’に第1のレンズL1’と第2のレンズL2’を有する別のウエハレンズWL’を形成した後に、基板GP、GP’に形成した不図示のアライメントマークなどを基準として、図2(a)に示すように、2つのウエハレンズWL、WL’の各レンズの光軸を合わせつつ、スペーサSPを介してウエハレンズWL、WL’を重ね合わせ、接着剤を塗布して固定する。   Further, through a similar process, after another wafer lens WL ′ having the first lens L1 ′ and the second lens L2 ′ is formed on the substrate GP ′, alignment not shown formed on the substrates GP and GP ′. As shown in FIG. 2A, the wafer lenses WL and WL ′ are superposed and bonded via the spacer SP while aligning the optical axes of the two wafer lenses WL and WL ′ with reference to the mark or the like. Apply and fix the agent.

その後、ウエハレンズWL及びWL’を接合した中間生成体IMから、基板の平面方向に並ぶレンズ間を、図2(a)に示す点線で示す位置でダイシングすることにより切断して、図2(b)に示すようなレンズユニットLSを得ることができる。尚、中間生成体IMを切断することなく、そのまま複眼用レンズユニットとして用いることもできる。つまり、平面方向に並ぶ各積層レンズ部がそれぞれ異なる位置に結像することで得られる複数の画像を合成してより解像度の高い画像を得るいわゆる複眼型撮像装置に用いられる複眼用レンズユニットとして用いることができる。本例のレンズユニットLSは、物体側から、物体側に凸の第1レンズL1,像側に凹の第2レンズL2,物体側に凸の第3レンズL2’、像側に凹の第4レンズL1’からなり、第2絞り部AP2の開口径が最も小さく、それより第1絞り部AP1及び第3絞り部AP2’の開口径が大きく、更に第4絞り部AP1’の開口径が最も大きくなっている。具体的な例としては、各レンズの重複部の面積の比率が、L1:L2:L1’:L2’=2.27:1.35:1.63:1.88とすることができる。もちろん、光学特性が損なわれない範囲でこれらの比率を変化させてもよい。絞り部とレンズとの重複部分の面積を光学特性が損なわれない範囲で変えることにより、離型時のレンズの剥離防止と離型時間の短縮とを両立させることができる。   Thereafter, the intermediate product IM obtained by bonding the wafer lenses WL and WL ′ is cut by dicing between the lenses arranged in the plane direction of the substrate at a position indicated by a dotted line shown in FIG. A lens unit LS as shown in b) can be obtained. The intermediate product IM can be used as it is as a compound eye lens unit without being cut. In other words, it is used as a compound eye lens unit used in a so-called compound eye type imaging device that obtains a higher resolution image by synthesizing a plurality of images obtained by forming images at different positions of the laminated lens portions arranged in the plane direction. be able to. The lens unit LS of this example includes, from the object side, a first lens L1 that is convex on the object side, a second lens L2 that is concave on the image side, a third lens L2 ′ that is convex on the object side, and a fourth lens that is concave on the image side. The aperture diameter of the second aperture section AP2 is the smallest, the aperture diameter of the first aperture section AP1 and the third aperture section AP2 ′ is larger than that, and the aperture diameter of the fourth aperture section AP1 ′ is the largest. It is getting bigger. As a specific example, the ratio of the area of the overlapping portion of each lens can be L1: L2: L1 ′: L2 ′ = 2.27: 1.35: 1.63: 1.88. Of course, these ratios may be changed as long as the optical characteristics are not impaired. By changing the area of the overlapping portion between the aperture portion and the lens within a range where the optical characteristics are not impaired, it is possible to achieve both prevention of peeling of the lens at the time of releasing and shortening of the releasing time.

(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態について、図3を参照して説明する。なお、以下の説明で説明した箇所以外は第1実施形態と同様である。まず、図3(a)に示すように、第1面S1と第2面S2を有する平行平板ガラス(もしくは樹脂)製の基板GPを準備するが、図3(b)に示すように、基板GPの第2面S2にのみ、等間隔にドーナツ状の黒いレジストを塗布して、第2絞り部AP2を形成する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. The portions other than those described in the following description are the same as those in the first embodiment. First, as shown in FIG. 3A, a parallel plate glass (or resin) substrate GP having a first surface S1 and a second surface S2 is prepared. As shown in FIG. Only on the second surface S2 of GP, a doughnut-shaped black resist is applied at equal intervals to form the second aperture part AP2.

次いで、光硬化性樹脂材料である第1の樹脂材料PL1を第1の成形型MD1の一列又はマトリクス状に並んだ複数のキャビティ(光学転写面)MD1c内に、適量だけ個別滴下する。これは上述した実施形態と同様な位置である。そして、図3(c)に示すように、第1の成形型MD1を基板GPに接近させ、第1の樹脂材料PL1を基板GPと第1の成形型MD1とで挟み込む。   Next, an appropriate amount of the first resin material PL1 that is a photocurable resin material is individually dropped into a plurality of cavities (optical transfer surfaces) MD1c arranged in a row or matrix of the first mold MD1. This is the same position as in the above-described embodiment. Then, as shown in FIG. 3C, the first mold MD1 is brought close to the substrate GP, and the first resin material PL1 is sandwiched between the substrate GP and the first mold MD1.

かかる状態で、外部からUV光などの所定波長の光を照射することで第1の樹脂材料PL1が硬化するので、これにより基板GPの第1面S1に、第1のレンズ(樹脂層)L1が形成されることとなる。   In this state, the first resin material PL1 is cured by irradiating light of a predetermined wavelength such as UV light from the outside, whereby the first lens (resin layer) L1 is formed on the first surface S1 of the substrate GP. Will be formed.

次に、図3(d)に示すように、第1の成形型MD1を固定した状態で、基板GPの第1面S1の周囲の一部に楔状の治具ZGを差し込み、第1の成形型MD1から遠ざかる方向に移動させると、基板GPは治具ZG側から第1の成形型MD1より離型し離れてゆくが、このとき第1のレンズL1が基板GP上に貼り付いたまま離型される。   Next, as shown in FIG. 3D, with the first molding die MD1 fixed, a wedge-shaped jig ZG is inserted into a part of the periphery of the first surface S1 of the substrate GP, and the first molding is performed. When the substrate GP is moved away from the mold MD1, the substrate GP is released from the first molding die MD1 from the jig ZG side, but at this time, the first lens L1 is detached from the substrate GP. Typed.

ついで、図3(e)に示すように基板GPを反転し、第1のレンズL1を上面側とし、第2面S2を基板GPの下面側とする。   Next, as shown in FIG. 3E, the substrate GP is inverted so that the first lens L1 is the upper surface side and the second surface S2 is the lower surface side of the substrate GP.

更に、光硬化性樹脂材料である第2の樹脂材料PL2を、上述したキャビティMD1cに対応して形成された第2の成形型MD2の一列又はマトリクス状に並んだ複数のキャビティ(光学転写面)MD2c内に、適量量だけ個別滴下する。そして、図3(f)に示すように、第2の成形型MD2を基板GPに接近させ、基板GPの第2面S2上の第2絞り部AP2に対応する位置で、第2の樹脂材料PL2を基板GPと第2の成形型MD2とで挟み込む。   Further, a plurality of cavities (optical transfer surfaces) in which the second resin material PL2 that is a photo-curable resin material is arranged in a row or matrix of the second molding die MD2 formed corresponding to the cavities MD1c described above. An appropriate amount is individually dropped into MD2c. Then, as shown in FIG. 3 (f), the second molding material MD2 is brought close to the substrate GP, and the second resin material is formed at a position corresponding to the second aperture portion AP2 on the second surface S2 of the substrate GP. PL2 is sandwiched between the substrate GP and the second mold MD2.

かかる状態で、外部からUV光などの所定波長の光を照射することで第2の樹脂材料PL2が硬化するので、これにより基板GPの第2面S2に、第2のレンズ(樹脂層)L2が形成されることとなる。   In this state, the second resin material PL2 is cured by irradiating light of a predetermined wavelength such as UV light from the outside, whereby the second lens (resin layer) L2 is formed on the second surface S2 of the substrate GP. Will be formed.

次に、図3(g)に示すように、第2の成形型MD2を固定した状態で、基板GPの第2面S2の周囲の一部に楔状の治具ZGを差し込み、第2の成形型MD2から遠ざかる方向に移動させると、基板GPは治具ZG側から第2の成形型MD2より離型し離れてゆくが、このとき第2のレンズL2が基板GP上に貼り付いたまま離型される。これにより第1面S1に絞り部がないウエハレンズWL”が形成される(図3(h))。   Next, as shown in FIG. 3G, with the second molding die MD2 fixed, a wedge-shaped jig ZG is inserted into a part of the periphery of the second surface S2 of the substrate GP, and the second molding die is inserted. When the substrate GP is moved away from the mold MD2, the substrate GP is separated from the second mold MD2 from the jig ZG side, but at this time, the second lens L2 is detached from the substrate GP. Typed. As a result, a wafer lens WL ″ having no diaphragm on the first surface S1 is formed (FIG. 3H).

本実施形態によれば、第1のレンズL1と基板GPとの間に絞り部がないので、第1のレンズL1を成形した後に、第1の成形型MD1から基板GPの離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図り、次いで、第1のレンズL1を成形した基板GPの反対側の第2面S2に第2のレンズL2を成形した後に、第2の成形型MD2から基板GPの離型を行うことで、第2の絞り部AP2が形成されていても、両面でのレンズ剥離の抑制を図ることができる。基板の一方の面には絞りがないため、レンズと基板の密着性が高く、基板を撓ませて離型することで速く離型を行うことができる。尚、このようにして形成されたウエハレンズWL”は、図2に示すように、別のウエハレンズと組み合わせて切断した後に、レンズユニットを形成できる。   According to the present embodiment, since there is no diaphragm portion between the first lens L1 and the substrate GP, the substrate GP is released from the first molding die MD1 after the first lens L1 is molded. The second lens L2 is then molded on the second surface S2 on the opposite side of the substrate GP on which the first lens L1 is molded, and then the substrate GP is removed from the second molding die MD2. By performing the mold release, it is possible to suppress lens peeling on both sides even when the second aperture part AP2 is formed. Since there is no diaphragm on one surface of the substrate, the adhesion between the lens and the substrate is high, and the mold can be released quickly by bending the substrate and releasing it. Incidentally, the wafer lens WL ″ formed in this way can form a lens unit after being cut in combination with another wafer lens, as shown in FIG.

本発明は、明細書に記載の実施形態に限定されるものではなく、他の変形例を含むことは、本明細書に記載された実施形態や技術思想から本分野の当業者にとって明らかである。明細書の記載及び実施形態は、あくまでも例証を目的としており、本発明の範囲は後述するクレームによって示されている。例えば、ウエハレンズの積層は2層のみならず、3層以上でも良い。又、レンズや絞り部の形状は円形に限られず、非円形でも良く、その場合でも、重複した領域の面積同士を比較する。   The present invention is not limited to the embodiments described in the specification, and it is apparent to those skilled in the art from the embodiments and technical ideas described in the present specification that other modifications are included. . The description and the embodiments are for illustrative purposes only, and the scope of the present invention is indicated by the following claims. For example, the wafer lens may be stacked not only in two layers but also in three or more layers. In addition, the shape of the lens and the diaphragm is not limited to a circle, and may be a non-circular shape. Even in this case, the areas of overlapping regions are compared with each other.

AP1 第1の絞り部
AP2 第2の絞り部
FL1 フランジ部
FL2 フランジ部
GP 基板
IM 中間生成体
L1 第1のレンズ
L2 第2のレンズ
LS レンズユニット
MD1 第1の成形型
MD1c キャビティ
MD2 第2の成形型
MD2c キャビティ
OP1 光学面
OP2 光学面
PL1 第1の樹脂材料
PL2 第2の樹脂材料
S1 第1面
S2 第2面
SP スペーサ
WL、WL’、WL” ウエハレンズ
ZG 治具
AP1 First aperture portion AP2 Second aperture portion FL1 Flange portion FL2 Flange portion GP Substrate IM Intermediate product L1 First lens L2 Second lens LS Lens unit MD1 First mold MD1c Cavity MD2 Second molding Mold MD2c Cavity OP1 Optical surface OP2 Optical surface PL1 First resin material PL2 Second resin material S1 First surface S2 Second surface SP Spacer WL, WL ′, WL ”Wafer lens ZG Jig

Claims (8)

基板と、前記基板の一方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第1樹脂層と、前記基板と前記第1樹脂層との間に設けられた第1絞り部と、前記基板の他方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第2樹脂層と、前記基板と前記第2樹脂層との間に設けられた第2絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第1絞り部を形成する工程と、
前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第1転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第1絞り部に重なるように第1の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第1転写型により前記成形面を有する前記第1樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第1成形型から離型する工程と、
前記基板の他方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第2絞り部を形成する工程と、
前記第1樹脂層が形成された前記基板を前記第1成形型から離型した後に、前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第2転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第2絞り部に重なるように第2の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第2転写型により前記成形面を有する前記第2樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第2成形型から離型する工程と、を有し、
光軸方向に見たときに、前記第1絞り部と前記第1樹脂層との重複した面積は、前記基板を挟んで対向する前記第2絞り部と前記第2樹脂層との重複した面積よりも小さいことを特徴とするウエハレンズの製造方法。
A substrate, a first resin layer provided on one surface of the substrate and having a molding surface including a plurality of optical surfaces, a first diaphragm provided between the substrate and the first resin layer, A wafer lens comprising a second resin layer provided on the other surface of the substrate and having a molding surface including a plurality of optical surfaces, and a second diaphragm portion provided between the substrate and the second resin layer. A manufacturing method of
Forming the first diaphragm portion on one surface of the substrate in association with the plurality of optical surfaces;
A first curable resin material is interposed between the first transfer mold having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to the plurality of optical surfaces and the substrate so that at least part of the first transfer mold overlaps the first diaphragm portion. Molding the first resin layer having the molding surface with the first transfer mold;
Releasing the substrate from the first mold;
Forming the second diaphragm portion on the other surface of the substrate in association with the plurality of optical surfaces;
After releasing the substrate on which the first resin layer is formed from the first molding die, between the second transfer die having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to the plurality of optical surfaces, and the substrate A step of interposing a second curable resin material so that at least a part of the second squeezing portion overlaps, and molding the second resin layer having the molding surface by the second transfer mold;
Releasing the substrate from the second mold, and
When viewed in the optical axis direction, the overlapping area between the first diaphragm and the first resin layer is the overlapping area between the second diaphragm and the second resin layer facing each other across the substrate. A method for producing a wafer lens, wherein the method is smaller.
前記第1絞り部と前記第2絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする請求項1に記載のウエハレンズの製造方法。   2. The method of manufacturing a wafer lens according to claim 1, wherein the first aperture portion and the second aperture portion are made of a black resist material attached to the substrate. 前記第1絞り部と前記第1樹脂層との重複した面積は、3mm2以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハレンズの製造方法。3. The method for manufacturing a wafer lens according to claim 1, wherein an overlapping area between the first aperture portion and the first resin layer is 3 mm 2 or less. 4. 基板と、前記基板の対向する面上にそれぞれ設けられ複数の光学面を含む成形面を有する2つの樹脂層と、前記基板と一方の面上の第1樹脂層の間にのみに設けられた絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記絞り部を形成する工程と、
複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第1転写型と、前記基板の他方の面との間に第1の硬化性樹脂材料を介在させて、前記第1樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第1成形型から離型する工程と、
前記第1樹脂層が形成された前記基板を前記第1成形型から離型した後に、複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第2転写型と、前記基板の一方の面との間に少なくとも一部が前記絞り部に重なるように第2の硬化性樹脂材料を介在させて第2樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第2成形型から離型する工程と、を有することを特徴とするウエハレンズの製造方法。
Provided only between the substrate, two resin layers provided on opposite surfaces of the substrate, each having a molding surface including a plurality of optical surfaces, and the first resin layer on one surface A method for producing a wafer lens comprising a diaphragm unit,
Forming the diaphragm portion on one surface of the substrate in association with the plurality of optical surfaces;
The first resin layer is formed by interposing a first curable resin material between a first transfer mold having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to a plurality of optical surfaces and the other surface of the substrate. A step of releasing the substrate from the first mold;
A second transfer mold having a plurality of optical transfer surfaces corresponding to a plurality of optical surfaces after releasing the substrate on which the first resin layer is formed from the first mold; and one surface of the substrate; A step of releasing the substrate from the second mold after forming the second resin layer with the second curable resin material interposed so that at least a part of the second curable resin material is interposed between the second mold and the second mold. A method for producing a wafer lens, comprising:
前記絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする請求項4に記載のウエハレンズの製造方法。   The method of manufacturing a wafer lens according to claim 4, wherein the aperture portion is made of a black resist material attached to the substrate. 前記硬化性樹脂材料は、前記複数の光学転写面毎に個別に付与されることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法。   The method of manufacturing a wafer lens according to claim 1, wherein the curable resin material is individually applied to each of the plurality of optical transfer surfaces. 請求項1〜6のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを切断することにより形成されたことを特徴とする撮像レンズ。   An imaging lens formed by cutting a wafer lens manufactured by the method for manufacturing a wafer lens according to claim 1. 請求項1〜6のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを積層した後、切断することにより形成されたことを特徴とする撮像レンズ。   An imaging lens formed by laminating and then cutting wafer lenses manufactured by the wafer lens manufacturing method according to claim 1.
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