JPS6449693U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6449693U JPS6449693U JP14550487U JP14550487U JPS6449693U JP S6449693 U JPS6449693 U JP S6449693U JP 14550487 U JP14550487 U JP 14550487U JP 14550487 U JP14550487 U JP 14550487U JP S6449693 U JPS6449693 U JP S6449693U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- stationary member
- supports
- turbo
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案によるターボ分子ポンプの一実
施例を示す断面図、第２図は第１図における動圧
滑り軸受の拡大図である。 １……ケーシング、２……ステータ翼、３……
ロータ、４……ロータ翼、５，１３……ベース（
静止部材）、６……高周波モータ、７……支持プ
レート、７ａ……孔、８……永久磁石固定用ブロ
ツク、９……凹部、１０，１１……永久磁石（磁
気軸受）、１２……スパイラルグルーブベアリン
グ（動圧滑り軸受）、１４……軸受台、１５……
凹部、１６……バネ受け（静止部材）、１７……
コイルスプリング（弾性手段）、１８……空間。
施例を示す断面図、第２図は第１図における動圧
滑り軸受の拡大図である。 １……ケーシング、２……ステータ翼、３……
ロータ、４……ロータ翼、５，１３……ベース（
静止部材）、６……高周波モータ、７……支持プ
レート、７ａ……孔、８……永久磁石固定用ブロ
ツク、９……凹部、１０，１１……永久磁石（磁
気軸受）、１２……スパイラルグルーブベアリン
グ（動圧滑り軸受）、１４……軸受台、１５……
凹部、１６……バネ受け（静止部材）、１７……
コイルスプリング（弾性手段）、１８……空間。
Claims (1)
- 円筒状ケーシングと、このケーシング内に縦軸
周りに回転可能に収納されるロータと、このロー
タの上部と静止部材とのそれぞれに設けられる数
対の永久磁石から構成されロータの径方向を支持
する磁気軸受と、前記ロータの下部と静止部材と
の間に設けられロータの径方向および軸方向をと
もに支持する動圧滑り軸受と、を備えたターボ分
子ポンプにおいて、前記動圧滑り軸受の受台の裏
側と静止部材との間に温度により付勢力が変化す
る弾性手段を介装したことを特徴とするターボ分
子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14550487U JPS6449693U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14550487U JPS6449693U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6449693U true JPS6449693U (ja) | 1989-03-28 |
Family
ID=31414154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14550487U Pending JPS6449693U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6449693U (ja) |
-
1987
- 1987-09-24 JP JP14550487U patent/JPS6449693U/ja active Pending
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