JPS6368314A

JPS6368314A - 研磨工具の製造法

Info

Publication number: JPS6368314A
Application number: JP21456986A
Authority: JP
Inventors: Toru Arai; 新井　透; Takuo Onoe; 尾上　卓生
Original assignee: Toyota Central R&D Labs Inc
Current assignee: Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date: 1986-09-11
Filing date: 1986-09-11
Publication date: 1988-03-28
Also published as: JPH0248371B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、グリットブラスト等によりＥｔａ表面に鋭利
な凹凸を設け、その後その表面に炭化物。

窒化物等の表面層を形成し、焼入硬化を行う長寿命の研
磨工具の製造法に関する。

本発明に関する研磨工具は主として従来の鋼製やすりや
ダイヤモンド粒を電着したダイヤモンド製やすりあるい
はラッピングツール（以下やすりと称す）と同様の役目
を果１こすものである。やすりは手動あるいは機械動に
より、金属および非金属材料の形状作成、仕上げおよび
表面１■仕上げなどに用いるものである。

（従来の技（、ヤｉ）従来の鋼製やすりは、高炭素鋼片に塑性加工あるいは切
削加工により鋸刃状の目（切刃）を形成させた後に焼入
硬化したもので、焼入硬さＨＲＣ６０〜６゛４を有して
いる。しかしながら、かかる鋼製やすりは使用に伴い刃
先が摩耗し、切れ味が悪くなりやすい。特に、近年使用
の機会が増大している金型加工においては、焼入前の成
形、焼入後の修正研磨を行うが、従来のやすりは、前者
では著しく短寿命、後者ではほとんど使用不可というの
が現状である。

一方、こうした細裂やすりとは別にダイヤモンドやすり
も試用されている。このものは０．０５〜０．１）鳳直
径のダイヤモンド粒をバインダ一層によって鋼製支持棒
の必要部に被覆したものである。

しかし、このやすりは、硬い被加工材をも削れる利点が
あるが、その形態上単位時間当たりの切削量が小さい。

また、軟らかいバインダ一層が切粉で削られやすいため
に短時間でダイヤモンド粒が脱落しやすい。また＋１）
２ＬＪやすりに比べて著しく高価である。

また、近年焼入鋼よりも著しく高い耐辛耗性を実現する
手段としてクロムメッキ、熱拡散処理。

蒸着など、鋼に対する表面硬化処理手段が工業化されて
いる。そこで、これらの処理を、従来の調性やすりに適
用することも考えられるが、現実にはきわめて困難であ
る。例えば、クロムメッキではメッキ層が角部に厚く成
長するので刃先が丸くなり切れ味が著しく鈍るし、使用
時に容易にメッキ層が脱落する。拡散処理である窒化や
ボライディングでは硬い層は作れるが、それ自体がもろ
い上に鋼母材の靭性を著しく低下させる特性を持ってい
るので刃先先端が欠けやすく使用に耐えない。

拡散処理によるバナジウム（Ｖ）、ニオビウム（Ｎｂ）
、クロム（Ｃｒ）などの炭化物、窒化物被覆や蒸着によ
るチタン（Ｔｉ）の炭化物、窒化物被覆では上記の欠点
は少ないが、それでも刃先を丸くしてしまう傾向がある
。

また、やすりへのこれらの表面硬化の適用における重要
な問題は１表面硬化の効果を発揮させるためには目立て
（切刃形成）に工夫を必要とすることである。やすりが
切れ味（刃のかかり易さ）と耐久性を発揮するためには
被加工材に食い付きやすい鋭利な刃先形状と、それが長
期にわたり変化（摩滅）しない強度、耐摩耗性が必要で
ある。

しかし、従来の方法、特に塑性加工（タガネ加工）で形
成されたやすりの切刃には大きなパリが形成されている
のが普通である。そして、これを除去するために、電解
研磨やドライホーニングをｔｒ％すと、刃先に損傷を受
けてしまうことが多い。

また、これらが存在したままで表面硬化処理を施しても
、やすりの初期の使用段階で１例えばパリの消失による
刃先での鋼母材溶出、その部分への応力集中による刃先
破損などが起こる。それ故。

従来の鋼製やすりに、華に拡散による炭化物被覆や蒸着
による炭化物被覆処理を施してもその効果はなかなか発
揮されない。

以上からも知られるごとく、やすりに要求される重要な
点は、切れ味、即ち刃のかかり及び小さな力で切粉発生
が良いこと、また耐久性があり。

目詰まりし難いことである。そしてこれを実現するため
には、切れ味については、第１）図の切刃１の形状、刃
先２の強度、耐久性については刃先２の形状と切刃１の
強度、刃先２の耐摩耗性、目詰まりについてはチップポ
ケット３　（各切刃１の間の切粉が入り込む空間）の形
状、刃先１の形状などが主として関係する。

そして、この中特に重要なことは、切刃１部の形状、即
ち刃全体の形状、大きさ、刃先２の形状および刃数であ
る。また、鋭利な切刃１が多数存在するほど、切れ味が
良いが、鋭利な刃先２を有するのみでは、刃先２が損傷
し易く耐久性が悪い。

また切刃のすくい角４が大きいと、刃のかかりは良いが
、過大となると目詰まりを起こし易い。また、逃げ角５
が大きいとチップポケット３が大きくなるが、刃角６が
小さくなり、切刀１がｔＲ傷し易い。

そこで、我々は、やすりに要求されるかかる事項を考慮
しつつ、上記の表面硬化を施して、イ憂れた効果が得ら
れる切刃部を鋼に形成する方法を検討し１本発明に至っ
た。

（解決しようとする問題点）本発明は寿命が長く、高硬度の被加工材にも使用できる
安価な研磨工具の製造法を提供しようとするものである
。

（問題点を解決するための手段）本発明は、研磨工具となるべき鋼部材の表面にグリット
ブラストあるいは腐食により鋭利な先端部を存する凹凸
模様を設け２次いで該鋼部材の表面に拡散処理法、化学
蒸着法等によって炭化物。

窒化物、あるいは炭窒化物からなる被覆層を形成するこ
とを特徴とする研磨工具の製造法にある。

本発明において、研磨工具の切刃部となる凹凸模様を形
成する手段としては、グリッドプラスト法あるいは腐食
法である。

ここに、グリットブラスト法とは、鋭い角部を有する多
数の研削粒（グリッド）を鋼板表面に対して町きつけ、
該鋼板表面に鋭利な先端部を有する多数の凹凸を形成さ
せる方法をいう。このようにして形成された多数の凹凸
模様は、後に行う拡散処理法等の表面処理及び焼入硬化
により、硬い表面層となり、研磨工具の切刃部を構成す
ることとなる。

グリットブラスト用のグリッドとしては、アルミ九ジル
コニヤ、炭化ケイ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素、ダイヤ
モンドなど各種のものが使用可能であるが、実用上はア
ルミナあるいは炭化ケイ素が適している。粒度としては
８〜２２０番、望ましくは、１０〜１５０番である。ま
た、ブラストが鋼材表面を町くブラスト圧力としては０
．５〜ＩＱ　ｋｇ　／　ｃｒＡ　、望ましくは１〜５ｋ
ｇ／ｃＩＩＩである。また。

ブラスト時間としては、同−場所当たり１〜６０秒、望
ましくは５〜３０秒程度である。これによって、切刃高
さ即ちチップポケット深さは１０〜１００μｍ、刃先の
曲率半径１〜２０μｍ、２５龍長当たりの刃数２．００
〜８００個の切刃が構成される。また、この切刃のすく
い角は大部分が負の値を持っている。また、このグリッ
ドプラスト法によって形成された切刃は、かえりゃ、パ
リは全く生じていない。なお９球状表面で、角部を有し
ていない、小さな鋼球を使用したショツトブラストでは
、鋭い刃先を有する切刃を形成することができない（実
施例１参照）。

また、腐食法とは、腐食液中に鋼材を１０分ないし２時
間浸漬し、鋼材表面を腐食させることをいう。これによ
り１表面には上記グリットブラストと同様に多数の鋭い
先端を有する凹凸模様が形成される。上記腐食液として
は、硝酸、塩酸、硫酸、酢酸、塩化第二鉄などの単独あ
るいは混合水溶液を用いる。腐食液浸漬後は、水洗し１
次の表面硬化処理に備える。なお、上記腐食液中で電解
を加えて腐食をより能率的に行ってもよい。

なお、上記の切刃形成において、チップポケットを大き
くするために、グリットブラスト又は腐食法に先立って
５表面を塑性加工や切削加工で予め深い溝を切っておく
こともできる。

研磨工具の本体を構成する母材としては、焼入硬化可能
な、したがって約０．２５％以上の炭素を含有する鋼を
用いる。この母材には９表面硬化時あるいはその後に焼
入硬化を施しＨＲＣ５５〜７０程度の硬さを付与する。

これにより、切刃部に塑性変形、衝撃破壊、疲労破壊に
耐える強度を与える。炭素を十分に含んでおれば鋼材の
種類に特に制限はない。なお、腐食法を用いる場合の母
材としては、複数の相から組織が形成されている高合金
鋼２例えば冷間ダイス鋼や高速度鋼が使い易い。また、
母材鋼には予め浸炭や窒化が行われていてもよい。また
、上記母材としては、既に切刃を形成しである市販の鋼
製研磨工具を用いることもできる。

次に、上記のごとく形成した切刃部に被覆層を設ける（
表面硬化処理法）につき述べる。

まず、被覆層としては、バナジウムカーバイド（ＶＣ）
、ニオビウムカーバイド（ＮｂＣ）、　　クロムカーバ
イド（Ｃｒ　ｚｃｚ）　、チタンカーバイド（Ｔ　ｉ　
Ｃ）　、タングステンカーバイド（Ｗ　２　Ｃ、Ｗ□Ｃ
）等の炭化物、チタニウムナイトライド（ＴｉＮ）、ク
ロムナイトライド（ＣｒＮ）、バナジウムナイトライド
（ＶＮ）、　　シリコンナイトライド（Ｓｔ３Ｎｔ）な
どの窒化物、又はＶ　（Ｃ＋　Ｎ）　＋Ｎｂ　　（Ｃ，
Ｎ）、　　Ｃｒ　　（Ｃ，Ｎ）、Ｔｉ　　（Ｃ，Ｎ）な
どの炭窒化物を設ける。これらの被覆層は、Ｈｖ２００
０〜３０００以上という極めて高い硬さを有しており、
極めて優れた耐摩耗性、耐焼付性を有している。なお、
この被覆層は上記３種類の中の１種に限らず、複数の多
層構造とすることもできる。

また、この被覆層の形成法としては、拡散処理法、化学
蒸着法、物理蒸着法等を用いるが、この中特に前二者が
優れた方法である。

ここに、拡散処理法とは、高温に保たれた母材中に含ま
れている炭素（Ｃ）あるいは窒素（Ｎ）原子と処理剤中
の炭化物あるいは窒化物形成元素が結合して炭化物、窒
化物あるいは炭窒化物を母材表面に形成する方法である
。しかして、この拡散処理法としては、処理温度で処理
材が溶融状態にある溶融塩浴を用いてこれに被処理材を
一定時間浸漬保持する溶融塩浸漬法あるいはこれに更に
電解を加える溶融塩電解法、ガスを吹き込んで固体上の
処理剤が流動状態にある流動層中に被処理材を浸漬する
流動層炉法、固体状の処理剤中に埋没させて加熱する粉
末バック法、固体処理剤から発生するガス中で加熱する
非接触粉末法などがある。一般に拡散処理の温度は鋼の
焼入温度に近いので、被覆後に母材の焼入硬化を行わね
ばならないが、大気中で品物の出し入れができる溶融塩
法および流動層炉法は、被覆後の冷却中に母材の焼入を
行なえるので優れた方法である。

また、化学蒸着法（ＣＶＤ）は９本質的には拡散による
非接触粉末法と同様に気体中で加熱する方法であるが、
処理ガスとして水素と四塩化チタン（Ｔ　ｉＣｊ！　４
）、炭化水素あるいは窒素の混合ガスを用いて炭化物、
窒化物、炭窒化物を蒸着させる。この方法では冷却中に
母材を焼入硬化させることが困難であるので、多くの場
合再加熱焼入を行う。

また、物理蒸着法（ＰＶＤ）はＣあるいはＮを含んだ減
圧室中でチタン（Ｔｉ）その他の金属の蒸気を発止させ
、Ｔｉその他とＣあるいはＮの化金物を品物に蒸着させ
る方法である。しかし、この方法は、拡散法、ＣＶＤ法
に比べて被覆層厚さが不均一で、母材との結合力も若干
劣る傾向がある。

なお、前記拡散処理法のうち、溶融塩浴法及び流動層炉
法は、塩浴、流動粒子による被処理材表面の化学的１機
械的洗浄作用があるために、切刃部の凹凸模様の凹部中
にも処理剤が良く浸透し。

優れた被ｒＩｉ層を形成させる。

また、被覆層の厚みは、余り大きくすると、前の工程で
形成した切刃部の刃先が丸味を帯びてしまうため、２０
１）ｍ以下、好ましくは１）０ｌ１以下とする。また、
その下限は、耐久性の面より１μｍ以上とすることが好
ましい。

次に、上記のごとく被覆層を形成した鋼部材は。

研磨工具として、その全体に焼入硬化を施す。この焼入
硬化は１通常鋼製品に行う焼入と同様に約７５０〜１２
００℃に加熱後急冷することにより行う。なお、前記の
ごとく塩浴処理法等の場合は。

被覆後の冷却により母材焼入れが行われるので。

改めて焼入処理を行う必要はない。

（作用効果）本発明法によれば、耐摩耗性、耐焼付性に優れた長寿命
の研磨工具を安価に製造することができる。

このように優れた性能を発揮することができる理由は、
グリソトブラストあるいは腐食によって。

鋭利な先端部を有する多数の凹凸模様を不規則に形成で
きること、及びこのような表面にこの凹凸の刃先の特性
を損なうことなく、薄層の炭化物。

窒化物叉は炭窒化物の被覆層を形成したこと、またこの
被′Ｘｉ１層は密着性が高いことによる。

それ故、従来の焼入鋼やすりの如き刃先の早期摩耗、あ
るいはダイヤモンドやすりの如き刃先の脱落ということ
がなく、高い切れ味と耐久性を発揮できるのである。

また１本発明により得られる研磨工具は、耐焼付性にも
優れ、また前記のごとき切刃部を有するので目詰まりを
生じ賀（、特に軟質金属の被加工材の研磨に優れている
。

また９本発明法は切刃形成にグリットブラスト叉は腐食
法を用いるので、ダイヤモンド粒を用いる場合に比して
安価である。

また３表面が、前記特定の被覆層を有しているので、錆
びを生じ難く、化学工業や海浜環境での使用にも好都合
である。

末法にかかる研磨工具は、金属の形状出しや表面仕上げ
の他、ガラス、歯科材、木材等の非金属材の成形２表面
仕上げ等にも用いることができる。

実施例〔実施例１〕ＪＩＳＳＫ４の５　Ｘ　５　Ｘ　２００　ｍｍの角棒の
一端より５０鶴の範囲に、以下の条件で本発明にかかる
グリットブラストおよび比較例としてのショツトブラス
トを施した。

グリントブラスト条件：アルミナブラスト＝８０番、　（以下、＃で示す）、＃
３０．＃２０゜圧カニ０．５〜５　ｋｇ　ｆ　／　ｃ己。時間：２０秒
。

ブラスト放出ノズル径：２０＋ｍ。

ショツトブラスト条件ニスチールポール：０．２，０．４ｍｍ径。

圧カニ　０．５〜５ｋｇｆ／ｒｕ＋ｔ、時間：２０秒。

ブラスト放出ノズル径：２０１ｍ。

その後このＳＫ４材を、Ｆｅ−Ｖ粉末の添加された熔融
硼砂浴中に９５０℃で、０．２５．１および２時間浸漬
して、溶融塩浸漬による表面処理法を施し、水冷すると
いう条件でＶＣの被覆、母（オ焼入を行った。形成され
たＶＣ層厚さは時間に応じてそれぞれ約１．５．６およ
び９．５μｍ、母材硬さはＨＲＣ６０となった。また、
切刃の大きさ。

形状を１表面粗さ計２表面の電顕観察、断面の光学顕微
鏡などで調べた。

第１図は、グリットブラスト＃３０を施した場合におけ
る。粗さ計による切刃形状の測定結果の例である。また
、第２図は、ショツトブラスト０゜４龍φを施した場合
の測定結果の一例である。両図より知られるように、グ
リットブラストの方がより高さの揃った切刃が多数形成
されている。また、切刃の数はグリットブラストの場合
２００〜８００個／２５重■長、ショツトブラストの場
合１００〜６００個／２５ｕ長であり、前者がより多数
の切刃を有することが分かる。第３図は、グリットブラ
スト＃３０を施した場合の、また第４図はショツトブラ
スト０．４　Ｉｎφを施した場合の断面の光学顕微鏡写
真（４００倍）である。両図より知られるように、グリ
ットブラストによる場合の方が切刃が鋭利にできている
。また、切刃深さ卯ち、チップポケットも、グリットブ
ラストの場合の方がかなり大きいことが分かる。

上記の本発明にかかる３種類および比較例の２種類の研
磨工具を用いて、ＳＣＭ焼なまし材について切削性能の
感応試験を行った。その結果、ショツトブラスト品では
使用時に大きな力を加えないとすべる傾向が見られ、実
用には適しないと別話された。−・方、グリソトプラス
ト品は切れ味。

耐久性ともに優れたものであった。

〔実施例２〕本例は、市販の鋼製やすりにグリットブラストを施し、
拡散処理法により被覆層を形成するという本発明方法、
及びこのグリットブラストを施すことなく他は同じ処理
を行う比較方法を示す。

市販のＪＩＳＳＫ２製組やすりを、クロムわ）末を添加
した９００°Ｃの溶励硼砂浴に４０分浸漬後取り出して
水冷焼入を施した。これによって約３μｍ厚さのＣｒ、
Ｃ，層が形成さ２′Ｌ７　母材硬さはＩ（ＲＣ６３とな
った。一つのやすりは入手のまま。

一つのやすりは＃８０のアルミナブラストを圧力５ｋｇ
ｆ／ｃｎｌで約３０秒施してあった。これを用いて、Ｈ
ＲＣ約４５の硬さのダイス口５ＫＤ６１について切削性
能の感応試験を行ったところ、前者の比較方法のやすり
は早期にかかりが悪くなったが、後者の本発明法にか力
・るやすりでは数置のテストでも良好なかかりを示した
。

〔実施例３〕直径４１）．長さ２００１重のＪ　ｌ５ＳＫＤｉ　ｌ捧
のほぼ２／３長さにわたってグリ、ノドブラスト腐食ま
たは研磐祇による三種類の切刃形成を施した。グリット
ブラスト法は、＃８０のアルミナブラストを用い、５ｋ
ｇｆ／ｃｉ！の圧力で約１分行った。

腐食は、室温の水１５０ｍ１．硝酸２５０ｍ１．酸性フ
・ノ化アンモニウム１５ｇの混合液に３分浸漬後。

水洗を行うことによって行った。また、研に紙による切
刃形成は、ベルト運動している＃８０のエメリー研磨紙
に棒を押しつけて行った。その際。

切刃を棒長子方向に対して直角、斜め（約４５０）およ
び斜めの交差に作った。

これらの棒に実施例１と同様にして１０２５℃。

３０分保持の溶融塩浸漬法による表面処理を行い。

油冷後１８０℃、１時間の焼もどしを行い、約２゜５μ
ｍ厚さのＶＣ層を作ると同時に冷却中に、母材焼入を同
様に行った。

第５ないし第７図は、得られた研に工具の表面の電子顕
微鏡写真（２００倍）を、第８ないし第１０図はその表
面の粗さ形状を示す。両図より知られるように、グリッ
トブラスト（第５．８図）および腐食（第６．９図）で
作られた切刃は、ＶＣ被覆後も鋭利で、多数の切刃が形
成されている。

これに対して、研磨紙によるもの（第７．１０図）では
、刃先の鋭利さにも乏しく、切刃数も少なく、またチッ
プポケットの量も十分でない。なお、第７図に見られる
斜め方向の線は、前記のごとく研磨紙により作った溝で
ある。

これらの工具を、金型製造工場で鋼および放電加工電極
用銅の加工にて試用した。その結ト果、研磨紙による切
刃形成のものはすべて早期に目詰まりが発生して、かか
りが悪くなり試用不可能となった。一方、グリッドプラ
ストおよび腐食によるものは切れ味がきわめて良好であ
り、目詰まりなく長期の試用に耐えた。また、被加工材
の仕上げ面がきれいであることも認められた。

なお、グリッドプラストおよび腐食によるものでも作っ
た切刃の形状により、その用途が異なり。

例えば＃８０グリッドおよび腐食によるものは仕上げ用
、＃３０．＃２０．＃１０グリソトによるものは、被加
工材によって仕上げ用、粗加工用に適していることが認
められた。

〔実施例４〕実施例３と同様にして５ＫＤＩＩ棒に＃３０のアルミナ
グリッドによるブラストを施し、その後。

ＦｅＮｂ粉を添加した硼砂浴によるＮｔ＋Ｃ被覆を行っ
た。即ち、１０２５°Ｃ１３０分の浸漬後。

油冷、１８０℃、１時間の焼もどしにより約２μｍのＮ
ｂＣ被覆層を形成させた。また、この研磨工具はＨＲＣ
６０の母材硬さを得た。これについて切削性能の感応評
価を行ったところ、実施例３のものと同様に切れ味、目
詰まりにおいても良好であった。

〔実施例５〕直径７Ｎ曽、長さ２００龍のＪＴＳＳＫＨ５１丸捧に、
実施例３と同様にして＃３０のアルミナグリッドによる
ブラストを施した。これに市販のシアンを含む塩浴剤を
用いて窒化を５７０°ｃ、　　３時間の条件で施した後
、一部の丸棒はＦｅ−Ｖ粉の添加された１０２５“Ｃの
硼砂、一部の丸棒はＣｒ扮の添加された１０２５°Ｃの
硼砂浴中に、２時間浸漬し、その後取り出して空冷によ
り母材を焼入強化させた。これによって５前者ではＶ　
（Ｃ。

Ｎ）の、後者ではｃ　ｒ　７（ｃ　、　　：’Ｄ３より
なる厚さ約６μｍの炭窒化物層を形成した。

これらも同様に、感応試験を行った結果、十分なかかり
と耐久性を有する優れた研磨工具であった。

〔実施例６〕実施例３に用いた。グリットブラスト処理済の５ＫＤ１
）棒について、流動剤としてアルミナおよびＦｅ−Ｔｉ
粉、また活性剤としてＮＨ４Ｃｊ２１、５　ｗ　ｔ％、
流動ガスとしてアルゴンを用いた１０００℃流動層炉中
に２時間保持して、流動層炉法による表面処理法を施し
、その後取り出して空冷焼入を行った。これにより約５
μｍのＴｉＣ層が形成され、母材硬さはＨＲＣ６０とな
った。

これも感応試験によって十分実用可能な研に工具である
ことが確かめられた。

〔実施例７〕実施例３と同様にして５ＫＤＩＩ捧に＃３０のアルミナ
グリッドによるブラストを施し、これに化学蒸着法（Ｃ
ＶＤ法）によって約５μｍ厚のＴｉＣ被覆を施した。Ｃ
ＶＤ法は、四塩化チタン（Ｔ　ｉ　Ｃｌ　＜）中を通過
させてこれを含ませた水素（Ｈ２）とメタン（ＣＨ４）
の混合ガスを導入した反応炉の中で、１０２０℃で２時
間加熱することによって行った。反応炉の温度が下がっ
てから、これより取り出した５ＫＤＩＩ棒を真空焼入炉
中に入れ、１０２０℃、１時間さらに焼もどしを加えて
ＨＲＣ６２の母材硬さを得た。

これも、感応試験により、同様に十分なかかりと耐久性
を有することが認められた。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は実施例１で得られた研磨工具の表
面粗さを示す図、第３図及び第４図はその研磨工具の断
面の顕微鏡写真（４００倍）、第５図ないし第７図は実
施例３で得られた研磨工具の表面の金属組織を示す顕微
鏡写真（２００倍）。第８図ないし第１０図は、その研磨工具の表面粗さを示
す図、第１）図は、やすりの切刃部の形状の説明図であ
る。１・・・切刃、　　　　　　２・・・刃先。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）鋼部材の表面にグリットブラストあるいは腐食に
より、鋭利な先端部を有する凹凸模様を設けた後、該鋼
部材の表面に拡散処理法、化学蒸着法等によって炭化物
、窒化物あるいは炭窒化物からなる被覆層を形成するこ
とを特徴とする研磨工具の製造法。
（２）グリットブラストは、アルミナ、ジルコニヤ、炭
化ケイ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素、ダイヤモンドの粒
子を用いて行うことを特徴とする特許請求の範囲第（１
）項に記載の研磨工具の製造法。
（３）グリットブラストに用いるグリッドの粒径は、８
〜２２０番であることを特徴とする特許請求の範囲第（
１）項に記載の研磨工具の製造法。
（４）腐食は硝酸、塩酸、硫酸、酢酸、塩化第二鉄の１
種叉は２種以上の水溶液中に鋼部材を浸漬することによ
り行うことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記
載の研磨工具の製造法。
（５）表面層は、１〜１０μｍの厚みに形成することを
特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載の研磨工具
の製造法。