JPS645432U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS645432U JPS645432U JP9741587U JP9741587U JPS645432U JP S645432 U JPS645432 U JP S645432U JP 9741587 U JP9741587 U JP 9741587U JP 9741587 U JP9741587 U JP 9741587U JP S645432 U JPS645432 U JP S645432U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- receiving part
- hole
- attached
- semiconductor manufacturing
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例の半導体製造装置にお
ける保持部を示す図、第２図は本考案の半導体製
造装置の主要部を示す斜視図、第３図および第４
図は従来の半導体製造装置における保持部の例を
示す図、第５図は従来の半導体製造装置の主要部
を示す斜視図である。 １……保持部、２……引出し棒、３……ボート
、４……半導体ウエハー、５……拡散炉、６……
ボートローダ、１２……アーム部、１２ａ……孔
部、１３……受け部、１３ａ……突起部、１４…
…固定板、１５……雌ネジ。
ける保持部を示す図、第２図は本考案の半導体製
造装置の主要部を示す斜視図、第３図および第４
図は従来の半導体製造装置における保持部の例を
示す図、第５図は従来の半導体製造装置の主要部
を示す斜視図である。 １……保持部、２……引出し棒、３……ボート
、４……半導体ウエハー、５……拡散炉、６……
ボートローダ、１２……アーム部、１２ａ……孔
部、１３……受け部、１３ａ……突起部、１４…
…固定板、１５……雌ネジ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 往復駆動されるボートローダに取り付けられた
保持部によつて引出し棒を保持し、この引出し棒
に取り付けたボードに載置した半導体ウエハーを
炉内に出し入れするようにした半導体製造装置に
おいて、 上記保持部が、ボートローダに取り付けられる
とともに孔部を有するアーム部と、谷型の凹部が
形成されるとともに底部に上記アーム部の孔部に
嵌合する突起部を有する受け部と、この受け部の
凹部に対向する固定板とを有し、 上記引出し棒を上記受け部と固定板とで挟んで
ネジ止めするとともに、受け部と上記アーム部と
を突起部と孔部において嵌合して連結するように
したことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9741587U JPS645432U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9741587U JPS645432U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS645432U true JPS645432U (ja) | 1989-01-12 |
Family
ID=31322866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9741587U Pending JPS645432U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS645432U (ja) |
-
1987
- 1987-06-26 JP JP9741587U patent/JPS645432U/ja active Pending
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