JPWO2007026728A1 - セラミック固相発泡体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
A.Diaz, S.Hampshire, J-F.Yang, T.Ohji, and S.Kanzaki, "Comparison of Mechanical Properties of Silicon Nitrides with Controlled Porosities by Different Fabrication Routes", J.Am.Ceram.Soc., 88〔3〕698-706(2005) R.Barea, M.I.Osendi, P.Miranzo, and J.M.F.Ferreira, "Fabrication of Highly Porous Mullite Materials", J.Am.Ceram.Soc., 88〔3〕777-779(2005) S.L.Suib, "Sorption, catasysis, and separation by design", Chemical Innovation, 30〔3〕27-33(2000)
酸化雰囲気 SiC+3/2O2 → SiO2(s)+CO(g)・・・(1)
還元雰囲気 SiC+ O2 → SiO (g)+CO(g)・・・(2)
酸化雰囲気では、酸素1.5モルからCO1モルが生成するので、焼結体は発泡しない。しかし、還元雰囲気(減圧下)では、酸素1モルに対し、ガス2モルが生成し、しかも焼結が完了すると、セラミック焼結体の表面は緻密化され密閉状態が形成され、この段階で発生したガスが超塑性状態のセラミック焼結体を膨張させるので、セラミック焼結体は発泡する。
セラミックマトリックスとして3モル%イットリア安定化ジルコニア(3YSZ)を、発泡剤として炭化ケイ素を使用した。炭化ケイ素粉末(イビデン株式会社製、β−SiC、Grade−UF)0.5gを、直径10mmの成型器に投入し、常温で30MPaの圧力で1分間一軸加圧して、直径10mm、厚さ0.05mmのペレットを得た。次に、3YSZ(トーソー株式会社製、商品番号:TZ−3Y)4gを2gずつ2組に分け、直径20mmの成型器中に、3YSZ粉末、SiC成型体、3YSZ粉末の順に投入し、常温で30MPaの圧力で1分間一軸加圧成形し、次に、200MPaで1分間静水圧加圧して、直径20mm、厚さ5mmの成型体を得た。成型体を、高速昇温炉(カンタルスーパー炉)を用いて、大気中で、800℃/hの昇温速度で1600℃まで加熱し、この温度で2〜8時間保持して、セラミック固相発泡体を得た。得られたセラミック固相発泡体は、300℃/hで常温まで冷却した。
(1)発泡性能
スケールを用いて、セラミック固相発泡体の厚さと焼結前の成型体の厚さとの差を測定し、これを発泡高さとして発泡性能を評価した。
(2)高温での機械的性質
熱間静水圧加圧装置を用いて、アルゴン雰囲気中で1600℃、195MPaの静水圧を付加したときに、セラミック固相発泡体が破壊するか否かを調査した。
(3)熱伝導率の測定
熱伝導率測定装置(ドイツ国Netzsch社製、型式番号:LFA457)を使用して、レーザフラッシュ法に基づく熱伝導率を常温で測定した。
(4)気孔率及び密度の測定
アルキメデス法に従って、セラミック固相発泡体の嵩密度を測定した。例えば、セラミック固相発泡体の嵩密度が4.8g/cm3であり、公知文献に記載された同セラミックの理論密度が6.0g/cm3である場合、相対密度は、4.8/6.0=80%となり、したがって、気孔率は100−80=20%となる。
本発明のセラミック固相発泡体において、発泡は発泡剤の酸化分解反応により生成するガスの内圧を駆動力とするが、大気中で焼結温度に加熱保持する場合、発泡剤の酸化分解反応は焼結温度への昇温時にも進行すると考えられる。そこで、1600℃の焼結温度までの昇温中は炉内雰囲気をアルゴンガスとし、焼結温度での保持時に炉内雰囲気を空気に切り替えたこと及び焼結温度での加熱保持時間を8時間としたことを除いては、実施例1と同様にして、セラミック固相発泡体を製造した。図1(b)に、実施例2のセラミック固相発泡体の形状を示す。8時間保持後の発泡高さは5.5mmであり、実施例1の大気(空気)中での昇温、保持に較べて、発泡高さは増加し、また閉気孔の気孔率も38.9%と増加している。したがって、焼結温度への昇温時に発泡剤の酸化分解を抑制するために炉内雰囲気を不活性ガスにすることにより、セラミック固相発泡体の発泡性能を高め、閉気孔の気孔率をより向上させることができる。
セラミックマトリックスとして、3モル%イットリア安定化ジルコニア(3YSZ)にSiO2を5重量%添加した3YSZを使用したこと及び焼結温度での加熱保持時間を8時間としたことを除いて、実施例1と同様にしてセラミック固相発泡体を製造した。図1(c)に、実施例3のセラミック固相発泡体の形状を示す。8時間保持後の発泡高さは6.5mmであり、セラミックマトリックスが3YSZ単独の実施例1よりも発泡高さが増加している。また閉気孔の気孔率は42.2%であった。これは、5重量%のSiO2の添加が、セラミック固相発泡体の超塑性現象をより発現しやすくする助剤として機能していることを示す。
発泡剤として、約0.01gの圧密発泡剤小片(大きさ0.003cm3)14個を、5個、4個、5個の3組に分け、これらを1gずつの3YSZ粉末の間に挟む形状、すなわち、3YSZ粉末/5個の発泡剤/3YSZ粉末/4個の発泡剤/3YSZ粉末/5個の発泡剤/3YSZ粉末の順に成型器に敷き詰めて一軸加圧して成型体を得たこと及び焼結温度での加熱保持時間を8時間としたことを除いて、実施例1と同様にして、セラミック固相発泡体を製造した。得られたセラミック固相発泡体の閉気孔の気孔率は7.8%、相対密度は92.2%であった。この固相発泡体の熱伝導率は2.6W/m・Kであった。比較のために、同じ条件で作製した相対密度100%のセラミック焼結体の熱伝導率は3.72W/m・Kであった。したがって、本発明のセラミック固相発泡体は、緻密なセラミック焼結体に対して熱伝導率が70%であり、相対密度の減少以上に熱伝導率を減少させることができる。
セラミックマトリックスとして3モル%イットリア安定化ジルコニア(3YSZ)を、発泡剤として炭化ケイ素を使用した。炭化ケイ素粉末(イビデン株式会社製、β−SiC、Grade−UF)0.5gを、直径10mmの成型器に投入し、常温で30MPaの圧力で1分間一軸加圧して、直径10mm、厚さ0.05mmのペレットを得た。カミソリを使用してこのペレットを約3mm角の小片(重量:約0.07g、大きさ:0.00045cm3)に切り分けた。切り分けた。次に、3YSZ(トーソー株式会社製、商品番号:TZ−3Y)4gを2gずつ2組に分け、直径20mmの成型器中に、3YSZ粉末、SiC小片、3YSZ粉末の順に投入した。SiC小片は3YSZ上にパターンをなすようにピンセット等で位置決めして複数個配置した。以下実施例1と同様に、一軸加圧成形、静水圧加圧、熱処理、冷却により、実施例5、実施例6のセラミックス固相発泡体を得た。発泡体には図3(a)及び(b)に示すとおり、SiC小片を載置した位置に複数の閉気孔が生成した。
発泡剤位置を制御するため、3YSZシートを作製しその上に発泡剤をパターニングして載置した。まず、有機バインダーであるメチルセルロース水溶液(3重量%)と3YSZ粉末を混合し泥奬(スラリー)を作製し、これをガラス棒で引き伸ばし、乾燥させて3YSZシートを作製した。次に、発泡剤であるβ−SiC粉末も同様にしてスラリーを作製し、このスラリー状のβ−SiC発泡剤を、3YSZシート上に固定した所望の場所を抜き取り加工してパターンを形成した銅板マスク(厚さ0.2mm)上に流し込み、引き伸ばした後、マスクを取り除き乾燥させた。このようにして、3YSZシート上に発泡剤であるβ−SiCが、高さ0.2mmで3個x3個=9個、孤島状団塊にパターニングされたパターン化シートを作製した。次に、パターン化シートを円状に切り取り、3YSZ粉末、パターン化シート、3YSZ粉末、パターン化シート、3YSZ粉末の順に直径20mmの成型器に投入し、実施例1と同様にして、一軸加圧成形、静水圧加圧、熱処理、冷却により、図4に示すセラミックス固相発泡体を得た。このセラミックス固相発泡体は、図4に示すとおり、配置したSiCのパターンに応じた孤立閉気孔が形成されており、また図5に示す切断試料の断面から明らかなように、セラミックス固相発泡体は、表面のみならず、内部にもSiCパターンに応じた閉気孔が均一に生成している。
銅板マスクの抜き取り形状を逆S字状の連続曲線とした以外は実施例7と同様にして、図6に示すセラミックス固相発泡体を得た。
セラミックマトリックスとして超塑性付与剤を添加したアルミナを、発泡剤として炭化ケイ素を使用した。炭化ケイ素粉末(イビデン株式会社製、β−SiC、Grade−UF)0.5gを、直径10mmの成型器に投入し、常温で30MPaの圧力で1分間一軸加圧して、直径10mm、厚さ0.05mmのペレットを得た。一方、マトリックスとしてのアルミナ(住友化学株式会社、商品番号:AKP−30)粉末に、エタノールを媒体として超塑性付与剤としての3YSZを10mol%湿式混合した。得られた混合粉末4gを2gずつ2組に分け、直径20mmの成型器中に、混合粉末、SiC成型体、混合粉末の順に投入し、以下実施例1と同様にして、一軸加圧成形、静水圧加圧、熱処理、冷却により、セラミックス固相発泡体を得た。得られた固相発泡体の密度は3.77g/cm3であり、気孔率は10%であった。
超塑性付与剤として、マグネシアを30mol%を湿式混合したことを除いて、実施例9と同様にして、セラミックス固相発泡体を得た。得られた固相発泡体の密度は3.30g/cm3であり、気孔率は15%であった。
Claims (16)
- セラミック固相発泡体であって、セラミック固相発泡体が緻密な気孔壁からなる閉気孔を有することを特徴とするセラミック固相発泡体。
- 閉気孔の気孔率が5〜60%である、請求項1記載のセラミック固相発泡体。
- 閉気孔の気孔率が30〜50%である、請求項2記載のセラミック固相発泡体。
- セラミック固相発泡体のマトリックスが、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、シリカ、チタニア、サイアロン、ムライト及びコーディエライトからなる群から選択される1種以上のセラミックである、請求項1〜3のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体。
- セラミック固相発泡体のマトリックスが、さらに、イットリア、カルシア、マグネシア及び希土類酸化物からなる群から選択されるセラミックを1種以上含有する、請求項1〜4のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体。
- セラミック固相発泡体のマトリックスが、さらに、シリカ、アルミナ、酸化銅、チタニア、酸化マンガン、マグネシア、ジルコニア、イットリア安定化ジルコニア、酸化ゲルマニウムからなる群から選択され、マトリックスとは異なる1種以上のセラミックを含有する、請求項1〜5のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体。
- 請求項1〜6記載のセラミック固相発泡体を用いた気密性に富む断熱部品、遮音部品又は電気部品。
- セラミックマトリックス粉末中に発泡剤を内包させる工程、セラミックマトリックス粉末と発泡剤とを一体成形して成型体を得る工程、及び一体成形した成型体をセラミックマトリックスの焼結温度に加熱保持して、それによりセラミックマトリックを焼結させ、次いで焼結したセラミック焼結体中で発泡剤を発泡させる工程、を含むことを特徴とするセラミック固相発泡体の製造方法。
- 発泡剤が、予備成形又は有機バインダーを使用して固形化させた発泡剤である、請求項8記載のセラミック固相発泡体の製造方法。
- セラミックマトリックスが、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、シリカ、チタニア、サイアロン、ムライト及びコーディエライトからなる群から選択される1種以上のセラミックである、請求項8又は9記載のセラミック固相発泡体。
- セラミックマトリックスが、さらに、イットリア、カルシア、マグネシア及び希土類酸化物からなる群から選択されるセラミックを1種以上含有する、請求項8〜10のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体の製造方法。
- セラミックマトリックスが、さらに、シリカ、アルミナ、酸化銅、チタニア、酸化マンガン、マグネシア、ジルコニア、イットリア安定化ジルコニア、酸化ゲルマニウムからなる群から選択され、マトリックスとは異なる1種以上のセラミックを含有する、請求項8〜11のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体の製造方法。
- 発泡剤が、炭化ケイ素、炭酸塩、及び昇華性の固体からなる群から選択される1種以上である、請求項8〜12のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体の製造方法。
- 焼結温度で加熱保持する時間が1〜24時間である、請求項8〜13のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体の製造方法。
- 焼結温度で加熱保持する時間が2〜10時間である、請求項14記載のセラミック固相発泡体の製造方法。
- 焼結温度への昇温を不活性ガス雰囲気中で行い、焼結温度での加熱保持を大気中で行う、請求項8〜15のいずれか1項記載のセラミック固相発泡体の製造方法。
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