JPS6396615A - 望遠鏡鏡面支持装置 - Google Patents

望遠鏡鏡面支持装置

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JPS6396615A
JPS6396615A JP24362286A JP24362286A JPS6396615A JP S6396615 A JPS6396615 A JP S6396615A JP 24362286 A JP24362286 A JP 24362286A JP 24362286 A JP24362286 A JP 24362286A JP S6396615 A JPS6396615 A JP S6396615A
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JP
Japan
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mirror
electromagnet
mirror support
actuator
mirror surface
Prior art date
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Application number
JP24362286A
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JPH0810292B2 (ja
Inventor
Hiroshi Yokoyama
博 横山
Moichi Sakabe
茂一 阪部
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、天文観測等に使用する望遠鏡、特にその鏡
面支持機構に関するものである。
〔従来の技術〕
第３図は例えば刊行物ゝゝＶｅｒｙ　Ｌａｒｇｅ　Ｔｅ
ｌｅｓｃｏｐｅｉｎｔｅｒｉｍ　ｒｅｐｏｒｔ”Ｊａｎ
　１９８６　ＥＳＯＶＬＴ　ｒｅｐｏｒｔ　ＮｏＮｏ−
４４ｐａ　８９　Ｆｉｇ３２　　Ｋ示された従来の望遠
鏡鏡面保持装置を示す断面図であり１図において、（１
）は鏡面支持台、（３）は鏡面支持台（１）に固定され
たモータを使用したアクチュエータ、（８）はアクチュ
エータにより上下に変位するアクチュエータ軸である。
（６）はアクチュエータ軸（８）にバネ押え（９）を介
して配置されるバネ、（７）はバネ（６）とバネ押え（
９）を介して配置されるバネケースである。（４）は上
記アクチュエータ軸（８）及びバネケース（７）を上下
動自在に支承するＩＪ　ニアベアリング、（２）は鏡面
支持機構により支持される鏡、（５）は鏡に加わる力を
測定するセンサである。
次に動作について説明する。鏡面支持台（１）に固定さ
れ、モータを内蔵したアクチュエータ（３）は制御装置
からの治号（図中矢印Ａで示す）により、アクチュエー
タ軸（８）を上下動する。アクチュエータ軸（８）の上
下動により、バネ板（９）を介してノ（ネ（６）を収縮
させ制御力を発生する。次に、バネ板（９）を介してバ
ネケース（７）に伝えられ鏡（２）に力を加え、鏡（２
）の位置を制御する。バネ（６）による制御力は、アク
チュエータ軸（８）の上下動により、鏡（２）を押す方
向にも引く方向にも発生でき、その強さも制御される。
センサ（５）は鏡に加えられる制御力の太きさを検出し
、制御装置によりフィードバック制御（図中矢印Ｂで示
す）′がかけられる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の望遠鏡鏡面支持装置は以上のように構成されてい
るので、高精度のアクチュエータが必要で、高価で、工
作が難しく、頻繁に保守を必要とした。又、バネのバネ
定数の非線形により制御が難しい等の問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、高精度で鏡を位置決めできるとともＫ、安価
・容易に製作できる望遠鏡鏡面支持装置を得ることを目
的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る望遠鏡鏡面支持装置は、鏡面支持機構に
電磁石を使用したものである。
〔作用〕
この発明における望遠鏡鏡面支持装置は、電磁石による
電磁力を制御力として使用し鏡の位置を制御する、電磁
力の大きさおよび方向は電磁石に加える電流の大きさお
よび方向を変化させることで制御する。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）は鏡面支持台、（２）は鏡、（５）
はセンサで従来例と同様である。Ｄｏａ）、（１ｏｂ）
はそれぞれ鏡面支持台（１）Ｋ固定され丸鉄芯で、コイ
ル（ハ）とともに電磁石α力を構成する。
次に動作について説明する。電磁石Ｏυのコイル０２に
電流を流す（図中矢印Ａで示す）ことにより鉄芯（］Ｏ
ａ）、（１０ｂ）間に磁界が発生し、電磁力が発生する
０鉄芯（ｌｏａ）は鏡面支持台（１）に、又、鉄芯（１
ｏｂ）は鏡（２）に固定されているため、発生した電磁
力は鏡（２）の制御力として作用し、鏡（２）を正確な
位置に位置決めする。鏡（２）に加えられる制御力はセ
ンサ（５）により検出されて制御装置へと送られ（図中
矢印Ｂで示す）制御力のフィードバックループを形成す
る。
電磁石０１）で発生する制御力の大きさ拳方向は、コイ
ル（２）に加えられる電流の大きさ・方向により制御さ
れる。
なお、上記実施例ではコイル（ハ）を鉄芯（］Ｏａ）　
。
（１０１：＋）の両方に設けたが、第２図に示すように
片方に設けてもよい。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、鏡面支持機構に電磁
石を使用したので、装置が安価にでき、また、精度の高
い鏡の位置決めが可能となる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例による望遠鏡鏡面支持装置
を示す断面図、第２図はこの発明の他の実施例による望
遠鏡鏡面支持装置を示す断面図、第３図は従来の望遠鏡
鏡面支持装置を示す断面図である。 図において、（１）は鏡面支持台、（２）は鏡、（３）
はアクチュエータ、（４）はリニアベアリング、（５）
はセンサ、（６）はバネ、（７）はバネケース、（８）
はアクチュエータ軸、（９）はバネ押え、（１０ａ）、
（コｏｂ）は鉄芯、０１）は電磁石、（１１：コイルで
ある。 なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 鏡面支持台と、この鏡面支持台に固定されたアクチュエ
    ータを有する鏡面支持機構と、この鏡面支持機構によつ
    て支持される鏡とを備えた望遠鏡鏡面支持装置において
    、上記アクチュエータに電磁石を用いたことを特徴とす
    る望遠鏡鏡面支持装置。
JP61243622A 1986-10-13 1986-10-13 望遠鏡鏡面支持装置 Expired - Lifetime JPH0810292B2 (ja)

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JP61243622A JPH0810292B2 (ja) 1986-10-13 1986-10-13 望遠鏡鏡面支持装置

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JPS6396615A true JPS6396615A (ja) 1988-04-27
JPH0810292B2 JPH0810292B2 (ja) 1996-01-31

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03127016A (ja) * 1989-10-13 1991-05-30 Mitsubishi Electric Corp 反射鏡揺動装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58137140A (ja) * 1982-02-05 1983-08-15 Pioneer Video Corp 光学式情報記録再生装置における光学系駆動装置
JPS6021731A (ja) * 1983-07-18 1985-02-04 三洋電機株式会社 電気掃除機の電力制御装置
JPS6241119U (ja) * 1985-08-29 1987-03-12

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4250639A (en) * 1979-03-05 1981-02-17 Kent Tarrant Memorandum pad-calendar

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58137140A (ja) * 1982-02-05 1983-08-15 Pioneer Video Corp 光学式情報記録再生装置における光学系駆動装置
JPS6021731A (ja) * 1983-07-18 1985-02-04 三洋電機株式会社 電気掃除機の電力制御装置
JPS6241119U (ja) * 1985-08-29 1987-03-12

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03127016A (ja) * 1989-10-13 1991-05-30 Mitsubishi Electric Corp 反射鏡揺動装置

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