JPS637299U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS637299U JPS637299U JP10103686U JP10103686U JPS637299U JP S637299 U JPS637299 U JP S637299U JP 10103686 U JP10103686 U JP 10103686U JP 10103686 U JP10103686 U JP 10103686U JP S637299 U JPS637299 U JP S637299U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pressure
- section
- detection device
- ejector pump
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986101036U JPH0330640Y2 (US08063081-20111122-C00044.png) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986101036U JPH0330640Y2 (US08063081-20111122-C00044.png) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637299U true JPS637299U (US08063081-20111122-C00044.png) | 1988-01-18 |
| JPH0330640Y2 JPH0330640Y2 (US08063081-20111122-C00044.png) | 1991-06-27 |
Family
ID=30971409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986101036U Expired JPH0330640Y2 (US08063081-20111122-C00044.png) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0330640Y2 (US08063081-20111122-C00044.png) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008507649A (ja) * | 2004-06-23 | 2008-03-13 | イョット． シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 負圧を生成する装置 |
| JP2015179095A (ja) * | 2004-12-14 | 2015-10-08 | エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
| JP2017194440A (ja) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | 經登企業股▲フン▼有限公司 | デジタル圧力計及び制御システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59112593U (ja) * | 1983-01-20 | 1984-07-30 | オリオン機械株式会社 | 吸着部の真空圧検知機能付き真空発生装置 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP1986101036U patent/JPH0330640Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59112593U (ja) * | 1983-01-20 | 1984-07-30 | オリオン機械株式会社 | 吸着部の真空圧検知機能付き真空発生装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008507649A (ja) * | 2004-06-23 | 2008-03-13 | イョット． シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 負圧を生成する装置 |
| JP2015179095A (ja) * | 2004-12-14 | 2015-10-08 | エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
| JP2017194440A (ja) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | 經登企業股▲フン▼有限公司 | デジタル圧力計及び制御システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0330640Y2 (US08063081-20111122-C00044.png) | 1991-06-27 |
