JPS6364759A - インクジエツト用ノズルアレ−の製造方法 - Google Patents
インクジエツト用ノズルアレ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS6364759A JPS6364759A JP21104586A JP21104586A JPS6364759A JP S6364759 A JPS6364759 A JP S6364759A JP 21104586 A JP21104586 A JP 21104586A JP 21104586 A JP21104586 A JP 21104586A JP S6364759 A JPS6364759 A JP S6364759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- substrate
- nozzle array
- block
- glass fibers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 241000287828 Gallus gallus Species 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/145—Arrangement thereof
- B41J2/155—Arrangement thereof for line printing
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
■嵐光互
本発明は、インクジェット用ノズルアレーの製造方法、
より詳細には、２列配列のインクジェット用ノズルアレ
ーの製造方法に関する。
より詳細には、２列配列のインクジェット用ノズルアレ
ーの製造方法に関する。
従来技術
複数本のグラスファイバーを平行に配列し、それをブロ
ックに固めた後、前記グラスファイバーの軸方向に対し
て直角の方向に裁断し、次いで、前記グラスファイバー
を腐食させてマルチノズルのインクジェットノズルアレ
ーを製作することは、例えば、特開昭５８−１５５９６
２号公報に開示されているように公知である。而して、
上記従来技術によって製作されるノズルアレーは多数個
のノズルが一列に配列されている所謂−列配列のノズル
アレーであるが、２色インクジニット或いは高密度イン
クジェット等においては２列配列のノズルアレーを必要
とする。そのため、上記従来技術によって製作されたノ
ズルアレーを使用する時は、第４図に示すように、ノズ
ル１０ａの列を有するノズルアレー１０と、ノズルｌｌ
ａの列を有するノズルアレー１１の２枚のガラスノズル
アレーとを張り合せて使用しなければならず、２枚のノ
ズルアレーを張り合せる時の位置精度が出しにくいとい
った欠点があった。
ックに固めた後、前記グラスファイバーの軸方向に対し
て直角の方向に裁断し、次いで、前記グラスファイバー
を腐食させてマルチノズルのインクジェットノズルアレ
ーを製作することは、例えば、特開昭５８−１５５９６
２号公報に開示されているように公知である。而して、
上記従来技術によって製作されるノズルアレーは多数個
のノズルが一列に配列されている所謂−列配列のノズル
アレーであるが、２色インクジニット或いは高密度イン
クジェット等においては２列配列のノズルアレーを必要
とする。そのため、上記従来技術によって製作されたノ
ズルアレーを使用する時は、第４図に示すように、ノズ
ル１０ａの列を有するノズルアレー１０と、ノズルｌｌ
ａの列を有するノズルアレー１１の２枚のガラスノズル
アレーとを張り合せて使用しなければならず、２枚のノ
ズルアレーを張り合せる時の位置精度が出しにくいとい
った欠点があった。
目 的
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、２列配列のガラスノズルアレーを精度よく製作す
ることを目的としてなされたものである。
特に、２列配列のガラスノズルアレーを精度よく製作す
ることを目的としてなされたものである。
構 成
本発明は、上記目的を達成するために、インクジェット
プリンターに使用するガラスノズルアレーを製造する方
法において、複数本の平行な溝列を基板の表裏に平行に
２層形成し、該複数本の溝列に中空のグラスファイバー
を配置し、ソノ状態で前記基板の上下に各々別の基板を
配置し、前記中央にはさまれた基板と上下の基板とを樹
脂もしくはろう付けガラスのごとき密閉材料によって接
合し、また、前記溝とガラスファイバーの間隙も該密閉
材料で密閉することによってブロックを形成し、該ブロ
ックを前記グラスファイバーの長手方向軸心に対してほ
ぼ直角方向に裁断して形成することを特徴としたもので
、以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
プリンターに使用するガラスノズルアレーを製造する方
法において、複数本の平行な溝列を基板の表裏に平行に
２層形成し、該複数本の溝列に中空のグラスファイバー
を配置し、ソノ状態で前記基板の上下に各々別の基板を
配置し、前記中央にはさまれた基板と上下の基板とを樹
脂もしくはろう付けガラスのごとき密閉材料によって接
合し、また、前記溝とガラスファイバーの間隙も該密閉
材料で密閉することによってブロックを形成し、該ブロ
ックを前記グラスファイバーの長手方向軸心に対してほ
ぼ直角方向に裁断して形成することを特徴としたもので
、以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
第１図は１本発明による２列配列のガラスノズルアレー
を製作するための一実施例を説明するための図で、以下
に説明するように、第１図の（ａ）〜（ｄ）の順序に従
って製作する。
を製作するための一実施例を説明するための図で、以下
に説明するように、第１図の（ａ）〜（ｄ）の順序に従
って製作する。
（ａ）
セラミックあるいはガラス等の厚さの均一な基板１を用
意する。ここで、均一厚さが要求されるのは、後に形成
される上下アレーの位置精度を正確に畠すためである。
意する。ここで、均一厚さが要求されるのは、後に形成
される上下アレーの位置精度を正確に畠すためである。
基板１の材質としては、インクに腐食されにくいものが
用いられる０例をあげると、アルミナ、コーニング社の
フォトセラム等である。
用いられる０例をあげると、アルミナ、コーニング社の
フォトセラム等である。
一口つ−
基板１の上下に溝２ａ、２ｂを形成する。形成方法とし
ては、たとえば、半導体チップを切り出す時に使われる
ダイシングソーによる方法が便利である。近年、この分
野の技術革新は目ざましく、溝のピッチ精度もＮＣ制御
により、１μ票程度の精度が可能である。
ては、たとえば、半導体チップを切り出す時に使われる
ダイシングソーによる方法が便利である。近年、この分
野の技術革新は目ざましく、溝のピッチ精度もＮＣ制御
により、１μ票程度の精度が可能である。
（ｃ）
溝２ａ、２ｂに中空又は中実のグラスファイバー３ａ、
３ｂを配置し、さらに、上下基板４ａ。
３ｂを配置し、さらに、上下基板４ａ。
４ｂでフタをする。上下基板４ａ、４ｂと、中心の溝を
形成した基板１は、接着剤あるいはろう付けガラスのよ
うなもので接合され、また、溝２ａ。
形成した基板１は、接着剤あるいはろう付けガラスのよ
うなもので接合され、また、溝２ａ。
２ｂとグラスファイバー３ａ、３ｂとの間隙にも接着剤
あるいはろう付けガラス等が充填され、これらの間に空
隙ができないようにされてブロックに形成される。
あるいはろう付けガラス等が充填され、これらの間に空
隙ができないようにされてブロックに形成される。
（ｄ）
上述のごとくして形成されたブロックは、グラスファイ
バー３ａ、３ｂの軸方向に対して直角の方向に所望の厚
さに裁断され、ガラスノズルアレー５が完成する。なお
、中実のグラスファイバーを使用した場合は、前記（ｄ
）の工程のあとに、中実の心部を腐食させ、ノズルを形
成することになる。腐食液としては、塩酸のごとき適当
な酸の水溶液が用いられる。中実のグラスファイバーを
使用する場合は、心部を腐食させる工程がふえるが（ｄ
）の工程で裁断する場合に、グラスファイバーの端面に
欠けが生じたりするのを防止したり、又、一般に裁断後
に研磨工程を経て、最終の板厚にされるが、その研磨時
に中空のグラスファイバーを使用した場合、ノズル端面
が欠けたりあるいは面だれが生じたりするが、このよう
な欠けや面だれを防止できる利点がある。
バー３ａ、３ｂの軸方向に対して直角の方向に所望の厚
さに裁断され、ガラスノズルアレー５が完成する。なお
、中実のグラスファイバーを使用した場合は、前記（ｄ
）の工程のあとに、中実の心部を腐食させ、ノズルを形
成することになる。腐食液としては、塩酸のごとき適当
な酸の水溶液が用いられる。中実のグラスファイバーを
使用する場合は、心部を腐食させる工程がふえるが（ｄ
）の工程で裁断する場合に、グラスファイバーの端面に
欠けが生じたりするのを防止したり、又、一般に裁断後
に研磨工程を経て、最終の板厚にされるが、その研磨時
に中空のグラスファイバーを使用した場合、ノズル端面
が欠けたりあるいは面だれが生じたりするが、このよう
な欠けや面だれを防止できる利点がある。
第２図は、上記本発明によって製作した２色インクジェ
ットノズルアレーの一列を示す図である。
ットノズルアレーの一列を示す図である。
而して、この２色インクジェットノズルアレーは、各列
に独立してノズル列へインクを導入するような構造のド
ロップジェネレータに使用されるものであるが、本発明
によるとノズルアレーとしては１枚のプレートで、かつ
、第２図に示すように、上下２列のアレーの位置関係が
そろったものを使用することができる。
に独立してノズル列へインクを導入するような構造のド
ロップジェネレータに使用されるものであるが、本発明
によるとノズルアレーとしては１枚のプレートで、かつ
、第２図に示すように、上下２列のアレーの位置関係が
そろったものを使用することができる。
第３図は、上記本発明によって製作した高密度配列のイ
ンクジェットノズルアレーの一例を示す図である。而し
て、ガラスノズルアレーそのものは、高密度なものを製
作することは可能であるが、゛荷電電極からの制限によ
り、隣り合うインクジェット流面に、ある程度の間隔を
あける必要がある（現状では、少なくとも０．４＋ａｍ
以上）、そのため、高密度配列のインクジェットの場合
には、第３図に示したように千鳥配列のものが使用され
る。この場合、荷電電極は、図示しないが、上列用と下
列用の２つが独立して用いられる。
ンクジェットノズルアレーの一例を示す図である。而し
て、ガラスノズルアレーそのものは、高密度なものを製
作することは可能であるが、゛荷電電極からの制限によ
り、隣り合うインクジェット流面に、ある程度の間隔を
あける必要がある（現状では、少なくとも０．４＋ａｍ
以上）、そのため、高密度配列のインクジェットの場合
には、第３図に示したように千鳥配列のものが使用され
る。この場合、荷電電極は、図示しないが、上列用と下
列用の２つが独立して用いられる。
効 果
以上の説明から明らかなように、従来技術のように、１
列配列のノズルアレーを２枚はることによって２列配列
のノズルアレーを製作する方法は、２列の位置精度を出
すことが困難であるが、本発明によると、ＮＧ制御され
たダイニングソーを用いることが可能であり、高精度配
列を可能にする。
列配列のノズルアレーを２枚はることによって２列配列
のノズルアレーを製作する方法は、２列の位置精度を出
すことが困難であるが、本発明によると、ＮＧ制御され
たダイニングソーを用いることが可能であり、高精度配
列を可能にする。
又、第２図及び第３図に示したように、上下列の位置関
係もダイニングソーのボタン操作だけで容易に可変であ
る。
係もダイニングソーのボタン操作だけで容易に可変であ
る。
第１図は、本発明によるノズルアレー製作方法の一例を
説明するための図、第２図及び第３図は、本発明によっ
て製作されたノズルアレーの例を示す図、第４図は、従
来の２列配列ノズルアレーの一例を示す図である。 １・・・ノズル基板、２ａ、２ｂ・・・溝、３ａ、３ｂ
・・・グラスファイバー、４ａ・・・上基板、４ｂ・・
・下基板。 ５・・・ガラスノズルアレー。 第 ｌ 図 萬 ２ｒＭ ａ ｂ 第 ３ 図 ａ ｂ 鶏 ４ 図
説明するための図、第２図及び第３図は、本発明によっ
て製作されたノズルアレーの例を示す図、第４図は、従
来の２列配列ノズルアレーの一例を示す図である。 １・・・ノズル基板、２ａ、２ｂ・・・溝、３ａ、３ｂ
・・・グラスファイバー、４ａ・・・上基板、４ｂ・・
・下基板。 ５・・・ガラスノズルアレー。 第 ｌ 図 萬 ２ｒＭ ａ ｂ 第 ３ 図 ａ ｂ 鶏 ４ 図
Claims (2)
- （１）インクジェットプリンターに使用するガラスノズ
ルアレーを製造する方法において、複数本の平行な溝列
を基板の表裏に平行に２層形成し、該複数本の溝列に中
空のグラスファイバーを配置し、その状態で前記基板の
上下に各々別の基板を配置し、前記中央にはさまれた基
板と上下の基板とを樹脂もしくはろう付けガラスのごと
き密閉材料によって接合し、また、前記溝とガラスファ
イバーの間隙も該密閉材料で密閉することによってブロ
ックを形成し、該ブロックを前記グラスファイバーの長
手方向軸心に対してほぼ直角方向に裁断して形成するこ
とを特徴とするインクジェット用ノズルアレーの製造方
法。 - （２）前記溝列に配置されるグラスファイバーが中実の
複合グラスファイバーであって、前記ブロックから裁断
された後、前記中実のガラスファイバーの心部を腐食さ
せてオリフィスを形成することを特徴とする特許請求の
範囲第（１）項に記載のインクジェット用ノズルアレー
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21104586A JPS6364759A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | インクジエツト用ノズルアレ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21104586A JPS6364759A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | インクジエツト用ノズルアレ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364759A true JPS6364759A (ja) | 1988-03-23 |
Family
ID=16599464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21104586A Pending JPS6364759A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | インクジエツト用ノズルアレ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364759A (ja) |
-
1986
- 1986-09-08 JP JP21104586A patent/JPS6364759A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0376514B1 (en) | Method of fabricating large array semiconductor devices | |
| JP2961624B2 (ja) | ドロップオンディマンド型印刷装置及びその装置の製造方法 | |
| US5160403A (en) | Precision diced aligning surfaces for devices such as ink jet printheads | |
| US5057854A (en) | Modular partial bars and full width array printheads fabricated from modular partial bars | |
| US5218754A (en) | Method of manufacturing page wide thermal ink-jet heads | |
| US4985710A (en) | Buttable subunits for pagewidth "Roofshooter" printheads | |
| EP0322228B1 (en) | Large array thermal ink jet printhead | |
| US5620614A (en) | Printhead array and method of producing a printhead die assembly that minimizes end channel damage | |
| CA1267563A (en) | Impulse ink jet print head and method of making same | |
| US5000811A (en) | Precision buttable subunits via dicing | |
| JPH0717064B2 (ja) | インキジェットプリントヘッド及びその製造方法 | |
| JPH01166965A (ja) | インク・ジェット印字ヘッド製造方法 | |
| JP2001260366A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| US4534814A (en) | Large-scale printhead for non-impact printer and method of manufacture | |
| US7829446B2 (en) | Method for dividing wafer, method for manufacturing silicon devices, and method for manufacturing liquid ejecting heads | |
| JP2952934B2 (ja) | 液体噴射ヘッドとその製造方法、及び液体噴射記録装置 | |
| US4122460A (en) | Ink jet nozzle structures | |
| JPS6364759A (ja) | インクジエツト用ノズルアレ−の製造方法 | |
| US4786303A (en) | Method of fabricating a glass nozzle array for an inkjet printer | |
| JPH06198876A (ja) | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0691872A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| EP0847860B1 (en) | A method for manufacturing an ink jet recording head and an ink jet recording head | |
| JP2638780B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH05177838A (ja) | モジュール式マルチジェット偏向ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS63303754A (ja) | インクジェットヘッド基板 |