JPWO2002045081A1 - 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、磁気記録媒体及び磁気記憶装置に関し、特に高密度記録に適した磁気記録媒体及び磁気記憶装置に関する。
背景技術
磁気ディスク等の水平磁気記録媒体の記録密度は、媒体ノイズの低減及び磁気抵抗効果型ヘッド及びスピンバルブヘッドの開発により、著しく増大した。代表的な磁気記録媒体は、基板と、下地層と、磁性層と、保護層とがこの順序で積層された構造を有する。下地層は、Cr又はCr系合金からなり、磁性層は、Co系合金からなる。
媒体ノイズを低減する方法は、今までに各種提案されている。例えば、Okamoto et al.,”Rigid Disk Medium for 5Gbit/in2 Recording”,AB−3,Intermag ’96 Digestには、CrMoからなる適切な下地層を用いて磁性層の膜厚を減少させることで、磁性層の粒子サイズ及びサイズ分布を減少させることが提案されている。又、米国特許第5,693,426号では、NiAlからなる下地層を用いることが提案されている。更に、Hosoe et al.,”Experimental Study of Thermal Decay in High−Density Magnetic Recording Media”,IEEE Trans.Magn.Vol.33,1528(1997)では、CrTiからなる下地層を用いることが提案されている。上記の如き下地層は、磁性層の面内配向を促し残留磁化及びビットの熱安定性を増加させる。磁性層の膜厚を減少させて、解像度を高くする、或いは、書き込まれたビット間の遷移幅を減少させることも提案されている。更に、CoCr系合金からなる磁性層のCr偏析を促進させ、粒子間の交換結合を減少させることも提案されている。
しかし、磁性層の粒子が小さくなり互いに磁気的により孤立するにつれ、書き込まれたビットは、線密度に応じて増加する減磁界と熱活性化とにより不安定になる。Lu et al.,”Thermal Instability at 10 Gbit/in2 Magnetic Recording”,IEEE Trans.Magn.Vol.30,4230(1994)では、マイクロマグネティックシミュレーションにより、直径が10nmで400kfciビットでKuV/kBT〜60なる比の各粒子の交換結合を抑制された媒体では、大幅な熱的ディケイを受けやすいことが発表されている。ここで、Kuは磁気異方性の定数、Vは磁性粒子の平均体積、kBはボルツマン定数、Tは温度を示す。尚、KuV/kBTなる比は、熱安定性係数とも呼ばれる。
Abarra et al.,”Thermal Stability of Narrow Track Bits in a 5 Gbit/in2 Medium”,IEEE Trans.Magn.Vol.33,2995(1997)では、粒子間の交換相互作用の存在が書き込まれたビットを安定化させることが、5Gbit/in2のCoCrPtTa/CrMo媒体のアニールされた200kfciビットのMFM(磁気間力顕微鏡)解析により報告されている。ところが、20Gbit/in2以上の記録密度では、更なる粒子間の磁気的結合の抑制が必須となる。
これに対する順当な解決策は、磁性層の磁気異方性を増加させることであった。しかし、磁性層の磁気異方性を増加させるには、ヘッドの書き込み磁界に大きな負荷がかかってしまう。
又、熱的に不安定な磁気記録媒体の保磁力は、He et al.,”High Speed Switching in Magnetic Recording Media”,J.Magn.Magn.Mater.Vol.155,6(1996)において磁気テープ媒体について、そして、J.H. Richter,”Dynamic Coercivity Effects in Thin Film Media”,IEEE Trans.Magn.Vol.34,1540(1997)において磁気ディスク媒体について報告されているように、スイッチ時間の減少に応じて急激に増加する。このため、データ速度に悪影響が生じてしまう。つまり、磁性層にどれくらい速くデータを書き込めるか、及び、磁性粒子の磁化を反転させるのに必要なヘッドの磁界強度が、スイッチ時間の減少に応じて急激に増加する。
他方、熱安定性を向上させる他の方法として、磁性層の下の基板に適切なテクスチャ処理を施すことにより、磁性層の配向率を増加させる方法も提案されている。例えば、発行中のAkimoto et al.,”Magnetic Relaxation in Thin Film Media as a Function of Orientation”,J.Magn.Magn.Mater.(1999)では、マイクロマグネティックシミュレーションにより、実効的なKuV/kBT値が配向率の僅かな増加により増大することが報告されている。この結果、Abarra et al.,”The Effect of Orientation Ratio on the Dynamic Coercivity of Media for >15Gbit/in2 Recording”,EB−02,Intermag ’99,Koreaにおいて報告されているように、磁気記録媒体の保磁力の時間依存性を弱めることができ、オーバーライト性能を向上させることができる。
更に、熱安定性を向上するための、キーパ磁気記録媒体も提案されている。キーパ層は、軟磁性層からなる。この軟磁性層は、磁性層の上又は下に配置される。多くの場合、Cr磁気絶縁層が軟磁性層と磁性層との間に設けられる。軟磁性層は、磁性層に書き込まれたビットの減磁界を減少させる。しかし、磁気記録層と連続的に交換結合する軟磁性層の結合により、磁性層の粒子の減結合(磁性層の粒子間の交換結合低減)という目的が達成されなくなってしまう。その結果、媒体ノイズが増大する。
熱安定性を向上し、媒体ノイズを低減する方法は、様々なものが提案されている。しかし、提案されている方法では、書き込まれたビットの熱安定性を大幅に向上することはできず、このため、媒体ノイズを大幅に減少させることは難しいという問題があった。更に、提案方法によっては、媒体ノイズを低減するための対策のために、磁気記録媒体の性能に悪影響を及ぼしてしまうという問題もあった。
具体的には、熱安定性の高い磁気記録媒体を得るためには、(i)磁気異方性定数Kuを増加させる、(ii)温度Tを減少させる、又は、(iii)磁性層の粒子体積Vを増加させる等の対策が考えられる。しかし、対策(i)では保磁力が増加してしまい、磁性層に情報を書き込むことがより難しくなってしまう。他方、対策(ii)は、例えばディスクドライブ等の動作温度が60℃を超えることがあることを考えると、非実用的である。更に、対策(iii)は、前記の如く媒体ノイズを増加させてしまう。又、対策(iii)に代わって、磁性層の膜厚を増加させることも考えられるが、この方法では分解能が低下してしまう。
発明の開示
そこで、本発明は、上記の問題を解決した新規、且つ、有用な磁気記録媒体及び磁気記憶装置を提供することを概括的目的とする。
本発明のより具体的な目的は、簡単な媒体構造を用いて、書き込まれたビットの熱安定性を向上し、媒体ノイズを低減し、磁気記録媒体の性能に悪影響を及ぼすことなく信頼性の高い高密度記録を行える磁気記録媒体及び磁気記憶装置を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、強磁性材料からなる中間層と、該中間層上に設けられた非磁性結合層と、該非磁性結合層上に設けられた磁性層とを備え、該中間層は、該磁性層と独立に磁化反転し、無磁場中(ヘッド磁場が印加されていない情報保持時)では磁化方向が該磁性層とは反平行となるフェリ結合層として機能することを特徴とする磁気記録媒体を提供することにある。本発明になる磁気記録媒体によれば、簡単な媒体構造を用いて、書き込まれたビットの熱安定性を向上し、媒体ノイズを低減し、磁気記録媒体の性能に悪影響を及ぼすことなく信頼性の高い高密度記録を行える。
前記中間層は、CoCrTa、CoCrPtTaを含むhcp構造を有するCo系合金のグループから選択された材料からなる構成としても良い。この場合、前記中間層のCr組成は10at%以上で20at%以下、Ta組成は0.5at%以上で10at%以下、Pt組成は10at%以下であるように構成しても良い。
本発明の他の目的は、上記の如き磁気記録媒体を少なくとも1つ備えたことを特徴とする磁気記憶装置によっても達成できる。本発明になる磁気記憶装置によれば、簡単な媒体構造を用いて、書き込まれたビットの熱安定性を向上し、媒体ノイズを低減し、磁気記録媒体の性能に悪影響を及ぼすことなく信頼性の高い高密度記録を行える。
本発明の更に他の目的及び特長は、以下図面と共に述べる説明より明らかとなろう。
発明を実施するための最良の形態
本発明になる磁気記録媒体及び磁気記憶装置の各実施例を、以下に図面と共に説明する。
先ず、本発明の動作原理を説明する。
本発明は、互いに反平行である磁化構造を有する複数の層を用いるものである。例えば、S.S.P.Parkin,”Systematic Variation of the Strength and Oscillation Period of Indirect Magnetic Exchange Coupling though the 3d,4d,and 5d Transition Metals”,Phys.Rev.Lett.Vol.67,3598(1991)においては、Ru,Rh等の薄い非磁性中間層を介して磁性層に結合するCo,Fe,Ni等の磁気遷移金属が説明されている。他方、米国特許第5,701,223号公報には、センサの安定化のために、上記の如き層を積層されたピニング層として用いるスピンバルブが提案されている。
2つの強磁性層の間に設けられたRu又はRh層が特定の膜厚を有する場合、強磁性層の磁化方向を互いに平行又は反平行にすることができる。例えば、互いに異なる膜厚で磁化方向が反平行である2つの強磁性層からなる構造の場合、磁気記録媒体の有効粒子サイズは、分解能に実質的な影響を及ぼすことなく増加させることができる。このような磁気記録媒体から再生された信号振幅は、逆方向の磁化により減少するが、これに対しては、積層磁性層構造の下に、適切な膜厚及び磁化方向の層を更に設けることで、1つの層による影響を打ち消すことができる。この結果、磁気記録媒体から再生される信号振幅を増大させ、且つ、実効粒子体積を増大させることができる。従って、熱安定性の高い書き込まれたビットを実現することができる。
本発明は、磁性層を他の強磁性層と逆の磁化方向で交換結合させる積層フェリ磁性構造を用いることにより、書き込まれたビットの熱安定性を向上させる。強磁性層又は積層フェリ磁性層は、粒子間の交換相互作用が低減された粒子からなる磁性層からなる。つまり、本発明は、磁気記録媒体の熱安定性の性能を向上させるために、交換ピニング強磁性層を持つフェリ磁性多層構造を用いる。
図1は、本発明になる磁気記録媒体の第1実施例の要部を示す断面図である。
磁気記録媒体は、非磁性基板1、第1のシード層2、NiP層3、第2のシード層4、下地層5、非磁性中間層6、強磁性層7、非磁性結合層8、磁性層9、保護層10及び潤滑層11が、図1に示すようにこの順序で積層された構造を有する。
例えば、非磁性基板1は、Al,Al合金又はガラスからなる。この非磁性基板1は、テクスチャ処理を施されていても、施されていなくても良い。第1のシード層2は、特に非磁性基板1がガラスからなる場合には、例えばCrからなる。NiP層3は、その表面にテクスチャ処理又は酸化処理を施されていても、施されていなくても良い。第2のシード層4は、Cr系下地層5の(001)面の配向を良好にするために設けられている。第2のシード層4は、第1のシード層2と同様な適切な材料からなる。
磁気記録媒体が磁気ディスクの場合、非磁性基板1又はNiP層3に施されるテクスチャ処理は、ディスクの周方向、即ち、ディスク上のトラックが延在する方向に沿って行われる。
非磁性中間層6は、強磁性層7〜磁性層9のエピタキシャル成長、粒子分布幅の減少、及び磁気記録媒体の記録面と平行な面に沿った磁性層9の異方性軸(磁化容易軸)の配向を促進するために設けられている。この非磁性中間層6は、CoCr−M等のhcp構造を有する合金からなり、1〜5nmの範囲に選定された膜厚を有する。ここで、M=B,Cu,Mo,Nb,Ta,W又はこれらの合金である。
強磁性層7は、Co、Ni、Fe、Co系合金、Ni系合金、Fe系合金等からなる。つまり、CoCrTa、CoCrPt、CoCrPt−Mを含むCo系合金を、強磁性層7に用いることができる。ここで、M=B、Cu,Mo、Nb、Ta、W又はこれらの合金である。この強磁性層7は、2〜10nmの範囲に選定された膜厚を有する。非磁性結合層8は、Ru、Rh、Ir、Ru系合金、Rh系合金、Ir系合金等からなる。例えば、この非磁性結合層8は、0.4〜1.0nmの範囲に選定された膜厚を有し、好ましくは約0.6〜0.8nmの膜厚を有する。非磁性結合層8の膜厚をこのような範囲に選定することにより、強磁性層7及び磁性層9の磁化方向が無磁場状態では互いに反平行となる。強磁性層7及び非磁性結合層8は、交換層構造を構成する。
磁性層9は、Co又はCoCrTa、CoCrPt、CoCrPt−Mを含むCo系合金等からなる。ここで、M=B,Cu,Mo,Nb,Ta,W又はこれらの合金である。磁性層9は、5〜30nmの範囲に選定された膜厚を有する。勿論、磁性層9は、単一層構造のものに限定されず、多層構造からなる構成であっても良いことは、言うまでもない。
保護層10は、例えばCからなる。又、潤滑層11は、磁気記録媒体を例えばスピンバルブヘッド等の磁気トランスデューサと使用するための、有機物潤滑剤からなる。保護層10及び潤滑層11は、磁気記録媒体上の保護層構造を構成する。
交換層構造の下に設けられる層構造は、勿論図1に示すものに限定されない。例えば、下地層5は、Cr又はCr系合金からなり、基板1上に5〜40nmの範囲に選定された膜厚に形成し、交換層構造は、このような下地層5上に設けても良い。
次に、本発明になる磁気記録媒体の第2実施例を説明する。
図2は、本発明になる磁気記録媒体の第2実施例の要部を示す断面図である。同図中、図1と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
この磁気記録媒体の第2実施例では、交換層構造が、フェリ磁性多層構造を構成する、2つの非磁性結合層8,8−1及び2つの強磁性層7,7−1からなる。このような構造を用いることにより、2つの非磁性結合層8,8−1の磁化は、磁性層9の一部を打ち消すことなく、互いに打ち消し合うので、実効磁化及び信号を増大することが可能となる。この結果、磁性層9の粒子体積及び磁化の熱安定性が効果的に増大される。記録層の磁化容易軸の配向が好ましく保たれる限り、強磁性層と非磁性層の対からなる追加される2層構造により、実効的な粒子体積の増大を図ることができる。
強磁性層7−1は、強磁性層7と同様の材料からなり、膜厚も強磁性層7と同様の範囲に選定される。又、非磁性結合層8−1は、非磁性結合層8と同様の材料からなり、膜厚も非磁性結合層8と同様の範囲に選定される。強磁性層7,7−1間では、c軸は実質的に面内方向に沿っており、粒子は柱状に成長する。
本実施例では、強磁性層7−1の磁気異方性は、強磁性層7の磁気異方性より強く設定されている。しかし、強磁性層7−1の磁気異方性は、強磁性層7の磁気異方性より強くても、弱くても、或いは、同じに設定されていても良い。要は、強磁性層7の磁気異方性がその上下の層9,7−1よりも弱ければ良い。
又、強磁性層7の残留磁化と膜厚の積は、強磁性層7−1の残留磁化と膜厚の積より小さく設定されている。
図3は、Si基板上に形成された膜厚10nmの単一のCoPt層の面内磁気特性を示す図である。図3中、縦軸は磁化(emu)、横軸は保磁力(Oe)を示す。従来の磁気記録媒体は、図3に示す如き特性を示す。
図4は、上記記録媒体の第1実施例の如く、膜厚が0.8nmのRu層で分離された2つのCoPt層の面内磁気特性を示す図である。図4中、縦軸は残留磁化(Gauss)、横軸は保磁力(Oe)を示す。図4からもわかるように、ループは保磁力近傍でシフトを生じ、反強磁性結合が発生していることがわかる。図5は、膜厚が1.4nmのRu層で分離された2つのCoPt層の面内磁気特性を示す図である。図5中、縦軸は残留磁化(emu)、横軸は保磁力(Oe)を示す。図5からもわかるように、2つのCoPt層の磁化方向は平行である。
図6は、上記第2実施例の如く、膜厚が0.8nmのRu層で分離された2つのCoCrPt層の面内磁気特性を示す図である。図6中、縦軸は残留磁化(emu/cc)、横軸は保磁力(Oe)を示す。図6からもわかるように、ループは保磁力近傍でシフトを生じ、反強磁性結合が発生していることがわかる。
図3及び図4より、交換層構造を設けることにより、反平行結合を得られることがわかる。又、図5を、図4及び図6と比較することでわかるように、非磁性結合層8の膜厚は、反平行結合を得るためには、好ましくは0.4〜0.9nmの範囲に選定される。
従って、磁気記録媒体の第1及び第2実施例によれば、磁性層と強磁性層との間の非磁性結合層を介した交換結合により、分解能を犠牲にすることなく、実効粒子体積を増大させることができる。つまり、熱安定性の良い媒体を実現できるように、粒子体積から見ると、磁性層の見かけ上の膜厚を増加させることができる。又、下部の磁性層からの再生出力は打ち消されるため、有効な磁性層の膜厚は変わらない。このため、見かけ上の磁性層の膜厚は増加するが、有効な磁性層の膜厚は変化せずに薄くできるので、厚い媒体では得られない高分解能を得ることができる。この結果、媒体ノイズが低減され、且つ、熱安定性の向上された磁気記録媒体を得ることができる。
次に、本発明になる磁気記録媒体の第3実施例を説明する。
図7は、本発明になる磁気記録媒体の第3実施例の要部を示す断面図である。同図中、図1と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
本実施例では、非磁性基板1は、表面にNiPメッキ層(図示せず)が形成されているAlからなり、NiPメッキ層の表面にはテクスチャ処理が施されてるか、或いは、酸化処理を施されている。尚、非磁性基板1は、表面にNiP、CrP、NiAl等の配向調整層が形成されているガラス、強化ガラス又は結晶化ガラスからなる構成としても良い。
Cr系合金からなる下地層5は、2層構造を有する。具体的には、下地層5は、膜厚が3nmのCrからなる第1の下地層5−1と、膜厚が3nmのCrMo25からなる第2の下地層5−2からなる。Co系合金からなる非磁性中間層6は、膜厚が1nmのCoCr13Ta5からなる。強磁性層7は、膜厚が5nmのCoCr20Pt10B6Cu4からなる。非磁性結合層8は、膜厚が0.6nmのRuからなる。磁性層9は、膜厚が12nmの、強磁性層7と同じ組成のCoCr20Pt10B6Cu4からなる。
次に、本発明になる磁気記録媒体の第4実施例を説明する。
図8は、本発明になる磁気記録媒体の第4実施例の要部を示す断面図である。同図中、図7と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
本実施例では、図7に示す中間層6及び強磁性層7の代わりに、図8に示す強磁性中間層31が設けられている。Co系合金からなる中間層31は、膜厚が3nmのCoCr13Ta5からなる。その他の層5,8,9の組成及び膜厚は、図7の場合と同じである。又、磁気記録媒体の層5−1,5−2,31,8,9は、非磁性基板1を洗浄してマグネトロンスパッタ装置により220℃に加熱した後に、非磁性基板1上に順次スパッタすることにより形成することができる。
図9は、本発明になる磁気記録媒体の第5実施例の要部を示す断面図である。同図中、図8と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
本実施例では、図8に示す中間層31の代わりに、図9に示す中間層32が設けられている。Co系合金からなる中間層32は、膜厚が3nmの磁性層9と同じ組成のCoCr20Pt10B6Cu4からなる。
図10、図11及び図12は、夫々図7に示す第3実施例、図8に示す第4実施例及び図9に示す第5実施例のヒステリーシスループを示す図である。図10〜図12において、縦軸は磁化を任意単位で示し、横軸は磁界(Oe)を示す。
図10〜図12からもわかるように、第3〜第5実施例では、磁界が約300〜500Oeの付近で磁化が急激に変化することが確認できた。これは、磁界により、下層の強磁性層7又は中間層31,32がフェリ結合層として機能して上層の磁性層9と独立に磁化反転し、磁性層9とフェリ結合層(強磁性層7又は中間層31,32)とで磁化方向が反平行になっていることを示している。
図13は、第3実施例〜第5実施例の電磁変換特性を示す図である。同図中、縦軸は信号対雑音(S/N)比(dB)を示す。同図に示すS/N比は、次式を用いて63.3kFCIでの再生出力と357.3kFCIでの媒体ノイズとの比をdBで求めることにより得られた。
S/N比(dB)=20log(S/N); S,N(μVrms)
図13からもわかるように、第3実施例と第4実施例とでは、S/N比が略同じであり、第5実施例のS/N比より高いことが確認できた。一般に、CoCr13Ta5磁性層は、CoCr20Pt10B6Cu4磁性層に比べて媒体ノイズが多く発生するが、特に図8に示す第4実施例のフェリ結合層(中間層31)の場合、磁気記録媒体全体の媒体ノイズに影響を与えないことが確認できた。このため、図7に示す第3実施例では磁性層9の面内配向性を促進させる目的に使用されていた中間層6と同じ材料からなる中間層31を、図8に示す第4実施例ではフェリ結合層として用いることができる。又、媒体のノイズが多い材料は、磁性粒子間の交換相互作用が切れていないので、熱的に安定である。
従って、第4実施例の如き中間層31をフェリ結合層として設けることにより、磁性層9の面内配向を向上すると共に、媒体ノイズ源となることなく、磁気記録媒体に書き込まれたビットの熱安定性を向上することができる。更に、第4実施例では、第3実施例より1層少ない構造とすることができるので、磁気記録媒体の製造工程を少なくすることができ、磁気記録媒体の製造コストも低減可能となる。
尚、上記第4実施例において、中間層31は、CoCrTa、CoCrPtTa等のhcp構造を有するCo系合金のグループから選択された材料から構成しても良く、膜厚は好ましくは約5nm以下である。又、Co系合金からなる中間層31において、Cr組成は10at%以上で20at%以下、Ta組成は0.5at%以上で10at%以下、Pt組成は10at%以下にすることが望ましい。又、非磁性結合層8は、Ruに限定されず、Ru、Rh、Ir、Cu、Cr又はこれらの合金からなるグループから選択された材料から構成しても良い。更に、磁性層9は、Co、Ni、Fe、Fe系合金、Ni系合金、及びCoCrTa、CoCrPt、CoCrPt−Mを含むCo系合金からなるグループから選択された材料から構成しても良く、M=B、Cu,Mo、Nb、Ta、W又はこれらの合金であっても良い。
次に、本発明になる磁気記憶装置の一実施例を、図14及び図15と共に説明する。図14は、磁気記憶装置の一実施例の要部を示す断面図であり、図15は、磁気記憶装置の一実施例の要部を示す平面図である。
図14及び図15に示すように、磁気記憶装置は大略ハウジング13からなる。ハウジング13内には、モータ14、ハブ15、複数の磁気記録媒体16、複数の記録再生ヘッド17、複数のサスペンション18、複数のアーム19及びアクチュエータユニット20が設けられている。磁気記録媒体16は、モータ14により回転されるハブ15に取り付けられている。記録再生ヘッド17は、MRヘッドやGMRヘッド等の再生ヘッドと、インダクティブヘッド等の記録ヘッドとからなる。各記録再生ヘッド17は、対応するアーム19の先端にサスペンション18を介して取り付けられている。アーム19はアクチュエータユニット20により駆動される。この磁気記憶装置の基本構成自体は周知であり、その詳細な説明は本明細書では省略する。
磁気記憶装置の本実施例は、磁気記録媒体16に特徴がある。各磁気記録媒体16は、図1、図2及び図7〜図9と共に説明した、上記磁気記録媒体の第1実施例〜第5実施例のいずれかの構造を有する。勿論、磁気記録媒体16の数は3枚に限定されず、1枚でも、2枚又は4枚以上であっても良い。
磁気記憶装置の基本構成は、図14及び図15に示すものに限定されるものではない。又、本発明で用いる磁気記録媒体は、磁気ディスクに限定されない。
以上、本発明を実施例により説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能であることは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
図1は本発明になる磁気記録媒体の第1実施例の要部を示す断面図、
図2は本発明になる磁気記録媒体の第2実施例の要部を示す断面図、
図3はSi基板上に形成された膜厚10nmの単一のCoPt層の面内磁気特性を示す図、
図4は膜厚が0.8nmのRu層で分離された2つのCoPt層の面内磁気特性を示す図、
図5は膜厚が1.4nmのRu層で分離された2つのCoPt層の面内磁気特性を示す図、
図6は膜厚が0.8nmのRu層で分離された2つのCoCrPt層の面内磁気特性を示す図、
図7は本発明になる磁気記録媒体の第3実施例の要部を示す断面図、
図8は本発明になる磁気記録媒体の第4実施例の要部を示す断面図、
図9は本発明になる磁気記録媒体の第5実施例の要部を示す断面図、
図10は第3実施例のヒステリーシスループを示す図、
図11は第4実施例のヒステリーシスループを示す図、
図12は第5実施例のヒステリーシスループを示す図、
図13は第3実施例〜第5実施例の電磁変換特性を示す図、
図14は本発明になる磁気記憶装置の一実施例の要部を示す断面図、
図15は磁気記憶装置の一実施例の要部を示す平面図である。
Claims (9)
- 強磁性材料からなる中間層と、
該中間層上に設けられた非磁性結合層と、
該非磁性結合層上に設けられた磁性層とを備え、
該中間層は、該磁性層と独立に磁化反転し、無磁場中では磁化方向が該磁性層とは反平行となるフェリ結合層として機能することを特徴とする、磁気記録媒体。 - 前記中間層は、CoCrTa、CoCrPtTaを含むhcp構造を有するCo系合金のグループから選択された材料からなることを特徴とする、請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体。
- 前記中間層のCr組成は10at%以上で20at%以下、Ta組成は0.5at%以上で10at%以下、Pt組成は10at%以下であることを特徴とする、請求の範囲第2項記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性結合層は、Ru、Rh、Ir、Cu、Cr又はこれらの合金からなるグループから選択された材料からなることを特徴とする、請求の範囲第1項〜第3項のいずれか1項記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性層は、Co、Ni、Fe、Fe系合金、Ni系合金、及びCoCrTa、CoCrPt、CoCrPt−Mを含むCo系合金からなるグループから選択された材料からなり、M=B、Cu、Mo、Nb、Ta、W又はこれらの合金であることを特徴とする、請求の範囲第1項〜第4項のいずれか1項記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性結合層は、前記強磁性中間層と前記磁性層の両方に直接接触していることを特徴とする、請求の範囲第1項〜第5項のいずれか1項記載の磁気記録媒体。
- 前記強磁性中間層の下に設けられた下地層と、
前記下地層の下に設けられた基板とを更に備え、
該基板の表面はテクスチュア処理又は酸化処理を施されていることを特徴とする、請求の範囲第1項〜第6項のいずれか1項記載の磁気記録媒体。 - 前記強磁性中間層の下に設けられた下地層と、
前記下地層の下に設けられた基板とを更に備え、
該基板の表面には配向調整層が設けられていることを特徴とする、請求の範囲第1項〜第6項のいずれか1項記載の磁気記録媒体。 - 請求の範囲第1項〜第8項のいずれか1項記載の磁気記録媒体を少なくとも1つ備えたことを特徴とする、磁気記憶装置。
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