JPWO2005043563A1 - LAMINATED MAGNETIC COMPONENT, METHOD FOR MANUFACTURING SAME, AND METHOD FOR PRODUCING HYBRID SHEET FOR LAMINATED MAGNETIC COMPONENT - Google Patents

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Abstract

ＰＥＴシートＢ１上に内部磁性体シート１３を作成し、ＰＥＴシートＢ２上に誘電体シート１４を作成し、誘電体シート１４上に導電パターン１７，１８を作成し、内部磁性体シート１３における中央部と周縁部以外を、ＰＥＴシートＢ１上から除去し、誘電体シート１４における中央部と周縁部をＰＥＴシートＢ２上から除去し、内部磁性体シート１３におけるＰＥＴシートＢ１から除去した部分に、誘電体シート１４におけるＰＥＴシートＢ２の基板上に残留した部分を合致させて混成シート１１，１２を作成する。混成シート１１，１２からＰＥＴシートＢ１，Ｂ２を除去し、混成シート１１，１２を積層し、その上下を、一対の上部磁性体シート１５、下部磁性体シート１６により挟持して焼成する。An internal magnetic sheet 13 is formed on the PET sheet B1, a dielectric sheet 14 is formed on the PET sheet B2, conductive patterns 17 and 18 are formed on the dielectric sheet 14, and a central portion of the internal magnetic sheet 13 is formed. And the peripheral portion are removed from the PET sheet B1, the central portion and the peripheral portion of the dielectric sheet 14 are removed from the PET sheet B2, and the portion of the internal magnetic sheet 13 that is removed from the PET sheet B1 has a dielectric. The hybrid sheet 11, 12 is created by matching the portions of the sheet 14 remaining on the substrate of the PET sheet B 2. The PET sheets B1 and B2 are removed from the composite sheets 11 and 12, the composite sheets 11 and 12 are laminated, and the upper and lower sides thereof are sandwiched between a pair of upper magnetic sheet 15 and lower magnetic sheet 16 and fired.

Description

本発明は、電磁気的な特性を有するシートを積層してコイル及びコアを形成した積層型磁性部品及びその製造方法並びに積層型磁性部品用混成シートの製造方法に関する。  The present invention relates to a laminated magnetic component in which a coil and a core are formed by laminating sheets having electromagnetic characteristics, a method for producing the same, and a method for producing a hybrid sheet for laminated magnetic components.

近年、電子機器の小型化の急速な進展に伴い、巻線型に比べて、軽く小さく、しかも薄い積層型磁性部品として、積層トランス、積層インダクタ、積層コモンモードフィルタ、積層複合部品、積層混成集積回路等が知られている。このような積層型磁性部品の製造過程において、積層体を得る方法には、例えば、スクリーン印刷法やシート法などがあるが、いずれも磁性体セラミック層や誘電体セラミック層のような異種のセラミック層を積層したものを、高温で焼成して一体化することにより製造される。
ところが、異種のセラミック層を積層した積層体を高温で焼成すると、磁性体セラミックに含まれる磁性体成分が誘電体セラミック側に拡散するという現象が生じる。また、磁性体セラミック層と誘電体セラミック層とでは、その熱膨張率が大きく異なるため、積層体を焼成したときの各セラミック層の熱膨張、熱収縮の違いによって、焼成時に積層体内部に熱応力が生じる。
このような積層体内部に発生する磁性体成分の拡散や熱応力は、磁性体セラミック層の透磁率を低下させるので、焼成後の積層体から得られる積層型磁性部品のインダクタンス値を、所望の設計値より低下させる要因となる。
かかる現象を防止するために、例えば、従来から、以下の（１）〜（５）に示すような対策がとられている。
（１）内部電極を有する磁性体セラミック層と誘電体セラミック層との間に、内部電極を有しない（いわゆるブランクの）磁性体セラミック層を何層も挿入することによって、内部電極を有する磁性体セラミック層と誘電体セラミック層との間を離隔する。
（２）コイル状の内部電極の内側の面積（磁心面積）を増やす。
（３）予め焼成時の透磁率の低下を見込んで、高めの透磁率を有する磁性体セラミック材料を使用したシートを積層する。
（４）１層当りの磁性体セラミック層を薄くし、その分だけ磁性体セラミック層の積層数を増やすことによって、コイル状の内部電極のターン数を増大させる。
さらに、上記の（１）（３）の改良技術として、特許第３３６３０５４号に、次のような技術も開示されている。
（５）磁性体セラミック層と誘電体セラミック層との間のブランクのセラミック層の部分に、より高い透磁率の中間磁性体セラミック層を挿入する。
［解決すべき課題］
ところで、上記の（１）〜（５）に示したような従来技術では、以下のような問題点があった。すなわち、（１）及び（２）の方法では、巻線型の磁性部品に比べて、明らかに電磁結合係数が不足するため、積層体を厚くあるいは長く且つ幅広にする必要があり、積層型磁性部品の利点である小型化の流れに逆行することなる。
また、（３）の方法では、コイル磁心となる部分の透磁率が高くなることから、周波数−インダクタンス特性が変化してしまう。そして、（４）の方法では、磁性体セラミック層の薄層化により、コイル状の内部電極間の対向距離が小さくなり、インダクタ部分の浮遊静電容量が大きくなるので、周波数特性が変化してしまう。
また、（５）の方法は、上記の問題に対処するために提案されたものであり、（１）（２）の方法のような大型化と、（３）の方法のようなインダクタンス値の低下を抑制するものである。しかしながら、（５）の方法によっても、磁性体セラミック層と誘電体セラミック層との間に、中間磁性体セラミック層の挿入が必要となるため、部品の外形や寸法の小型化には限界がある。
さらに、特開平７−２０１５６９号には、単に異なる材料から成るシートを積層するのではなく、同一層に高透磁率と低透磁率の部分を並存させ、低透磁率の部分にコイル用導電パターンを形成したシートを、多数積層した積層型磁性部品が開示されている。かかる積層型磁性部品では、導電パターンが低透磁率部内に埋設されるとともに、高透磁率部で包囲されるので、積層シート数の増大や漏れ磁束を抑制し、高い結合係数を確保できる。しかし、その製造方法は、ＰＥＴ等にシートを作成した後、そのシートに形成したキャビティに、シートとは透磁率の異なる材料を充填し、さらに導電パターンをスクリーン印刷するという手順を経なければならず、製造効率がよくない。
［発明の目的］
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、小型でありながら、高い電磁結合係数を確保できる高品質の積層型磁性部品を、効率よく製造することができる積層型磁性部品及びその製造方法並びに積層型磁性部品用混成シートの製造方法を提供することにある。In recent years, with the rapid progress of miniaturization of electronic devices, multilayer transformers, multilayer inductors, multilayer common mode filters, multilayer composite components, multilayer hybrid integrated circuits are being manufactured as lighter, smaller, and thinner multilayer magnetic components compared to wire wound type Etc. are known. In the manufacturing process of such a multilayer magnetic component, methods for obtaining a laminate include, for example, a screen printing method and a sheet method, all of which are different types of ceramics such as a magnetic ceramic layer and a dielectric ceramic layer. It is manufactured by baking and integrating the laminated layers at a high temperature.
However, when a laminate in which different types of ceramic layers are laminated is fired at a high temperature, a phenomenon occurs in which a magnetic component contained in the magnetic ceramic diffuses toward the dielectric ceramic. In addition, since the thermal expansion coefficient of the magnetic ceramic layer and that of the dielectric ceramic layer are greatly different, the thermal expansion and thermal contraction of each ceramic layer when the multilayer body is fired cause the heat inside the multilayer body during firing. Stress is generated.
The diffusion and thermal stress of the magnetic component generated in the laminated body lowers the magnetic permeability of the magnetic ceramic layer. Therefore, the inductance value of the laminated magnetic component obtained from the fired laminated body is set to a desired value. It becomes a factor to lower than the design value.
In order to prevent such a phenomenon, for example, the following measures (1) to (5) are conventionally taken.
(1) Magnetic material having internal electrodes by inserting a number of magnetic ceramic layers having no internal electrode (so-called blank) between the magnetic ceramic layer having internal electrodes and the dielectric ceramic layer The ceramic layer is separated from the dielectric ceramic layer.
(2) Increase the area (magnetic core area) inside the coiled internal electrode.
(3) A sheet using a magnetic ceramic material having a high magnetic permeability is laminated in advance in anticipation of a decrease in magnetic permeability during firing.
(4) The number of turns of the coiled internal electrode is increased by thinning the magnetic ceramic layer per layer and increasing the number of laminated magnetic ceramic layers accordingly.
Further, as a technique for improving the above (1) and (3), Japanese Patent No. 3363054 also discloses the following technique.
(5) An intermediate magnetic ceramic layer having a higher magnetic permeability is inserted into a portion of the blank ceramic layer between the magnetic ceramic layer and the dielectric ceramic layer.
[task to solve]
By the way, the conventional techniques as shown in the above (1) to (5) have the following problems. That is, in the methods (1) and (2), since the electromagnetic coupling coefficient is clearly insufficient as compared with the winding type magnetic component, it is necessary to make the laminate thicker or longer and wider. It goes against the trend of miniaturization, which is an advantage of.
In the method (3), since the magnetic permeability of the portion that becomes the coil magnetic core increases, the frequency-inductance characteristic changes. In the method of (4), since the opposing distance between the coiled internal electrodes is reduced and the stray capacitance of the inductor portion is increased by thinning the magnetic ceramic layer, the frequency characteristics are changed. End up.
The method (5) has been proposed in order to cope with the above-described problem. The method (1) is increased in size as in the method (2) and the inductance value as in the method (3). It suppresses the decrease. However, even with the method (5), since it is necessary to insert an intermediate magnetic ceramic layer between the magnetic ceramic layer and the dielectric ceramic layer, there is a limit to miniaturization of the external shape and dimensions of the parts. .
Further, JP-A-7-201569 does not simply laminate sheets made of different materials, but coexists high magnetic permeability and low magnetic permeability portions in the same layer, and coil conductive patterns in the low magnetic permeability portions. A laminated magnetic component in which a large number of sheets formed with the above are laminated is disclosed. In such a laminated magnetic component, since the conductive pattern is embedded in the low magnetic permeability portion and surrounded by the high magnetic permeability portion, an increase in the number of laminated sheets and leakage magnetic flux can be suppressed, and a high coupling coefficient can be ensured. However, in the manufacturing method, after a sheet is formed on PET or the like, a cavity formed on the sheet is filled with a material having a magnetic permeability different from that of the sheet, and a conductive pattern is screen printed. The manufacturing efficiency is not good.
[Object of invention]
The present invention has been proposed in order to solve the above-described problems of the prior art, and the object thereof is to provide a high-quality multilayer magnetic component that can ensure a high electromagnetic coupling coefficient while being small in size. It is an object of the present invention to provide a laminated magnetic component that can be efficiently produced, a method for producing the same, and a method for producing a composite sheet for laminated magnetic components.

本発明に係る積層型磁性部品は、磁心部以外に空隙を有する第１の磁性体シートと、導電パターンが形成されるとともに、磁性体シートの空隙に合致することにより一枚の混成シートを構成する誘電体シートと、一枚若しくは積層された複数枚の混成シートの上下を挟持する一対の第２の磁性体シートと、を有することを特徴とする。
また、本発明に係る積層型磁性部品の製造方法は、第１の磁性体シート及び一対の第２の磁性体シートを作成し、誘電体シートを作成し、誘電体シート上に導電パターンを作成し、第１の磁性体シートにおける磁心部以外を除去し、誘電体シートにおける磁心部対応部分を除去し、第１の磁性体シートから除去した部分に、誘電体シートの非除去部分を合致させて混成シートを作成し、混成シートを積層し、その上下を前記一対の第２の磁性体シートにより挟持して焼成する、ことを特徴とする。
また、本発明に係る積層型磁性部品用混成シートの製造方法は、第１の磁性体シートを作成し、誘電体シートを作成し、誘電体シート上に導電パターンを作成し、第１の磁性体シートにおける磁心部以外を除去し、誘電体シートにおける磁心部対応部分を除去し、第１の磁性体シートから除去した部分に、誘電体シートの非除去部分を合致させる、ことを特徴とする。
このような本発明によれば、あらかじめ作成して不要部分を除去した磁性体シートと誘電体シートとを合致させるだけで、混成シートを形成することができるため、磁性体シート及び誘電体シートを作成した後は、キャビティへの材料の充填や導電パターンの形成等の手間や時間をかける必要がなく、均一で高品質の製品を効率良く製造することができる。
望ましくは、混成シートは複数枚積層され、積層された混成シートには、一次巻線の導電パターンが形成されたものと、二次巻線の導電パターンが形成されたものが含まれる積層型磁性部品であってもよい。これにより、トランス部として機能する一次巻線及び二次巻線を含む積層型磁性部品を、混成シートの積層により効率良く製造できる。
望ましくは、第１の基板上に第１の磁性体シートを作成し、第２の基板上に誘電体シートを作成し、誘電体シート上に導電パターンを作成し、第１の磁性体シートにおける磁心部以外を、第１の基板上から除去し、誘電体シートにおける磁心部対応部分を、第２の基板上から除去し、第１の磁性体シートにおける第１の基板上から除去した部分に、誘電体シートにおける第２の基板上に残留した部分を合致させて混成シートを作成し、混成シートから、第１の基板及び第２の基板を除去し、混成シートを積層し、その上下を、一対の第２の磁性体シートにより挟持して焼成する、ことにより積層型磁性部品を製造してもよい。
このように、あらかじめ第１の基板上に第１の磁性体シートを作成し、第２の基板上に誘電体シートを作成しておくことにより、その後の不要部分の除去と残留部分の合致を、効率良く行うことができる。
望ましくは、第１の磁性体シート及び誘電体シートにおける除去部分と非除去部分との境界が、傾斜した端面となるように切断する。これにより、第１の磁性体シートと誘電体シートとの端面を密着させ若しくは重ならせることができるので、磁性体部分と誘電体部分とが隙間無く接合された混成シートを作成でき、均一で高品質の製品製造が可能となる。
望ましくは、第１の磁性体シートと誘電体シートとを加圧することにより、端面を接合する。これにより、磁性体と誘電体とが確実に一体化した混成シートを作成でき、均一で高品質の製品製造が可能となる。The laminated magnetic component according to the present invention is composed of a first magnetic sheet having a gap other than the magnetic core, a conductive pattern, and a single mixed sheet by matching the gap of the magnetic sheet. And a pair of second magnetic sheets sandwiching the top and bottom of one or a plurality of laminated composite sheets.
Also, the method for manufacturing a laminated magnetic component according to the present invention creates a first magnetic sheet and a pair of second magnetic sheets, creates a dielectric sheet, and creates a conductive pattern on the dielectric sheet. Then, the portion other than the magnetic core portion in the first magnetic sheet is removed, the portion corresponding to the magnetic core portion in the dielectric sheet is removed, and the non-removed portion of the dielectric sheet is matched with the portion removed from the first magnetic sheet. A composite sheet is prepared, the composite sheets are stacked, and the upper and lower sides thereof are sandwiched and fired by the pair of second magnetic sheets.
In the method for manufacturing a composite sheet for laminated magnetic parts according to the present invention, a first magnetic sheet is created, a dielectric sheet is created, a conductive pattern is created on the dielectric sheet, and the first magnetic sheet is produced. The part other than the magnetic core part in the body sheet is removed, the part corresponding to the magnetic core part in the dielectric sheet is removed, and the non-removed part of the dielectric sheet is matched with the part removed from the first magnetic body sheet. .
According to the present invention, a hybrid sheet can be formed simply by matching a magnetic sheet prepared in advance and having unnecessary portions removed, and the dielectric sheet. After the production, it is not necessary to take time and labor for filling the cavity with a material and forming a conductive pattern, and it is possible to efficiently produce a uniform and high-quality product.
Desirably, a plurality of hybrid sheets are laminated, and the laminated hybrid sheet includes a laminated magnetic sheet including a primary winding conductive pattern and a secondary winding conductive pattern. It may be a part. Thereby, the laminated magnetic component including the primary winding and the secondary winding functioning as the transformer section can be efficiently manufactured by stacking the hybrid sheets.
Preferably, the first magnetic sheet is formed on the first substrate, the dielectric sheet is formed on the second substrate, the conductive pattern is formed on the dielectric sheet, and the first magnetic sheet The portion other than the magnetic core portion is removed from the first substrate, the portion corresponding to the magnetic core portion in the dielectric sheet is removed from the second substrate, and the portion removed from the first substrate in the first magnetic material sheet The composite sheet is made by matching the portions of the dielectric sheet remaining on the second substrate, the first substrate and the second substrate are removed from the composite sheet, the composite sheets are stacked, and the upper and lower sides thereof are stacked. A laminated magnetic component may be manufactured by sandwiching and firing between a pair of second magnetic sheets.
In this way, the first magnetic sheet is formed on the first substrate in advance, and the dielectric sheet is formed on the second substrate, so that unnecessary portions can be removed and the remaining portions can be matched. Can be done efficiently.
Desirably, it cut | disconnects so that the boundary of the removal part and non-removal part in a 1st magnetic material sheet and a dielectric material sheet may become an inclined end surface. As a result, the end faces of the first magnetic sheet and the dielectric sheet can be brought into close contact with each other, so that a hybrid sheet in which the magnetic part and the dielectric part are joined without a gap can be created. High quality products can be manufactured.
Desirably, the end surfaces are joined by pressing the first magnetic sheet and the dielectric sheet. Thereby, a hybrid sheet in which the magnetic body and the dielectric body are reliably integrated can be created, and a uniform and high-quality product can be manufactured.

図１は、本発明の一実施形態である積層トランスの積層体を示す分解斜視図であり、図２は、本発明の一実施形態である積層トランスの縦断面図である。
図３は、本発明の一実施形態である積層トランスの製造方法を示す工程図であり、図４は中央部及び周縁部の境界を切断した内部磁性体シート及び誘電体シートを示す斜視図、図５は切断作業を示す説明図、図６は不要部分を除去した内部磁性体シート及び誘電体シートを示す斜視図、図７は内部磁性体シート及び誘電体シートを合致させた混成シートを示す斜視図である。
また、図８は、内部磁性体シートと誘電体シートとの接合工程を示す説明図であり、図９は、接合面の拡大断面図である。
さらに、図１０は、巻線配置、幅等が異なる種々の積層型磁性部品を示す縦断面図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a laminated body of a laminated transformer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the laminated transformer according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a process diagram showing a method for manufacturing a laminated transformer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view showing an internal magnetic sheet and a dielectric sheet with the boundary between the central portion and the peripheral portion cut. FIG. 5 is an explanatory view showing the cutting operation, FIG. 6 is a perspective view showing the internal magnetic sheet and the dielectric sheet from which unnecessary portions are removed, and FIG. 7 shows a hybrid sheet in which the internal magnetic sheet and the dielectric sheet are matched. It is a perspective view.
FIG. 8 is an explanatory view showing a bonding process between the internal magnetic sheet and the dielectric sheet, and FIG. 9 is an enlarged sectional view of the bonding surface.
Further, FIG. 10 is a longitudinal sectional view showing various laminated magnetic components having different winding arrangements, widths, and the like.

次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、実施形態とする）として、積層トランス及びその製造方法を例にとって、具体的に説明する。
［１．積層トランスの構成］
まず、本実施形態の積層トランスを、図１及び図２を参照して説明する。なお、図１は、積層トランスを構成する積層体の一例を示す分解斜視図である。図２は、本実施形態により製造された積層トランスの一例を示す縦断面図である。
すなわち、積層体１０は、複数の混成シート１１，１２を積層し、それを上部磁性体シート１５、下部磁性体シート１６によって挟持したものである。混成シート１１，１２は、非磁性体の誘電体部１１ａ，１２ａの中央及び周縁に、それぞれ中央磁性体部１１ｂ，１２ｂ及び周縁磁性体部１１ｃ，１２ｃが一体的に構成されたシートである。この混成シート１１，１２は、後述するように、中央磁性体部１１ｂ，１２ｂ及び周縁磁性体部１１ｃ，１２ｃに対応する部分を残した内部磁性体シート１３と、これらの磁性体部に対応する部分を除去した誘電体シート１４とを合致させることによって製造されている（図４〜図７参照）。
なお、本実施形態における内部磁性体シート１３は、請求項に記載の第１の磁性体シートに対応し、中央磁性体部１１ｂ，１２ｂ及び周縁磁性体部１１ｃ，１２ｃが、請求項に記載の磁性体部を構成する。また、本実施形態における上部磁性体シート１５、下部磁性体シート１６は、請求項に記載の第２の磁性体シートに対応する。
そして、誘電体部１１ａ，１２ａの一方の面上には、トランスの巻線を構成する導電パターン１７，１８が設けられている。導電パターン１７，１８は、それぞれ一次巻線及び二次巻線のいずれかを構成する。なお、図１においては、一次巻線及び二次巻線に対応した一対の混成シート１１，１２のみ記載されているが、所望の巻線数とするために、混成シート１１，１２をそれぞれ複数積層することができる。そして、それぞれの巻線は、導電体が充填されたスルーホール１９，２０を介して接続される。
さらに、図２に示すように、下部磁性体シート１６の下面には、一次巻線及び二次巻線のいずれかを構成する導電パターン１７，１８に接続された外部電極２１，２２が設けられている。外部電極２１，２２は、一次側及び二次側ともに、それぞれの両端に対応して一対用意されているが、導電パターン１７，１８と外部電極２１，２２とを接続するスルーホール及び導電体等は、図示を省略する。このように形成された積層トランス１００においては、中央磁性体部１１ｂ，１２ｂ、周縁磁性体部１１ｃ，１２ｃ、上部磁性体シート１５及び下部磁性体シート１６が、トランスの磁心（コア）を構成している。
なお、図１及び図２は、説明の便宜のために一部を簡略化した概略図であるため、厳密には対応していない。例えば、図２の積層トランスは、図１の混成シート１１，１２をより多く積層したものである。また、図２の積層トランスは、一次巻線及び二次巻線となる導電パターン１７，１８のターン数を多くしたものであるため、図１で示した導電パターン１７，１８とはその形状が異なっている。
［２．積層トランスの動作］
このような積層トランス１００は、例えば、一次側では、外部電極２１（一端側）→スルーホール１９（一端側）→導電パターン１７→スルーホール１９（他端側）→外部電極２１（他端側）の順又はこの逆の順で電流が流れる。一方、積層トランス１００の二次側では、外部電極２２（一端側）→スルーホール２０（一端側）→導電パターン１８→スルーホール２０（他端側）→外部電極２２（他端側）の順又はこの逆の順で電流が流れる。
そして、例えば、一次側の巻線を構成する導電パターン１７を流れる電流が発生させる磁束が、巻数比に応じた起電力を二次側の巻線を構成する導電パターン１８に発生させる。このようにして、積層トランス１００が動作する。
［３．積層トランスの製造方法］
次に、本実施態様の積層トランスの製造方法を、図３〜９を参照して説明する。なお、図３は工程図、図４〜９は工程中における各種シート材料を示す図である。
［３−１．磁性体シートの作成］
まず、内部磁性体シート１３用の磁性体スラリーを作成する（工程３０１）。磁性材料は、例えば、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系とすることが考えられるが、これに限定されるものではない。そして、図４に示すように、例えば、ドクターブレード法、押出成形法等を用いることにより、この磁性体スラリーを、基板となるＰＥＴ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）フィルムＢ１上に載置して、内部磁性体シート１３を成形する（工程３０２）。また、これと同様に、ＰＥＴフィルム上に上部磁性体シート１５，下部磁性体シート１６を成形する（工程３０３，３０４）。
なお、内部磁性体シート１３、上下部磁性体シート１５，１６及び後述する誘電体シート１４は、それぞれ多数の部品に対応する大きさを有する一枚のシートであり、各シートに対してなされる後述の処理も、個々の部品に対応する位置に施される。
［３−２．誘電体シートの作成］
一方、誘電体シート１４用の非磁性体スラリーも作成する（工程３０５）。誘電体シート１４用の非磁性体材料としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３を基調としたガラスセラミック材料を用いることができる。なお、ここでいう「非磁性体」とは、少なくとも磁性体シートよりも小さい透磁率を有する物質という意味である。「誘電体シート」とは、少なくとも磁性体シートよりも大きい抵抗率を有するシートという意味であり、絶縁シートとも呼ばれる。このような非磁性体スラリーを、図４に示すように、例えば、ドクターブレード法、押出成形法等を用いることにより、ＰＥＴフィルムＢ２上に載置することにより、誘電体シート１４を成形する（工程３０６）。
そして、プレス等によりスルーホール１９，２０を形成し（工程３０７）、例えば、Ａｇ系等の導電ペーストを誘電体シート１４上にスクリーン印刷することにより、一次巻線及び二次巻線となる導電パターン１７，１８を形成する（工程３０８）。この導電パターン１７，１８を形成する部分は、上述の通り、誘電体部１１ａ，１２ａとなる部分である。また、スルーホール１９，２０内にも導電ペーストが充填される。
［３−３．両シートの切断］
以上のように、ＰＥＴフィルムＢ１上に成形された内部磁性体シート１３に対して、図４に示すように、中央磁性体部１１ｂ，１２ｂの外縁となるラインＸ１と、周縁磁性部１１ｃ，１２ｃの内縁となるラインＹ１を、切断装置によってハーフカットする（工程３０９）。ここでいうハーフカットは、図５に示すように、カッタＣによって、内部磁性体シート１３のみを切断し、ＰＥＴフィルムＢ１をカットしないものである。また、内部磁性体シート１３の端面は、傾斜角度が付くように切断される。
同様に、誘電体シート１４も、誘電体部１１ａ，１２ａの内縁になるラインＸ２と外縁になるラインＹ２とを、切断装置によって端面に傾斜角度が付くようにハーフカットする（工程３１０）。このような切断面の様子を、図８（Ａ）（Ｂ）に簡略的に示す。なお、内部磁性体シート１３の切断面の傾斜と誘電体シート１４の切断面の傾斜とは、合致させた場合に一致する角度であることが望ましいが、角度が正確に一致していなくとも、それぞれに傾斜面があれば、後述の効果は十分に得られる。
次に、図６に示すように、内部磁性体シート１３における不要部分を除去する（工程３１１）。この不要部分とは、中央磁性体部１１ｂ，１２ｂ及び周縁磁性体部１１ｃ，１２ｃ以外の部分である。一方、誘電体シート１４における不要部分も除去する。この不要部分とは、誘電体部１１ａ，１２ａ以外の部分である。このように不要部分が除去された断面を、図８（Ｃ）に簡略的に示す。
ここで、不要部分の除去は、非除去部分をマスクして、その上から貼着させたテープを剥がすことにより行うことができるが、この方法に限定されるものではない。また、誘電体シート１４における中央磁性体部１１ｂ，１２ｂ及び周縁磁性体部１１ｃ，１２ｃに対応する部分を、同時に除去してもよいし、順次除去するようにしてもよい。
［３−４．混成シートの作成］
さらに、上記のように、不要部分を除去した内部磁性体シート１３に対して、不要部分を除去した誘電体シート１４を反転させ（工程３１３）、内部磁性体シート１３の除去部分に、誘電体シート１４を合致させる。なお、磁性体シート１４側を反転させて合致させてもよい。
このように、両シートを合致させると、図８（Ｄ）に示すように、傾斜した互いの端面が接触する。そして、図８（Ｅ）及び図９に示すように、プレス等により端面を接合させて、誘電体シート１４と内部磁性体シート１３を一体化させる（工程３１４）。例えば、図９に示すように、接合断面の幅αが５０μ程度の場合に、３０ｋｇ／ｃｍ２程度の圧力を加えることによって、磁性体材料と誘電体材料の接着力が働いて、一体化させることができる。
そして、このように形成された混成シート１１，１２から、図７に示すように、いずれか一方のＰＥＴフィルム（例えば、誘電体シート１４側のフィルムＢ２）が除去される（工程３１５）。
［３−５．積層トランスの作成］
以上のように形成された混成シート１１若しくは１２を、下部磁性体シート１６に積層し、ＰＥＴフィルムＢ１を除去する。同様に、混成シート１１若しくは１２が必要数となるように積層して行き、さらに上部磁性体シート１５を乗せ、プレスして密着させることにより積層体１０を作成する（工程３１６）。なお、上部磁性体シート１５，下部磁性体シート１６のＰＥＴフィルムも、本製造工程のいずれかにおいて適宜に、例えば、積層体の形成後等に除去される。続いて、この積層体１０を、個別の積層トランスに対応する所定の大きさに切断する（工程３１７）。例えば、６ｍｍ×９ｍｍの長方形状に切断する。そして、例えば９００℃前後で同時焼成を実行する（工程３１８）。最後に、外部電極２１，２２を形成することにより、積層トランス１００が完成する（工程３１９）。
［４．実施形態の効果］
本実施形態によれば、あらかじめ作成した内部磁性体シート１３と誘電体シート１４とを、適宜切断して合致させることにより混成シート１１，１２を作成するため、磁性体部分と誘電体部分とを一体化させる際に、キャビティへの材料の充填及びその後の導電パターン形成等の手間や時間がかからない。そして、あらかじめ作成しておく内部磁性体シート１３と誘電体シート１４は、それぞれ一枚のシートを形成すればよいので、製造が容易である。従って、非常に効率のよい製品製造が可能となる。
また、既に作成された内部磁性体シート１３と誘電体シート１４を合致させるので、キャビティへの材料の充填に比べて、乾燥時間が必要なく、充填の際に生じ易いムラ等も発生しない。従って、均一で高品質の製品製造が可能となる。特に、内部磁性体シート１３と誘電体シート１４の接合断面がともに垂直であると、両者が密着し難いが、本実施形態では、図８（Ｄ）（Ｅ）、図９に示すように、互いに合致するように傾斜している。このような傾斜があると、上下からのプレスによって端面が接合され、両者が完全に密着するので、接合不良等が発生せず、品質が安定する。
また、内部磁性体シート１３と誘電体シート１４は、ＰＥＴシートＢ１，Ｂ２上に作成され、その後の切断、不要部分の除去、残留部分の合致等をＰＥＴシートＢ１，Ｂ２上にて行うので、各処理を効率良く行うことができる。特に、上記実施形態の中央磁性体部１１ｂ，１２ｂ、周縁磁性部１１ｃ，１２ｃのように、シートが複数部分に分かれる場合でも、ＰＥＴシートＢ１，Ｂ２上で一体的に扱うことができるので、高速な処理が可能となる。
また、一次巻線と二次巻線との間が非磁性体である誘電体部分で満たされていることにより、高い磁気シールド構造となり、洩れ磁束を抑制できる。しかも、一次巻線及び二次巻線上に誘電体ペーストを塗布して誘電体層を形成する等の必要がないので、一次巻線同士及び二次巻線同士の絶縁性が劣化することもなく、一次巻線と二次巻線との間隔も広がらない。したがって、巻線相互の絶縁性を維持したまま電磁結合係数を増大できる。これに加えて、誘電体部分が介在することによって、一次巻線と二次巻線との絶縁性も高まる。
そして、磁心（コア）の磁気飽和特性を改善させるためのギャップ（低透磁率の空隙）を容易に実現できるので、優れた定インダクタンス性が得られる。さらに、誘電体部分の電気絶縁性によって、耐電圧を確保できるので、高絶縁耐圧と安定化が図れる。
また、中央磁性体部１１ｂ及び周縁磁性体部１２ｂと、誘電体部１１ａ，１２ａとが一体となった一枚の混成シート１１，１２を積層した構成であるため、薄型トランスを容易に実現可能となる。従って、表面実装型部品（ＳＭＤ：Ｓｕｒｆａｃｅ Ｍｏｕｎｔ Ｄｅｖｉｃｅ）として、利用範囲が広い。
また、各混成シート１１，１２の材料、サイズ等の仕様の変更、混成シート１１，１２の積層数の増減等によって、完成品となる積層トランスの巻線数、巻線比、透磁率、サイズ、絶縁耐圧等を調整できるので、設計に対する自由度が高く、種々の特性の積層トランスを容易且つ大量に製造することができる。
［５．他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。例えば、導電パターンがない誘電体シートを使用することにより、一部の層に導電パターンのない誘電体部が含まれるようにしてもよい。例えば、第２の磁性体シート（上部若しくは下部磁性体シート）に隣接する層に、導電パターンがない誘電体部を含めることによって、絶縁性能を高めることができる。一部の層に、混成でない誘電体シート若しくは磁性体シートを含めてもよい。
また、例えば、上記の実施形態は、積層トランスに適用した例であったが、同様に導電パターンによる巻線構造が必要となる積層型磁性部品、例えば、積層インダクタ、積層コモンモードフィルタ、積層複合部品、積層混成集積回路等にも適用可能である。いずれの電子部品に適用した場合であっても、積層トランスと同様に、薄型の表面実装型部品として、利用範囲が広くなる。特に、コモンモードフィルタに適用した場合、高電磁結合により、コモンモードノイズを効果的に除去することができる。
また、このような電子部品の種類、それぞれについて要求される仕様に応じて、各シート、導電パターン、電極等を構成する磁性体材料、誘電体材料、導電材料等は適宜変更可能であり、現在又は将来において利用可能なあらゆる材料が適用できる。従って、本発明は、上記の実施形態において例示した材料を使用するものには限定されない。各部の大きさや形状等も、上記の実施形態において例示した数値には限定されない。各シート、導電パターン等の形成方法も、上記の実施形態で例示した方法には限定されない。
また、混成シートの積層数、混成シートにおける導電パターンの数、形状、配置等も自由である。すなわち、上述のような設計の自由度が高いという利点を生かして、図１０（Ａ）〜（Ｌ）に示すように、一次巻線及び二次巻線の数や幅、一次巻線及び二次巻線の相対的な位置関係について、様々な態様の積層型磁性部品を製造することができる。一次巻線及び二次巻線の形状も、螺旋状、Ｌ字状等、自由である。第２の磁性体シート（上部、下部磁性体シート）の積層数も自由であり、磁心（コア）となる磁性体部の形状も、自由である。Next, as a best mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as an embodiment), a laminated transformer and a method for manufacturing the same will be described in detail.
[1. Configuration of laminated transformer]
First, the laminated transformer of this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of a laminated body constituting the laminated transformer. FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an example of the laminated transformer manufactured according to this embodiment.
That is, the laminated body 10 is obtained by laminating a plurality of hybrid sheets 11 and 12 and sandwiching them by the upper magnetic sheet 15 and the lower magnetic sheet 16. The hybrid sheets 11 and 12 are sheets in which the central magnetic body portions 11b and 12b and the peripheral magnetic body portions 11c and 12c are integrally formed at the centers and the peripheral edges of the nonmagnetic dielectric portions 11a and 12a, respectively. As will be described later, the hybrid sheets 11 and 12 correspond to the inner magnetic sheet 13 leaving portions corresponding to the central magnetic parts 11b and 12b and the peripheral magnetic parts 11c and 12c, and these magnetic parts. It is manufactured by matching the dielectric sheet 14 from which the portion has been removed (see FIGS. 4 to 7).
The internal magnetic sheet 13 in this embodiment corresponds to the first magnetic sheet recited in the claims, and the central magnetic body portions 11b and 12b and the peripheral magnetic body portions 11c and 12c are defined in the claims. The magnetic part is configured. The upper magnetic sheet 15 and the lower magnetic sheet 16 in the present embodiment correspond to the second magnetic sheet recited in the claims.
Conductive patterns 17 and 18 constituting the transformer windings are provided on one surface of the dielectric portions 11a and 12a. The conductive patterns 17 and 18 constitute either a primary winding or a secondary winding, respectively. In FIG. 1, only a pair of hybrid sheets 11 and 12 corresponding to the primary winding and the secondary winding are shown. However, in order to obtain a desired number of windings, a plurality of hybrid sheets 11 and 12 are provided. Can be stacked. Each winding is connected through through holes 19 and 20 filled with a conductor.
Further, as shown in FIG. 2, external electrodes 21 and 22 connected to conductive patterns 17 and 18 constituting either the primary winding or the secondary winding are provided on the lower surface of the lower magnetic sheet 16. ing. A pair of external electrodes 21 and 22 are prepared corresponding to both ends of the primary side and the secondary side, but through holes, conductors, etc. connecting the conductive patterns 17 and 18 and the external electrodes 21 and 22 are provided. The illustration is omitted. In the laminated transformer 100 formed in this way, the central magnetic parts 11b and 12b, the peripheral magnetic parts 11c and 12c, the upper magnetic sheet 15 and the lower magnetic sheet 16 constitute a magnetic core (core) of the transformer. ing.
1 and 2 are schematic diagrams partially simplified for convenience of explanation, and do not correspond strictly. For example, the laminated transformer of FIG. 2 is obtained by laminating more of the hybrid sheets 11 and 12 of FIG. Further, since the laminated transformer of FIG. 2 is obtained by increasing the number of turns of the conductive patterns 17 and 18 serving as the primary winding and the secondary winding, the shape of the conductive patterns 17 and 18 shown in FIG. Is different.
[2. Operation of laminated transformer]
For example, such a laminated transformer 100 includes, on the primary side, the external electrode 21 (one end side) → the through hole 19 (one end side) → the conductive pattern 17 → the through hole 19 (the other end side) → the external electrode 21 (the other end side). ) Or reverse order. On the other hand, on the secondary side of the laminated transformer 100, the order of the external electrode 22 (one end side) → the through hole 20 (one end side) → the conductive pattern 18 → the through hole 20 (the other end side) → the external electrode 22 (the other end side). Or, the current flows in the reverse order.
For example, the magnetic flux generated by the current flowing through the conductive pattern 17 constituting the primary winding causes the electromotive force corresponding to the turn ratio to be generated in the conductive pattern 18 constituting the secondary winding. In this way, the laminated transformer 100 operates.
[3. Manufacturing method of laminated transformer]
Next, the manufacturing method of the lamination | stacking transformer of this embodiment is demonstrated with reference to FIGS. 3 is a process diagram, and FIGS. 4 to 9 are diagrams showing various sheet materials in the process.
[3-1. Creation of magnetic sheet]
First, a magnetic slurry for the internal magnetic sheet 13 is prepared (step 301). The magnetic material may be, for example, a Ni—Cu—Zn system, but is not limited thereto. Then, as shown in FIG. 4, for example, by using a doctor blade method, an extrusion molding method or the like, this magnetic material slurry is placed on a PET (polyethylene terephthalate) film B1 as a substrate, and the internal magnetic material The sheet 13 is formed (step 302). Similarly, the upper magnetic sheet 15 and the lower magnetic sheet 16 are formed on the PET film (steps 303 and 304).
The internal magnetic sheet 13, the upper and lower magnetic sheets 15 and 16, and a dielectric sheet 14 to be described later are each a single sheet having a size corresponding to a large number of components, and each sheet is formed. Processing described later is also performed at positions corresponding to individual components.
[3-2. Creation of dielectric sheet]
On the other hand, a non-magnetic slurry for the dielectric sheet 14 is also created (step 305). As the non-magnetic material for the dielectric sheet 14, for example, a glass ceramic material based on Al 2 O 3 can be used. The term “non-magnetic material” as used herein means a substance having a permeability that is at least smaller than that of the magnetic sheet. The “dielectric sheet” means a sheet having a resistivity higher than at least the magnetic sheet, and is also called an insulating sheet. As shown in FIG. 4, such a non-magnetic slurry is placed on the PET film B2 by using, for example, a doctor blade method, an extrusion molding method, or the like, thereby forming the dielectric sheet 14 ( Step 306).
Then, through holes 19 and 20 are formed by pressing or the like (step 307), and, for example, a conductive paste such as an Ag-based material is screen-printed on the dielectric sheet 14, thereby forming the primary winding and the secondary winding. Patterns 17 and 18 are formed (step 308). The portions where the conductive patterns 17 and 18 are formed are portions that become the dielectric portions 11a and 12a as described above. The through holes 19 and 20 are also filled with a conductive paste.
[3-3. Cutting both sheets]
As described above, with respect to the internal magnetic sheet 13 formed on the PET film B1, as shown in FIG. 4, the line X1 serving as the outer edge of the central magnetic body portions 11b and 12b and the peripheral magnetic portions 11c and 12c. The line Y1 serving as the inner edge of the line is half-cut by a cutting device (step 309). As shown in FIG. 5, the half-cut here means that only the internal magnetic sheet 13 is cut by the cutter C and the PET film B <b> 1 is not cut. Moreover, the end surface of the internal magnetic material sheet 13 is cut so as to have an inclination angle.
Similarly, the dielectric sheet 14 is also half-cut by the cutting device such that the line X2 that is the inner edge of the dielectric portions 11a and 12a and the line Y2 that is the outer edge are inclined by the cutting device (step 310). The state of such a cut surface is simply shown in FIGS. Note that the inclination of the cut surface of the internal magnetic sheet 13 and the inclination of the cut surface of the dielectric sheet 14 are preferably angles that match when matched, but even if the angles do not match exactly, If each has an inclined surface, the effects described later are sufficiently obtained.
Next, as shown in FIG. 6, the unnecessary part in the internal magnetic material sheet 13 is removed (step 311). This unnecessary portion is a portion other than the central magnetic body portions 11b and 12b and the peripheral magnetic body portions 11c and 12c. On the other hand, unnecessary portions in the dielectric sheet 14 are also removed. This unnecessary portion is a portion other than the dielectric portions 11a and 12a. A cross-section from which unnecessary portions are removed in this manner is simply shown in FIG.
Here, the removal of the unnecessary portion can be performed by masking the non-removed portion and peeling off the tape stuck thereon, but is not limited to this method. In addition, the portions corresponding to the central magnetic body portions 11b and 12b and the peripheral magnetic body portions 11c and 12c in the dielectric sheet 14 may be removed simultaneously or sequentially.
[3-4. Create hybrid sheet]
Further, as described above, the dielectric sheet 14 from which the unnecessary portion has been removed is reversed with respect to the internal magnetic sheet 13 from which the unnecessary portion has been removed (step 313), and the dielectric material is disposed on the removed portion of the internal magnetic sheet 13. Match the sheet 14. The magnetic material sheet 14 side may be reversed and matched.
Thus, when both sheets are made to coincide with each other, the inclined end faces come into contact with each other as shown in FIG. Then, as shown in FIGS. 8E and 9, the end surfaces are joined by a press or the like, and the dielectric sheet 14 and the internal magnetic sheet 13 are integrated (step 314). For example, as shown in FIG. 9, when the bonding cross section width α is about 50 μm, by applying a pressure of about 30 kg / cm 2 , the adhesive force between the magnetic material and the dielectric material works to integrate them. be able to.
Then, as shown in FIG. 7, one of the PET films (for example, the film B2 on the dielectric sheet 14 side) is removed from the hybrid sheets 11 and 12 thus formed (step 315).
[3-5. Creation of laminated transformer]
The hybrid sheet 11 or 12 formed as described above is laminated on the lower magnetic sheet 16, and the PET film B1 is removed. Similarly, the laminated sheet 11 or 12 is laminated so that it becomes a necessary number, and the laminated body 10 is created by placing the upper magnetic sheet 15 and pressing and adhering it (step 316). Note that the PET films of the upper magnetic sheet 15 and the lower magnetic sheet 16 are also removed as appropriate in any of the manufacturing steps, for example, after forming the laminate. Subsequently, the laminate 10 is cut into a predetermined size corresponding to the individual laminate transformer (step 317). For example, it is cut into a 6 mm × 9 mm rectangular shape. For example, simultaneous firing is performed at around 900 ° C. (step 318). Finally, by forming the external electrodes 21 and 22, the laminated transformer 100 is completed (step 319).
[4. Effects of the embodiment]
According to this embodiment, in order to produce the hybrid sheets 11 and 12 by appropriately cutting and matching the internal magnetic material sheet 13 and the dielectric material sheet 14 prepared in advance, the magnetic material portion and the dielectric material portion are combined. When integrating, it does not take time and effort such as filling of the material into the cavity and subsequent conductive pattern formation. Since the internal magnetic material sheet 13 and the dielectric sheet 14 prepared in advance may be formed as a single sheet, the manufacturing is easy. Therefore, very efficient product manufacture becomes possible.
Further, since the already prepared internal magnetic sheet 13 and the dielectric sheet 14 are matched, there is no need for a drying time and unevenness or the like that is likely to occur at the time of filling does not occur as compared with the filling of the material into the cavity. Therefore, it is possible to produce a uniform and high quality product. In particular, if both the cross sections of the internal magnetic sheet 13 and the dielectric sheet 14 are vertical, it is difficult for them to be in close contact with each other. However, in this embodiment, as shown in FIGS. Inclined to match each other. If there is such an inclination, the end faces are joined by pressing from above and below, and the two are completely brought into close contact with each other.
Further, the internal magnetic sheet 13 and the dielectric sheet 14 are formed on the PET sheets B1 and B2, and subsequent cutting, removal of unnecessary portions, matching of remaining portions, etc. are performed on the PET sheets B1 and B2. Each process can be performed efficiently. In particular, even when the sheet is divided into a plurality of parts, such as the central magnetic body parts 11b and 12b and the peripheral magnetic parts 11c and 12c in the above-described embodiment, the sheet can be handled integrally on the PET sheets B1 and B2. Processing becomes possible.
In addition, since the space between the primary winding and the secondary winding is filled with a dielectric portion which is a non-magnetic material, a high magnetic shield structure is obtained, and leakage magnetic flux can be suppressed. Moreover, since it is not necessary to apply a dielectric paste on the primary winding and the secondary winding to form a dielectric layer, the insulation between the primary windings and the secondary windings is not deteriorated. The distance between the primary winding and the secondary winding does not increase. Therefore, the electromagnetic coupling coefficient can be increased while maintaining the insulation between the windings. In addition, the insulation between the primary winding and the secondary winding is enhanced by the presence of the dielectric portion.
Since a gap (low magnetic permeability) for improving the magnetic saturation characteristics of the magnetic core (core) can be easily realized, excellent constant inductance can be obtained. Furthermore, since the withstand voltage can be secured by the electric insulation of the dielectric portion, a high withstand voltage and stabilization can be achieved.
Further, since the central magnetic body portion 11b and the peripheral magnetic body portion 12b and the dielectric portions 11a and 12a are integrated into a single laminated sheet 11, 12, a thin transformer can be easily realized. It becomes. Therefore, the use range is wide as a surface mount type component (SMD: Surface Mount Device).
In addition, the number of windings, the winding ratio, the magnetic permeability, and the size of the laminated transformer, which is a finished product, can be changed by changing the specifications of materials and sizes of the hybrid sheets 11 and 12 and by increasing or decreasing the number of laminated sheets 11 and 12. Since the withstand voltage can be adjusted, the degree of freedom in design is high, and laminated transformers having various characteristics can be manufactured easily and in large quantities.
[5. Other Embodiments]
The present invention is not limited to the embodiment as described above. For example, a dielectric sheet having no conductive pattern may be included in some layers by using a dielectric sheet having no conductive pattern. For example, the insulating performance can be enhanced by including a dielectric portion having no conductive pattern in a layer adjacent to the second magnetic sheet (upper or lower magnetic sheet). Some layers may include a non-hybrid dielectric sheet or magnetic sheet.
Further, for example, the above embodiment is an example applied to a multilayer transformer, but similarly, a multilayer magnetic component that requires a winding structure with a conductive pattern, such as a multilayer inductor, a multilayer common mode filter, and a multilayer composite. It can also be applied to components, laminated hybrid integrated circuits, and the like. Even when applied to any electronic component, the range of use is widened as a thin surface-mounted component, similar to a laminated transformer. In particular, when applied to a common mode filter, common mode noise can be effectively removed by high electromagnetic coupling.
In addition, depending on the types of electronic components and the specifications required for each, the magnetic material, dielectric material, conductive material, etc. constituting each sheet, conductive pattern, electrode, etc. can be changed as appropriate. Or any material available in the future can be applied. Therefore, the present invention is not limited to the use of the materials exemplified in the above embodiments. The size, shape, and the like of each part are not limited to the numerical values exemplified in the above embodiment. The formation method of each sheet, conductive pattern, etc. is not limited to the method exemplified in the above embodiment.
Further, the number of laminated hybrid sheets, the number of conductive patterns in the hybrid sheet, the shape, the arrangement, etc. are also free. That is, taking advantage of the high degree of design freedom as described above, as shown in FIGS. 10A to 10L, the numbers and widths of the primary windings and secondary windings, the primary windings and the secondary windings, and the like. With respect to the relative positional relationship of the secondary windings, various types of laminated magnetic parts can be manufactured. The shape of the primary winding and the secondary winding is also free such as a spiral shape or an L shape. The number of stacked second magnetic sheets (upper and lower magnetic sheets) is also free, and the shape of the magnetic part that becomes the magnetic core (core) is also free.

本発明に係る積層型磁性部品及びその製造方法並びに積層型磁性部品用混成シートの製造方法によれば、小型でありながら、高い電磁結合係数を確保できる高品質の積層型磁性部品を、効率よく製造することが可能となる。  According to the multilayer magnetic component and the manufacturing method thereof and the method of manufacturing the composite sheet for the multilayer magnetic component according to the present invention, a high-quality multilayer magnetic component that can secure a high electromagnetic coupling coefficient while being small in size is efficiently obtained. It can be manufactured.

Claims (10)

磁心部以外に空隙を有する第１の磁性体シートと、
導電パターンが形成されるとともに、前記磁性体シートの空隙に合致することにより一枚の混成シートを構成する誘電体シートと、
一枚若しくは積層された複数枚の前記混成シートの上下を挟持する一対の第２の磁性体シートと、
を有することを特徴とする積層型磁性部品。A first magnetic sheet having a gap in addition to the magnetic core,
A conductive sheet is formed, and a dielectric sheet constituting one hybrid sheet by conforming to the gap of the magnetic sheet,
A pair of second magnetic sheets sandwiching the upper and lower sides of one or a plurality of laminated composite sheets; and
A laminated magnetic component comprising: 前記混成シートは複数枚積層され、
積層された前記混成シートには、一次巻線の導電パターンが形成されたものと、二次巻線の導電パターンが形成されたものが含まれていることを特徴とする請求項１記載の積層型磁性部品。A plurality of the hybrid sheets are laminated,
The laminated sheet according to claim 1, wherein the laminated sheet includes a sheet formed with a conductive pattern of a primary winding and a sheet formed with a conductive pattern of a secondary winding. Mold magnetic parts. 第１の磁性体シート及び一対の第２の磁性体シートを作成し、
誘電体シートを作成し、
前記誘電体シート上に導電パターンを作成し、
前記第１の磁性体シートにおける磁心部以外を除去し、
前記誘電体シートにおける磁心部対応部分を除去し、
前記第１の磁性体シートから除去した部分に、前記誘電体シートの非除去部分を合致させて混成シートを作成し、
前記混成シートを積層し、その上下を前記一対の第２の磁性体シートにより挟持して焼成する、
ことを特徴とする積層型磁性部品の製造方法。Create a first magnetic sheet and a pair of second magnetic sheets,
Create a dielectric sheet,
Creating a conductive pattern on the dielectric sheet;
Except for the magnetic core in the first magnetic sheet,
Removing the portion corresponding to the magnetic core in the dielectric sheet;
Creating a hybrid sheet by matching the non-removed portion of the dielectric sheet to the portion removed from the first magnetic sheet;
Laminating the hybrid sheet, firing the upper and lower sandwiched between the pair of second magnetic sheets,
A method of manufacturing a laminated magnetic component, wherein 第１の基板上に第１の磁性体シートを作成し、
第２の基板上に誘電体シートを作成し、
前記誘電体シート上に導電パターンを作成し、
前記第１の磁性体シートにおける磁心部以外を、前記第１の基板上から除去し、
前記誘電体シートにおける磁心部対応部分を、前記第２の基板上から除去し、
前記第１の磁性体シートにおける前記第１の基板上から除去した部分に、前記誘電体シートにおける前記第２の基板上に残留した部分を合致させて混成シートを作成し、
前記混成シートから、前記第１の基板及び前記第２の基板を除去し、
前記混成シートを積層し、その上下を、一対の第２の磁性体シートにより挟持して焼成する、
ことを特徴とする積層型磁性部品の製造方法。Creating a first magnetic sheet on a first substrate;
Creating a dielectric sheet on the second substrate;
Creating a conductive pattern on the dielectric sheet;
Remove the part other than the magnetic core part in the first magnetic sheet from the first substrate,
Removing the portion corresponding to the magnetic core in the dielectric sheet from the second substrate;
Creating a hybrid sheet by matching the portion of the dielectric sheet remaining on the second substrate with the portion removed from the first substrate of the first magnetic sheet;
Removing the first substrate and the second substrate from the hybrid sheet;
Laminating the hybrid sheet, the upper and lower sides are sandwiched and fired by a pair of second magnetic sheets,
A method of manufacturing a laminated magnetic component, wherein 前記第１の磁性体シート及び前記誘電体シートにおける除去部分と非除去部分との境界が、傾斜した端面となるように切断することを特徴とする請求項３又は４記載の積層型磁性部品の製造方法。5. The laminated magnetic component according to claim 3, wherein the first magnetic sheet and the dielectric sheet are cut so that a boundary between a removed portion and a non-removed portion is an inclined end surface. Production method. 前記第１の磁性体シートと前記誘電体シートとを加圧することにより、端面を接合することを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の積層型磁性部品の製造方法。6. The method of manufacturing a laminated magnetic component according to claim 3, wherein the end surfaces are joined by pressurizing the first magnetic sheet and the dielectric sheet. 7. 第１の磁性体シートを作成し、
誘電体シートを作成し、
前記誘電体シート上に導電パターンを作成し、
前記第１の磁性体シートにおける磁心部以外を除去し、
前記誘電体シートにおける磁心部対応部分を除去し、
前記第１の磁性体シートから除去した部分に、前記誘電体シートの非除去部分を合致させる、
ことを特徴とする積層型磁性部品用混成シートの製造方法。Create the first magnetic sheet,
Create a dielectric sheet,
Creating a conductive pattern on the dielectric sheet;
Except for the magnetic core in the first magnetic sheet,
Removing the portion corresponding to the magnetic core in the dielectric sheet;
The portion removed from the first magnetic sheet is matched with the non-removed portion of the dielectric sheet.
A method for producing a composite sheet for laminated magnetic parts. 第１の基板上に第１の磁性体シートを作成し、
第２の基板上に誘電体シートを作成し、
前記誘電体シート上に導電パターンを作成し、
前記第１の磁性体シートにおける磁心部以外を、前記第１の基板上から除去し、
前記誘電体シートにおける磁心部対応部分を、前記第２の基板上から除去し、
前記第１の磁性体シートにおける前記第１の基板上から除去した部分に、前記誘電体シートにおける前記第２の基板上に残留した部分を合致させる、
ことを特徴とする積層型磁性部品用混成シートの製造方法。Creating a first magnetic sheet on a first substrate;
Creating a dielectric sheet on the second substrate;
Creating a conductive pattern on the dielectric sheet;
Remove the part other than the magnetic core part in the first magnetic sheet from the first substrate,
Removing the portion corresponding to the magnetic core in the dielectric sheet from the second substrate;
A portion of the dielectric sheet remaining on the second substrate is matched with a portion of the first magnetic sheet removed from the first substrate;
A method for producing a composite sheet for laminated magnetic parts. 前記第１の磁性体シート及び前記誘電体シートにおける除去部分と非除去部分との境界が、傾斜した端面となるように切断することを特徴とする請求項７又は８記載の積層型磁性部品用混成シートの製造方法。9. The laminated magnetic component according to claim 7, wherein the first magnetic sheet and the dielectric sheet are cut so that a boundary between a removed portion and a non-removed portion is an inclined end surface. A method for producing a hybrid sheet. 前記第１の磁性体シートと前記誘電体シートとを加圧することにより、端面を接合することを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の積層型磁性部品用混成シートの製造方法。The composite sheet for laminated magnetic parts according to any one of claims 7 to 9, wherein end faces are joined by pressurizing the first magnetic sheet and the dielectric sheet. Method.
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