JPS6395602A - 抵抗薄膜 - Google Patents
抵抗薄膜Info
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- JPS6395602A JPS6395602A JP61242403A JP24240386A JPS6395602A JP S6395602 A JPS6395602 A JP S6395602A JP 61242403 A JP61242403 A JP 61242403A JP 24240386 A JP24240386 A JP 24240386A JP S6395602 A JPS6395602 A JP S6395602A
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- thin film
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- film
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Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子部品として使用される抵抗薄膜に関する
ものである。
ものである。
従来の技術
この種抵抗薄膜として具備すべき好ましい特性としては
、比抵抗が比較的大きいこと、安定性すなわち抵抗値の
経時変化が小さいこと、抵抗温度係数が小さいこと、ま
た抵抗温度係数の経時変化が小さいこと等の種々にわた
る特性が要求される。
、比抵抗が比較的大きいこと、安定性すなわち抵抗値の
経時変化が小さいこと、抵抗温度係数が小さいこと、ま
た抵抗温度係数の経時変化が小さいこと等の種々にわた
る特性が要求される。
従来、抵抗薄膜はスパウタリングや電子ビーム蒸着、抵
抗加熱蒸着等により、基体上に被着することによシ作ら
れている。そして、薄膜材料としやニッケに一クローム
（ＮｉＣｒ ） 合金、ニッケルークローム−アルミニ
ウム（Ｎｉ −０ｒ−Ａｄ ）合金、ニッケルークロー
ム−硅素（Ｎｉ −Ｏｒ −ｓｉ ）合金等が実用化さ
れている。
抗加熱蒸着等により、基体上に被着することによシ作ら
れている。そして、薄膜材料としやニッケに一クローム
（ＮｉＣｒ ） 合金、ニッケルークローム−アルミニ
ウム（Ｎｉ −０ｒ−Ａｄ ）合金、ニッケルークロー
ム−硅素（Ｎｉ −Ｏｒ −ｓｉ ）合金等が実用化さ
れている。
発明が解決しようとする問題点
しかし、ＴｉＮ やＴａＮ は微量のＮ２ ガスを導
入する反応性着膜を必要とするため、制御が難かしく、
再現性が得にくい。またＴａはレアメタルであり、産地
が偏在しており原料価格が不安定でコストダウンの障害
となっている。
入する反応性着膜を必要とするため、制御が難かしく、
再現性が得にくい。またＴａはレアメタルであり、産地
が偏在しており原料価格が不安定でコストダウンの障害
となっている。
Ｎｉ −Ｏｒは比抵抗が小さい。その酸化皮膜は緻密で
耐熱性、耐薬品性とも優れてはいるが、その抵抗温度係
数は１００〜１ｔｓ ｏ ｐｐｍ／”Ｃと大きい。
耐熱性、耐薬品性とも優れてはいるが、その抵抗温度係
数は１００〜１ｔｓ ｏ ｐｐｍ／”Ｃと大きい。
さらにＮｉ−０ｒ−３ｉ 、 Ｎｉ−Ｃｒ−Ａｌは比抵
抗が小さいが、緻密で耐熱性、耐薬品性に富み、抵抗温
度係数も小さい。しかしｈｌもしくけＳｉ量が最適条件
から少しでも外れると抵抗温度係数は大きくなるため、
ムｌもしくはＳｉの微妙本発明は、上記のような点に鑑
みてなされたものであり、これらの特性を満足し、かつ
安価にして安定的に抵抗薄膜を提供することを目的とす
る。
抗が小さいが、緻密で耐熱性、耐薬品性に富み、抵抗温
度係数も小さい。しかしｈｌもしくけＳｉ量が最適条件
から少しでも外れると抵抗温度係数は大きくなるため、
ムｌもしくはＳｉの微妙本発明は、上記のような点に鑑
みてなされたものであり、これらの特性を満足し、かつ
安価にして安定的に抵抗薄膜を提供することを目的とす
る。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、抵抗体の組成を
、ニッケル、クローム、アルミニウムおよび一酸化硅素
よシ構成して薄膜を形成するものである。
、ニッケル、クローム、アルミニウムおよび一酸化硅素
よシ構成して薄膜を形成するものである。
作用
この構成になる組成を有した抵抗薄膜は、比抵抗が大き
く、抵抗値の経時変化が小さく、まだ抵抗温度係数は比
較的小さく、抵抗温度係数の経時変化は小さい等の特性
上の優位性をもつ。また、資源的にも供給の心配の小さ
い材料を使用している点、着膜が容易な点など、安価に
して安定的に抵抗薄膜をつくることができる。
く、抵抗値の経時変化が小さく、まだ抵抗温度係数は比
較的小さく、抵抗温度係数の経時変化は小さい等の特性
上の優位性をもつ。また、資源的にも供給の心配の小さ
い材料を使用している点、着膜が容易な点など、安価に
して安定的に抵抗薄膜をつくることができる。
実施例
まず、アルミナ基板に電子ビーム法によシ、２つのハー
スにいれだ二・ンケルークロムーアルミニウムと一酸化
硅素を同時に蒸発して着膜した。この時の各成分の比率
は下記の表１に示す通りである。
スにいれだ二・ンケルークロムーアルミニウムと一酸化
硅素を同時に蒸発して着膜した。この時の各成分の比率
は下記の表１に示す通りである。
次いで着膜された基体にＣｒ 、 ムＵを着膜しエツ
チングにより抵抗体部と導体部を作成する。次に抵抗体
部両端の導体部にリード線を接続し、試料とした。この
試料の抵抗温度係数、比抵抗を各１ｏ個の平均値で調べ
だ結果を下記の表２に示す。
チングにより抵抗体部と導体部を作成する。次に抵抗体
部両端の導体部にリード線を接続し、試料とした。この
試料の抵抗温度係数、比抵抗を各１ｏ個の平均値で調べ
だ結果を下記の表２に示す。
また表２、には参考として、ニッケルークロームを用い
、上記と同一条件で作成した試料の特性値を併せて示し
ている。
、上記と同一条件で作成した試料の特性値を併せて示し
ている。
さらに温度２５°Ｃで、電力１．３Ｗを１．３ ｍ５ｅ
ｃ印加し、０．７ ｍ５ｅｃ切るということをくりかえ
す負荷寿命試験（発熱部＝抵抗体部は空中にあり何物に
も接触していない）を行なったところ、図に示すような
結果を得た。それぞれ実施例１による特性ａ１参考例に
ソケルークローム）による特性すを比較したものである
。
ｃ印加し、０．７ ｍ５ｅｃ切るということをくりかえ
す負荷寿命試験（発熱部＝抵抗体部は空中にあり何物に
も接触していない）を行なったところ、図に示すような
結果を得た。それぞれ実施例１による特性ａ１参考例に
ソケルークローム）による特性すを比較したものである
。
（以下余 白）
表１
表２
以上のように本発明によれば、ニッケルークローム−ア
ルミニウムおよび一酸化硅素を組成とする抵抗薄膜は、
機械的性能として、■表面は緻密で硬く、■耐熱性、耐
薬品性に富んでいる。また電気的性能として、■比抵抗
が大きく、■抵抗温度係数が比較的小さく、また１×１
０ サイクルの負荷寿命試験においても、抵抗値変化率
が小さく、抵抗温度係数変化率が小さいという特徴を有
し、本発明の抵抗薄膜が長期使用状態においても安定で
あり、寿命的にも効果のあることがわかる。
ルミニウムおよび一酸化硅素を組成とする抵抗薄膜は、
機械的性能として、■表面は緻密で硬く、■耐熱性、耐
薬品性に富んでいる。また電気的性能として、■比抵抗
が大きく、■抵抗温度係数が比較的小さく、また１×１
０ サイクルの負荷寿命試験においても、抵抗値変化率
が小さく、抵抗温度係数変化率が小さいという特徴を有
し、本発明の抵抗薄膜が長期使用状態においても安定で
あり、寿命的にも効果のあることがわかる。
まだ生産上の観点から、■組成が多少ズしても抵抗温度
係数には大きな差が生じない、■反応性着膜でなく着膜
できるので制御もむづかしくない、等作りやすい膜とい
うことができる。
係数には大きな差が生じない、■反応性着膜でなく着膜
できるので制御もむづかしくない、等作りやすい膜とい
うことができる。
発明の効果
以上のように本発明の抵抗薄膜は、各種の特性において
良好な値を示し、かつ安価にして、安定的に製造するこ
とができ、その産業性は大なるものがある。
良好な値を示し、かつ安価にして、安定的に製造するこ
とができ、その産業性は大なるものがある。
図は本発明品と従来品による負荷寿命試験結果を比較し
て示す特性図である。
て示す特性図である。
Claims (1)
- ニッケル、クローム、アルミニウムおよび一酸化硅素か
らなることを特徴とする抵抗薄膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61242403A JPS6395602A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 抵抗薄膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61242403A JPS6395602A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 抵抗薄膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395602A true JPS6395602A (ja) | 1988-04-26 |
Family
ID=17088622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61242403A Pending JPS6395602A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 抵抗薄膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6395602A (ja) |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP61242403A patent/JPS6395602A/ja active Pending
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