JPWO2007000989A1 - Electromagnetic wave control element, electromagnetic wave control device, electromagnetic wave control plasma and electromagnetic wave control method - Google Patents

Electromagnetic wave control element, electromagnetic wave control device, electromagnetic wave control plasma and electromagnetic wave control method Download PDF

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Abstract

電磁波の制御状態を容易に変更することができる電磁波制御素子及び電磁波制御装置を提供する。電磁波制御素子2は、2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマ(P)を生成するために、プラズマ(P)を生成する電力を供給する電極(22a・22b)と、プラズマ(P)を生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波(R)を透過する筐体(21)とを備え、プラズマ(P)に電磁波(R)を通過させることにより、電磁波(R)の伝播状態を制御する。An electromagnetic wave control element and an electromagnetic wave control device capable of easily changing the control state of an electromagnetic wave. The electromagnetic wave control element 2 includes electrodes (22a and 22b) for supplying electric power for generating plasma (P) and plasma (P) in order to generate plasma (P) that is two-dimensionally or three-dimensionally periodically distributed. A housing (21) that holds a gas to be ionized and that transmits an electromagnetic wave (R) to be controlled to generate plasma), and allows the plasma (P) to pass the electromagnetic wave (R). This controls the propagation state of the electromagnetic wave (R).

Description

本発明は、電磁波を制御するための電磁波制御素子及びこれを備えた電磁波制御装置、並びに電磁波を制御するための電磁波制御プラズマ及び電磁波制御方法に関するものである。  The present invention relates to an electromagnetic wave control element for controlling an electromagnetic wave, an electromagnetic wave control device including the electromagnetic wave control element, an electromagnetic wave control plasma and an electromagnetic wave control method for controlling an electromagnetic wave.

電磁波は、情報通信分野での情報伝達媒体として、また各種物質の創成・改質手段として、その役割の数々は枚挙に暇がない。したがって、電磁波を制御する素子には、それら利用分野での必要性に応じて、常に様々な改良が加えられている。  Electromagnetic waves are innumerable in their roles as information transmission media in the field of information and communications and as means for creating and modifying various substances. Therefore, elements that control electromagnetic waves are constantly being improved in various ways depending on the needs in their fields of application.

特に、マイクロ波からテラヘルツ帯にわたる電磁波は、まだ産業的に十分利用されておらず、しかも今後その技術的・市場的進展が広く見込まれる周波数帯であり、それに適した制御デバイスの研究開発が望まれている。  In particular, electromagnetic waves from the microwave to the terahertz band are frequency bands that have not been industrially sufficiently used, and are expected to have technical and market progress in the future, and research and development of control devices suitable for them are desired. It is rare.

電磁波の制御素子としては、分岐素子、減衰器、共振器、周波数フィルタ、レンズ等が様々な物質の様々な構造により実現されている。  As an electromagnetic wave control element, a branch element, an attenuator, a resonator, a frequency filter, a lens, etc. are realized by various structures of various substances.

近年では、フォトニック結晶と呼ばれる屈折率変化の周期構造をもつ構造体が、電波〜光波(テラヘルツ帯(波長0.1mm程度)及びこれよりも長波長の電磁波を「電波」と称し、電波よりも短波長の電磁波を「光波」と称する。)の領域の制御素子として脚光を浴びており、様々な応用を見据えた研究開発が盛んである(例えば、非特許文献1参照)。すなわち、これまでの単独物質では実現不可能な機能が、2次元あるいは3次元の周期構造をとることにより実現可能となってきている。  In recent years, a structure having a periodic structure of a refractive index change called a photonic crystal has been called radio wave to a light wave (a terahertz band (wavelength of about 0.1 mm) and an electromagnetic wave having a longer wavelength than this, which is called "radio wave". Also, an electromagnetic wave having a short wavelength is called as a “light wave”. It is in the limelight as a control element in the region of “light wave”, and research and development with a view to various applications are active (for example, see Non-Patent Document 1). That is, a function that cannot be realized by a conventional single substance has been realized by adopting a two-dimensional or three-dimensional periodic structure.

フォトニック結晶は、これまで誘電体又は金属の周期構造によりその機能を実現してきた。誘電体を使用する場合は、周期構造の形状、周期構造の周期長及び周期内構造の寸法に加え、誘電体の誘電率及び屈折率が重要な制御パラメータである。また、金属を使用する場合は、当該金属は、誘電体と見なした場合の誘電率が負であり、内部を電磁波が伝播不可能な媒質といえる。  The photonic crystal has realized its function by a dielectric or a periodic structure of metal. When a dielectric is used, the dielectric constant and refractive index of the dielectric are important control parameters in addition to the shape of the periodic structure, the periodic length of the periodic structure, and the dimension of the intraperiodic structure. When a metal is used, the metal has a negative dielectric constant when regarded as a dielectric, and can be said to be a medium in which electromagnetic waves cannot propagate inside.

以上のような物質を用いて作成されたフォトニック結晶において、これまで様々な機能が実現されている。実現されている機能の一例としては、周波数フィルタ、光路制御器(導波路)、共振器、レンズ、面発光レーザ等が挙げられる。  Various functions have been realized so far in the photonic crystal formed by using the above substances. Examples of realized functions include a frequency filter, an optical path controller (waveguide), a resonator, a lens, and a surface emitting laser.

一般に、プラズマは導電性とともに誘電性を有する媒質として知られている。そして、非特許文献2では、プラズマの上記特性を用いることにより、ミリ波帯からサブミリ波帯の電磁波を制御することや、フォトニック結晶のような機能を持たせる構成(いわゆる「プラズマフォトニック結晶」)についての可能性を指摘している。  Generally, plasma is known as a medium having conductivity as well as dielectric. Then, in Non-Patent Document 2, by using the above-described characteristics of plasma, a configuration for controlling electromagnetic waves in the millimeter wave band to the submillimeter wave band and having a function like a photonic crystal (so-called "plasma photonic crystal" )) is pointed out.

一方、非特許文献3には、誘電体の周期構造を2次元的に配置することにより、一様なプラズマ中にプラズマの存在しない部分を周期的に形成することにより、ミリ波帯の電磁波の伝播方向を制御するための研究が開示されている。なお、非特許文献3においても、「プラズマフォトニック結晶」という用語が用いられている。
野田 進 著「二次元・三次元フォトニック結晶の現状と将来展望」応用物理 第74巻 第2号(2005年)147〜159頁 K.Tachibana,et.al.″Diagnostics of microdischarge−integrated plasma sources for display and materials processing″,Plasma Phys.Control.Fusion,Vol.47,No.5A(2005)pp.A167−A177. 内田 直人他 著「2次元プラズマフォトニック結晶における電磁波伝搬シミュレーション」日本物理学会講演概要集 第60巻 第1号 第2分冊(2005年) 263頁
On the other hand, in Non-Patent Document 3, by arranging a periodic structure of a dielectric material two-dimensionally to periodically form a plasma-free portion in a uniform plasma, the electromagnetic wave in the millimeter wave band is generated. Studies have been disclosed to control the direction of propagation. The term “plasma photonic crystal” is also used in Non-Patent Document 3.
Susumu Noda, "Present and future prospects of two-dimensional and three-dimensional photonic crystals" Applied Physics Vol. 74 No. 2 (2005) pp.147-159 K. Tachibana, et. al. "Diagnostics of microdischarge-integrated plasma sources for display and materials processing", Plasma Phys. Control. Fusion, Vol. 47, No. 5A (2005) pp. A167-A177. Naoto Uchida et al., "Simulation of Electromagnetic Wave Propagation in Two-Dimensional Plasma Photonic Crystals" Proceedings of the Physical Society of Japan Volume 60 Volume 1 Volume 2 (2005) Page 263

しかしながら、従来研究開発されてきたフォトニック結晶は、以下のような問題点を有している。  However, the photonic crystal that has been conventionally researched and developed has the following problems.

従来のフォトニック結晶は、誘電体又は金属といった固体材料を使用しているため、上記非特許文献3のプラズマフォトニック結晶を除き、一旦構造物を作製するとその屈折率や誘電率を変化させることは容易ではない。すなわち、電磁波の周波数に対するフォトニック結晶の応答特性は、フォトニック結晶そのものを交換しない限りは変化させることは困難である。  Since the conventional photonic crystal uses a solid material such as a dielectric or a metal, except for the plasma photonic crystal of Non-Patent Document 3 described above, once the structure is manufactured, its refractive index and dielectric constant can be changed. Is not easy. That is, it is difficult to change the response characteristic of the photonic crystal with respect to the frequency of the electromagnetic wave unless the photonic crystal itself is replaced.

つまり、フォトニック結晶はこれまで存在した電磁波制御素子では実現できない様々な機能を実現可能であるものの、一旦作製したフォトニック結晶の機能はほぼ1つに限定されてしまう。  That is, although the photonic crystal can realize various functions that cannot be realized by the existing electromagnetic wave control elements, the function of the photonic crystal once manufactured is limited to almost one.

一方、上記非特許文献3のプラズマフォトニック結晶の場合では、誘電体の周期構造の間隙がプラズマによって満たされていることから、プラズマの特性を変化させることによって上記間隙の誘電率を変化させることは可能である。  On the other hand, in the case of the plasma photonic crystal of Non-Patent Document 3, since the gap of the periodic structure of the dielectric is filled with plasma, the dielectric constant of the gap can be changed by changing the characteristics of the plasma. Is possible.

しかしながら、上記プラズマフォトニック結晶では、周期的に誘電体が設けられておりその他の部分がプラズマによって満たされているため、プラズマ中でのエネルギーの減衰が著しくなり(特にプラズマの比誘電率を負の値に設定した場合)、プラズマフォトニック結晶中を電磁波が伝播することが困難になることから、実際にはプラズマフォトニック結晶の応答特性を広く変化させることは困難である。  However, in the above plasma photonic crystal, the dielectric is periodically provided and the other part is filled with the plasma, so that the attenuation of energy in the plasma becomes remarkable (especially, the relative permittivity of the plasma is negative. When it is set to a value of 1), it becomes difficult for the electromagnetic wave to propagate in the plasma photonic crystal, and therefore it is actually difficult to widely change the response characteristics of the plasma photonic crystal.

また、上記プラズマフォトニック結晶では、一様なプラズマの使用を前提としているため、プラズマの部分部分を制御することができず、プラズマフォトニック結晶の応答特性を広く制御することが困難である。  Further, in the above plasma photonic crystal, since it is premised that uniform plasma is used, it is difficult to control a partial portion of plasma, and it is difficult to widely control the response characteristics of the plasma photonic crystal.

さらに、上記非特許文献2には、いわゆる「プラズマフォトニック結晶」の具体的構成やこれを作製するための具体的内容については何ら開示はなされていない。  Furthermore, Non-Patent Document 2 does not disclose any specific configuration of a so-called "plasma photonic crystal" or specific content for producing the same.

本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、電磁波の制御状態を容易に変更することができる電磁波制御素子及び電磁波制御装置を提供することにある。  The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an electromagnetic wave control element and an electromagnetic wave control device that can easily change the control state of an electromagnetic wave.

本発明に係る電磁波制御素子は、2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段を備え、前記プラズマに電磁波を通過させることにより、当該電磁波の伝播状態を制御することを特徴としている。  An electromagnetic wave control element according to the present invention includes a plasma generation unit that generates plasma that is periodically distributed in a two-dimensional or three-dimensional manner, and controls the propagation state of the electromagnetic wave by passing the electromagnetic wave through the plasma. Is characterized by.

上記構成では、プラズマ生成手段によって2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマを生成する。プラズマが生成された部分ではその屈折率が周囲とは異なる。したがって、2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマを生成することによって、従来のフォトニック結晶と同じように、屈折率の周期的変化を形成することができ、これによって電磁波の伝播状態を制御することができる。  In the above configuration, the plasma generating means generates the plasma that is periodically distributed in two dimensions or three dimensions. The refractive index of the portion where plasma is generated is different from that of the surrounding. Therefore, by generating a two-dimensionally or three-dimensionally periodically distributed plasma, it is possible to form a periodic change in the refractive index as in the case of the conventional photonic crystal. Can be controlled.

従来のフォトニック結晶では、フォトニック結晶の材質や形状を決定すると、屈折率の周期的変化が定まることから、電磁波の制御状態も定まることになる。したがって、電磁波の制御状態を変更しようとすると、フォトニック結晶の材質や形状を変更する必要があり、このことはフォトニック結晶そのものを交換することになる。  In the conventional photonic crystal, when the material and shape of the photonic crystal are determined, the periodic change of the refractive index is determined, and thus the control state of electromagnetic waves is also determined. Therefore, in order to change the control state of the electromagnetic wave, it is necessary to change the material and shape of the photonic crystal, which means that the photonic crystal itself is replaced.

一方、プラズマは、当該プラズマにおける電子密度や当該プラズマを生成するために電離対象となるガスの圧力を変更することによって当該プラズマの屈折率を変化させることができる。したがって、上記構成では、プラズマにおける電子密度や電離対象となるガスの圧力を変更することによって制御パラメータである屈折率を容易に変更することができ、電磁波の制御状態も変更することができる。  On the other hand, the plasma can change the refractive index of the plasma by changing the electron density in the plasma or the pressure of the gas to be ionized in order to generate the plasma. Therefore, in the above configuration, the refractive index, which is a control parameter, can be easily changed by changing the electron density in plasma or the pressure of the gas to be ionized, and the control state of electromagnetic waves can also be changed.

このように、上記構成では、電磁波の制御状態を変更することができる電磁波制御素子を実現することができる。  As described above, with the above configuration, it is possible to realize an electromagnetic wave control element capable of changing the control state of electromagnetic waves.

また、本発明に係る電磁波制御プラズマは、2次元又は3次元的に周期的に分布することにより、通過する電磁波の伝播状態を制御することを特徴としている。また、本発明に係る電磁波制御方法は、2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマを生成し、前記プラズマに電磁波を通過させることにより、当該電磁波の伝播状態を制御することを特徴としている。これらによっても、上記電磁波制御素子と同じく、電磁波の制御状態を容易に変更することができる。  Further, the electromagnetic wave control plasma according to the present invention is characterized in that the propagation state of the electromagnetic wave passing therethrough is controlled by being periodically distributed two-dimensionally or three-dimensionally. Further, the electromagnetic wave control method according to the present invention is characterized in that a plasma that is periodically distributed two-dimensionally or three-dimensionally is generated and the propagation state of the electromagnetic wave is controlled by passing the electromagnetic wave through the plasma. There is. Also by these, the control state of the electromagnetic wave can be easily changed like the electromagnetic wave control element.

前記プラズマ生成手段は、前記プラズマを生成する電力を供給する電極と、前記プラズマを生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波を透過するガス保持手段とを備えることによって構成することができる。  The plasma generating means includes an electrode for supplying electric power for generating the plasma, and a gas holding means for internally holding a gas to be ionized to generate the plasma and transmitting an electromagnetic wave to be controlled. It can be configured by

また、前記電極は周期的に配置されており、当該電極の周期的配置に応じて前記プラズマの周期的分布を形成される構成とすることもできる。  Further, the electrodes may be periodically arranged, and the plasma may have a periodic distribution according to the periodical arrangement of the electrodes.

また、前記ガス保持手段は周期的に形成された複数の空孔を有しており、当該空孔内にプラズマが生成されることにより前記プラズマの周期的分布が形成される構成とすることもできる。  Further, the gas holding means may have a plurality of holes that are periodically formed, and a periodic distribution of the plasma may be formed by generating plasma in the holes. it can.

上記構成では、ガス保持手段の空孔内にプラズマを生成するので、ガス保持手段の内部にプラズマを閉じ込めることができ、プラズマの境界面を明確に定めることができる。そうすると、この境界面における電子密度の差を大きくとることができ、プラズマの周期的分布による影響をより顕在化することができる。  In the above configuration, since plasma is generated in the holes of the gas holding means, the plasma can be confined inside the gas holding means, and the boundary surface of the plasma can be clearly defined. Then, the difference in electron density at this boundary surface can be made large, and the influence of the periodic distribution of plasma can be made more apparent.

また、前記ガス保持手段は、前記複数の空孔が形成された誘電体からなっている構成とすることもできる。  Further, the gas holding means may be made of a dielectric having the plurality of holes.

上記構成では、上記空孔以外の部分が誘電体によって埋められることになる。これにより、境界面における電子密度の差を大きくとることができることに加えて、境界面における比誘電率の差をより大きくとることができる。その結果、プラズマの周期的分布による影響をさらに顕在化することができる。  In the above structure, the portion other than the holes is filled with the dielectric. This makes it possible to make a large difference in the electron density at the boundary surface and also make a large difference in the relative permittivity at the boundary surface. As a result, the influence of the periodical distribution of plasma can be further manifested.

また、前記プラズマ生成手段は、前記ガス保持手段の内部に露出し、周囲よりも2次電子放出係数の高い材質からなる電子放出手段をさらに備え、前記電子放出手段は周期的に配置されており、当該電子放出手段の周期的配置に応じて前記プラズマの周期的分布が形成される構成とすることもできる。  Further, the plasma generating means further includes an electron emitting means exposed to the inside of the gas holding means and made of a material having a secondary electron emission coefficient higher than that of the surroundings, and the electron emitting means are arranged periodically. Alternatively, the periodic distribution of the plasma may be formed according to the periodic arrangement of the electron emitting means.

また、前記プラズマ生成手段は、前記周期的なプラズマを取り囲み、かつ、当該プラズマとは電子密度の異なるプラズマをさらに生成する構成としてもよい。  The plasma generating means may be configured to surround the periodic plasma and further generate plasma having an electron density different from that of the plasma.

上記構成では、周期的なプラズマ部分と、これを取り囲む部分、すなわち、周期的なプラズマとは電子密度の異なるプラズマ部分との両方の屈折率を変化させることができるので、より柔軟に電磁波に対する制御状態を変更することができる。  In the above configuration, since it is possible to change the refractive index of both the periodic plasma portion and the portion surrounding the periodic plasma portion, that is, the plasma portion having a different electron density from the periodic plasma, it is possible to more flexibly control electromagnetic waves. You can change the state.

また、前記プラズマ生成手段は、前記電極によって生成されたプラズマを引き出すための電圧を印可する引出電極を備える構成としてもよい。  Further, the plasma generation means may be configured to include an extraction electrode that applies a voltage for extracting the plasma generated by the electrode.

上記構成では、予備放電によって生成されたプラズマを引き出すことによってプラズマの長さを調節することができる。  In the above structure, the length of the plasma can be adjusted by extracting the plasma generated by the preliminary discharge.

本発明に係る電磁波制御装置は、上記何れかの電磁波制御素子と、前記プラズマ生成手段によってプラズマを生成するための電力を制御する電力制御手段とを備えることを特徴としている。  An electromagnetic wave control device according to the present invention is characterized by including any one of the electromagnetic wave control elements described above and power control means for controlling electric power for generating plasma by the plasma generation means.

上記構成では、電力制御手段によってプラズマを生成するための電力を制御することにより、プラズマにおける電子密度を制御することができる。これにより、制御パラメータである屈折率を制御することができ、電磁波の制御状態も変更することができる。  In the above configuration, the electron density in the plasma can be controlled by controlling the power for generating the plasma by the power control means. As a result, the refractive index, which is a control parameter, can be controlled, and the control state of electromagnetic waves can also be changed.

本発明に係る電磁波制御装置は、上記何れかの電磁波制御素子と、前記プラズマ生成手段によって生成されるプラズマの分布状態を制御するプラズマ分布制御手段とを備えることを特徴としている。  An electromagnetic wave control device according to the present invention is characterized by including any one of the electromagnetic wave control elements described above and a plasma distribution control means for controlling a distribution state of plasma generated by the plasma generation means.

上記構成では、プラズマ分布制御手段によってプラズマの分布状態を制御することができるので、屈折率変化の周期構造を変更することができる。これにより、より柔軟に電磁波の制御状態を変更することができる。  In the above configuration, since the plasma distribution state can be controlled by the plasma distribution control means, the periodic structure of the refractive index change can be changed. Thereby, the control state of the electromagnetic wave can be changed more flexibly.

本発明に係る電磁波制御装置は、上記何れかの電磁波制御素子と、前記プラズマを生成するために電離対象となるガスの圧力を制御するガス圧力制御手段とを備えることを特徴としている。  An electromagnetic wave control device according to the present invention is characterized by including any one of the electromagnetic wave control elements described above and a gas pressure control means for controlling the pressure of a gas to be ionized in order to generate the plasma.

上記構成では、電離対象となるガスの圧力を制御することにより、プラズマにおける電子密度を制御することができる。これにより、制御パラメータである屈折率を制御することができ、電磁波の制御状態も制御することができる。  In the above configuration, the electron density in the plasma can be controlled by controlling the pressure of the gas to be ionized. As a result, the refractive index, which is a control parameter, can be controlled, and the control state of electromagnetic waves can also be controlled.

本発明に係る電磁波制御素子は、以上のように、2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段を備え、前記プラズマに電磁波を通過させることにより、当該電磁波の伝播状態を制御する構成である。  As described above, the electromagnetic wave control element according to the present invention is provided with the plasma generation means for generating the plasma that is periodically distributed in the two-dimensional or three-dimensional manner, and the electromagnetic wave is propagated by passing the electromagnetic wave through the plasma. This is a configuration for controlling the state.

上記構成では、プラズマにおける電子密度や電離対象となるガスの圧力を変更することによって制御パラメータである屈折率を容易に変更することができ、電磁波の制御状態も変更することができる。  In the above structure, the refractive index, which is a control parameter, can be easily changed by changing the electron density in plasma or the pressure of the gas to be ionized, and the control state of electromagnetic waves can also be changed.

このように、上記構成では、電磁波の制御状態を変更することができる電磁波制御素子を実現することができるという効果を奏する。  As described above, the above-described configuration has the effect of realizing an electromagnetic wave control element capable of changing the control state of electromagnetic waves.

本発明の第1実施形態の電磁波制御装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electromagnetic wave control apparatus of 1st Embodiment of this invention. 図1の電磁波制御装置のA−A線矢視断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the electromagnetic wave control device of FIG. 1. プラズマの分布状態を示す、図1の電磁波制御装置のA−A線矢視断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of the electromagnetic wave control device of FIG. 1, showing a plasma distribution state. プラズマの他の分布状態を示す、図1の電磁波制御装置のA−A線矢視断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the electromagnetic wave control device of FIG. 1, showing another distribution state of plasma. プラズマのさらに他の分布状態を示す、図1の電磁波制御装置のA−A線矢視断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line AA of the electromagnetic wave control device of FIG. 1, showing another distribution state of plasma. 図1の電磁波制御装置における電磁波制御素子の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification of the electromagnetic wave control element in the electromagnetic wave control apparatus of FIG. 図1の電磁波制御装置における電磁波制御素子の他の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other modification of the electromagnetic wave control element in the electromagnetic wave control apparatus of FIG. 図1の電磁波制御装置における電磁波制御素子のさらに他の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the further another modified example of the electromagnetic wave control element in the electromagnetic wave control apparatus of FIG. 本発明の第2実施形態の電磁波制御装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electromagnetic wave control apparatus of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態の電磁波制御装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electromagnetic wave control apparatus of 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態の電磁波制御装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electromagnetic wave control apparatus of 4th Embodiment of this invention. 図11の電磁波制御装置のB−B線矢視断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view taken along the line BB of the electromagnetic wave control device of FIG. 11. 本発明の第5実施形態の電磁波制御装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electromagnetic wave control apparatus of 5th Embodiment of this invention. 2次元プラズマアレイ内を伝播する電磁波の分散関係を示す図である。It is a figure which shows the dispersion relation of the electromagnetic wave which propagates in a two-dimensional plasma array. 2次元プラズマアレイ内を伝播する電磁波の2次元波数平面上の等周波数線の分布を示す図である。It is a figure which shows distribution of the equal frequency line on the two-dimensional wavenumber plane of the electromagnetic wave which propagates in a two-dimensional plasma array.

符号の説明Explanation of symbols

1 電磁波制御装置
2 電磁波制御素子
3 電力制御システム(電力制御手段、プラズマ分布制御手段)
4 ガス制御システム(ガス圧力制御手段)
21 筐体(プラズマ生成手段、ガス保持手段)
22a 電極(プラズマ生成手段)
22b 電極(プラズマ生成手段)
23 筒部材(プラズマ生成手段、ガス保持手段)
24 誘電部材(プラズマ生成手段、ガス保持手段)
101 電磁波制御装置
102 電磁波制御素子
103 電力制御システム(電力制御手段)
122a 電極(プラズマ生成手段)
122b 電極(プラズマ生成手段)
123a 電子放出部材(プラズマ生成手段、電子放出手段)
123b 電子放出部材(プラズマ生成手段、電子放出手段)
201 電磁波制御装置
202 電磁波制御素子
203 電力制御システム(電力制御手段、プラズマ分布制御手段)
223a 電極(プラズマ生成手段)
223b 電極(プラズマ生成手段)
301 電磁波制御装置
302 電磁波制御素子
303 電力制御システム(電力制御手段)
322a 電極(プラズマ生成手段)
322b 電極(プラズマ生成手段)
323 電極(プラズマ生成手段)
401 電磁波制御装置
402 電磁波制御素子
403 電力制御システム(電力制御手段、プラズマ分布制御手段)
P プラズマ
R 電磁波
1 Electromagnetic Wave Control Device 2 Electromagnetic Wave Control Element 3 Power Control System (Power Control Means, Plasma Distribution Control Means)
4 Gas control system (gas pressure control means)
21 housing (plasma generating means, gas holding means)
22a electrode (plasma generating means)
22b electrode (plasma generating means)
23 Cylindrical member (plasma generating means, gas holding means)
24 Dielectric member (plasma generating means, gas holding means)
101 electromagnetic wave control device 102 electromagnetic wave control element 103 power control system (power control means)
122a electrode (plasma generating means)
122b electrode (plasma generating means)
123a Electron emitting member (plasma generating means, electron emitting means)
123b Electron emitting member (plasma generating means, electron emitting means)
201 electromagnetic wave control device 202 electromagnetic wave control element 203 power control system (power control means, plasma distribution control means)
223a electrode (plasma generating means)
223b electrode (plasma generating means)
301 Electromagnetic wave control device 302 Electromagnetic wave control element 303 Power control system (power control means)
322a electrode (plasma generating means)
322b electrode (plasma generating means)
323 electrode (plasma generating means)
401 Electromagnetic wave control device 402 Electromagnetic wave control element 403 Power control system (power control means, plasma distribution control means)
P Plasma R Electromagnetic wave

〔実施形態1〕
本発明の実施の一形態について図1から図8に基づいて説明すると以下の通りである。
[Embodiment 1]
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 8.

本実施形態の電磁波制御素子では、電磁波の制御のためにプラズマを用いる。そこで、まず、プラズマの性質について説明する。  In the electromagnetic wave control element of this embodiment, plasma is used for controlling the electromagnetic wave. Therefore, first, the properties of plasma will be described.

一般に、プラズマが発生すると、その部分を通過する電磁波に対する比誘電率εは次の式(1)によって表されることが知られている。In general, when plasma is generated, it is known that the relative permittivity ε r for an electromagnetic wave passing through the part is expressed by the following equation (1).

Figure 2007000989
Figure 2007000989

ここで、ωpe/2πは電子プラズマ周波数(「電子プラズマ振動数」ともいう。以下では単に「プラズマ周波数」という。)、ω/2πはプラズマを通過する電磁波の周波数であり、比誘電率εと屈折率nとの間の関係は、n=ε 1/2である。Here, ω pe /2π is an electron plasma frequency (also referred to as “electron plasma frequency”; hereinafter simply referred to as “plasma frequency”), ω/2π is a frequency of an electromagnetic wave passing through plasma, and a relative permittivity ε. The relationship between r and the refractive index n is n=ε r 1/2 .

式(1)より、比誘電率εは、1よりも小さな値をもち、かつ、ωがωpeよりも大きい場合には正の値をとる。したがって、ωがωpeよりも大きい場合には、プラズマは誘電体と見なしうる。From the equation (1), the relative permittivity ε r has a value smaller than 1 and takes a positive value when ω is larger than ω pe . Thus, if ω is greater than ω pe , the plasma can be considered a dielectric.

また、式(1)より、ωがωpeよりも小さい場合には、比誘電率εは負の値となり、電磁波はプラズマ中には表皮厚さと呼ばれるごく薄い領域にしか侵入できなくなるため、電磁波はプラズマ中をほぼ伝播不可能とみなすことができる。したがって、ωがωpeよりも小さい場合には、プラズマは金属と同様に振舞う。Further, according to the equation (1), when ω is smaller than ω pe , the relative permittivity ε r has a negative value, and the electromagnetic wave can enter only a very thin region called the skin depth in the plasma. Electromagnetic waves can be regarded as almost impossible to propagate in plasma. Therefore, when ω is smaller than ω pe , the plasma behaves like a metal.

したがって、プラズマを発生させたり消滅させたりすると、その場所での比誘電率εは大きく変化する。また、プラズマが存在している状態でも、そのωpeを変化させることにより、電磁波がプラズマ中を伝播できる状態とほとんど伝播できない状態とを切り換えることができる。Therefore, when plasma is generated or extinguished, the relative permittivity ε r at that location changes greatly. Further, even in the presence of plasma, by changing ω pe , it is possible to switch between a state in which electromagnetic waves can propagate in plasma and a state in which electromagnetic waves can hardly propagate.

なお、ωpeはプラズマ中の電子密度(プラズマ強度)の関数であり、電子密度の1/2乗に比例する。より具体的には、電子密度とプラズマ周波数との関係は次の式(2)によって表される。Note that ω pe is a function of the electron density (plasma intensity) in the plasma, and is proportional to the electron density to the 1/2 power. More specifically, the relationship between electron density and plasma frequency is expressed by the following equation (2).

Figure 2007000989
Figure 2007000989

ここで、nは電子密度、eは素電荷量、mは電子の質量、εは真空中の誘電率である。また、電子密度とプラズマ周波数との関係を具体的数値例によって示すと、次の表1のようになる。Here, n e is the electron density, e is the elementary charge amount, me is the electron mass, and ε 0 is the dielectric constant in vacuum. Further, the relationship between the electron density and the plasma frequency is shown in Table 1 below by a specific numerical example.

Figure 2007000989
Figure 2007000989

したがって、プラズマの電子密度を変化させることにより、電磁波がプラズマ中を伝播できる状態とほとんど伝播できない状態とを切り換えることができる。  Therefore, by changing the electron density of the plasma, it is possible to switch between a state in which the electromagnetic wave can propagate in the plasma and a state in which the electromagnetic wave can hardly propagate.

このことは、従来のフォトニック結晶との比較でいうと、電子密度を変化させることにより、電磁波に対して誘電体相当のものから金属相当のものまで、様々な屈折率を設定可能であるといえる。  Compared with conventional photonic crystals, this means that by changing the electron density, various refractive indices can be set for electromagnetic waves, from those equivalent to dielectrics to those equivalent to metals. I can say.

このようなプラズマの屈折率の制御は、次のようにして行うことができる。プラズマ中の電子密度は、プラズマの生成用電力を制御することによってその調整が可能である。したがって、プラズマの生成用電力を制御することによって、プラズマ中の電子密度を制御することができ、その結果としてプラズマの屈折率を制御することができる。  Such control of the refractive index of plasma can be performed as follows. The electron density in plasma can be adjusted by controlling the power for plasma generation. Therefore, by controlling the power for plasma generation, the electron density in the plasma can be controlled, and as a result, the refractive index of the plasma can be controlled.

また、比誘電率εは、より正確には、プラズマ部に存在する中性粒子とプラズマ中の電子との間での衝突周波数(以下、単に「衝突周波数」という)νを考慮することにより、複素数として次の式(3)によって表現される。To be more precise, the relative permittivity ε r should consider the collision frequency ν m between neutral particles existing in the plasma part and the electrons in the plasma (hereinafter, simply referred to as “collision frequency”). Is expressed by the following equation (3) as a complex number.

Figure 2007000989
Figure 2007000989

中性粒子と電子との間での衝突がある程度頻繁になって衝突性プラズマという領域になると、ωがωpeよりも小さい場合であっても表皮厚さが厚くなり、電磁波はある程度プラズマ中に侵入するようになる。When collisions between neutral particles and electrons become more frequent to a certain extent and become a region of colliding plasma, even when ω is smaller than ω pe, the skin thickness becomes thick and electromagnetic waves are absorbed in the plasma to some extent. It will come in.

ここで、本発明の発明者らは、衝突性プラズマにおいてωがωpeよりも小さい場合に、dn/dωが負となるいわゆる異常分散と呼ばれる状態となることを見出した。この異常分散を示すプラズマにおいては、その中を通過する電磁波の位相速度と郡速度が逆向きとなり、電磁波がプラズマ表面に斜めに入射するとき、プラズマ内では逆向きに折り返す(屈折する)現象が見出され、通常の誘電体面への入射よりも大きな光路変化を起こすことができる。Here, the inventors of the present invention have found that when ω is smaller than ω pe in collisional plasma, a state called so-called anomalous dispersion in which dn/dω becomes negative is obtained. In the plasma exhibiting this anomalous dispersion, the phase velocity and the group velocity of the electromagnetic wave passing through it are opposite to each other, and when the electromagnetic wave is obliquely incident on the plasma surface, there is a phenomenon that the electromagnetic wave is turned back (refracted) in the opposite direction. It has been found that it is possible to cause a larger optical path change than the incidence on a normal dielectric surface.

このことから、プラズマ中の中性粒子密度を変化させて衝突周波数を変化させることによっても、プラズマの屈折率を制御することができることになる。プラズマ中の中性粒子密度は、プラズマを生成するために電離対象となるガスの圧力によって制御でき、このガス圧力は、ガスを閉空間に充填するときの量を調整することによって容易に制御可能である。  Therefore, the refractive index of the plasma can be controlled also by changing the neutral particle density in the plasma and changing the collision frequency. Neutral particle density in plasma can be controlled by the pressure of gas to be ionized to generate plasma, and this gas pressure can be easily controlled by adjusting the amount of gas filling the closed space. Is.

本実施形態の電磁波制御素子は、フォトニック結晶における屈折率変化の周期構造に相当する構成を、上記のようなプラズマの特性を利用して実現するものである。これにより、プラズマ中の電子密度や衝突周波数の調整、すなわち供給電力やガス圧力の調整を行うことによってプラズマの屈折率等の物性値を大きく変化させることができ、電磁波制御素子としての機能を随時制御可能となる。  The electromagnetic wave control element of the present embodiment realizes a structure corresponding to the periodic structure of the refractive index change in the photonic crystal by utilizing the above-mentioned characteristics of plasma. This makes it possible to greatly change the physical properties such as the refractive index of the plasma by adjusting the electron density in the plasma and the collision frequency, that is, adjusting the supply power and the gas pressure. It becomes controllable.

ここで、2次元的に周期的にプラズマを配列させることにより構成された2次元プラズマアレイに電磁波を透過させることにより、その電磁波の伝播状態を様々に制御可能であることを説明する。  Here, it will be described that the propagation state of the electromagnetic waves can be variously controlled by transmitting the electromagnetic waves through a two-dimensional plasma array configured by arranging plasmas two-dimensionally and periodically.

2次元プラズマアレイの一例として、正方格子状にプラズマを配列させた構成、より具体的には、格子間隔距離(格子定数)が2.5mmの各格子点に、直径1.0mmの柱状(その軸方向は格子平面に垂直)のプラズマがそれぞれ生成されている構成を想定する。なお、各プラズマの電子密度は1×1013cm−3(プラズマ周波数ωpe/2π=28GHz)、プラズマを生成するための電離対象となるガス圧力は30kPa、ガス種はヘリウムとする。また、制御対象となる電磁波は、電磁波モードがTEモード(電界の方向が格子面に平行)、伝播方向が格子面に平行であるものとする。As an example of a two-dimensional plasma array, a configuration in which plasmas are arranged in a square lattice, more specifically, at each lattice point with a lattice spacing distance (lattice constant) of 2.5 mm, a column with a diameter of 1.0 mm (that It is assumed that plasma is generated in the axial direction (perpendicular to the lattice plane). The electron density of each plasma is 1×10 13 cm −3 (plasma frequency ω pe /2π=28 GHz), the gas pressure of the ionization target for generating plasma is 30 kPa, and the gas species is helium. The electromagnetic wave to be controlled has an electromagnetic wave mode of TE mode (electric field direction is parallel to the lattice plane) and a propagation direction is parallel to the lattice plane.

このときの電磁波の分散関係を理論的に導出すると、その理論曲線は図14のようになる。この分散関係は設定するパラメータによって大きく変化するが、以下に説明する特性は、定性的にはパラメータに依存しない共通の内容である。  When the dispersion relation of electromagnetic waves at this time is theoretically derived, the theoretical curve is as shown in FIG. Although this dispersion relationship changes greatly depending on the parameters to be set, the characteristics described below are qualitatively common contents that do not depend on the parameters.

まず、プラズマ周波数(28GHz)よりも低周波数側には、「フラットバンド領域」と呼ばれるごく狭い周波数帯に、波数に対してほぼ一定の周波数をとる伝播モードが現れる。この伝播モードの存在する領域は、先に述べたプラズマの金属的振舞いと異常分散とが生じる領域にほぼ対応している。したがって、プラズマ中のこれらの現象とプラズマ自体が2次元周期構造をとることとに由来して上記伝播モードが生じることになる。このように、2次元プラズマアレイ内における屈折率変化が大きくなることによって上記伝播モードが生じることにより、2次元プラズマアレイを透過する電磁波の量を大きく増加させたり減少させたりすることができるものと考えられる。このような電磁波の透過量の制御は、誘電体のフォトニック結晶では実現し得ない、2次元プラズマアレイに特有の特性である。  First, on the lower frequency side of the plasma frequency (28 GHz), a propagation mode having a substantially constant frequency with respect to the wave number appears in a very narrow frequency band called a "flat band region". The region in which this propagation mode exists substantially corresponds to the region where the metallic behavior of plasma and the anomalous dispersion described above occur. Therefore, the above-mentioned propagation modes occur due to these phenomena in the plasma and the fact that the plasma itself has a two-dimensional periodic structure. As described above, the propagation mode is generated due to the large change in the refractive index in the two-dimensional plasma array, so that the amount of electromagnetic waves transmitted through the two-dimensional plasma array can be greatly increased or decreased. Conceivable. Such control of the amount of transmission of electromagnetic waves is a characteristic peculiar to a two-dimensional plasma array that cannot be realized by a dielectric photonic crystal.

次に、フラットバンド領域とプラズマ周波数(28GHz)に相当する周波数との間には、伝播モードが存在しない禁制帯が生じる。この禁制帯では、無限に大きな2次元プラズマアレイを考えた場合、電磁波はこの2次元プラズマアレイ内を伝播できず、この2次元プラズマアレイによって遮断されることになる。有限の大きさの2次元プラズマアレイの場合は、プラズマ密度(すなわち透過する電磁波の周波数に対する屈折率)と2次元プラズマアレイの大きさとに応じて、透過する電磁波の減衰量が決まることになる。このような電磁波の透過量の制御も、誘電体のフォトニック結晶では実現し得ない、2次元プラズマアレイに特有の特性である。  Next, a forbidden band in which no propagation mode exists is generated between the flat band region and the frequency corresponding to the plasma frequency (28 GHz). In this forbidden band, when an infinitely large two-dimensional plasma array is considered, electromagnetic waves cannot propagate in this two-dimensional plasma array and are blocked by this two-dimensional plasma array. In the case of a two-dimensional plasma array having a finite size, the attenuation amount of the transmitted electromagnetic wave is determined according to the plasma density (that is, the refractive index of the transmitted electromagnetic wave with respect to the frequency) and the size of the two-dimensional plasma array. Such control of the amount of transmission of electromagnetic waves is a characteristic peculiar to the two-dimensional plasma array that cannot be realized by the photonic crystal of the dielectric.

さらに、プラズマ周波数が上がって、(プラズマ周波数×格子定数/光速)=0.5となる条件、つまり、格子定数が電磁波の波長の1/2となる条件よりも少し高い周波数側にも禁制帯が生じる。この禁制帯においても、無限に大きな2次元プラズマアレイを考えた場合、電磁波はこの2次元プラズマアレイ内を伝播できず、この2次元プラズマアレイによって遮断されることになる。有限の大きさの2次元プラズマアレイの場合は、プラズマ密度(すなわち透過する電磁波の周波数に対する屈折率)と2次元プラズマアレイの大きさとに応じて、透過する電磁波の減衰量が決まることになる。この現象は、誘電体のフォトニック結晶と同様の禁制帯の発現現象である。ただし、2次元プラズマアレイの場合は、先に述べたように、プラズマ密度を時間的にかつ空間的に制御できるので、禁制帯が生じる時間や周波数を容易に制御できる。  Furthermore, the forbidden band is on the frequency side slightly higher than the condition that (plasma frequency × lattice constant/light velocity) = 0.5, that is, the condition that the lattice constant is 1/2 of the wavelength of electromagnetic waves, as the plasma frequency increases. Occurs. Even in this forbidden band, when considering an infinitely large two-dimensional plasma array, electromagnetic waves cannot be propagated in this two-dimensional plasma array and are blocked by this two-dimensional plasma array. In the case of a two-dimensional plasma array having a finite size, the attenuation amount of the transmitted electromagnetic wave is determined according to the plasma density (that is, the refractive index of the transmitted electromagnetic wave with respect to the frequency) and the size of the two-dimensional plasma array. This phenomenon is a phenomenon of a forbidden band similar to that of a dielectric photonic crystal. However, in the case of a two-dimensional plasma array, as described above, the plasma density can be temporally and spatially controlled, so that the time and frequency at which the forbidden band occurs can be easily controlled.

また、2次元プラズマアレイ内における電磁波の伝播を解析してみると、以下のような内容も明らかとなった。上記において想定した2次元プラズマアレイの電磁波及びプラズマパラメータに関して、プラズマ周波数(28GHz)よりもやや高周波数側の電磁波の伝播を、2次元波数平面上の等周波数線の分布として図示すると図15のようになった。なお、図15中「X方向波数」及び「Y方向波数」の「X方向」及び「Y方向」は、2次元プラズマアレイの格子の配列方向(行方向及び列方向)を意味する。  Moreover, when the propagation of electromagnetic waves in the two-dimensional plasma array was analyzed, the following contents became clear. Regarding the electromagnetic waves and plasma parameters of the two-dimensional plasma array assumed above, the propagation of electromagnetic waves on the slightly higher frequency side than the plasma frequency (28 GHz) is illustrated as a distribution of equifrequency lines on the two-dimensional wave number plane, as shown in FIG. Became. In FIG. 15, “X direction” and “Y direction” of “X direction wave number” and “Y direction wave number” mean the array direction (row direction and column direction) of the lattice of the two-dimensional plasma array.

通常の電磁波の伝播では、2次元波数平面上では周波数が同心円状に変化するが、電磁波の周波数がプラズマ周波数に近づくと等周波数線が歪められ、群速度(dω/dt)の異方性が生じる(なお、群速度の方向は、等周波数線上の任意の点における法線方向に一致している)。すなわち、図15に示すように、群速度はX方向及びY方向への指向性を有することになる。  In normal electromagnetic wave propagation, the frequency changes concentrically on the two-dimensional wave number plane, but as the frequency of the electromagnetic wave approaches the plasma frequency, the equi-frequency lines are distorted, and the anisotropy of the group velocity (dω/dt) changes. Occurs (note that the direction of the group velocity coincides with the normal direction at any point on the isofrequency line). That is, as shown in FIG. 15, the group velocity has directivity in the X direction and the Y direction.

電磁波のエネルギーは概ね群速度方向に流れるので、上記のように等周波数線が歪められた電磁波については、そのエネルギーはX方向及びY方向への指向性が付与されることになる。したがって、進行方向がほぼX方向に向くようにして電磁波を2次元プラズマアレイに入射させると、その電磁波は、2次元プラズマアレイが存在しない場合には幾分発散しながら伝播するのに対して、2次元プラズマアレイが存在する場合にはエネルギーの流れがよりX方向を向くように指向性が付与されることになり、その結果、2次元プラズマアレイを透過する電磁波の量が増大すると考えられる。このような電磁波の透過量の制御も、誘電体のフォトニック結晶では実現し得ない、2次元プラズマアレイに特有の特性である。  Since the energy of the electromagnetic wave generally flows in the direction of the group velocity, the electromagnetic wave having the distorted equal frequency lines as described above is given directivity in the X and Y directions. Therefore, when an electromagnetic wave is made incident on the two-dimensional plasma array so that the traveling direction is almost in the X direction, the electromagnetic wave propagates while diverging somewhat when the two-dimensional plasma array does not exist. When the two-dimensional plasma array is present, the directivity is given so that the energy flow is directed more in the X direction, and as a result, the amount of electromagnetic waves passing through the two-dimensional plasma array is considered to increase. Such control of the amount of transmission of electromagnetic waves is a characteristic peculiar to the two-dimensional plasma array that cannot be realized by the photonic crystal of the dielectric.

次に、本実施形態の電磁波制御素子及びこれを用いた電磁波制御装置の構成について説明する。本実施形態の電磁波制御装置1の全体構成を図1に示し、図1におけるA−A線矢視断面図を図2に示す。  Next, the configurations of the electromagnetic wave control element of the present embodiment and an electromagnetic wave control device using the same will be described. The overall configuration of the electromagnetic wave control device 1 of the present embodiment is shown in FIG. 1, and a sectional view taken along the line AA in FIG. 1 is shown in FIG.

電磁波制御装置1は、電磁波制御素子2と、電磁波制御素子2への供給電力を制御する電力制御システム3と、電磁波制御素子2内のガスを制御するガス制御システム4とを備えている。  The electromagnetic wave control device 1 includes an electromagnetic wave control element 2, a power control system 3 that controls the power supplied to the electromagnetic wave control element 2, and a gas control system 4 that controls the gas in the electromagnetic wave control element 2.

電磁波制御素子2は、筐体21と、筐体21内部に配置された多数の電極22a・22bとを備えている。  The electromagnetic wave control element 2 includes a housing 21 and a large number of electrodes 22a and 22b arranged inside the housing 21.

筐体21は、直方体の外形を有する箱状の容器であり、内部に所定のガスを保持できるように、ガス供給口21a及びガス排出口21bを除いて密封された構造となっている。  The housing 21 is a box-shaped container having a rectangular parallelepiped outer shape, and has a structure that is sealed except for the gas supply port 21a and the gas discharge port 21b so that a predetermined gas can be held inside.

筐体21の内部上面には、多数の電極22aが正方格子状(行列状)に配置されているとともに、筐体21の内部下面にも、電極22aにそれぞれ対向するように多数の電極22bが正方格子状に配置されている。  A large number of electrodes 22a are arranged in a square lattice (matrix) on the inner upper surface of the casing 21, and a large number of electrodes 22b are also arranged on the inner lower surface of the casing 21 so as to face the electrodes 22a. They are arranged in a square lattice.

電力制御システム3は、電力を発生する電源31と、電源31からの電力の供給を制御する電力制御器32と、電源31と電力制御器32と電磁波制御素子2との間を接続する電気配線とを備えている。  The power control system 3 includes a power source 31 that generates power, a power controller 32 that controls the supply of power from the power source 31, and an electrical wiring that connects the power source 31, the power controller 32, and the electromagnetic wave control element 2. It has and.

電源31は、正弦波や矩形波の波形を有する交流電力を発生する。電源31によって発生された電力は、電力制御器32に供給される。  The power supply 31 generates AC power having a sine wave or a rectangular wave. The power generated by the power supply 31 is supplied to the power controller 32.

電力制御器32は、電源31から供給された電力を調整し、かつ、選択的に電極22aに供給する。すなわち、電力制御器32は、電極22aに印加する電圧(なお、電極22bは接地されている)を調整することにより供給する電力を調整するとともに、多数の電極22aの中から選択されたものに対して調整された電力を供給する。電力を供給すべき電極22aは予め設定されており、その設定は変更可能である。  The power controller 32 regulates the power supplied from the power supply 31 and selectively supplies the power to the electrode 22a. That is, the power controller 32 adjusts the power to be supplied by adjusting the voltage applied to the electrode 22a (the electrode 22b is grounded), and the power controller 32 selects one selected from a large number of electrodes 22a. It supplies regulated electric power. The electrode 22a to be supplied with electric power is preset, and the setting can be changed.

ガス制御システム4は、真空ポンプ41と、ガスボンベ42と、排気弁43aと、吸気弁43bと、吸排気制御器44と、これらと電磁波制御素子2のガス供給口21a及びガス排出口21bとをつなぐ配管とを備えている。  The gas control system 4 includes a vacuum pump 41, a gas cylinder 42, an exhaust valve 43a, an intake valve 43b, an intake/exhaust controller 44, and the gas supply port 21a and the gas exhaust port 21b of the electromagnetic wave control element 2. It is equipped with connecting piping.

このガス制御システム4により、電磁波制御素子2内部のガスの排気、所定ガスの充填、ガス圧力の調整を行うことができる。  The gas control system 4 can exhaust gas inside the electromagnetic wave control element 2, fill a predetermined gas, and adjust gas pressure.

以上のような構成を有する電磁波制御装置1による電磁波の制御動作について説明する。  An electromagnetic wave control operation by the electromagnetic wave control device 1 having the above configuration will be described.

初期状態では電磁波制御素子2内部に空気が充填されており、この空気を真空ポンプ41により排気する。これにより真空状態となった電磁波制御素子2内部に、ガスボンベ42より所定のガス(例えばヘリウム)を送り込むことによって電磁波制御素子2内部にこのガスを充填する。電磁波制御素子2内部におけるガス圧力は、吸排気制御器44によって排気弁43a及び吸気弁43bの開閉を制御することによって調整する。  In the initial state, the electromagnetic wave control element 2 is filled with air, and this air is exhausted by the vacuum pump 41. As a result, a predetermined gas (for example, helium) is fed from the gas cylinder 42 into the electromagnetic wave control element 2 that is in a vacuum state, so that the electromagnetic wave control element 2 is filled with this gas. The gas pressure inside the electromagnetic wave control element 2 is adjusted by controlling the opening/closing of the exhaust valve 43a and the intake valve 43b by the intake/exhaust controller 44.

そして、電源31からの電力の供給を開始し、電力制御器32によって所定の電極22aに所定の電圧を印加する。これにより、電圧が印加された電極22aとこれに対向する電極22bとの間においてプラズマPを生成する。  Then, the power supply from the power source 31 is started, and the power controller 32 applies a predetermined voltage to the predetermined electrode 22a. As a result, plasma P is generated between the electrode 22a to which the voltage is applied and the electrode 22b facing the electrode 22a.

図1及び図2では、全ての電極22aに対して電圧を印加することにより、全ての電極22aと電極22bとの間にプラズマPを生成した状態を示している。このとき、電磁波制御素子2内部には2次元的に周期的にプラズマPが分布することになる。  1 and 2 show a state in which plasma P is generated between all electrodes 22a and 22b by applying a voltage to all electrodes 22a. At this time, the plasma P is two-dimensionally and periodically distributed inside the electromagnetic wave control element 2.

そして、外部より電磁波制御素子2に対して、プラズマPの配列に沿った方向に制御対象となる電磁波Rを入射させる。入射された電磁波Rは、電磁波制御素子2内部において、プラズマPによって実現される屈折率変化の周期構造の影響を受け、その伝播状態が制御される。  Then, the electromagnetic wave R to be controlled is incident on the electromagnetic wave control element 2 from the outside in the direction along the arrangement of the plasma P. The incident electromagnetic wave R is affected by the periodic structure of the refractive index change realized by the plasma P inside the electromagnetic wave control element 2, and its propagation state is controlled.

なお、電磁波制御素子2の筐体21における電磁波Rが入射される入射部21c、及び電磁波Rが出射される出射部21dは、電磁波Rを透過する材質によって構成されている。  The incident portion 21c of the casing 21 of the electromagnetic wave control element 2 that receives the electromagnetic wave R and the emitting portion 21d that emits the electromagnetic wave R are made of a material that transmits the electromagnetic wave R.

電磁波Rの伝播状態の制御には、電磁波Rの集束又は発散状態の制御、進行方向の制御、減衰(透過)の制御、共振の制御が含まれる。このとき、電磁波制御素子2はそれぞれレンズ、光路制御器(導波路)、周波数フィルタ、共振器として機能する。  The control of the propagation state of the electromagnetic wave R includes control of the focused or divergent state of the electromagnetic wave R, control of the traveling direction, control of attenuation (transmission), and control of resonance. At this time, the electromagnetic wave control element 2 functions as a lens, an optical path controller (waveguide), a frequency filter, and a resonator, respectively.

これらの制御は、上述したプラズマ中の電子密度や衝突周波数の調整に加えて、プラズマPの配置の調整(プラズマの分布状態の制御)によって実現することができる。  These controls can be realized by adjusting the arrangement of the plasma P (controlling the distribution state of the plasma) in addition to adjusting the electron density and the collision frequency in the plasma described above.

図3から図5に基づいて、プラズマPの配置の調整例についてついて説明する。図3に示すように、電極22bの1行1列おきにプラズマPを発生させることにより、プラズマPの分布する周期を長くすることができる。また、図4に示すように、電極22bの行方向及び列方向に交互にプラズマPを発生させることにより、プラズマPを三角格子状に分布させることもできる。さらに、図5に示すように、プラズマPの周期構造の中に線欠陥LD又は点欠陥PDを形成することもできる。  An example of adjusting the arrangement of the plasma P will be described based on FIGS. 3 to 5. As shown in FIG. 3, by generating the plasma P every other row and every other column of the electrode 22b, the period in which the plasma P is distributed can be lengthened. Further, as shown in FIG. 4, the plasma P can be distributed in a triangular lattice shape by alternately generating the plasma P in the row direction and the column direction of the electrodes 22b. Furthermore, as shown in FIG. 5, a line defect LD or a point defect PD can be formed in the periodic structure of the plasma P.

このようなプラズマPの配置の調整は、上述したように、電力制御器32によって電力を供給する電極22aを選択することによって実現することができる。従来のフォトニック結晶の場合でも、当該フォトニック結晶を構成する部材の形状を設定することによって屈折率変化の周期構造を設定することはできるが、従来のフォトニック結晶の場合には一旦形状を決定するとその形状を変更することは困難である。これに対して、電磁波制御装置1では、電力制御器32によるプラズマPの配置の変更によって屈折率変化の周期構造を容易に変更することができる。  Such adjustment of the arrangement of the plasma P can be realized by selecting the electrode 22a that supplies power by the power controller 32, as described above. Even in the case of the conventional photonic crystal, it is possible to set the periodic structure of the refractive index change by setting the shape of the member that constitutes the photonic crystal. Once determined, it is difficult to change its shape. On the other hand, in the electromagnetic wave control device 1, the periodic structure of the refractive index change can be easily changed by changing the arrangement of the plasma P by the power controller 32.

(実施例1)
上記構成の電磁波制御装置1を用いた電磁波制御の具体例を以下に示す。電磁波制御装置1における各制御パラメータの具体的な値は以下の通りである。
(Example 1)
A specific example of electromagnetic wave control using the electromagnetic wave control device 1 having the above configuration is shown below. Specific values of each control parameter in the electromagnetic wave control device 1 are as follows.

電磁波制御素子2に入射させる電磁波R、つまり制御対象となる電磁波Rは、周波数帯が10〜100GHzであり、電磁波モードがTEモード(電界の方向がプラズマPの周期的配列面に平行)である。プラズマPの電子密度は2〜3×1013cm−3(ωpe/2π=40〜49GHz)、筐体21内のガス圧力は30〜100kPa、筐体21内のガス種はヘリウムである。筐体21は8mm(図1における縦方向)×50mm(図1における奥行き方向)×70mm(図1における横方向)であり、入射部21c及び出射部21dは8mm×50mmである。電極22a・22bの正方格子状の配置における格子間距離は2.1mm(図2における縦及び横方向)であり、電極22a・22bは直径1.4mmのものをそれぞれ20個(電磁波Rの進行方向)×20個(電磁波Rの幅方向)配置した。また、各プラズマPの直径は約1.4mmとなった。The electromagnetic wave R incident on the electromagnetic wave control element 2, that is, the electromagnetic wave R to be controlled has a frequency band of 10 to 100 GHz and an electromagnetic wave mode of TE mode (the direction of the electric field is parallel to the periodic array surface of the plasma P). .. The electron density of the plasma P is 2 to 3×10 13 cm −3pe /2π=40 to 49 GHz), the gas pressure in the housing 21 is 30 to 100 kPa, and the gas species in the housing 21 is helium. The housing 21 is 8 mm (longitudinal direction in FIG. 1)×50 mm (depth direction in FIG. 1)×70 mm (horizontal direction in FIG. 1), and the incident portion 21c and the emitting portion 21d are 8 mm×50 mm. The inter-lattice distance of the electrodes 22a and 22b in the square lattice arrangement is 2.1 mm (longitudinal and lateral directions in FIG. 2), and the electrodes 22a and 22b each have a diameter of 1.4 mm (20 electromagnetic waves R traveling). Direction)×20 pieces (width direction of the electromagnetic wave R) are arranged. The diameter of each plasma P was about 1.4 mm.

次に、制御パラメータを上記のとおり設定した電磁波制御装置1の電磁波の制御特性を説明する。  Next, the electromagnetic wave control characteristics of the electromagnetic wave control device 1 in which the control parameters are set as described above will be described.

電磁波制御素子2に入射される電磁波Rの周波数を変化させたところ、周波数が35GHz以上では電磁波制御素子2から出射される電磁波Rの出射部21d中央でのエネルギー密度が約30%減少するのに対し、周波数が35GHz以下ではエネルギー密度が約400%まで増大した。つまり、この場合の電磁波制御素子2は入射される電磁波Rを集光するレンズとして機能することが確認できた。  When the frequency of the electromagnetic wave R incident on the electromagnetic wave control element 2 was changed, the energy density of the electromagnetic wave R emitted from the electromagnetic wave control element 2 at the center of the emission portion 21d was reduced by about 30% when the frequency was 35 GHz or higher. On the other hand, when the frequency is 35 GHz or less, the energy density increased to about 400%. That is, it was confirmed that the electromagnetic wave control element 2 in this case functions as a lens for condensing the incident electromagnetic wave R.

この集光現象は、衝突性プラズマの表皮深さ部におけるω<ωpeのときの異常分散その他の効果により説明できる。This condensing phenomenon can be explained by anomalous dispersion and other effects when ω<ω pe in the skin depth portion of the colliding plasma.

通常電磁波は、ややその伝播断面を広げながら電磁波制御素子2を通過していく。そして、衝突性プラズマによりそのエネルギーの一部が消費されて出射される。これが、周波数が35GHz以上の場合に相当するものと考えられる。  Normally, the electromagnetic wave passes through the electromagnetic wave control element 2 while slightly expanding its propagation cross section. Then, a part of the energy is consumed by the collisional plasma and is emitted. This is considered to correspond to the case where the frequency is 35 GHz or higher.

一方、ω<ωpeのとき、電磁波はプラズマPの異常分散に影響されて、その伝播断面を狭めながら伝播する。そして、衝突性プラズマによるエネルギー消費がありながらも、プラズマPの間隙ではそのようなエネルギー消費も無く、結果として出射部21d中央ではエネルギー密度が上昇する。これが、周波数が35GHz以下の場合に相当するものと考えられる。On the other hand, when ω<ω pe , the electromagnetic wave is affected by the anomalous dispersion of the plasma P and propagates while narrowing its propagation cross section. Then, although the energy is consumed by the collisional plasma, there is no such energy consumption in the gap of the plasma P, and as a result, the energy density is increased in the center of the emitting portion 21d. This is considered to correspond to the case where the frequency is 35 GHz or less.

以上は、プラズマの異常分散の効果を中心に説明したが、屈折率の2次元周期的変化によって生じる集光効果(例えば、P.V.Parimi,W.T.Lu,P.Vodo,and S.Sridhar,Nature,vol.426(2003),p.404参照)もこの結果に寄与しているものと考えられる。  The above description is centered on the effect of the anomalous dispersion of plasma, but the light-collecting effect caused by the two-dimensional periodic change in the refractive index (for example, P.V.Parimi, WT.Lu, P.Vodo, and S Sridhar, Nature, vol. 426 (2003), p.404) is also considered to contribute to this result.

あるいは、下記のような2次元プラズマアレイに独特の異常伝播現象もこの結果に寄与していると考えられる。すなわち、上記電磁波Rの周波数帯10〜100GHzのうち、伝播している周波数帯は、プラズマ周波数(ωpe/2π=40〜49GHz)よりもやや低い周波数帯であり、これは図14を用いて説明したフラットバンド領域に相当する。すなわち、観測された電磁波信号の増大は、フラットバンド領域に起因する屈折率の変化による透過量の増大も、原因の一つである。以上のように、この電磁波信号の増大現象はこれら複数の効果が重なり合ったものと考えられ、2次元プラズマアレイにより初めて実現される現象である。Alternatively, it is considered that the abnormal propagation phenomenon unique to the two-dimensional plasma array as described below also contributes to this result. That is, in the frequency band 10 to 100 GHz of the electromagnetic wave R, the propagating frequency band is a frequency band slightly lower than the plasma frequency (ω pe /2π=40 to 49 GHz), which is shown in FIG. It corresponds to the described flat band region. That is, the increase of the observed electromagnetic wave signal is also one of the causes of the increase of the transmission amount due to the change of the refractive index due to the flat band region. As described above, this phenomenon of increasing the electromagnetic wave signal is considered to be a combination of these effects, and is the first phenomenon to be realized by the two-dimensional plasma array.

この現象は、TEモードに対して特徴的に現れる。これは、TEモードはω<ωpeのときでもプラズマPの長手方向(図1における縦方向)に沿った電界成分を持たず、遮断されにくいことに起因している。This phenomenon is characteristic of the TE mode. This is because the TE mode does not have an electric field component along the longitudinal direction (vertical direction in FIG. 1) of the plasma P even when ω<ω pe , and it is difficult to be blocked.

この集光現象は、プラズマPの生成用電力を弱くすることにより消失した。このことは、プラズマPの電子密度の調整により、上記現象を発現させるかどうかを制御可能であることを示している。  This condensing phenomenon disappeared by weakening the power for generating the plasma P. This indicates that by adjusting the electron density of the plasma P, it is possible to control whether or not the above phenomenon is exhibited.

また、別の周波数帯においても電磁波信号の増大現象が観測された。周波数が43GHzから45GHzにわたり、電磁波信号が110〜150%に増加した。この現象が生じた理由は、下記のような2次元プラズマアレイに独特の異常伝播現象が寄与していると考えられる。すなわち、伝播している電磁波は、プラズマ周波数(ωpe/2π=40〜49GHz)と同じかやや高い周波数の領域であり、この領域では、図15に示したように群速度の異方性が生じる。これに伴い、電磁波のエネルギーは、より電磁波の進行方向に向かって流れるように指向性が付与され、出射部21dにおいて観測される電磁波量が増大したものと考えられる。In addition, an increase phenomenon of the electromagnetic wave signal was also observed in another frequency band. The electromagnetic wave signal increased to 110 to 150% over the frequency range of 43 GHz to 45 GHz. The reason for this phenomenon is considered to be that the following abnormal propagation phenomenon unique to the two-dimensional plasma array contributes. That is, the propagating electromagnetic wave is in the region of a frequency that is the same as or slightly higher than the plasma frequency (ω pe /2π=40 to 49 GHz), and in this region, the anisotropy of the group velocity is as shown in FIG. Occurs. Along with this, it is considered that the energy of the electromagnetic wave is provided with directivity so as to flow toward the traveling direction of the electromagnetic wave, and the amount of the electromagnetic wave observed at the emitting portion 21d is increased.

逆に、プラズマPをアーク放電により生成して電子密度を高くすることにより、制御対象となる電磁波の周波数帯を変化させることができる。例えば、アーク放電を用いることにより電子密度として3×1016cm−3程度のプラズマを得ることができ、そのときにはω=ωpeとなる条件が1THz程度となり、その周波数帯が制御対象となる。このようにして、電子密度を変化させることにより、様々な周波数帯の電磁波の制御に有効に作用する。On the contrary, the frequency band of the electromagnetic wave to be controlled can be changed by generating the plasma P by arc discharge and increasing the electron density. For example, by using arc discharge, plasma with an electron density of about 3×10 16 cm −3 can be obtained. At that time, the condition of ω=ω pe is about 1 THz, and the frequency band is a control target. In this way, by changing the electron density, it effectively acts on the control of electromagnetic waves in various frequency bands.

なお、プラズマP間の距離を変化させると、その変化に対して制御対象の周波数が逆比例的に変化する。また、プラズマPの直径を変化させると、直径の拡大によって制御対象の周波数帯が拡大する。  When the distance between the plasmas P is changed, the frequency of the controlled object changes in inverse proportion to the change. Further, when the diameter of the plasma P is changed, the frequency band to be controlled expands due to the expansion of the diameter.

また、本実施例においては、プラズマPを周期構造体の構成要素として用いる種々の効果に加えて、電磁波制御素子2の外形は単純な平板構造であることから、製造や配置が容易になるという効果を有している。従来の誘電体物質により形成される凸構造を持ったレンズは、レンズ曲面の磨きだしが必要となるため製造が困難であり、また、外形が凸構造であることから配置の制約を受けやすい。  In addition, in the present embodiment, in addition to the various effects of using the plasma P as a constituent element of the periodic structure, the outer shape of the electromagnetic wave control element 2 is a simple flat plate structure, which facilitates manufacturing and arrangement. Have an effect. A conventional lens having a convex structure formed of a dielectric material is difficult to manufacture because it requires polishing of a curved surface of the lens, and its outer shape is a convex structure, and therefore the layout is likely to be restricted.

本実施例のようなレンズ機能は、レーダーの出力部に用いることができる。レーダーの出力部では、出力する電磁波に集束性をもたせるために、通常は誘電体レンズが使用されており、この誘電体レンズに代えて上記電磁波制御装置1を設けることができる。これにより、対応周波数及び指向性を変更でき、かつ、凸構造ではなく平板構造であることから製造しやすく簡易構造のレンズを実現することができる。  The lens function as in this embodiment can be used for the output section of the radar. In the output part of the radar, a dielectric lens is usually used in order to provide the output electromagnetic wave with a focusing property, and the electromagnetic wave control device 1 can be provided in place of the dielectric lens. This makes it possible to change the corresponding frequency and directivity, and to realize a lens having a simple structure that is easy to manufacture because it has a flat plate structure instead of a convex structure.

また、本実施例のようなレンズ機能は、前述のアーク放電等による高電子密度のプラズマPを用いることにより、テラヘルツ帯の周波数を有する電磁波においても活用できる。すなわち、テラヘルツ分光イメージング法においてサンプルの透過光を観測する場合、サンプルへの入射光やサンプルからの透過光を集光する必要が生じるが、そのときに本実施例のような可変レンズ機能が有効である。  In addition, the lens function as in the present embodiment can be utilized even for electromagnetic waves having a frequency in the terahertz band by using the plasma P having a high electron density due to the above-mentioned arc discharge or the like. That is, when observing the transmitted light of the sample in the terahertz spectral imaging method, it is necessary to collect the incident light to the sample and the transmitted light from the sample. At that time, the variable lens function as in this embodiment is effective. Is.

(実施例2)
次に、上記構成の電磁波制御装置1を用いた電磁波制御の他の具体例を以下に示す。電磁波制御装置1における各制御パラメータの具体的な値は以下の通りである。
(Example 2)
Next, another specific example of electromagnetic wave control using the electromagnetic wave control device 1 having the above configuration will be described below. Specific values of each control parameter in the electromagnetic wave control device 1 are as follows.

電磁波制御素子2に入射させる電磁波R、つまり制御対象となる電磁波Rは、周波数帯が10〜100GHzであり、電磁波モードがTMモード(電界の方向がプラズマPの周期的配列面に垂直)である。プラズマPの電子密度は2〜3×1013cm−3(ωpe/2π=40〜49GHz)、筐体21内のガス圧力は30〜100kPa、筐体21内のガス種はヘリウムである。筐体21は8mm(図1における縦方向)×50mm(図1における奥行き方向)×70mm(図1における横方向)であり、入射部21c及び出射部21dは8mm×50mmである。電極22a・22bの正方格子状の配置における格子間距離は5.0mm(図2における縦及び横方向)であり、電極22a・22bは直径2.0mmのものをそれぞれ20個(電磁波Rの進行方向)×20個(電磁波Rの幅方向)配置した。また、各プラズマPの直径は約2.0mmとなった。The electromagnetic wave R incident on the electromagnetic wave control element 2, that is, the electromagnetic wave R to be controlled has a frequency band of 10 to 100 GHz and an electromagnetic wave mode of TM mode (the direction of the electric field is perpendicular to the periodic array surface of the plasma P). .. The electron density of the plasma P is 2 to 3×10 13 cm −3pe /2π=40 to 49 GHz), the gas pressure in the housing 21 is 30 to 100 kPa, and the gas species in the housing 21 is helium. The housing 21 is 8 mm (longitudinal direction in FIG. 1)×50 mm (depth direction in FIG. 1)×70 mm (horizontal direction in FIG. 1), and the incident portion 21c and the emitting portion 21d are 8 mm×50 mm. The inter-lattice distance in the arrangement of the electrodes 22a and 22b in a square lattice is 5.0 mm (longitudinal and lateral directions in FIG. 2), and the electrodes 22a and 22b each have a diameter of 2.0 mm and 20 electrodes each (the electromagnetic wave R travels). Direction)×20 pieces (width direction of the electromagnetic wave R) are arranged. The diameter of each plasma P was about 2.0 mm.

次に、制御パラメータを上記のとおり設定した電磁波制御装置1の電磁波の制御特性を説明する。  Next, the electromagnetic wave control characteristics of the electromagnetic wave control device 1 in which the control parameters are set as described above will be described.

電磁波制御素子2に入射される電磁波Rの周波数を変化させたところ、周波数が45GHz以上では電磁波制御素子2から出射される電磁波Rの出射部21d中央でのエネルギー密度が約30%減少するのに対し、周波数が40〜45GHzではエネルギー密度が約90%減少した。つまり、この場合の電磁波制御素子2は入射される所定の周波数帯の電磁波Rを遮断するフィルタとして機能することが確認できた。  When the frequency of the electromagnetic wave R incident on the electromagnetic wave control element 2 is changed, the energy density of the electromagnetic wave R emitted from the electromagnetic wave control element 2 at the center of the emission portion 21d is reduced by about 30% when the frequency is 45 GHz or higher. On the other hand, when the frequency is 40 to 45 GHz, the energy density is reduced by about 90%. That is, it was confirmed that the electromagnetic wave control element 2 in this case functions as a filter that blocks the incident electromagnetic wave R in a predetermined frequency band.

この遮断現象は、電磁波がTMモードであり周波数がω<ωpeであることにより説明できる。つまり、TMモードの電磁波はプラズマPの長手方向に沿った電界成分しか持たないため、プラズマPの生成により電界が存在できなくなり、多くの電磁波が遮断されることに起因しているものと考えられる。This interruption phenomenon can be explained by the fact that the electromagnetic wave is in the TM mode and the frequency is ω<ω pe . In other words, it is considered that the TM-mode electromagnetic wave has only an electric field component along the longitudinal direction of the plasma P, so that the electric field cannot exist due to the generation of the plasma P and many electromagnetic waves are blocked. ..

より詳しくは、多数のプラズマPが2次元周期構造となっている効果により説明できる。すなわち、プラズマP内部では、式(1)又は式(3)で示される比誘電率εがプラズマPの周囲の部分とは異なるため、フォトニック結晶と同じ原理でいわゆる禁制帯構造が生じたためであるものと考えられる。More specifically, it can be explained by the effect that a large number of plasmas P have a two-dimensional periodic structure. That is, inside the plasma P, the relative permittivity ε r represented by the equation (1) or the equation (3) is different from the surrounding portion of the plasma P, so that a so-called forbidden band structure is generated by the same principle as the photonic crystal. Is considered to be.

この遮断現象は、プラズマPの生成用電力を弱くすることにより消失した。このことは、プラズマPの電子密度の調整により、上記現象を発現させるかどうかを制御可能であることを示している。  This interruption phenomenon disappeared by weakening the power for generating the plasma P. This indicates that it is possible to control whether or not the above phenomenon is caused by adjusting the electron density of the plasma P.

なお、プラズマP間の距離を変化させると、その変化に対して制御対象の周波数が逆比例的に変化する。また、プラズマPの直径を変化させると、直径の拡大によって制御対象の周波数帯が拡大する。  When the distance between the plasmas P is changed, the frequency of the controlled object changes in inverse proportion to the change. Further, when the diameter of the plasma P is changed, the frequency band to be controlled expands due to the expansion of the diameter.

本実施例のようなフィルタ機能は、一般の電磁波送信部(発信源、フィルタ、増幅器及びアンテナ)、又は受信部(アンテナ、増幅器、フィルタ、自己ヘテロダインミクサ及び出力端子)におけるフィルタの代わりに用いることができる。この場合、対応周波数を変更することができるので、今後発展が見込まれるUWB(ウルトラワイドバンド)対応機器におけるフィルタとして最適である。  The filter function as in this embodiment should be used in place of the filter in a general electromagnetic wave transmitter (source, filter, amplifier and antenna) or receiver (antenna, amplifier, filter, self-heterodyne mixer and output terminal). You can In this case, since the corresponding frequency can be changed, it is most suitable as a filter in a UWB (Ultra Wide Band) compatible device that is expected to develop in the future.

また、本実施例のようなレンズ機能は、前述のアーク放電等による高電子密度のプラズマPを用いることにより、テラヘルツ帯の周波数を有する電磁波においても活用できる。すなわち、様々な周波数の電磁波が混在するテラヘルツ波において、特定波長の抽出を行う必要が生じることがあり、そのときに本実施例のような可変フィルタ機能が有効である。  In addition, the lens function as in the present embodiment can be utilized even for electromagnetic waves having a frequency in the terahertz band by using the plasma P having a high electron density due to the above-mentioned arc discharge or the like. That is, it may be necessary to extract a specific wavelength in a terahertz wave in which electromagnetic waves of various frequencies are mixed, and at that time, the variable filter function as in this embodiment is effective.

(実施例3)
次に、上記構成の電磁波制御装置1を用いた電磁波制御の他の具体例を以下に示す。電磁波制御装置1における各制御パラメータの具体的な値は以下の通りである。
(Example 3)
Next, another specific example of electromagnetic wave control using the electromagnetic wave control device 1 having the above configuration will be described below. Specific values of each control parameter in the electromagnetic wave control device 1 are as follows.

電磁波制御素子2に入射させる電磁波R、つまり制御対象となる電磁波Rは、周波数帯が10〜100GHzであり、電磁波モードがTEモード(電界の方向がプラズマPの周期的配列面に平行)である。プラズマPの電子密度は1×1013cm−3(ωpe/2π=28GHz)、筐体21内のガス圧力は30kPa、筐体21内のガス種はヘリウムである。筐体21は8mm(図1における縦方向)×50mm(図1における奥行き方向)×70mm(図1における横方向)であり、入射部21c及び出射部21dは8mm×50mmである。電極22a・22bの正方格子状の配置における格子間距離は2.5mm(図2における縦及び横方向)であり、電極22a・22bをそれぞれ30個(電磁波Rの進行方向)×20個(電磁波Rの幅方向)配置した。また、各プラズマPの直径は約1.0mmとなった。The electromagnetic wave R incident on the electromagnetic wave control element 2, that is, the electromagnetic wave R to be controlled has a frequency band of 10 to 100 GHz and an electromagnetic wave mode of TE mode (the direction of the electric field is parallel to the periodic array surface of the plasma P). .. The electron density of the plasma P is 1×10 13 cm −3pe /2π=28 GHz), the gas pressure inside the housing 21 is 30 kPa, and the gas species inside the housing 21 is helium. The housing 21 is 8 mm (vertical direction in FIG. 1)×50 mm (depth direction in FIG. 1)×70 mm (horizontal direction in FIG. 1 ), and the incident portion 21 c and the emitting portion 21 d are 8 mm×50 mm. The inter-lattice distance in the square lattice arrangement of the electrodes 22a and 22b is 2.5 mm (vertical and horizontal directions in FIG. 2), and the number of the electrodes 22a and 22b is 30 (the traveling direction of the electromagnetic wave R)×20 (the electromagnetic wave). R width direction). The diameter of each plasma P was about 1.0 mm.

次に、制御パラメータを上記のとおり設定した電磁波制御装置1の電磁波の制御特性を説明する。  Next, the electromagnetic wave control characteristics of the electromagnetic wave control device 1 in which the control parameters are set as described above will be described.

電磁波制御素子2に入射される電磁波Rの周波数を変化させたところ、周波数が61〜63GHzの間で透過電磁波量が約15%まで減少した。この理由としては、電磁波Rの周波数と2次元プラズマアレイの格子間距離との関係がほぼ、周波数×格子定数/光速=0.5となることから、上記61〜63GHzの周波数帯は2次元プラズマアレイにより生じた禁制帯に相当するためと考えられる。  When the frequency of the electromagnetic wave R incident on the electromagnetic wave control element 2 was changed, the amount of transmitted electromagnetic waves decreased to about 15% in the frequency range of 61 to 63 GHz. The reason for this is that the relationship between the frequency of the electromagnetic wave R and the inter-lattice distance of the two-dimensional plasma array is approximately frequency×lattice constant/light velocity=0.5, so that the frequency band of 61 to 63 GHz is two-dimensional plasma. This is probably because it corresponds to the forbidden band created by the array.

ついで、格子間距離を2.1mmに変化させると、同様の透過電磁波量の減少が74〜76GHzで生じた。さらに、格子間距離を1.5mmに変化させると、同様の透過電磁波量の減少が103〜105GHzで生じた。これらの結果はすべてほぼ、周波数×格子定数/光速=0.5の条件下において生じていることになり、2次元プラズマアレイの空間的な配列を変化させることによって周波数可変のフィルタを実現できることがわかった。  Then, when the interstitial distance was changed to 2.1 mm, a similar decrease in the amount of transmitted electromagnetic waves occurred at 74 to 76 GHz. Further, when the interstitial distance was changed to 1.5 mm, a similar decrease in the amount of transmitted electromagnetic waves occurred at 103 to 105 GHz. All of these results almost occur under the condition of frequency×lattice constant/light velocity=0.5, and it is possible to realize a variable frequency filter by changing the spatial arrangement of the two-dimensional plasma array. all right.

(変形例)
電磁波制御装置1は、以下に説明するように種々の変形が可能である。
(Modification)
The electromagnetic wave control device 1 can be variously modified as described below.

電磁波制御装置1では、ガス制御システム4によって電磁波制御素子2内部のガス圧力を調整できる構成をとっているが、ガス圧力の調整を行わない場合には、予め電磁波制御素子2内部に所定のガスを所定の圧力で封入しておくことにより、ガス制御システム4を省くことができる。  The electromagnetic wave control device 1 has a configuration in which the gas pressure inside the electromagnetic wave control element 2 can be adjusted by the gas control system 4. However, when the gas pressure is not adjusted, a predetermined gas is previously stored inside the electromagnetic wave control element 2. The gas control system 4 can be omitted by encapsulating at a predetermined pressure.

また、電磁波制御装置1では、電力制御器32によって供給電力やプラズマPの配置を調整できる構成をとっているが、供給電力及び/又はプラズマPの配置の調整を行わない場合には、電力制御器32においてこれらが固定的に設定されていてもよい。また、電力制御器32は、供給電力やプラズマPの配置を時間的に変更するものであってもよい。  In addition, the electromagnetic wave control device 1 has a configuration in which the power controller 32 can adjust the supply power and the arrangement of the plasma P. However, when the supply power and/or the arrangement of the plasma P are not adjusted, the power control is performed. These may be fixedly set in the container 32. Further, the power controller 32 may change the supplied power or the arrangement of the plasma P with time.

また、電極22a・22bの配置として6行7列配置を図示したが、これに対して種々の変更(例えば、行数及び/又は列数の変更、行間隔及び/又は列間隔の変更、三角格子状のように他の配置パターンへの変更など)を施すことができる。  Further, although the 6 rows and 7 columns arrangement is shown as the arrangement of the electrodes 22a and 22b, various changes (for example, the number of rows and/or the number of columns, the row spacing and/or the column spacing, the triangle, It is possible to make a change to another arrangement pattern such as a grid pattern).

また、電極22a・22bの形状として円板形状のものを図示したが、その形状についても種々の変更を施すこともできる。例えば、矩形の板状のものに変更してもよく、図6に示すように針状の電極22a’・22b’に変更してもよい。さらに、これら電極の面積を変更することによってプラズマPの断面積(長手方向に直交する面で切ったときの断面積)を変更することもできる。  Further, although the electrodes 22a and 22b are illustrated as being disc-shaped, the shapes may be variously modified. For example, it may be changed to a rectangular plate shape, or may be changed to needle electrodes 22a' and 22b' as shown in FIG. Furthermore, by changing the areas of these electrodes, the cross-sectional area of the plasma P (the cross-sectional area when cut by a plane orthogonal to the longitudinal direction) can be changed.

また、図7に示すように、互いに対向する電極22aと電極22bとの間に、電極22a・22bの平面形状とほぼ同一の内面形状を有し、かつ、電磁波Rを透過する材料からなる筒部材23(例えば円筒部材)を設けてもよい。  Further, as shown in FIG. 7, between the electrodes 22a and 22b facing each other, a tube made of a material that has an inner surface shape that is substantially the same as the planar shape of the electrodes 22a and 22b and that transmits the electromagnetic wave R. The member 23 (for example, a cylindrical member) may be provided.

一般に、プラズマはその外周において荷電粒子が外部に向かって拡散するため、プラズマの境界面は曖昧になる。したがって、図1のような構成では、隣り合うプラズマP同士が連続する場合もある。このような場合であっても、各プラズマPにおいては中心から外周に向かって電子密度の勾配が生じるので、プラズマの周期的分布は維持されることになるが、電子密度の差が小さくなるため、周期構造の影響も低減されることになる。  In general, in the plasma, charged particles diffuse toward the outside at the outer periphery thereof, so that the boundary surface of the plasma becomes ambiguous. Therefore, in the configuration as shown in FIG. 1, adjacent plasmas P may be continuous with each other. Even in such a case, in each plasma P, an electron density gradient is generated from the center to the outer circumference, so that the periodic distribution of plasma is maintained, but the difference in electron density is reduced. The effect of the periodic structure will also be reduced.

これに対して、筒部材23を設ける構成では、筒部材23の内部にプラズマPを閉じ込めることができるので、プラズマPの境界面を明確に定めることができ、この境界面における電子密度の差を大きくとることができる。その結果、プラズマの周期的分布による影響をより顕在化することができる。  On the other hand, in the configuration in which the cylindrical member 23 is provided, the plasma P can be confined inside the cylindrical member 23, so that the boundary surface of the plasma P can be clearly defined, and the difference in electron density at this boundary surface can be determined. Can be big. As a result, the influence of the periodic distribution of plasma can be made more apparent.

また、図8に示すように、電磁波制御素子2内部に、電磁波Rを透過する誘電体からなり、互いに対向する電極22aと電極22bとの間に電極22a・22bの平面形状とほぼ同一の内面形状を有する空孔が形成された誘電部材24を設けてもよい。この構成では、電磁波制御素子2内部が上記空孔を除いて誘電部材24によって埋められることになる。  Further, as shown in FIG. 8, inside the electromagnetic wave control element 2, an inner surface made of a dielectric material that transmits the electromagnetic wave R and having substantially the same planar shape as that of the electrodes 22a and 22b between the electrodes 22a and 22b facing each other. You may provide the dielectric member 24 in which the void|hole which has a shape was formed. In this configuration, the inside of the electromagnetic wave control element 2 is filled with the dielectric member 24 except for the holes.

この構成では、上記筒部材23を設ける構成と同じく、境界面における電子密度の差を大きくとることができることに加えて、境界面における比誘電率の差をより大きくとることができる。なぜなら、上述したようにプラズマPの比誘電率εは1よりも小さな値をもつ一方、誘電部材24は誘電体ゆえに1よりも大きな比誘電率(通常、誘電体の比誘電率は2よりも大きい)をもつことから、誘電部材24の代わりにガス(ガスの比誘電率はほぼ1)が存在する場合と比較して境界面における比誘電率の差は大きくなるからである。これにより、プラズマの周期的分布による影響をさらに顕在化することができる。In this configuration, similar to the configuration in which the tubular member 23 is provided, in addition to the large difference in electron density at the boundary surface, the difference in relative permittivity at the boundary surface can be made larger. This is because the relative permittivity ε r of the plasma P has a value smaller than 1 as described above, while the dielectric member 24 is a dielectric substance and thus has a relative permittivity larger than 1 (usually, the relative permittivity of the dielectric substance is greater than 2). This is because the difference in relative permittivity at the boundary surface is larger than that in the case where a gas (relative permittivity of gas is approximately 1) is present instead of the dielectric member 24. As a result, the influence of the periodical distribution of plasma can be further manifested.

なお、図8の構成においてプラズマPと誘電部材24とを逆転させる、つまり、円柱状の誘電体を周期的に配置してその周囲をプラズマで満たすことも考えられるが、この場合には相対的に比誘電率の低い背景に対して相対的に比誘電率の高い周期構造が形成されることになる。そのため、図8の構成よりも制御対象となる電磁波はより短波長(高周波数)のものとなり、電波(テラヘルツ帯(波長0.1mm程度)及びこれよりも長波長の電磁波)を制御するには不向きとなる。  In the configuration of FIG. 8, it is conceivable that the plasma P and the dielectric member 24 are reversed, that is, the cylindrical dielectrics are periodically arranged and the periphery thereof is filled with plasma. Moreover, a periodic structure having a relatively high relative dielectric constant is formed against a background having a low relative dielectric constant. Therefore, the electromagnetic waves to be controlled have shorter wavelengths (higher frequencies) than those in the configuration of FIG. 8, and to control radio waves (terahertz band (wavelength of about 0.1 mm) and longer wavelengths). It becomes unsuitable.

さらに、円柱状の誘電体を周期的に配置してその周囲をプラズマで満たす構成では、比誘電率の差を大きくとるためにプラズマの比誘電率を負の値に設定した場合、電磁波制御素子2内部では電磁波のエネルギーの減衰が著しくなりほとんど伝播できなくなってしまう。これに対して、図8の構成では、電磁波のエネルギーの減衰を抑えつつ伝播状態を効果的に制御することができる。  Furthermore, in the configuration in which cylindrical dielectrics are periodically arranged and the surroundings are filled with plasma, when the relative permittivity of plasma is set to a negative value in order to increase the difference in relative permittivity, the electromagnetic wave control element 2 Inside the electromagnetic wave, the energy of the electromagnetic wave is remarkably attenuated and almost cannot propagate. On the other hand, in the configuration of FIG. 8, the propagation state can be effectively controlled while suppressing the attenuation of the electromagnetic wave energy.

電磁波制御素子2において、電極22a・22b及び電極22a’・22b’と、筐体21、筒部材23及び誘電部材24とは、2次元的に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段として機能する。また、筐体21、筒部材23及び誘電部材24は、プラズマを生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波を透過するガス保持手段として機能する。特に、筒部材23及び誘電部材24は、周期的に形成された複数の空孔を有しており、この空孔内にプラズマが生成されることによりプラズマの周期的分布を実現する。また、誘電部材24は、上記複数の空孔が形成された誘電体からなっている。  In the electromagnetic wave control element 2, the electrodes 22a and 22b and the electrodes 22a′ and 22b′, the housing 21, the tubular member 23, and the dielectric member 24 serve as a plasma generation unit that generates plasma that is two-dimensionally periodically distributed. Function. Further, the housing 21, the tubular member 23, and the dielectric member 24 function as gas holding means for holding the gas to be ionized in order to generate plasma and transmitting the electromagnetic wave to be controlled. In particular, the tubular member 23 and the dielectric member 24 have a plurality of holes that are periodically formed, and the plasma is generated in the holes to realize the periodic distribution of the plasma. Further, the dielectric member 24 is made of a dielectric material in which the plurality of holes are formed.

また、電力制御システム3は、プラズマを生成するための電力を制御する電力制御手段として機能し、プラズマの分布状態を制御するプラズマ分布制御手段としても機能する。そして、ガス制御システム4は、電離対象となるガスの圧力を制御するガス圧力制御手段として機能する。  Further, the power control system 3 functions as a power control unit that controls power for generating plasma, and also functions as a plasma distribution control unit that controls a plasma distribution state. Then, the gas control system 4 functions as a gas pressure control unit that controls the pressure of the gas to be ionized.

〔実施形態2〕
本発明の他の実施形態について図9に基づいて説明すると以下の通りである。
[Embodiment 2]
Another embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

本実施形態の電磁波制御素子及びこれを用いた電磁波制御装置の構成について説明する。本実施形態の電磁波制御装置101の全体構成を図9に示す。なお、実施形態1において説明した構成要素と同等の機能を有する構成要素については、同一符号を用いることとし、その説明を省略する。  The configurations of the electromagnetic wave control element of the present embodiment and an electromagnetic wave control device using the same will be described. FIG. 9 shows the overall configuration of the electromagnetic wave control device 101 of this embodiment. In addition, the same reference numerals are used for the components having the same functions as the components described in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

電磁波制御装置101を構成する電磁波制御素子102は、筐体21の外部に平行平板をなす電極122a・122bを備え、筐体21の内部には、実施形態1の電磁波制御装置1において電極22a・22bが形成されていた部分に、筐体21の内面よりも2次電子放出係数の高い材質からなる電子放出部材123a・123bを備えている点が実施形態1における電磁波制御装置1の電磁波制御素子2とは異なっている。  The electromagnetic wave control element 102 included in the electromagnetic wave control device 101 includes parallel plate-shaped electrodes 122a and 122b outside the housing 21, and the inside of the housing 21 includes the electrodes 22a and 122a in the electromagnetic wave control device 1 of the first embodiment. The electromagnetic wave control element of the electromagnetic wave control device 1 according to the first embodiment is provided with electron emission members 123a and 123b made of a material having a higher secondary electron emission coefficient than the inner surface of the housing 21 in the portion where the 22b was formed. Different from 2.

また、電磁波制御装置101を構成する電力制御システム103は、電力制御器132において、各プラズマPに対して個別に電力を供給するのではなく、上記電極122a・122bに電力を供給することによって全プラズマPに対して包括的に電力を供給する点が実施形態1における電磁波制御装置1の電力制御システム3とは異なっている。  Further, in the power control system 103 constituting the electromagnetic wave control device 101, the power controller 132 does not individually supply power to each plasma P, but supplies power to the electrodes 122a and 122b. The point that the electric power is comprehensively supplied to the plasma P is different from the electric power control system 3 of the electromagnetic wave control device 1 in the first exemplary embodiment.

この構成では、電極122a・122bを平行平板によって形成しているので、電力制御システム3からの給電が容易になる。そして、電子放出部材123a・123bを所定のパターンに形成することによって、そのパターンに応じたプラズマPの周期的分布を形成することができる。また、電子放出部材123a・123bは筐体21の内面よりも2次電子放出係数の高い材質からなっているので、プラズマPが生成しやすくなる。  In this configuration, since the electrodes 122a and 122b are formed by parallel flat plates, power supply from the power control system 3 becomes easy. Then, by forming the electron emitting members 123a and 123b in a predetermined pattern, it is possible to form a periodic distribution of the plasma P according to the pattern. Further, since the electron emitting members 123a and 123b are made of a material having a higher secondary electron emission coefficient than the inner surface of the housing 21, the plasma P is easily generated.

電子放出部材123a・123bの具体的材質としては、金属や酸化マグネシウムなどが好適である。なお、電子放出部材123a・123bの一方を省いたとしても、所望するパターンのプラズマPの生成は可能である。  As a specific material for the electron emitting members 123a and 123b, metal, magnesium oxide, or the like is suitable. Even if one of the electron emitting members 123a and 123b is omitted, the plasma P having a desired pattern can be generated.

電磁波制御素子102において、電極122a・122b及び電子放出部材123a・123bと筐体21とは、2次元的に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段として機能する。特に電子放出部材123a・123bは、筐体21の内部に露出し、周囲よりも2次電子放出係数の高い材質からなる電子放出手段として機能する。また、筐体21は、プラズマを生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波を透過するガス保持手段として機能する。  In the electromagnetic wave control element 102, the electrodes 122a and 122b, the electron emitting members 123a and 123b, and the housing 21 function as a plasma generation unit that generates plasma that is two-dimensionally and periodically distributed. In particular, the electron emitting members 123a and 123b are exposed inside the housing 21 and function as electron emitting means made of a material having a higher secondary electron emission coefficient than the surroundings. Further, the housing 21 functions as a gas holding unit that holds a gas to be ionized in order to generate plasma and transmits an electromagnetic wave to be controlled.

また、電力制御システム103は、プラズマを生成するための電力を制御する電力制御手段として機能する。  The power control system 103 also functions as a power control unit that controls the power for generating plasma.

〔実施形態3〕
本発明の他の実施形態について図10に基づいて説明すると以下の通りである。
[Embodiment 3]
Another embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

本実施形態の電磁波制御素子及びこれを用いた電磁波制御装置の構成について説明する。本実施形態の電磁波制御装置201の全体構成を図10に示す。なお、実施形態1・2において説明した構成要素と同等の機能を有する構成要素については、同一符号を用いることとし、その説明を省略する。  The configurations of the electromagnetic wave control element of the present embodiment and an electromagnetic wave control device using the same will be described. The overall configuration of the electromagnetic wave control device 201 of this embodiment is shown in FIG. In addition, about the component which has a function equivalent to the component demonstrated in Embodiment 1 and 2, the same code|symbol is used and the description is abbreviate|omitted.

電磁波制御装置201を構成する電磁波制御素子202は、筐体21の内部に設けられた電極22a・22bに加えて、筐体21の外部に平行平板をなす電極223a・223bを備えている点が実施形態1における電磁波制御装置1の電磁波制御素子2とは異なっている。  The electromagnetic wave control element 202 that constitutes the electromagnetic wave control device 201 includes, in addition to the electrodes 22a and 22b provided inside the housing 21, electrodes 223a and 223b forming a parallel plate outside the housing 21. This is different from the electromagnetic wave control element 2 of the electromagnetic wave control device 1 according to the first exemplary embodiment.

また、電磁波制御装置201を構成する電力制御システム203は、電力制御器232において、電極22a・22bに個別に電力を供給することに加えて、上記電極223a・223bにも電力を供給する点が実施形態1における電磁波制御装置1の電力制御システム3とは異なっている。  In addition, in the power control system 203 that constitutes the electromagnetic wave control device 201, in the power controller 232, in addition to individually supplying power to the electrodes 22a and 22b, power is also supplied to the electrodes 223a and 223b. This is different from the power control system 3 of the electromagnetic wave control device 1 according to the first exemplary embodiment.

この構成では、実施形態1の電磁波制御素子2と同じく、電極22a・22bによって周期的に分布するプラズマPを生成し、かつ、電極223aa・223bによって、上記プラズマPの周囲を覆うようにして、プラズマPとは電子密度の異なるプラズマP’を生成する。  In this configuration, similarly to the electromagnetic wave control element 2 of the first exemplary embodiment, the plasma P that is periodically distributed is generated by the electrodes 22a and 22b, and the periphery of the plasma P is covered by the electrodes 223aa and 223b. A plasma P′ having an electron density different from that of the plasma P is generated.

したがって、周期的に分布するプラズマPと、これを取り囲むプラズマP’との両方の屈折率を変化させることができるので、より柔軟に電磁波に対する制御状態を変更することができる。  Therefore, it is possible to change the refractive index of both the plasma P that is periodically distributed and the plasma P′ that surrounds the plasma P, and thus it is possible to more flexibly change the control state for electromagnetic waves.

電磁波制御素子202において、電極22a・22bと筐体21とは、2次元的に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段として機能する。特に電極223aa・223bは、周期的なプラズマを取り囲み、かつ、当該プラズマとは電子密度の異なるプラズマをさらに生成する。また、筐体21は、プラズマを生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波を透過するガス保持手段として機能する。  In the electromagnetic wave control element 202, the electrodes 22a and 22b and the housing 21 function as a plasma generation unit that generates plasma that is two-dimensionally periodically distributed. In particular, the electrodes 223aa and 223b surround the periodic plasma and further generate plasma having an electron density different from that of the plasma. Further, the housing 21 functions as a gas holding unit that holds a gas to be ionized in order to generate plasma and transmits an electromagnetic wave to be controlled.

また、電力制御システム203は、プラズマを生成するための電力を制御する電力制御手段として機能し、プラズマの分布状態を制御するプラズマ分布制御手段としても機能する。  Further, the power control system 203 functions as a power control unit that controls the power for generating plasma, and also functions as a plasma distribution control unit that controls the distribution state of the plasma.

〔実施形態4〕
本発明の他の実施形態について図11及び図12に基づいて説明すると以下の通りである。
[Embodiment 4]
Another embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 11 and 12.

本実施形態の電磁波制御素子及びこれを用いた電磁波制御装置の構成について説明する。本実施形態の電磁波制御装置301の全体構成を図11に示し、図11におけるB−B線矢視断面図を図12に示す。なお、実施形態1・2・3において説明した構成要素と同等の機能を有する構成要素については、同一符号を用いることとし、その説明を省略する。  The configurations of the electromagnetic wave control element of the present embodiment and an electromagnetic wave control device using the same will be described. FIG. 11 shows the overall configuration of the electromagnetic wave control device 301 of the present embodiment, and FIG. 12 shows a sectional view taken along the line BB in FIG. In addition, about the component which has a function equivalent to the component demonstrated in Embodiment 1, 2 and 3, the same code|symbol is used and the description is abbreviate|omitted.

電磁波制御装置301を構成する電磁波制御素子302は、筐体21の内部に互いに近接して設けられた電極322a・322bを備えている。電極322a・322bは、同一形状のメッシュ状の電極であり、各電極322a・322bには正方格子状(行列状)に配列するように開口部(スリット)Sが形成されている。電極322a・322bは、それぞれの開口部Sが重なるようにして、所定の間隙を介して配置されている。また、電磁波制御素子302には、筐体21の外部に平板状の電極323を備えている。なお、電極322b、電極322a、電極323はこの順に配置されている。  The electromagnetic wave control element 302 that constitutes the electromagnetic wave control device 301 includes electrodes 322a and 322b that are provided inside the housing 21 in close proximity to each other. The electrodes 322a and 322b are mesh-shaped electrodes having the same shape, and openings (slits) S are formed in each of the electrodes 322a and 322b so as to be arranged in a square lattice shape (matrix shape). The electrodes 322a and 322b are arranged with a predetermined gap so that their openings S overlap. In addition, the electromagnetic wave control element 302 is provided with a plate-shaped electrode 323 outside the housing 21. Note that the electrode 322b, the electrode 322a, and the electrode 323 are arranged in this order.

また、電磁波制御装置301を構成する電力制御システム303は、電力制御器332において電極322bに電力を供給するとともに、電極322a・323を接地している。  Further, the power control system 303 constituting the electromagnetic wave control device 301 supplies power to the electrode 322b in the power controller 332 and grounds the electrodes 322a and 323.

この構成では、接地されている電極322bと、給電されている電極322aとの間にプラズマが発生し、このプラズマは、接地されている電極323の電位によって、電極322aの開口部Sを通って電極323側に引き出されることになる。この引き出されたプラズマPは、開口部Sに応じた正方格子状に分布することになる。  In this configuration, plasma is generated between the electrode 322b that is grounded and the electrode 322a that is supplied with power, and this plasma passes through the opening S of the electrode 322a by the potential of the electrode 323 that is grounded. It will be drawn out to the electrode 323 side. The drawn plasma P is distributed in a square lattice shape corresponding to the openings S.

このように、比較的近い距離に配置された電極322a・322bによってプラズマを生成することにより、電極322a・322b間の電界強度を大きくとることができるので、プラズマを容易に生成することができる。  As described above, since the electric field strength between the electrodes 322a and 322b can be increased by generating plasma by the electrodes 322a and 322b arranged relatively close to each other, it is possible to easily generate plasma.

電磁波制御素子302において、電極322a・322b及び電極323と筐体21とは、2次元的に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段として機能する。また、筐体21は、プラズマを生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波を透過するガス保持手段として機能する。また、電力制御システム303は、プラズマを生成するための電力を制御する電力制御手段として機能する。  In the electromagnetic wave control element 302, the electrodes 322a and 322b, the electrode 323, and the housing 21 function as a plasma generation unit that generates plasma that is two-dimensionally and periodically distributed. Further, the housing 21 functions as a gas holding unit that holds a gas to be ionized in order to generate plasma and transmits an electromagnetic wave to be controlled. The power control system 303 also functions as a power control unit that controls the power for generating plasma.

〔実施形態5〕
本発明の他の実施形態について図13に基づいて説明すると以下の通りである。
[Embodiment 5]
Another embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

本実施形態の電磁波制御素子及びこれを用いた電磁波制御装置の構成について説明する。本実施形態の電磁波制御装置401の全体構成を図13に示す。なお、実施形態1・2・3・4において説明した構成要素と同等の機能を有する構成要素については、同一符号を用いることとし、その説明を省略する。  The configurations of the electromagnetic wave control element of the present embodiment and an electromagnetic wave control device using the same will be described. FIG. 13 shows the overall configuration of the electromagnetic wave control device 401 of this embodiment. The constituents having the same functions as the constituents described in the first, second, third, and fourth embodiments are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

電磁波制御装置401を構成する電磁波制御素子402は、実施形態1における電磁波制御素子2を積み重ねた構成である。これにより、互いに対向する電極22a・22bの対が3次元的に配置されることになり、この間に発生するプラズマPも3次元的に分布することになる。  The electromagnetic wave control element 402 that constitutes the electromagnetic wave control device 401 has a configuration in which the electromagnetic wave control elements 2 according to the first embodiment are stacked. As a result, the pair of electrodes 22a and 22b facing each other is three-dimensionally arranged, and the plasma P generated therebetween is also three-dimensionally distributed.

また、電磁波制御装置401を構成する電力制御システム403では、図13では図示を一部省略しているが、各電極22aは電力制御器432に接続されており、各電極22bは接地されている。そして、電力制御器432は、3次元的に配置された電極22aの中から選択されたものに対して調整された電力を供給する。  In the power control system 403 that constitutes the electromagnetic wave control device 401, although not shown in FIG. 13, each electrode 22a is connected to the power controller 432 and each electrode 22b is grounded. . Then, the power controller 432 supplies regulated power to one selected from the electrodes 22a arranged three-dimensionally.

この構成では、プラズマPを3次元的に周期的に分布させることができるので、いわゆる完全バンドギャップを実現することができ、上下左右任意の方向から電磁波制御素子402に対して入射する電磁波に対してフィルタ効果を発揮することができる。  With this configuration, the plasma P can be three-dimensionally periodically distributed, so that a so-called complete band gap can be realized, and the electromagnetic wave incident on the electromagnetic wave control element 402 from any direction from above, below, left, and right can be achieved. The filter effect can be exhibited.

また、固体材料によって構成される従来のフォトニック結晶では、製造上の問題に起因して、3次元構造を実現するための制約が多いが、電磁波制御素子402では、比較的容易に3次元周期構造を実現することができる。  Further, in the conventional photonic crystal made of a solid material, there are many restrictions for realizing a three-dimensional structure due to manufacturing problems, but in the electromagnetic wave control element 402, the three-dimensional period is relatively easy. The structure can be realized.

電磁波制御素子402において、電極22a・22bと筐体21とは、3次元に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段として機能する。また、筐体21は、プラズマを生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波を透過するガス保持手段として機能する。また、電力制御システム403は、プラズマを生成するための電力を制御する電力制御手段として機能し、プラズマの分布状態を制御するプラズマ分布制御手段としても機能する。  In the electromagnetic wave control element 402, the electrodes 22a and 22b and the housing 21 function as a plasma generation unit that generates plasma that is periodically distributed in three dimensions. Further, the housing 21 functions as a gas holding unit that holds a gas to be ionized in order to generate plasma and transmits an electromagnetic wave to be controlled. Further, the power control system 403 functions as a power control unit that controls power for generating plasma, and also functions as a plasma distribution control unit that controls a plasma distribution state.

なお、本実施形態では実施形態1の電磁波制御素子2を積み重ねることにより電磁波制御素子402を構成したが、実施形態2〜4において説明した電磁波制御素子102・202・302を積み重ねることにより電磁波制御素子402を構成してもよい。  In this embodiment, the electromagnetic wave control element 402 of the first embodiment is stacked to form the electromagnetic wave control element 402. However, by stacking the electromagnetic wave control elements 102, 202, and 302 described in Embodiments 2 to 4, the electromagnetic wave control element 402 is stacked. 402 may be configured.

以上のように、本発明によると、外部からの信号印加により機能を動的にかつ広範囲にコントロール可能な電磁波制御素子及びこれを用いた電磁波制御装置を実現することができる。本発明による電磁波制御装置は、各種電磁波の制御に好適に用いることができ、特に10GHzからテラヘルツ帯の電磁波の制御に好適に用いることができる。  As described above, according to the present invention, it is possible to realize an electromagnetic wave control element capable of dynamically and widely controlling a function by applying a signal from the outside, and an electromagnetic wave control device using the electromagnetic wave control element. The electromagnetic wave control device according to the present invention can be suitably used for controlling various electromagnetic waves, and particularly can be suitably used for controlling electromagnetic waves in the 10 GHz to terahertz band.

なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。  The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and the technical means disclosed in the different embodiments can be appropriately combined and obtained. Embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

本発明の電磁波制御素子は、多数のプラズマP(個々のプラズマPを「プラズマ体」とも称す。)を2次元的又は3次元的な周期構造をなすように生成するものである。この多数のプラズマ体が配置される空間のガス圧力を調整可能な機能を備えていてもよい。上記多数のプラズマ体を誘電体内に配置してもよい。上記多数のプラズマ体を、同じく周期構造をなす円筒中空の管内に配置してもよい。上記多数のプラズマ体を、それらとは電子密度の異なるプラズマ内に配置してもよい。上記多数のプラズマ体を、アーク放電により生成してもよい。上記多数のプラズマ体の配置位置を制御可能な機能を備えていてもよい。上記多数のプラズマ体の配置位置の制御機能を、プラズマ体の一部の予備放電の発生制御により実現してもよい。上記多数のプラズマ体の配置位置の制御機能を、プラズマ体端部接触部の材質の設定により実現してもよい。上記プラズマ体の生成用電力の供給手段を備え、かつ該生成用電力が時間的に可変となっていてもよい。  The electromagnetic wave control element of the present invention generates a large number of plasmas P (the individual plasmas P are also referred to as “plasma bodies”) so as to form a two-dimensional or three-dimensional periodic structure. It may have a function of adjusting the gas pressure in the space where a large number of plasma bodies are arranged. The large number of plasma bodies may be arranged in a dielectric body. The large number of plasma bodies may be arranged in a hollow cylindrical tube having the same periodic structure. The large number of plasma bodies may be arranged in a plasma having a different electron density. The large number of plasma bodies may be generated by arc discharge. It may have a function of controlling the arrangement positions of the large number of plasma bodies. The control function of the arrangement positions of the large number of plasma bodies may be realized by controlling generation of preliminary discharge in a part of the plasma bodies. The function of controlling the arrangement positions of the large number of plasma bodies may be realized by setting the material of the plasma body end contact portion. The plasma body may be provided with a power supply unit for generating power, and the generating power may be variable with time.

本発明は、例えば通信分野や計測分野における電磁波の制御に好適に利用することができる。  INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be suitably used for controlling electromagnetic waves in the fields of communication and measurement, for example.

Claims (13)

2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマを生成するプラズマ生成手段を備え、
前記プラズマに電磁波を通過させることにより、当該電磁波の伝播状態を制御することを特徴とする電磁波制御素子。
A plasma generating means for generating a two-dimensionally or three-dimensionally periodically distributed plasma,
An electromagnetic wave control element, wherein the propagation state of the electromagnetic wave is controlled by passing the electromagnetic wave through the plasma.
前記プラズマ生成手段は、前記プラズマを生成する電力を供給する電極と、前記プラズマを生成するために電離対象となるガスを内部に保持するとともに制御対象となる電磁波を透過するガス保持手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載の電磁波制御素子。  The plasma generating means includes an electrode for supplying electric power for generating the plasma, and a gas holding means for internally holding a gas to be ionized to generate the plasma and transmitting an electromagnetic wave to be controlled. The electromagnetic wave control element according to claim 1, wherein: 前記電極は周期的に配置されており、当該電極の周期的配置に応じて前記プラズマの周期的分布が形成されることを特徴とする請求項2に記載の電磁波制御素子。  The electromagnetic wave control element according to claim 2, wherein the electrodes are arranged periodically, and the periodic distribution of the plasma is formed according to the periodic arrangement of the electrodes. 前記ガス保持手段は周期的に形成された複数の空孔を有しており、当該空孔内にプラズマが生成されることにより前記プラズマの周期的分布が形成されることを特徴とする請求項2に記載の電磁波制御素子。  The gas holding unit has a plurality of holes that are periodically formed, and a periodic distribution of the plasma is formed by generating plasma in the holes. 2. The electromagnetic wave control element according to 2. 前記ガス保持手段は、前記複数の空孔が形成された誘電体からなっていることを特徴とする請求項4に記載の電磁波制御素子。  The electromagnetic wave control element according to claim 4, wherein the gas holding means is made of a dielectric material in which the plurality of holes are formed. 前記プラズマ生成手段は、前記ガス保持手段の内部に露出し、周囲よりも2次電子放出係数の高い材質からなる電子放出手段をさらに備え、
前記電子放出手段は周期的に配置されており、当該電子放出手段の周期的配置に応じて前記プラズマの周期的分布が形成されることを特徴とする請求項2に記載の電磁波制御素子。
The plasma generating means further comprises an electron emitting means exposed to the inside of the gas holding means and made of a material having a secondary electron emission coefficient higher than that of the surroundings.
The electromagnetic wave control element according to claim 2, wherein the electron emission means are arranged periodically, and the periodic distribution of the plasma is formed according to the periodic arrangement of the electron emission means.
前記プラズマ生成手段は、前記周期的なプラズマを取り囲み、かつ、当該プラズマとは電子密度の異なるプラズマをさらに生成することを特徴とする請求項1に記載の電磁波制御素子。  The electromagnetic wave control element according to claim 1, wherein the plasma generation means further generates a plasma that surrounds the periodic plasma and has a different electron density from the plasma. 前記プラズマ生成手段は、前記電極によって生成されたプラズマを引き出すための電圧を印可する引出電極を備えることを特徴とする請求項2に記載の電磁波制御素子。  The electromagnetic wave control element according to claim 2, wherein the plasma generation means includes an extraction electrode that applies a voltage for extracting the plasma generated by the electrode. 請求項1から8の何れか1項に記載の電磁波制御素子と、
前記プラズマ生成手段によってプラズマを生成するための電力を制御する電力制御手段とを備えることを特徴とする電磁波制御装置。
An electromagnetic wave control element according to any one of claims 1 to 8,
An electromagnetic wave control device comprising: an electric power control unit that controls electric power for generating plasma by the plasma generation unit.
請求項1から8の何れか1項に記載の電磁波制御素子と、
前記プラズマ生成手段によって生成されるプラズマの分布状態を制御するプラズマ分布制御手段とを備えることを特徴とする電磁波制御装置。
An electromagnetic wave control element according to any one of claims 1 to 8,
An electromagnetic wave control device comprising: a plasma distribution control means for controlling a distribution state of plasma generated by the plasma generation means.
請求項1から8の何れか1項に記載の電磁波制御素子と、
前記プラズマを生成するために電離対象となるガスの圧力を制御するガス圧力制御手段とを備えることを特徴とする電磁波制御装置。
An electromagnetic wave control element according to any one of claims 1 to 8,
An electromagnetic wave control device, comprising: a gas pressure control unit that controls the pressure of a gas to be ionized in order to generate the plasma.
2次元又は3次元的に周期的に分布することにより、通過する電磁波の伝播状態を制御することを特徴とする電磁波制御プラズマ。  An electromagnetic wave control plasma characterized by controlling a propagation state of an electromagnetic wave passing through by being distributed two-dimensionally or three-dimensionally periodically. 2次元又は3次元的に周期的に分布するプラズマを生成し、前記プラズマに電磁波を通過させることにより、当該電磁波の伝播状態を制御することを特徴とする電磁波制御方法。  An electromagnetic wave control method, wherein a plasma that is two-dimensionally or three-dimensionally periodically distributed is generated, and an electromagnetic wave is passed through the plasma to control a propagation state of the electromagnetic wave.
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