JPS6420990U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るレーザ加工装置の一実施
例の縦断面図、第２図は第１図中の要部の拡大図
、第３図は本考案の他の実施例を示す図、第４図
はレーザ加工装置の従来例を示したものである。 １……顕微鏡部、２……レーザ発振部、３……
被加工物、３ａ……加工面、８……対物レンズ、
Ｍ……光軸、Ｎ……光軸、９……導光手段、１２
……レーザ・ビーム、１３……ビーム断面成形器
、１３ｂ……遮光手段、１３ｃ……開口部、１５
……ビーム・コンプレツサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 加工用のレーザ・ビームを発振するレーザ発振
   部と、 被加工物の加工面に対向して設けられた対物レ
   ンズ及びこの対物レンズをレーザ・ビームの集光
   レンズとして利用するために前記レーザ発振部か
   ら発射されたレーザ・ビームを前記対物レンズの
   光軸上に導く導光手段を備えた顕微鏡部と、 前記レーザー発振部から前記導光手段に至るレ
   ーザ・ビームの経路上に介在して前記レーザ発振
   部から発射されたレーザ・ビームを光学的に集光
   してビーム径を縮径するビーム・コンプレツサと
   、 このビームコンプレツサと前記導光手段との間
   に設けられて開口部を有した遮光手段によつてレ
   ーザ・ビームの横断面形状を開口部の形状に成形
   するビーム断面成形器とを有するレーザ加工装置
   。