JPWO2009001822A1 - Optical module - Google Patents

Optical module Download PDF

Info

Publication number
JPWO2009001822A1
JPWO2009001822A1 JP2009520595A JP2009520595A JPWO2009001822A1 JP WO2009001822 A1 JPWO2009001822 A1 JP WO2009001822A1 JP 2009520595 A JP2009520595 A JP 2009520595A JP 2009520595 A JP2009520595 A JP 2009520595A JP WO2009001822 A1 JPWO2009001822 A1 JP WO2009001822A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
module
optical module
vcsel
heat sink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009520595A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
小田 三紀雄
三紀雄 小田
大塚 隆
隆 大塚
久弥 高橋
久弥 高橋
中野 嘉一郎
嘉一郎 中野
前田 勝美
勝美 前田
千恵美 田中
千恵美 田中
智隆 石田
智隆 石田
古宇田 光
光 古宇田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Publication of JPWO2009001822A1 publication Critical patent/JPWO2009001822A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/421Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical component consisting of a short length of fibre, e.g. fibre stub
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02325Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02438Characterized by cooling of elements other than the laser chip, e.g. an optical element being part of an external cavity or a collimating lens
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02469Passive cooling, e.g. where heat is removed by the housing as a whole or by a heat pipe without any active cooling element like a TEC

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

光モジュールは、光が出射又は入射する方向と、光モジュールからの放熱方向とが同じ方向である。光素子と光結合された光伝送路とヒートシンクとは、直接に又は熱良導体を介して接触する。光モジュールから発生する熱が、光伝送路14及びヒートシンク19を経由して効果的に放熱される。In the optical module, the direction in which light is emitted or incident is the same as the direction of heat radiation from the optical module. The optical transmission path optically coupled to the optical element and the heat sink are in direct contact or via a good thermal conductor. Heat generated from the optical module is effectively radiated through the optical transmission path 14 and the heat sink 19.

Description

本発明は、光モジュールに関し、更に詳しくは、発光素子又は受光素子を有する光モジュールに関する。   The present invention relates to an optical module, and more particularly to an optical module having a light emitting element or a light receiving element.

近年、LSIの高速化はますます進展している。しかし、それらLSI間などを接続する電気配線には、伝送能力の限界があると考えられている。その限界を打破する技術として、光インターコネクションが期待されている。光インターコネクションは、従来の電気配線に代えて、光伝送路を用いる技術であり、近年、研究・開発が進んでいる。光インターコネクションは、送信元でLSIから出力される電気信号を光信号に変換し、光導波路や光ファイバーなどの光伝送路を用いて目的距離を伝送し、受信側で光信号を電気信号に変換し、LSIの入力ピンに入力するという信号伝送形態を採用する。   In recent years, the speeding up of LSI has been further advanced. However, it is considered that there is a limit in transmission capability in the electrical wiring that connects these LSIs and the like. Optical interconnection is expected as a technology to overcome this limitation. Optical interconnection is a technique that uses an optical transmission line in place of conventional electrical wiring, and research and development have been progressing in recent years. Optical interconnection converts the electrical signal output from the LSI at the transmission source into an optical signal, transmits the target distance using an optical transmission line such as an optical waveguide or optical fiber, and converts the optical signal into an electrical signal on the receiving side. Then, a signal transmission form of inputting to the input pin of the LSI is adopted.

高性能のLSIには、100本以上という多数本の入出力電気端子が備えられており、
光インターコネクションでは、その端子数を全て光信号に置き換える必要がある。また、
10Gbps程度の高速信号は、電気配線において損失が大きいため、できるだけ損失しない状況で光信号に変換することが望ましい。多数本の電気信号を、電気配線での損失が少ないうちに光信号に変換するためには、光・電気変換部分をできるだけ小さくし、LSIの近くに設置することが現実的な解となる。つまり、光・電気変換部品である光モジュールを小型化することが、非常に重要である。
A high-performance LSI is equipped with a large number of input / output electrical terminals, more than 100,
In optical interconnection, it is necessary to replace all the terminals with optical signals. Also,
Since a high-speed signal of about 10 Gbps has a large loss in the electrical wiring, it is desirable to convert it to an optical signal in a situation where it is not lost as much as possible. In order to convert a large number of electric signals into optical signals while the loss in the electric wiring is small, it is a realistic solution to make the optical / electrical conversion part as small as possible and install it near the LSI. That is, it is very important to reduce the size of the optical module that is an optical / electrical conversion component.

図8は、光インターコネクションの一例である、非特許文献1に記載された光モジュールを示す。同図において、光モジュール30は、発光機能を有する光素子32と、光素子32を駆動するドライバーIC33と、金属板からなるヒートシンク34と、光素子32から出射する光を導くミラー面35を含むレンズブロック36とを有する。光素子32は、セラミックパッケージ31内に収容され、ヒートシンク34は、セラミックパッケージ31の裏面に配置される。   FIG. 8 shows an optical module described in Non-Patent Document 1, which is an example of optical interconnection. In the figure, an optical module 30 includes an optical element 32 having a light emitting function, a driver IC 33 for driving the optical element 32, a heat sink 34 made of a metal plate, and a mirror surface 35 for guiding light emitted from the optical element 32. And a lens block 36. The optical element 32 is accommodated in the ceramic package 31, and the heat sink 34 is disposed on the back surface of the ceramic package 31.

上記光モジュール30では、光素子32やドライバーIC33から見て、信号光の取り出しは下方向、電気信号の伝播は左右方向、放熱(冷却)は上方向と、それぞれ別の方向を向いている。つまり、この構造の光モジュール30では、光素子32の光が出射する方向と、光素子へ電気信号が伝搬する方向と、光モジュール30が放熱(冷却)する方向とが、それぞれ別方向に向いている。この構成によって、光素子から各信号を取り出す部品や放熱部品の配置に関して干渉が避けられる。   In the optical module 30, when viewed from the optical element 32 and the driver IC 33, the extraction of the signal light is directed downward, the propagation of the electrical signal is directed in the left-right direction, and the heat dissipation (cooling) is directed in different directions. That is, in the optical module 30 having this structure, the direction in which the light from the optical element 32 is emitted, the direction in which the electrical signal propagates to the optical element, and the direction in which the optical module 30 radiates (cools) are directed in different directions. ing. With this configuration, interference can be avoided with respect to the arrangement of components for extracting each signal from the optical element and heat dissipation components.

特許文献1には、放熱構造を改良した光モジュールが記載されている。この光モジュールを図9に示す。光モジュール40は、プリント基板41上に電子部品42及び発光素子43を搭載しており、また、プリント基板41を挟んで上部放熱板44及び下部放熱板45を有する。上部放熱板44には、穴46が形成されており、発光素子43の出射光は、
その穴46を通過して上方に向かう。
上記文献は、以下の通りである。
2006年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会の光エレクトロニクス分野 C−3−71「低背10Gbit/sX4channelパラレル光送受信器」 特開2004−200533号公報
Patent Document 1 describes an optical module having an improved heat dissipation structure. This optical module is shown in FIG. The optical module 40 has an electronic component 42 and a light emitting element 43 mounted on a printed board 41, and has an upper heat radiating plate 44 and a lower heat radiating plate 45 sandwiching the printed board 41. A hole 46 is formed in the upper radiator plate 44, and the light emitted from the light emitting element 43 is
It passes through the hole 46 and heads upward.
The above documents are as follows.
C-3-71 “Low Profile 10Gbit / sX4channel Parallel Optical Transmitter / Receiver” at the 2006 Electronics Society Conference of the Society of Electronics, Information and Communication Engineers Japanese Patent Laid-Open No. 2004-200533

非特許文献1の構造では、信号光を取り出す部品、電気信号を取り出す部品、及び、放熱部品を、相互の配置干渉を避けるため、光素子から見て異なる方向に配置したので、光モジュールの小型化に限界があった。特に、信号光を取り出す方向には光学レンズやミラーなどの光結合するための部品が配置され、また、光モジュールが放熱(冷却)する方向には金属板などの放熱部品が配置される。これら構成部品が、光モジュールの発光素子又は受光素子から見て逆方向に配置されることから、光モジュールの小型化を妨げていた。   In the structure of Non-Patent Document 1, a component that extracts signal light, a component that extracts electrical signals, and a heat dissipation component are arranged in different directions as viewed from the optical element in order to avoid mutual arrangement interference. There was a limit to conversion. In particular, components for optical coupling such as optical lenses and mirrors are arranged in the direction in which signal light is extracted, and heat radiation components such as metal plates are arranged in the direction in which the optical module radiates (cools). Since these components are arranged in the opposite direction when viewed from the light emitting element or the light receiving element of the optical module, miniaturization of the optical module has been hindered.

特許文献1に記載の光モジュールの放熱構造は、上部ヒートシンクに穴をあけ、その穴を通過させて発光素子の光を出射させ、信号光の出射方向と放熱方向とを、発光素子から見て同じ側に配置できるので、配置効率が向上し、光モジュールの小型化が可能である。
しかし、発光素子と上部ヒートシンクとは空間を隔てて配置されており、発光素子が発生する熱を、主として輻射や対流によって放散するため、放熱効果の改善は限定的である。
In the heat dissipation structure of the optical module described in Patent Document 1, a hole is formed in the upper heat sink, the light of the light emitting element is emitted through the hole, and the emission direction and the heat dissipation direction of the signal light are viewed from the light emitting element. Since they can be arranged on the same side, the arrangement efficiency is improved and the optical module can be miniaturized.
However, since the light-emitting element and the upper heat sink are arranged with a space therebetween, and heat generated by the light-emitting element is dissipated mainly by radiation or convection, improvement of the heat dissipation effect is limited.

本発明の目的は、上記に鑑み、光素子から見て光の出射又は入射方向と放熱方向とを同じ方向に配置することから、部品の配置効率が高く、且つ、光素子が発生する熱を効率的にヒートシンクに伝達できるように改良された光モジュールを提供することである。   In view of the above, the object of the present invention is to arrange the light emission or incidence direction and the heat radiation direction in the same direction as viewed from the optical element, so that the arrangement efficiency of the components is high and the heat generated by the optical element is generated. An object of the present invention is to provide an improved optical module that can be efficiently transmitted to a heat sink.

本発明は、発光機能又は受光機能を有する光素子と、光コネクターにより前記光素子と光結合される光伝送路と、前記光素子が発生する熱を放熱するヒートシンクとを備える光モジュールにおいて、
前記光コネクターの少なくとも一部が、熱良導体材料で形成され、且つ、前記ヒートシンクと直接に接触して、又は、熱良導体材料を介して接触していることを特徴とする光モジュールを提供する。
The present invention relates to an optical module comprising: an optical element having a light emitting function or a light receiving function; an optical transmission path optically coupled to the optical element by an optical connector; and a heat sink that dissipates heat generated by the optical element.
Provided is an optical module, wherein at least a part of the optical connector is formed of a good heat conductor material and is in direct contact with the heat sink or through a good heat conductor material.

本発明の光モジュールによれば、光モジュールから発生する熱が、熱伝導によって効率良くヒートシンクに伝達され、効率良くヒートシンクから放熱できる。   According to the optical module of the present invention, heat generated from the optical module is efficiently transmitted to the heat sink by heat conduction, and can be efficiently radiated from the heat sink.

本発明の上記、及び、他の目的、特徴及び利益は、図面を参照する以下の説明により明らかになる。   The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the drawings.

第1の実施形態の送信側光モジュールの断面図。Sectional drawing of the transmission side optical module of 1st Embodiment. 第1の実施形態の受信側光モジュールの断面図。Sectional drawing of the receiving side optical module of 1st Embodiment. 第2の実施形態の光モジュールの断面図。Sectional drawing of the optical module of 2nd Embodiment. 第3の実施形態の光モジュールの一例を示す断面図。Sectional drawing which shows an example of the optical module of 3rd Embodiment. 第4の実施形態の光モジュールの断面図。Sectional drawing of the optical module of 4th Embodiment. 第5の実施形態の光モジュールの断面図。Sectional drawing of the optical module of 5th Embodiment. 第6の実施形態の光モジュールの断面図。Sectional drawing of the optical module of 6th Embodiment. 従来の光モジュールの断面図。Sectional drawing of the conventional optical module. 別の従来の光モジュールの斜視図。The perspective view of another conventional optical module.

以下、本発明の実施形態について説明する。なお、発明の理解を容易にするために、各実施形態で同様な部品については、同じ参照符号を付して示した。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. In addition, in order to make an understanding of invention easy, the same referential mark was attached | subjected and shown about the same component in each embodiment.

第1の実施形態
第1の実施形態は、本発明を光ファイバーに接続するタイプの小型の光モジュールに適用した例である。図1及び図2は、それぞれ本実施形態の光モジュールの断面図である。まず、構造について説明する。図1の光モジュールでは、電気配線基板(以下、単に配線基板と呼ぶ)11上に、光素子を構成する面発光型レーザー(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)12と、光素子駆動IC(VCSELドライバー)13とが搭載される。VCSEL12及び光素子駆動IC13は、配線基板内の図示しない電気配線と接続されている。面発光型レーザーは、一般にVCSELドライバーと組み合わせて使用され、送信側光モジュールを構成する。図2の光モジュールでは、配線基板11には、光素子を構成する面受光素子21と、電気信号を増幅するアンプ(アンプIC)22とが搭載される。面発光素子21及びアンプIC22は、図示しない電気配線によって接続されている。面受光素子は、一般にアンプICと組み合わせて使われ、受信側光モジュールを構成する。
First Embodiment The first embodiment is an example in which the present invention is applied to a small optical module of a type connected to an optical fiber. 1 and 2 are cross-sectional views of the optical module of the present embodiment, respectively. First, the structure will be described. In the optical module shown in FIG. 1, a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) 12 constituting an optical element and an optical element driving IC (VCSEL) are formed on an electric wiring board (hereinafter simply referred to as a wiring board) 11. Driver) 13 is mounted. The VCSEL 12 and the optical element driving IC 13 are connected to an electric wiring (not shown) in the wiring board. A surface emitting laser is generally used in combination with a VCSEL driver and constitutes a transmission side optical module. In the optical module of FIG. 2, a surface light receiving element 21 that constitutes an optical element and an amplifier (amplifier IC) 22 that amplifies an electric signal are mounted on the wiring board 11. The surface light emitting element 21 and the amplifier IC 22 are connected by an electric wiring (not shown). The surface light receiving element is generally used in combination with an amplifier IC and constitutes a receiving side optical module.

図1及び図2の光モジュール10、10Aでは、光素子12、21、光素子駆動IC13又はアンプ22と配線基板11との間の電気接続は、半田や金などの接続材料で行う。
光素子12、21は、単チャンネルのものでも、或いは、12チャンネル程度の多チャンネルのものでもよい。光素子12、21の上部には、光モジュール内に形成された短尺光ファイバー(モジュール内光ファイバー)14が備えられている。光素子12、21の受発光部の中心と短尺光ファイバー14のコア中心とが位置合わせされており、短尺光ファイバー14は、シリコンなどの熱伝導性の良好な材料である光ファイバー固定部品15と、これに支持される蓋16とで両側から固定されている。
In the optical modules 10 and 10A shown in FIGS. 1 and 2, the electrical connection between the optical elements 12 and 21, the optical element driving IC 13 or the amplifier 22 and the wiring board 11 is made with a connecting material such as solder or gold.
The optical elements 12 and 21 may be a single channel or a multi-channel having about 12 channels. Above the optical elements 12 and 21, a short optical fiber (intra-module optical fiber) 14 formed in the optical module is provided. The centers of the light receiving and emitting portions of the optical elements 12 and 21 and the core center of the short optical fiber 14 are aligned. The short optical fiber 14 includes an optical fiber fixing component 15 that is a material having good thermal conductivity such as silicon, and the like. The lid 16 is supported from both sides.

短尺光ファイバー14は、光モジュール内にのみ形成されており、光ファイバー固定部品15のシリコンに加工されたV溝などを用いて固定されている。短尺光ファイバー14は、光コネクター17を用いて、外部光ファイバー18と接続される。光素子駆動IC13及びアンプ22の上部には、ヒートシンク19が配置されており、ヒートシンク19と、光ファイバー固定部品15とは、接着剤などによって固定されている。ヒートシンク19は、その下面が光素子駆動IC13及びアンプ22の上面と接触して配置され、且つ、その下面の外縁部の一部が、配線基板11に固定されている。光素子駆動IC13及びアンプ22と、ヒートシンク19とは、直接に接触してもよく、或いは、熱伝導率のよいコンパウンド、グリースや放熱シートなどの材料がその間に挿入されても良い。   The short optical fiber 14 is formed only in the optical module, and is fixed using a V-groove or the like processed in silicon of the optical fiber fixing component 15. The short optical fiber 14 is connected to an external optical fiber 18 using an optical connector 17. A heat sink 19 is disposed above the optical element driving IC 13 and the amplifier 22, and the heat sink 19 and the optical fiber fixing component 15 are fixed by an adhesive or the like. The lower surface of the heat sink 19 is disposed in contact with the upper surfaces of the optical element driving IC 13 and the amplifier 22, and a part of the outer edge portion of the lower surface of the heat sink 19 is fixed to the wiring substrate 11. The optical element driving IC 13 and the amplifier 22 and the heat sink 19 may be in direct contact with each other, or a material such as a compound having high thermal conductivity, grease, or a heat radiation sheet may be inserted therebetween.

次に、機能について説明する。図1の送信側光モジュール10では、モジュール外部(不図示)のLSIからの電気信号が、配線基板11を介してVCSELドライバー13に入力する。VCSELドライバー13は、VCSEL12に駆動電流を供給する。駆動電流の電流量に応じた光強度で、VCSEL12から光信号が出力される。光信号は、例えば、光強度が所定値よりも弱いときはデジタル信号“0”に、所定値よりも強いときはデジタル信号“1”に、それぞれ対応する。VCSEL12から出力された光信号は、短尺光ファイバー14に結合し、その先で目的長さの光ファイバー18に光結合し信号が伝送される。VCSELドライバー13が発生する熱は、主としてヒートシンク19を介して放熱される。VCSEL12が発生する熱は、主として熱伝導性の良い光ファイバー固定部品15を介して、ヒートシンク19から放熱される。このとき、光ファイバー固定部品15は、いわゆるヒートスプレッダーとして機能し、VCSEL12から発生する熱をVCSEL12に対して垂直方向に拡散する。このため、冷却効率の高い放熱構造が得られる。この光モジュール10は、VCSELドライバー13とVCSEL12の合計発熱量が小さな場合には空冷により、また、合計発熱量が大きな場合には水冷により、目的温度にまで冷却される。   Next, functions will be described. In the transmission side optical module 10 of FIG. 1, an electrical signal from an LSI outside the module (not shown) is input to the VCSEL driver 13 via the wiring board 11. The VCSEL driver 13 supplies a drive current to the VCSEL 12. An optical signal is output from the VCSEL 12 with a light intensity corresponding to the amount of drive current. For example, the optical signal corresponds to the digital signal “0” when the light intensity is weaker than a predetermined value, and corresponds to the digital signal “1” when the light intensity is higher than the predetermined value. The optical signal output from the VCSEL 12 is coupled to the short optical fiber 14, and then optically coupled to the optical fiber 18 having a target length before being transmitted. The heat generated by the VCSEL driver 13 is radiated mainly through the heat sink 19. The heat generated by the VCSEL 12 is radiated from the heat sink 19 mainly through the optical fiber fixing component 15 having good thermal conductivity. At this time, the optical fiber fixing component 15 functions as a so-called heat spreader and diffuses heat generated from the VCSEL 12 in a direction perpendicular to the VCSEL 12. For this reason, a heat dissipation structure with high cooling efficiency is obtained. The optical module 10 is cooled to the target temperature by air cooling when the total calorific value of the VCSEL driver 13 and the VCSEL 12 is small, and by water cooling when the total calorific value is large.

図2の受信側光モジュール10Aでは、目的長さの光ファイバー18を経由して送信された光信号が、短尺光ファイバー14に結合し、その先で面受光素子21に結合する。面受光素子21内で、光信号が電気信号に変換され、アンプ22で電気的に増幅される。増幅された電気信号は、配線基板11を介して、光モジュール外部のLSI(不図示)に向けて出力される。受光素子21とアンプ22とは、上記の送信側光モジュール10と同様に冷却される。   In the receiving-side optical module 10A of FIG. 2, an optical signal transmitted via the optical fiber 18 having a target length is coupled to the short optical fiber 14 and coupled to the surface light receiving element 21 at the end. In the surface light receiving element 21, the optical signal is converted into an electric signal and is electrically amplified by the amplifier 22. The amplified electrical signal is output to an LSI (not shown) outside the optical module via the wiring board 11. The light receiving element 21 and the amplifier 22 are cooled in the same manner as the transmission side optical module 10 described above.

配線基板11には、セラミック基板や、プリント基板などが適している。ヒートシンク19には、熱伝導性が良好な金属、特に形状加工が容易な、銅、アルミニウムなどが適している。光ファイバー固定部品15には、V溝加工が容易で、且つ、熱伝導性が良好なシリコンが特に適している。   A ceramic substrate or a printed circuit board is suitable for the wiring substrate 11. For the heat sink 19, a metal having good thermal conductivity, particularly copper, aluminum, etc., which are easy to shape, are suitable. For the optical fiber fixing part 15, silicon that is easy to process a V-groove and has good thermal conductivity is particularly suitable.

次に、製造方法について説明する。送信側光モジュール10と受信側光モジュール10Aの製造方法は同様であるため、送信側光モジュール10についてのみその製造方法を説明し、受信側光モジュール10Aについての説明を省略する。製造方法には以下の2通りがある。   Next, a manufacturing method will be described. Since the manufacturing method of the transmission-side optical module 10 and the reception-side optical module 10A are the same, the manufacturing method is described only for the transmission-side optical module 10, and the description of the reception-side optical module 10A is omitted. There are the following two manufacturing methods.

まず、第1の製造方法について説明する。配線基板11上に、VCSEL12とVCSELドライバー13とを実装する。それとは別に、短尺光ファイバー14を光ファイバー固定部品15に位置合わせし、蓋16をかぶせて固定する。光ファイバー固定部品15に形成されたV溝に、短尺光ファイバー14を整列させ接着剤などで固定する。短尺光ファイバー14は、目的に応じて複数本になる場合もある。短尺光ファイバ14、光ファイバー固定部品15及び蓋16の組合せを、光ファイバーユニットと呼ぶ。この光ファイバーユニットをヒートシンク19に接着し、両者を合わせて「光ファイバー/ヒートシンク・ユニット」と呼ぶ。光ファイバー/ヒートシンク・ユニットを、VCSEL12とVCSELドライバー13とが実装された配線基板11上に実装する。その際に、VCSEL12の発光部と短尺光ファイバー14のコアとを位置合わせする。ここでする「位置合わせ」とは、VCSEL12の光軸と短尺光ファイバー14の光軸とが、例えば10μm以内で一致し、かつ両部品間の離隔距離が10〜50μmと短いことである。   First, the first manufacturing method will be described. A VCSEL 12 and a VCSEL driver 13 are mounted on the wiring board 11. Separately, the short optical fiber 14 is aligned with the optical fiber fixing part 15, and the lid 16 is put on and fixed. The short optical fiber 14 is aligned in a V-groove formed in the optical fiber fixing component 15 and fixed with an adhesive or the like. There may be a plurality of short optical fibers 14 depending on the purpose. A combination of the short optical fiber 14, the optical fiber fixing component 15, and the lid 16 is referred to as an optical fiber unit. This optical fiber unit is bonded to the heat sink 19 and the two are collectively referred to as an “optical fiber / heat sink unit”. The optical fiber / heat sink unit is mounted on the wiring substrate 11 on which the VCSEL 12 and the VCSEL driver 13 are mounted. At that time, the light emitting part of the VCSEL 12 and the core of the short optical fiber 14 are aligned. Here, “alignment” means that the optical axis of the VCSEL 12 and the optical axis of the short optical fiber 14 coincide with each other within 10 μm, for example, and the distance between both parts is as short as 10 to 50 μm.

以下、第2の製造方法について説明する。まず、光ファイバーユニットを組み立て、その光ファイバーの先端にVCSEL12を接続する。その際にVCSEL12と短尺光ファイバー14とを位置合わせすることは上記と同じである。次に、ヒートシンク19を、光ファイバーユニットに接着する。このVCSEL12と光ファイバーユニットとヒートシンク19とが一体化した複合部品を、「光ファイバー/VCSEL/ヒートシンク・ユニット」と呼ぶ。別にVCSELドライバー13を配線基板11に実装しておく。光ファイバー/VCSEL/ヒートシンク・ユニットを、VCSELドライバー13が実装された配線基板11に実装する。その際に、半田、金バンプなどを用いて、VCSEL12の電極と配線基板11の電極とを接続する。この製造方法は、短尺光ファイバー14とVCSEL12とが接着された時点で、光結合効率の検査ができる。このため、良品のみを選別して配線基板に実装できるという利点がある。この製造プロセスでは、信号速度が例えば10Gbpsなどと高速になると、光信号の送受信間のロスバジェットが少なくなるため、VCSELと光ファイバー間で結合損失を低減できることが重要となる。   Hereinafter, the second manufacturing method will be described. First, an optical fiber unit is assembled, and the VCSEL 12 is connected to the tip of the optical fiber. At that time, the alignment of the VCSEL 12 and the short optical fiber 14 is the same as described above. Next, the heat sink 19 is bonded to the optical fiber unit. A composite part in which the VCSEL 12, the optical fiber unit, and the heat sink 19 are integrated is referred to as an “optical fiber / VCSEL / heat sink unit”. Separately, the VCSEL driver 13 is mounted on the wiring board 11. The optical fiber / VCSEL / heat sink unit is mounted on the wiring board 11 on which the VCSEL driver 13 is mounted. At that time, the electrodes of the VCSEL 12 and the electrodes of the wiring board 11 are connected using solder, gold bumps, or the like. In this manufacturing method, the optical coupling efficiency can be inspected when the short optical fiber 14 and the VCSEL 12 are bonded. For this reason, there is an advantage that only non-defective products can be selected and mounted on the wiring board. In this manufacturing process, when the signal speed is as high as 10 Gbps, for example, the loss budget between transmission and reception of optical signals decreases, so it is important to be able to reduce the coupling loss between the VCSEL and the optical fiber.

第2の実施形態
第2の実施形態は、本発明を光導波路タイプの小型光モジュールに適用した例である。
第2の実施形態の光モジュール10Bは、図1の光モジュール10において、短尺光ファイバー14を短尺光導波路(モジュール内光導波路)23に変更したものであり、図3にその構造を示した。本実施例の光モジュール10Bでは、光信号がシングルモードの場合には、光導波路材料にガラスまたはポリマーを使用することが望ましく、また、マルチモードの場合には、光導波路材料にポリマーを使用することが望ましい。
Second Embodiment The second embodiment is an example in which the present invention is applied to an optical waveguide type small optical module.
The optical module 10B of the second embodiment is obtained by changing the short optical fiber 14 to a short optical waveguide (intra-module optical waveguide) 23 in the optical module 10 of FIG. 1, and its structure is shown in FIG. In the optical module 10B of the present embodiment, it is desirable to use glass or polymer for the optical waveguide material when the optical signal is in single mode, and to use polymer for the optical waveguide material in the case of multimode. It is desirable.

光モジュール10Bの機能については、先の実施形態における短尺光ファイバー14の機能を短尺光導波路が受け持つことになる。つまり、光素子を構成するVCSEL12と短尺光導波路23とが光結合する。   Regarding the function of the optical module 10B, the short optical waveguide takes over the function of the short optical fiber 14 in the previous embodiment. That is, the VCSEL 12 and the short optical waveguide 23 constituting the optical element are optically coupled.

本実施形態の光モジュールの製造方法には、短尺光導波路23の形成方法には2通りの方法がある。第1の方法では、まずシリコン基板上に光導波路を形成し、これをダイシングすることにより短尺光導波路23を製造する。第2の方法では、まず、ポリマー光導波路フィルムを製造し、次いで、そのポリマー光導波路フィルムを光ファイバー固定部品15であるシリコンに接着する。本実施形態の構造は、多チャンネルの短尺光導波路を作成する場合に特に好適であり、フォトリソグラフィー技術を用いることにより、複数の短尺光導波路間のピッチを精度よく制御できるという利点をもつ。   In the manufacturing method of the optical module of this embodiment, there are two methods for forming the short optical waveguide 23. In the first method, an optical waveguide is first formed on a silicon substrate, and the short optical waveguide 23 is manufactured by dicing the optical waveguide. In the second method, a polymer optical waveguide film is first manufactured, and then the polymer optical waveguide film is bonded to silicon that is the optical fiber fixing component 15. The structure of the present embodiment is particularly suitable for producing a multi-channel short optical waveguide, and has an advantage that the pitch between a plurality of short optical waveguides can be accurately controlled by using a photolithography technique.

第3の実施形態
本実施形態は、本発明を、光素子と短尺光ファイバーとの間に光学レンズを配設した光モジュールに適用した例である。図4は、本実施形態の光モジュールを示す。この光モジュール10Cでは、VCSEL12の上部に光学レンズ24を配設している。この構造では、ガラスや透明樹脂から成る部品としての光学レンズ24を、VCSEL12と短尺光ファイバー14との間に備える。別の例として、VCSEL12自身が光学レンズを有していてもよい。VCSEL12自身が光学レンズを有する構造は、例えば、VCSEL12のGaAs基板をエッチングすることにより、光学レンズ形状に加工することで作製する。
Third Embodiment The present embodiment is an example in which the present invention is applied to an optical module in which an optical lens is disposed between an optical element and a short optical fiber. FIG. 4 shows the optical module of this embodiment. In the optical module 10 </ b> C, an optical lens 24 is disposed on the VCSEL 12. In this structure, an optical lens 24 as a component made of glass or transparent resin is provided between the VCSEL 12 and the short optical fiber 14. As another example, the VCSEL 12 itself may have an optical lens. The structure in which the VCSEL 12 itself has an optical lens is produced by, for example, processing the GaAs substrate of the VCSEL 12 into an optical lens shape by etching.

本実施形態では、VCSEL12からの出射光の拡がりを抑制することができ、これによって、短尺光ファイバーとの光結合効率を上げることができる。放熱構造は、VCSEL12と光ファイバーユニットとの間に微少な隙間ができる程度であり、その上下の位置関係も変わらないので、放熱効果にさほど大きな低下はない。   In the present embodiment, the spread of light emitted from the VCSEL 12 can be suppressed, and thereby the optical coupling efficiency with the short optical fiber can be increased. The heat dissipating structure is such that a minute gap is formed between the VCSEL 12 and the optical fiber unit, and the positional relationship between the upper and lower parts does not change, so that the heat dissipating effect is not greatly reduced.

第4の実施形態
本実施形態は、光素子の上部に基板と垂直方向に延びる縦光導波路を形成した光モジュールに、本発明を適用した例である。図5は、この実施形態の光モジュール10Dを示す。まず、構造について説明する。波長850nm帯のVCSELや受光素子は、GaAs基板を用いて製造される。
Fourth Embodiment The present embodiment is an example in which the present invention is applied to an optical module in which a vertical optical waveguide extending in a direction perpendicular to the substrate is formed on an optical element. FIG. 5 shows an optical module 10D of this embodiment. First, the structure will be described. A VCSEL and a light receiving element having a wavelength of 850 nm are manufactured using a GaAs substrate.

GaAs基板は、波長850nm帯に対して透明ではない。このため、第3の実施形態で採用した、VCSEL12が光学レンズを有する構成は、光素子の基板内を光信号が通過し、光信号強度が減衰するため、その波長帯には適していない。このため、その波長帯で作動する従来の光素子では、発光又は受光に必要な数μmの厚みを残して、残りの光素子部分をガラスで形成する構成を採用する例がある。本実施形態では、そのような構造を採用し、ガラス部分が短尺光ファイバーと同じ方向に光導波路を備えている。   The GaAs substrate is not transparent to the wavelength 850 nm band. For this reason, the configuration of the VCSEL 12 having the optical lens adopted in the third embodiment is not suitable for the wavelength band because the optical signal passes through the substrate of the optical element and the optical signal intensity is attenuated. For this reason, in a conventional optical element that operates in that wavelength band, there is an example in which a structure in which the remaining optical element portion is formed of glass while leaving a thickness of several μm necessary for light emission or light reception is employed. In this embodiment, such a structure is adopted, and the glass portion includes an optical waveguide in the same direction as the short optical fiber.

本実施形態の機能としては、送信側光モジュールのVCSELにあっては、出射光がガラス内の縦光導波路25を伝播し、その先で短尺光ファイバーと結合する。ガラス内縦光導波路を配設しないと、VCSEL12を出た時点で光が大きく拡がる場合がある。ガラス内縦光導波路を採用することにより、光導波路幅以上には光サイズが拡がらないので、VCSEL12と短尺光ファイバー14との間で高効率の光結合が可能となる。   As a function of this embodiment, in the VCSEL of the transmission side optical module, the emitted light propagates through the vertical optical waveguide 25 in the glass and is coupled to the short optical fiber at the tip. If the in-glass vertical optical waveguide is not provided, the light may spread greatly upon exiting the VCSEL 12. By adopting the longitudinal optical waveguide in the glass, the light size does not expand beyond the width of the optical waveguide, so that highly efficient optical coupling between the VCSEL 12 and the short optical fiber 14 is possible.

本実施形態の製造方法は、例えばフェムト秒レーザーを用いて、ガラス内に光導波路を描画することで作製できる。   The manufacturing method of this embodiment can be produced by drawing an optical waveguide in glass using, for example, a femtosecond laser.

第5の実施の形態
本実施形態は、配線基板がキャヴィティを有する光モジュールに、本発明を適用した例である。図6は、この実施形態の光モジュール10Eを示す。配線基板11がキャヴィティ26を備えており、そのキャヴィティ26内に、光素子を構成するVCSEL12とVCSELドライバー13とが実装されている。ヒートシンク19は、配線基板11の上面に接する下面を有する直方体形状を有する。配線基板11にはセラミック基板などが、また、ヒートシンク19にはコバールなどの材料が適している。
Fifth Embodiment This embodiment is an example in which the present invention is applied to an optical module in which a wiring board has cavities. FIG. 6 shows an optical module 10E of this embodiment. The wiring board 11 includes a cavity 26, and the VCSEL 12 and the VCSEL driver 13 constituting the optical element are mounted in the cavity 26. The heat sink 19 has a rectangular parallelepiped shape having a lower surface in contact with the upper surface of the wiring board 11. A ceramic substrate or the like is suitable for the wiring substrate 11, and a material such as Kovar is suitable for the heat sink 19.

上記構造を採用することにより、配線基板11を構成するセラミックの熱膨張率に近い材料であるコバールを用いたヒートシンク19を使用して、光モジュールの製造が可能になる。熱膨張率は、セラミックが5.0、コバールが4.7、アルミニウムが24.0である。セラミックとコバールの熱膨張率はほぼ同じであり、その結果、熱膨張による配線基板とヒートシンクの伸び縮みがほぼ同等となり、その間に生じる熱応力が小さくなる。このため、双方の部品やその接合点における損傷が防止できる。   By adopting the above structure, an optical module can be manufactured using the heat sink 19 using Kovar, which is a material close to the thermal expansion coefficient of the ceramic constituting the wiring board 11. The coefficients of thermal expansion are 5.0 for ceramic, 4.7 for kovar, and 24.0 for aluminum. The thermal expansion coefficients of ceramic and Kovar are almost the same. As a result, the expansion and contraction of the wiring board and the heat sink due to the thermal expansion are substantially equal, and the thermal stress generated therebetween is reduced. For this reason, the damage in both components and its junction can be prevented.

第6の実施形態
本実施形態は、光素子と光ファイバーとの間に透明樹脂を有する光モジュールに、本発明を適用した例である。図7は、本実施形態の光モジュール10Fを示す。短尺光ファイバー14と光素子を構成するVCSEL12との間に空気が介在すると、VCSEL12と空気との間、及び、空気と短尺光ファイバー14との間の2箇所で、反射率が異なる界面が形成され、光損失が発生する。例えば、VCSEL12のGaAs基板(屈折率3.4程度)と屈折率1の空気との間の界面では、1.5dBの損失が生じる。また、空気と短尺光ファイバー14との間の界面では、0.2dBの損失が生じる。その合計は1.7dBである。
Sixth Embodiment This embodiment is an example in which the present invention is applied to an optical module having a transparent resin between an optical element and an optical fiber. FIG. 7 shows an optical module 10F of this embodiment. When air is interposed between the short optical fiber 14 and the VCSEL 12 constituting the optical element, interfaces having different reflectivities are formed between the VCSEL 12 and the air, and between the air and the short optical fiber 14, Light loss occurs. For example, a loss of 1.5 dB occurs at the interface between the GaAs substrate of the VCSEL 12 (with a refractive index of about 3.4) and air with a refractive index of 1. Further, a loss of 0.2 dB occurs at the interface between the air and the short optical fiber 14. The total is 1.7 dB.

透明樹脂27を介在させることにより、VCSEL12と屈折率1.5の透明樹脂27との間の界面の損失は0.8dBに低下する。また、透明樹脂27と短尺光ファイバー14との間の界面の損失はほぼ0であるため、合計0.8dBの損失となる。つまり、本実施形態では、0.9dBの損失低減が可能になる。   By interposing the transparent resin 27, the loss at the interface between the VCSEL 12 and the transparent resin 27 having a refractive index of 1.5 is reduced to 0.8 dB. Further, since the loss at the interface between the transparent resin 27 and the short optical fiber 14 is almost zero, the loss is 0.8 dB in total. That is, in this embodiment, 0.9 dB loss reduction is possible.

本発明における光素子は、モジュール外部に向けて光を発生するレーザや、外部からモジュール内に光を受光する受光素子、例えば、光変調器などによって構成される。光伝送路は、光ファイバーや光導波路を含むものであり、一部に光分岐器などの光学素子や光デバイスを含んでいてもよい。熱良導体は、金属の他に、セラミック、シリコンなどが含まれる。   The optical element according to the present invention includes a laser that generates light toward the outside of the module, and a light receiving element that receives light from the outside into the module, such as an optical modulator. The optical transmission line includes an optical fiber and an optical waveguide, and may partially include an optical element such as an optical branching device and an optical device. The good thermal conductor includes ceramic, silicon and the like in addition to metal.

本発明を特別に示し且つ例示的な実施形態を参照して説明したが、本発明は、その実施形態及びその変形に限定されるものではない。当業者に明らかなように、本発明は、添付のクレームに規定される本発明の精神及び範囲を逸脱することなく、種々の変更が可能である。   Although the invention has been particularly shown and described with reference to illustrative embodiments, the invention is not limited to these embodiments and variations thereof. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims.

本出願は、2007年6月26日出願に係る日本特許出願2007−167288号を基礎とし且つその優先権を主張するものであり、引用によってその開示の内容の全てを本出願の明細書中に加入する。
This application is based on and claims the priority of Japanese Patent Application No. 2007-167288 filed on Jun. 26, 2007, the entire disclosure of which is incorporated herein by reference. join.

Claims (8)

発光機能又は受光機能を有する光素子と、光コネクターにより前記光素子に光結合される光伝送路と、前記光素子が発生する熱を放熱するヒートシンクとを備える光モジュールであって、
前記光コネクターの少なくとも一部が、熱良導体材料で形成され、且つ、前記ヒートシンクと直接に接触して、又は、熱良導体材料を介して接触していることを特徴とする光モジュール。
An optical module comprising: an optical element having a light emitting function or a light receiving function; an optical transmission path optically coupled to the optical element by an optical connector; and a heat sink that dissipates heat generated by the optical element,
An optical module, wherein at least a part of the optical connector is formed of a good heat conductor material and is in direct contact with the heat sink or through a good heat conductor material.
前記光伝送路が、モジュール内光ファイバーを含み、該モジュール内光ファイバー及び前記光コネクタを固定する固定部材が、熱良導体材料で形成され、前記ヒートシンクに直接的に又は間接的に接触して配置される、請求項1に記載の光モジュール。   The optical transmission path includes an optical fiber in the module, and a fixing member for fixing the optical fiber in the module and the optical connector is formed of a heat conductive material and is disposed in direct or indirect contact with the heat sink. The optical module according to claim 1. 前記固定部材がシリコンで形成される、請求項2に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 2, wherein the fixing member is made of silicon. 前記光素子と前記光コネクターとの間に光学レンズを配置した、請求項1〜3の何れか一に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein an optical lens is disposed between the optical element and the optical connector. 前記光素子が、前記光コネクターとのインタフェースに光学レンズを備える、請求項1〜3の何れか一に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the optical element includes an optical lens at an interface with the optical connector. 前記光素子が、ガラス内に形成された光導波路を備え、該光導波路を介して前記光伝送路に光結合される、請求項1〜5の何れか一に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the optical element includes an optical waveguide formed in glass, and is optically coupled to the optical transmission line via the optical waveguide. 前記光素子が、配線基板の表面に形成されたキャビティの内部に配置され、前記ヒートシンクは前記キャビティの外部で前記配線基板上に固定される、請求項1〜6の何れか一に記載の光モジュール。   The light according to claim 1, wherein the optical element is disposed inside a cavity formed on a surface of the wiring board, and the heat sink is fixed on the wiring board outside the cavity. module. 前記光素子と前記光伝送路との間に透明樹脂を介在させた、請求項1〜7の何れか一に記載の光モジュール。
The optical module according to claim 1, wherein a transparent resin is interposed between the optical element and the optical transmission line.
JP2009520595A 2007-06-26 2008-06-24 Optical module Pending JPWO2009001822A1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007167288 2007-06-26
JP2007167288 2007-06-26
PCT/JP2008/061462 WO2009001822A1 (en) 2007-06-26 2008-06-24 Optical module

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2009001822A1 true JPWO2009001822A1 (en) 2010-08-26

Family

ID=40185636

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009520595A Pending JPWO2009001822A1 (en) 2007-06-26 2008-06-24 Optical module

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2009001822A1 (en)
WO (1) WO2009001822A1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102272704B (en) * 2009-01-07 2014-04-23 伊斯奇里因特菲斯技术股份有限公司 Detector surface
WO2011013289A1 (en) * 2009-07-31 2011-02-03 日本電気株式会社 Optical module
JP2015121565A (en) * 2012-03-02 2015-07-02 株式会社日立製作所 Multichannel optical module and information processing apparatus using the same
JP6015347B2 (en) * 2012-10-26 2016-10-26 富士通株式会社 Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11211924A (en) * 1998-01-21 1999-08-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical circuit for wavelength multiplexing communication
JP3583709B2 (en) * 2000-11-16 2004-11-04 日本電信電話株式会社 Semiconductor laser module
JP2003004991A (en) * 2001-06-25 2003-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical transmission and reception module and its manufacturing method
JP2004111446A (en) * 2002-09-13 2004-04-08 Fuji Xerox Co Ltd Semiconductor laser element mounting method, and semiconductor laser device and optical module using the mounting method
JP4186058B2 (en) * 2003-05-30 2008-11-26 日亜化学工業株式会社 Laser light source device
JP2005208612A (en) * 2003-12-25 2005-08-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for manufacturing optical module, and the optical module
JP2005223111A (en) * 2004-02-05 2005-08-18 Yokogawa Electric Corp Variable wavelength laser

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009001822A1 (en) 2008-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111338039B (en) Optical module
US9054812B2 (en) Optical module
US9647762B2 (en) Integrated parallel optical transceiver
US11828991B2 (en) Optical module
JP4876263B2 (en) Signal transmission equipment
US10483413B2 (en) Photoelectric module and optical device
US9217835B2 (en) Photoelectric conversion module and transmission apparatus using the same
JP2006091241A (en) Optoelectronic composite wiring component and electronic equipment using the same
JP2010067731A (en) Optical module and optical transmission method
CN113009646B (en) Optical module
CN113009648B (en) Optical module
CN112965190A (en) Optical module
US20130299683A1 (en) Optical connecting member and optical module
JPWO2009001822A1 (en) Optical module
JP2001044582A (en) Photoelectric mixed wiring board, drive method therefor and electronic circuit device using the same
US20230341640A1 (en) Optical module
JP2009170674A (en) Optical module
US20230116287A1 (en) Optical module
US20120148190A1 (en) Optical module and optical transmission device using the same
JP2012013726A (en) Optical interconnection module, and optical and electrical circuit board using the same
CN113009647B (en) Optical module
JP6260167B2 (en) Photoelectric fusion module
WO2022262551A1 (en) Optical module
CN220493002U (en) Optical module
CN220691152U (en) Optical module