JPS6370411A - Manufacture of metallized film - Google Patents

Manufacture of metallized film

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JPS6370411A
JPS6370411A JP21438386A JP21438386A JPS6370411A JP S6370411 A JPS6370411 A JP S6370411A JP 21438386 A JP21438386 A JP 21438386A JP 21438386 A JP21438386 A JP 21438386A JP S6370411 A JPS6370411 A JP S6370411A
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JP
Japan
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film
oil
metallized
dielectric film
nozzle tank
Prior art date
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Pending
Application number
JP21438386A
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Japanese (ja)
Inventor
平川 功一
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS6370411A publication Critical patent/JPS6370411A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/14Organic dielectrics
    • H01G4/145Organic dielectrics vapour deposited

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Abstract] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 不発明は、コンデンサなどに用いる金属化フィルムの製
造方法に関するもので、特に非金属化部分をオイルマス
ク方式により形成する方法の改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a metallized film for use in capacitors and the like, and particularly relates to an improvement in the method of forming a non-metalized portion by an oil mask method.

従来の技術 金属を蒸着した金属化フィルムを得る場合、特定領域に
金属を蒸着しない非金属化部分を形成する方法として、
金嘴の蒸着に先立ってフィルムの特定領域にオイルを付
着する方法が、ちる。これがオイルマスク方式である。
Conventional Technology When obtaining a metallized film with a metal deposited on it, a method of forming a non-metalized portion in which no metal is deposited in a specific area is as follows.
This method involves applying oil to specific areas of the film prior to metal beak deposition. This is the oil mask method.

従来、この種の方法において、フィルムにオイルを付着
するノズルタンクとフィルムとの関係は第4図のように
なっていた。
Conventionally, in this type of method, the relationship between the nozzle tank for applying oil to the film and the film was as shown in FIG. 4.

第4図において、1は誘電体フィルム、20はステンレ
ス鋼等の金属よりなるノズルタンク、21はノズルタン
クに設けられたオイル蒸気噴出用スリット、22はノズ
ルタンク内に収容されグこオイルである。ノズルタンク
20と誘電体フィルム1との間には間隙tが設けられて
いる。
In Fig. 4, 1 is a dielectric film, 20 is a nozzle tank made of metal such as stainless steel, 21 is a slit for jetting oil vapor provided in the nozzle tank, and 22 is a guco oil housed in the nozzle tank. . A gap t is provided between the nozzle tank 20 and the dielectric film 1.

誘電体フィルムとしては各種のものが用いられるが、特
にポリプロピレンフィルムのようニ耐熱性の低いフィル
ムに非金属化部分を設けるためのオイルの付着ニアJ:
、ノズルタンクに非接触で行う必要がある。これは、ノ
ズルタンクの温度がA常の場合ポリプロピレンの融点よ
り高いので、接触方式で行うと誘電体フィルムの表面に
著しくキズが発生するからである。
Various types of dielectric films are used, but in particular, oil adhesion for providing non-metallic parts on films with low heat resistance such as polypropylene films is used:
, it is necessary to do this without contacting the nozzle tank. This is because the temperature of the nozzle tank is higher than the melting point of polypropylene in the case of A, so if the contact method is used, significant scratches will occur on the surface of the dielectric film.

発明が解決しようとする問題点 前記のようにフィルムとノズルタンクとが非接触である
と、オイル蒸気がフィルムの所定のパターン部以外にも
飛散し、またマージン部分の蒸着ボクが発生しやすぐな
る。従って、こうして得た金属化フィルムを用いてコン
デンサを構成した場合、その性能が低下する。さらに前
記誘電体フィルムに両面金属化をする場合、蒸着フィル
ムの原反巻戻し時の蒸着膜剥離の原因にもなる。
Problems to be Solved by the Invention If the film and nozzle tank are not in contact as described above, oil vapor will scatter to areas other than the predetermined pattern areas of the film, and vapor deposits will easily occur in the margin areas. Become. Therefore, when a capacitor is constructed using the metallized film thus obtained, its performance is degraded. Furthermore, when both sides of the dielectric film are metallized, this may cause peeling of the vapor deposited film when the original film is rewound.

本発明は、上記従来の問題点を解決し、蒸着ボケや蒸着
膜剥離のない金属化フィルムを得る方法を提供すること
を目的とする。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and provide a method for obtaining a metallized film without vapor deposition blur or vapor deposition film peeling.

問題点を解決するだめの手段 この目的を達成するために、本発明は、少なくとも誘電
体フィルムが接触する表面に、オイルの温度に十分耐え
る耐熱性を有し、かつ金属より熱容量の小さい材料の層
を形成したノズルタンクを規定温度にして、前記誘電体
フィルムに接触するようにして、非金属化部分とする特
定の領域にオイルを付着させた後、金属蒸着するもので
ある。
Means for Solving the Problems In order to achieve this object, the present invention provides at least the surface in contact with the dielectric film with a material having heat resistance sufficient to withstand the temperature of the oil and having a smaller heat capacity than metal. The nozzle tank in which the layer has been formed is heated to a specified temperature, and oil is deposited on a specific area that is to be a non-metalized part by bringing it into contact with the dielectric film, followed by metal vapor deposition.

作  用 上記のノズルタンクの表面に設けた熱容量の小さい材料
の層によって、ノズルタンクの高温度がフィルムに直接
印加されないので、フィルムの損傷がなくなる。また接
触方式であるので、余分のオイル飛散が非常に少なくな
り、かつ所定の非金属化部分には十分オイルが付着し、
金属化部分へは殆どオイルが付着しなくなる。
Effect: Due to the layer of material with a small heat capacity provided on the surface of the nozzle tank, the high temperature of the nozzle tank is not directly applied to the film, thereby eliminating damage to the film. In addition, since it is a contact method, there is very little excess oil scattering, and sufficient oil adheres to the designated non-metalized parts.
Almost no oil will adhere to the metallized parts.

実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は半連続式両面金属化フィルム製造装置の真空槽
内部の概略図、第2図はそのノズルタンクと誘電体フィ
ルムの位置関係を示す。
FIG. 1 is a schematic diagram of the inside of a vacuum chamber of a semi-continuous double-sided metallized film manufacturing apparatus, and FIG. 2 shows the positional relationship between the nozzle tank and the dielectric film.

第1図〜第2図において、1は誘電体フィルムで、ポリ
プロピレン、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレー
トン、ポリカーボネ〜ト、ホリ弗化ビニリデン、ポリフ
ェニレンオキサイド、ポリスルホン、カプトン、ポリア
ミドイミド等である。
In FIGS. 1 and 2, 1 is a dielectric film made of polypropylene, polyester (polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyvinylidene fluoride, polyphenylene oxide, polysulfone, Kapton, polyamideimide, etc.).

2はフィルム1を繰り出すローラであり、ここから繰り
出されるフィルムは、ガイドローラ3に案内され、クー
リングキャン4の部分で一方の面がアルミニウムや亜鉛
などの蒸着金属を溶解したルツボ5に対向し、ここで金
属化され、次にクーリングキャン4′の部分で他方の面
がルツボ6′に対向し金属fヒされ、最後にローラ6に
巻きとられる。
Reference numeral 2 denotes a roller for feeding out the film 1, and the film fed out from here is guided by a guide roller 3, and in the cooling can 4, one side faces a crucible 5 in which vapor-deposited metal such as aluminum or zinc is melted. Here, it is metallized, and then the other surface faces the crucible 6' and is metallized in the cooling can 4', and finally it is wound around the roller 6.

7.7′はオイルを収容したノズルタンクで、フィルム
1がクーリングキャン4.4′に至る前に、フィルムの
特定領域へオイルを付着するため、フィルムへ接するよ
うに移動する。
Reference numeral 7.7' denotes a nozzle tank containing oil, which moves so as to come into contact with the film in order to apply oil to a specific area of the film before the film 1 reaches the cooling can 4.4'.

ノズルタンクは、ステンレス鋼等の金属からなり、第2
図のように、外表面にはこれを構成する金属より熱容量
が小さく、かつ耐熱性に優れた材料よりなる層8が被覆
しである。このノズルタンクには、フィルムの特定の領
域にオイルのパターンを形成するだめのスリット9が設
けである。なお1.層8は、少なくともフィルム1と接
触する部分に設けてあればよい。層8を形成する材料と
しては弗素樹脂が優れているが、他の汎用の樹脂でもよ
い。また、ノズルタンクはオイル10を収容しており、
これを加熱する手段が付設されている。
The nozzle tank is made of metal such as stainless steel, and the second
As shown in the figure, the outer surface is coated with a layer 8 made of a material having a smaller heat capacity and superior heat resistance than the metal constituting the outer surface. This nozzle tank is provided with slits 9 which form a pattern of oil in specific areas of the film. Note 1. It is sufficient that the layer 8 is provided at least in a portion that comes into contact with the film 1. Although fluororesin is an excellent material for forming the layer 8, other general-purpose resins may be used. In addition, the nozzle tank accommodates oil 10,
Means for heating this is provided.

ここに用いるオイルとしては、パラフィン系やポリグリ
コール系などのオイルが適している。パラフィン系、ポ
リグリコール系いずれでも種々の分子量のものがあり、
それに応じた温度で使用が可能であるが、あまり分子量
が高くなりすぎると、一定蒸気を出すために高温を要し
、それにより熱分解が発生するので、分子量としては、
パラフィン系では、約600位までのものが好ましい。
As the oil used here, paraffin-based or polyglycol-based oils are suitable. There are various molecular weights for both paraffin and polyglycol types.
It can be used at an appropriate temperature, but if the molecular weight becomes too high, a high temperature will be required to produce a constant amount of steam, which will cause thermal decomposition.
For paraffins, those with a content up to about 600 are preferred.

次に、金属化フィルムの製造方法について説明する。Next, a method for manufacturing the metallized film will be explained.

まず、誘電体フィルム1:d、金属化される前にその非
金属化部分にノズルタンクのスリットより出てきたオイ
ル蒸気が付着され、金属蒸気に露されて非金属(上部分
を除いて金属化される。所定の非金属化部分に十分オイ
ルが付着していれば、その部分には、金属は付着せず非
金属化部が形成される。第1の金属化が終了すると次に
同様に前記誘電体フィルムの裏側を金属化する。金属化
する前に所定の部分に前記同様オイルを付着させ、非金
属化部分を形成する。
First, before the dielectric film 1:d is metallized, the oil vapor coming out from the slit of the nozzle tank is attached to the non-metalized part, and it is exposed to the metal vapor and becomes non-metallic (except for the upper part). If enough oil adheres to a predetermined non-metalized part, no metal will adhere to that part and a non-metalized part will be formed.When the first metallization is completed, the next The back side of the dielectric film is metalized.Before metallization, oil is applied to a predetermined portion in the same manner as described above to form a non-metalized portion.

ところが、第2の金属化の工程では、第1の金属化の工
程での熱の影響で誘電体フィルムの温度が高くなってい
るので、オイル蒸気の付着が不十分になりがちであるが
、上記のように誘電体フィルムとノズルタンクが接触し
ている場合には、オイルを所定位置に十分付着させるこ
とができる。
However, in the second metallization step, the temperature of the dielectric film is high due to the influence of heat in the first metallization step, so oil vapor tends to be insufficiently attached. When the dielectric film and the nozzle tank are in contact as described above, oil can be sufficiently deposited at a predetermined position.

ノズルタンクの温度としては、例えばオイルとして平均
分子量422のパラフィン系オイルで、JISK 22
54 (石油製品蒸留試験法)による1QptmHgI
−における10%留分温度が238°Cのものについて
は、その最適温度範囲130〜165°Cであり、これ
は前記10闘Hノ における10%留分温度より73〜
108°C低い温度である。そして、挿々の分子量のオ
イルについてもその最適温度範囲がほぼ前記のような関
係にあることが確認された。なお、平均分子量422の
パラフィンオイルを用いた場合のオイル温度と蒸着ボケ
ならびにオイル温度と金属化フィルムを用いたコンデン
サの性能の関係を第3図に示す。なお、コンデンサの性
能は、フィルムの厚さは6μmのもので20μFのコン
デンサを構成し、80°Cで374V印加500時間後
の初期値に対する容量変化で示した。
The temperature of the nozzle tank is, for example, paraffin oil with an average molecular weight of 422, JISK 22
54 (Petroleum Products Distillation Test Method) 1QptmHgI
- For those with a 10% distillate temperature of 238°C, the optimum temperature range is 130-165°C, which is 73-165°C higher than the 10% distillate temperature in 10
The temperature is 108°C lower. It has also been confirmed that the optimum temperature range for oils of varying molecular weights has approximately the same relationship as described above. FIG. 3 shows the relationship between oil temperature and vapor deposition blur when paraffin oil with an average molecular weight of 422 is used, as well as the relationship between oil temperature and performance of a capacitor using a metallized film. The performance of the capacitor was determined by the capacitance change with respect to the initial value after 500 hours of application of 374 V at 80° C. using a film having a thickness of 6 μm to form a 20 μF capacitor.

第3図よりオイル温度が130°C以下ではオイルの付
着量が少ないため非金属化部分も金属化されていくこと
になる。また、166°C以上では、オイルの蒸気圧が
犬きくなυすぎて余分のオイルが金属化部分に付着し、
コンデンサの性能を低下させることになる。さらに誘電
体フィルムを両面金属化する場合の巻戻し時の蒸着膜剥
離もオイル温度165°C以上では著しかった。
As can be seen from FIG. 3, when the oil temperature is below 130°C, the amount of oil adhesion is small, so that non-metalized portions are also metalized. Furthermore, at temperatures above 166°C, the vapor pressure of the oil is too high and excess oil adheres to the metallized parts.
This will reduce the performance of the capacitor. Furthermore, when both sides of the dielectric film are metallized, the peeling off of the deposited film during unwinding is also significant when the oil temperature is 165°C or higher.

発明の効果 以上のように本発明によれば、誘電体フィルムの非金属
化部とする特定領域へ接7触方式でオイルを付着できる
ので、その部分へのオイルの付着は十分になり、さらに
他の部分へのオイルの飛散が極めて少ない。したがって
非金属化部分の蒸着ボケがなく、さらに、得られる金属
化フィルムを用いたコンデンサの性能を低下させること
もない。
Effects of the Invention As described above, according to the present invention, oil can be applied to a specific area of a dielectric film that is a non-metalized part using a contact method. There is extremely little oil scattering to other parts. Therefore, there is no vapor deposition blur in the non-metalized portion, and furthermore, the performance of the capacitor using the obtained metallized film is not degraded.

また、誘電体フィルムに両面金属化を行う場合、蒸着後
原反巻戻し時の蒸着膜剥離がなく、優れた金属化フィル
ムを得ることができる。
Furthermore, when double-sided metallization is performed on a dielectric film, there is no peeling of the vapor deposited film during unwinding of the film after vapor deposition, and an excellent metallized film can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(d本発明の実施例における金属化フィルム製造
装置の概略構成を示す図、第2図はそのノズルタンクと
誘電体フィルムの位置関係を示す断面図、第3図は誘電
体フィルムを金属化する場合のオイル温度と蒸着ボケな
らびに得られた金属化フィルムを用いたコンデンサ性能
の関係を示す図、第4図は従来のノズルタンクと誘電体
フィルムの位置関係を示す断面図である。 1−・・誘電体フィルム、 4 、4’・・・・クーリ
ングキャン、5.5′・・・・・ルツボ、7.7’・・
・・ノズルタンク、8・・・・熱容量の小さい材料の層
、9・・・・スリ2.ト、1o・・・・・オイル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名1・
−搗室小1.′!脚 g−4−、臂堡
Figure 1 (d) is a diagram showing a schematic configuration of a metallized film manufacturing apparatus in an embodiment of the present invention, Figure 2 is a sectional view showing the positional relationship between the nozzle tank and the dielectric film, and Figure 3 is a diagram showing the positional relationship between the nozzle tank and the dielectric film. A diagram showing the relationship between oil temperature in the case of metallization, vapor deposition blur, and capacitor performance using the obtained metallized film, and FIG. 4 is a sectional view showing the positional relationship between a conventional nozzle tank and a dielectric film. 1-... Dielectric film, 4, 4'... Cooling can, 5.5'... Crucible, 7.7'...
... Nozzle tank, 8 ... Layer of material with small heat capacity, 9 ... Slip 2. t, 1o...oil. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person
-Bokumuro Elementary School 1. ′! Leg g-4-, armpit

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  誘電体フィルムの表面に、特定の領域にオイルを付着
させた後、金属を蒸着することにより、前記特定の領域
を非金属化部とする金属化フィルムを得る方法であって
、少なくとも誘電体フィルムが接触する表面に、前記オ
イルの温度に十分耐える耐熱性を有しかつ金属より熱容
量の小さい材料の層を外周面に形成したノズルパイプを
前記誘電体フィルムに接触するようにして前記フィルム
の特定の領域にオイルを付着させることを特徴とする金
属化フィルムの製造方法。
A method for obtaining a metallized film in which the specific area is a non-metalized portion by attaching oil to a specific area on the surface of a dielectric film and then vapor-depositing a metal, the method comprising: at least a dielectric film; A nozzle pipe having a layer formed on the outer peripheral surface of a material having heat resistance sufficient to withstand the temperature of the oil and having a smaller heat capacity than metal is brought into contact with the dielectric film to identify the film. A method for producing a metallized film, characterized in that oil is attached to the area of the metallized film.
JP21438386A 1986-09-11 1986-09-11 Manufacture of metallized film Pending JPS6370411A (en)

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