JPS6393316A - 濾過層 - Google Patents
濾過層Info
- Publication number
- JPS6393316A JPS6393316A JP23722886A JP23722886A JPS6393316A JP S6393316 A JPS6393316 A JP S6393316A JP 23722886 A JP23722886 A JP 23722886A JP 23722886 A JP23722886 A JP 23722886A JP S6393316 A JPS6393316 A JP S6393316A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter layer
- filtration layer
- diameter
- glass fibers
- pressure loss
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 21
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 5
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 claims description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の属する技術分野）
本発明は半導体製造工場などにおいて使用される高性能
濾過層の改良に関するものである。
濾過層の改良に関するものである。
（従来技術）
現在使用されている集塵効率が、例えば９９．９９９５
％以上（径０６１２μｍ粒子。５．３ ａｎ ／ ｓｅ
ｃ ｔ：対し）の高性能濾過層は、その圧力損失は６５
ｔ１１以上でそれ以下のものはまた゛実現されておらず
、従ってその実現は送風電力の節減のため強く要望サレ
テいるところである。
％以上（径０６１２μｍ粒子。５．３ ａｎ ／ ｓｅ
ｃ ｔ：対し）の高性能濾過層は、その圧力損失は６５
ｔ１１以上でそれ以下のものはまた゛実現されておらず
、従ってその実現は送風電力の節減のため強く要望サレ
テいるところである。
（目 的）
本発明はこのような要望に応えるため（＝なされたもの
で、濾過層を構成する硝子繊維の径が細い程圧力損失が
低下するという本発明者の研究結果に基いて、集塵効率
９９．９９９５％以上において圧力損失が５５ｍ／ｍ以
下、即ち５Ｑｍ／ｍのような圧力損失の極めて少ない濾
過層を提供することを目的とするものである。以下本発
明の詳細な説明する。
で、濾過層を構成する硝子繊維の径が細い程圧力損失が
低下するという本発明者の研究結果に基いて、集塵効率
９９．９９９５％以上において圧力損失が５５ｍ／ｍ以
下、即ち５Ｑｍ／ｍのような圧力損失の極めて少ない濾
過層を提供することを目的とするものである。以下本発
明の詳細な説明する。
（発明の構成と作用）
集塵効率を同じくする濾過層において、その硝子繊維径
の異なるものについて圧力損失値を測定すると、硝子繊
維径が細い程圧力損失が低下することが本発明者による
次の実験結果から明らがとなった。
の異なるものについて圧力損失値を測定すると、硝子繊
維径が細い程圧力損失が低下することが本発明者による
次の実験結果から明らがとなった。
１．０．２９〜０．３４μｍ径の硝子繊維を抄紙して作
った濾過層囚、（Ｂ） ＋二ついて （５）集塵効率９９．９９９５％（径０．１２ μｍ粒
子、風速５．３ ｃｍ ／ ｓｅｃ ） 、圧力損失５
０１（Ｈ２Ｏ）、１４寸３５ｇｒ／ｒｎ’ （Ｂ） 集塵効率９９．９７％（径０．３μｍ粒子使
用）圧力損失２０％（Ｈ２Ｏ）、目付７ｇ’、／ｒｒ？
２．０．６９〜１．１μｍ径の硝子繊維を混合して抄紙
をして作った岬過層（Ｃ）、（Ｄ）＋二ついてｆｃ）
集塵効率９９．９９９５％（径０．１２ μｍ粒子使
用） 圧力損失６ｓｘ（Ｈ２Ｏ）、目付７０Ｍ、／ｄ（Ｄ）
集塵効率９９．９７％（径０．３μｍ）圧力損失３３
〜（Ｈ２Ｏ）、目付５０Ｕ、／ｒｒ？（なお上記実験資
料１．の濾過層の厚さは０．０５〜０゜２器で機械的に
弱いので、その補強のため集塵効率９０〜９９％（０，
３μｍ粒子に対して）、厚さ約０．４１Ｘ、の前置濾過
層を接着して測定したもので、従って上記の測定圧力損
失値はこの補強用濾過層を含めた値である。） 上記の実験結果（５）と（Ｑの比較から明らかなよう（
＝、細い硝子繊維の方が圧力損失が１５１低く、また（
Ｂ）と（Ｄ）の場合も１３％低いことが明らかとなった
。本発明はこの研究結果（＝基づいてなされたものであ
ること上述の通りであるが、その繊維径が０．２９〜０
．３４μｍ１又はそれ以下の細いもので抄紙して作った
濾過層は密度が高く、また薄い（０，０５〜０．２１１
１ ）ので充分な強度が得られず、そのま−では到底実
用Ｃ二供することはできないので補強を必要とする。そ
こで単Ｃ二補強の目的で本者 発明がさきＣ二提案した濾過作用が実質的にない濾Δ 過層を用いると、５６時間連続通風で圧力損失は５０〜
（５，３３／ ５Ｉｅｃ ）から５８Ｎに急増シタ力、
これは繊維径が細くて濾過層の密度が高くて目詰１）シ
易いためであることに着目し、前置濾過層として集塵効
率９０〜９９％（０，３μｍ粒子に対し）厚さ約０．４
１の濾過層を用いたところ、５６時間連続通風で圧力損
失は５０１から５０．５〜（＝増加するにすぎず、極め
て良好な成績を得ることができた。（以上の実績試験用
空気は塵埃を含む大気を用いた。） なお主濾過層の繊維は０．２９〜０．３４μｍ以下の径
の硝子繊維１００％であることが望ましいが、抄紙の都
合上例えば０．８μｍのような繊維を数％混合すること
ができる。
った濾過層囚、（Ｂ） ＋二ついて （５）集塵効率９９．９９９５％（径０．１２ μｍ粒
子、風速５．３ ｃｍ ／ ｓｅｃ ） 、圧力損失５
０１（Ｈ２Ｏ）、１４寸３５ｇｒ／ｒｎ’ （Ｂ） 集塵効率９９．９７％（径０．３μｍ粒子使
用）圧力損失２０％（Ｈ２Ｏ）、目付７ｇ’、／ｒｒ？
２．０．６９〜１．１μｍ径の硝子繊維を混合して抄紙
をして作った岬過層（Ｃ）、（Ｄ）＋二ついてｆｃ）
集塵効率９９．９９９５％（径０．１２ μｍ粒子使
用） 圧力損失６ｓｘ（Ｈ２Ｏ）、目付７０Ｍ、／ｄ（Ｄ）
集塵効率９９．９７％（径０．３μｍ）圧力損失３３
〜（Ｈ２Ｏ）、目付５０Ｕ、／ｒｒ？（なお上記実験資
料１．の濾過層の厚さは０．０５〜０゜２器で機械的に
弱いので、その補強のため集塵効率９０〜９９％（０，
３μｍ粒子に対して）、厚さ約０．４１Ｘ、の前置濾過
層を接着して測定したもので、従って上記の測定圧力損
失値はこの補強用濾過層を含めた値である。） 上記の実験結果（５）と（Ｑの比較から明らかなよう（
＝、細い硝子繊維の方が圧力損失が１５１低く、また（
Ｂ）と（Ｄ）の場合も１３％低いことが明らかとなった
。本発明はこの研究結果（＝基づいてなされたものであ
ること上述の通りであるが、その繊維径が０．２９〜０
．３４μｍ１又はそれ以下の細いもので抄紙して作った
濾過層は密度が高く、また薄い（０，０５〜０．２１１
１ ）ので充分な強度が得られず、そのま−では到底実
用Ｃ二供することはできないので補強を必要とする。そ
こで単Ｃ二補強の目的で本者 発明がさきＣ二提案した濾過作用が実質的にない濾Δ 過層を用いると、５６時間連続通風で圧力損失は５０〜
（５，３３／ ５Ｉｅｃ ）から５８Ｎに急増シタ力、
これは繊維径が細くて濾過層の密度が高くて目詰１）シ
易いためであることに着目し、前置濾過層として集塵効
率９０〜９９％（０，３μｍ粒子に対し）厚さ約０．４
１の濾過層を用いたところ、５６時間連続通風で圧力損
失は５０１から５０．５〜（＝増加するにすぎず、極め
て良好な成績を得ることができた。（以上の実績試験用
空気は塵埃を含む大気を用いた。） なお主濾過層の繊維は０．２９〜０．３４μｍ以下の径
の硝子繊維１００％であることが望ましいが、抄紙の都
合上例えば０．８μｍのような繊維を数％混合すること
ができる。
（効果）
上述のように本発明濾過層は主濾過層と前置濾過層とよ
りなり、その主濾過層の繊維として径が０２９〜０．３
４μｍ以下のものを用いることによって、圧力損失を６
５％から１３〜１５％も低くし、かつ前置濾過層として
集塵効率が９０〜９９％程度の比較的高いものを用いる
ことによって、主濾過層を補強すると共に上記のような
低圧力損失状態を長時間維持させて、集塵効率９９．９
７％以上の高性能濾過層の実用化を実現したもので、斯
界に貢献するところ大なるものである。
りなり、その主濾過層の繊維として径が０２９〜０．３
４μｍ以下のものを用いることによって、圧力損失を６
５％から１３〜１５％も低くし、かつ前置濾過層として
集塵効率が９０〜９９％程度の比較的高いものを用いる
ことによって、主濾過層を補強すると共に上記のような
低圧力損失状態を長時間維持させて、集塵効率９９．９
７％以上の高性能濾過層の実用化を実現したもので、斯
界に貢献するところ大なるものである。
以上
Claims (1)
- 碍子繊維よりなる集塵効率が、９９．９７％以上（径０
．３μｍ粒子で風速５．３ｃｍ／ｓｅｃに対し）の高性
能濾過層が、その硝子繊維として径が０．２９〜０．３
４μｍ以下の細いものが用いられた主濾過層と、集塵効
率が９０〜９７％（０．３μｍ粒子で風速５．３ｃｍ／
ｓｅｃに対し）の前置濾過層とよりなることを特徴とす
る高性能濾過層。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722886A JPS6393316A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | 濾過層 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722886A JPS6393316A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | 濾過層 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6393316A true JPS6393316A (ja) | 1988-04-23 |
Family
ID=17012279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23722886A Pending JPS6393316A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | 濾過層 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6393316A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04284803A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-09 | Hokuetsu Paper Mills Ltd | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
| JP2015139739A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | ダイキン工業株式会社 | ガスタービン吸気用エアフィルタ |
| CN115212651A (zh) * | 2016-03-11 | 2022-10-21 | 大金工业株式会社 | 空气过滤器用滤材、过滤包、空气过滤器单元以及空气过滤器用滤材的制造方法 |
-
1986
- 1986-10-07 JP JP23722886A patent/JPS6393316A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04284803A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-09 | Hokuetsu Paper Mills Ltd | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
| JP2015139739A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | ダイキン工業株式会社 | ガスタービン吸気用エアフィルタ |
| CN115212651A (zh) * | 2016-03-11 | 2022-10-21 | 大金工业株式会社 | 空气过滤器用滤材、过滤包、空气过滤器单元以及空气过滤器用滤材的制造方法 |
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