JPS647317U - - Google Patents

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JPS647317U
JPS647317U JP10003487U JP10003487U JPS647317U JP S647317 U JPS647317 U JP S647317U JP 10003487 U JP10003487 U JP 10003487U JP 10003487 U JP10003487 U JP 10003487U JP S647317 U JPS647317 U JP S647317U
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JP
Japan
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movement stage
limit signal
control device
movable range
fine movement
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Pending
Application number
JP10003487U
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  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の第1の実施例のブロツク図、
第2図は第2の実施例のブロツク図である。 1……粗動ステージ、2……微動ステージ、3
a,3b……リミツトセンサ、4,5,6,10
,11……アンドゲート、7,8……オアゲート
、9……粗動ステージ制御回路、12……微動ス
テージ制御回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 移動ピツチが粗い粗動ステージと移動ピツチが
    微小な微動ステージにより構成される位置決め制
    御装置において、 前記微動ステージが可動範囲外であることを示
    すリミツト信号を発生するリミツト信号発生手段
    と、 このリミツト信号が発生した場合、微動ステー
    ジが可動範囲に入るように粗動ステージを駆動す
    る駆動手段とを有することを特徴とする位置決め
    制御装置。
JP10003487U 1987-07-01 1987-07-01 Pending JPS647317U (ja)

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JP10003487U JPS647317U (ja) 1987-07-01 1987-07-01

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JP10003487U JPS647317U (ja) 1987-07-01 1987-07-01

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JPS647317U true JPS647317U (ja) 1989-01-17

Family

ID=31327742

Family Applications (1)

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JP10003487U Pending JPS647317U (ja) 1987-07-01 1987-07-01

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JP (1) JPS647317U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03266006A (ja) * 1990-03-16 1991-11-27 Hitachi Constr Mach Co Ltd 位置決めテーブルの駆動制御方法
JPH04134504A (ja) * 1990-09-27 1992-05-08 Kawasaki Heavy Ind Ltd 位置決め制御装置

Citations (6)

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JPS58208815A (ja) * 1982-05-31 1983-12-05 Mutoh Ind Ltd ヘツド自動制御機の安全装置
JPS59101834A (ja) * 1982-12-03 1984-06-12 Hitachi Ltd 精密平面移動装置
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