JPS6395848A - 永久磁石形サ−フエイスパルスモ−タ - Google Patents

永久磁石形サ−フエイスパルスモ−タ

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JPS6395848A
JPS6395848A JP23886286A JP23886286A JPS6395848A JP S6395848 A JPS6395848 A JP S6395848A JP 23886286 A JP23886286 A JP 23886286A JP 23886286 A JP23886286 A JP 23886286A JP S6395848 A JPS6395848 A JP S6395848A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
axis
movable piece
unit
stator
Prior art date
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Pending
Application number
JP23886286A
Other languages
English (en)
Inventor
Nagahiko Nagasaka
長坂 長彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
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Publication of JPS6395848A publication Critical patent/JPS6395848A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、可動子に電磁石の固定子に対向する磁極面に
さらに永久磁石を貼付配設した永久磁石形サーフェイス
パルスモータの単相可動子ユニットを4個用いて、X方
向2相、Y方向2相に構成したサーフェイスパルスモー
タに関する。
(従来の技術) 従来、この種のモータとして例えば2軸パルス〔特公昭
60−22583号公報〕がある。
この従来例は、ピッチPで刻まれた格子状の歯を有する
固定子と、これとわずかな空隙を介して対抗する移動子
からなるパルスモータにおいて、互いに直角に配置され
た各2個の1軸モータと、第1および第2のモータをそ
れぞれ構成する互いに直角に配置された2個の前記1軸
モータ間をそれぞれ緊結する一対の永久磁石とを備え、
前記1軸モータは、互いに(N+1/3)P  (Nは
1より大きい整数)だけ距離がずれかつその先端部に前
記固定子と噛合う歯を設けた3つの脚部と各脚部に巻回
されたコイルを具備する2軸パルスモータである。
(発明が解決しようとする問題点) この従来例にみられるような電磁石と永久磁石を併用し
たハイブリッド形は、永久磁石が大きくなり、マシンが
重くなる。それに励磁電流の相数が多く、たとえば3相
交替励磁で12相パルスモータとなり、それだけ複雑で
高価になる。
ここにおいて本発明は、従来例の難点を克服し、小形で
高推力、高精度のサーフェイスパルスモータで、XYプ
ロッタ、XYステージなど二次元位置決め装置のドライ
ブに適する永久磁石形サーフェイスパルスモータを提供
することを、その目的とする。
(間圀点を解決するための手段) 本発明は、 固定子は、平面状の磁性体からなり、等間隔の正方形の
格子状凸部が表面に形成され、可動子は、E形コアに巻
線を施し、コアの切口表面(固定子に対向する電磁石磁
極面)には薄板状の永久磁石が貼付けられ、この永久磁
石は一定のピッチで互いに異極性になる磁極を着磁され
ており、巻線に囲まれる磁石の磁極と、囲まれない磁石
の磁極は同じ相対位置で逆極性にした可動子ユニットで
形成され、この可動子ユニットを横方向に2個、縦方向
に2個1合計4個を横方向、縦方向についてそれぞれ互
いに格子ピッチの1/4だけずらせて配置し、各々横方
向、縦方向を2相リニアパルスモータとして動作させる
ようにして、固定子上に支持機構により移動自在に支承
されて構成された永久磁石形サーフェイスパルスモータ
である。
(作 用) 本発明は、横方向と縦方向にそれぞれ2組の永久磁石形
リニアパルスを直交して配置することにより、モーメン
トが可動子に生じない、推力の大きい、精度の高い位置
決めを行なう。
(実施例) 本発明の一実施例における可動子の構成を表わす裏面図
、1相分永久磁石形リニアパルスモータ可動子ユニット
の裏面詳細図を、第1図(a)。
(b)に示す。
第1図(a)のサーフェイスパルスモータの可動子を固
定子側から見た裏面図〔固定子は可動子に対向する面を
示す〕において、単相可動子ユニット4個、つまりX軸
α相可動子ユニット1. X軸β相可動子ユニット3.
 Y軸β相可動子ユニット4を用いて、Y軸方向にα相
、β相で2相りニアパルスモータを、X軸方向にもα相
、β相で2相リニアパルスモータを構成し、全体で4相
のサーフェイスパルスモータの可動子5とする。なお、
可動子の四隅には固定子上に点接触し、可動子を支える
支持機構6をそなえる。
単相可動子ユニットのうちX軸α相可動子ユニット5を
示す裏面図の第1図(b)において、コイル7に流した
励磁電流により、コイル7に囲まれる部分にはN極、コ
イル7の外側部分にはS極の起磁力が生じている。この
ため、コイルの内側では永久磁石8の磁極Nと励磁起磁
力が重なり合い、固定子10の凸部(歯)11を吸引し
、コイル7の外側では永久磁石8のS極が励磁起磁力と
加え合わされて、固定子歯11を吸引し、位置が合った
ところで安定している。
ここで、コイル7の電流を逆に流すと、可動子5は1/
2歯ピッチ動き、コイル7の内側では永久磁石8のS極
、外側では永久磁石8のN極が固定子歯11と一致した
位置に吸引される。
α相(1あるいは3)に対しβ相可動子ユニット(2あ
るいは4)は固定子10の歯ピッチλで1/4λずれた
相対位置に固定されている。従って、これらX軸あるい
はY軸それぞれについて、α相ユニットとβ相ユニット
で2相のリニアパルスモークを構成する。
本発明の他の実施例の要部の平面図を第2図に表わす。
この他の実施例は、固定子10における格子縞を形成す
る磁性体凸部12の縦横の交差部を凹部12と同一レベ
ルにした手段である。
第3図は、本発明の別の実施例の可動子の一部裏面図を
示す。
第1図の単相可動子ユニットエないし4はLFM (L
ongitudinal Flux Machlne 
;縦方向磁束形マシン)で表わしたが、これを第3図の
ようにTF M (Transvers Flux M
achine ;横方向磁束形マシン)にしても良い。
本発明の第4の実施例の要部裏面図を第4図に示す。
この第4の実施例は各相ユニットを巻鉄心9に装着して
おり、4相を1つのコア9に巻いた一体構造が可能であ
る。
〔発明の効果〕
■ 従来のHB(ハイブリッド)形に例をとると、磁気
回路の構造上、単相可動子ユニットとしてまとめること
ができず、2相リニアパルスモータを単位とした形成に
なるので、X軸2相モータ×2台とY軸2相モータ×2
台、計2相モータ4台(8相)としてサーフェイスパル
スモータを構成している。
本発明は4相で良く、構造が簡単で低コストにできる。
■ さらに本発明は、永久磁石形リニアパルスモータの
特徴とする a、小形で推力大、 b、推力−変位特性が正弦波に近い、 C,インダクタンス小、 d、構造簡単で製造し易い、 e、永久磁石の使用量が少なく、材料費が安い、 等のメリットを全部活かすことができる。
かくして本発明によれば、直交座標における永久磁石形
サーフェイスパルスモータの望ましい形態を得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の可動子裏面図、1相分可動
子ユニットの裏面図、第2図、第3図。 第4図は本発明の他の、別の、第4の実施例の要部の平
面図である。 1・・・X軸α相可動子ユニット、2・・・X軸β相可
動子ユニット、3・・・Y軸α相可動子ユニット、4・
・・Y軸β相可動子ユニット、5・・・可動子、6・・
・支持機構、7・・・コイル、8・・・永久磁石、9・
・・巻鉄心、10・・・固定子で11はその凸部。 12はその凹部。 出願人代理人  佐  藤  −雄 (b) 第1図 端2図 第3図 集4図 手続補正書 昭和62年9月、−5日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、強磁性体よりなり、格子状に突極を有する固定子と
    、固定子表面にわずかな空隙をもって対向させた電磁石
    よりなる可動子から形成されるサーフェイス・パルスモ
    ータにおいて、 可動子の固定子対向面に格子突極ピッチに対応する極数
    ピッチに着磁した薄板永久磁石を貼布した電磁石ユニッ
    トを、移動軸方向に各々相数ユニットずつ直交させて、
    固定子の格子ピッチの相数分の1だけずれるように配設
    した永久磁石形サーフェイスパルスモータ。
JP23886286A 1986-10-07 1986-10-07 永久磁石形サ−フエイスパルスモ−タ Pending JPS6395848A (ja)

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JP23886286A JPS6395848A (ja) 1986-10-07 1986-10-07 永久磁石形サ−フエイスパルスモ−タ

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JP23886286A JPS6395848A (ja) 1986-10-07 1986-10-07 永久磁石形サ−フエイスパルスモ−タ

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JPS6395848A true JPS6395848A (ja) 1988-04-26

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ID=17036365

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JP23886286A Pending JPS6395848A (ja) 1986-10-07 1986-10-07 永久磁石形サ−フエイスパルスモ−タ

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JPS5986469A (ja) * 1982-11-09 1984-05-18 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd リニヤステツピングモ−タ

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