JPS6369800A - 磁気光学結晶 - Google Patents
磁気光学結晶Info
- Publication number
- JPS6369800A JPS6369800A JP61210935A JP21093586A JPS6369800A JP S6369800 A JPS6369800 A JP S6369800A JP 61210935 A JP61210935 A JP 61210935A JP 21093586 A JP21093586 A JP 21093586A JP S6369800 A JPS6369800 A JP S6369800A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation angle
- faraday rotation
- crystal
- garnet
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光通信、光計測に用いられるファラデー効果を
利用した磁気光学結晶に関するものである。
利用した磁気光学結晶に関するものである。
従来の技術
近年、光通信の分野において光源である半導体レーザへ
、伝送回路途中の機器、コ坏りター等の端面からの反Ｍ
戻り光を阻止する光アインレータ用の磁気光学結晶が盛
んに研究されている。その中でも希土類元素をＢｉで置
換したＢｉ置換型希土類ガーネソ） （ＢｉＲｅ）ＩＣ
は単位長さあたりのファラデー回転角が大きく、光アイ
ソレータ用として必要な結晶の厚みが数１００μｍでよ
いこと、また液相エビタギシャル法により数１００μｍ
。
、伝送回路途中の機器、コ坏りター等の端面からの反Ｍ
戻り光を阻止する光アインレータ用の磁気光学結晶が盛
んに研究されている。その中でも希土類元素をＢｉで置
換したＢｉ置換型希土類ガーネソ） （ＢｉＲｅ）ＩＣ
は単位長さあたりのファラデー回転角が大きく、光アイ
ソレータ用として必要な結晶の厚みが数１００μｍでよ
いこと、また液相エビタギシャル法により数１００μｍ
。
厚みの結晶を得る事ができ１枚のウェハから多数のチッ
プを取り出す事ができ量産性にすぐれていること等によ
り開発が急速に進んで来ている。１例として第８回日本
応用磁気学会学術講演概要集１３ａＢ−１、１３ａＢ−
２等を掲げる事ができる。
プを取り出す事ができ量産性にすぐれていること等によ
り開発が急速に進んで来ている。１例として第８回日本
応用磁気学会学術講演概要集１３ａＢ−１、１３ａＢ−
２等を掲げる事ができる。
発明が解決しようとする問題点
Ｂｉ置換希土類置換ガーネットは、例えば第３３回応用
物理学関係連合講演会講演予稿集１ｐ−Ｈ−１５で報告
されているようにファラデー回転角の温度変化が大きく
、室温でのファラデー回転角の４５°からの変化は最も
小さいものでも６．８Ｘ１０ ／’Ｃ程度である。こ
れはＢｉを置換しないイツトリウム鉄ガート（ＹＩＧ）
のファラデー回転角の４５°からの変化４×１０ °／
’Ｃと比べて４割程度大きい。ファラデー回転角の４５
°からのずれはアイソレーション比の劣化の原因となり
、例えばファラデー回転角が４６°から１°ずれるとア
イソレーション比は理想状態（無限大）から３４５（ｉ
Ｂに低下する。したがってもし室温でファラデー回転角
を４５°になるように結晶の厚みを選んでおいても、Ｂ
ｉ置換型ガーネットでは約１７°ｃ１また、ファラデー
回転角の温度変化が小さいＹＩＧでも約２５°Ｃ変化す
るとアイソレーション比は３５ｄＢに低下し、実用上問
題が残る。
物理学関係連合講演会講演予稿集１ｐ−Ｈ−１５で報告
されているようにファラデー回転角の温度変化が大きく
、室温でのファラデー回転角の４５°からの変化は最も
小さいものでも６．８Ｘ１０ ／’Ｃ程度である。こ
れはＢｉを置換しないイツトリウム鉄ガート（ＹＩＧ）
のファラデー回転角の４５°からの変化４×１０ °／
’Ｃと比べて４割程度大きい。ファラデー回転角の４５
°からのずれはアイソレーション比の劣化の原因となり
、例えばファラデー回転角が４６°から１°ずれるとア
イソレーション比は理想状態（無限大）から３４５（ｉ
Ｂに低下する。したがってもし室温でファラデー回転角
を４５°になるように結晶の厚みを選んでおいても、Ｂ
ｉ置換型ガーネットでは約１７°ｃ１また、ファラデー
回転角の温度変化が小さいＹＩＧでも約２５°Ｃ変化す
るとアイソレーション比は３５ｄＢに低下し、実用上問
題が残る。
問題点を解決するための手段
本発明は、（Ｔｂ３−ｘＬ２Ｌｘ ）（Ｆｅ５−ｙ−２
ｓＱｙＩｎｚ）０１２において、ｘ、ｙ、ｚはともに正
又は○であり、かつ０≦ｘ −１−ｙ −１−ｚ≦０．
８であり、かつｘ ＋ ｙ −１−２＼０なる化学組成
のガーネット結晶にＢｉ置換型希土類ガーネットをエピ
タキシャル成長した磁気光学結晶である。
ｓＱｙＩｎｚ）０１２において、ｘ、ｙ、ｚはともに正
又は○であり、かつ０≦ｘ −１−ｙ −１−ｚ≦０．
８であり、かつｘ ＋ ｙ −１−２＼０なる化学組成
のガーネット結晶にＢｉ置換型希土類ガーネットをエピ
タキシャル成長した磁気光学結晶である。
作用
本発明によシ温度が変化してもファラデー回転角の変化
がゼロになる理由を以下に説明する。第２図において横
軸は温度、たて軸はファラデー回転角である。図中には
テルビウム鉄ガーネットＴｂＩＧ 、 Ｂｉ置換型希土
類ガーネット（ＢｉＲｅ ） ｒ Ｇのファラデー回転
角の温度変化と、これらを合成したファラデー回転角の
温度変化を模式的に示す。
がゼロになる理由を以下に説明する。第２図において横
軸は温度、たて軸はファラデー回転角である。図中には
テルビウム鉄ガーネットＴｂＩＧ 、 Ｂｉ置換型希土
類ガーネット（ＢｉＲｅ ） ｒ Ｇのファラデー回転
角の温度変化と、これらを合成したファラデー回転角の
温度変化を模式的に示す。
一般にＢｉ置換型希土類ガーネッ） （ＢｉＲａ）ＩＧ
において希土類元素（Ｒｅ）の位置にＢｉが多量（希土
類元素の２割程度以上）に入ると、ファラデー回転角の
温度変化はＲｅの種類にあまり依存しない。
において希土類元素（Ｒｅ）の位置にＢｉが多量（希土
類元素の２割程度以上）に入ると、ファラデー回転角の
温度変化はＲｅの種類にあまり依存しない。
この時（ＢｉＲｅ）ｒＧのファラデー回転角は負の大き
な値から、温度の上昇とともに、ゼロに近づく。
な値から、温度の上昇とともに、ゼロに近づく。
この時ファラデー回転角が室温で一４５°となるように
結晶の厚みを調節すると温度変化によるファラデー回転
角の一４５°からの変化は正でその値は＋０．０５°／
’Ｃ以上である。一方Ｔｔ） ＩＧの７７ラデ一回転角
は正の大きな値から、温度の上昇とともに、ゼロに近づ
く。この時ファラデー回転角の４５°からの変化は室温
付近において−０，２３°／°ｃである。したがってこ
れらの結晶を組み合わせ、結晶のそれぞれの厚みを適当
に調節する事により５ヘージ ファラデー回転角の温度係数をゼロにする事が可能であ
る。
結晶の厚みを調節すると温度変化によるファラデー回転
角の一４５°からの変化は正でその値は＋０．０５°／
’Ｃ以上である。一方Ｔｔ） ＩＧの７７ラデ一回転角
は正の大きな値から、温度の上昇とともに、ゼロに近づ
く。この時ファラデー回転角の４５°からの変化は室温
付近において−０，２３°／°ｃである。したがってこ
れらの結晶を組み合わせ、結晶のそれぞれの厚みを適当
に調節する事により５ヘージ ファラデー回転角の温度係数をゼロにする事が可能であ
る。
次にエピタキシャル成長に関係して、格子整合の話と結
晶の膜厚について述べる。上記したように（ＢｉＲａ）
ＩＧ系とＴｂＩＧ系の組み合わせによυファラデー回転
角の温度係数をゼロにする事が可能であるが、これらを
互いにエピタキシャル成長するためには互いの格子定数
を一致させる必要がある。ＴｂＩ（、の格子定数を変化
させるため、鉄元素をＳｃまたはＩｎで、Ｔｂ元素をＬ
ａで適当な量だけ置換する事によってこれらの結晶の格
子定数を一致させる事ができる。またＳｃ 、 Ｉｎ
、 Ｌａなと他の元素を固溶する事によりファラデー回
転角の大きさ及びその温度依存性がもとのＴｔ）Ｉ（ｒ
の場合と変ってくるので、あらかじめファラデー回転角
の温度変化を測定し、（ＢｉＲｅ）Ｍ（ｒの膜厚とＴｂ
３−ｘＬａｘＦｅ５、−２ＳｃｙＩｎｚ０，２ との
膜厚の比の調整を行った。この事は実施例１０所で詳し
く述べる。
晶の膜厚について述べる。上記したように（ＢｉＲａ）
ＩＧ系とＴｂＩＧ系の組み合わせによυファラデー回転
角の温度係数をゼロにする事が可能であるが、これらを
互いにエピタキシャル成長するためには互いの格子定数
を一致させる必要がある。ＴｂＩ（、の格子定数を変化
させるため、鉄元素をＳｃまたはＩｎで、Ｔｂ元素をＬ
ａで適当な量だけ置換する事によってこれらの結晶の格
子定数を一致させる事ができる。またＳｃ 、 Ｉｎ
、 Ｌａなと他の元素を固溶する事によりファラデー回
転角の大きさ及びその温度依存性がもとのＴｔ）Ｉ（ｒ
の場合と変ってくるので、あらかじめファラデー回転角
の温度変化を測定し、（ＢｉＲｅ）Ｍ（ｒの膜厚とＴｂ
３−ｘＬａｘＦｅ５、−２ＳｃｙＩｎｚ０，２ との
膜厚の比の調整を行った。この事は実施例１０所で詳し
く述べる。
実施例
本発明の第１の実施例として、ＴｂＩＧ系−（ＢｉＬｕ
Ｇｄ ） Ｉ Ｇ系の２層構造の結晶について述べる。
Ｇｄ ） Ｉ Ｇ系の２層構造の結晶について述べる。
ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ５系融剤を用い、Ｇａ −Ｍｇ −Ｚｒ
置換型ガドリニウム・ガリウム・ガーネット（高格子定
数ＧＧＧ 格子定数ａ＝１２，４９７人）を基板とし
て、その上にＴｂ３Ｆｅ４，５１ｎｏ、５Ｃｈｚを６７
７ μｍエピタキシャル成長した。この時、成長した結
晶の格子定数は１２ 、４９７人であり、基板の上に格
子不整合なく鏡面状の厚膜として得る事ができる。
置換型ガドリニウム・ガリウム・ガーネット（高格子定
数ＧＧＧ 格子定数ａ＝１２，４９７人）を基板とし
て、その上にＴｂ３Ｆｅ４，５１ｎｏ、５Ｃｈｚを６７
７ μｍエピタキシャル成長した。この時、成長した結
晶の格子定数は１２ 、４９７人であり、基板の上に格
子不整合なく鏡面状の厚膜として得る事ができる。
さらにこの時のファラデー回転角はア０であり、またフ
ァラデー回転の７°からの温度変化は室温付近で一〇、
０７°／’Ｃであった。なお、ファラデー回転角の測定
は光通信、光計測によく用いられる波長１．３μｍの光
を用いてすべて行った。
ァラデー回転の７°からの温度変化は室温付近で一〇、
０７°／’Ｃであった。なお、ファラデー回転角の測定
は光通信、光計測によく用いられる波長１．３μｍの光
を用いてすべて行った。
次にＢｉ２０３− ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３系融剤を用いて高
格子定数Ｇ（、Ｇ （格子定数ａ＝１２，４９７人）上
に（ＢｉｌｏＬｕ（，４Ｇｄ１６ ）Ｆｅ５０１２を１
１００ｔ１成長した。
格子定数Ｇ（、Ｇ （格子定数ａ＝１２，４９７人）上
に（ＢｉｌｏＬｕ（，４Ｇｄ１６ ）Ｆｅ５０１２を１
１００ｔ１成長した。
この時成長した結晶の格子定数は同様に１２−４９７人
となり、格子不整合なく鏡面状の結晶を得ることができ
る。さらにこの時の室温でのファラデー７、、−７ 回転角は一１４°であり、この時ファラデー回転角の一
１４°からのずれは室温付近で＋０．０１９ ’／℃で
ある。そこで（ＢｉｌｏＬｕＯ，４ＧＪ６）Ｆｅ５０１
２を３７１μｍとするとファラデー回転角は一５２°と
なりまたその温度変化は＋０，０７°／’Ｃとなる。し
たがってＴｂ３Ｆｅ４５Ｉｎ（１，５０１２６７７μｍ
と（Ｂｉ１ｏＬｕｏ４Ｇｄｔ６）Ｆｅ５Ｃｚ２を３７１
μｍを２層にする事により、ファラデー回転角は一４５
°、壕だファラデー回転角の温度変化はちょうど打ち消
しあってゼロになるはずである。
となり、格子不整合なく鏡面状の結晶を得ることができ
る。さらにこの時の室温でのファラデー７、、−７ 回転角は一１４°であり、この時ファラデー回転角の一
１４°からのずれは室温付近で＋０．０１９ ’／℃で
ある。そこで（ＢｉｌｏＬｕＯ，４ＧＪ６）Ｆｅ５０１
２を３７１μｍとするとファラデー回転角は一５２°と
なりまたその温度変化は＋０，０７°／’Ｃとなる。し
たがってＴｂ３Ｆｅ４５Ｉｎ（１，５０１２６７７μｍ
と（Ｂｉ１ｏＬｕｏ４Ｇｄｔ６）Ｆｅ５Ｃｚ２を３７１
μｍを２層にする事により、ファラデー回転角は一４５
°、壕だファラデー回転角の温度変化はちょうど打ち消
しあってゼロになるはずである。
そこで高格子定数ＧＧＧ （１Ｌ＝１２，４９７人）上
にまずＴＪＦｅ４，５Ｉｎｏ、ｓＯ＋２を６７７ μｍ
エピタキシャル成長し、次にこの結晶の上に（Ｂｉｌｏ
Ｌｕ（１４σｄ１６）Ｆｅ５０１２を３７１μｍ エピ
タキシャル成長した。
にまずＴＪＦｅ４，５Ｉｎｏ、ｓＯ＋２を６７７ μｍ
エピタキシャル成長し、次にこの結晶の上に（Ｂｉｌｏ
Ｌｕ（１４σｄ１６）Ｆｅ５０１２を３７１μｍ エピ
タキシャル成長した。
この時、これら２層のエピタキシャル膜の格子定数はい
ずれも１２．４９７人であるため格子不整合なく、欠陥
のない鏡面状の結晶を得る事ができる。
ずれも１２．４９７人であるため格子不整合なく、欠陥
のない鏡面状の結晶を得る事ができる。
第１図に得られた結晶のファラデー回転角の温度変化を
示す。■は（ＢｉｌｏＬｕｏ、４Ｇｄ１，６ ）Ｆｅ５
０１２のみのファラデー回転角の温度変化であり、室温
付近の一４６°からのずれは＋０．０６°／°Ｃである
。■はＴｂ５Ｆｅ４，５１ｎｏ５０＋ｚ を６７７
ｐｍ成長した上に（Ｂｉｌ、ｏＬｕｏ４Ｇｄ、６）Ｆｅ
５０．２を３７１μｍ成長した結晶のファラデー回転角
の温度依存であり、温度０〜５０’Ｃの範囲において、
ファラデー回転角の温度変化のほとんどない結晶を得る
事ができた。
示す。■は（ＢｉｌｏＬｕｏ、４Ｇｄ１，６ ）Ｆｅ５
０１２のみのファラデー回転角の温度変化であり、室温
付近の一４６°からのずれは＋０．０６°／°Ｃである
。■はＴｂ５Ｆｅ４，５１ｎｏ５０＋ｚ を６７７
ｐｍ成長した上に（Ｂｉｌ、ｏＬｕｏ４Ｇｄ、６）Ｆｅ
５０．２を３７１μｍ成長した結晶のファラデー回転角
の温度依存であり、温度０〜５０’Ｃの範囲において、
ファラデー回転角の温度変化のほとんどない結晶を得る
事ができた。
本発明の第２の実施例としてＴｂＩＧ系−（ＢｉＹｂｅ
ｄ）ＩＣ系の２層構造の結晶について述べる。ｐｂｏ
−Ｂ２０３系融剤を用い、格子定数＆ ＝ １２．４９
５人の基板上にＴｂ３Ｆｅ４３ＳＣｏ、７０４２を４６
５ 、ｃａｍを成長した後、その上にＢｉ２Ｏ５−Ｐｂ
Ｏ−Ｂｉ２Ｏ５系溶媒を用いて（Ｂｉｌ、ＩＹｂｏ５Ｇ
ｄ１４）Ｆ６ｓＯ＋ｚを１４０μｍ成長した。この結晶
の室温でのファラデー回転角は２３°であったが、この
結晶の厚みを、ファラデー回転角が４５°となるように
換算すると、ファラデー回転角の４５°からの変化は＋
０．０１°／’Ｃとなり良好な結果が得られた。
ｄ）ＩＣ系の２層構造の結晶について述べる。ｐｂｏ
−Ｂ２０３系融剤を用い、格子定数＆ ＝ １２．４９
５人の基板上にＴｂ３Ｆｅ４３ＳＣｏ、７０４２を４６
５ 、ｃａｍを成長した後、その上にＢｉ２Ｏ５−Ｐｂ
Ｏ−Ｂｉ２Ｏ５系溶媒を用いて（Ｂｉｌ、ＩＹｂｏ５Ｇ
ｄ１４）Ｆ６ｓＯ＋ｚを１４０μｍ成長した。この結晶
の室温でのファラデー回転角は２３°であったが、この
結晶の厚みを、ファラデー回転角が４５°となるように
換算すると、ファラデー回転角の４５°からの変化は＋
０．０１°／’Ｃとなり良好な結果が得られた。
本発明の第３の実施例としてＴｂＩ（Ｉｔ系−（ＢｉＬ
ｕＴｂ）ＩＣ系の２層構造の結晶について述べる。ｐｂ
ｏ −Ｂ２ｏ３系融剤を用い、格子定数ａ ＝ １２．
４９７人の９へ−ジ 基板上に（Ｔｋ）２４Ｌａｏ、６）Ｆｅ５０１２を５２
５ μｍ、次に実施例１と同様の融剤を用いて（Ｂｉｌ
ｏＬｕ、３Ｔｂ１，７ ）Ｆｅ５０，２を４８０μｍ成
長した。この結晶のファラデー回転角を測定した結果室
温でのファラデー回転角は４５°。またその温度係数は
室温付近でゼロであった。
ｕＴｂ）ＩＣ系の２層構造の結晶について述べる。ｐｂ
ｏ −Ｂ２ｏ３系融剤を用い、格子定数ａ ＝ １２．
４９７人の９へ−ジ 基板上に（Ｔｋ）２４Ｌａｏ、６）Ｆｅ５０１２を５２
５ μｍ、次に実施例１と同様の融剤を用いて（Ｂｉｌ
ｏＬｕ、３Ｔｂ１，７ ）Ｆｅ５０，２を４８０μｍ成
長した。この結晶のファラデー回転角を測定した結果室
温でのファラデー回転角は４５°。またその温度係数は
室温付近でゼロであった。
なお本実施例ではＩｎ 、 Ｓｃ 、 Ｌａ、それぞれ
を別々に固溶した場合について説明したが、これらは同
時にＴＭＧに固溶してもよい。この時基板として一般に
用いられる結晶の格子定数（ａ＝１２，４９０〜１２，
５０４人）に格子整合をとるためには、（Ｔｂ３−ｘＬ
ａｘ）（Ｆｅ５−ｙ−２ｓｃｙＩｎｚ ）Ｏ＋ｚにおい
てＸ。
を別々に固溶した場合について説明したが、これらは同
時にＴＭＧに固溶してもよい。この時基板として一般に
用いられる結晶の格子定数（ａ＝１２，４９０〜１２，
５０４人）に格子整合をとるためには、（Ｔｂ３−ｘＬ
ａｘ）（Ｆｅ５−ｙ−２ｓｃｙＩｎｚ ）Ｏ＋ｚにおい
てＸ。
ｙ、ｚはともに正又は○であり、かつ○≦ｘ−１−ｙ＋
２≦０．８、かつｘ−）ｙ＋ｚ＼０なる条件が必要であ
る。さらに（ＢｉＬｕ（Ｊ）Ｉ（ｒ 、 （ＢｉＹｂＧ
４）ＩＧ 。
２≦０．８、かつｘ−）ｙ＋ｚ＼０なる条件が必要であ
る。さらに（ＢｉＬｕ（Ｊ）Ｉ（ｒ 、 （ＢｉＹｂＧ
４）ＩＧ 。
及び（ＢｉＬｕＴｂ）ｒＧの３つの実施例について示し
たが、上記（Ｔｂ３−ＸＬ＆Ｘ ） （Ｆｅ５−７−ｚ
ｓＯｙＩｎｚ ） ０１２と格子整合のとれるＢｉを含
むＢｉ置換型希土類ガーネットであれば、他の組成のも
のでもよい。
たが、上記（Ｔｂ３−ＸＬ＆Ｘ ） （Ｆｅ５−７−ｚ
ｓＯｙＩｎｚ ） ０１２と格子整合のとれるＢｉを含
むＢｉ置換型希土類ガーネットであれば、他の組成のも
のでもよい。
！≧に蟲鉗巨斗ｕＲｉＬｆ糾りＬ１各φ； ９届１５１
μの鬼陸１０．１．・ にする事により、さらに広い温度範囲でファラデー回転
角の温度変化をゼロとする事が可能である。
μの鬼陸１０．１．・ にする事により、さらに広い温度範囲でファラデー回転
角の温度変化をゼロとする事が可能である。
発明の効果
本発明により光アイソレータ用磁気光学結晶であるＢｉ
置換型ガーネット結晶のファラデー回転角の温度変化を
ゼロにする事が可能となり、この結晶を光アイソレータ
として用いる事により、広い温度範囲にわたり高アイン
レーション比の光アイソレータを提供することが可能と
なりその実用的価値は高い。
置換型ガーネット結晶のファラデー回転角の温度変化を
ゼロにする事が可能となり、この結晶を光アイソレータ
として用いる事により、広い温度範囲にわたり高アイン
レーション比の光アイソレータを提供することが可能と
なりその実用的価値は高い。
第１図は本発明の第１の実施例を説明するための図であ
り、■は本発明を用いる前のファラデー回転角の温度変
化を示し■は本発明を用いた時の′ファラデー回転角の
温度変化を示した図、第２図はＢｉ置換型希土類ガーネ
ッ） （ＢｉＲｅ）ＩＣのファラデー回転角の温度変化
をＴｂ ＩＧのファラデー回転角の温度変化で打ち消す
ことができる事を示した模式図である。
り、■は本発明を用いる前のファラデー回転角の温度変
化を示し■は本発明を用いた時の′ファラデー回転角の
温度変化を示した図、第２図はＢｉ置換型希土類ガーネ
ッ） （ＢｉＲｅ）ＩＣのファラデー回転角の温度変化
をＴｂ ＩＧのファラデー回転角の温度変化で打ち消す
ことができる事を示した模式図である。
Claims (1)
- （Ｔｂ＿３＿−＿ｘＬａ＿ｘ）（Ｆｅ＿５＿−＿ｙ＿−
＿ｚＳｃ＿ｙＩｎ＿ｚ）Ｏ＿１＿２において、ｘ、ｙ、
ｚはそれぞれ正又は０であり、かつ０≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦０
．８であり、かつｘ＋ｙ＋ｚ≠０なる化学組成のガーネ
ット結晶にＢｉ置換型希土類ガーネットをエピタキシャ
ル成長した事を特徴とする磁気光学結晶。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61210935A JPS6369800A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 磁気光学結晶 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61210935A JPS6369800A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 磁気光学結晶 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6369800A true JPS6369800A (ja) | 1988-03-29 |
Family
ID=16597520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61210935A Pending JPS6369800A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 磁気光学結晶 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6369800A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6351331B1 (en) | 1999-05-28 | 2002-02-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Faraday rotator and magneto-optical element using the same |
-
1986
- 1986-09-08 JP JP61210935A patent/JPS6369800A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6351331B1 (en) | 1999-05-28 | 2002-02-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Faraday rotator and magneto-optical element using the same |
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