JPS6445162U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6445162U JPS6445162U JP13534487U JP13534487U JPS6445162U JP S6445162 U JPS6445162 U JP S6445162U JP 13534487 U JP13534487 U JP 13534487U JP 13534487 U JP13534487 U JP 13534487U JP S6445162 U JPS6445162 U JP S6445162U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- sample
- plasma
- insulating material
- grounded
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は、電極部の断面図であつて、試料保持
機構の試料支持部と一緒に断面をとつているもの
。第２図は、それを斜め下方から眺めた斜視図で
ある。第３図は試料保持用絶縁物２の外形形状を
斜め上方から見たの斜視図。第４図は従来の試料
保持機構および試料保持電極の断面図。第５図は
、試料搬送系を備えた従来のプラズマ処理装置の
概略図。 １は電極、４は絶縁材料、３５は接地されたシ
ールド板、２は試料保持用絶縁物、３は支持体、
１０は、シヤフト、１１は試料。
機構の試料支持部と一緒に断面をとつているもの
。第２図は、それを斜め下方から眺めた斜視図で
ある。第３図は試料保持用絶縁物２の外形形状を
斜め上方から見たの斜視図。第４図は従来の試料
保持機構および試料保持電極の断面図。第５図は
、試料搬送系を備えた従来のプラズマ処理装置の
概略図。 １は電極、４は絶縁材料、３５は接地されたシ
ールド板、２は試料保持用絶縁物、３は支持体、
１０は、シヤフト、１１は試料。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 接地された処理槽内に設けられかつ高周波電圧
を印加された電極の表面に試料を載置し、放電プ
ラズマを利用して該試料の表面にプラズマ処理を
施すプラズマ処理装置において、 該電極の該試料で覆われない表面部および側面
部と、該放電プラズマもしくは該電極近傍の接地
導電性部材との間に絶縁性材料を配置するととも
に、該絶縁性材料の表面の少なくとも一部を接地
されたシールド板で覆い、且つ、 前記絶縁性材料の配置は、該電極から該放電プ
ラズマもしくは該接地導電性部材を直線的に見通
すような隙間部分が存在しないように構成したこ
とを特徴とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13534487U JPS6445162U (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13534487U JPS6445162U (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6445162U true JPS6445162U (ja) | 1989-03-17 |
Family
ID=31394883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13534487U Pending JPS6445162U (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6445162U (ja) |
-
1987
- 1987-09-04 JP JP13534487U patent/JPS6445162U/ja active Pending
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