JPWO2007058285A1 - Fluid purification method and purification device - Google Patents

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Abstract

簡単に流体を浄化することができる流体浄化方法および流体浄化装置を提供すること。亜酸化窒素を含む溶液を、流体に含まれる物質に接触させた状態で前記溶液に紫外光を照射することにより、前記物質の浄化を行う物質の浄化方法。To provide a fluid purification method and a fluid purification device capable of easily purifying a fluid. A method for purifying a substance, which purifies the substance by irradiating the solution containing nitrous oxide with ultraviolet light in a state where the solution is in contact with the substance contained in the fluid.

Description

本発明は、気体又は液体等の流体の浄化方法およびその装置に関する。   The present invention relates to a method for purifying a fluid such as gas or liquid and an apparatus therefor.

流体とは、気体及び液体の総称であり、形状を自由に変化させることのできる物質のことである。一般に、流体中には数多くの不純物が混在しており、各分野において種々の弊害を引き起こしている。   A fluid is a general term for gases and liquids, and is a substance whose shape can be freely changed. In general, a large number of impurities are mixed in the fluid, causing various adverse effects in each field.

例えば、気体や液体中には、油やたんぱく質などの有機物が多く含まれている。気体中に含まれる有機物は好ましくない臭いの原因になることがあり、また、液体中に含まれる油等は環境汚染の原因になり得る。したがって、このような流体を浄化する際、流体中に含まれる有機物の分解、除去が重要である。有機物の浄化処理方法としては、酸化反応を起こして有機物を分解する方法が知られている(非特許文献1、2参照)。   For example, gases and liquids contain a lot of organic substances such as oil and protein. Organic substances contained in the gas may cause an unpleasant odor, and oil contained in the liquid may cause environmental pollution. Therefore, when purifying such a fluid, it is important to decompose and remove organic substances contained in the fluid. As a method for purifying organic substances, a method for decomposing organic substances by causing an oxidation reaction is known (see Non-Patent Documents 1 and 2).

山之内直俊、武田光雄、「亜酸化窒素」、高圧ガス、Vol.13 No.3(1976)p105〜111Naotoshi Yamanouchi, Mitsuo Takeda, “Nitrous Oxide”, High Pressure Gas, Vol. 13 No. 3 (1976) p105-111 「気相における光化学反応」、日本化学会編,化学総説無機光化学学会出版センターNo.39,(1983)p14〜38“Photochemical reaction in the gas phase”, edited by Chemical Society of Japan, Chemical Review Inorganic Photochemical Society Publication Center No. 39, (1983) p14-38

ところで、現在、気体の浄化は、様々な場面で必要とされている。例えば、建物内の空気を循環させるとき、外気を室内に取り込むとき、あるいは産業活動で発生した気体を外界に放出するときなどである。   By the way, at present, purification of gas is required in various situations. For example, when circulating air in a building, taking outside air into a room, or releasing gas generated by industrial activities to the outside.

また、液体の浄化についても同様に、様々な場面で必要とされている。例えば、各種の人間活動で用いられた使用済みの液体を自然界に戻す処理を行うときや、使用済みの液体や自然界等に存在する液体から所定用途の液体を得るための処理を行うときなどである。   Similarly, liquid purification is required in various situations. For example, when processing used to return used liquid used in various human activities to nature, or when processing to obtain liquid for a predetermined use from used liquid or liquid existing in nature, etc. is there.

このような流体の浄化の必要性は、現在ますます高まりつつあり、簡単に液体を浄化する方法が必要とされている。   The need for such fluid purification is now increasing, and there is a need for a simple method for purifying liquids.

本発明者等は、流体の浄化方法について鋭意研究を行う中で、亜酸化窒素(NO)を用いた酸化方法に関して、非特許文献1より、亜酸化窒素は常温・常圧では安定な気体であり、可視光による分解は起こらないとの知見を得た。ところが、さらに研究を重ねる中で、亜酸化窒素を用いた場合であっても、酸化を気相中で行う場合には、そのガスの取り扱いが困難であるという問題を見出した。The present inventors are diligently researching a method for purifying fluids. Regarding the oxidation method using nitrous oxide (N 2 O), from Non-Patent Document 1, nitrous oxide is stable at normal temperature and normal pressure. It was found that it is a gas and does not decompose by visible light. However, during further research, even when nitrous oxide was used, it was found that the gas was difficult to handle when oxidation was performed in the gas phase.

また、非特許文献2より、亜酸化窒素に対して240nmよりも波長の短い光を照射すると、亜酸化窒素は窒素分子(N)と原子状酸素(O)とに分解するとの知見を得た。しかし、オゾンの発生を抑制するため、処理チャンバ等の密閉装置が必要となり、必要に応じて処理チャンバ内の温度を昇温させなければならいため、亜酸化窒素による酸化のコストが高くなってしまうという問題があった。また、非特許文献2には、NOを用いた酸化反応を起こさせるための最適な波長は開示されていなかった。Further, from Non-Patent Document 2, the knowledge that nitrous oxide is decomposed into nitrogen molecules (N 2 ) and atomic oxygen (O) when nitrous oxide is irradiated with light having a wavelength shorter than 240 nm is obtained. It was. However, in order to suppress the generation of ozone, a sealing device such as a processing chamber is required, and the temperature in the processing chamber must be increased as necessary, which increases the cost of oxidation with nitrous oxide. There was a problem. Non-Patent Document 2 did not disclose an optimum wavelength for causing an oxidation reaction using N 2 O.

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、簡単に流体を浄化することができる流体浄化方法およびその装置を提供することを課題とする。   This invention is made | formed in view of such a problem, and makes it a subject to provide the fluid purification method and its apparatus which can purify | clean a fluid easily.

本発明者等は、先に出願した〔特願2005−146361号〕に記載したように、液中に溶解した亜酸化窒素に光を照射することで、かかる従来の問題が一気に解決される気体浄化方法およびその装置の発明に想到するに至った。すなわち、本発明においては、亜酸化窒素を含む溶液を、流体に含まれる物質に接触させた状態で前記溶液に紫外光を照射することにより、前記物質の浄化を行う物質の浄化方法とした。   As described in the previously filed [Japanese Patent Application No. 2005-146361], the present inventors irradiate light to nitrous oxide dissolved in the liquid, whereby the conventional problem can be solved at once. The inventors have come up with the invention of the purification method and apparatus. That is, in the present invention, a method for purifying a substance that purifies the substance by irradiating the solution with nitrous oxide in contact with the substance contained in the fluid is irradiated with ultraviolet light.

本発明においては、亜酸化窒素ガスを、流体に含まれる物質に接触させた状態で紫外光を照射する流体の浄化方法とした。   In this invention, it was set as the purification method of the fluid which irradiates an ultraviolet light in the state which made nitrous oxide gas contact the substance contained in the fluid.

本発明においては、前記流体が、気体であることを特徴とする前記に記載の流体の浄化方法とした。   In the present invention, the fluid purifying method described above is characterized in that the fluid is a gas.

本発明においては、前記流体が、液体であることを特徴とする前記のいずれかに記載の流体の浄化方法とした。   In the present invention, the fluid purifying method according to any one of the above, wherein the fluid is a liquid.

本発明においては、亜酸化窒素ガスが、流体中に溶存しているものである前記のいずれかに記載の流体の浄化方法とした。   In the present invention, the fluid purification method according to any one of the above, wherein the nitrous oxide gas is dissolved in the fluid.

本発明においては、紫外光の光源が、クリプトン−ヨウ素(KrI)エキシマランプである前記のいずれかに記載の流体の浄化方法とした。   In the present invention, the fluid purification method according to any one of the above, wherein the ultraviolet light source is a krypton-iodine (KrI) excimer lamp.

本発明においては、流体に含まれる物質を、亜酸化窒素を含む溶液に接触させるための接触ユニットと、前記亜酸化窒素に接触した前記物質に紫外光を照射する光源とを備えている流体の浄化装置とした。   In the present invention, a fluid comprising a contact unit for bringing a substance contained in a fluid into contact with a solution containing nitrous oxide, and a light source for irradiating the substance in contact with the nitrous oxide with ultraviolet light. A purification device was obtained.

本発明においては、前記接触ユニットは、前記流体と、前記亜酸化窒素を含む溶液とを収容する収容部を備えている前記に記載の流体の浄化装置とした。   In the present invention, the contact unit is the fluid purification device described above including a storage unit that stores the fluid and the solution containing the nitrous oxide.

本発明においては、流体に含まれる物質を、亜酸化窒素に接触させるための接触ユニットと、前記亜酸化窒素に接触した前記物質に紫外光を照射する光源とを備えている前記に記載の流体の浄化装置とした。   In the present invention, the fluid according to the above, comprising a contact unit for bringing a substance contained in the fluid into contact with nitrous oxide, and a light source for irradiating the substance in contact with the nitrous oxide with ultraviolet light. The purification device.

本発明においては、前記接触ユニットは、流体に含まれる物質と、流体中に溶存する亜酸化窒素とを接触させるための容器を備えている、前記に記載の流体の浄化装置とした。   In the present invention, the contact unit includes the container for bringing a substance contained in the fluid into contact with nitrous oxide dissolved in the fluid.

本発明においては、前記紫外光の光源は、クリプトン−ヨウ素(KrI)エキシマランプである前記のいずれかに記載の流体の浄化装置とした。   In the present invention, the fluid purification device according to any one of the above, wherein the ultraviolet light source is a krypton-iodine (KrI) excimer lamp.

本発明によれば、亜酸化窒素を含む溶液を、流体に含まれる物質に接触させた状態で前記溶液に紫外光を照射することにより、前記物質の浄化を行うこととした。このため、酸化反応の制御が容易であり、簡単に被処理流体、すなわち気体や液体の浄化を行うことができる。また、亜酸化窒素は、自然界には通常存在しない波長を持った紫外光を照射することによって分離反応が生じる。そのため、例えば、処理廃液を下水道等にそのまま流したとしても、自然界に対して有害な影響を与えることがない。   According to the present invention, the substance is purified by irradiating the solution containing nitrous oxide with ultraviolet light in a state where the solution is in contact with the substance contained in the fluid. For this reason, it is easy to control the oxidation reaction, and it is possible to easily purify the fluid to be treated, that is, gas or liquid. Nitrous oxide undergoes a separation reaction when irradiated with ultraviolet light having a wavelength that does not normally exist in nature. Therefore, for example, even if the treatment waste liquid is allowed to flow into the sewer as it is, there is no harmful effect on the natural world.

本発明によれば、亜酸化窒素ガスを流体に含まれる物質に接触させた状態で紫外光を照射することとしたので、容易に流体の浄化を行うことができる。また、流体が液体である場合には、被処理液の濃度を変えることなく被処理液の回収等を行うことができる。さらに、亜酸化窒素を溶解させる溶媒を必要としないため、経済的に浄化を行うことができる。   According to the present invention, since the ultraviolet light is irradiated while the nitrous oxide gas is in contact with the substance contained in the fluid, the fluid can be easily purified. Further, when the fluid is a liquid, the liquid to be processed can be recovered without changing the concentration of the liquid to be processed. Further, since no solvent for dissolving nitrous oxide is required, purification can be performed economically.

本発明においては、前記流体が、気体であることを特徴とするため、気体中に含まれる有機物等を酸化処理することで、簡単に気体の浄化を行うことができる。   In the present invention, since the fluid is a gas, the gas can be easily purified by oxidizing an organic substance or the like contained in the gas.

本発明においては、前記流体が、液体であることを特徴とするため、液体中に含まれる有機物等を酸化処理することで、簡単に液体の浄化を行うことができる。   In the present invention, since the fluid is a liquid, the liquid can be easily purified by oxidizing an organic substance or the like contained in the liquid.

本発明によれば、紫外光の光源が、クリプトン−ヨウ素(KrI)エキシマランプであるため、本発明にかかるウエットエッチング方法における最適な光源の波長領域を有する紫外光を作り出すことができる。また、エキシマランプは立ち上がり、立下りが良好であるため、ランプのオン・オフにより、エッチングを所定時のみ行うことができる。また、紫外光の照射を停止すれば、被処理物がほとんど溶解されない。さらに、エキシマランプは発光によるオゾンの発生が少ないという優れた特性を持つため、環境負荷の低減が可能である。   According to the present invention, since the ultraviolet light source is a krypton-iodine (KrI) excimer lamp, it is possible to create ultraviolet light having an optimum light source wavelength region in the wet etching method according to the present invention. In addition, since the excimer lamp has a good rise and fall, etching can be performed only at a predetermined time by turning the lamp on and off. Further, if the irradiation with ultraviolet light is stopped, the object to be processed is hardly dissolved. Furthermore, the excimer lamp has an excellent characteristic that ozone is not generated due to light emission, so that it is possible to reduce the environmental load.

本発明の流体浄化装置によれば、接触ユニットで被処理気体に含まれる被酸化物質を亜酸化窒素、あるいは亜酸化窒素を含んだ溶液に接触させ、亜酸化窒素に接触した被酸化物質に光源からの紫外光を照射するだけで簡単に被処理流体を浄化できる。   According to the fluid purification device of the present invention, an oxidant contained in a gas to be treated is brought into contact with nitrous oxide or a solution containing nitrous oxide by a contact unit, and a light source is supplied to the oxidant in contact with nitrous oxide. The fluid to be treated can be easily purified simply by irradiating the ultraviolet light from.

本実施形態の流体浄化方法で用いた装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the apparatus used with the fluid purification | cleaning method of this embodiment. 流体浄化方法の実施例1における浄化の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of purification in Example 1 of a fluid purification method. 流体浄化方法の比較例1における浄化の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of purification in comparative example 1 of a fluid purification method. 流体浄化方法の比較例2における浄化の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of purification in comparative example 2 of a fluid purification method. 流体浄化方法の実施例2における浄化の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of purification in Example 2 of a fluid purification method. 流体浄化方法の実施例の装置を用いて紫外光の波長及び照射時間を変化させて行った実験結果を示すグラフである。It is a graph which shows the experimental result performed by changing the wavelength and irradiation time of an ultraviolet light using the apparatus of the Example of the fluid purification method. 亜酸化窒素溶液のUV吸収スペクトルを示すグラフである。It is a graph which shows the UV absorption spectrum of a nitrous oxide solution. 酸素のUV吸収スペクトルを示すグラフである。It is a graph which shows the UV absorption spectrum of oxygen. 気体浄化装置の実施例1における気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus in Example 1 of a gas purification apparatus. 気体浄化装置の実施例2における気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus in Example 2 of a gas purification apparatus. 他の実施例の気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus of other Example. さらに他の実施例の気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus of other Example. さらに他の実施例の気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus of other Example. さらに他の実施例の気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus of other Example. さらに他の実施例の気体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the gas purification apparatus of other Example. 液体浄化装置の実施例1における液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus in Example 1 of a liquid purification apparatus. 液体状化装置の実施例2における液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus in Example 2 of a liquefying apparatus. 液体状化装置の実施例3における液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus in Example 3 of a liquefying apparatus. 他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example. さらに他の実施例の液体浄化装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the liquid purification apparatus of another Example.

符号の説明Explanation of symbols

20,30,40,70,80,90 気体浄化装置
21 処理槽(容器)
22 被処理気体供給管
23 タンク
24 亜酸化窒素供給管
25 ランプ(光源)
31 チャンバ
32 タンク
33 亜酸化窒素供給管
34 噴出器
61,62 管形状の容器
71 循環器
83 撹拌具
120,130,140,170,180,191,192,193 液体浄化装置
121 処理槽(容器)
122 被処理液供給管
123 タンク
124 亜酸化窒素供給管
125 ランプ(光源)
131 ガスボンベ
132 噴出器
141 チャンバ
142 ガスボンベ
143 ガス供給管部
144 液噴出器
151 溝形状の容器
161,162 管形状の容器
171 循環器
181 溝形状の容器
183 撹拌具
184 希釈液供給管
A 被処理気体
Ac 被処理気体の処理済み気体
F 被処理液
M 混合流体
Na 亜酸化窒素ガス
Nw 亜酸化窒素含有水溶液(亜酸化窒素含有溶液)
20, 30, 40, 70, 80, 90 Gas purification device 21 Treatment tank (container)
22 Processed gas supply pipe 23 Tank 24 Nitrous oxide supply pipe 25 Lamp (light source)
31 Chamber 32 Tank 33 Nitrous oxide supply pipe 34 Spout 61, 62 Tube-shaped container 71 Circulator 83 Stirrer 120, 130, 140, 170, 180, 191, 192, 193 Liquid purification device 121 Treatment tank (container)
122 Processed liquid supply pipe 123 Tank 124 Nitrous oxide supply pipe 125 Lamp (light source)
131 Gas cylinder 132 Ejector 141 Chamber 142 Gas cylinder 143 Gas supply pipe part 144 Liquid ejector 151 Groove-shaped container 161, 162 Pipe-shaped container 171 Circulator 181 Groove-shaped container 183 Stirring tool 184 Diluent supply pipe A Processed gas Ac treated gas F treated gas M treated liquid M mixed fluid Na nitrous oxide gas Nw nitrous oxide-containing aqueous solution (nitrous oxide-containing solution)

上述のように、流体とは気体及び液体の総称である。ここで、亜酸化窒素を含む溶液とは、亜酸化窒素ガスを水等の溶媒に溶解させることにより得られる溶液のことをいう。   As described above, fluid is a general term for gas and liquid. Here, the solution containing nitrous oxide refers to a solution obtained by dissolving nitrous oxide gas in a solvent such as water.

また、被処理気体とは、本発明にかかる浄化方法の対象となる気体のことをいう。   The gas to be treated refers to a gas that is a target of the purification method according to the present invention.

また、被酸化物とは、酸化処理されるべき対象物質のことをいう。   Moreover, an oxide refers to a target substance to be oxidized.

以下に、本発明にかかる流体の浄化方法について説明する。   Below, the purification method of the fluid concerning this invention is demonstrated.

ここでは、被処理物としてメチレンブルー溶液を用いた。なお、当該水溶液におけるメチレンブルーの濃度は10ppmであった。   Here, a methylene blue solution was used as an object to be processed. The concentration of methylene blue in the aqueous solution was 10 ppm.

メチレンブルー水溶液は青色を呈しており、酸化により浄化されると青色が消失して無色になる。光触媒の酸化力評価ではメチレンブルー(10ppm)水溶液の665nmの吸光度変化を測定するのが一般的である。また、メチレンブルー(10ppm)水溶液の665nmの吸光度が初期の1割程度にまで減少するためには、光触媒では数十分〜数百分程度の時間を要するのが一般的である。   The methylene blue aqueous solution has a blue color, and when purified by oxidation, the blue color disappears and becomes colorless. In the evaluation of the oxidizing power of a photocatalyst, the change in absorbance at 665 nm of a methylene blue (10 ppm) aqueous solution is generally measured. Further, in order for the absorbance at 665 nm of a methylene blue (10 ppm) aqueous solution to decrease to about 10% of the initial value, it usually takes a time of several tens of minutes to several hundred minutes for a photocatalyst.

<流体浄化方法の実施例1>
本実施例では、図1に示されるような浄化装置11を用意した。浄化装置11は、上方の一面が開放された容器12と、紫外光を照射するランプ(光源)13を備えるものであった。容器12は、容器内表面がテフロン(登録商標)加工されたものであった。光源13は、容器12の真上であって、容器12に近接する位置に設置されており、容器12内に向けて紫外光を照射できるものであった。また、光源は、高圧水銀ランプであり、その出力は1200ワットであった。
<Example 1 of fluid purification method>
In this example, a purification device 11 as shown in FIG. 1 was prepared. The purification device 11 includes a container 12 whose upper surface is open, and a lamp (light source) 13 that emits ultraviolet light. The container 12 was a Teflon (registered trademark) processed inner surface of the container. The light source 13 is installed immediately above the container 12 and in a position close to the container 12, and can irradiate ultraviolet light into the container 12. The light source was a high-pressure mercury lamp, and its output was 1200 watts.

また、メチレンブルー水溶液の浄化に用いる亜酸化窒素水溶液を用意した。当該溶液における亜酸化窒素濃度は1000ppmであった。   Moreover, the nitrous oxide aqueous solution used for purification | cleaning of methylene blue aqueous solution was prepared. The nitrous oxide concentration in the solution was 1000 ppm.

浄化処理では、容器12にメチレンブルー水溶液と亜酸化窒素水溶液とを投入して混合し、混合液14を得た。そして、光源13を点灯させて容器12内の混合液14に紫外光を照射し、浄化処理を行った。浄化装置11が設置された場所の雰囲気温度は24℃であった。   In the purification treatment, a methylene blue aqueous solution and a nitrous oxide aqueous solution were put into the container 12 and mixed to obtain a mixed solution 14. Then, the light source 13 was turned on, and the mixed liquid 14 in the container 12 was irradiated with ultraviolet light to perform purification treatment. The ambient temperature at the place where the purification device 11 was installed was 24 ° C.

図2は、本実施例による浄化の結果を示すグラフである。このグラフの横軸は光照射時間(分)であり、縦軸はメチレンブルー水溶液の665nm吸光度である。なお、次の数式1は光の透過率(T)を求める式である。この式で符号「Ii」は、ある物質に入射された光の強度であり、符号「Io」は、そこから出射された光の強度である。また、数式2は、吸光度を求める式である。   FIG. 2 is a graph showing the results of purification according to this example. The horizontal axis of this graph is the light irradiation time (minutes), and the vertical axis is the 665 nm absorbance of the methylene blue aqueous solution. The following formula 1 is a formula for obtaining the light transmittance (T). In this equation, the symbol “Ii” is the intensity of light incident on a certain substance, and the symbol “Io” is the intensity of light emitted therefrom. Formula 2 is a formula for obtaining absorbance.

Figure 2007058285
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Figure 2007058285
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図2に示されるように、紫外光を1分間照射すると約5割のメチレンブルーが分解され、3分間照射すると約9割のメチレンブルーが分解された。この結果、液体を浄化できることが確認されると共に被処理気体を浄化できることが確認された。   As shown in FIG. 2, about 50% of methylene blue was decomposed when irradiated with ultraviolet light for 1 minute, and about 90% of methylene blue was decomposed when irradiated for 3 minutes. As a result, it was confirmed that the liquid could be purified and the gas to be treated could be purified.

<流体浄化方法の比較例1>
本比較例では、実施例1と同じ浄化装置11を用いた。ただし、本比較例では、亜酸化窒素水溶液に換えて、ヘリウム(He)の水溶液を用意した。このヘリウム水溶液は、水中にヘリウムを強制的に溶解させることにより得られたものであり、ヘリウムを強制的に溶解させることで水中に溶解していた空気成分(N,O,COなど)が追い出されたものである。ヘリウムは、よく知られた不活性ガスであり、665nmの波長の光線を吸収しないものである。なお、ヘリウムの濃度は16ppmであった。
<Comparative example 1 of fluid purification method>
In this comparative example, the same purification device 11 as in Example 1 was used. However, in this comparative example, an aqueous solution of helium (He) was prepared instead of the nitrous oxide aqueous solution. This helium aqueous solution is obtained by forcibly dissolving helium in water, and air components (N 2 , O 2 , CO 2, etc.) dissolved in water by forcibly dissolving helium. ) Was kicked out. Helium is a well-known inert gas and does not absorb light with a wavelength of 665 nm. The concentration of helium was 16 ppm.

そして、実施例1と同様の手順でメチレンブルー水溶液とヘリウム水溶液とを混合し、メチレンブルー水溶液を浄化した。   Then, a methylene blue aqueous solution and a helium aqueous solution were mixed in the same procedure as in Example 1 to purify the methylene blue aqueous solution.

図3は、本比較例による浄化の結果を示すグラフである。なお、グラフの形式は図1と同じである。   FIG. 3 is a graph showing the results of purification according to this comparative example. The format of the graph is the same as in FIG.

図3に示されるように、紫外光を1分間照射してもほとんどメチレンブルーは分解されておらず、3分間照射してもメチレンブルーはあまり分解されていなかった。この結果は、実施例の結果とは著しくことなるものである。この結果、本発明に係る気体浄化方法は、浄化方法として優れていることが確認された。   As shown in FIG. 3, methylene blue was hardly decomposed even when irradiated with ultraviolet light for 1 minute, and methylene blue was not decomposed much even after irradiation for 3 minutes. This result is significantly different from the results of the examples. As a result, it was confirmed that the gas purification method according to the present invention is excellent as a purification method.

<流体浄化方法の比較例2>
本比較例では、実施例1と同じ浄化装置11を用いた。光源13を点灯させなかったこと以外、全て条件は実施例1と同じであった。そして、実施例1と同様の手順でメチレンブルー水溶液を浄化した。
<Comparative example 2 of fluid purification method>
In this comparative example, the same purification device 11 as in Example 1 was used. All conditions were the same as in Example 1 except that the light source 13 was not turned on. The methylene blue aqueous solution was purified by the same procedure as in Example 1.

図4は、本比較例による浄化の結果を示すグラフである。なお、グラフの形式は図1と同じである。   FIG. 4 is a graph showing the results of purification according to this comparative example. The format of the graph is the same as in FIG.

図4に示されるように、混合により得られた混合液14にはメチレンブルーと亜酸化窒素が溶解しているが、240nm以下の波長の光を照射しない状態では、60分間放置しても、665nm吸光度は変化しないことが確認された。つまり、図2と図4との比較から、亜酸化窒素に対して光を照射しなければ、メチレンブルーは酸化分解されないことが確認された。   As shown in FIG. 4, methylene blue and nitrous oxide are dissolved in the mixed solution 14 obtained by mixing. However, in a state in which light having a wavelength of 240 nm or less is not irradiated, the mixture 14 is left at 665 nm even if left for 60 minutes. It was confirmed that the absorbance did not change. That is, it was confirmed from a comparison between FIG. 2 and FIG. 4 that methylene blue is not oxidatively decomposed unless light is irradiated to nitrous oxide.

<流体浄化方法の実施例2>
本実施例では、実施例1と同じ浄化装置11を用いた。光源13を途中で一時的に消灯させたこと以外、全て条件は実施例と同じであった。そして、実施例1と同様の手順でメチレンブルー水溶液を浄化した。なお、本実施例では、ランプ点灯から0.5分経過した時点でランプを消灯状態にし、ランプ点灯から1.5分経過の時点で、ランプを再点灯した。つまり、消灯時間は1分間であった。
<Example 2 of fluid purification method>
In this example, the same purification device 11 as in Example 1 was used. All the conditions were the same as in the example except that the light source 13 was temporarily turned off during the process. The methylene blue aqueous solution was purified by the same procedure as in Example 1. In this example, the lamp was turned off when 0.5 minutes had elapsed since the lamp was turned on, and the lamp was turned on again when 1.5 minutes had elapsed since the lamp was turned on. That is, the turn-off time was 1 minute.

図5は、本実施例による浄化の結果を示すグラフである。なお、グラフの形式は図1と同じである。   FIG. 5 is a graph showing the results of purification according to this example. The format of the graph is the same as in FIG.

図5に示されるように、紫外光の照射開始とともにメチレンブルーの分解が開始し、紫外光の照射を停止すると、メチレンブルーの分解が停止した。その後、紫外光の照射を再開すると、同時に、メチレンブルーの分解が開始した。この結果、亜酸化窒素を用いる本実施形態の気体浄化方法によれば、紫外光の照射時間を制御することによって、物質の酸化時間を制御することが可能であることが確認された。亜酸化窒素への紫外光の照射の開始と同時に原子状酸素の発生が開始し、紫外光の照射の停止と同時に原子状酸素の発生が停止していると考えられるところ、原子状酸素の寿命は極めて短いので、実質的に、紫外光の照射の開始および停止によって、酸化の開始および停止を行うことができる。   As shown in FIG. 5, the decomposition of methylene blue started with the start of irradiation with ultraviolet light, and the decomposition of methylene blue stopped when the irradiation with ultraviolet light was stopped. Thereafter, when irradiation with ultraviolet light was resumed, decomposition of methylene blue started simultaneously. As a result, according to the gas purification method of this embodiment using nitrous oxide, it was confirmed that the oxidation time of the substance can be controlled by controlling the irradiation time of ultraviolet light. Atomic oxygen generation started at the same time as the start of irradiation of nitrous oxide with ultraviolet light, and atomic oxygen generation was considered to stop at the same time as the irradiation of ultraviolet light was stopped. Is extremely short, so that the oxidation can be substantially started and stopped by starting and stopping the irradiation with ultraviolet light.

上記説明から解るように、本発明に係る気体浄化方法では、紫外光を照射したときのみ酸化反応が生じて被処理気体の浄化が行われる。したがって、酸化反応の制御が容易である。また、酸化反応が生ずるのは紫外光を照射している間に限られるので、浄化処理に用いられる機器の腐食を最小限に抑制することができる。したがって、浄化処理に用いる気体浄化装置などの機器について腐食対策が不要になるか、必要な場合でも簡単なものでよくなるという利点がある。   As can be understood from the above description, in the gas purification method according to the present invention, an oxidation reaction occurs only when ultraviolet light is irradiated, and the gas to be treated is purified. Therefore, it is easy to control the oxidation reaction. Further, since the oxidation reaction occurs only during the irradiation with ultraviolet light, the corrosion of the equipment used for the purification treatment can be minimized. Therefore, there is an advantage that a countermeasure against corrosion is not necessary for a device such as a gas purification device used for the purification treatment, or a simple device can be used even when necessary.

ここで、本発明に係る気体浄化方法で用いる亜酸化窒素(NO)の吸光度(吸収スペクトル)を測定した結果について説明する。測定では、上記実施例で用いた浄化装置の容器に亜酸化窒素水溶液(亜酸化窒素含有量約1000ppm)だけを収容して紫外光を照射し、亜酸化窒素(NO)の吸光度(吸収スペクトル)を測定した。Here, the result of measuring the absorbance (absorption spectrum) of nitrous oxide (N 2 O) used in the gas purification method according to the present invention will be described. In the measurement, only the aqueous nitrous oxide solution (nitrogen oxide content of about 1000 ppm) was placed in the container of the purification apparatus used in the above example, and ultraviolet light was irradiated to absorb the absorbance (absorption) of nitrous oxide (N 2 O). Spectrum).

図6はその結果を示したものである。なお、図6における横軸は、測定範囲200〜340nmの波長帯域であり、縦軸は吸光度である。曲線C1は、紫外光を照射しない場合の吸光度であり、曲線C2は紫外光を1分間照射した場合の吸光度であり、曲線C3は、紫外光を3分間照射した場合の吸光度である。グラフから明らかなように、240nm以上の波長の光では、吸光度はゼロであり、光は全く吸収されなかった。言い換えれば、光エネルギーの照射による亜酸化窒素の解離は行われなかった。   FIG. 6 shows the result. In addition, the horizontal axis in FIG. 6 is a wavelength range of a measurement range of 200 to 340 nm, and the vertical axis is absorbance. Curve C1 is the absorbance when not irradiated with ultraviolet light, curve C2 is the absorbance when irradiated with ultraviolet light for 1 minute, and curve C3 is the absorbance when irradiated with ultraviolet light for 3 minutes. As is apparent from the graph, the light having a wavelength of 240 nm or more has zero absorbance and no light was absorbed. In other words, nitrous oxide was not dissociated by light energy irradiation.

表1は、図6に示した波長205nmにおける吸光度から求めた亜酸化窒素の濃度変化を示すものである。なお、照射時間がゼロの濃度を飽和濃度(水温25℃での値)として、各々の吸光度の相対値を掛け算にて算出したものである。3分間の照射により亜酸化窒素の濃度がかなり減少しているのがわかる。   Table 1 shows the change in the concentration of nitrous oxide determined from the absorbance at a wavelength of 205 nm shown in FIG. In addition, the density | concentration with zero irradiation time is made into a saturated density | concentration (value at the water temperature of 25 degreeC), and the relative value of each light absorbency is computed by multiplication. It can be seen that the concentration of nitrous oxide is considerably reduced by irradiation for 3 minutes.

Figure 2007058285
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図6に示した実験結果から解るように、実質的にオゾン(O)の副生物の検出はされなかった。すなわち、オゾンの最大波長(λmax)は260nmであるが、そこでの吸光度は検出限界以下であった。As can be seen from the experimental results shown in FIG. 6, substantially no ozone (O 3 ) by-product was detected. That is, the maximum wavelength (λmax) of ozone is 260 nm, but the absorbance at that is below the detection limit.

このように、亜酸化窒素含有溶液を用いる方法によればオゾンをほとんど発生しないので、気体浄化装置に必ずしもオゾン対策のための装置を設置する必要がないという利点がある。したがって、オゾン対策用の装置を設ける必要がなく、気体浄化装置の構造を簡素化でき、装置を小型化できる。また、装置設計上の自由度が高まるという利点が得られる。   As described above, according to the method using the nitrous oxide-containing solution, since ozone is hardly generated, there is an advantage that it is not always necessary to install a device for countermeasures against ozone in the gas purification device. Therefore, it is not necessary to provide an ozone countermeasure device, the structure of the gas purification device can be simplified, and the device can be miniaturized. In addition, there is an advantage that the degree of freedom in device design is increased.

また、KrIエキシマランプについて詳細に説明する。   The KrI excimer lamp will be described in detail.

KrIエキシマランプは、図7に示される亜酸化窒素水溶液のUV吸収スペクトル(Brit.J.Anaesth.,44,310(1972)より引用)の特徴に基づいて、本発明者らによって開発されたものである。図7において、横軸が波長を表し縦軸が吸光度を示す。同図のUV吸収スペクトルは、100%亜酸化窒素により平衡に達した水の吸収スペクトルを表し、参照セルとしてヘリウムにより平衡化された水を用いている。   The KrI excimer lamp was developed by the present inventors based on the characteristics of the UV absorption spectrum (cited from Brit. J. Anaesth., 44, 310 (1972)) of the nitrous oxide aqueous solution shown in FIG. . In FIG. 7, the horizontal axis represents wavelength and the vertical axis represents absorbance. The UV absorption spectrum in the figure represents the absorption spectrum of water that has reached equilibrium with 100% nitrous oxide, and water that has been equilibrated with helium is used as a reference cell.

図7に示されているように、亜酸化窒素水溶液のUV吸収スペクトルは、190nm付近において吸光度で0.7を超えるピークを示す。   As shown in FIG. 7, the UV absorption spectrum of the aqueous nitrous oxide solution shows a peak exceeding 0.7 in the vicinity of 190 nm.

たとえば低圧水銀ランプ16の発光波長は185nmを中心とするものであり、185nmの波長での吸光度は、亜酸化窒素水溶液のUV吸収スペクトルのピークである0.7を大きく下回る約0.05となるため、効率が極めて低い。   For example, the emission wavelength of the low-pressure mercury lamp 16 is centered on 185 nm, and the absorbance at the wavelength of 185 nm is about 0.05, which is well below 0.7, which is the peak of the UV absorption spectrum of the aqueous nitrous oxide solution. Therefore, the efficiency is extremely low.

これに対して、亜酸化窒素水溶液のUV吸収スペクトルがピークを示す190nm付近を中心とした波長で発光するランプがある。このようなランプとしては、たとえば、アルゴン−フッ素を用いた電解結合型高周波放電ランプ、いわゆるフッ化エキシマランプが知られている。フッ化エキシマランプは193nmを中心とした波長で発光する。   On the other hand, there is a lamp that emits light at a wavelength centering around 190 nm where the UV absorption spectrum of the aqueous nitrous oxide solution shows a peak. As such a lamp, for example, an electrolytic coupling type high frequency discharge lamp using argon-fluorine, a so-called excimer lamp is known. The fluorinated excimer lamp emits light at a wavelength centered at 193 nm.

一般に、エキシマランプは、立ち上がり、立下りがよいという、本発明にかかる酸化反応に適した特性を有している。   In general, excimer lamps have characteristics suitable for the oxidation reaction according to the present invention, such as good rise and fall.

しかしながら、フッ化エキシマランプは、石英管が、これに封入されるフッ素によって劣化しやすい。すなわちフッ化エキシマランプは、フッ素と石英管との相性が悪く、寿命が短いという問題がある。また、図7から明らかなように、亜酸化窒素水溶液のUV吸収スペクトルはピーク付近で急峻であるため、190nmに近いといえども、193nmの波長では、吸光度がピークの値に比べて大きく低下する。   However, in the fluorinated excimer lamp, the quartz tube is easily deteriorated by fluorine enclosed therein. That is, the excimer lamp has a problem that the compatibility between fluorine and the quartz tube is poor and the life is short. Further, as is clear from FIG. 7, the UV absorption spectrum of the aqueous nitrous oxide solution is steep near the peak. Therefore, even at a wavelength of 193 nm, the absorbance is greatly reduced compared to the peak value even though it is close to 190 nm. .

そこで、本発明者等は、190nmに極めて近い191nmの紫外波長で発光するKrIエキシマランプを開発し、このランプを本発明に係る気体浄化方法および気体浄化装置の光源として採用した。KrIエキシマランプは、固体のヨウ素を気化させて所定量を量り取り石英管に封入する方法により製造したものである。   Accordingly, the present inventors have developed a KrI excimer lamp that emits light at an ultraviolet wavelength of 191 nm, which is extremely close to 190 nm, and adopted this lamp as a light source for the gas purification method and the gas purification apparatus according to the present invention. The KrI excimer lamp is manufactured by a method in which solid iodine is vaporized and a predetermined amount is measured and sealed in a quartz tube.

KrIエキシマランプLの発光波長191nmの亜酸化窒素水溶液の吸光度は、亜酸化窒素水溶液のUV吸収スペクトルのピークにおける吸光度に近い約0.65となるため、効率が良い。したがって、亜酸化窒素の光解離による酸素原子の発生を考えると、たとえば低圧水銀ランプ16の発光波長185nmにおける吸光度が約0.05であることから、KrIエキシマランプLは低圧水銀ランプ16に比べると10倍を超える効率で酸素原子を発生させることが可能であって、従来の光源に比べて酸素原子の発生効率が極めて高い。   Since the absorbance of the nitrous oxide aqueous solution having an emission wavelength of 191 nm of the KrI excimer lamp L is about 0.65, which is close to the absorbance at the peak of the UV absorption spectrum of the nitrous oxide aqueous solution, the efficiency is good. Therefore, considering the generation of oxygen atoms due to the photodissociation of nitrous oxide, for example, the KrI excimer lamp L is less than the low pressure mercury lamp 16 because the absorbance at the emission wavelength of 185 nm of the low pressure mercury lamp 16 is about 0.05. It is possible to generate oxygen atoms with an efficiency exceeding 10 times, and the generation efficiency of oxygen atoms is extremely high compared to conventional light sources.

KrIエキシマランプは、立ち上がり、立下りがよいという、本発明にかかる酸化反応に適した、エキシマランプに一般の特性を有しているうえ、石英管が、封入したヨウ素によって劣化しにくく、ヨウ素と石英管との相性が良いため、寿命が長いという利点がある。   KrI excimer lamps have the general characteristics of excimer lamps suitable for the oxidation reaction according to the present invention, such that the rise and fall are good, and the quartz tube is not easily deteriorated by the enclosed iodine. Since the compatibility with the quartz tube is good, there is an advantage that the life is long.

また、KrIエキシマランプLによって発せられる波長191nmの紫外光は、低圧水銀ランプによって発せられる波長185nmの紫外光とほぼ同一の、亜酸化窒素を分解して酸化反応を行うのに十分大きなエネルギーを持つ。   In addition, the ultraviolet light with a wavelength of 191 nm emitted by the KrI excimer lamp L has substantially the same energy as the ultraviolet light with a wavelength of 185 nm emitted by the low-pressure mercury lamp, which is sufficiently large to decompose nitrous oxide and perform an oxidation reaction. .

さらに、KrIエキシマランプLは、発光によるオゾンの発生が少ないという優れた特性を持つことも分かった。   Furthermore, it has been found that the KrI excimer lamp L has an excellent characteristic that less ozone is generated due to light emission.

図8に、酸素のUV吸収スペクトル(J.Chem.Phys.,21,1206(1953)より引用)を示す。かかるスペクトルにおいて、波長175nm付近から波長200nm付近の領域では、非常に細かな吸収係数の周期的変動が見られる。かかる領域は、シューマンルンゲ帯と呼ばれるものである。   FIG. 8 shows the UV absorption spectrum of oxygen (cited from J. Chem. Phys., 21, 1206 (1953)). In such a spectrum, in the region from the wavelength of about 175 nm to the wavelength of about 200 nm, a very fine periodic variation of the absorption coefficient is observed. Such a region is called the Schumann Runge band.

KrIエキシマランプLによって発せられる191nmの波長は、シューマンルンゲ帯中に含まれており、5−0バンドと4−0バンドとの間のいわば谷の部分に相当し、吸収係数が小さい。よって、酸素分子による吸収が少なく、酸素分子の解離、及びそれに引き続くオゾンの発生が少ない。環境負荷となるオゾンの発生が少ないため、KrIエキシマランプLの取り扱いは容易である。   The wavelength of 191 nm emitted by the KrI excimer lamp L is included in the Schumann Runge band, corresponds to a so-called valley portion between the 5-0 band and the 4-0 band, and has a small absorption coefficient. Therefore, there is little absorption by oxygen molecules, and there is little dissociation of oxygen molecules and subsequent generation of ozone. Since the generation of ozone, which is an environmental load, is small, the KrI excimer lamp L is easy to handle.

この点、例えば、低圧水銀ランプによって発せられる紫外光の波長185nmは、シューマンルンゲ帯中の8−0バンド上に位置し、吸収係数が大きい。よって、低圧水銀ランプと亜酸化窒素溶液との間に大気が存在すると、紫外光のエネルギーが酸素分子に吸収されやすく、多量にオゾンが発生するため、オゾン対策のための装置を要し、酸化反応の効率が低く、これを備えた装置の構造の複雑化、設計上の問題、大型化、高価格化を招くこととなる。   In this respect, for example, the wavelength 185 nm of the ultraviolet light emitted by the low-pressure mercury lamp is located on the 8-0 band in the Schumann-Lunge band and has a large absorption coefficient. Therefore, if air exists between the low-pressure mercury lamp and the nitrous oxide solution, the energy of ultraviolet light is easily absorbed by oxygen molecules, and a large amount of ozone is generated. The efficiency of the reaction is low, resulting in a complicated structure, a design problem, an increase in size, and an increase in price of an apparatus equipped with the reaction.

これに対し、KrIエキシマランプLには次のような利点がある。すなわち、KrIエキシマランプLと亜酸化窒素溶液との間に大気が存在しても、KrIエキシマランプLから発せられた紫外光のエネルギーが酸素分子に吸収されにくく、よって紫外光が亜酸化窒素溶液に至るまでに弱まりにくく、高効率で亜酸化窒素を分解できる。   In contrast, the KrI excimer lamp L has the following advantages. That is, even if the atmosphere exists between the KrI excimer lamp L and the nitrous oxide solution, the energy of the ultraviolet light emitted from the KrI excimer lamp L is not easily absorbed by the oxygen molecules, so that the ultraviolet light is not absorbed by the nitrous oxide solution. Nitrous oxide can be decomposed with high efficiency.

したがって、上記実施例の気体浄化装置の光源として、高圧水銀ランプに替えてKrIエキシマランプを用いることにより、浄化性能を向上させることができる。   Therefore, the purification performance can be improved by using a KrI excimer lamp instead of the high-pressure mercury lamp as the light source of the gas purification apparatus of the above embodiment.

また、大気による影響が少ないからKrIエキシマランプLの配設位置の自由度が高い。オゾン対策のための処理チャンバ等の密閉装置などを省略または簡略化できる。よって、気体浄化装置として、酸化反応効率が高く、構造が簡単で設計の自由度が高く、小型で低廉なものを提供できる。   Further, since the influence by the atmosphere is small, the degree of freedom of the arrangement position of the KrI excimer lamp L is high. A sealing device such as a processing chamber for measures against ozone can be omitted or simplified. Therefore, it is possible to provide a gas purification device having high oxidation reaction efficiency, a simple structure, a high degree of design freedom, a small size, and a low cost.

以下に、本発明に係る流体の浄化方法の中の気体浄化方法について説明する。   Below, the gas purification method in the purification method of the fluid which concerns on this invention is demonstrated.

本実施形態の気体浄化方法は、被処理気体中に含まれる被酸化物質に亜酸化窒素含有溶液に含まれる亜酸化窒素(NO)を接触させた状態で被処理気体に紫外光を照射することで、被酸化物質を酸化させてこれを分解除去することにより、気体を浄化する方法である。The gas purification method of this embodiment irradiates the light to be treated with ultraviolet light in a state where nitrous oxide (N 2 O) contained in the nitrous oxide-containing solution is in contact with the material to be oxidized contained in the gas to be treated. Thus, the gas is purified by oxidizing the substance to be oxidized and decomposing and removing it.

ここでいう被酸化物質とは、たとえば有機物のことである。有機物としては、酸化反応により分解される油、たんぱく質を挙げることができる。   The substance to be oxidized here is, for example, an organic substance. Examples of organic substances include oils and proteins that are decomposed by an oxidation reaction.

したがって、本発明に係る気体浄化方法によれば、有機物などの被酸化物質を含む種々の被処理気体を浄化することができる。被処理気体としては、たとえば、清浄対象である室内空気、室内に取り込まれる外気、工場など産業活動の場から排出される排気、特に有機溶媒など有機物を含む排気、生物など有機物の腐敗により生ずる腐敗空気、地下や洞窟などを発生源とする有機物含有気体、ダム、湖沼、河川などで活動する生物の生理現象に伴い発生する有機物含有気体などを挙げることができる。   Therefore, according to the gas purification method according to the present invention, it is possible to purify various gases to be treated containing an oxidizable substance such as an organic substance. Examples of the gas to be treated include indoor air to be cleaned, outdoor air taken into the room, exhaust discharged from industrial activities such as factories, especially exhaust containing organic substances such as organic solvents, and decay caused by decay of organic substances such as living organisms. Examples thereof include organic substance-containing gas that originates from air, underground or cave, and organic substance-containing gas that is generated along with physiological phenomena of organisms that are active in dams, lakes, rivers, and the like.

そして、浄化処理により得られた浄化処理済み気体は、各種用途での利用が可能であり、有用なものである。たとえば、清浄された室内空気や外気は室内空気として用いることができる。   The purified gas obtained by the purification process can be used for various purposes and is useful. For example, purified indoor air or outdoor air can be used as room air.

亜酸化窒素を接触させた状態の被酸化物質に紫外光を照射して行う酸化反応は、簡単に説明すると、次のような特性を備えている。   The oxidation reaction performed by irradiating an oxidizable material in contact with nitrous oxide with ultraviolet light has the following characteristics.

亜酸化窒素に240nm以下の紫外光が照射されると、亜酸化窒素の解離が引き起こって原子状酸素(O)が発生する。有機物などの被酸化物質がある場合、この被酸化物質は、発生した原子状酸素(O)によって酸化される。   When nitrous oxide is irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 240 nm or less, dissociation of nitrous oxide occurs and atomic oxygen (O) is generated. When there is an oxidizable substance such as an organic substance, the oxidizable substance is oxidized by the generated atomic oxygen (O).

紫外光を照射しているときのみ物質が酸化されることになるので、紫外光が照射されていない限り、亜酸化窒素は安定しているということができる。よって、光の照射時間を制御すれば、酸化時間が制御され、所望の時間のみ酸化反応を生じさせることができる。また、光の照射領域を制御することで、酸化領域が制御され、所望の領域のみ酸化反応を生じさせることができる。   Since the substance is oxidized only when irradiated with ultraviolet light, it can be said that nitrous oxide is stable unless irradiated with ultraviolet light. Therefore, if the light irradiation time is controlled, the oxidation time is controlled, and an oxidation reaction can be caused only for a desired time. Further, by controlling the light irradiation region, the oxidation region is controlled, and an oxidation reaction can be caused only in a desired region.

酸化反応の制御が容易であるので、気体浄化に用いられる機器の腐食は最小限に抑制される。つまり、腐食に起因した機器の不具合の発生が最小限に抑制される。したがって、本発明に係る気体浄化方法を実施する際に用いられる気体浄化装置などの機器について、腐食対策が不要になるという利点がある。   Since the oxidation reaction is easily controlled, corrosion of equipment used for gas purification is minimized. In other words, the occurrence of equipment malfunctions due to corrosion is minimized. Therefore, there is an advantage that corrosion countermeasures are not required for equipment such as a gas purification device used when the gas purification method according to the present invention is performed.

本実施形態の気体浄化方法は、紫外光の照射によって発生する原子状酸素を酸化反応に用いるものであるところ、当該酸素は酸化力が極めて大きいので、有機物を強力に分解できるという利点がある。   The gas purification method of the present embodiment uses atomic oxygen generated by irradiation with ultraviolet light for the oxidation reaction. Since the oxygen has an extremely high oxidizing power, there is an advantage that organic substances can be decomposed strongly.

なお、亜酸化窒素は、比較的入手容易であると共に安価なものである。したがって、供給面およびコスト面のいずれの面でも優れており、継続的に用いる気体浄化方法として適している。   Nitrous oxide is relatively easy and inexpensive. Therefore, it is excellent both in terms of supply and cost, and is suitable as a gas purification method that is continuously used.

また、上述の特性以外にも、亜酸化窒素、特に亜酸化窒素含有溶液は、従来の酸化物質にあっては見られず、相反すると考えられていた優れた特性を同時に備えている。   In addition to the above-described characteristics, nitrous oxide, particularly a nitrous oxide-containing solution, simultaneously has excellent characteristics that are not seen in conventional oxidizing substances and are considered to be contradictory.

たとえば、亜酸化窒素は安全性が高いという特性を有する。具体的には、亜酸化窒素水溶液は無害である。安全性が高い亜酸化窒素は、環境に対する負荷が小さく、取り扱いが容易であるという利点を有する。また、安全性が高い亜酸化窒素は、浄化された気体から亜酸化窒素を除去する工程が必ずしも必要でないという利点があり、装置製作上好ましい。分解処理などの除去工程が不要であれば、気体浄化工程の簡素化を図ることができ好ましい。また、安定性に優れる亜酸化窒素は、長期保存が容易である。亜酸化窒素は、液中で酸化反応を生じさせることが可能であるところ、液中で酸化反応を生じさせた場合、オゾンの発生を抑制できるという特性を有する。紫外光照射領域全体で一斉に酸化反応が生じるので、酸化による迅速な浄化処理が実現される。   For example, nitrous oxide has the property of being highly safe. Specifically, the aqueous nitrous oxide solution is harmless. Nitrous oxide with high safety has the advantage of being easy to handle with a low environmental burden. In addition, nitrous oxide having high safety has an advantage that a step of removing nitrous oxide from the purified gas is not necessarily required, and is preferable in terms of device fabrication. If a removal step such as a decomposition treatment is unnecessary, it is preferable because the gas purification step can be simplified. In addition, nitrous oxide having excellent stability is easy to store for a long time. Nitrous oxide is capable of causing an oxidation reaction in a liquid, but has a characteristic that generation of ozone can be suppressed when an oxidation reaction is caused in a liquid. Since the oxidation reaction occurs simultaneously in the entire ultraviolet light irradiation region, a rapid purification process by oxidation is realized.

亜酸化窒素を用いる気体浄化方法の優位性は、浄化に用いられる他の物質の性質と対比させることでより明らかになる。たとえば過酸化水素水は、浄化に用いられる物質であるが、処理済み気体中に比較的長時間残留するという性質を有するものである。したがって、環境負荷を低減するためには分解処理が必要になるという煩雑さや分解処理に要する費用が問題になる。また、オゾン水は、低濃度であっても有害性があり、配管設備等の材質に与える負荷が大きく、やはり分解処理が必要で処理費用がかさむという問題がある。また、酸化剤として強酸である硝酸を用いる気体浄化方法では、装置の腐食への対策に費用がかかったり、製造時の危険性を低減させるための費用がかかったりするという問題がある。本発明に係る気体浄化装置によれば、これらの点が問題になることがない。   The superiority of the gas purification method using nitrous oxide becomes clearer by comparing with the properties of other substances used for purification. For example, hydrogen peroxide is a substance used for purification, but has the property of remaining in the treated gas for a relatively long time. Therefore, in order to reduce the environmental load, there is a problem of the complexity that the decomposition process is necessary and the cost required for the decomposition process. In addition, ozone water is harmful even at a low concentration, and there is a problem that the load applied to materials such as piping equipment is large, and decomposition treatment is necessary and processing costs are increased. In addition, the gas purification method using nitric acid, which is a strong acid as an oxidant, has a problem that costs are taken for countermeasures against corrosion of the apparatus and costs for reducing the risk during production. According to the gas purification apparatus of the present invention, these points do not become a problem.

ところで、本発明に係る気体浄化方法で被処理気体を浄化するには、上述したように、被処理気体に含まれる被酸化物質に亜酸化窒素含有溶液中の亜酸化窒素を接触させた状態にする必要がある。   By the way, in order to purify the gas to be treated by the gas purification method according to the present invention, as described above, the oxidant contained in the gas to be treated is brought into contact with the nitrous oxide in the nitrous oxide-containing solution. There is a need to.

被酸化物質に亜酸化窒素を接触させる接触工程としては、たとえば、被処理気体と亜酸化窒素含有溶液とを混在させる工程、被処理気体中に亜酸化窒素を存在させる工程を挙げることができる。   Examples of the contacting step of bringing nitrous oxide into contact with the substance to be oxidized include a step of mixing a gas to be treated and a nitrous oxide-containing solution, and a step of causing nitrous oxide to exist in the gas to be treated.

被処理気体と亜酸化窒素含有溶液とを混在させる方法としては、たとえば、被処理気体と亜酸化窒素含有溶液とを同一容器内に収容する方法や、収容後さらに容器内の流体を撹拌などして混和させる方法を挙げることができる。   As a method of mixing the gas to be treated and the nitrous oxide-containing solution, for example, a method of containing the gas to be treated and the nitrous oxide-containing solution in the same container, or agitation of the fluid in the container after the accommodation. Can be mentioned.

被処理気体中に亜酸化窒素を存在させる方法としては、たとえば、被処理気体中に亜酸化窒素含有溶液を放出する方法、亜酸化窒素含有溶液中に被処理気体を放出する方法などを挙げることができる。   Examples of the method for causing nitrous oxide to be present in the gas to be treated include a method for releasing the nitrous oxide-containing solution into the gas to be treated, a method for releasing the gas to be treated into the nitrous oxide-containing solution, and the like. Can do.

被処理気体中に亜酸化窒素含有溶液を放出する方法としては、たとえば、被処理気体中に亜酸化窒素溶液を吐出、噴出、噴射あるいは噴霧する、いわゆる噴出方法をあげることができる。   As a method for releasing the nitrous oxide-containing solution into the gas to be treated, for example, a so-called jetting method in which the nitrous oxide solution is discharged, jetted, jetted or sprayed into the gas to be treated can be mentioned.

亜酸化窒素含有溶液中に被処理気体を放出する方法としては、たとえば、亜酸化窒素含有溶液中に被処理気体を吐出、噴出あるいは噴射する、いわゆる噴出方法を挙げることができる。より具体的には、バブリングする方法を挙げることができる。   As a method for releasing the gas to be processed into the nitrous oxide-containing solution, for example, a so-called jetting method in which the gas to be processed is discharged, jetted or jetted into the nitrous oxide-containing solution can be mentioned. More specifically, a bubbling method can be mentioned.

本発明に係る気体浄化方法で用いる光源としては、240nm以下の波長の光を発生するものが好ましい。たとえば、高圧水銀ランプやクリプトン−ヨウ素(KrI)エキシマランプ(以下、KrIエキシマランプと称する)を挙げることができる。ランプ出力は特に限定されることはない。一般に同一のランプを用いた場合、出力によって酸化分解の速度が影響を受ける。つまり、ランプ出力が小さいと酸化分解の速度は低下し、逆にランプ出力が大きいと酸化分解の速度は上昇する。所望の酸化分解速度に応じて、適宜ランプ出力を選択することができる。   The light source used in the gas purification method according to the present invention is preferably one that generates light having a wavelength of 240 nm or less. Examples thereof include a high-pressure mercury lamp and a krypton-iodine (KrI) excimer lamp (hereinafter referred to as a KrI excimer lamp). The lamp output is not particularly limited. In general, when the same lamp is used, the rate of oxidative decomposition is affected by the output. In other words, when the lamp output is small, the oxidative decomposition rate decreases, and conversely, when the lamp output is large, the oxidative decomposition rate increases. The lamp output can be appropriately selected according to the desired oxidative decomposition rate.

本発明に係る気体浄化方法では、紫外光の照射効率を向上させる前処理工程を行ってもよい。   In the gas purification method according to the present invention, a pretreatment step for improving the irradiation efficiency of ultraviolet light may be performed.

当該前処理工程としては、たとえば、被処理気体を希釈する希釈工程を挙げることができる。希釈工程としては、先に浄化した処理済み気体や清浄空気を添加する工程を挙げることができる。希釈された被処理気体では紫外光照射時の酸化分解反応が促進されることとなり、浄化速度や浄化率などが向上する。   Examples of the pretreatment step include a dilution step for diluting the gas to be treated. As a dilution process, the process which adds the processed gas and clean air which were purified previously can be mentioned. In the diluted gas to be treated, the oxidative decomposition reaction at the time of ultraviolet light irradiation is promoted, and the purification rate and the purification rate are improved.

<気体浄化方法の実施例>
本実施例では、気体浄化装置を用いて気体浄化を行った。気体浄化装置は、概略的には、図9に示される気体浄化装置のような構成である。すなわち、この気体浄化装置は、図9を参照して説明すると、亜酸化窒素水溶液Nwが供給される処理槽21と、この処理槽21に被処理気体Aをいわゆるバブリングにより噴射する噴出器27と、処理槽21内に向けて紫外光を照射するランプ25に相当する構成を備えるものである。ランプ25は、クリプトン−ヨウ素を用いた電解結合型高周波放電ランプすなわちKrIエキシマランプであり、ランプ25の出力は1200ワットであった。なお、装置構成の詳細については後述する。
<Example of gas purification method>
In this example, gas purification was performed using a gas purification device. The gas purification apparatus is generally configured as the gas purification apparatus shown in FIG. That is, this gas purification apparatus will be described with reference to FIG. 9. A treatment tank 21 to which an aqueous nitrous oxide solution Nw is supplied, and an ejector 27 that injects the gas A to be treated into the treatment tank 21 by so-called bubbling. The structure corresponding to the lamp 25 that irradiates ultraviolet light toward the inside of the processing tank 21 is provided. The lamp 25 was an electrolytically coupled high-frequency discharge lamp using krypton-iodine, that is, a KrI excimer lamp, and the output of the lamp 25 was 1200 watts. Details of the device configuration will be described later.

このような装置を用いて、ホルムアルデヒドガスを含有するガスの浄化処理を行ったところ、処理槽21の上端開口から放出される処理済気体は、いわゆるホルムアルデヒド臭を伴わないものであった。   When such a device was used to purify a gas containing formaldehyde gas, the treated gas released from the upper end opening of the treatment tank 21 did not have a so-called formaldehyde odor.

次に本発明に係る流体浄化装置の中の気体浄化装置について説明する。   Next, the gas purification apparatus in the fluid purification apparatus according to the present invention will be described.

本実施形態の気体浄化装置は、被処理気体に含まれる被酸化物質を、亜酸化窒素含有溶液に含まれている亜酸化窒素に接触させる接触ユニットと、前記亜酸化窒素に接触した前記被酸化物質に紫外光を照射する光源とを備えるものである。   The gas purification apparatus of the present embodiment includes a contact unit for bringing an oxidant contained in a gas to be treated into contact with nitrous oxide contained in a nitrous oxide-containing solution, and the oxidant in contact with the nitrous oxide. And a light source for irradiating the substance with ultraviolet light.

気体浄化装置では、接触ユニットにて有機物などの被酸化物質に、亜酸化窒素含有溶液中の亜酸化窒素を接触させ、亜酸化窒素を接触させた状態の被酸化物質に光源からの紫外光を照射して非酸化物を酸化させ、これにより被酸化物質を酸化し分解して被処理気体を浄化する。   In the gas purification device, nitrous oxide in a nitrous oxide-containing solution is brought into contact with an oxidizable substance such as an organic substance in a contact unit, and ultraviolet light from a light source is applied to the oxidized substance in a state where the nitrous oxide is in contact. Irradiation oxidizes the non-oxide, thereby oxidizing and decomposing the substance to be oxidized to purify the gas to be treated.

上記接触ユニットは、被酸化物質を亜酸化窒素含有溶液中の亜酸化窒素に接触させるための容器を備えている。容器としては、外界に開口しているか否かという観点では、開口を有する開放型容器と、密閉された状態で用いられる密閉型容器とを挙げることができる。   The contact unit includes a container for bringing the substance to be oxidized into contact with nitrous oxide in the nitrous oxide-containing solution. Examples of the container include an open container having an opening and a sealed container used in a sealed state in terms of whether or not the container is open to the outside.

また、被処理気体と、亜酸化窒素含有溶液とが混在する流体(以下、混合流体と称する)に紫外光を照射するときに、当該混合流体を流動させるか否かという観点では、貯留型容器と流動型容器とを挙げることができる。   In addition, from the viewpoint of whether or not to flow the mixed fluid when the fluid to be treated and the nitrous oxide-containing solution (hereinafter referred to as a mixed fluid) are irradiated with ultraviolet light, the storage container And fluid type containers.

開放型容器としては、たとえば、上端に開口を備えるバッチ処理用の処理槽や上端が開口した溝形状の容器などを挙げることができる。密閉型容器としては、密閉式のチャンバやパイプなどの管形状の容器などを挙げることができる。また、貯留型容器としては、たとえば、上述したバッチ処理用の処理槽やチャンバなどを挙げることができる。流動型容器としては、たとえば、上述した溝形状の容器や管形状の容器を挙げることができる。   Examples of the open container include a batch processing tank having an opening at the upper end and a groove-shaped container having an upper end opened. Examples of the sealed container include a tube-shaped container such as a sealed chamber and a pipe. Further, examples of the storage container include the above-described batch processing tank and chamber. Examples of the fluid-type container include the above-described groove-shaped container and tube-shaped container.

流通型容器としては、紫外光照射面積が広く確保される形状が好ましい。具体的には、幅広の流通路を有するものが好ましい。ここで、幅広の流通路とは、例えば流通型であって且つ開放型の容器の場合、流通路を流れる混合流体の深さより流通路幅の方が広い構造の流通路のことである。この場合、光源からの紫外光は流通路の開口部から容器内の混合流体に照射される。また、管など、流通型であって且つ密閉型の容器の場合、幅広の流通路とは、例えば流路断面形状が四角形の場合、より強い紫外光が照射される面に対応する辺の幅寸法よりも、照射方向と交差する流路断面の厚さ寸法の方が短くなっている構造の流通路のことである。   The flow-through container preferably has a shape that ensures a wide ultraviolet light irradiation area. Specifically, those having a wide flow passage are preferable. Here, the wide flow passage refers to a flow passage having a structure in which the flow passage width is wider than the depth of the mixed fluid flowing through the flow passage in the case of a flow-type and open container, for example. In this case, the ultraviolet light from the light source is applied to the mixed fluid in the container from the opening of the flow path. In addition, in the case of a flow-type and sealed container such as a tube, the wide flow path is, for example, a width of a side corresponding to a surface irradiated with stronger ultraviolet light when the cross-sectional shape of the flow path is a square. It is a flow passage having a structure in which the thickness dimension of the cross section of the flow path intersecting the irradiation direction is shorter than the dimension.

密閉型容器としては、より具体的には、複数あるいは多数の細管を備えるものや、細長の断面形状を有する扁平断面管などを挙げることができる。このようにすると、流路断面積が同じでも、紫外光照射面積が大きくなり、紫外光照射効率が向上する。なお、管などの密閉型容器の材料としては、例えばガラスなど、紫外光透過性材料が好ましく、紫外光透過率が高い材料がより好ましい。   More specifically, examples of the sealed container include a container having a plurality of or many thin tubes, a flat cross-sectional tube having an elongated cross-sectional shape, and the like. If it does in this way, even if a channel cross-sectional area is the same, an ultraviolet light irradiation area will become large and ultraviolet light irradiation efficiency will improve. In addition, as a material for a sealed container such as a tube, an ultraviolet light transmissive material such as glass is preferable, and a material having a high ultraviolet light transmittance is more preferable.

開放型容器を採用すると、開口から被処理気体を供給したり、開口から処理済み気体を回収したりすることができるので、このような処理を行う場合に適している。密閉型容器は、気体浄化装置のように処理対象が気体である装置で用いる容器として適している。貯留型容器は、たとえば大量の被処理気体を浄化する場合に適している。流動型容器は、被処理気体や上記混合流体を流通させながら浄化する場合に適している。   When an open container is employed, the gas to be processed can be supplied from the opening or the processed gas can be recovered from the opening, which is suitable for performing such processing. The hermetic container is suitable as a container used in an apparatus in which a processing target is a gas, such as a gas purification apparatus. The storage-type container is suitable for purifying a large amount of gas to be processed, for example. The fluid type container is suitable for the case where purification is performed while circulating the gas to be processed and the mixed fluid.

被処理気体の浄化では、被処理気体に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを確実に接触させる必要がある。したがって、接触ユニットとしては、被処理気体に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを積極的に接触させる混合手段を有するものが好ましい。   In the purification of the gas to be treated, it is necessary to ensure that the substance to be oxidized contained in the gas to be treated and nitrous oxide are brought into contact with each other. Accordingly, the contact unit is preferably one having a mixing means for positively contacting the oxidant contained in the gas to be treated and nitrous oxide.

混合手段としては、被処理気体中に亜酸化窒素含有溶液を供給する液供給部や、亜酸化窒素含有溶液中に被処理気体を供給する被処理気体供給部を挙げることができる。これらのうちの少なくともいずれか一つを有することが好ましい。   Examples of the mixing means include a liquid supply unit that supplies a nitrous oxide-containing solution into the gas to be processed and a process gas supply unit that supplies the gas to be processed into the nitrous oxide-containing solution. It is preferable to have at least one of these.

液供給部としては、たとえば、亜酸化窒素水溶液などの亜酸化窒素含有溶液を容器に注ぐ給液管などの給液器や、被処理気体中に亜酸化窒素含有溶液を放出する液放出器を挙げることができる。液放出器としては、亜酸化窒素含有容器の吐出器、噴出器、噴射器あるいは噴霧器などを挙げることができる。   As the liquid supply unit, for example, a liquid feeder such as a liquid supply pipe for pouring a nitrous oxide-containing solution such as an aqueous nitrous oxide solution into a container, or a liquid discharger that discharges a nitrous oxide-containing solution into a gas to be treated Can be mentioned. Examples of the liquid discharger include a discharger, a sprayer, a sprayer, or a sprayer of a nitrous oxide-containing container.

被処理気体供給部としては、たとえば、被処理気体を亜酸化窒素含有溶液中に放出する被処理気体放出器を挙げることができる。被処理気体放出器としては、被処理気体の吐出器あるいは噴出器などを挙げることができる。   As a to-be-processed gas supply part, the to-be-processed gas discharge device which discharge | releases to-be-processed gas in a nitrous oxide containing solution can be mentioned, for example. Examples of the gas discharger include a gas discharger or an ejector for the gas to be processed.

接触ユニットとしては、被処理気体に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを確実に接触させるために、上記混合流体を撹拌する撹拌機などの撹拌手段を備えていてもよい。   The contact unit may include an agitation unit such as an agitator for agitating the mixed fluid in order to ensure that the oxidant contained in the gas to be treated and the nitrous oxide come into contact with each other.

気体浄化装置としては、さらに、被処理気体中に、当該被処理気体の透明度を向上させる希釈用の気体を供給する希釈液供給部を挙げることができる。希釈用気体としては、処理済み気体や清浄空気などを挙げることができる。希釈液供給部は、これらの希釈用気体のうちの少なくともいずれか1つを供給する。このようにして被処理気体を希釈すると、紫外光の透過効率が向上し、照射効率が向上する。   Examples of the gas purification device further include a dilution liquid supply unit that supplies a gas for dilution that improves the transparency of the gas to be processed into the gas to be processed. Examples of the gas for dilution include treated gas and clean air. The diluent supply unit supplies at least one of these dilution gases. When the gas to be treated is diluted in this way, the transmission efficiency of ultraviolet light is improved and the irradiation efficiency is improved.

また、気体浄化装置、特に流通型容器を備える気体浄化装置としては、一旦浄化処理された混合流体や被処理気体などの処理済み気体を循環させる循環機器を備えるものを挙げることができる。循環させることで、被処理気体に対して繰り返し浄化処理を施すことができる。   Moreover, as a gas purification apparatus, especially a gas purification apparatus provided with a flow-through container, there may be mentioned one provided with a circulation device that circulates a processed gas such as a mixed fluid or a gas to be processed once purified. By circulating, the purification gas can be repeatedly subjected to purification treatment.

本発明に係る気体浄化装置としては、さらに、被処理流体を加熱する加熱部や、被処理流体を冷却する冷却部を備えるものを挙げることができる。また、被処理気体の処理済み気体中の水分を液化する凝縮器を備えるものを挙げることができる。   Examples of the gas purification apparatus according to the present invention may further include a heating unit that heats the fluid to be processed and a cooling unit that cools the fluid to be processed. Moreover, what is provided with the condenser which liquefies the water | moisture content in the processed gas of to-be-processed gas can be mentioned.

そして、本発明に係る気体浄化装置は、紫外光を照射する光源を備えている。   And the gas purification apparatus which concerns on this invention is equipped with the light source which irradiates an ultraviolet light.

光源としては、240nm以下の波長の光を発生するものが好ましい。たとえば、高圧水銀ランプやKrIエキシマランプを挙げることができる。   As the light source, a light source that generates light having a wavelength of 240 nm or less is preferable. For example, a high pressure mercury lamp and a KrI excimer lamp can be mentioned.

これらのうち、KrIエキシマランプによって照射される紫外光は、亜酸化窒素に吸収されやすい一方、酸素に吸収されにくく、亜酸化窒素の分解能に優れている。したがって、酸化反応が効率よく行われることとなり、気体の浄化が高効率で行われる。また、オゾンの発生が少ないので、必ずしもオゾン対策のための装置を設置する必要がなく、本発明に係る気体浄化方法を実施する際に用いる気体浄化装置の構造を簡素化、小型化に寄与する。また、装置設計上の自由度が高まるという利点が得られる。   Among these, the ultraviolet light irradiated by the KrI excimer lamp is easily absorbed by nitrous oxide, but is not easily absorbed by oxygen and has excellent nitrous oxide resolution. Therefore, the oxidation reaction is performed efficiently, and the gas purification is performed with high efficiency. In addition, since ozone generation is small, it is not always necessary to install a device for countermeasures against ozone, which contributes to simplifying and downsizing the structure of the gas purification device used when carrying out the gas purification method according to the present invention. . In addition, there is an advantage that the degree of freedom in device design is increased.

気体浄化装置は、ランプの出力を制御するコントローラを備えていてもよい。コントローラとしては、たとえば、紫外光の出力(照度)を制御するものを挙げることができる。出力制御方法としては、たとえば、オン・オフ制御を挙げることができる。   The gas purification apparatus may include a controller that controls the output of the lamp. An example of the controller is one that controls the output (illuminance) of ultraviolet light. Examples of the output control method include on / off control.

紫外光を照射する光源用のランプとしては、接触ユニットの外部に設置された外設ランプと、接触ユニットの内部に設置された内設ランプとを挙げることができる。より、具体的には、ランプとしては、接触ユニットの容器の外部に設置された外設ランプと、接触ユニットの容器の内部に設置された内設ランプとを挙げることができる。   Examples of the lamp for the light source that emits ultraviolet light include an external lamp installed outside the contact unit and an internal lamp installed inside the contact unit. More specifically, examples of the lamp include an external lamp installed outside the container of the contact unit and an internal lamp installed inside the container of the contact unit.

容器が開放型容器であり、ランプが外設ランプである場合、紫外光は容器の開口から容器内に照射される。なお、開放型容器がガラスなどの紫外光透過性材料からなる部分を有するものであれば、その部分から容器内に紫外光を照射できる。   When the container is an open container and the lamp is an external lamp, ultraviolet light is irradiated into the container from the opening of the container. In addition, if an open container has a part which consists of ultraviolet light transmissive materials, such as glass, an ultraviolet light can be irradiated in the container from the part.

容器が密閉型容器であり、ランプが外設ランプである場合、容器は紫外光透過性材料からなる部分を有するものである必要がある。紫外光はこの部分から容器内に照射される。   When the container is a sealed container and the lamp is an external lamp, the container needs to have a portion made of an ultraviolet light transmissive material. Ultraviolet light is irradiated into the container from this portion.

ランプが内設ランプである場合、開放型であると密閉型であるとにかかわらず、容器の材料は紫外光透過性材料である必要はない。むしろ、紫外光を透過しない材料が好ましい。   When the lamp is an internal lamp, the material of the container does not need to be an ultraviolet light transmissive material regardless of whether the lamp is an open type or a sealed type. Rather, a material that does not transmit ultraviolet light is preferred.

また、ランプとしては、接触ユニットまたは容器に対して固定された固定ランプと、移動可能に設置された移動ランプとを挙げることができる。移動ランプとしては、被処理流体を撹拌する撹拌器具と一体になったものを挙げることができる。   Moreover, as a lamp | ramp, the fixed lamp fixed with respect to the contact unit or the container, and the movement lamp installed so that movement is possible can be mentioned. An example of the moving lamp is one that is integrated with a stirring device that stirs the fluid to be treated.

接触ユニットとしては、被処理気体に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを接触させる容器を複数備えるものであってもよい。そして、複数の容器を備える場合、全ての容器内に、光源からの紫外光を照射する必要はなく、選択した一つ以上の容器内に紫外光を照射するようになっていればよい。具体的には、被処理気体と亜酸化窒素含有物とを混合するための第1容器と、第1容器からの混合流体の流出先であり、流入された混合流体に紫外光を照射するための第2容器を備えるものを挙げることができる。   The contact unit may be provided with a plurality of containers for bringing the substance to be oxidized contained in the gas to be treated into contact with nitrous oxide. When a plurality of containers are provided, it is not necessary to irradiate all the containers with ultraviolet light from the light source, and it is sufficient that one or more selected containers are irradiated with ultraviolet light. Specifically, the first container for mixing the gas to be treated and the nitrous oxide-containing material, and the flow destination of the mixed fluid from the first container, for irradiating the mixed fluid that has flowed with ultraviolet light The thing provided with the 2nd container of this can be mentioned.

以下、本発明に係る気体浄化装置の実施例を図面を参照しつつ説明する。   Embodiments of a gas purification apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

<気体浄化装置の実施例1>
図9に示されるように、本実施例の気体浄化装置20は、浄化対象である被処理気体Aが供給される処理槽(接触ユニットの容器)21と、処理槽21に被処理気体Aを供給するための被処理気体供給管22と、亜酸化窒素水溶液Nwのタンク23と、タンク23から処理槽21に亜酸化窒素水溶液Nwを供給するための亜酸化窒素供給管24と、処理槽21内に向けて紫外光を照射するランプ25と、処理槽21の開口寄りに存する気体を吸引により回収する回収器26とを備えている。
<Example 1 of a gas purification apparatus>
As shown in FIG. 9, the gas purification apparatus 20 of the present embodiment includes a treatment tank (contact unit container) 21 to which a treatment gas A to be purified is supplied, and a treatment gas A to the treatment tank 21. A gas supply pipe 22 to be processed, a tank 23 of a nitrous oxide aqueous solution Nw, a nitrous oxide supply pipe 24 for supplying the nitrous oxide aqueous solution Nw from the tank 23 to the treatment tank 21, and a treatment tank 21 The lamp 25 which irradiates ultraviolet light toward the inside, and the collection | recovery device 26 which collect | recovers the gas which exists near the opening of the processing tank 21 by suction | inhalation are provided.

処理槽21は、上端に開口を備える開放型容器である。そして、処理槽21は、その側面に処理槽21内の液体を排出するための排出口21aを備えている。なお、処理槽21の内面はテフロン(登録商標)加工が施されている。   The processing tank 21 is an open container having an opening at the upper end. And the processing tank 21 is equipped with the discharge port 21a for discharging | emitting the liquid in the processing tank 21 in the side surface. The inner surface of the processing tank 21 is subjected to Teflon (registered trademark) processing.

被処理気体供給管22は、その下流側に、被処理気体を噴出させる噴出器27を備えている。この噴出器27は、被処理気体を噴出する多数の噴出口27aを備えており、噴出口27aは、処理槽21の底面に形成された通気孔21bを介して処理槽21内に連通している。したがって、被処理気体供給管2で供給された被処理気体は噴出器27から処理槽21内に噴出される。   The to-be-processed gas supply pipe 22 includes an ejector 27 that ejects the to-be-processed gas on the downstream side. The ejector 27 includes a large number of ejection ports 27 a for ejecting a gas to be treated. The ejection port 27 a communicates with the inside of the processing tank 21 through a vent 21 b formed in the bottom surface of the processing tank 21. Yes. Therefore, the gas to be processed supplied from the gas to be processed supply pipe 2 is ejected from the ejector 27 into the processing tank 21.

ランプ25は、クリプトン−ヨウ素を用いた電解結合型高周波放電ランプすなわちKrIエキシマランプである。なお、ランプ25の出力は1200ワットであった。   The lamp 25 is an electrolytically coupled high-frequency discharge lamp using krypton-iodine, that is, a KrI excimer lamp. The output of the lamp 25 was 1200 watts.

回収器26は、吸引口26aが処理槽21の上端の開口に向けられた状態で設置されている。なお、吸引口26aは、処理槽21を覆うように設置してもよく、処理槽の開口に連結された状態で設置されるものでもよい。   The recovery device 26 is installed in a state where the suction port 26 a is directed to the opening at the upper end of the processing tank 21. The suction port 26a may be installed so as to cover the processing tank 21 or may be installed in a state of being connected to the opening of the processing tank.

このような気体浄化装置20で、被処理気体Aを浄化する場合は、まず亜酸化窒素供給管24から処理槽21に亜酸化窒素水溶液Nwを流入させる。そして、被処理気体供給管22によって噴出器27に被処理気体Aを供給し、噴出器27から処理槽21に被処理気体Aを噴出させる。すると、被処理気体Aが亜酸化窒素水溶液Nw中に、いわゆるバブリングされる状態で放出される。これにより、被処理気体A中の有機物などの被酸化物質は亜酸化窒素水溶液Nw中に溶存する亜酸化窒素に接触する状態になる。   When purifying the gas A to be treated with such a gas purification device 20, first, the nitrous oxide aqueous solution Nw is caused to flow into the treatment tank 21 from the nitrous oxide supply pipe 24. And the to-be-processed gas A is supplied to the ejector 27 by the to-be-processed gas supply pipe 22, and the to-be-processed gas A is ejected from the ejector 27 to the processing tank 21. Then, the gas A to be treated is released in a so-called bubbled state in the aqueous nitrous oxide solution Nw. Thereby, an oxidizable substance such as an organic substance in the gas to be treated A comes into contact with the nitrous oxide dissolved in the nitrous oxide aqueous solution Nw.

この状態で、ランプ25を点灯して、処理槽21内に向けて紫外光を照射する。すると、亜酸化窒素水溶液Nw中に溶存している亜酸化窒素が解離して原子状酸素(O)が生成され、この原子状酸素が油やたんぱく質といった有機物(被酸化物質)を強力に酸化して分解し、被処理気体Aが浄化される。すなわち、有機物は、酸化により水や二酸化炭素等に分解されることで、被処理気体Aから除去される。浄化された気体すなわち被処理気体Aの処理済み気体Acは、亜酸化窒素水溶液Nwの水面から放出される。そして、放出された処理済み気体Acは、回収器26に吸引されて回収される。   In this state, the lamp 25 is turned on, and ultraviolet light is irradiated into the processing tank 21. Then, nitrous oxide dissolved in the nitrous oxide aqueous solution Nw is dissociated to generate atomic oxygen (O), and this atomic oxygen strongly oxidizes organic substances (oxidized substances) such as oil and protein. The gas to be treated A is purified. That is, the organic substance is removed from the gas A to be processed by being decomposed into water, carbon dioxide and the like by oxidation. The purified gas, that is, the treated gas Ac of the gas to be treated A is released from the water surface of the nitrous oxide aqueous solution Nw. Then, the released processed gas Ac is sucked into the recovery device 26 and recovered.

<気体浄化装置の実施例2>
次の実施例の気体浄化装置について説明する。なお、上記気体浄化装置20(気体浄化装置の実施例1)と同一の構成については、同一の符号を付すこととしその説明を省略することとする。これ以降に説明する実施例についても同様である。
<Example 2 of the gas purification device>
A gas purification apparatus according to the next embodiment will be described. In addition, about the structure same as the said gas purification apparatus 20 (Example 1 of a gas purification apparatus), suppose that the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted. The same applies to the embodiments described below.

図10に示されるように、本実施例の気体浄化装置30は、密閉型のチャンバ31と、亜酸化窒素水溶液Nwのタンク32と、タンク32内の亜酸化窒素水溶液Nwをチャンバ31に供給する亜酸化窒素供給管33と、当該供給管33からの亜酸化窒素水溶液Nwを噴出する噴出器34と、被処理気体供給管22と、チャンバ31内に向けて紫外光を照射するランプ25とを備えている。   As shown in FIG. 10, the gas purification apparatus 30 of the present embodiment supplies a sealed chamber 31, a tank 32 of an aqueous nitrous oxide solution Nw, and an aqueous nitrous oxide solution Nw in the tank 32 to the chamber 31. A nitrous oxide supply pipe 33, an ejector 34 that ejects the aqueous nitrous oxide solution Nw from the supply pipe 33, a gas supply pipe 22 to be processed, and a lamp 25 that irradiates the chamber 31 with ultraviolet light I have.

チャンバ31はチャンバ31内の液体を排出するための排液口31aと、チャンバ31内の気体を排出するための排気口31bとを備えている。また、チャンバ31は、その一部として、紫外光透過性能に優れるガラス製の透過部31cを備えている。したがって、この透過部31cからチャンバ31内に紫外光を照射できる。   The chamber 31 includes a drain port 31 a for discharging the liquid in the chamber 31 and an exhaust port 31 b for discharging the gas in the chamber 31. Moreover, the chamber 31 is provided with a glass transmission part 31c having excellent ultraviolet light transmission performance as a part thereof. Therefore, ultraviolet light can be irradiated into the chamber 31 from the transmission part 31c.

このような気体浄化装置30で被処理気体Aを浄化する場合は、噴出器34によってチャンバ31内に亜酸化窒素水溶液Nwを噴出させると共に、被処理気体供給管22からチャンバ31内に被処理気体Aを噴出させる。これにより、被処理気体A中の被酸化物質に亜酸化窒素水溶液Nw中の亜酸化窒素が接触する状態が得られる。   When purifying the gas to be processed A with such a gas purification device 30, the nitrous oxide aqueous solution Nw is ejected into the chamber 31 by the ejector 34 and the gas to be processed is introduced into the chamber 31 from the gas supply pipe 22 to be processed. A is ejected. Thereby, the state which the nitrous oxide in the nitrous oxide aqueous solution Nw contacts the to-be-oxidized substance in the to-be-processed gas A is obtained.

この状態で、ランプ25を点灯して、チャンバ31内に向けて紫外光を照射する。これにより、被処理気体A中に含まれていた被酸化物質が酸化反応により分解され、被処理気体Aが浄化される。浄化により得られた気体、すなわち被処理気体Aの処理済み気体Acは、チャンバ31の排気口31bからチャンバ31の外へと排出され回収される。   In this state, the lamp 25 is turned on to irradiate the chamber 31 with ultraviolet light. Thereby, the to-be-oxidized substance contained in to-be-processed gas A is decomposed | disassembled by oxidation reaction, and to-be-processed gas A is purified. The gas obtained by purification, that is, the processed gas Ac of the gas to be processed A is discharged from the exhaust port 31b of the chamber 31 to the outside of the chamber 31 and collected.

ここでは、2種類の気体浄化装置について説明したが、各気体浄化装置はいずれも種々改変して用いられるものである。   Here, two types of gas purification devices have been described, but each gas purification device can be used with various modifications.

以下、本発明に係る気体浄化装置の改変実施例を説明する。   Hereinafter, modified examples of the gas purification apparatus according to the present invention will be described.

実施例1の気体浄化装置20は、処理槽21の上端の開口から処理槽21内に紫外光を照射できるようになっている。したがって、処理槽21の材料は、必ずしも紫外光透過性に優れる材料でなくてよい。ただし、処理槽21としては、紫外光、特に190nmの波長の光の透過率が高い材料が一部または全部に用いられたものでもよい。このような処理槽21を用いれば、処理槽21の上端の開口からだけでなく、処理槽21の横側や下側から紫外光を照射して、処理槽21内の被処理気体Aの浄化を促進することができる。   The gas purification apparatus 20 according to the first embodiment can irradiate ultraviolet light into the treatment tank 21 from the opening at the upper end of the treatment tank 21. Therefore, the material of the processing tank 21 is not necessarily a material excellent in ultraviolet light transmittance. However, as the treatment tank 21, a material in which a material having a high transmittance of ultraviolet light, particularly light having a wavelength of 190 nm is used in part or in whole may be used. If such a processing tank 21 is used, ultraviolet light is irradiated not only from the opening of the upper end of the processing tank 21 but also from the side or the lower side of the processing tank 21 to purify the gas A to be processed in the processing tank 21. Can be promoted.

実施例1の気体浄化装置20の容器は、いわゆる開放型容器である処理槽21であるが、密閉型容器でもよい。密閉型容器としては、例えば、図10に示されるチャンバ31を挙げることができる。また、図11に示される気体浄化装置40の容器すなわち処理槽21と、その上端開口を塞ぐ蓋体21cとからなるものでもよい。この場合、処理槽21内に紫外光を照射できるように、処理槽21および/またはその蓋体21cの一部または全部を紫外光透過性を有する材料で構成する。この実施例では、蓋体21cをガラス製とした。   Although the container of the gas purification apparatus 20 of Example 1 is the processing tank 21 which is what is called an open type container, an airtight type container may be sufficient. An example of the sealed container is a chamber 31 shown in FIG. Moreover, it may consist of the container of the gas purification apparatus 40 shown in FIG. 11, that is, the processing tank 21, and the lid 21c that closes the upper end opening thereof. In this case, a part or all of the processing tank 21 and / or its lid 21c is made of a material having ultraviolet light transmission so that the processing tank 21 can be irradiated with ultraviolet light. In this embodiment, the lid 21c is made of glass.

上記実施例の気体浄化装置20,30で用いられている容器21,31は、貯留型容器であるが、流動型容器でもよい。つまり、図12に示されるような管形状の容器61でもよい。この容器61は、断面円形の複数の管61aからなるものであり、各管61a内に被処理気体Aと亜酸化窒素水溶液Nwとの混合流体を流通させるようになっている。各管61aはガラス製であり、管61a内の混合流体に外側から紫外光を照射できるようになっている。したがって、被処理気体Aは、管61aを流通するときに紫外光を照射されて浄化される。なお、浄化により得られた気体すなわち被処理気体Aの処理済み気体Acの回収方法としては、種々の方法が考えられるが、例えば、図12に示されるように、排出口61bの下流側に気液分離用の貯留槽61cを設け、この貯留槽61cに接続した排気口61dから被処理気体Aの処理済み気体Acを回収し、排液口61eから亜酸化窒素水溶液Nwの使用済み液を回収するようにしてもよい。   The containers 21 and 31 used in the gas purification apparatuses 20 and 30 of the above embodiment are storage-type containers, but may be fluid-type containers. That is, a tube-shaped container 61 as shown in FIG. The container 61 is composed of a plurality of tubes 61a having a circular cross section, and a mixed fluid of the gas to be processed A and the nitrous oxide aqueous solution Nw is circulated in each tube 61a. Each tube 61a is made of glass so that the mixed fluid in the tube 61a can be irradiated with ultraviolet light from the outside. Therefore, the gas A to be treated is purified by being irradiated with ultraviolet light when flowing through the tube 61a. Various methods are conceivable as a method for recovering the gas obtained by purification, that is, the treated gas Ac of the gas to be treated A. For example, as shown in FIG. 12, the gas is disposed downstream of the outlet 61b. A storage tank 61c for liquid separation is provided, the processed gas Ac of the gas to be processed A is recovered from the exhaust port 61d connected to the storage tank 61c, and the used liquid of the nitrous oxide aqueous solution Nw is recovered from the drain port 61e. You may make it do.

また密閉型で流動型の容器としては、図13に示される容器62でもよい。この容器62は、管内断面形状が細長形状であるいわゆる断面扁平形状の管62aからなるものであり、紫外光透過性を有する樹脂からなるものである。   Further, the sealed and fluid type container may be the container 62 shown in FIG. The container 62 is made of a so-called flat tube 62a having an elongated cross-sectional shape inside the tube, and is made of a resin having ultraviolet light permeability.

図12または図13に示された容器61,62では、流路断面積が同じでも、より広い紫外光照射面積が確保されている。また、流路厚さが薄いので、管61a,62a内を流れる混合流体に対して紫外光を透過させやすくなる。たとえば、混合流体が濁ったものであっても、被処理気体全体に紫外光を照射できるようになる。照射した紫外光が混合流体を透過すれば、そこを流れた混合流体全体に紫外光を照射させることができることになり好ましい。このように、これらの容器61,62を用いれば、紫外光照射効率を向上させることができる。   In the containers 61 and 62 shown in FIG. 12 or FIG. 13, a wider ultraviolet light irradiation area is ensured even if the flow path cross-sectional area is the same. Further, since the flow channel thickness is thin, it becomes easy to transmit ultraviolet light to the mixed fluid flowing in the tubes 61a and 62a. For example, even if the mixed fluid is cloudy, the entire gas to be processed can be irradiated with ultraviolet light. If the irradiated ultraviolet light passes through the mixed fluid, it is preferable that the entire mixed fluid flowing therethrough can be irradiated with ultraviolet light. Thus, if these containers 61 and 62 are used, the ultraviolet light irradiation efficiency can be improved.

図14に示されるように、気体浄化装置70としては、処理槽21などの容器内の混合流体を、処理槽21に複数回投入できるように循環させる循環器71を備えるものでもよい。循環器71は、回収用配管71aと、その途中に設置された三方弁71bと、この三方弁71bを介して回収用配管71aに接続された循環用配管71cと、循環用配管71cの途中に設置された循環ポンプ71dとを有するものであり、循環用配管71cの下流端は被処理気体Aの供給管22に接続されている。このような循環器71を設置しておけば、必要に応じて繰り返し処理済み気体Acに紫外光を照射させることができ、より確実に被処理気体Aを浄化できる。   As shown in FIG. 14, the gas purification device 70 may include a circulator 71 that circulates the mixed fluid in a container such as the processing tank 21 so that the mixed fluid can be introduced into the processing tank 21 a plurality of times. The circulator 71 includes a recovery pipe 71a, a three-way valve 71b installed in the middle thereof, a circulation pipe 71c connected to the recovery pipe 71a via the three-way valve 71b, and a circulation pipe 71c. The circulation pipe 71c is connected to the supply pipe 22 of the gas A to be processed. If such a circulator 71 is installed, the treated gas Ac can be irradiated with ultraviolet light repeatedly as necessary, and the gas A to be treated can be purified more reliably.

なお、亜酸化窒素水溶液Nwについても循環器72を設けてもよい。この循環器72は、処理済み気体Acの循環器71と同様、回収用配管72aと、その途中に設置された三方弁72bと、この三方弁72bを介して回収用配管72aに接続された循環用配管72cと、循環用配管72cの途中に設置された循環ポンプ72dとを有するものである。そして、循環用配管72cの下流端は亜酸化窒素水溶液Nwのタンク23に接続されている。このような循環器72を設置しておけば、必要に応じて繰り返し亜酸化窒素水溶液Nwを利用できる。   In addition, you may provide the circulator 72 also about the nitrous oxide aqueous solution Nw. This circulator 72 is similar to the circulator 71 of the treated gas Ac, a recovery pipe 72a, a three-way valve 72b installed in the middle thereof, and a circulation connected to the recovery pipe 72a via the three-way valve 72b. Pipe 72c and a circulation pump 72d installed in the middle of the circulation pipe 72c. The downstream end of the circulation pipe 72c is connected to the tank 23 of the nitrous oxide aqueous solution Nw. If such a circulator 72 is installed, the aqueous nitrous oxide solution Nw can be used repeatedly as necessary.

また、気体浄化装置としては、設置されている容器がチャンバ31(図10参照)や管61aからなる容器61(図12参照)など密閉型容器である場合、容器内の混合流体をより均質に混合させる手段として、容器を揺動、振動あるいは回転させる可動機構を備えるものでもよい。可動機構によって容器を動かすことで、より均質な混合流体が得られる。   As the gas purification device, when the installed container is a sealed container such as the container 61 (see FIG. 12) including the chamber 31 (see FIG. 10) or the tube 61a, the mixed fluid in the container is made more homogeneous. As a means for mixing, a movable mechanism for swinging, vibrating or rotating the container may be provided. A more homogeneous mixed fluid can be obtained by moving the container by the movable mechanism.

図15に示されるように、気体浄化装置80としては、処理槽21などの容器内の混合流体を撹拌する撹拌手段を備えるものでもよい。図15に示される気体浄化装置80は、撹拌手段として撹拌具83を備えるものである。この撹拌具83は、上下に延びる棒状の支持部材83aの先端に水平方向に延びる撹拌棒83bを備えるものである。支持部材83aは、上下動および回転可能になっている。したがって、支持部材83aを作動させると、撹拌棒83bが上下動および/または回転し、処理槽21内の混合流体が撹拌される。これにより、混合流体全体について、被酸化物質に亜酸化窒素を接触させることができる。また、撹拌することで、被処理気体Aの液中での滞在時間が延長されることとなり、被処理気体Aの浄化がより確実に行われる。   As shown in FIG. 15, the gas purification device 80 may include a stirring unit that stirs the mixed fluid in a container such as the processing tank 21. The gas purification apparatus 80 shown in FIG. 15 includes a stirring tool 83 as stirring means. The stirring tool 83 includes a stirring bar 83b extending in the horizontal direction at the tip of a bar-like support member 83a extending vertically. The support member 83a can move up and down and rotate. Therefore, when the support member 83a is operated, the stirring rod 83b moves up and down and / or rotates, and the mixed fluid in the processing tank 21 is stirred. Thereby, nitrous oxide can be made to contact an oxidizable substance about the whole mixed fluid. Moreover, the staying time in the liquid of the to-be-processed gas A will be extended by stirring, and purification of the to-be-processed gas A will be performed more reliably.

また、図16に示されるように、被処理気体Aを供給する供給器は、気体浄化装置90や処理槽21などの容器に対して固定されていないものでもよく、移動式、可搬式のものでもよい。図16に示される気体浄化装置90では、処理槽21内に設置し、または取り出し可能な噴射器94が用いられている。この噴射器94が用いられている。この噴射器94は、処理槽21内に流入させた亜酸化窒素水溶液Nw中に被処理気体Aを噴射するものであり、多数の噴射孔94aを備えている。したがって、被処理気体Aを亜酸化窒素水溶液Nw中にバブリングにより供給することができる。   Further, as shown in FIG. 16, the supply device for supplying the gas A to be processed may not be fixed to a container such as the gas purification device 90 or the processing tank 21, and may be mobile or portable. But you can. In the gas purification apparatus 90 shown in FIG. 16, an injector 94 that can be installed in or removed from the treatment tank 21 is used. This injector 94 is used. The injector 94 injects the gas to be processed A into the nitrous oxide aqueous solution Nw that has flowed into the processing tank 21, and includes a large number of injection holes 94a. Therefore, the gas A to be treated can be supplied into the nitrous oxide aqueous solution Nw by bubbling.

そして、噴射器94は、他の器具に一体に形成されたものでもよい。例えば、図15に示される撹拌具83の先端の撹拌棒83bの部分に一体に形成してもよい。このような構成にすれば、撹拌具84で亜酸化窒素水溶液Nwを撹拌しつつ被処理気体Aを亜酸化窒素水溶液Nw中に供給できる。   The injector 94 may be formed integrally with another device. For example, you may form integrally in the part of the stirring rod 83b of the front-end | tip of the stirring tool 83 shown by FIG. With such a configuration, it is possible to supply the gas A to be processed into the nitrous oxide aqueous solution Nw while stirring the nitrous oxide aqueous solution Nw with the stirring tool 84.

ところで、最初に説明した2つの実施例の気体浄化装置20,30では、処理槽21やチャンバ41などの容器の外にランプ25が設置されている。しかし、ランプ25の設置位置は、容器の外に限られず、図15に示される気体浄化装置80のように、処理槽21などの容器の内側でもよい。ランプ25の設置位置が容器内であれば、被処理気体Aのごく近くに光源が設置されることとなり、紫外光照射効率が向上する。   By the way, in the gas purification apparatuses 20 and 30 of the two embodiments described first, the lamp 25 is installed outside the container such as the processing tank 21 and the chamber 41. However, the installation position of the lamp 25 is not limited to the outside of the container, and may be inside the container such as the processing tank 21 as in the gas purification device 80 shown in FIG. If the installation position of the lamp 25 is in the container, the light source is installed very close to the gas A to be processed, and the ultraviolet light irradiation efficiency is improved.

ランプ25の設置位置が容器内のみである場合、容器の材料は、必ずしも紫外光透過性の材料でなくてもよく、むしろ紫外光を透過しない材料が好ましい。紫外光を透過しない材料を用いれば、紫外光照射効率が向上する。   When the installation position of the lamp 25 is only in the container, the material of the container does not necessarily need to be a material that transmits ultraviolet light, but rather a material that does not transmit ultraviolet light. If a material that does not transmit ultraviolet light is used, the ultraviolet light irradiation efficiency is improved.

そして、ランプ25としては、気体浄化装置や容器に対して固定されていないものでもよく、移動式、可搬式のものでもよい。たとえば、図15に示される撹拌具83の先端にランプを設置してもよい。このような構造にすると、撹拌によって混合流体を均質に混合できると共に、紫外光を混合流体全体に均一に照射できる。   And as the lamp | ramp 25, what is not fixed with respect to a gas purification apparatus or a container may be sufficient, and a mobile type and a portable type may be sufficient. For example, you may install a lamp | ramp in the front-end | tip of the stirring tool 83 shown by FIG. With such a structure, the mixed fluid can be homogeneously mixed by stirring, and the entire mixed fluid can be uniformly irradiated with ultraviolet light.

KrIエキシマランプは、照射開始時の光強度の立ち上がり性能や、照射終了時の光強度の立下り性能に優れている。したがって、このランプ25をオン・オフさせることによって、簡単に酸化反応のオン・オフ制御を行うことが可能である。したがって、気体浄化装置としては、KrIエキシマランプのオン・オフ制御によって浄化処理の実施および停止を制御するコントローラを備えるものでもよい。   The KrI excimer lamp is excellent in the light intensity rising performance at the start of irradiation and the light intensity falling performance at the end of irradiation. Therefore, the on / off control of the oxidation reaction can be easily performed by turning on / off the lamp 25. Therefore, the gas purification apparatus may include a controller that controls the execution and stop of the purification process by on / off control of the KrI excimer lamp.

次に、本発明に係る流体浄化方法の中の液体浄化方法について説明する。   Next, the liquid purification method in the fluid purification method according to the present invention will be described.

本実施形態の液体浄化方法は、被処理液中に含まれる被酸化物質に亜酸化窒素(NO)を接触させた状態で被処理液に紫外光を照射することで、被酸化物質を酸化させてこれを分解除去することにより、液体を浄化する方法である。The liquid purification method of the present embodiment irradiates the liquid to be treated with ultraviolet light in a state where nitrous oxide (N 2 O) is in contact with the substance to be oxidized contained in the liquid to be treated. In this method, the liquid is purified by oxidizing and removing it.

ここでいう被酸化物質とは、たとえば有機物のことである。有機物としては、酸化反応により分解される油、たんぱく質を挙げることができる。   The substance to be oxidized here is, for example, an organic substance. Examples of organic substances include oils and proteins that are decomposed by an oxidation reaction.

したがって、本発明に係る液体浄化方法によれば、有機物などの被酸化物質を含む種々の被処理液を浄化することができる。被処理液としては、たとえば、生活廃液、産業廃液、雨水あるいは地下水や、ダム、湖沼、河川あるいは海から取水された水などを挙げることができる。   Therefore, according to the liquid purification method according to the present invention, it is possible to purify various liquids to be treated containing an oxidizable substance such as an organic substance. Examples of the liquid to be treated include domestic waste liquid, industrial waste liquid, rain water or ground water, water taken from a dam, lake, river or sea.

そして、浄化処理により得られた浄化処理済み液は、各種用途での利用が可能であり、有用なものである。たとえば、いわゆる中水道で用いる中水道用水としての用途を挙げることができる。より具体的には、トイレ用水、清掃用水、粉塵の飛散を防止するためにまかれる粉塵防止用水、打ち水用水、発熱部を備える各種装置で用いられる冷却用水、いわゆる箱庭や流水装置を含むディスプレイで用いられる流水用水などを挙げることができる。   The purified liquid obtained by the purification process can be used for various purposes and is useful. For example, the use as water for middle water used in what is called a middle water can be mentioned. More specifically, toilet water, cleaning water, dust-preventing water that is sprinkled to prevent dust scattering, water for squirting water, cooling water used in various devices equipped with heat generating parts, so-called miniature gardens and flowing water devices The water for running water etc. which are used can be mentioned.

亜酸化窒素を接触させた状態の被酸化物質に紫外光を照射して行う酸化反応は、気体の浄化方法についての実施例中において述べた通りである。   The oxidation reaction performed by irradiating an oxidizable substance in contact with nitrous oxide with ultraviolet light is as described in the embodiment of the gas purification method.

本発明によれば、酸化反応の制御が容易であるので、液体浄化に用いられる機器の腐食は最小限に抑制される。つまり、腐食に起因した機器の不具合の発生が最小限に抑制される。したがって、本発明に係る液体浄化方法を実施する際に用いられる液体浄化装置などの機器について、腐食対策が不要になるという利点がある。   According to the present invention, since the oxidation reaction is easily controlled, corrosion of equipment used for liquid purification is suppressed to a minimum. In other words, the occurrence of equipment malfunctions due to corrosion is minimized. Therefore, there is an advantage that a countermeasure against corrosion is unnecessary for equipment such as a liquid purification device used when the liquid purification method according to the present invention is performed.

ところで、本発明に係る液体浄化方法で被処理液を浄化するには、上述したように、被処理液に含まれる被酸化物質に亜酸化窒素を接触させた状態にする必要がある。そして、上述したように、オゾンの発生の抑制などを考慮すると、液中に溶存している亜酸化窒素を、被処理気体に含まれる被酸化物質に接触させる方法が好ましい。例えば、亜酸化窒素含有溶液を用いる方法や、被処理液中に亜酸化窒素が溶存される状態になる工程を有する方法が好ましい。   By the way, in order to purify the liquid to be treated by the liquid purification method according to the present invention, as described above, it is necessary to bring the oxidant contained in the liquid to be treated into contact with nitrous oxide. And as mentioned above, when suppression of generation | occurrence | production of ozone etc. is considered, the method of making the nitrous oxide dissolved in the liquid contact the to-be-oxidized substance contained in to-be-processed gas is preferable. For example, a method using a nitrous oxide-containing solution or a method having a step of dissolving nitrous oxide in the liquid to be treated is preferable.

被酸化物質に亜酸化窒素を接触させた状態は、例えば、次のような接触工程を行うことにより得られる。接触工程としては、被処理液と亜酸化窒素ガスとを混在させる工程、被処理液を前記亜酸化窒素ガスに晒す工程、被処理液中に亜酸化窒素を存在させる工程あるいは亜酸化窒素を含有する亜酸化窒素ガス中に被酸化物質を存在させる工程などを挙げることができる。   The state in which nitrous oxide is brought into contact with the substance to be oxidized can be obtained, for example, by performing the following contact process. As the contacting step, a step of mixing the liquid to be treated and nitrous oxide gas, a step of exposing the liquid to be treated to the nitrous oxide gas, a step of causing nitrous oxide to exist in the liquid to be treated, or containing nitrous oxide Examples include a step of causing an oxidizable substance to exist in the nitrous oxide gas.

ここで、亜酸化窒素ガスとは、亜酸化窒素のみからなるガスだけではなく、亜酸化窒素を含んだガスをも含む意である。   Here, the nitrous oxide gas is meant to include not only a gas composed of only nitrous oxide but also a gas containing nitrous oxide.

これらのうち、被処理液と亜酸化窒素ガスとを混在させる方法としては、たとえば、被処理液と、亜酸化窒素ガスまたは亜酸化窒素含有溶液のうちのすくなくともいずれか一つとを同一容器内に収容する方法や、収容後さらに撹拌する方法を挙げることができる。   Among these, as a method of mixing the liquid to be treated and nitrous oxide gas, for example, the liquid to be treated and at least one of the nitrous oxide gas or the nitrous oxide-containing solution are placed in the same container. The method of accommodating and the method of stirring further after accommodation can be mentioned.

被処理液を亜酸化窒素ガスに晒す方法としては、たとえば、被処理液の雰囲気中に亜酸化窒素ガスを加える方法などを挙げることができる。   Examples of the method of exposing the liquid to be treated to nitrous oxide gas include a method of adding nitrous oxide gas to the atmosphere of the liquid to be treated.

被処理液中に亜酸化窒素を存在させる方法としては、たとえば、被処理液中に亜酸化窒素ガスを放出する方法、被処理液に亜酸化窒素含有水を添加する方法などを挙げることができる。   Examples of the method for causing nitrous oxide to be present in the liquid to be treated include a method for releasing nitrous oxide gas into the liquid to be treated, and a method for adding nitrous oxide-containing water to the liquid to be treated. .

そして、被処理液中に亜酸化窒素ガスを放出する方法としては、たとえば、被処理液中に亜酸化窒素ガスを吐出、噴出あるいは噴射する、いわゆる噴出方法をあげることができる。より具体的には、バブリングする方法を挙げることができる。   Examples of a method for releasing nitrous oxide gas into the liquid to be treated include a so-called jetting method in which nitrous oxide gas is discharged, jetted, or jetted into the liquid to be treated. More specifically, a bubbling method can be mentioned.

亜酸化窒素ガス中に被酸化物質を存在させる方法としては、たとえば、被処理液を亜酸化窒素ガス中に放出させる方法を挙げることができる。より具体的には、被処理液を吐出、噴出、噴射あるいは噴霧する、いわゆる噴出方法を挙げることができる。   Examples of the method for causing the substance to be oxidized to exist in the nitrous oxide gas include a method for releasing the liquid to be treated into the nitrous oxide gas. More specifically, a so-called jetting method in which the liquid to be treated is discharged, jetted, jetted or sprayed can be mentioned.

また、被処理液に含まれる被酸化物質に亜酸化窒素を接触させる方法を、被処理液の状態に着目して大別すると、液体の状態である被処理液中の被酸化物質に亜酸化窒素を接触させる方法、被処理液の気化物中の被酸化物質に亜酸化窒素を接触させる方法、被処理液の一部が気化された気液共存物中に含まれる被酸化物質に亜酸化窒素を接触させる方法に大別される。つまり、本発明に係る液体浄化方法では、被酸化物質は、被処理液が液体のままの状態、気体の状態または気液二相の状態で亜酸化窒素に接触される。   In addition, the method of bringing nitrous oxide into contact with the oxidant contained in the liquid to be treated can be broadly classified by focusing on the state of the liquid to be treated. A method of contacting nitrogen, a method of bringing nitrous oxide into contact with an oxidant in the vaporized material of the liquid to be treated, and a suboxidation of an oxidant contained in a gas-liquid coexisting material in which a part of the liquid to be treated is vaporized It is roughly divided into methods of contacting nitrogen. That is, in the liquid purification method according to the present invention, the substance to be oxidized is brought into contact with nitrous oxide while the liquid to be treated remains in a liquid state, a gas state, or a gas-liquid two-phase state.

被処理液の一部または全部を気体の状態にする好適な方法としては、例えば、噴霧する方法や、加熱により気化する方法、被処理液を減圧する方法を挙げることができる。   Examples of suitable methods for bringing part or all of the liquid to be treated into a gas state include a spraying method, a method of vaporizing by heating, and a method of decompressing the liquid to be treated.

本発明に係る液体浄化方法で用いるランプ(光源)としては、240nm以下の波長の光を発生するものが好ましい。たとえば、高圧水銀ランプやクリプトン−ヨウ素(KrI)エキシマランプ(以下、KrIエキシマランプと称する)を挙げることができる。ランプ出力は特に限定されることはない。一般に同一のランプを用いた場合、出力によって酸化分解の速度が影響を受ける。つまり、ランプ出力が小さいと酸化分解の速度は低下し、逆にランプ出力が大きいと酸化分解の速度は上昇する。所望の酸化分解速度に応じて、適宜ランプ出力を選択することができる。   The lamp (light source) used in the liquid purification method according to the present invention is preferably one that generates light having a wavelength of 240 nm or less. Examples thereof include a high-pressure mercury lamp and a krypton-iodine (KrI) excimer lamp (hereinafter referred to as a KrI excimer lamp). The lamp output is not particularly limited. In general, when the same lamp is used, the rate of oxidative decomposition is affected by the output. In other words, when the lamp output is small, the oxidative decomposition rate decreases, and conversely, when the lamp output is large, the oxidative decomposition rate increases. The lamp output can be appropriately selected according to the desired oxidative decomposition rate.

本発明に係る液体浄化方法では、紫外光の照射効率を向上させる前処理工程を行ってもよい。   In the liquid purification method according to the present invention, a pretreatment step for improving the irradiation efficiency of ultraviolet light may be performed.

当該前処理工程としては、たとえば、被処理液を希釈する希釈工程を挙げることができる。希釈工程としては、水を添加する工程や、亜酸化窒素含有水を添加する工程を挙げることができる。希釈された被処理液は光透過性が向上する。したがって、紫外光の照射効率が向上する。   Examples of the pretreatment step include a dilution step for diluting the liquid to be treated. As a dilution process, the process of adding water and the process of adding nitrous oxide containing water can be mentioned. The diluted liquid to be processed has improved light transmittance. Therefore, the irradiation efficiency of ultraviolet light is improved.

<液体浄化方法の実施例>
本実施例では、ランプ13がKrIエキシマランプであること以外、実施例1と同じ構成である液体浄化装置11を用いた。また、浄化に用いる亜酸化窒素水溶液を用意した。当該溶液における亜酸化窒素濃度は1000ppmであった。
<Example of liquid purification method>
In the present embodiment, the liquid purifier 11 having the same configuration as that of the first embodiment is used except that the lamp 13 is a KrI excimer lamp. A nitrous oxide aqueous solution used for purification was also prepared. The nitrous oxide concentration in the solution was 1000 ppm.

このような装置および亜酸化窒素水溶液を用いて、実施例1で浄化したものと同じメチレンブルー水溶液の浄化処理を行った。浄化処理では、容器12にメチレンブルー水溶液と亜酸化窒素水溶液とを投入して混合し、混合液14を得た。そして、ランプ13を点灯させて容器12内の混合液14に紫外光を照射し、浄化処理を行った。液体浄化装置11が設置された場所の雰囲気温度は24℃であった。その結果、高圧水銀ランプを用いた実施例1の装置を用いた場合と同等またはそれ以上の浄化性能であった。また、紫外光照射前の混合液中に微量存在していたトリクロロエチレン濃度が、紫外光照射後の溶液では低下していた。   Using such an apparatus and an aqueous nitrous oxide solution, the same methylene blue aqueous solution as that purified in Example 1 was purified. In the purification treatment, a methylene blue aqueous solution and a nitrous oxide aqueous solution were put into the container 12 and mixed to obtain a mixed solution 14. And the lamp | ramp 13 was turned on and the liquid mixture 14 in the container 12 was irradiated with ultraviolet light, and the purification process was performed. The ambient temperature of the place where the liquid purification apparatus 11 was installed was 24 ° C. As a result, the purification performance was equivalent to or better than that when the apparatus of Example 1 using a high-pressure mercury lamp was used. Moreover, the trichlorethylene concentration which existed in trace amount in the liquid mixture before ultraviolet light irradiation was falling in the solution after ultraviolet light irradiation.

次に本発明に係る流体浄化装置の中の液体浄化装置について説明する。   Next, the liquid purification apparatus in the fluid purification apparatus according to the present invention will be described.

本実施形態の液体浄化装置は、被処理液に含まれる被酸化物質を亜酸化窒素に接触させる接触ユニットと、前記亜酸化窒素に接触した前記被酸化物質に紫外光を照射する光源とを備えるものである。   The liquid purification apparatus of the present embodiment includes a contact unit that makes an oxidant contained in a liquid to be treated come into contact with nitrous oxide, and a light source that irradiates the oxidant that comes into contact with the nitrous oxide with ultraviolet light. Is.

液体浄化装置では、接触ユニットにて有機物などの被酸化物質に亜酸化窒素を接触させ、亜酸化窒素を接触させた状態の被酸化物質に光源からの紫外光を照射して非酸化物を酸化させ、これにより被酸化物質を酸化し分解して被処理液を浄化する。   In a liquid purification device, nitrous oxide is brought into contact with an oxidizable substance such as an organic substance in a contact unit, and the non-oxide is oxidized by irradiating the oxidized substance in contact with the nitrous oxide with ultraviolet light from a light source. As a result, the material to be treated is oxidized and decomposed to purify the liquid to be treated.

被処理液に含まれる被酸化物質を亜酸化窒素に接触させる接触ユニットは、被酸化物質を亜酸化窒素に接触させるための容器を備えている。容器としては、外界に開口しているか否かという観点では、開口を有する開放型容器と、密閉された状態で用いられる密閉型容器とを挙げることができる。   The contact unit for bringing the substance to be oxidized contained in the liquid to be treated into contact with nitrous oxide includes a container for bringing the substance to be oxidized into contact with nitrous oxide. Examples of the container include an open container having an opening and a sealed container used in a sealed state in terms of whether or not the container is open to the outside.

また、被処理液および/またはその気化物と、亜酸化窒素ガス、亜酸化窒素ガスまたは亜酸化窒素含有溶液のうちのすくなくともいずれか一つとが混在する流体(以下、混合流体と称する)に紫外光を照射するときに、当該混合流体を流動させるか否かという観点では、貯留型容器と流動型容器とを挙げることができる。   In addition, a fluid (hereinafter referred to as a mixed fluid) in which a liquid to be treated and / or a vaporized product thereof and at least one of nitrous oxide gas, nitrous oxide gas, or a nitrous oxide-containing solution are mixed is referred to as an ultraviolet ray. From the viewpoint of whether or not to allow the mixed fluid to flow when irradiating light, a storage container and a fluid container can be mentioned.

開放型容器としては、たとえば、上端に開口を備えるバッチ処理用の処理槽や上端が開口した溝形状の容器などを挙げることができる。密閉型容器としては、密閉式のチャンバやパイプなどの管形状の容器などを挙げることができる。また、貯留型容器としては、たとえば、上述したバッチ処理用の処理槽やチャンバなどを挙げることができる。流動型容器としては、たとえば、上述した溝形状の容器や管形状の容器を挙げることができる。   Examples of the open container include a batch processing tank having an opening at the upper end and a groove-shaped container having an upper end opened. Examples of the sealed container include a tube-shaped container such as a sealed chamber and a pipe. Further, examples of the storage container include the above-described batch processing tank and chamber. Examples of the fluid-type container include the above-described groove-shaped container and tube-shaped container.

流通型容器としては、紫外光照射面積が広く確保される形状が好ましい。具体的には、幅広の流通路を有するものが好ましい。ここで、幅広の流通路とは、例えば流通型であって且つ開放型の容器の場合、流通路を流れる混合流体の深さより流通路幅の方が広い構造の流通路のことである。この場合、光源からの紫外光は流通路の開口部から容器内の混合流体に照射される。また、管など、流通型であって且つ密閉型の容器の場合、幅広の流通路とは、例えば流路断面形状が四角形の場合、より強い紫外光が照射される面に対応する辺の幅寸法よりも、照射方向と交差する流路断面の厚さ寸法の方が短くなっている構造の流通路のことである。   The flow-through container preferably has a shape that ensures a wide ultraviolet light irradiation area. Specifically, those having a wide flow passage are preferable. Here, the wide flow passage refers to a flow passage having a structure in which the flow passage width is wider than the depth of the mixed fluid flowing through the flow passage in the case of a flow-type and open container, for example. In this case, the ultraviolet light from the light source is applied to the mixed fluid in the container from the opening of the flow path. In addition, in the case of a flow-type and sealed container such as a tube, the wide flow path is, for example, a width of a side corresponding to a surface irradiated with stronger ultraviolet light when the cross-sectional shape of the flow path is a square. It is a flow passage having a structure in which the thickness dimension of the cross section of the flow path intersecting the irradiation direction is shorter than the dimension.

密閉型容器としては、より具体的には、複数あるいは多数の細管を備えるものや、細長の断面形状を有する扁平断面管などを挙げることができる。このようにすると、流路断面積が同じでも、紫外光照射面積が大きくなり、紫外光照射効率が向上する。なお、管などの密閉型容器の材料としては、例えばガラスなど、紫外光透過性材料が好ましく、紫外光透過率が高い材料がより好ましい。   More specifically, examples of the sealed container include a container having a plurality of or many thin tubes, a flat cross-sectional tube having an elongated cross-sectional shape, and the like. If it does in this way, even if a channel cross-sectional area is the same, an ultraviolet light irradiation area will become large and ultraviolet light irradiation efficiency will improve. In addition, as a material for a sealed container such as a tube, an ultraviolet light transmissive material such as glass is preferable, and a material having a high ultraviolet light transmittance is more preferable.

開放型容器は、被処理液を液体の状態で浄化処理を行う場合や、亜酸化窒素含有溶液を用いて浄化処理を行う場合に用いる容器として適している。密閉型容器は、被処理液の気化物について浄化処理を行う場合や、亜酸化窒素ガスを用いて浄化処理を行う場合に用いる容器として適している。貯留型容器は、たとえば大量の被処理液を浄化する場合に適している。流動型容器は、被処理液や上記混合流体を流通させながら浄化する場合に適している。   The open container is suitable as a container used when the treatment liquid is subjected to purification treatment in a liquid state or when the purification treatment is performed using a nitrous oxide-containing solution. The hermetically sealed container is suitable as a container used when a purification process is performed on a vaporized liquid to be processed or when a purification process is performed using nitrous oxide gas. The storage container is suitable for purifying a large amount of liquid to be processed, for example. The fluid type container is suitable for purifying the liquid to be processed and the mixed fluid while circulating them.

さらに言えば、開放型で流動型の容器は、被処理液を亜酸化窒素ガスに晒す方法を用いる場合や、液体である被処理液を流通させながら浄化する場合に適している。また、密閉型で密閉型の容器は、被処理液の気化物を流通させる場合や亜酸化窒素ガスを用いる場合であって、被処理液またはその気化物を流通させながら浄化する場合に適している。   Furthermore, an open and fluid type container is suitable for the case of using a method in which the liquid to be treated is exposed to nitrous oxide gas, or for purifying while the liquid to be treated is circulated. Further, the sealed and sealed container is suitable for the case where the vaporized material to be treated is circulated or the case where nitrous oxide gas is used and the liquid to be treated or the vaporized material is purified while being circulated. Yes.

被処理液の浄化では、被処理液に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを確実に接触させる必要がある。したがって、接触ユニットとしては、被処理液に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを積極的に接触させる混合手段を有するものが好ましい。   In the purification of the liquid to be treated, it is necessary to reliably bring the oxidant contained in the liquid to be treated into contact with nitrous oxide. Therefore, the contact unit is preferably one having a mixing means for positively contacting the oxidant contained in the liquid to be treated with nitrous oxide.

混合手段としては、被処理液または被処理液の気化物中に亜酸化窒素含有溶液を供給する液供給部、被処理液または被処理液の気化物中に亜酸化窒素ガスを供給するガス供給部、亜酸化窒素含有溶液中や亜酸化窒素ガス中に被処理液を供給する被処理液供給部、亜酸化窒素含有溶液中や亜酸化窒素ガス中に被処理液の気化物を供給する気化物供給部を挙げることができる。これらのうちの少なくともいずれか一つを有することが好ましい。   As a mixing means, a liquid supply unit for supplying a nitrous oxide-containing solution into the liquid to be processed or a vaporized liquid to be processed, and a gas supply for supplying nitrous oxide gas into the liquid to be processed or the vaporized liquid to be processed A liquid to be treated for supplying a liquid to be treated in a nitrous oxide-containing solution or nitrous oxide gas, a gas for supplying a vapor of the liquid to be treated in a nitrous oxide-containing solution or nitrous oxide gas A compound supply part can be mentioned. It is preferable to have at least one of these.

液供給部としては、たとえば、亜酸化窒素水溶液などの亜酸化窒素含有溶液を容器に注ぐ給液管などの給液器や、被処理液中や被処理液の気化物中に亜酸化窒素含有溶液を放出する液放出器を挙げることができる。液放出器としては、亜酸化窒素含有容器の吐出器、噴出器、噴射器あるいは噴霧器などを挙げることができる。   As the liquid supply unit, for example, nitrous oxide is contained in a liquid feeder such as a liquid supply pipe for pouring a nitrous oxide-containing solution such as an aqueous nitrous oxide solution into a container, or in a liquid to be treated or a vaporized liquid to be treated. Mention may be made of a liquid discharger for discharging the solution. Examples of the liquid discharger include a discharger, a sprayer, a sprayer, or a sprayer of a nitrous oxide-containing container.

ガス供給部としては、たとえば、被処理液や被処理液の気化物中に亜酸化窒素ガスを放出するガス放出器を挙げることができる。ガス放出器としては、たとえば、ガスの吐出器、噴出器あるいは噴射器を挙げることができる。被処理液中にガスを放出する放出器としては、より具体的には、いわゆるバブリング機器を挙げることができる。また、被処理液に向けて亜酸化窒素ガスを放出すると、被処理液が亜酸化窒素ガス雰囲気に置かれることになる。   Examples of the gas supply unit include a gas discharger that discharges nitrous oxide gas into the liquid to be processed and the vaporized liquid of the liquid to be processed. Examples of the gas discharger include a gas discharge device, an ejector, and an injector. More specifically, examples of the discharger that discharges gas into the liquid to be processed include so-called bubbling devices. Further, when the nitrous oxide gas is released toward the liquid to be processed, the liquid to be processed is placed in the nitrous oxide gas atmosphere.

被処理液供給部としては、たとえば、被処理液を容器に注ぐ被処理液供給管などの液供給器や、亜酸化窒素ガス中に被処理液を放出する被処理液放出器を挙げることができる。被処理液放出器としては、被処理液の吐出器、噴出器、噴射器あるいは噴霧器などを挙げることができる。   Examples of the processing liquid supply unit include a liquid supply device such as a processing liquid supply pipe for pouring the processing liquid into the container, and a processing liquid discharger that discharges the processing liquid into nitrous oxide gas. it can. Examples of the processing liquid discharger include a processing liquid discharger, an ejector, an injector, or a sprayer.

気化物供給部としては、たとえば、亜酸化窒素含有溶液、亜酸化窒素ガス中に、被処理液の気化物を放出する気化物放出器を挙げることができる。気化物放出器としては、たとえば、被処理液の噴霧器、気化物の噴出器あるいは噴射器を挙げることができる。亜酸化窒素含有溶液中に気化物を放出する放出器としては、より具体的には、いわゆるバブリング機器を挙げることができる。なお、気化物供給部には、供給する物質の全てが被処理液の気化物であるもののみならず、少なくとも一部が気化物であるものが含まれる。被処理液の一部または全部を気化する手段としては、たとえば、噴霧器、加熱器、減圧器を挙げることができる。   As a vaporization supply part, the vaporizer discharge | release device which discharge | releases the vaporization material of a to-be-processed liquid in a nitrous oxide containing solution and nitrous oxide gas can be mentioned, for example. Examples of the vaporizer discharger include a sprayer of a liquid to be treated, a vaporizer ejector, or an injector. More specifically, examples of the discharger that discharges the vaporized material into the nitrous oxide-containing solution include a so-called bubbling device. Note that the vaporized substance supply unit includes not only those in which all of the substances to be supplied are vaporized substances to be treated, but also those in which at least a part is vaporized substances. Examples of means for vaporizing part or all of the liquid to be treated include a sprayer, a heater, and a decompressor.

接触ユニットとしては、被処理液に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを確実に接触させるために、上記混合流体を撹拌する撹拌機などの撹拌手段を備えていてもよい。   The contact unit may include an agitation unit such as an agitator for agitating the mixed fluid in order to ensure that the oxidant contained in the liquid to be treated and nitrous oxide come into contact with each other.

液体浄化装置としては、さらに、被処理液中に、当該被処理液の透明度を向上させる希釈液を供給する希釈液供給部を挙げることができる。希釈液としては、たとえば、水、亜酸化窒素含有水などを挙げることができる。希釈液供給部は、これらの希釈液のうちの少なくともいずれか1つを供給する。このようにして被処理液を希釈すると、紫外光の透過効率が向上し、照射効率が向上する。   As the liquid purification apparatus, a dilution liquid supply unit that supplies a dilution liquid that improves the transparency of the liquid to be processed can be further included in the liquid to be processed. Examples of the diluent include water and nitrous oxide-containing water. The diluent supply unit supplies at least one of these diluents. When the liquid to be treated is diluted in this way, the ultraviolet light transmission efficiency is improved and the irradiation efficiency is improved.

また、液体浄化装置、特に流通型容器を備える液体浄化装置としては、上記混合流体や亜酸化窒素ガスに晒された被処理液を循環させる循環機器を備えるものを挙げることができる。循環させることで、被処理液に対して繰り返し浄化処理を施すことができる。   Moreover, as a liquid purification apparatus, especially a liquid purification apparatus provided with a flow-through container, there may be mentioned one provided with a circulation device that circulates the liquid to be treated exposed to the mixed fluid or nitrous oxide gas. By circulating, it is possible to repeatedly purify the liquid to be treated.

本発明に係る液体浄化装置としては、さらに、被処理流体を加熱する加熱部や、被処理流体を冷却する冷却部を備えるものを挙げることができる。また、被処理流体が気体である場合は、当該被処理流体を液化する凝縮器を備えるものを挙げることができる。   Examples of the liquid purification apparatus according to the present invention may further include a heating unit that heats the fluid to be processed and a cooling unit that cools the fluid to be processed. Moreover, when a to-be-processed fluid is gas, what is provided with the condenser which liquefies the said to-be-processed fluid can be mentioned.

そして、本発明に係る液体浄化装置は、紫外光を照射する光源を備えている。   And the liquid purification apparatus which concerns on this invention is equipped with the light source which irradiates an ultraviolet light.

光源としては、240nm以下の波長の光を発生するものが好ましい。たとえば、高圧水銀ランプやKrIエキシマランプを挙げることができる。   As the light source, a light source that generates light having a wavelength of 240 nm or less is preferable. For example, a high pressure mercury lamp and a KrI excimer lamp can be mentioned.

液体浄化装置は、ランプの出力を制御するコントローラを備えていてもよい。コントローラとしては、たとえば、紫外光の出力(照度)を制御するものを挙げることができる。出力制御方法としては、たとえば、オン・オフ制御を挙げることができる。   The liquid purification apparatus may include a controller that controls the output of the lamp. An example of the controller is one that controls the output (illuminance) of ultraviolet light. Examples of the output control method include on / off control.

紫外光を照射する光源用のランプとしては、接触ユニットの外部に設置された外設ランプと、接触ユニットの内部に設置された内設ランプとを挙げることができる。より具体的には、ランプとしては、接触ユニットの容器の外部に設置された外設ランプと、接触ユニットの容器の内部に設置された内設ランプとを挙げることができる。   Examples of the lamp for the light source that emits ultraviolet light include an external lamp installed outside the contact unit and an internal lamp installed inside the contact unit. More specifically, examples of the lamp include an external lamp installed outside the container of the contact unit and an internal lamp installed inside the container of the contact unit.

容器が開放型容器であり、ランプが外設ランプである場合、紫外光は容器の開口から容器内に照射される。なお、開放型容器がガラスなどの紫外光透過性材料からなる部分を有するものであれば、その部分から容器内に紫外光を照射できる。   When the container is an open container and the lamp is an external lamp, ultraviolet light is irradiated into the container from the opening of the container. In addition, if an open container has a part which consists of ultraviolet light transmissive materials, such as glass, an ultraviolet light can be irradiated in the container from the part.

容器が密閉型容器であり、ランプが外設ランプである場合、容器は紫外光透過性材料からなる部分を有するものである必要がある。紫外光はこの部分から容器内に照射される。   When the container is a sealed container and the lamp is an external lamp, the container needs to have a portion made of an ultraviolet light transmissive material. Ultraviolet light is irradiated into the container from this portion.

ランプが内設ランプである場合、開放型であると密閉型であるとにかかわらず、容器の材料は紫外光透過性材料である必要はない。むしろ、紫外光を透過しない材料が好ましい。   When the lamp is an internal lamp, the material of the container does not need to be an ultraviolet light transmissive material regardless of whether the lamp is an open type or a sealed type. Rather, a material that does not transmit ultraviolet light is preferred.

また、ランプとしては、接触ユニットまたは容器に対して固定された固定ランプと、移動可能に設置された移動ランプとを挙げることができる。移動ランプとしては、被処理流体を撹拌する撹拌器具と一体になったものを挙げることができる。   Moreover, as a lamp | ramp, the fixed lamp fixed with respect to the contact unit or the container, and the movement lamp installed so that movement is possible can be mentioned. An example of the moving lamp is one that is integrated with a stirring device that stirs the fluid to be treated.

接触ユニットとしては、被処理液に含まれる被酸化物質と亜酸化窒素とを接触させる容器を複数備えるものであってもよい。そして、複数の容器を備える場合、全ての容器内に光源からの紫外光を照射する必要はなく、選択した一つ以上の容器内に紫外光を照射するようになっていればよい。具体的には、被処理液と亜酸化窒素含有物とを混合するための第1容器と、第1容器からの混合流体の流出先であり、流入された混合流体に紫外光を照射するための第2容器を備えるものを挙げることができる。   The contact unit may be provided with a plurality of containers for bringing the substance to be oxidized contained in the liquid to be treated into contact with nitrous oxide. When a plurality of containers are provided, it is not necessary to irradiate the ultraviolet light from the light source into all the containers, and it is sufficient that one or more selected containers are irradiated with the ultraviolet light. Specifically, the first container for mixing the liquid to be treated and the nitrous oxide-containing material, and the flow destination of the mixed fluid from the first container, for irradiating the mixed fluid that has flowed with ultraviolet light The thing provided with the 2nd container of this can be mentioned.

以下、本発明に係る液体浄化方法およびその浄化装置の実施例を図面を参照しつつ説明する。   Embodiments of a liquid purification method and a purification apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

<液体浄化装置の実施例1>
図17に示されるように、本実施例の液体浄化装置120は、浄化対象である被処理液Fが供給される処理槽(接触ユニットの容器)121と、処理槽121に被処理液Fを供給するための被処理液供給管122と、亜酸化窒素が溶存する亜酸化窒素水溶液Nwのタンク123と、タンク123から処理槽121に亜酸化窒素水溶液Nwを供給するための亜酸化窒素供給管124と、処理槽121内に向けて紫外光を照射するランプ125とを備えている。
<Example 1 of liquid purifier>
As shown in FIG. 17, the liquid purification apparatus 120 of the present embodiment includes a treatment tank (contact unit container) 121 to which a treatment liquid F to be purified is supplied and a treatment liquid F in the treatment tank 121. To-be-processed liquid supply pipe 122 for supply, nitrous oxide aqueous solution Nw tank 123 in which nitrous oxide is dissolved, and nitrous oxide supply pipe for supplying nitrous oxide aqueous solution Nw from tank 123 to treatment tank 121 124 and a lamp 125 that irradiates ultraviolet light into the processing tank 121.

処理槽121は、上端に開口を備える開放型容器である。そして、処理槽121は、処理槽121内の液体を排出するための排出口121aを備えている。なお、処理槽121の内面はテフロン(登録商標)加工が施されている。   The processing tank 121 is an open container having an opening at the upper end. And the processing tank 121 is provided with the discharge port 121a for discharging | emitting the liquid in the processing tank 121. FIG. The inner surface of the processing tank 121 is subjected to Teflon (registered trademark) processing.

ランプ125は、クリプトン−ヨウ素を用いた電解結合型高周波放電ランプすなわちKrIエキシマランプである。なお、ランプ125の出力は1200ワットであった。   The lamp 125 is an electrolytically coupled high-frequency discharge lamp using krypton-iodine, that is, a KrI excimer lamp. The output of the lamp 125 was 1200 watts.

このような液体浄化装置120で、油やたんぱく質などの有機物を含む生活排水などの被処理液Fを浄化する場合は、まず、処理槽121に、被処理液供給管122から被処理液Fを流入させると共に、亜酸化窒素供給管124から亜酸化窒素水溶液Nwを流入させる。これにより、被処理液Fと亜酸化窒素水溶液Nwとが処理槽121内で混在され、被処理液F中の被酸化物質に亜酸化窒素水溶液Nw中の亜酸化窒素が接触する状態が得られる。なお、この場合、処理槽121内に収容された混合流体Mは液体である。   In the case where the liquid purification apparatus 120 purifies the liquid F to be treated such as domestic wastewater containing organic substances such as oil and protein, first, the liquid F to be treated is supplied to the treatment tank 121 from the liquid supply pipe 122 to be treated. In addition, the nitrous oxide aqueous solution Nw is caused to flow from the nitrous oxide supply pipe 124. Thereby, the to-be-processed liquid F and the nitrous oxide aqueous solution Nw are mixed in the processing tank 121, and the state which the nitrous oxide in the nitrous oxide aqueous solution Nw contacts the to-be-oxidized substance in the to-be-processed liquid F is obtained. . In this case, the mixed fluid M accommodated in the processing tank 121 is a liquid.

この状態で、ランプ125を点灯し、紫外光を処理槽121内に向けて照射する。すると、紫外光照射領域の混合流体Mに溶存している亜酸化窒素が解離して原子状酸素(O)が生成され、この原子状酸素が油やたんぱく質といった有機物(被酸化物質)を強力に酸化して分解し、被処理液Fが浄化される。すなわち、有機物は、酸化により水や二酸化炭素等に分解されることで、被処理液から除去される。   In this state, the lamp 125 is turned on and ultraviolet light is irradiated toward the inside of the processing tank 121. Then, the nitrous oxide dissolved in the mixed fluid M in the ultraviolet light irradiation region is dissociated to generate atomic oxygen (O), and this atomic oxygen strongly urges organic substances (oxidized substances) such as oil and protein. The liquid F to be treated is purified by oxidation and decomposition. That is, the organic substance is removed from the liquid to be treated by being decomposed into water, carbon dioxide, or the like by oxidation.

これにより、被処理液F中に含まれていた被酸化物質が酸化反応により分解され、被処理液Fが浄化される。その後、処理槽121内の処理済み液を排出口121aから排出し、処理済み液を回収する。   Thereby, the to-be-oxidized substance contained in the to-be-processed liquid F is decomposed | disassembled by oxidation reaction, and the to-be-processed liquid F is purified. Thereafter, the processed liquid in the processing tank 121 is discharged from the discharge port 121a, and the processed liquid is recovered.

<液体浄化装置の実施例2>
次の実施例の液体浄化装置について説明する。なお、上記液体浄化装置120(液体浄化装置の実施例1)と同一の構成については、同一の符号を付すこととしその説明を省略することとする。これ以降に説明する実施例についても同様である。
<Example 2 of liquid purifier>
A liquid purification apparatus according to the next embodiment will be described. In addition, about the same structure as the said liquid purification apparatus 120 (Example 1 of a liquid purification apparatus), suppose that the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted. The same applies to the embodiments described below.

図18に示されるように、本実施例の液体浄化装置130は、処理槽121と、被処理液Fを供給する被処理液供給管122と、亜酸化窒素ガスNgが貯蔵されたガスボンベ131と、ガスボンベ131内の亜酸化窒素ガスNgを噴出するガス噴出器132と、処理槽121内に向けて紫外光を照射するランプ125を備えている。   As shown in FIG. 18, the liquid purification apparatus 130 according to the present embodiment includes a treatment tank 121, a treatment liquid supply pipe 122 that supplies a treatment liquid F, and a gas cylinder 131 that stores nitrous oxide gas Ng. , A gas ejector 132 for ejecting the nitrous oxide gas Ng in the gas cylinder 131, and a lamp 125 for irradiating the processing tank 121 with ultraviolet light.

処理槽121は、その底面に通気孔121bを備えており、ガス噴出器132は、通気孔121bに接続されたガス噴出孔132aを備えている。したがって、このガス噴出孔132aから処理槽121内に亜酸化窒素ガスNgを供給できる。また、ランプ125は、KrIエキシマランプであった。   The processing tank 121 is provided with a vent hole 121b on the bottom surface thereof, and the gas ejector 132 is provided with a gas jet hole 132a connected to the vent hole 121b. Therefore, the nitrous oxide gas Ng can be supplied into the treatment tank 121 from the gas ejection holes 132a. The lamp 125 was a KrI excimer lamp.

このような液体浄化装置130で、被処理液Fを浄化する場合は、まず、処理槽121に被処理液Fを流入させる。そして、ガス噴出器132から亜酸化窒素ガスNgを噴出させる。すると、亜酸化窒素ガスNgが被処理液F中に、いわゆるバブリングされる状態で放出される。これにより、被処理液F中に亜酸化窒素が溶存する状態になり、被処理液F中の被酸化物質に亜酸化窒素が接触する状態が得られる。   In order to purify the liquid F to be treated with such a liquid purification device 130, first, the liquid F to be treated flows into the treatment tank 121. Then, the nitrous oxide gas Ng is ejected from the gas ejector 132. Then, the nitrous oxide gas Ng is released into the liquid F to be processed in a so-called bubbling state. As a result, nitrous oxide is dissolved in the liquid F to be processed, and a state in which the nitrous oxide is in contact with the substance to be oxidized in the liquid F to be processed is obtained.

この状態で、ランプ125を点灯して、処理槽121内に向けて紫外光を照射する。これにより、被処理液F中に含まれていた被酸化物質が酸化反応により分解され、被処理液Fが浄化される。その後、処理槽121内の混合流体Mを排出口121aから排出し、処理済み液を回収する。   In this state, the lamp 125 is turned on, and ultraviolet light is irradiated into the processing tank 121. Thereby, the to-be-oxidized substance contained in the to-be-processed liquid F is decomposed | disassembled by oxidation reaction, and the to-be-processed liquid F is purified. Thereafter, the mixed fluid M in the processing tank 121 is discharged from the discharge port 121a, and the processed liquid is recovered.

<液体浄化装置の実施例3>
次に、実施例3の液体浄化装置について説明する。
<Example 3 of liquid purifier>
Next, a liquid purification apparatus of Example 3 will be described.

図19に示されるように、本実施例の液体浄化装置140は、密閉型のチャンバ141と、亜酸化窒素ガスNgが貯蔵されたガスボンベ142と、ガスボンベ142内の亜酸化窒素ガスNgをチャンバ141に供給するガス供給管部143と、被処理液供給管122と、被処理液Fをチャンバ141内に噴出する液噴出器144と、チャンバ141内に向けて紫外光を照射するランプ125を備えている。   As shown in FIG. 19, the liquid purification apparatus 140 of the present embodiment includes a sealed chamber 141, a gas cylinder 142 in which nitrous oxide gas Ng is stored, and nitrous oxide gas Ng in the gas cylinder 142 in the chamber 141. A gas supply pipe portion 143 to be supplied to the chamber, a liquid supply pipe to be processed 122, a liquid ejector 144 for ejecting the liquid to be processed F into the chamber 141, and a lamp 125 for irradiating the chamber 141 with ultraviolet light. ing.

チャンバ141はチャンバ141内の流体を排出する排出口141aを備えている。また、チャンバ141は、紫外光透過性能に優れるガラス製の透過部141bを備えている。したがって、この透過部141bからチャンバ141内に紫外光を照射できる。   The chamber 141 includes a discharge port 141 a for discharging the fluid in the chamber 141. The chamber 141 includes a glass transmission part 141b having excellent ultraviolet light transmission performance. Therefore, ultraviolet light can be irradiated into the chamber 141 from the transmission part 141b.

このような液体浄化装置140で、被処理液Fを浄化する場合は、まず、チャンバ141内に亜酸化窒素ガスNgを充填する。そして、液噴出器144からチャンバ141内に被処理液Fを噴出させる。これにより、被処理液Fは、チャンバ141内に充填された亜酸化窒素ガスNg中に噴出される。これにより、被処理液F中の被酸化物質に亜酸化窒素水溶液中の亜酸化窒素が接触する状態が得られる。なお、この場合、チャンバ141内に収容された混合流体Mは、気体状態または気液混合状態である。   When purifying the liquid F to be treated with such a liquid purification apparatus 140, first, the chamber 141 is filled with nitrous oxide gas Ng. Then, the liquid F to be treated is ejected from the liquid ejector 144 into the chamber 141. Thereby, the liquid F to be processed is ejected into the nitrous oxide gas Ng filled in the chamber 141. Thereby, the state which the nitrous oxide in nitrous oxide aqueous solution contacts the to-be-oxidized substance in the to-be-processed liquid F is obtained. In this case, the mixed fluid M accommodated in the chamber 141 is in a gas state or a gas-liquid mixed state.

この状態で、ランプ125を点灯して、チャンバ141内に向けて紫外光を照射する。これにより、被処理液F中に含まれていた被酸化物質が酸化反応により分解され、被処理液Fが浄化される。その後、チャンバ141内の混合流体Mは排出口141aから排出される。これにより、処理済み液が回収される。   In this state, the lamp 125 is turned on to irradiate ultraviolet light into the chamber 141. Thereby, the to-be-oxidized substance contained in the to-be-processed liquid F is decomposed | disassembled by oxidation reaction, and the to-be-processed liquid F is purified. Thereafter, the mixed fluid M in the chamber 141 is discharged from the discharge port 141a. Thereby, the treated liquid is recovered.

ここでは、3種類の液体浄化装置について説明したが、各液体浄化装置はいずれも種々改変して用いられるものである。   Here, three types of liquid purification devices have been described, but each liquid purification device can be used with various modifications.

以下、本発明に係る液体浄化装置の改変実施例を説明する。   Hereinafter, modified examples of the liquid purification apparatus according to the present invention will be described.

実施例1および実施例2の液体浄化装置120,130は、処理槽121の上端の開口から処理槽121内に紫外光を照射できるようになっている。したがって、処理槽121の材料は、必ずしも紫外光透過性に優れる材料でなくてよい。ただし、処理槽121としては、紫外光、特に190nmの波長の光の透過率が高い材料が一部または全部に用いられたものでもよい。このような処理槽121を用いれば、処理槽121の上端の開口からだけでなく、処理槽121の横側や下側から紫外光を照射して、処理槽121内の被処理液Fの浄化を促進することができる。   The liquid purification apparatuses 120 and 130 according to the first and second embodiments can irradiate ultraviolet light into the treatment tank 121 from the opening at the upper end of the treatment tank 121. Therefore, the material of the processing tank 121 is not necessarily a material excellent in ultraviolet light transmittance. However, as the processing tank 121, a material in which a material having a high transmittance of ultraviolet light, particularly light having a wavelength of 190 nm is used in part or in whole may be used. If such a processing tank 121 is used, ultraviolet light is irradiated not only from the opening of the upper end of the processing tank 121 but also from the side or lower side of the processing tank 121 to purify the liquid F to be processed in the processing tank 121. Can be promoted.

実施例1および実施例2の液体浄化装置120,130の容器は、いわゆる開放型容器である処理槽121であるが、密閉型容器でもよい。密閉型容器としは、例えば、実施例3のチャンバ141を挙げることができる。また、図20に示されるように、処理槽121と、その上端開口を塞ぐ蓋体121cとからなる密閉型容器でもよい。この場合、処理槽121内に紫外光を照射できるように、処理槽121および/またはその蓋体の一部または全部を紫外光透過性を有する材料で構成する。この実施例では、蓋体121cをガラス製とした。   The containers of the liquid purification apparatuses 120 and 130 according to the first and second embodiments are the treatment tank 121 which is a so-called open container, but may be a sealed container. An example of the sealed container is the chamber 141 according to the third embodiment. In addition, as shown in FIG. 20, a sealed container including a processing tank 121 and a lid 121c that closes the upper end opening thereof may be used. In this case, the treatment tank 121 and / or a part or all of the lid body thereof are made of a material having ultraviolet light transmission so that the treatment tank 121 can be irradiated with ultraviolet light. In this embodiment, the lid 121c is made of glass.

また、蓋体121cに、被処理液供給管122や亜酸化窒素供給管124の先端を着脱自在に接続できる接続具(図示せず)を取り付けて、処理槽121に蓋体121cを取り付けて密閉した状態で、処理槽121内に亜酸化窒素水溶液、亜酸化窒素ガスを供給できるようにしてもよい。処理槽121を密閉した状態で供給できれば、亜酸化窒素が漏れることがなく有効利用できる。なお、実施例3のチャンバ141のような密閉型容器を用いる場合については、実施例3で既に説明したので説明を省略する。   In addition, a connection tool (not shown) that can removably connect the tips of the liquid supply pipe 122 and the nitrous oxide supply pipe 124 is attached to the lid 121c, and the lid 121c is attached to the treatment tank 121 and sealed. In this state, a nitrous oxide aqueous solution and a nitrous oxide gas may be supplied into the treatment tank 121. If the treatment tank 121 can be supplied in a sealed state, nitrous oxide does not leak and can be used effectively. Note that the case of using a sealed container such as the chamber 141 of the third embodiment has already been described in the third embodiment, and a description thereof will be omitted.

上記実施例の液体浄化装置で用いられている容器は、貯留型容器であるが、流動型容器でもよい。つまり、図21に示されるような溝形状の容器151でもよい。この溝形状の容器151では、流入された被処理液Fや亜酸化窒素水溶液Nwは、容器内に滞留するのではなく、容器151の下流側の排出部151aに向けて容器内を流動する。   The container used in the liquid purification apparatus of the above embodiment is a storage type container, but may be a fluid type container. That is, a groove-shaped container 151 as shown in FIG. 21 may be used. In the groove-shaped container 151, the liquid F to be treated and the aqueous nitrous oxide solution Nw that flowed in do not stay in the container but flow in the container toward the discharge portion 151a on the downstream side of the container 151.

このような容器151を用いると、容器151内を流動する混合流体Mに紫外光を照射することができ、流動する混合流体Mに紫外光を照射させつつ被処理液Fを浄化できる。このようにすると、全ての混合流体Mが所定の流路部分を通過させることができるので、所定の流路部分に紫外光を照射することで、確実に混合流体M全体に紫外光を照射することができ、被処理液F全体を確実に浄化できる。   When such a container 151 is used, the mixed fluid M flowing in the container 151 can be irradiated with ultraviolet light, and the liquid F to be treated can be purified while irradiating the flowing mixed fluid M with ultraviolet light. In this way, since all the mixed fluid M can pass through the predetermined flow path portion, the entire mixed fluid M is surely irradiated with ultraviolet light by irradiating the predetermined flow path portion with ultraviolet light. Thus, the entire liquid to be treated F can be reliably purified.

なお、容器151内を流れる混合流体Mの流速を早くしたり、遅くしたりできるようにしても良い。流速を調節できれば紫外光照射時間を調節できる。図21に示される容器151は、その上流側の側部に水平方向に延びる回転軸151bを備えている。回転軸151bは、図示されていない支持部材によって支持されており、容器151の下流側の排出部151aを上下動できるようになっている。したがって、排出部151aを上方に移動させると、容器151内の混合流体Mの流速が遅くなり、排出部151aを下方に移動させると混合流体Mの流速が速くなる。   Note that the flow rate of the mixed fluid M flowing in the container 151 may be increased or decreased. If the flow rate can be adjusted, the ultraviolet light irradiation time can be adjusted. A container 151 shown in FIG. 21 is provided with a rotating shaft 151b extending in the horizontal direction on the side portion on the upstream side. The rotating shaft 151b is supported by a support member (not shown), and can move up and down the discharge portion 151a on the downstream side of the container 151. Therefore, when the discharge unit 151a is moved upward, the flow rate of the mixed fluid M in the container 151 is decreased, and when the discharge unit 151a is moved downward, the flow rate of the mixed fluid M is increased.

流動型容器としては、溝形状の容器151のような開放型容器でもよいが、密閉型の流動型容器でもよい。つまり、図22に示されるような管形状の容器161でもよい。この容器161は、断面円形の複数の管161aからなるものであり、各管161a内に混合流体Mを流通させるようになっている。各管161aはガラス製であり、管内の流体に外側から紫外光を照射できるようになっている。   The fluid type container may be an open container such as the groove-shaped container 151, but may be a closed fluid type container. That is, a tube-shaped container 161 as shown in FIG. 22 may be used. The container 161 is composed of a plurality of tubes 161a having a circular cross section, and the mixed fluid M is circulated in each tube 161a. Each tube 161a is made of glass so that the fluid in the tube can be irradiated with ultraviolet light from the outside.

また密閉型で流動型の容器としては、図23に示される容器162でもよい。この容器162は、管内断面形状が細長形状であるいわゆる断面扁平形状の管162aからなるものであり、紫外光透過性を有する樹脂からなるものである。   Further, as a sealed and fluid type container, a container 162 shown in FIG. 23 may be used. The container 162 is formed of a tube 162a having a so-called flat cross-sectional shape in which the cross-sectional shape in the tube is an elongated shape, and is formed of a resin having ultraviolet light permeability.

図22または図23に示された容器161,162では、流路断面積が同じでも、より広い紫外光照射面積が確保されている。また、流路厚さが薄いので、管161a,162a内を流れる混合流体Mに対して紫外光を透過させやすくなる。たとえば、被処理液Fが濁ったものであっても、被処理液全体に紫外光を照射できるようになる。照射した紫外光が混合流体Mを透過すれば、そこを流れた混合流体M全体に紫外光を照射させることができることになり好ましい。このように、これらの容器161,162を用いれば、紫外光照射効率を向上させることができる。   In the containers 161 and 162 shown in FIG. 22 or FIG. 23, a wider ultraviolet light irradiation area is secured even if the flow path cross-sectional area is the same. Further, since the channel thickness is thin, it becomes easy to transmit the ultraviolet light to the mixed fluid M flowing in the pipes 161a and 162a. For example, even if the liquid to be processed F is turbid, the entire liquid to be processed can be irradiated with ultraviolet light. If the irradiated ultraviolet light passes through the mixed fluid M, it is preferable that the entire mixed fluid M flowing therethrough can be irradiated with ultraviolet light. Thus, if these containers 161 and 162 are used, the ultraviolet light irradiation efficiency can be improved.

図24に示されるように、液体浄化装置170としては、処理槽121などの容器内の混合流体Mを、処理槽121に複数回投入できるように循環させる循環器171を備えるものでもよい。循環器171は、回収用配管171aと、その途中に設置された三方弁171bと、この三方弁171bを介して回収用配管171aに接続された循環用配管171cと、循環用配管171cの途中に設置された循環ポンプ171dとを有するものであり、循環用配管171cの下流端は被処理液Fの供給管122に接続されている。このような循環器171を設置しておけば、必要に応じて繰り返し混合流体Mに紫外光を照射させることができ、より確実に被処理液Fを浄化できる。   As shown in FIG. 24, the liquid purification apparatus 170 may include a circulator 171 that circulates the mixed fluid M in a container such as the processing tank 121 so that the mixed fluid M can be introduced into the processing tank 121 a plurality of times. The circulator 171 includes a recovery pipe 171a, a three-way valve 171b installed in the middle thereof, a circulation pipe 171c connected to the recovery pipe 171a via the three-way valve 171b, and a circulation pipe 171c. The circulation pipe 171c is connected to the supply pipe 122 of the liquid F to be processed. If such a circulator 171 is installed, the mixed fluid M can be repeatedly irradiated with ultraviolet light as necessary, and the liquid F to be treated can be purified more reliably.

図25に示されるように、液体浄化装置180としては、複数の容器、具体的には2つの容器を備えるものでもよい。図示されるように、液体浄化装置180は、容器として、処理槽121と、その排出口121aから排出された混合流体Mが流入する溝形状の容器181とを備えている。なお、溝形状の容器181は、図21で説明した溝形状の容器151と同一形状のものであり、回転軸151bに相当する回転軸181aを備えている。したがって、詳細な説明を省略する。   As shown in FIG. 25, the liquid purification apparatus 180 may include a plurality of containers, specifically, two containers. As illustrated, the liquid purification apparatus 180 includes a processing tank 121 and a groove-shaped container 181 into which the mixed fluid M discharged from the discharge port 121a flows. The groove-shaped container 181 has the same shape as the groove-shaped container 151 described in FIG. 21, and includes a rotation shaft 181a corresponding to the rotation shaft 151b. Therefore, detailed description is omitted.

この液体浄化装置180は、上流側の処理槽121において、被処理液Fと亜酸化窒素水溶液Nwとを混合する。得られた混合流体Mは下流側の溝形状の容器181に流し込まれ、ここで紫外光照射されて浄化処理されるようになっている。このような構成にすると、溝形状の容器181内において混合流体Mに確実に紫外光を照射でき、被処理液Fを確実に浄化できる。また、処理槽121および溝形状の容器181のいずれについても、容器材料として紫外光透過性材料を用いる必要がなくなる。   The liquid purification apparatus 180 mixes the liquid F to be treated and the nitrous oxide aqueous solution Nw in the upstream processing tank 121. The obtained mixed fluid M is poured into a groove-shaped container 181 on the downstream side, where it is irradiated with ultraviolet light to be purified. With such a configuration, the mixed fluid M can be reliably irradiated with ultraviolet light in the groove-shaped container 181, and the liquid F to be processed can be reliably purified. Moreover, it is not necessary to use an ultraviolet light transmissive material as the container material for both the processing tank 121 and the groove-shaped container 181.

また、液体浄化装置としては、設置されている容器がチャンバ141(図19参照)や管161aからなる容器161(図22参照)など密閉型容器である場合、容器内の混合流体Mをより均質に混合させる手段として、容器を揺動、振動あるいは回転させる可動機構を備えるものでもよい。可動機構によって容器を動かすことで、より均質な混合流体が得られる。   Further, as the liquid purification apparatus, when the installed container is a sealed container such as the container 161 (see FIG. 22) including the chamber 141 (see FIG. 19) or the pipe 161a, the mixed fluid M in the container is more homogeneous. As a means for mixing, a movable mechanism that swings, vibrates or rotates the container may be provided. A more homogeneous mixed fluid can be obtained by moving the container by the movable mechanism.

図26に示されるように、液体浄化装置191としては、処理槽121などの容器内の混合流体Mを撹拌する撹拌手段を備えるものでもよい。図26に示される液体浄化装置191は、撹拌手段として撹拌具183を備えるものである。この撹拌具183は、上下に延びる棒状の支持部材183aの先端に水平方向に延びる撹拌棒183bを備えるものである。支持部材183aは、上下動および回転可能になっている。したがって、支持部材183aを作動させると、撹拌棒183bが上下動および/または回転し、処理槽121内の混合流体Mが撹拌される。これにより、混合流体M全体について、被酸化物質に亜酸化窒素を接触させることができる。   As shown in FIG. 26, the liquid purification apparatus 191 may include a stirring unit that stirs the mixed fluid M in a container such as the processing tank 121. The liquid purification device 191 shown in FIG. 26 includes a stirring tool 183 as stirring means. The stirring tool 183 includes a stirring bar 183b extending in the horizontal direction at the tip of a bar-like support member 183a extending vertically. The support member 183a can move up and down and rotate. Therefore, when the support member 183a is operated, the stirring rod 183b moves up and down and / or rotates, and the mixed fluid M in the processing tank 121 is stirred. Thereby, about the whole mixed fluid M, a nitrous oxide can be made to contact an to-be-oxidized substance.

また、図26に示されるように、液体浄化装置191としては、さらに、被処理液Fの希釈液Wを供給する希釈液供給管184を備えるものでもよい。ここでは希釈液は水であるが、その他に、亜酸化窒素水溶液を挙げることができる。希釈液供給管184は、これらの希釈液のうちの少なくともいずれか1つを供給する。被処理液Fが濁っている場合など、混合流体Mの紫外光透過率が低い場合が考えられる。このような場合に希釈液を投入すると、希釈により混合流体Mの紫外光透過率が向上し、浄化効率が向上する。   As shown in FIG. 26, the liquid purification apparatus 191 may further include a diluent supply pipe 184 that supplies the diluent W of the liquid F to be processed. Here, the diluent is water, but in addition, an aqueous nitrous oxide solution can be mentioned. The diluent supply pipe 184 supplies at least one of these diluents. There may be a case where the ultraviolet light transmittance of the mixed fluid M is low, such as when the liquid F to be treated is cloudy. In such a case, when a diluent is introduced, the ultraviolet light transmittance of the mixed fluid M is improved by the dilution, and the purification efficiency is improved.

液体浄化装置としては、さらに、混合流体Mを加熱する加熱部や、混合流体Mを冷却する冷却部を備えるものでもよい。また、混合流体Mが気体である場合、液体浄化装置としては、浄化処理後の混合流体Mを液化する凝縮器を備えるものが好ましい。   The liquid purification apparatus may further include a heating unit that heats the mixed fluid M and a cooling unit that cools the mixed fluid M. Further, when the mixed fluid M is a gas, the liquid purification device preferably includes a condenser that liquefies the mixed fluid M after the purification treatment.

たとえば、最初に説明した3つの実施例の液体浄化装置120,130,140では、処理槽121やチャンバ141などの容器の外にランプ125が設置されている。しかし、ランプ125の設置位置は、容器の外に限られず、図27に示される液体浄化装置192のように、処理槽121などの容器の内側でもよい。ランプ125の設置位置が容器内であれば、被処理液Fのごく近くに光源が設置されることとなり、紫外光照射効率が向上する。   For example, in the liquid purification apparatuses 120, 130, and 140 according to the three embodiments described first, the lamp 125 is installed outside a container such as the processing tank 121 or the chamber 141. However, the installation position of the lamp 125 is not limited to the outside of the container, and may be inside the container such as the processing tank 121 as in the liquid purification device 192 shown in FIG. If the installation position of the lamp 125 is in the container, the light source is installed very close to the liquid F to be processed, and the ultraviolet light irradiation efficiency is improved.

また、ランプ125の設置位置が容器内のみである場合、容器の材料は、必ずしも紫外光透過性の材料でなくてもよく、むしろ紫外光を透過しない材料が好ましい。紫外光を透過しない材料を用いれば、紫外光照射効率が向上する。   Further, when the lamp 125 is installed only in the container, the material of the container does not necessarily need to be an ultraviolet light transmissive material, but is preferably a material that does not transmit ultraviolet light. If a material that does not transmit ultraviolet light is used, the ultraviolet light irradiation efficiency is improved.

図20に示されるように、ランプ125としては、液体浄化装置193や容器に対して固定されていないものでもよく、移動式、可搬式のものでもよい。図20に示される液体浄化装置では、ランプ125は、撹拌具183の先端に設置されている。このような構造にすると、撹拌によって混合流体Mを均質に混合できると共に、紫外光を混合流体M全体に均一に照射できる。   As shown in FIG. 20, the lamp 125 may be one that is not fixed to the liquid purification device 193 or the container, or may be movable or portable. In the liquid purification apparatus shown in FIG. 20, the lamp 125 is installed at the tip of the stirring tool 183. With such a structure, the mixed fluid M can be uniformly mixed by stirring, and the entire mixed fluid M can be uniformly irradiated with ultraviolet light.

また、図28に示されるように、亜酸化窒素ガスや亜酸化窒素水溶液を供給する供給器は、液体浄化装置193や処理槽121などの容器に対して固定されていないものでもよく、移動式、可搬式のものでもよい。図28に示される液体浄化装置193では、撹拌具183は、亜酸化窒素ガスNgを供給する噴射器185でもある。すなわち、撹拌具183は、中空の支持部材183aと中空の撹拌棒183bとを備えるものであり、支持部材183aおよび撹拌棒183bの中に亜酸化窒素ガスを流通できるようになっている。そして撹拌棒183bには亜酸化窒素ガスNgを噴射するための噴射孔(図示せず)が多数形成されている。つまり、撹拌具183は亜酸化窒素ガスNgのバブリング装置でもある。したがって、撹拌具183で撹拌しながら混合流体M中に亜酸化窒素ガスNgをバブリングにより供給することができる。   As shown in FIG. 28, the supply device for supplying the nitrous oxide gas or the nitrous oxide aqueous solution may not be fixed to a container such as the liquid purification device 193 or the processing tank 121, and is mobile. It may be portable. In the liquid purification apparatus 193 shown in FIG. 28, the stirring tool 183 is also an injector 185 that supplies nitrous oxide gas Ng. That is, the stirrer 183 includes a hollow support member 183a and a hollow stirrer 183b, and allows nitrous oxide gas to flow through the support member 183a and the stirrer 183b. The stirring rod 183b is formed with a large number of injection holes (not shown) for injecting the nitrous oxide gas Ng. That is, the stirring tool 183 is also a bubbling device for the nitrous oxide gas Ng. Therefore, the nitrous oxide gas Ng can be supplied to the mixed fluid M by bubbling while stirring with the stirring tool 183.

KrIエキシマランプ125は、照射開始時の光強度の立ち上がり性能や、照射終了時の光強度の立下り性能に優れている。したがって、このランプ125をオン・オフさせることによって、簡単に酸化反応のオン・オフ制御を行うことが可能である。したがって、液体浄化装置としては、KrIエキシマランプのオン・オフ制御によって浄化処理の実施および停止を制御するコントローラを備えるものでもよい。   The KrI excimer lamp 125 is excellent in the light intensity rising performance at the start of irradiation and the light intensity falling performance at the end of irradiation. Therefore, the on / off control of the oxidation reaction can be easily performed by turning on / off the lamp 125. Therefore, the liquid purification apparatus may include a controller that controls the execution and stop of the purification process by the on / off control of the KrI excimer lamp.

次に、本発明に係る流体浄化方法および流体浄化装置で用いられる亜酸化窒素ガスの供給、亜酸化窒素を溶解して亜酸化窒素水溶液を得る方法、濃度検出などについて詳細に説明する。   Next, the supply of nitrous oxide gas, the method of obtaining nitrous oxide aqueous solution by dissolving nitrous oxide, the concentration detection, etc. used in the fluid purification method and fluid purification apparatus according to the present invention will be described in detail.

まず、亜酸化窒素ガスの供給について説明する。   First, the supply of nitrous oxide gas will be described.

亜酸化窒素ガスは、高圧容器に充填された液化ガス等の圧縮ガスのガスボンベにより供給可能であり、これを流体浄化装置近傍に設置することができる。工場や製造所の大型高圧容器から集中配管を利用して供給することもできる。流体浄化装置にカセット式ガスボンベのような小型容器を装着し供給しても良いし、流体浄化装置内や流体浄化装置近傍又は作業場内に亜酸化窒素生成装置を設け、この生成装置で生成した亜酸化窒素を直接、流体浄化装置内の処理槽などの容器に供給してもよい。   The nitrous oxide gas can be supplied by a gas cylinder of compressed gas such as liquefied gas filled in the high pressure vessel, and can be installed in the vicinity of the fluid purification device. It can also be supplied from a large high-pressure vessel in a factory or factory using a centralized pipe. A small container such as a cassette type gas cylinder may be mounted and supplied to the fluid purification device, or a nitrous oxide generation device is provided in the fluid purification device, in the vicinity of the fluid purification device, or in the workplace, and the Nitrogen oxide may be directly supplied to a container such as a treatment tank in the fluid purification device.

亜酸化窒素ガスは次のようにして生成することができる。工業的な方法として、(1)酸素あるいは空気を使用して金属酸化物触媒存在下でアンモニアを200℃〜500℃で加熱し生成するアンモニア酸化法、(2)硝酸アンモニウムを熱分解する、もしくは硝酸ソーダを硫酸アンモニウムの混合物を加熱し生成する硝酸アンモニウム分解法、(3)スルファミン酸を二段階以上に分割し供給したり、硫酸を添加しながら、スルファミン酸と硝酸を反応させる方法を、実用的な規模で用いることができる。   Nitrous oxide gas can be generated as follows. As an industrial method, (1) an ammonia oxidation method in which ammonia is heated at 200 ° C. to 500 ° C. in the presence of a metal oxide catalyst using oxygen or air, and (2) ammonium nitrate is thermally decomposed or nitric acid Practical scale of ammonium nitrate decomposition method that produces soda by heating ammonium sulfate mixture, (3) sulfamic acid and nitric acid react while supplying sulfamic acid divided into two or more stages or adding sulfuric acid Can be used.

また、少量生産の場合は、ガスクロマトグラフィ等に用いられるガラスキャピラリ内にオゾンガスと窒素ガスを通すことにより亜酸化窒素を生成させることができ、少量の亜酸化窒素ガスを効率よく生成するのに適している。   In the case of small-scale production, nitrous oxide can be generated by passing ozone gas and nitrogen gas through a glass capillary used for gas chromatography, etc., which is suitable for efficiently generating a small amount of nitrous oxide gas. ing.

亜酸化窒素ガスを溶媒中へ溶解する方法としては、(1)プラスチック製ないしはセラミック製の多孔材よりなる散気板または散気管を溶媒中に没するように設置し、前述のガスボンベや発生装置などから、この散気板または散気管に亜酸化窒素ガスを供給し、溶媒中にバブリングさせる方法、(2)エジェクターを使用し、加圧された溶媒をエジェクターのノズルより噴出させ、発生した負圧を利用して亜酸化窒素ガスを溶媒中に吸込ませ溶解させるもの、加圧された棚段塔、充填塔、シャワー塔、気泡塔などを用いて亜酸化窒素ガスと溶媒を接触させ溶解させるもの、耐圧容器中で加圧された亜酸化窒素ガスに接した溶媒を攪拌し、溶解させるもの、小型耐圧容器中で加圧された溶媒と亜酸化窒素ガスを高速攪拌混合し、溶解させるもの等のように機械的に混合し、溶解する方法、(3)ポリテトラフルオロエチレンのような疎水性樹脂からなる多孔質膜中空糸にて、樹脂の疎水性と孔の気体透過性を利用して気体を液体に溶解させる、または非多孔質ガス透過膜中空糸にて、樹脂内部にて気体の溶解・拡散機構を利用して樹脂を透過した気体を液体に溶解させることにより、任意の圧力で、気泡を発生させることなく亜酸化窒素ガスを溶媒中に溶解させる中空糸膜を用いた溶解方法等がある。なお、これらの装置構成は、被処理気体Aを液中に噴出させる構成、または、亜酸化窒素ガスなどの気体を被処理液Fなどの液体中に噴出させる構成としても用いることができる。   As a method of dissolving nitrous oxide gas in a solvent, (1) a gas diffusion plate or a gas diffusion tube made of a porous material made of plastic or ceramic is installed so as to be immersed in the solvent, and the above-described gas cylinder or generator A method of supplying nitrous oxide gas to the diffuser plate or diffuser tube and bubbling in the solvent from the above, (2) Using the ejector, the pressurized solvent is ejected from the nozzle of the ejector, and the generated negative Nitrous oxide gas and solvent are brought into contact with and dissolved by using pressure to absorb and dissolve nitrous oxide gas into the solvent, pressurized plate tower, packed tower, shower tower, bubble tower, etc. Stirring and dissolving the solvent in contact with the pressurized nitrous oxide gas in a pressure vessel, and stirring and mixing the pressurized solvent and nitrous oxide gas in a small pressure vessel (3) A porous membrane hollow fiber made of a hydrophobic resin such as polytetrafluoroethylene, utilizing the hydrophobicity of the resin and the gas permeability of the pores. By dissolving the gas in the liquid, or by dissolving the gas that has permeated the resin in the liquid using a non-porous gas permeable membrane hollow fiber using the gas dissolution / diffusion mechanism inside the resin, at any pressure There is a dissolution method using a hollow fiber membrane in which nitrous oxide gas is dissolved in a solvent without generating bubbles. These apparatus configurations can also be used as a configuration in which the gas A to be processed is ejected into the liquid or a configuration in which a gas such as nitrous oxide gas is ejected into the liquid such as the liquid F to be processed.

更にこれらの方法に、超音波や勾配を有する磁場を併用し、亜酸化窒素ガスの溶媒中への溶解量、溶解速度を向上させることができる。本発明にかかる流体浄化装置に必要な亜酸化窒素ガスの濃度や亜酸化窒素含有液の量を考慮すると、亜酸化窒素ガスを無駄なく、効率よく、短時間で溶媒中に溶解する方法として中空糸膜を使用するのが好ましい。   Further, these methods can be used in combination with an ultrasonic wave or a magnetic field having a gradient to improve the amount of nitrous oxide gas dissolved in the solvent and the dissolution rate. Considering the concentration of nitrous oxide gas and the amount of nitrous oxide-containing liquid necessary for the fluid purification apparatus according to the present invention, the nitrous oxide gas can be used as a method for dissolving nitrous oxide gas in a solvent efficiently and in a short time. It is preferable to use a thread membrane.

溶媒中の亜酸化窒素の濃度管理、検知法について説明する。   The concentration control and detection method of nitrous oxide in the solvent will be described.

溶媒中の亜酸化窒素は、前述の所定の方法により亜酸化窒素ガスを溶媒に溶かし込み、その溶かしこみ時間やガスの供給圧力などを管理することで概ね一定の濃度を維持することが可能である。そのため、流体浄化装置内に溶媒中の亜酸化窒素濃度を検出、記録、管理は必ずしも必要としないという利点がある。   Nitrous oxide in the solvent can be maintained at a substantially constant concentration by dissolving the nitrous oxide gas in the solvent by the above-mentioned predetermined method and controlling the dissolution time and gas supply pressure. is there. Therefore, there is an advantage that it is not always necessary to detect, record and manage the nitrous oxide concentration in the solvent in the fluid purification device.

しかし、濃度を厳密に管理する必要が生じた場合、次のように亜酸化窒素濃度の検出、管理等を行うことができる。(1)作用極と対極、必要に応じて再生極の2つ以上の電解電極と、電極間を仕切るイオン交換膜と、ハロゲンイオンを含む電解液を有する電解セルを用い、亜酸化窒素を電解するときに流れる電流、あるいはその時の全クーロン数を測定する電解セルによる電解法、(2)所定波長を有する紫外光を、亜酸化窒素含有溶媒に貯留したセルに照射し、セルを挟んで光源に対向する位置に配置された受光系によって吸光度を測定する分光測定法、(3)JISのK0102に規定されているTN(全窒素)分析法、(4)亜酸化窒素含有溶媒中に不活性ガスを圧送散気させる等して、溶媒内に溶存する亜酸化窒素を気相中へ移動させて、非分散型赤外線吸収法、紫外光吸光高度法や酸素イオン伝導性の固体分解質による電気化学式の測定センサを用いて気相中の亜酸化窒素濃度を測定する方法、などを使用することができる。本発明に係る流体浄化方法や流体浄化装置で用いられる亜酸化窒素水溶液などの溶液の供給前の状態の管理や、処理槽などの容器内における溶液管理などに使用することができる。   However, when it becomes necessary to strictly control the concentration, the nitrous oxide concentration can be detected and managed as follows. (1) Electrolysis of nitrous oxide using an electrolytic cell having a working electrode and a counter electrode, if necessary, two or more electrolytic electrodes of a regenerative electrode, an ion exchange membrane that partitions the electrodes, and an electrolytic solution containing halogen ions (2) An ultraviolet light having a predetermined wavelength is irradiated to a cell stored in a nitrous oxide-containing solvent, and a light source is sandwiched between the cells. (3) TN (total nitrogen) analysis method defined in JIS K0102, (4) inert in nitrous oxide-containing solvent Nitrous oxide dissolved in the solvent is moved into the gas phase by, for example, supplying gas to the gas, and non-dispersive infrared absorption method, ultraviolet light absorption altitude method and oxygen ion conductive solid decomposition product Chemical measurement sensor How to measure the nitrous oxide concentration in the gas phase using, and the like can be used. The present invention can be used for management of a state before supply of a solution such as a nitrous oxide aqueous solution used in the fluid purification method and the fluid purification apparatus according to the present invention, solution management in a container such as a processing tank, and the like.

次に、亜酸化窒素の廃液処理について説明する。   Next, nitrous oxide waste liquid treatment will be described.

処理後の溶媒中には、多くとも数百ppm程度の亜酸化窒素が残留するのみであり、処理後のリンス水や他の工程の廃水との混合により、廃液中の亜酸化窒素はきわめて少なくなる。そのために、基本的には、流体浄化装置は、亜酸化窒素を分解、除外するための機器を備えているものである必要はない。   Only about several hundred ppm of nitrous oxide remains in the solvent after the treatment, and the amount of nitrous oxide in the waste liquid is very small due to mixing with the rinse water after treatment and wastewater from other processes. Become. Therefore, basically, the fluid purification device does not need to have a device for decomposing and excluding nitrous oxide.

また、廃液中の亜酸化窒素以外の成分を処理するために、中和処理、活性汚泥処理、電解処理などを実施する場合には、亜酸化窒素がこれらの処理を阻害することはない。したがって、処理済み液中の亜酸化窒素を処理することなく汚泥処理等を実施することが可能である。さらに、亜酸化窒素は、過酸化水素などの酸化剤のような異常分解を起こすことがない。したがって、亜酸化窒素を含有した処理済み液を他の作業場や廃棄物処理場などに輸送するとき、廃液中の亜酸化窒素を輸送前に処理する必要はないという利点を有する。   Further, in the case where neutralization treatment, activated sludge treatment, electrolytic treatment, or the like is performed to treat components other than nitrous oxide in the waste liquid, nitrous oxide does not inhibit these treatments. Therefore, it is possible to carry out sludge treatment or the like without treating nitrous oxide in the treated liquid. Furthermore, nitrous oxide does not cause abnormal decomposition like oxidants such as hydrogen peroxide. Therefore, when the treated liquid containing nitrous oxide is transported to another work place or a waste disposal site, there is an advantage that it is not necessary to treat the nitrous oxide in the waste liquid before transportation.

ただし、他の工程との関係や作業場全体の環境管理との関係により、流体浄化装置で亜酸化窒素を分解し、流体浄化装置からの亜酸化窒素の排出量を低減する必要があることも考えられる。この場合、排水中の亜酸化窒素の分解法として、次のような方法を用いることができる。(1)廃水に一定時間紫外光を照射して分解する方法、(2)白金などの貴金属をアノードとして電気分解する方法、(3)触媒存在下での水素ガスとの反応により還元分解する方法、(4)嫌気状態で亜酸化窒素内の酸素を用いて呼吸する微生物を利用して微生物分解する方法などである。これらの方法を必要に応じて適用することができる。   However, it may be necessary to reduce nitrous oxide emissions from the fluid purification device by decomposing nitrous oxide in the fluid purification device due to the relationship with other processes and the environmental management of the entire workplace. It is done. In this case, the following method can be used as a method for decomposing nitrous oxide in waste water. (1) A method of decomposing waste water by irradiating it with ultraviolet light for a certain period of time, (2) A method of electrolysis using a noble metal such as platinum as an anode, and (3) A method of reductive decomposition by reaction with hydrogen gas in the presence of a catalyst. (4) A method of decomposing microorganisms using microorganisms that breathe using oxygen in nitrous oxide in an anaerobic state. These methods can be applied as needed.

以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the specific embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. Deformation / change is possible.

たとえば、亜酸化窒素の溶媒は、上述の水に限るものでなく、紫外光照射によって解離された原子状酸素が生成される機能が損なわれず、生成された原子状酸素を消費しなければ、メタノール、エタノール、イソプロパノール、メチルシクロヘキサン、シクロヘキサン、アセトニトリル、ヘキサン、ジオキサン、グリセリン、n−ペンタン、ジクロルメタン等の有機溶媒であっても良い。溶媒の種類によって、亜酸化窒素の最大可溶量が異なる。最大可溶量は大きいほうが好ましいため、溶媒の選択にはかかる最大可溶量も考慮される。   For example, the solvent of nitrous oxide is not limited to the above-mentioned water, and the function of generating atomic oxygen dissociated by ultraviolet light irradiation is not impaired, and methanol is not consumed unless the generated atomic oxygen is consumed. , Ethanol, isopropanol, methylcyclohexane, cyclohexane, acetonitrile, hexane, dioxane, glycerin, n-pentane, dichloromethane and the like may be used. The maximum soluble amount of nitrous oxide varies depending on the type of solvent. Since it is preferable that the maximum soluble amount is large, the maximum soluble amount is also considered in the selection of the solvent.

被処理液との混合性の観点から、亜酸化窒素水溶液などの亜酸化窒素含有溶液に粘性を向上させる増粘剤を添加してもよい。増粘剤としては、原子状酸素が生成される機能が損なわれず、生成された原子状酸素を消費しないものが好適である。   From the viewpoint of miscibility with the liquid to be treated, a thickener for improving viscosity may be added to a nitrous oxide-containing solution such as an aqueous nitrous oxide solution. As the thickener, those that do not lose the function of generating atomic oxygen and do not consume the generated atomic oxygen are preferable.

本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。   The effects described in the embodiments of the present invention are only the most preferable effects resulting from the present invention, and the effects of the present invention are limited to those described in the embodiments of the present invention. is not.

本発明によれば、被処理流体に含まれる被酸化物質に亜酸化窒素、あるいは亜酸化窒素を含んだ溶液を接触させ、この状態で紫外光を照射することで簡単に被処理流体を浄化できる。
また、本発明の流体浄化装置によれば、接触ユニットで被処理流体に含まれる被酸化物質を亜酸化窒素、あるいは亜酸化窒素を含んだ溶液に接触させ、亜酸化窒素に接触した被酸化物質に光源からの紫外光を照射するだけで簡単に被処理流体を浄化できる。
According to the present invention, the fluid to be treated can be easily purified by bringing the material to be treated contained in the fluid to be treated into contact with nitrous oxide or a solution containing nitrous oxide and irradiating with ultraviolet light in this state. .
Further, according to the fluid purification device of the present invention, the contacted unit causes the oxidized material contained in the fluid to be treated to contact nitrous oxide or a solution containing nitrous oxide, and the oxidized material contacted with the nitrous oxide. The fluid to be treated can be easily purified simply by irradiating with ultraviolet light from the light source.

Claims (11)

亜酸化窒素を含む溶液を、流体に含まれる物質に接触させた状態で前記溶液に紫外光を照射することにより、前記物質の浄化を行う物質の浄化方法。   A method for purifying a substance, which purifies the substance by irradiating the solution containing nitrous oxide with ultraviolet light in a state where the solution is in contact with the substance contained in the fluid. 亜酸化窒素を、流体に含まれる物質に接触させた状態で紫外光を照射する流体の浄化方法。   A fluid purification method in which ultraviolet light is irradiated in a state where nitrous oxide is in contact with a substance contained in the fluid. 前記流体が、気体であることを特徴とする請求項1記載の流体の浄化方法。   2. The fluid purification method according to claim 1, wherein the fluid is a gas. 前記流体が、液体であることを特徴とする請求項1又は2記載の流体の浄化方法。   3. The fluid purification method according to claim 1, wherein the fluid is a liquid. 亜酸化窒素が、流体中に溶存しているものである請求項2又は4記載の流体の浄化方法。   The fluid purification method according to claim 2 or 4, wherein the nitrous oxide is dissolved in the fluid. 紫外光の光源が、クリプトン−ヨウ素(KrI)エキシマランプである請求項1ないし5の何れか1つに記載の流体の浄化方法。   6. The fluid purification method according to claim 1, wherein the ultraviolet light source is a krypton-iodine (KrI) excimer lamp. 流体に含まれる物質を、亜酸化窒素を含む溶液に接触させるための接触ユニットと、前記亜酸化窒素に接触した前記物質に紫外光を照射する光源とを備えている請求項2記載の流体の浄化装置。   The fluid according to claim 2, further comprising: a contact unit for bringing a substance contained in the fluid into contact with a solution containing nitrous oxide; and a light source for irradiating the substance in contact with the nitrous oxide with ultraviolet light. Purification equipment. 前記接触ユニットは、前記流体と、前記亜酸化窒素を含む溶液とを収容する収容部を備えている請求項7記載の流体の浄化装置。   The fluid purification device according to claim 7, wherein the contact unit includes a storage unit that stores the fluid and the solution containing the nitrous oxide. 流体に含まれる物質を、亜酸化窒素に接触させるための接触ユニットと、前記亜酸化窒素に接触した前記物質に紫外光を照射する光源とを備えている流体の浄化装置。   A fluid purification apparatus comprising: a contact unit for bringing a substance contained in a fluid into contact with nitrous oxide; and a light source for irradiating the substance in contact with the nitrous oxide with ultraviolet light. 前記接触ユニットは、流体に含まれる物質と、流体中に溶存する亜酸化窒素とを接触させるための容器を備えている、請求項9記載の流体の浄化装置。   The fluid purification device according to claim 9, wherein the contact unit includes a container for bringing a substance contained in the fluid into contact with nitrous oxide dissolved in the fluid. 前記紫外光の光源は、クリプトン−ヨウ素(KrI)エキシマランプである請求項7又は9記載の流体の浄化装置。   The fluid purification device according to claim 7 or 9, wherein the ultraviolet light source is a krypton-iodine (KrI) excimer lamp.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160207795A1 (en) * 2013-09-24 2016-07-21 Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. Ultraviolet sterilization device
JP2017127283A (en) * 2016-01-22 2017-07-27 株式会社日立製作所 Device for processing cultured product, method for processing cultured product, and apparatus for purifying cultured product
JP6607646B2 (en) * 2016-07-15 2019-11-20 ルーテック株式会社 Contaminated water treatment method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0653212B2 (en) * 1986-10-28 1994-07-20 株式会社荏原総合研究所 Method for decomposing and removing nitrous oxide in gas mixture
JPH0714462B2 (en) * 1986-10-28 1995-02-22 株式会社荏原総合研究所 Decomposition method of nitrous oxide in gas mixture
JP3852471B2 (en) * 2004-05-21 2006-11-29 三菱瓦斯化学株式会社 Substance oxidation method and oxidation apparatus thereof

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