JPS638243U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS638243U JPS638243U JP10135286U JP10135286U JPS638243U JP S638243 U JPS638243 U JP S638243U JP 10135286 U JP10135286 U JP 10135286U JP 10135286 U JP10135286 U JP 10135286U JP S638243 U JPS638243 U JP S638243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- push
- wafer transfer
- vertical shaft
- support plate
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図、第２図はこの考案の実施例を示す図で
、第１図は、一部断面平面図、第２図は、サイド
ブロツクの平面図、第３図は、従来例を示す平面
図である。 １４……支持板、１８……ウエハホルダ、２０
，２１……サイドブロツク、２２……上下軸、２
３……軸穴、２４……ガイドベアリング。
、第１図は、一部断面平面図、第２図は、サイド
ブロツクの平面図、第３図は、従来例を示す平面
図である。 １４……支持板、１８……ウエハホルダ、２０
，２１……サイドブロツク、２２……上下軸、２
３……軸穴、２４……ガイドベアリング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ その長手方向に間隔をおいて複数の軸穴を形
成したサイドブロツクと、該軸穴にガイドベアリ
ングを介して挿入した上下軸と、該上下軸の上端
に設けたウエハホルダと、該上下軸の下端に設け
た上下動可能な支持板とからなるウエハ移し替え
突き上げ装置。 ２ 上下軸が、ウエハホルダに着脱自在に設けら
れていることを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載のウエハ移し替え突き上げ装置。 ３ 上下軸が、支持板に着脱自在に設けられてい
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載のウエハ移し替え突き上げ装置。 ４ 複数の軸穴が互い違いに配設されていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
のウエハ移し替え突き上げ装置。 ５ サイドブロツクが、垂直方向に間隔をおいて
複数設けられ、かつ、それらは互いに平行である
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載のウエハ移し替え突き上げ装置。 ６ 支持板が、各ウエハホルダに対応して個別に
設けられていることを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第１項記載のウエハ移し替え突き上げ装
置。 ７ 支持板が、上板と下板とからなることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエ
ハ移し替え突き上げ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986101352U JPH068100Y2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ウエハ移し替え突き上げ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986101352U JPH068100Y2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ウエハ移し替え突き上げ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638243U true JPS638243U (ja) | 1988-01-20 |
| JPH068100Y2 JPH068100Y2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=30972010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986101352U Expired - Lifetime JPH068100Y2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ウエハ移し替え突き上げ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068100Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134011U (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-07 | ||
| JPH03121005A (ja) * | 1989-09-23 | 1991-05-23 | A Raymond Gmbh & Co Kg | プラスチック製ボタン |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58213438A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-12-12 | バリアン・アソシエイツ・インコ−ポレイテツド | ウエ−ハ移送装置 |
| JPS59101847A (ja) * | 1982-12-01 | 1984-06-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 半導体ウエハの受取，受渡し装置 |
| JPS615541A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 移し替え装置 |
| JPS624142A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 薄板材の移し替え装置 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP1986101352U patent/JPH068100Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58213438A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-12-12 | バリアン・アソシエイツ・インコ−ポレイテツド | ウエ−ハ移送装置 |
| JPS59101847A (ja) * | 1982-12-01 | 1984-06-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 半導体ウエハの受取，受渡し装置 |
| JPS615541A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 移し替え装置 |
| JPS624142A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 薄板材の移し替え装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134011U (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-07 | ||
| JPH03121005A (ja) * | 1989-09-23 | 1991-05-23 | A Raymond Gmbh & Co Kg | プラスチック製ボタン |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH068100Y2 (ja) | 1994-03-02 |