JPS6395324U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6395324U JPS6395324U JP18876586U JP18876586U JPS6395324U JP S6395324 U JPS6395324 U JP S6395324U JP 18876586 U JP18876586 U JP 18876586U JP 18876586 U JP18876586 U JP 18876586U JP S6395324 U JPS6395324 U JP S6395324U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- vapor deposited
- deposited film
- main surface
- wave device
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案に係る表面波装置の一実施例の
横断面図、第２図は従来の表面波装置の平面図、
第３図は第２図の―線に沿う断面図である。 １……ガラス基板（１ａ，１ｂ……主面）、２
……入力側インタデイジタル電極、３……出力側
インタデイジタル電極、５……シールド電極、１
１……アルミニウム蒸着膜、１２……ニツケル蒸
着膜。
横断面図、第２図は従来の表面波装置の平面図、
第３図は第２図の―線に沿う断面図である。 １……ガラス基板（１ａ，１ｂ……主面）、２
……入力側インタデイジタル電極、３……出力側
インタデイジタル電極、５……シールド電極、１
１……アルミニウム蒸着膜、１２……ニツケル蒸
着膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ガラス基板の一つの主面にはインタデイジタル
電極とこのインタデイジタル電極を覆う圧電材料
膜とが形成される一方、上記ガラス基板のいま一
つの主面にはシールド電極が形成されてなる表面
波装置において、 上記シールド電極はガラス基板の上記いま一つ
の主面上に形成されたアルミニウム蒸着膜と、こ
のアルミニウム蒸着膜の上に形成されたニツケル
蒸着膜とからなることを特徴とする表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18876586U JPS6395324U (ja) | 1986-12-08 | 1986-12-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18876586U JPS6395324U (ja) | 1986-12-08 | 1986-12-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395324U true JPS6395324U (ja) | 1988-06-20 |
Family
ID=31140433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18876586U Pending JPS6395324U (ja) | 1986-12-08 | 1986-12-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6395324U (ja) |
-
1986
- 1986-12-08 JP JP18876586U patent/JPS6395324U/ja active Pending