JPWO2013105208A1 - Linear motor - Google Patents

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Abstract

筒状のコイルを有する可動子と、コイルの内部を貫通するシャフト状の固定子とを備えたリニアモータにおいて、可動子が、(a)コイルの外周面を覆うように配設された磁性体と、(b)磁性体の外周面に取り付けられる集熱部と、集熱部から連続し、コイルの径方向外側に向かって延び出す放熱部とを有する放熱部材とを備えるように構成する。この構成により、コイル内に磁束を効率的に流すことが可能となり、モータの高推力化を図ることが可能となる。また、コイルに生じた熱を効率的にコイルの外部に放出することが可能となり、放熱特性を向上させることが可能となる。In a linear motor provided with a mover having a cylindrical coil and a shaft-like stator that penetrates the inside of the coil, the mover is (a) a magnetic body disposed so as to cover the outer peripheral surface of the coil And (b) a heat-dissipating member having a heat-collecting part attached to the outer peripheral surface of the magnetic body and a heat-dissipating part that is continuous from the heat-collecting part and extends outward in the radial direction of the coil. With this configuration, the magnetic flux can be efficiently passed through the coil, and the motor can be increased in thrust. In addition, heat generated in the coil can be efficiently released to the outside of the coil, and heat dissipation characteristics can be improved.

Description

本発明は、可動部が筒状のコイルを有し、固定子がコイルの内部を貫通するリニアモータに関するものである。   The present invention relates to a linear motor in which a movable part has a cylindrical coil and a stator penetrates the inside of the coil.

リニアモータには、可動部が筒状のコイルを有し、固定子がコイルの内部を貫通する構造のものがあり、シャフトモータと呼ばれている。シャフトモータ等のリニアモータにおいては、駆動時にコイルが発熱するという問題があり、コイルの放熱特性を向上させることが望まれている。また、モータとしての能力を向上させるべく、高推力化を図ることも望まれている。下記特許文献には、コイルの放熱特性の向上、高推力化を図るための技術が記載されている。   Some linear motors have a structure in which a movable portion has a cylindrical coil and a stator penetrates the inside of the coil, and is called a shaft motor. A linear motor such as a shaft motor has a problem that the coil generates heat during driving, and it is desired to improve the heat dissipation characteristics of the coil. It is also desired to increase the thrust in order to improve the ability as a motor. The following patent documents describe techniques for improving the heat dissipation characteristics and increasing the thrust of the coil.

特開平9−182408号公報JP-A-9-182408 特開2002−247830号公報JP 2002-247830 A

上記特許文献に記載されたリニアモータによれば、ある程度、放熱特性の向上および、高推力化を図ることは可能である。しかしながら、改良の余地は多分に残されており、更なる放熱特性の向上および、高推力化を図ることが望まれている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、更なる放熱特性の向上および、高推力化を図ることが可能なリニアモータを提供することを課題とする。   According to the linear motor described in the above-mentioned patent document, it is possible to improve the heat dissipation characteristics and increase the thrust to some extent. However, there is still much room for improvement, and it is desired to further improve the heat dissipation characteristics and increase the thrust. This invention is made | formed in view of such a situation, and makes it a subject to provide the linear motor which can aim at the further improvement of a thermal radiation characteristic, and high thrust.

上記課題を解決するために、本願の請求項1に記載のリニアモータは、筒状のコイルを有する可動子と、前記コイルの内部を貫通するシャフト状の固定子とを備え、前記可動子が、前記コイルの外周面を覆うように配設された磁性体と、その磁性体の外周面に取り付けられる集熱部と、その集熱部から連続し、前記コイルの径方向外側に向かって延び出す放熱部とを有する放熱部材とを備えるように構成される。   In order to solve the above problems, a linear motor according to claim 1 of the present application includes a mover having a cylindrical coil and a shaft-like stator that penetrates the inside of the coil, and the mover is A magnetic body disposed so as to cover the outer peripheral surface of the coil, a heat collecting portion attached to the outer peripheral surface of the magnetic body, and continuous from the heat collecting portion and extending outward in the radial direction of the coil. A heat dissipating member having a heat dissipating part.

また、請求項2に記載のリニアモータは、請求項1に記載のリニアモータにおいて、前記磁性体が、電磁鋼により成形されるように構成される。   According to a second aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein the magnetic body is formed of electromagnetic steel.

また、請求項3に記載のリニアモータは、請求項1または請求項2に記載のリニアモータにおいて、前記磁性体の飽和磁束密度が、1.8T以上であるように構成される。   According to a third aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first or second aspect, wherein the magnetic material has a saturation magnetic flux density of 1.8 T or more.

また、請求項4に記載のリニアモータは、請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載のリニアモータにおいて、前記磁性体の熱伝導率が、20W/(m・K)以上であるように構成される。   The linear motor according to claim 4 is the linear motor according to any one of claims 1 to 3, wherein the thermal conductivity of the magnetic body is 20 W / (m · K) or more. Configured as follows.

また、請求項5に記載のリニアモータは、請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載のリニアモータにおいて、前記磁性体が、筒状とされており、軸方向に延びるように形成された切欠き部を有するように構成される。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to any one of the first to fourth aspects, wherein the magnetic body has a cylindrical shape and extends in the axial direction. It is comprised so that it may have the notch part made.

また、請求項6に記載のリニアモータは、請求項5に記載のリニアモータにおいて、前記磁性体の径方向の厚さが、0.5mm以上であるように構成される。   A linear motor according to a sixth aspect is the linear motor according to the fifth aspect, wherein the radial thickness of the magnetic body is 0.5 mm or more.

また、請求項7に記載のリニアモータは、請求項1ないし請求項6のいずれか1つに記載のリニアモータにおいて、前記集熱部が、前記磁性体の外周面に沿って配設され、前記放熱部が、前記可動子のハウジングの外部に延び出し、前記可動子が、前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入されるスペーサを有するように構成される。   The linear motor according to claim 7 is the linear motor according to any one of claims 1 to 6, wherein the heat collecting portion is disposed along an outer peripheral surface of the magnetic body. The heat radiating portion extends outside the housing of the mover, and the mover includes a spacer that is press-fitted between the heat collecting portion and the housing.

また、請求項8に記載のリニアモータは、請求項7に記載のリニアモータにおいて、前記スペーサが、楔状とされるように構成される。   According to an eighth aspect of the present invention, in the linear motor according to the seventh aspect, the spacer is configured to have a wedge shape.

また、請求項9に記載のリニアモータは、請求項7または請求項8に記載のリニアモータにおいて、前記スペーサが、前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入された状態で、前記集熱部の外周面に沿って変形するように構成される。   The linear motor according to claim 9 is the linear motor according to claim 7 or 8, wherein the spacer is press-fitted between the heat collecting portion and the housing. It is comprised so that it may deform | transform along the outer peripheral surface of a part.

また、請求項10に記載のリニアモータは、請求項1ないし請求項6のいずれか1つに記載のリニアモータにおいて、前記集熱部が、半田付けによって前記磁性体の外周面に固定的に取り付けられるように構成される。   The linear motor according to claim 10 is the linear motor according to any one of claims 1 to 6, wherein the heat collecting portion is fixed to the outer peripheral surface of the magnetic body by soldering. Configured to be attached.

請求項1に記載のリニアモータでは、コイルの外周面を覆うように、磁性体が配設される。リニアモータでは、通常、永久磁石によって発生させられる磁束がコイル内を流れており、コイルに駆動電流が供給されることで、コイル内を流れる磁束とコイルに供給される電流との相互作用により、推力が発生させられる。このため、コイルの外周面を磁束の流れ易い磁性体によって覆うことで、永久磁石によって発生させられる磁束を、効率的にコイル内に流すことが可能となり、効率的に推力を発生させることが可能となる。つまり、磁性体がヨークとして機能し、磁性体によって、コイル内を流れる磁束が、効率よく推力に変換可能な方向に集中させられることで、高推力化を図ることが可能となる。   In the linear motor according to the first aspect, the magnetic body is disposed so as to cover the outer peripheral surface of the coil. In a linear motor, normally, a magnetic flux generated by a permanent magnet flows in the coil, and when a drive current is supplied to the coil, the interaction between the magnetic flux flowing in the coil and the current supplied to the coil Thrust is generated. For this reason, by covering the outer peripheral surface of the coil with a magnetic material that allows easy flow of magnetic flux, the magnetic flux generated by the permanent magnet can be efficiently flowed into the coil, and thrust can be generated efficiently. It becomes. That is, the magnetic body functions as a yoke, and the magnetic body allows the magnetic flux flowing in the coil to be concentrated in a direction that can be efficiently converted into a thrust, thereby achieving high thrust.

さらに、請求項1に記載のリニアモータでは、放熱部材の集熱部が、磁性体の外周面に取り付けられ、放熱部材の放熱部が、コイルの径方向外側に向かって延び出している。これにより、コイルの熱を好適にモータの外部に放出することが可能となる。詳しく言えば、コイルの熱は、コイルの外周面に設けられた磁性体に伝達される。磁性体では、一般的に、磁束が流れ易いだけでなく、熱も伝達し易いことから、効率的にコイルの熱が磁性体に伝達される。そして、磁性体に伝達された熱は、磁性体の外周面を覆う集熱部に伝達され、コイルの外部に延び出す放熱部から放出される。これにより、コイルの熱を好適にモータの外部に放出することが可能となり、放熱特性に優れたリニアモータを実現することが可能となる。   Furthermore, in the linear motor according to the first aspect, the heat collecting portion of the heat radiating member is attached to the outer peripheral surface of the magnetic body, and the heat radiating portion of the heat radiating member extends outward in the radial direction of the coil. Thereby, it becomes possible to discharge | release the heat of a coil suitably to the exterior of a motor. More specifically, the heat of the coil is transmitted to a magnetic body provided on the outer peripheral surface of the coil. In a magnetic body, in general, not only the magnetic flux easily flows but also the heat is easily transmitted, so that the heat of the coil is efficiently transmitted to the magnetic body. And the heat transmitted to the magnetic body is transmitted to the heat collecting section that covers the outer peripheral surface of the magnetic body, and is released from the heat radiating section that extends to the outside of the coil. Thereby, it becomes possible to discharge | release the heat | fever of a coil suitably to the exterior of a motor, and it becomes possible to implement | achieve the linear motor excellent in the thermal radiation characteristic.

また、請求項2に記載のリニアモータでは、磁性体が電磁鋼により成形されている。電磁鋼の磁束密度,透磁率等は高く、電磁鋼内を、磁束は流れ易い。このため、請求項2に記載のリニアモータによれば、効率的にモータの高推力化を図ることが可能となる。なお、本項に記載の「電磁鋼」は、鉄にケイ素を添加することによって製造される電磁鋼、所謂、ケイ素鋼であってもよく、ケイ素を含まない電磁鋼であってもよい。   In the linear motor according to claim 2, the magnetic body is formed of electromagnetic steel. Magnetic steel has high magnetic flux density, magnetic permeability, etc., and magnetic flux easily flows in the magnetic steel. For this reason, according to the linear motor of Claim 2, it becomes possible to aim at the high thrust of a motor efficiently. The “electromagnetic steel” described in this section may be an electromagnetic steel manufactured by adding silicon to iron, so-called silicon steel, or an electromagnetic steel not containing silicon.

また、請求項3に記載のリニアモータでは、磁性体の飽和磁束密度が、1.8T以上とされており、磁束の流れ易い磁性体によって、コイルの外周面が覆われる。これにより、高い推力を発生可能なリニアモータを実現することが可能となる。   In the linear motor according to claim 3, the saturation magnetic flux density of the magnetic material is set to 1.8 T or more, and the outer peripheral surface of the coil is covered with the magnetic material in which the magnetic flux easily flows. Thereby, a linear motor capable of generating high thrust can be realized.

また、請求項4に記載のリニアモータでは、磁性体の熱伝導率が、20W/(m・K)以上とされており、熱が伝達され易くなっている。これにより、コイルの熱を好適に放熱部材に伝達することが可能となる。   In the linear motor according to the fourth aspect, the thermal conductivity of the magnetic material is 20 W / (m · K) or more, and heat is easily transmitted. Thereby, it becomes possible to transmit the heat of a coil to a heat radiating member suitably.

また、請求項5に記載のリニアモータでは、磁性体が筒状とされており、軸方向に延びる切欠き部が形成されている。これにより、磁性体によって、コイルの外周面の略全周を覆うとともに、切欠き部を介して、コイルへの通電を行うための配線を行うことが可能となる。   In the linear motor according to the fifth aspect, the magnetic body is formed in a cylindrical shape, and a notch extending in the axial direction is formed. As a result, the magnetic body covers substantially the entire circumference of the outer peripheral surface of the coil, and wiring for energizing the coil can be performed through the notch.

また、請求項6に記載のリニアモータでは、磁性体の厚さが0.5mm以上とされている。磁性体の厚さが薄すぎると、磁束が飽和し易くなり、磁束が流れ難くなる。このため、請求項6に記載のリニアモータによれば、磁束の流れ易さを担保することが可能となる。   In the linear motor according to claim 6, the thickness of the magnetic body is set to 0.5 mm or more. If the thickness of the magnetic material is too thin, the magnetic flux is easily saturated and the magnetic flux is difficult to flow. For this reason, according to the linear motor of Claim 6, it becomes possible to ensure the easiness of the flow of magnetic flux.

また、請求項7に記載のリニアモータでは、放熱部材の集熱部と可動子のハウジングとの間に、スペーサが圧入されており、スペーサによって、集熱部が磁性体の外周面に向かって押し付けられる。これにより、集熱部と磁性体とを確実に密着させるとともに、集熱部と磁性体との密着面積を大きくすることが可能となる。したがって、請求項7に記載のリニアモータによれば、コイル内で生じた熱が、磁性体から放熱部材の集熱部に伝達され易くなり、更なる放熱特性の向上を図ることが可能となる。   In the linear motor according to claim 7, a spacer is press-fitted between the heat collecting portion of the heat radiating member and the housing of the mover, and the heat collecting portion is directed toward the outer peripheral surface of the magnetic body by the spacer. Pressed. As a result, the heat collecting part and the magnetic body can be reliably brought into close contact with each other, and the contact area between the heat collecting part and the magnetic body can be increased. Therefore, according to the linear motor of the seventh aspect, the heat generated in the coil is easily transmitted from the magnetic body to the heat collecting portion of the heat radiating member, and it is possible to further improve the heat radiation characteristics. .

また、請求項8に記載のリニアモータでは、スペーサが楔状とされている。これにより、集熱部とハウジングとの間にスペーサを容易に圧入することが可能となり、集熱部と磁性体とを好適に密着させることが可能となる。   In the linear motor according to the eighth aspect, the spacer has a wedge shape. As a result, the spacer can be easily press-fitted between the heat collecting part and the housing, and the heat collecting part and the magnetic body can be suitably brought into close contact with each other.

また、請求項9に記載のリニアモータでは、集熱部とハウジングとの間に圧入されたスペーサが、集熱部の外周面に沿って変形する。これにより、集熱部の磁性体への過剰な押し付けを抑制することが可能となり、集熱部と磁性体との間にかかる荷重の過剰な増大を抑制することが可能となる。   In the linear motor according to the ninth aspect, the spacer press-fitted between the heat collecting portion and the housing is deformed along the outer peripheral surface of the heat collecting portion. Thereby, it is possible to suppress excessive pressing of the heat collecting part to the magnetic body, and it is possible to suppress an excessive increase in the load applied between the heat collecting part and the magnetic body.

また、請求項10に記載のリニアモータでは、集熱部と磁性体とが半田付けによって接合されている。これにより、熱伝導率の高い半田を介して、コイルに生じた熱を、磁性体から集熱部に伝達することが可能となり、放熱特性を向上させることが可能となる。   In the linear motor according to claim 10, the heat collecting part and the magnetic body are joined by soldering. Thereby, the heat generated in the coil can be transmitted from the magnetic body to the heat collecting part via the solder having high thermal conductivity, and the heat dissipation characteristics can be improved.

本発明の実施例であるシャフトモータを備える電子部品装着機を示す平面図である。It is a top view which shows an electronic component mounting machine provided with the shaft motor which is an Example of this invention. 図1に示す電子部品装着機の備えるシャフトモータを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shaft motor with which the electronic component mounting machine shown in FIG. 1 is provided. 図2に示すシャフトモータをハウジングおよび樹脂モールドを除いた状態で示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shaft motor shown in FIG. 2 in the state which removed the housing and the resin mold. 変形例1のシャフトモータを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shaft motor of the modification 1. 変形例2のシャフトモータを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shaft motor of the modification 2. 変形例3のシャフトモータを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shaft motor of the modification 3. 変形例4のシャフトモータを樹脂モールドを除いた状態で示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shaft motor of the modification 4 in the state except the resin mold. 変形例5のシャフトモータをハウジングおよび樹脂モールドを除いた状態で示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shaft motor of the modification 5 in the state which removed the housing and the resin mold.

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例および変形例を、図を参照しつつ詳しく説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments and modifications of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as modes for carrying out the present invention.

<電子部品装着機の構成>
図1に、電子部品装着機10を示す。図1は、上部カバーを取り除いた状態での電子部品装着機10を上方からの視点において示した概略平面図である。電子部品装着機10は、回路基板12に対して電子回路部品(以下、「電子部品」と略す)の装着作業を行うものであり、回路基板12を搬送する搬送装置14と、回路基板に対して電子部品を装着する作業ヘッド16と、その作業ヘッド16を移動させる移動装置18と、電子部品を供給する1対の供給装置20,22とを備えている。
<Configuration of electronic component mounting machine>
FIG. 1 shows an electronic component mounting machine 10. FIG. 1 is a schematic plan view showing the electronic component mounting machine 10 with the upper cover removed from a viewpoint from above. The electronic component mounting machine 10 performs an operation of mounting an electronic circuit component (hereinafter abbreviated as “electronic component”) on the circuit board 12, and includes a transport device 14 that transports the circuit board 12, and a circuit board. A work head 16 for mounting the electronic component, a moving device 18 for moving the work head 16, and a pair of supply devices 20 and 22 for supplying the electronic component.

搬送装置14は、ベース28上に設けられた1対のコンベアベルト30を有しており、それら1対のコンベアベルト30を電磁モータ(図示省略)によって周回させることで、コンベアベルト30に支持される回路基板12を搬送する構造とされている。また、搬送装置14は、基板保持装置32を有しており、所定の位置(図での回路基板12が図示されている位置)において回路基板12を固定的に保持する構造とされている。なお、本実施例では、搬送装置14による回路基板12の搬送方向(図1における左右方向)をX軸方向とし、その方向に直角な方向をY軸方向と称し、説明を行う。   The transport device 14 has a pair of conveyor belts 30 provided on a base 28, and is supported by the conveyor belt 30 by rotating the pair of conveyor belts 30 by an electromagnetic motor (not shown). The circuit board 12 is transported. Further, the transfer device 14 includes a substrate holding device 32, and is configured to hold the circuit board 12 in a fixed position (a position where the circuit board 12 in the drawing is illustrated). In the present embodiment, the transport direction of the circuit board 12 by the transport device 14 (the left-right direction in FIG. 1) is referred to as an X-axis direction, and a direction perpendicular to the direction is referred to as a Y-axis direction.

また、1対の供給装置20,22は、搬送装置14を挟むようにして、ベース28のY軸方向における両側部に配設されている。それら1対の供給装置20,22の各々は、フィーダ型の供給装置とされており、テーピング化された電子部品を保持して1つずつ電子部品を送り出すテープフィーダ36を複数有している。そして、それら複数のテープフィーダ36の各々によって、作業ヘッド16への供給位置に電子部品を供給する構造とされている。   Further, the pair of supply devices 20 and 22 are disposed on both side portions of the base 28 in the Y-axis direction so as to sandwich the transport device 14. Each of the pair of supply devices 20 and 22 is a feeder-type supply device, and has a plurality of tape feeders 36 that hold the taped electronic components and send out the electronic components one by one. Each of the plurality of tape feeders 36 is configured to supply an electronic component to a supply position to the work head 16.

また、作業ヘッド16は、搬送装置14によって保持された回路基板12に対して電子部品を装着するものであり、下面に電子部品を吸着する吸着ノズル38を有する装着ヘッドである。吸着ノズル38は、正負圧供給装置(図示省略)を介して負圧エア,正圧エア通路に通じており、負圧にて電子部品を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持した電子部品を離脱する構造とされている。さらに、作業ヘッド16は、吸着ノズル38を昇降させるノズル昇降装置(図示省略)を有しており、保持する電子部品の上下方向の位置を変更することが可能とされている。   The work head 16 is a mounting head for mounting an electronic component on the circuit board 12 held by the transport device 14 and having a suction nozzle 38 for sucking the electronic component on the lower surface. The suction nozzle 38 communicates with negative pressure air and a positive pressure air passage via a positive / negative pressure supply device (not shown), and sucks and holds the electronic component with a negative pressure so that a slight positive pressure is supplied. It is structured to release the held electronic component. Furthermore, the work head 16 has a nozzle lifting / lowering device (not shown) that lifts and lowers the suction nozzle 38, and can change the vertical position of the electronic component to be held.

その作業ヘッド16は、移動装置18によって、ベース28上の任意の位置に移動可能とされている。詳しく言えば、移動装置18は、作業ヘッド16をX軸方向に移動させるためのX軸方向スライド機構50と、作業ヘッド16をY軸方向に移動させるためのY軸方向スライド機構52とを備えている。X軸方向スライド機構50は、X軸方向に移動可能にベース28上に設けられたX軸スライダ54と、駆動源としての1対のシャフトモータ56とを有しており、1対のシャフトモータ56によって、X軸スライダ54がX軸方向の任意の位置に移動可能とされている。また、Y軸方向スライド機構52は、Y軸方向に移動可能にX軸スライダ54の側面に設けられたY軸スライダ58と、駆動源としてのリニアモータ60とを有しており、リニアモータ60によって、Y軸スライダ58がY軸方向の任意の位置に移動可能とされている。そのY軸スライダ58に作業ヘッド16が取り付けられることで、作業ヘッド16は、移動装置18によって、ベース28上の任意の位置に移動可能とされている。なお、作業ヘッド16は、Y軸スライダ58にワンタッチで着脱可能とされており、種類の異なる作業ヘッド、例えば、ディスペンサヘッド等に変更することが可能とされている。   The working head 16 can be moved to an arbitrary position on the base 28 by the moving device 18. Specifically, the moving device 18 includes an X-axis direction slide mechanism 50 for moving the work head 16 in the X-axis direction, and a Y-axis direction slide mechanism 52 for moving the work head 16 in the Y-axis direction. ing. The X-axis direction slide mechanism 50 has an X-axis slider 54 provided on the base 28 so as to be movable in the X-axis direction, and a pair of shaft motors 56 as a drive source. 56, the X-axis slider 54 can be moved to an arbitrary position in the X-axis direction. The Y-axis direction slide mechanism 52 includes a Y-axis slider 58 provided on the side surface of the X-axis slider 54 so as to be movable in the Y-axis direction, and a linear motor 60 as a drive source. Thus, the Y-axis slider 58 can be moved to an arbitrary position in the Y-axis direction. By attaching the working head 16 to the Y-axis slider 58, the working head 16 can be moved to an arbitrary position on the base 28 by the moving device 18. The work head 16 can be attached to and detached from the Y-axis slider 58 with one touch, and can be changed to a different type of work head, such as a dispenser head.

<シャフトモータの構成>
作業ヘッド16をX軸方向に移動させるためのX軸方向スライド機構50の駆動源である1対のシャフトモータ56の各々は、円筒状のリニアモータであり、図1および図2に示すように、円筒状の複数のコイル(図2には1つのみ示されている)70を有する可動子72と、コイル70の内部を貫通するシャフト状の固定子74とを備えている。各シャフトモータ56の固定子74は、X軸方向に延びるように、搬送装置14と供給装置20,22との間に配設されており、両端部において1対の支持部材76によって支持され、ベース28上に架け渡されている。
<Configuration of shaft motor>
Each of the pair of shaft motors 56 that is a drive source of the X-axis direction sliding mechanism 50 for moving the work head 16 in the X-axis direction is a cylindrical linear motor, as shown in FIGS. 1 and 2. A movable element 72 having a plurality of cylindrical coils (only one is shown in FIG. 2) 70 and a shaft-shaped stator 74 penetrating the inside of the coil 70 are provided. The stator 74 of each shaft motor 56 is disposed between the transport device 14 and the supply devices 20 and 22 so as to extend in the X-axis direction, and is supported by a pair of support members 76 at both ends. It is stretched over the base 28.

固定子74は、円筒状のパイプ78と、そのパイプ78内に配設された複数の永久磁石(図2には1つのみ示されている)80とによって構成されている。複数の永久磁石80の各々は、概して円柱状とされており、一端部側がN極とされ、他端部側がS極とされている。それら複数の永久磁石80は、1軸線上に延びるように配設されており、隣り合う2つの永久磁石80の向かい合う端部は、互いに同じ磁極とされている。そして、隣り合う2つの永久磁石80の間には、非磁性材製のスペーサ(図示省略)が設けられている。一方、パイプ78は、1軸線上に延びるように配設された複数の永久磁石80を覆うように設けられており、非磁性材料によって形成されている。   The stator 74 is configured by a cylindrical pipe 78 and a plurality of permanent magnets 80 (only one is shown in FIG. 2) disposed in the pipe 78. Each of the plurality of permanent magnets 80 is generally cylindrical, and one end side is an N pole, and the other end side is an S pole. The plurality of permanent magnets 80 are arranged so as to extend on one axis, and the opposite end portions of two adjacent permanent magnets 80 have the same magnetic pole. A spacer (not shown) made of a nonmagnetic material is provided between two adjacent permanent magnets 80. On the other hand, the pipe 78 is provided so as to cover a plurality of permanent magnets 80 arranged to extend on one axis, and is made of a nonmagnetic material.

可動子72の複数のコイル70の各々は、線材が巻回されて円筒状とされるとともに、線材同士の隙間に樹脂が充填されている。複数のコイル70は、同心状に等間隔で設けられており、隣り合う2つのコイル70の間には、非磁性材製の円環状のスペーサ(図示省略)が設けられている。それら複数のコイル70およびスペーサの外周面は、磁性材製の被覆部材82によって覆われている。被覆部材82は、電磁鋼、具体的には、飽和磁束密度が1.8T以上であり、熱伝導率が20W/(m・K)以上であるケイ素鋼によって円筒状に成形されており、径方向の厚さが0.5mmとされている。なお、被覆部材82には、軸方向に延びる切欠き部83が形成されており、その切欠き部83を介して、コイル70に通電用の配線(図示省略)が接続されている。   Each of the plurality of coils 70 of the mover 72 is formed into a cylindrical shape by winding a wire, and a gap between the wires is filled with resin. The plurality of coils 70 are provided concentrically at equal intervals, and an annular spacer (not shown) made of a nonmagnetic material is provided between two adjacent coils 70. The outer peripheral surfaces of the plurality of coils 70 and the spacer are covered with a covering member 82 made of a magnetic material. The covering member 82 is formed into a cylindrical shape by electromagnetic steel, specifically, silicon steel having a saturation magnetic flux density of 1.8 T or more and a thermal conductivity of 20 W / (m · K) or more. The thickness in the direction is 0.5 mm. The covering member 82 is formed with a notch 83 extending in the axial direction, and a current-carrying wiring (not shown) is connected to the coil 70 through the notch 83.

被覆部材82に覆われた複数のコイル70およびスペーサは、固定子74の外周面にクリアランスのある状態で嵌合されており、固定子74の軸方向、つまり、X軸方向に移動可能とされている。これにより、可動子72は、ベース28上をX軸方向に移動可能とされている。   The plurality of coils 70 and the spacers covered with the covering member 82 are fitted on the outer peripheral surface of the stator 74 with a clearance, and can be moved in the axial direction of the stator 74, that is, in the X-axis direction. ing. Thereby, the mover 72 is movable on the base 28 in the X-axis direction.

また、被覆部材82の外周面には、放熱部材84が設けられている。放熱部材84は、熱伝導率が高く、単位質量当たりの放熱特性(放熱量/質量)の優れた金属材料、具体的には、銅製の部材が屈曲されることで成形されている。詳しく言えば、放熱部材84は、図3に示すように、複数の銅管85によって構成されている。銅管85は、内部に空間がある状態で径方向に圧縮されており、その内部の空間には、水が充填されている。つまり、放熱部材84として、ヒートパイプが採用されている。これにより、放熱部材84の放熱特性が、さらに向上している。ちなみに、図3には、後に説明するハウジングおよび樹脂モールドが取り除かれた状態のシャフトモータ56が示されている。   A heat radiating member 84 is provided on the outer peripheral surface of the covering member 82. The heat dissipating member 84 is formed by bending a metal material having high heat conductivity and excellent heat dissipating characteristics (heat dissipating amount / mass) per unit mass, specifically, a copper member. More specifically, the heat radiating member 84 is composed of a plurality of copper tubes 85 as shown in FIG. The copper tube 85 is compressed in the radial direction with a space inside, and the space inside the copper tube 85 is filled with water. That is, a heat pipe is employed as the heat radiating member 84. Thereby, the heat dissipation characteristic of the heat radiating member 84 is further improved. Incidentally, FIG. 3 shows the shaft motor 56 in a state where a housing and a resin mold described later are removed.

銅管85は、被覆部材82の外周面に沿って配設される円弧部86と、円弧部86から連続し、被覆部材82の径方向外側に延び出す延出部88とに区分けされる。円弧部86は、被覆部材82の外周面をそれの周方向において1/3程度覆っており、円弧部86の内側の面の曲率と、被覆部材82の外周面の曲率とは、略同じとされている。   The copper tube 85 is divided into an arc portion 86 disposed along the outer peripheral surface of the covering member 82 and an extending portion 88 that continues from the arc portion 86 and extends outward in the radial direction of the covering member 82. The arc portion 86 covers the outer peripheral surface of the covering member 82 by about 1/3 in the circumferential direction thereof, and the curvature of the inner surface of the arc portion 86 and the curvature of the outer peripheral surface of the covering member 82 are substantially the same. Has been.

銅管85の延出部88は、可動子72のハウジング90の外部にまで延び出しており、その延び出した部分には、フィン92が設けられている。フィン92は、熱伝導率が高く、単位質量当たりの放熱特性(放熱量/質量)の優れた金属材料、具体的には、アルミニウム合金製の薄い板材が凹凸状に屈曲されることで成形されている。フィン92は、可動子72の軸方向の長さと同程度の長さとされており、フィン92の両端部には、1対のファン94が設けられている。1対のファン94の一方は、フィン92の内部に向かって送風し、他方は、外部に向かって送風する構造とされている。これにより、フィン92の内部を風が通り抜けることで、放熱特性が向上する。   The extension part 88 of the copper tube 85 extends to the outside of the housing 90 of the mover 72, and fins 92 are provided in the extended part. The fin 92 has a high thermal conductivity and is formed by bending a metal material excellent in heat dissipation characteristics (heat dissipation amount / mass) per unit mass, specifically, a thin plate made of an aluminum alloy into an uneven shape. ing. The fin 92 has a length approximately the same as the length of the mover 72 in the axial direction, and a pair of fans 94 are provided at both ends of the fin 92. One of the pair of fans 94 is configured to blow air toward the inside of the fin 92 and the other is blown toward the outside. As a result, the heat passes through the fins 92 to improve heat dissipation characteristics.

また、可動子72のハウジング90は、図2に示すように、溝形状とされており、外周面に放熱部材84が取り付けられた被覆部材82が、銅管85の延出部88をハウジング90の外部に延び出させた状態で、ハウジング90内に収容されている。ハウジング90の1対の側壁96のうちの延出部88が延び出す側の側壁96aは、被覆部材82の外周面と向かい合っており、その外周面と接触している。もう一方の側壁96bは、被覆部材82の外周面を覆う銅管85の円弧部86と向かい合っており、側壁96bと円弧部86との間には、隙間がある。その隙間には、楔状のスペーサ98が圧入されており、スペーサ98の後端部、つまり、肉厚側の端部の厚さは、円弧部86と側壁96bとの隙間より厚くされている。これにより、銅管85の円弧部86を被覆部材82に向かって押しつけることが可能となり、円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とが密着される。   The housing 90 of the mover 72 has a groove shape as shown in FIG. 2, and the covering member 82 having the heat radiating member 84 attached to the outer peripheral surface connects the extended portion 88 of the copper tube 85 to the housing 90. The housing 90 is housed in a state of extending to the outside. Of the pair of side walls 96 of the housing 90, the side wall 96 a on the side from which the extending portion 88 extends faces the outer peripheral surface of the covering member 82 and is in contact with the outer peripheral surface. The other side wall 96 b faces the arc portion 86 of the copper tube 85 that covers the outer peripheral surface of the covering member 82, and there is a gap between the side wall 96 b and the arc portion 86. A wedge-shaped spacer 98 is press-fitted into the gap, and the thickness of the rear end portion of the spacer 98, that is, the end portion on the thick side, is thicker than the gap between the arc portion 86 and the side wall 96b. As a result, the arc portion 86 of the copper tube 85 can be pressed toward the covering member 82, and the inner surface of the arc portion 86 and the outer peripheral surface of the covering member 82 are brought into close contact with each other.

銅管85が取り付けられた被覆部材82および、その被覆部材82と円弧部86とを密着させるスペーサ98は、樹脂モールド100によって、ハウジング90内に封止されている。なお、樹脂モールド100の樹脂は、コイル70の線材の隙間に充填される樹脂と同じものである。   The covering member 82 to which the copper tube 85 is attached and the spacer 98 that closely contacts the covering member 82 and the arc portion 86 are sealed in the housing 90 by the resin mold 100. The resin of the resin mold 100 is the same as the resin filled in the gaps between the wires of the coil 70.

また、可動子72の上部、詳しくは、樹脂モールド100の上面および銅管85の延出部88の上面には、テーブル102が固定されており、そのテーブル102の上面にX軸スライダ54(図2では省略されている)が固定的に配設されている。テーブル102は、スライド機構104によって、固定子74の軸方向、つまり、X軸方向にスライド可能とされている。詳しくは、スライド機構104は、ベース28上に配設された1対のスライドレール106と、それら1対のスライドレール106に相対動可能に嵌合される1対のスライダ108と、スライドレール106とスライダ108との間に配設されるリニアベアリング110とを有している。1対のスライドレール106は、固定子74を挟むようにして、X軸方向に延びるように配設されており、それら1対のスライドレール106に、リニアベアリング110を介して、嵌合される1対のスライダ108が、テーブル102の下面に固定されている。これにより、テーブル102、つまり、X軸スライダ54は、X軸方向にスライド可能とされている。   Further, a table 102 is fixed to the upper portion of the movable element 72, specifically, the upper surface of the resin mold 100 and the upper surface of the extending portion 88 of the copper tube 85, and the X-axis slider 54 (see FIG. 2 is omitted). The table 102 can be slid by the slide mechanism 104 in the axial direction of the stator 74, that is, in the X-axis direction. Specifically, the slide mechanism 104 includes a pair of slide rails 106 disposed on the base 28, a pair of sliders 108 fitted to the pair of slide rails 106 so as to be relatively movable, and the slide rail 106. And a linear bearing 110 disposed between the slider 108 and the slider 108. The pair of slide rails 106 are arranged so as to extend in the X-axis direction with the stator 74 interposed therebetween, and a pair of slide rails 106 fitted to the pair of slide rails 106 via linear bearings 110. The slider 108 is fixed to the lower surface of the table 102. Thereby, the table 102, that is, the X-axis slider 54 is slidable in the X-axis direction.

上述した構成によって、シャフトモータ56では、永久磁石80によって発生させられる磁束がコイル内を流れる。そのコイル70に駆動電流が供給されることで、コイル70内を流れる磁束とコイル70に供給される電流との相互作用により、軸方向の移動推力が発生させられる。そして、この推力によって、可動子72が固定子74の軸線に平行な方向に移動させられ、テーブル102、つまり、X軸スライダ54がX軸方向に移動させられる。   With the configuration described above, in the shaft motor 56, the magnetic flux generated by the permanent magnet 80 flows in the coil. When a drive current is supplied to the coil 70, an axial movement thrust is generated by the interaction between the magnetic flux flowing in the coil 70 and the current supplied to the coil 70. By this thrust, the mover 72 is moved in a direction parallel to the axis of the stator 74, and the table 102, that is, the X-axis slider 54 is moved in the X-axis direction.

本実施例のシャフトモータ56では、コイル70の外周面が、飽和磁束密度の高い磁性材製の被覆部材82によって覆われており、永久磁石80によって発生させられる磁束が、被覆部材82によって、効率的にコイル70内を流れる。つまり、被覆部材82がヨークとして機能し、被覆部材82によって、コイル70内を流れる磁束が、効率よく上記推力に変換可能な方向に集中させられる。これにより、コイル内を流れる磁束を、上記推力に効率的に変換することが可能となり、シャフトモータ56の高推力化を図ることが可能となる。   In the shaft motor 56 of the present embodiment, the outer peripheral surface of the coil 70 is covered with a covering member 82 made of a magnetic material having a high saturation magnetic flux density, and the magnetic flux generated by the permanent magnet 80 is efficiently generated by the covering member 82. In the coil 70. That is, the covering member 82 functions as a yoke, and the covering member 82 concentrates the magnetic flux flowing in the coil 70 in a direction that can be efficiently converted into the thrust. As a result, the magnetic flux flowing in the coil can be efficiently converted into the thrust, and the shaft motor 56 can be increased in thrust.

また、コイル70への駆動電流の供給により、コイル70が発熱するが、その熱は、コイル70の外周面に設けられた熱伝導率の高い被覆部材82に伝達される。そして、その熱は、被覆部材82の外周面を覆う熱伝導率の高い放熱部材84の円弧部86に伝達され、放熱部材84の延出部88およびフィン92から、可動子72の外部に放出される。これにより、放熱特性に優れたシャフトモータを実現することが可能となる。さらに、放熱特性の向上により、高い推力を発生させることが可能である。このため、本実施例のシャフトモータ56では、更なる高推力化を図ることが可能となる。   In addition, when the drive current is supplied to the coil 70, the coil 70 generates heat, but the heat is transmitted to the covering member 82 provided on the outer peripheral surface of the coil 70 with high thermal conductivity. Then, the heat is transmitted to the arc portion 86 of the heat radiating member 84 that covers the outer peripheral surface of the covering member 82, and is released from the extending portion 88 and the fin 92 of the heat radiating member 84 to the outside of the mover 72. Is done. Thereby, it becomes possible to realize a shaft motor excellent in heat dissipation characteristics. Furthermore, high thrust can be generated by improving the heat dissipation characteristics. For this reason, in the shaft motor 56 of the present embodiment, it is possible to further increase the thrust.

また、本実施例のシャフトモータ56では、放熱部材84の円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とが、スペーサ98によって、密着されており、円弧部86と被覆部材82との密着面積が比較的大きくされている。これにより、コイル70内で生じた熱が、被覆部材82から円弧部86に伝達され易くなり、更なる放熱特性の向上を図ることが可能となっている。   Further, in the shaft motor 56 of the present embodiment, the inner surface of the arc portion 86 of the heat radiating member 84 and the outer peripheral surface of the covering member 82 are in close contact with each other by the spacer 98, and the arc portion 86 and the covering member 82 are in close contact with each other. The contact area is relatively large. Thereby, the heat generated in the coil 70 can be easily transmitted from the covering member 82 to the arc portion 86, and the heat dissipation characteristics can be further improved.

<変形例>
上記実施例のシャフトモータ56では、ハウジング90の側壁96bと放熱部材84の円弧部86との間に圧入されるスペーサ98は、楔状とされており、比較的剛性の高いものが採用されている。しかし、側壁96bと円弧部86との間に圧入されるスペーサの形状は、楔状に限定されるものでなく、種々の形状のスペーサを採用することが可能である。また、スペーサの素材は、剛性の低いものであってもよく、種々の素材により成形されたものを採用することが可能である。
<Modification>
In the shaft motor 56 of the above embodiment, the spacer 98 press-fitted between the side wall 96b of the housing 90 and the arc portion 86 of the heat radiating member 84 has a wedge shape, and a relatively high rigidity is employed. . However, the shape of the spacer press-fitted between the side wall 96b and the arc portion 86 is not limited to the wedge shape, and various shapes of spacers can be employed. Further, the material of the spacer may be a material having low rigidity, and it is possible to adopt a material formed from various materials.

上記実施例のスペーサ98とは異なる素材により成形されたスペーサを備えるシャフトモータを、変形例1のシャフトモータ120として図3に示し、上記実施例のスペーサ98とは異なる形状のスペーサを備えるシャフトモータを、変形例2のシャフトモータ122として図4に示す。なお、各変形例のシャフトモータ120,122は、スペーサを除き、上記実施例のシャフトモータ56と同様の構成であるため、上記シャフトモータ56と同様の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行うものとする。   A shaft motor provided with a spacer formed of a material different from the spacer 98 of the above embodiment is shown in FIG. 3 as a shaft motor 120 of the first modification, and a shaft motor provided with a spacer having a different shape from the spacer 98 of the above embodiment. Is shown in FIG. 4 as the shaft motor 122 of the second modification. The shaft motors 120 and 122 of the respective modifications have the same configuration as that of the shaft motor 56 of the above-described embodiment except for the spacers. Therefore, the same components as those of the shaft motor 56 are described using the same reference numerals. Is omitted or simplified.

変形例1のシャフトモータ120は、図4に示すように、楔状のスペーサ124を有しており、そのスペーサ124が、ハウジング90の側壁96bと銅管85の円弧部86との間に圧入されている。スペーサ124は、銅管85の剛性より低い剛性の素材により成形されており、スペーサ124は、側壁96bと円弧部86との間に圧入されることで、円弧部86の外周面に沿って変形している。これにより、銅管85の円弧部86の被覆部材82への過剰な押し付けを抑制することが可能となり、円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面との間にかかる荷重の過剰な増大を抑制することが可能となる。   As shown in FIG. 4, the shaft motor 120 of Modification 1 has a wedge-shaped spacer 124, and the spacer 124 is press-fitted between the side wall 96 b of the housing 90 and the arc portion 86 of the copper tube 85. ing. The spacer 124 is formed of a material having rigidity lower than that of the copper tube 85, and the spacer 124 is deformed along the outer peripheral surface of the arc portion 86 by being press-fitted between the side wall 96b and the arc portion 86. doing. This makes it possible to suppress excessive pressing of the arc portion 86 of the copper tube 85 to the covering member 82, and an excessive load applied between the inner surface of the arc portion 86 and the outer peripheral surface of the covering member 82. The increase can be suppressed.

なお、変形例1のスペーサ124の素材としては、側壁96bと円弧部86との間への圧入時に、スペーサ124が円弧部86の外周面に沿って変形するものであればよく、銅管85の剛性より低い剛性の金属製の素材,柔軟性を有する弾性体等、種々のものを採用することが可能である。また、スペーサ124は、塑性変形,弾性変形等、種々の形態で変形可能である。   The material of the spacer 124 of Modification 1 may be any material as long as the spacer 124 deforms along the outer peripheral surface of the arc portion 86 when press-fitted between the side wall 96 b and the arc portion 86. It is possible to employ various materials such as a metal material having a lower rigidity than the above-described rigidity and an elastic body having flexibility. The spacer 124 can be deformed in various forms such as plastic deformation and elastic deformation.

また、変形例2のシャフトモータ122は、図5に示すように、平板状のスペーサ126を有している。スペーサ126は、ハウジング90の側壁96bと銅管85の円弧部86との間に圧入されており、銅管85の円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とを好適に密着させている。このように、側壁96bと円弧部86との間に圧入されるスペーサは、どのような形状のものであっても、銅管85の円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とを好適に密着させることが可能である。なお、平板状のスペーサ126は、剛性の高い素材により成形されているが、変形例1のスペーサ124と同様に、剛性の低い素材により成形されてもよい。   Moreover, the shaft motor 122 of the modification 2 has the flat spacer 126 as shown in FIG. The spacer 126 is press-fitted between the side wall 96 b of the housing 90 and the arc portion 86 of the copper tube 85, and the inner surface of the arc portion 86 of the copper tube 85 and the outer peripheral surface of the covering member 82 are preferably in close contact with each other. ing. As described above, the spacer press-fitted between the side wall 96b and the arc part 86 has any shape, and the inner surface of the arc part 86 of the copper tube 85 and the outer peripheral surface of the covering member 82 Can be suitably adhered. The flat spacer 126 is formed of a material having high rigidity, but may be formed of a material having low rigidity in the same manner as the spacer 124 of Modification 1.

上記実施例および変形例1,2のシャフトモータ56,120,122では、スペーサ98,124,126によって、銅管85の円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とが密着されているが、スペーサとは異なるものによって、円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とが密着されてもよい。スペーサとは異なるものによって円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とが密着されるシャフトモータを、変形例3のシャフトモータ130として図6に示す。なお、変形例3のシャフトモータ130は、円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とを密着させるものを除き、上記実施例のシャフトモータ56と略同様の構成であるため、上記シャフトモータ56と同様の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行うものとする。   In the shaft motors 56, 120, and 122 of the above embodiment and the first and second modifications, the inner surface of the arc portion 86 of the copper tube 85 and the outer peripheral surface of the covering member 82 are brought into close contact by the spacers 98, 124, and 126. However, the inner surface of the arc portion 86 and the outer peripheral surface of the covering member 82 may be in close contact with each other by a different one from the spacer. A shaft motor in which the inner surface of the arc portion 86 and the outer peripheral surface of the covering member 82 are in close contact with each other by a different one from the spacer is shown as a shaft motor 130 of Modification 3 in FIG. The shaft motor 130 of the third modification has substantially the same configuration as that of the shaft motor 56 of the above embodiment except that the inner surface of the arc portion 86 and the outer peripheral surface of the covering member 82 are in close contact with each other. The same components as those of the shaft motor 56 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified.

変形例3のシャフトモータ130では、図6に示すように、ハウジング90の側壁96bと銅管85の円弧部86との間にスペーサは、圧入されておらず、銅管85の円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とは、半田132により接合されている。つまり、円弧部86の内側の面と被覆部材82の外周面とは、半田132を介して、密着されている。これにより、熱伝導率の高い半田132を介して、コイル70に生じた熱が、被覆部材82から円弧部86に伝達され、高い放熱特性を担保することが可能となる。なお、被覆部材82の外周面には、ニッケルメッキ処理が施されている。   In the shaft motor 130 of the third modification, as shown in FIG. 6, the spacer is not press-fitted between the side wall 96 b of the housing 90 and the arc portion 86 of the copper tube 85, and the arc portion 86 of the copper tube 85 is not pressed. The inner surface and the outer peripheral surface of the covering member 82 are joined by solder 132. That is, the inner surface of the arc portion 86 and the outer peripheral surface of the covering member 82 are in close contact with each other via the solder 132. As a result, heat generated in the coil 70 is transmitted from the covering member 82 to the arc portion 86 via the solder 132 having high thermal conductivity, and high heat dissipation characteristics can be ensured. The outer peripheral surface of the covering member 82 is subjected to nickel plating.

ちなみに、上記実施例および変形例において、シャフトモータ56,120,122,130は、リニアモータの一例であり、シャフトモータ56,120,122,130を構成する可動子72,固定子74は、可動子,固定子の一例である。また、コイル70,被覆部材82,ハウジング90は、コイル,磁性体,ハウジングの一例であり、被覆部材82の切欠き部83は、切欠き部の一例である。スペーサ98,124,126は、スペーサの一例であり、放熱部材84とフィン92とによって構成されるものは、放熱部材の一例である。放熱部材84の円弧部86は、集熱部の一例であり、放熱部材84の延出部88とフィン92とによって構成されるものは、放熱部の一例である。   Incidentally, in the above-described embodiments and modifications, the shaft motors 56, 120, 122, and 130 are examples of linear motors, and the mover 72 and the stator 74 that constitute the shaft motors 56, 120, 122, and 130 are movable. It is an example of a child and a stator. The coil 70, the covering member 82, and the housing 90 are examples of a coil, a magnetic body, and a housing, and the notch 83 of the covering member 82 is an example of a notch. The spacers 98, 124, and 126 are examples of spacers, and what is constituted by the heat dissipation member 84 and the fins 92 is an example of a heat dissipation member. The arc portion 86 of the heat radiating member 84 is an example of a heat collecting portion, and what is constituted by the extending portion 88 of the heat radiating member 84 and the fins 92 is an example of a heat radiating portion.

なお、本発明は、上記実施例および変形例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例および変形例では、本発明のシャフトモータが、作業ヘッド16をX軸方向に移動させるX軸方向スライド機構50の駆動源として採用されているが、Y軸方向スライド機構52の駆動源として、本発明のシャフトモータを採用することが可能である。また、電子部品装着機10を構成する装置,機構等以外の装置,機構等の駆動源として、本発明のシャフトモータを採用することも可能である。   In addition, this invention is not limited to the said Example and modification, It is possible to implement in the various aspect which gave various change and improvement based on the knowledge of those skilled in the art. Specifically, for example, in the above-described embodiments and modifications, the shaft motor of the present invention is employed as a drive source for the X-axis direction slide mechanism 50 that moves the work head 16 in the X-axis direction. The shaft motor of the present invention can be employed as a drive source for the direction slide mechanism 52. Further, the shaft motor of the present invention can be employed as a drive source for devices and mechanisms other than the devices and mechanisms that constitute the electronic component mounting machine 10.

また、上記実施例および変形例では、磁性体としての被覆部材82の径方向の厚さは、0.5mmとされていたが、その値に限定されるものではなく、0.5mm以上であればよい。ただし、被覆部材82の厚さが厚いほど、被覆部材82、つまり、可動子72の重量が重くなることから、被覆部材82の厚さは、0.5〜3mm程度が好ましい。   Further, in the above-described embodiments and modifications, the thickness in the radial direction of the covering member 82 as the magnetic body is 0.5 mm, but is not limited to this value, and may be 0.5 mm or more. That's fine. However, the thicker the covering member 82, the heavier the covering member 82, that is, the mover 72, so the thickness of the covering member 82 is preferably about 0.5 to 3 mm.

また、シャフトモータの放熱特性を、さらに向上させるべく、フィン92を可動子72の径方向における両側部に設けてもよい。具体的には、図7に示すように、被覆部材82の外周面に取り付けられる複数の銅管85のうち半分のものの延出部88が、ハウジング90の外部の一方の方向に延び出し、複数の銅管85のうち残りの半分のものの延出部88が、上記一方の方向とは反対の方向に延び出している。上記一方の方向に延び出す延出部88を備える銅管85aと、上記一方の方向と反対の方向に延び出す延出部88を備える銅管85bとが、交互に被覆部材82の外周面に取り付けられている。そして、銅管85aの延出部88aには、フィン92aが設けられるとともに、銅管85bの延出部88bには、フィン92bが設けられている。このような構造により、フィン92a,92bが可動子72の径方向における両側部に設けられている。   Further, in order to further improve the heat dissipation characteristics of the shaft motor, the fins 92 may be provided on both sides in the radial direction of the mover 72. Specifically, as shown in FIG. 7, half of the plurality of copper tubes 85 attached to the outer peripheral surface of the covering member 82 extend in one direction outside the housing 90, The extension portion 88 of the remaining half of the copper tube 85 extends in a direction opposite to the one direction. A copper tube 85a having an extending portion 88 extending in the one direction and a copper tube 85b having an extending portion 88 extending in a direction opposite to the one direction are alternately arranged on the outer peripheral surface of the covering member 82. It is attached. And the fin 92a is provided in the extension part 88a of the copper pipe 85a, and the fin 92b is provided in the extension part 88b of the copper pipe 85b. With such a structure, the fins 92 a and 92 b are provided on both sides in the radial direction of the mover 72.

また、シャフトモータの放熱特性を向上させるべく、フィン92に取り付けられるファン94の数を増やしてもよい。具体的には、図8に示すように、複数のファン94、(図では、6個のファン94)を、可動子72の軸方向に並べて配設し、フィン92の長手方向の側面に取り付けてもよい。これにより、フィン92に取り付けられるファン94の数を増やすことが可能となり、放熱特性の向上を図ることが可能となる。   Further, the number of fans 94 attached to the fins 92 may be increased in order to improve the heat dissipation characteristics of the shaft motor. Specifically, as shown in FIG. 8, a plurality of fans 94 (six fans 94 in the figure) are arranged side by side in the axial direction of the mover 72 and attached to the side surfaces in the longitudinal direction of the fins 92. May be. As a result, the number of fans 94 attached to the fins 92 can be increased, and the heat dissipation characteristics can be improved.

56:シャフトモータ 70:コイル 72:可動子 74:固定子 82:被覆部材(磁性体) 83:切欠き部 84:放熱部材 86:円弧部(集熱部) 88:円弧部(放熱部) 90:ハウジング 92:フィン(放熱部材)(放熱部) 98:スペーサ 120;シャフトモータ 122:シャフトモータ 124:スペーサ 126:スペーサ 130:シャフトモータ   56: Shaft motor 70: Coil 72: Movable element 74: Stator 82: Cover member (magnetic body) 83: Notch part 84: Heat radiation member 86: Arc part (heat collecting part) 88: Arc part (heat radiation part) 90 : Housing 92: Fin (heat radiating member) (heat radiating part) 98: Spacer 120; Shaft motor 122: Shaft motor 124: Spacer 126: Spacer 130: Shaft motor

Claims (10)

筒状のコイルを有する可動子と、前記コイルの内部を貫通するシャフト状の固定子とを備え、
前記可動子が、
前記コイルの外周面を覆うように配設された磁性体と、
その磁性体の外周面に取り付けられる集熱部と、その集熱部から連続し、前記コイルの径方向外側に向かって延び出す放熱部とを有する放熱部材と
を備えたリニアモータ。
A mover having a cylindrical coil, and a shaft-like stator that penetrates the inside of the coil,
The mover is
A magnetic body disposed so as to cover the outer peripheral surface of the coil;
A linear motor comprising: a heat collecting part attached to the outer peripheral surface of the magnetic body; and a heat radiating member that is continuous from the heat collecting part and has a heat radiating part extending toward the outside in the radial direction of the coil.
前記磁性体が、電磁鋼により成形された請求項1に記載のリニアモータ。   The linear motor according to claim 1, wherein the magnetic body is formed of electromagnetic steel. 前記磁性体の飽和磁束密度が、1.8T以上である請求項1または請求項2に記載のリニアモータ。   The linear motor according to claim 1, wherein a saturation magnetic flux density of the magnetic body is 1.8 T or more. 前記磁性体の熱伝導率が、20W/(m・K)以上である請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載のリニアモータ。   The linear motor according to any one of claims 1 to 3, wherein the magnetic substance has a thermal conductivity of 20 W / (m · K) or more. 前記磁性体が、
筒状とされており、軸方向に延びるように形成された切欠き部を有する請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載のリニアモータ。
The magnetic body is
5. The linear motor according to claim 1, wherein the linear motor has a notch portion that is formed in a cylindrical shape and extends in the axial direction.
前記磁性体の径方向の厚さが、0.5mm以上である請求項1ないし請求項5のいずれか1つに記載のリニアモータ。   The linear motor according to any one of claims 1 to 5, wherein a thickness of the magnetic body in a radial direction is 0.5 mm or more. 前記集熱部が、前記磁性体の外周面に沿って配設され、
前記放熱部が、前記可動子のハウジングの外部に延び出し、
前記可動子が、
前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入されるスペーサを有する請求項1ないし請求項6のいずれか1つに記載のリニアモータ。
The heat collecting portion is disposed along an outer peripheral surface of the magnetic body;
The heat dissipating part extends outside the housing of the mover;
The mover is
The linear motor according to claim 1, further comprising a spacer press-fitted between the heat collecting unit and the housing.
前記スペーサが、楔状とされた請求項7に記載のリニアモータ。   The linear motor according to claim 7, wherein the spacer has a wedge shape. 前記スペーサが、
前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入された状態で、前記集熱部の外周面に沿って変形する請求項7または請求項8に記載のリニアモータ。
The spacer is
9. The linear motor according to claim 7, wherein the linear motor is deformed along an outer peripheral surface of the heat collecting portion while being press-fitted between the heat collecting portion and the housing.
前記集熱部が、半田付けによって前記磁性体の外周面に固定的に取り付けられた請求項1ないし請求項6のいずれか1つに記載のリニアモータ。   The linear motor according to any one of claims 1 to 6, wherein the heat collecting portion is fixedly attached to an outer peripheral surface of the magnetic body by soldering.
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