JPWO2013105280A1 - 発電装置 - Google Patents
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- H10N35/101—Magnetostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. generators, sensors
Abstract
Description
まず、第1実施形態による振動発電装置(発電装置)の製造方法について説明する。図1A〜図10Aは、第1実施形態による振動発電装置の主要な製造工程を示す概略平面図である。図1B〜図10Bは、図1A等の平面図の一点鎖線A−A′方向(紙面左右方向)に沿った概略断面図である。図1C〜図10Cは、図1A等の平面図の一点鎖線B−B′方向(紙面上下方向)に沿った概略断面図である。
次に、第2実施形態による振動発電装置の製造方法について説明する。第2実施形態は、第1実施形態と、コイルの構造が異なる。図12A〜図19Aは、第2実施形態による振動発電装置の主要な製造工程を示す概略平面図である。図12B〜図19Bは、図12A等の平面図の一点鎖線A−A′方向(長さ方向)に沿った概略断面図であり、図12C〜図19Cは、図12A等の平面図の一点鎖線B−B′方向(幅方向)に沿った概略断面図である。
図21A〜図24Aは、第3実施形態による振動発電装置の主要な製造工程を示す概略平面図である。図21B〜図24Bは、図21A等の平面図の一点鎖線A−A′方向(長さ方向)に沿った概略断面図であり、図21C〜図24Cは、図21A等の平面図の一点鎖線B−B′方向(幅方向)に沿った概略断面図である。
図25A及び図26Aは、第4実施形態による振動発電装置の主要な製造工程を示す概略平面図である。図25B及び図26Bは、図25A等の平面図の一点鎖線A−A′方向(長さ方向)に沿った概略断面図であり、図25C及び図26Cは、図25A等の平面図の一点鎖線B−B′方向(幅方向)に沿った概略断面図である。
次に、評価結果について図28乃至図32を用いて説明する。
以上実施形態に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
2、22…凹部
3、23…銅層
4、24…靭性層
5、25…絶縁層
6…コイル下層部分
26…下側平面ラダーコイル
7、27…絶縁層
8、28…磁歪層
9、29…絶縁層
10…コイル上層部分
30…上側平面ラダーコイル
11…(第1実施形態の)コイル
31…(第2実施形態の)コイル構造
12、32…絶縁層
13、33…錘
14、34…振動部材
15、35…シール層
16、36…磁石
17、37…キャップ
18、38…磁場印加部材
6a、10a…Cu線
11a、11c…引き出し線
11b…コイル主部分
26b、30b…Cu線
26a、26c、30a、30c…引き出し線
39…整流蓄電回路
41…靭性層
42…コイル下層部分
43…絶縁層
44…磁歪層
45…絶縁層
46…コイル上層部分
47…コイル
48…絶縁層
49…錘
50…振動部材
51…支持基板
52…凹部
53…シール材
54…磁石
55…キャップ
61…靭性層
62…磁歪層
63…錘
64…振動部材
65…支持基板
66…凹部
67…シール材
68…磁石
69…支持基板
70…コイル
104…靭性層
108…磁歪層
113…錘、磁石
114…振動部材
116…磁石
201…支持体
208a、208b…磁歪板
211a、211b…コイル
213…錘
214…振動部材
216a、216b…磁石
217…バックヨーク
220a、220b…連結ヨーク
301…支持体
308a、308b…磁歪板
311a、311b…コイル
314…振動部材
316a、316b…磁石
317…バックヨーク
320a、320b…連結ヨーク
Claims (23)
- 靭性層、及び、前記靭性層上方に積層され磁歪材料で形成された磁歪層を含み、前記靭性層は、前記磁歪材料よりも引張強度が高い靭性材料で形成されている、振動部材と、
前記振動部材が厚さ方向に振動可能に取り付けられた支持部材と、
前記磁歪層に磁場を印加する磁場印加部材と、
前記磁歪層の周りに配置されたコイルと
を有することを特徴とする発電装置。 - 前記靭性層は、前記磁歪層よりも厚く形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の発電装置。 - 前記磁歪層は、厚さが1000μm以下である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の発電装置。 - 前記靭性層は、厚さが1000μm以下である
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、引張強度が1000MPa以上である
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、ヤング率が150GPa以下である
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、弾性限界伸びが0.5%以上である
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、金属ガラスもしくはゴムメタル(登録商標)である
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、超弾性合金である
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、シリコンである
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、セラミクスである
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記靭性材料は、高分子材料である
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記コイルは、前記振動部材と一体的に形成されている
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記コイルは、前記磁歪層を取り巻き、下側部分が前記靭性層と前記磁歪層との間に配置されている
ことを特徴とする請求項13に記載の発電装置。 - 前記コイルは、前記磁歪層の上方及び下方の少なくとも一方に配置された平面ラダーコイルを含む
ことを特徴とする請求項13に記載の発電装置。 - 前記平面ラダーコイルは、前記磁歪層の下方に配置され、前記靭性層と前記磁歪層との間に配置されている
ことを特徴とする請求項15に記載の発電装置。 - 前記振動部材は、前記磁歪層を取り囲む絶縁層をさらに有し、
前記コイルは、前記絶縁層に埋め込まれている
ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記磁場印加部材は、前記振動部材を収める容器を兼ねる
ことを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の発電装置。 - さらに、前記振動部材を収める容器を有し、
前記コイルは、前記容器の周りに巻かれている
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記容器は、内部が真空または減圧状態にされている
ことを特徴とする請求項18または19に記載の発電装置。 - 前記振動部材に錘が取り付けられている
ことを特徴とする請求項1乃至20のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記錘は、磁石である
ことを特徴とする請求項21に記載の発電装置。 - 前記錘は、前記振動部材の先端側に形成されている
ことを特徴とする請求項21または22に記載の発電装置。
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JP7285424B2 (ja) * | 2019-01-29 | 2023-06-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 振動発電デバイスの製造方法及び磁歪部品の製造方法 |
JP2020198693A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | キヤノン株式会社 | 発電素子、および発電素子を用いた装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4754441A (en) * | 1986-12-12 | 1988-06-28 | Image Acoustics, Inc. | Directional flextensional transducer |
JPH0990065A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Seiko Epson Corp | 発電装置付携帯機器 |
JP2006521198A (ja) * | 2003-03-03 | 2006-09-21 | アダプティブ マテリアルズ テクノロジー オイ | 磁歪性材料を含む減衰・作動装置、振動減衰デバイス、および上記装置の使用方法 |
WO2010029715A1 (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
JP2010206950A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Tokyo Institute Of Technology | アクチュエータ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3614677A (en) * | 1966-04-29 | 1971-10-19 | Ibm | Electromechanical monolithic resonator |
US4339247A (en) * | 1981-04-27 | 1982-07-13 | Battelle Development Corporation | Acoustic degasification of pressurized liquids |
US6570474B2 (en) * | 2000-02-22 | 2003-05-27 | Siemens Automotive Corporation | Magnetostrictive electronic valve timing actuator |
JP2009524935A (ja) * | 2006-01-25 | 2009-07-02 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティー オブ カリフォルニア | 双安定強磁性体を利用する熱機械デバイスによるエネルギー収穫 |
US7345372B2 (en) * | 2006-03-08 | 2008-03-18 | Perpetuum Ltd. | Electromechanical generator for, and method of, converting mechanical vibrational energy into electrical energy |
US8081082B2 (en) * | 2009-05-27 | 2011-12-20 | International Business Machines Corporation | Monitoring patterns of motion |
CN101621258B (zh) * | 2009-08-06 | 2012-06-27 | 上海交通大学 | 基于压电晶体频率转换机构的微型发电装置 |
KR20110026644A (ko) * | 2009-09-08 | 2011-03-16 | 한국전자통신연구원 | 압전 에너지 하베스트 소자 및 그 제조 방법 |
CN101764532B (zh) * | 2010-02-01 | 2012-05-16 | 上海交通大学 | 压电超磁致伸缩复合式宽频振动能量采集器 |
CN102986129B (zh) * | 2010-06-18 | 2016-01-20 | 国立大学法人金泽大学 | 发电元件及具备发电元件的发电装置 |
-
2012
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-
2014
- 2014-06-19 US US14/309,109 patent/US9806592B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4754441A (en) * | 1986-12-12 | 1988-06-28 | Image Acoustics, Inc. | Directional flextensional transducer |
JPH0990065A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Seiko Epson Corp | 発電装置付携帯機器 |
JP2006521198A (ja) * | 2003-03-03 | 2006-09-21 | アダプティブ マテリアルズ テクノロジー オイ | 磁歪性材料を含む減衰・作動装置、振動減衰デバイス、および上記装置の使用方法 |
WO2010029715A1 (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
JP2010206950A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Tokyo Institute Of Technology | アクチュエータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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