JPS6394533U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6394533U JPS6394533U JP19076086U JP19076086U JPS6394533U JP S6394533 U JPS6394533 U JP S6394533U JP 19076086 U JP19076086 U JP 19076086U JP 19076086 U JP19076086 U JP 19076086U JP S6394533 U JPS6394533 U JP S6394533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- plasma processing
- pipe
- frequency plasma
- storage container
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000008022 sublimation Effects 0.000 claims description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の高周波プラズマ処理装置の構
成を示す図、第２図は本考案の高周波プラズマ処
理装置の原料供給部の構成を示す図、第３図は従
来の高周波プラズマ処理装置の原料供給部の構成
を示す図である。 １…原料貯蔵容器、２…原料昇華用ヒーター、
３…原料供給パイプ、４…反応容器、５…補集装
置、６…高周波電源、７…ワークコイル、８…プ
ラズマ、３２…保温ヒーター。
成を示す図、第２図は本考案の高周波プラズマ処
理装置の原料供給部の構成を示す図、第３図は従
来の高周波プラズマ処理装置の原料供給部の構成
を示す図である。 １…原料貯蔵容器、２…原料昇華用ヒーター、
３…原料供給パイプ、４…反応容器、５…補集装
置、６…高周波電源、７…ワークコイル、８…プ
ラズマ、３２…保温ヒーター。
Claims (1)
- 原料貯蔵容器、原料昇華用ヒーター、原料供給
パイプ、反応容器、補集装置を具備した高周波プ
ラズマ処理装置において、前記原料供給パイプを
ＡｌＮまたはＢｅＯなどのセラミツクパイプで構
成し、該パイプの原料貯蔵容器側端部に加熱源を
取付けたことを特徴とする高周波プラズマ処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19076086U JPS6394533U (ja) | 1986-12-11 | 1986-12-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19076086U JPS6394533U (ja) | 1986-12-11 | 1986-12-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6394533U true JPS6394533U (ja) | 1988-06-18 |
Family
ID=31144280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19076086U Pending JPS6394533U (ja) | 1986-12-11 | 1986-12-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6394533U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006077153A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 蛍光体の製造方法及び製造装置、並びに蛍光体粒子及びその前駆体 |
-
1986
- 1986-12-11 JP JP19076086U patent/JPS6394533U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006077153A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 蛍光体の製造方法及び製造装置、並びに蛍光体粒子及びその前駆体 |