JPS6373929U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6373929U JPS6373929U JP16772086U JP16772086U JPS6373929U JP S6373929 U JPS6373929 U JP S6373929U JP 16772086 U JP16772086 U JP 16772086U JP 16772086 U JP16772086 U JP 16772086U JP S6373929 U JPS6373929 U JP S6373929U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- symbol
- carrier
- wafer carrier
- installation stand
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の構成を含むウエハーキヤリヤ
システムの外観図、第２図ａおよびｂは本考案の
第一の実施例のキヤリヤ設置台と読取手段とを示
す外観図、第３図は読取手段の細部を示す説明図
、第４図ａおよびｂは本考案の第一の実施例のウ
エハーキヤリヤと記号保持手段とを示す外観図、
第５図は本考案の第一の実施例の動作を示す説明
図、第６図は本考案の第二の実施例の構成と動作
を示す説明図。 １……キヤリヤ設置台、２……ウエハーキヤリ
ヤ、３……読取手段、４……記号保持手段、５…
…ウエハー、６……コンベアベルト。
システムの外観図、第２図ａおよびｂは本考案の
第一の実施例のキヤリヤ設置台と読取手段とを示
す外観図、第３図は読取手段の細部を示す説明図
、第４図ａおよびｂは本考案の第一の実施例のウ
エハーキヤリヤと記号保持手段とを示す外観図、
第５図は本考案の第一の実施例の動作を示す説明
図、第６図は本考案の第二の実施例の構成と動作
を示す説明図。 １……キヤリヤ設置台、２……ウエハーキヤリ
ヤ、３……読取手段、４……記号保持手段、５…
…ウエハー、６……コンベアベルト。
Claims (1)
- あらかじめ定められた位置にあるキヤリヤ設置
台上に設置されたウエハーキヤリアが固有の識別
記号を保持し前記ウエハーキヤリアに設置された
記号保持手段と、前記キヤリヤ設置台に設置され
前記ウエハーキヤリアの記号保持手段から前記識
別記号を読取る読取手段とを備えてなるウエハー
キヤリア認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16772086U JPS6373929U (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16772086U JPS6373929U (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373929U true JPS6373929U (ja) | 1988-05-17 |
Family
ID=31099914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16772086U Pending JPS6373929U (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6373929U (ja) |
-
1986
- 1986-10-30 JP JP16772086U patent/JPS6373929U/ja active Pending
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