JPS643129Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はクリーンルーム用照明器具に関するも
のである。

（背景技術） クリーンルームでは、室内に常に清澄な層流の
循環気流を設けてあり、かかるクリーンルームに
用いる照明器具は塵埃が蓄積しないように層流を
乱さないよう設置し、併せて帯電も防止する必要
がある。

又特に半導体工場のフオトレジストの露光工程
のクリーンルームでは紫外線をカツトすることが
要求される。

第１図は従来例を示し、フイルター１を取付バ
ー２に載置した天井に取り付けた照明器具３であ
る。このものは取付バー２に取付いた角筒状の器
具本体４の下方にランプ５を位置させたもので、
ランプ５は紫外線のでないイエローランプを用
い、或いは通常のランプに紫外線除去チユーブを
被覆させていた。

しかしながら、フイルター１を通り下方へ流れ
る気流はランプ５により乱され渦流が生じ、器具
本体４及びランプ５に塵埃が付着し易かつた。
又、イエローランプは高価であり、通常のランプ
に紫外線除去チユーブを被覆させたものでは保守
点検作業が繁雑であつた。

（考案の目的） 本考案は上記の点に鑑みてなされたもので、層
流を乱すことなく、塵埃の付着しにくい照明器具
を提供することを目的とする。

（実施例） 第２図乃至第５図は本考案の実施例を示し、ク
リーンルーム用の照明器具であり、フイルター１
を載置した取付バー２の幅と等しい幅の器具本体
４と、器具本体４の下面に取り付いた安定器８、
ランプ５等を覆つて取り付いた器具本体４と等し
い幅の覆蓋６と、覆蓋６に保持され、紫外線をカ
ツトするとともに帯電防止処理をされた透光カバ
ー７とより成る。ここで覆蓋６及び透光カバー７
の先端形状は半円筒形状に形成されている。

この様に構成された照明器具は、第６図に示す
高さｂ及び幅ａの等しい矩形断面の照明器具と比
較すれば、層流の乱れる範囲３ａ（図中点線で示
す範囲であり、一般に幅ａの３倍である）は、第
４図に示す如く先端の半円形部８（半径ａ／２）
の基端（器具本体４の背面よりの高さｂ−ａ／
２）より始まる。結局層流の乱れる範囲は第５図
のものに比べａ／２だけ上方で終る。

又、その表面積も小さくなり層流摩擦による帯
電が少なく、塵埃の付着も少ない。

更に透光カバー７は紫外線をカツトするのでイ
エローランプを利用したり紫外線除去チユーブを
被覆することなく紫外線の除去が簡単に行える。

（考案の効果） 本考案は上記の如く構成され、天井に設けられ
た取付バーに背面で取り付く該取付バーと等しい
幅の器具本体と、該器具本体の下面に取り付いた
各種部品及びランプ等を覆う該器具本体と等しい
幅の覆蓋と、該覆蓋に保持され帯電防止処理をさ
れた透光カバーとより成り、覆蓋及び透光カバー
の先端形状を半円筒形状に形成したことにより、
層流の乱れる範囲が小さくでき塵埃の付着を軽減
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す断面正面図。第２図乃至
第５図は本考案の実施例を示し、第２図はクリー
ンルーム全体の概略断面図、第３図は照明器具の
斜視図、第４図は同上の断面正面図、第５図は同
上の模式図。第６図は第５図と対比すべき従来例
相当の模式図。 １…フイルター、２…取付バー、３…照明器
具、４…器具本体、５…ランプ、６…覆蓋、７…
透光カバー、８…半円形部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井に取付バーを設け、該バーにフイルターを
   載置し該フイルターから下方へ気流が通過するよ
   うにしたクリーンルームの、取付バー下面に背面
   で取り付けられるクリーンルーム用照明器具であ
   つて、該取付バーと等しい幅の器具本体と、該器
   具本体の下面に取り付いた各種部品及びランプ等
   を覆う該器具本体と等しい幅の覆蓋と、該覆蓋に
   保持され帯電防止処理をされた透光カバーとより
   成り、覆蓋及び透光カバーの先端形状を半円筒形
   状に形成したことを特徴とするクリーンルーム用
   照明器具。