JPS62167210U - - Google Patents

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JPS62167210U
JPS62167210U JP5451086U JP5451086U JPS62167210U JP S62167210 U JPS62167210 U JP S62167210U JP 5451086 U JP5451086 U JP 5451086U JP 5451086 U JP5451086 U JP 5451086U JP S62167210 U JPS62167210 U JP S62167210U
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light
mirror
sample
convex mirror
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す構成略図、第
２図は従来例を説明するための構成略図である。 １：試料、２：凹面鏡、３：凸面鏡、４：反射
対物レンズ、５：穴、６：接眼レンズ、７：光源
、８：集束レンズ、９：投影レンズ、１０：半透
鏡、１１：小孔、１２：遮蔽板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料からの光を集光するため該試料の上方
    に配置される凹面鏡と、該凹面鏡で集光された光
    を該凹面鏡の中央部に開けた穴を介して外へ取り
    出すため該凹面鏡と前記試料との間に配置される
    凸面鏡と、前記穴を介して取り出された試料から
    の光の光路上に配置される接眼レンズと、前記凹
    面鏡の穴を介して前記試料に向けて送られる照明
    光を発生する光源と、該照明光の光軸と前記観察
    系光軸とを一致させるための半透鏡とを備えた装
    置において、前記凸面鏡の光軸部分を無反射とな
    すための手段を備えることを特徴とする光学顕微
    鏡。 (2) 前記凸面鏡の光軸部分を無反射となすため
    の手段として、凸面鏡の光軸部分に小孔を形成し
    た実用新案登録請求の範囲第１項記載の光学顕微
    鏡。 (3) 前記凸面鏡の光軸部分を無反射となすため
    の手段として、凸面鏡の光軸部分の表面に光を吸
    収する物質を配置した実用新案登録請求の範囲第
    １項記載の光学顕微鏡。
JP5451086U 1986-04-11 1986-04-11 Pending JPS62167210U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1896829A2 (en) * 2005-06-30 2008-03-12 KLA-Tencor Technologies Corporation Beam delivery system for laser dark-field illumination in a catadioptric optical system

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5519722A (en) * 1978-07-27 1980-02-12 Jeol Ltd Corpuscular ray microanalyzer

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