JPS637037B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS637037B2 JPS637037B2 JP54136857A JP13685779A JPS637037B2 JP S637037 B2 JPS637037 B2 JP S637037B2 JP 54136857 A JP54136857 A JP 54136857A JP 13685779 A JP13685779 A JP 13685779A JP S637037 B2 JPS637037 B2 JP S637037B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hollow
- tube
- discharge
- electrode
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、グロー放電によりレーザ媒質を励起
するガスレーザ、特に大出力炭酸ガスレーザ放電
管にかかわる。
するガスレーザ、特に大出力炭酸ガスレーザ放電
管にかかわる。
グロー放電によりレーザ媒質を励起するレーザ
では、電極から安定なグロー放電を発生させるこ
とが、出力の安定性、レーザ管の寿命に大きく影
響を与える。例えば、HeNeレーザではカソード
電極面積を大きくとり、電極面から出る電子の密
度を低く、かつできるだけ均一に保つことにより
グロー放電を安定化しレーザ管の寿命を延ばして
いる。
では、電極から安定なグロー放電を発生させるこ
とが、出力の安定性、レーザ管の寿命に大きく影
響を与える。例えば、HeNeレーザではカソード
電極面積を大きくとり、電極面から出る電子の密
度を低く、かつできるだけ均一に保つことにより
グロー放電を安定化しレーザ管の寿命を延ばして
いる。
一方、炭酸ガスレーザでは電極が電子あるいは
イオンの衝突により高温ととり易いため電極を積
極的に冷却する必要がある。第１図は従来の炭酸
ガスレーザ管を示す。肉厚の薄い円筒状電極１は
冷却液の流れる空間２を有するガラス二重管３の
内管４に密着して取付けられている。電極１で発
生した熱は電極１とガラス壁４の接触面を通して
冷却液に吸収される。この方法は構造が簡単であ
るが、電極１とガラス壁４の接触面を熱が通過す
るため熱伝達効率が低く、電流密度を高めると電
極１が過熱して放電が不安定になつたり、又放電
が電極の一部に集中しスパツタが生じてしまう。
イオンの衝突により高温ととり易いため電極を積
極的に冷却する必要がある。第１図は従来の炭酸
ガスレーザ管を示す。肉厚の薄い円筒状電極１は
冷却液の流れる空間２を有するガラス二重管３の
内管４に密着して取付けられている。電極１で発
生した熱は電極１とガラス壁４の接触面を通して
冷却液に吸収される。この方法は構造が簡単であ
るが、電極１とガラス壁４の接触面を熱が通過す
るため熱伝達効率が低く、電流密度を高めると電
極１が過熱して放電が不安定になつたり、又放電
が電極の一部に集中しスパツタが生じてしまう。
そこで、第２図に示すような直接カソードに冷
却液流路が設けられている電極ブロツクが採用さ
れるようになつた。金属製電極ブロツク５は、冷
却液の流れる空間６を有するガラス２重放電管７
の端部に取付けられ、ガラス管７をＯリング８に
より気密封止すると同時に保持している。電極ブ
ロツク５には冷却液の流れる通路９が設けられて
いる。電極ブロツク５の内壁で電子の飛び出す部
分１０は電極として電極ブロツク５の他の部分よ
り放電系路１１に近づけてある。この様なレーザ
管構造では、電極１０が冷却流通路９により直接
冷却されるため熱伝達特性が高く、放電電流値を
適度に高めても電極が過熱して放電不安定になつ
たり、放電が電極の一部に集中することが解決で
きる。ところが、ガス圧が低くなつたり放電電流
が大きくなると電極１０以外の部分から放電を生
じる様になり、逆に放電の不安定やガラス放電管
７の損傷といつた不都合が生じる。
却液流路が設けられている電極ブロツクが採用さ
れるようになつた。金属製電極ブロツク５は、冷
却液の流れる空間６を有するガラス２重放電管７
の端部に取付けられ、ガラス管７をＯリング８に
より気密封止すると同時に保持している。電極ブ
ロツク５には冷却液の流れる通路９が設けられて
いる。電極ブロツク５の内壁で電子の飛び出す部
分１０は電極として電極ブロツク５の他の部分よ
り放電系路１１に近づけてある。この様なレーザ
管構造では、電極１０が冷却流通路９により直接
冷却されるため熱伝達特性が高く、放電電流値を
適度に高めても電極が過熱して放電不安定になつ
たり、放電が電極の一部に集中することが解決で
きる。ところが、ガス圧が低くなつたり放電電流
が大きくなると電極１０以外の部分から放電を生
じる様になり、逆に放電の不安定やガラス放電管
７の損傷といつた不都合が生じる。
本発明の目的は、冷却が十分にでき、かつ安定
な放電の得られるガスレーザ管を提供することで
ある。
な放電の得られるガスレーザ管を提供することで
ある。
本発明によれば、グロー放電励起ガスレーザ管
において、レーザガスが封入された円筒状中空放
電管と、この円筒状中空放電管の一端にＯリング
等の気密部品を介して円筒状中空放電管の中心軸
と同一軸上に固定された金属製の中空電極ブロツ
クとを含み、中空電極ブロツクの中空部内壁は円
筒状中空放電管との接続部近傍が絶縁体で被覆さ
れ、さらに接続部より離れた位置で電子を放出す
る金属が露出していることを特徴とするガスレー
ザ管が得られる。
において、レーザガスが封入された円筒状中空放
電管と、この円筒状中空放電管の一端にＯリング
等の気密部品を介して円筒状中空放電管の中心軸
と同一軸上に固定された金属製の中空電極ブロツ
クとを含み、中空電極ブロツクの中空部内壁は円
筒状中空放電管との接続部近傍が絶縁体で被覆さ
れ、さらに接続部より離れた位置で電子を放出す
る金属が露出していることを特徴とするガスレー
ザ管が得られる。
第３図は本発明の一実施例であり、冷却液の流
れる空間１２と、放電路１３を有するガラス２重
管構造のレーザ管１４の端部に、かつレーザ管１
４と同軸延長上にレーザ管１４を気密に封止・保
持する円筒状金属ブロツク１５が設けられてい
る。Ｏリング１６は気密封止に用いられている。
円筒状金属ブロツク１５には冷却液の流れ励通路
１７と内壁にはそこから電子を飛び出させる電極
として作用する部分１８が設けられている。また
金属ブロツク１５の真空側内面で電極部分１８以
外の全てをおおう絶縁層１９が設けられている。
れる空間１２と、放電路１３を有するガラス２重
管構造のレーザ管１４の端部に、かつレーザ管１
４と同軸延長上にレーザ管１４を気密に封止・保
持する円筒状金属ブロツク１５が設けられてい
る。Ｏリング１６は気密封止に用いられている。
円筒状金属ブロツク１５には冷却液の流れ励通路
１７と内壁にはそこから電子を飛び出させる電極
として作用する部分１８が設けられている。また
金属ブロツク１５の真空側内面で電極部分１８以
外の全てをおおう絶縁層１９が設けられている。
この構造による電極では、冷却液が直接電極に
接するので冷却効率が高く、放電電流が大きくな
つても電極の過熱、電流の一部集中化といつた不
安定性が緩和される。同時に放電電流が高い状態
でガス圧を低くしても絶縁層１９が存在するため
放電が電極部分１８以外にまわつたりせず、安定
かつ安定なレーザ管を提供する。
接するので冷却効率が高く、放電電流が大きくな
つても電極の過熱、電流の一部集中化といつた不
安定性が緩和される。同時に放電電流が高い状態
でガス圧を低くしても絶縁層１９が存在するため
放電が電極部分１８以外にまわつたりせず、安定
かつ安定なレーザ管を提供する。
絶縁層１８の材質としてはテフロンやAl2O3等
が有効であるが、本発明はこれ等の材質にとらわ
れるものではない。
が有効であるが、本発明はこれ等の材質にとらわ
れるものではない。
第１図および第２図は従来のグロー放電励起レ
ーザ管構造を示す断面図、第３図は本発明の１実
施例を示す断面図である。 １２，１７……冷却液通路、１３……放電路、
１４……レーザ管、１５……円筒状金属ブロツ
ク、１６……Ｏリング、１８……電極部分、１９
……絶縁層。
ーザ管構造を示す断面図、第３図は本発明の１実
施例を示す断面図である。 １２，１７……冷却液通路、１３……放電路、
１４……レーザ管、１５……円筒状金属ブロツ
ク、１６……Ｏリング、１８……電極部分、１９
……絶縁層。
Claims (1)
- １ グロー放電ガスレーザ管において、レーザガ
スが封入された円筒状中空放電管と、前記中空放
電管の一端にＯリング等の気密部品を介して前記
中空放電管の中心軸と同一軸上に固定された金属
製の中空電極ブロツクとを含み、前記中空電極ブ
ロツクの中空部内壁は前記中空放電管との接続部
近傍が絶縁体で被覆され、前記接続部より離れた
位置で電子を放出する金属が露出していることを
特徴とするガスレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13685779A JPS5661186A (en) | 1979-10-23 | 1979-10-23 | Gas laser tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13685779A JPS5661186A (en) | 1979-10-23 | 1979-10-23 | Gas laser tube |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5661186A JPS5661186A (en) | 1981-05-26 |
| JPS637037B2 true JPS637037B2 (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=15185126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13685779A Granted JPS5661186A (en) | 1979-10-23 | 1979-10-23 | Gas laser tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5661186A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4999495A (ja) * | 1973-01-30 | 1974-09-19 | ||
| JPS49102292A (ja) * | 1973-02-01 | 1974-09-27 |
-
1979
- 1979-10-23 JP JP13685779A patent/JPS5661186A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4999495A (ja) * | 1973-01-30 | 1974-09-19 | ||
| JPS49102292A (ja) * | 1973-02-01 | 1974-09-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5661186A (en) | 1981-05-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05160491A (ja) | パルス化されたガス放電レーザー | |
| US4325006A (en) | High pulse repetition rate coaxial flashlamp | |
| US5467362A (en) | Pulsed gas discharge Xray laser | |
| EP0078540B1 (en) | Laser discharge tube | |
| US3787781A (en) | External cathode/internal anode figure eight laser | |
| JPS637037B2 (ja) | ||
| JPS6310597B2 (ja) | ||
| JPH0453010Y2 (ja) | ||
| US3141953A (en) | Electric arc torches | |
| JPS63184378A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| US3705325A (en) | Short arc discharge lamp | |
| JPS6348881A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPS6114777A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JPH04307776A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2002261356A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPS62113488A (ja) | 金属蒸気レ−ザ装置 | |
| JPH01273375A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JPH04116992A (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| JPH0318749B2 (ja) | ||
| JPS5886784A (ja) | 封じ切り型ガスレ−ザ | |
| JPH0231473A (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| JPS62595B2 (ja) | ||
| JPS6114776A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JPS6114780A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JPS62222685A (ja) | イオンレ−ザ管 |