JPS6370181A - 磁気デイスク基板の残留磁化測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスクの基板の残留磁化を測定する装
置に関する。

〔従来の技術〕

磁気ディスクの基板の磁化特性、特にその残留磁化の測
定は、磁気ディスクの品質管理上の重要な項目の１つで
あり、その表面に磁性層を被着形成する工程に先立って
、残留磁化の強さの測定が行われる。

一般に残留磁化の測定は、その被検体についてヒステリ
シスグラフまたはＢ−Ｈ曲線を測定したうえで、そのグ
ラフから計算により求めるという手順がとられる。近時
、電磁気的な磁化の自動測定装置として、振動型磁力計
が用いられているが、その磁力計による測定においても
、Ｂ−Ｈ曲線を求めたうえ、そのグラフから残留磁化を
計算するという測定手順に変わりはない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかるに、磁気ディスク基板の場合には、その磁気ヒス
テリシスや磁化曲線は必ずしも必要ではなく、残留磁化
のみを求めれば目的を達するのであるから、磁気ヒステ
リシスや磁化曲線から残留磁化を求めることは測定手順
の無駄であるだけでなく、測定に長時間を要することと
なり、大量の被検体を能率よく処理することができない
。また、振動型磁力計は、精度もよく、すぐれた磁力測
定機器ではあるが、その原理上、被検体または信号検出
コイルを振動させるための駆動部や、その振幅を一定に
させるだめの振幅制御部等を必要とし、構造が複雑で、
高価である等の難点がある。

本発明は上記に鑑み、磁気ディスク基板の残留磁化を効
率よく測定でき、かつ構造の簡素な測定装置を提供しよ
うとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の残留磁化測定装置は、 被検体である磁気ディスク基板を所定の速度で移送する
磁気ディスク基板移送路（以下、「基板移送路ＪＸＩ）
と、 前記基板移送路（１）に沿って所定速度で移動する磁気
ディスク基板を磁気飽和点まで磁化させるための前記基
板移送路（１）をはさんで両種が相対向するように設置
された外部磁界印加用磁石（２）と、 前記磁石（２）の磁界の外部に位置して前記基板移送路
（１）に設置され、前記磁石（２）の磁界を通過したの
ちの残留磁化を有する磁気ディスク基板の磁束を検知す
るサーチコイル（３）と、前記磁気ディスク基板が前記
サーチコイル（３）部を移動することにより該コイル（
３）内に誘起される起電圧を検出・測定する信号検出測
定部（４）とを主要構成要素としている。

本発明の測定装置について、実施例を示す第１図（正面
図）および第２図（平面図）により説明すると、（Ｄ）
は被検体である磁気ディスク基板であり、該基板（Ｄ）
は、左右の基板ホルダ（１１゜１１）にクランプ（１２
）され、両側のガイド部（１３，１３）に装架されて移
送路（１）に沿って矢符方向に移動する。

外部磁界印加用磁石（２）は、基板移送路（１）に沿っ
て移動する基板（Ｄ）を磁気飽和点まで磁化させるに足
る磁化力を有する永久磁石または電磁石であり、Ｓ極と
Ｎ極とが基板移送路（１）をはさんで相対峙するように
設置されている。なお、図では、磁石（２）を、両極間
の磁力線が基板（Ｄ）の板面に直交する向きに設置して
いるが、必ずしもその必要はなく、例えば磁力線と基板
（Ｄ）とが平行になる向きに設置してもかまわない。

サーチコイル（３）は、前記外部磁界印加用磁石（２）
の磁界の影響をうけないように、その磁界の外に位置し
て基板移送路（１）の近傍に設置されている。図では、
２つのコイルを基板（Ｄ）の板面に対面する向きに設置
しているが、むろんその向きは任意である。また、基板
移送路（１）を囲繞するようにコイルを設置して基板（
Ｄ）がコイルの内部を通過するようにしてもよい。

信号検出測定部（４）は、基板（Ｄ）が前記サーチコイ
ル（３）部を通過する際に該コイル（３）に誘起される
パルス電圧を検知し、増幅して必要に応じこれを記録す
る。

基板移送路（１）に沿って移送される基板（Ｄ）の移動
速度に制限はなく、測定能率および測定精度の点から、
高速度であるほど有利である。

〔作用〕

基板移送路（１）に沿って移動する被検体基板（Ｄ）は
、外部磁界印加用磁石（２）の磁界内で飽和点まで磁化
されたのち、その磁界の外に出ることにより、基板の磁
化特性に応じた残留磁化が残る。ついで、その基板がサ
ーチコイル（３）部を通過すると、該コイル（３）が基
板の残留磁化の大きさに比例する基板の磁束（Φｒ）を
検知することにより、該コイル（３）内に誘起電圧ｔｅ
ｌが発生し、その起電圧は信号検出測定部（４）により
検知測定される。

上記サーチコイル（３）内に誘起される電圧（ｅ）は、
下式〔ｌ〕　： ｄｔ　　　　　ｄｔ　　　　　　　　　ｄｔ〔式中、Φ
ｒ：磁気ディスク基板の残留磁化による磁束、Ｎ：サー
チコイルの巻数、ｘ：磁気ディスク基板の位置、Ｖ二磁
気ディスク基板の移動速度〕 で表されるように、基板（Ｄ）の磁束、移動速度および
サーチコイルの巻組との関数であり、基板（Ｄ）の移動
速度とサーチコイル（３）の巻数は既知であるから、誘
起電圧（ｅ）を測定することにより、基板（Ｄ）の磁束
（φｒ）が、従ってその磁束に比例する残留磁化の大き
さが求められる。

また、上記ＣＩ）式からもわかるように、基板（Ｄ）の
移動速度が大きければ大きい程、誘起電圧（ｅｌが大き
くなり、測定精度が高くなる。

〔発明の効果〕

本発明装置によれば、被検体磁気ディスク基板を基板移
送路に沿って移動させる簡単な操作により、また従来の
ようなり−Ｈ曲線の測定等の手順を必要とせずに、直ち
に残留磁化の大きさを求めることができる。しかも、そ
の測定原理から、被検体の移動速度をはやめる程、測定
精度が向上するので、大量の磁気ディスク基板の高速測
定法として好適であり、またその構造は、従来の振動型
磁力計等のような複雑な制御機構を必要とせず、極めて
面素であり、安価であるから、工業的に大きな価値を有
するものである。

なお、外部磁界印加用磁石として電磁石を使用し、これ
を基板移送路のサーチコイルと同じ位置に設置して被検
体を移動させることとすれば、電磁石の磁界の強さを変
えることにより、Ｂ　−Ｈ曲線上の任意のＨ（［北方）
に対応するＢ（Ｔｉ化の強さ）を測定することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図（１）は本発明装置の実施例を示す模式的正面図
、同図（ＩＩ）はその模式的平面図である。 に基板移送路、２：外部磁界印加用磁石、３：サーチコ
イル、４：信号検出測定部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検体である磁気ディスク基板を所定の速度で移
   送する磁気ディスク基板移送路（以下、「基板移送路」
   ）と、 前記基板移送路に沿って所定の速度で移動する磁気ディ
   スク基板を磁気飽和点まで磁化させるための前記基板移
   送路をはさんで両極が相対向するように設置された外部
   磁界印加用磁石と、 前記磁石の磁界の外に位置して前記基板移送路に設置さ
   れ、前記磁石の磁界を通過したのちの残留磁化を有する
   磁気ディスク基板の磁束を検知するサーチコイルと、 前記磁気ディスク基板が前記サーチコイル部を移動する
   ことにより該コイル内に誘起される起電圧を検出・測定
   する信号検出測定部 とを有する磁気ディスク基板の残留磁化測定装置。