JPS6364579A - Piezoelectric actuator - Google Patents
Piezoelectric actuatorInfo
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- JPS6364579A JPS6364579A JP61203847A JP20384786A JPS6364579A JP S6364579 A JPS6364579 A JP S6364579A JP 61203847 A JP61203847 A JP 61203847A JP 20384786 A JP20384786 A JP 20384786A JP S6364579 A JPS6364579 A JP S6364579A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、外部機構に結合されてこれを駆動する圧電ア
クチュエータに係り、特に微細変位発生機構に好適な圧
電アクチュエータに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a piezoelectric actuator that is coupled to and drives an external mechanism, and particularly relates to a piezoelectric actuator that is suitable for a minute displacement generating mechanism.
圧電アクチュエータは微小変位用アクチュエータとして
種々の分野に用いられている。特にμｍオーダの調節を
必要とする半導体集積回路製造装置や電子顕微鏡等の微
細位置決め機構のアクチュエータには、大部分圧電アク
チュエータが使用されている。以下、このような圧電ア
クチュエータの使用例を図により説明する。Piezoelectric actuators are used in various fields as minute displacement actuators. In particular, piezoelectric actuators are mostly used in actuators for fine positioning mechanisms such as semiconductor integrated circuit manufacturing equipment and electron microscopes that require adjustment on the μm order. Hereinafter, an example of the use of such a piezoelectric actuator will be explained with reference to the drawings.
第３図（ａ）、 （ｂ）は微細位置決め装置の側面図で
ある。各図で、１０，１１．１２はそれぞれ図で左。FIGS. 3(a) and 3(b) are side views of the fine positioning device. In each figure, 10, 11, and 12 are on the left in each figure.
右、中央に存在する剛体部である。１６３．１６ａ′は
それぞれ剛体部１０．１２の間にこれらと一体に形成さ
れ、かつ、互いに平行である平板状の平行たわみ梁であ
り、又、１６ｂ、１６ｂ’ はそれぞれ剛体部１１．１
２の間にこれらと一体に形成され、かつ、互いに平行で
ある平板状の平行たわみ梁である。１７ａ、１７ｂはそ
れぞれ平行たわみ梁１６ａ、１６ａ’ および平行たわ
み梁１６ｂ、１６ｂ’ と各剛体部とを一体成形する
ために生じた貫通孔を示す。１８ａは剛体部１０から貫
通孔１７ａに突出する突出部、１８ｃ１は剛体部１２か
ら貫通孔１７ａに突出する突出部であり、これら突出部
１８ａ、１８Ｃ１は互いに図の縦方向において、間隔を
有して重なっている。同じ（，１８ｂは陣１体部１１か
ら貫通孔１７ｂに突出する突出部、１８ｃ２は剛体部１
２から貫通孔１７ｂに突出する突出部であり、これら突
出部１８ｂ、１８Ｃ＋は、突出部１８ａ、１８Ｃ１と同
様の関係にある。１９ａは突出部１８ａと突出部１８Ｃ
８との間に固定された圧電素子を積層した圧電アクチュ
エータ、１９ｂは突出部１８ｂと突出部１８ｃ２との間
に固定された圧電アクチュエータ１９ａと同じ圧電アク
チュエータである。This is the rigid body part located in the center on the right. 163.16a' are plate-shaped parallel flexible beams which are formed between and integrally with the rigid body parts 10.12 and parallel to each other, and 16b and 16b' are respectively formed between the rigid body parts 11.1.
It is a flat plate-shaped parallel flexible beam that is formed integrally with these two and parallel to each other. Reference numerals 17a and 17b indicate through holes formed for integrally molding the parallel flexible beams 16a and 16a' and the parallel flexible beams 16b and 16b' with each rigid body part, respectively. 18a is a protrusion that protrudes from the rigid body part 10 to the through hole 17a, and 18c1 is a protrusion that protrudes from the rigid body part 12 to the through hole 17a. They overlap. Same (, 18b is a protrusion that protrudes from the base 1 body part 11 to the through hole 17b, 18c2 is the rigid body part 1
These protrusions 18b and 18C+ have the same relationship as the protrusions 18a and 18C1. 19a is a protrusion 18a and a protrusion 18C.
The piezoelectric actuator 19b is the same piezoelectric actuator as the piezoelectric actuator 19a fixed between the protrusion 18b and the protrusion 18c2.
圧電アクチュエータ１９ａは平行たわみｍ １６ ａ
。The piezoelectric actuator 19a has a parallel deflection m 16 a
.
１６ａ′の面に垂直な方向の力を発生し、それらに曲げ
変形を生ぜしめ、又、圧電アクチュエータ１９ｂは平行
たわみ梁１６ｂ、１６ｂ′の面に垂直な方向の力を発生
し、それらに曲げ変形を生せしめる。これら圧電アクチ
ュエータ１９ａ、１９ｂに発生する力の大きさは、図示
しない装置により、当＝亥圧電アクチュエータ１９ａ、
１９ｂ４こ印加される電圧によって制御される。２０は
ぼす体部１０．１１を互いに剛に連結する他のまり体構
造である。The piezoelectric actuator 19b generates a force perpendicular to the plane of the parallel flexible beams 16b, 16b', causing a bending deformation in them. Causes deformation. The magnitude of the force generated in these piezoelectric actuators 19a, 19b is determined by a device (not shown).
19b4 is controlled by the applied voltage. Reference numeral 20 designates another barrel structure that rigidly connects the barrel bodies 10.11 to each other.
このような微細位置決め装置において、圧電アクチュエ
ータ１９ａ、１９ｂに任意の値の電圧を印加すると、圧
電アクチュエータ１９ａ、１９ｂは第３図（ｂ）に示す
矢印方向に当該電圧に応じて伸び、これにより力ｆを発
生する。この結果、Ｋす体部１２は平行たわみ梁１６ａ
、１６ａ’ 、１６ｂ。In such a fine positioning device, when a voltage of an arbitrary value is applied to the piezoelectric actuators 19a, 19b, the piezoelectric actuators 19a, 19b extend in the direction of the arrow shown in FIG. 3(b) in accordance with the voltage, thereby increasing the force. generate f. As a result, the K body part 12 is parallel to the flexible beam 16a.
, 16a', 16b.
１６ｂ″をたわませて押上げられ、第３図（ａ＋に示す
状態から値εだけ変位する。したがって、剛体部１２に
加工対象物体を１ＥＮＨしておけば、圧電アクチュエー
タ１９ａ、１９ｂに任意の電圧を印加することによりこ
れを任意に微細位置決めすることができる。16b" is bent and pushed up, and is displaced by a value ε from the state shown in FIG. By applying a voltage, this can be finely positioned as desired.
上記微細位置決め装置に限らず、他の種々の装置に圧電
アクチュエータを通用する場合、これら装置の所定位置
に圧電アクチュエータを取付けて固定する必要がある。When a piezoelectric actuator is used not only in the above-mentioned fine positioning device but also in various other devices, it is necessary to attach and fix the piezoelectric actuator to a predetermined position of these devices.
ところが、圧電素子はセラミック材料で作られるので、
これを外部機構に取付けるためのねし穴等の加工が困難
である。このため、圧電アクチュエータには取付けのた
めの補助部材が用いられていた。これも第４図により説
明する。However, since piezoelectric elements are made of ceramic materials,
It is difficult to machine a tapped hole or the like to attach this to an external mechanism. For this reason, an auxiliary member for attachment has been used in the piezoelectric actuator. This will also be explained with reference to FIG.
第４図は従来の圧電アクチュエータの断面図である。図
で、２１は積層形の圧電素子、２２は圧電素子２１をそ
の底部で固定する側面が開口されたケーシングである。FIG. 4 is a sectional view of a conventional piezoelectric actuator. In the figure, 21 is a laminated piezoelectric element, and 22 is a casing with an open side surface that fixes the piezoelectric element 21 at its bottom.
ケーシング２２は外部構造との連結を行うねじ穴２２ａ
、およびリード線を挿通する貫通穴２２ｂを有する。２
３は外部構造に圧電素子２１を取付ける取付部材であり
、取付用のねし穴２３ａを有する。２４は圧電素子２１
を取付部材２３に固定する接着剤層である。なお、ｘ、
ｙは座標軸を示す。The casing 22 has a screw hole 22a for connection with an external structure.
, and a through hole 22b through which a lead wire is inserted. 2
Reference numeral 3 denotes a mounting member for mounting the piezoelectric element 21 to an external structure, and has a mounting hole 23a. 24 is a piezoelectric element 21
This is an adhesive layer that fixes the mounting member 23 to the mounting member 23. In addition, x,
y indicates the coordinate axis.
ケーシング２２をそのねじ穴２２ａを用いて外部機構（
例えば前述の微細位置決め装置の突出部１８ａ）に固定
し、又、取付部材２３をそのねし穴２３ａを用いて外部
機構（同じく突出部１８Ｃ，）に固定することにより圧
電アクチュエータが対象装置に装着される。リード線を
介して圧電素子２１に電圧を印加すると、圧電素子はＸ
線方向に伸長し又は縮み、取付けられた外部機構に変位
を発生せしめる。The casing 22 is attached to the external mechanism (
For example, the piezoelectric actuator is attached to the target device by fixing it to the protrusion 18a) of the above-mentioned fine positioning device, and by fixing the mounting member 23 to an external mechanism (also the protrusion 18C,) using its threaded hole 23a. be done. When a voltage is applied to the piezoelectric element 21 through the lead wire, the piezoelectric element
It expands or contracts in the linear direction, causing displacement in the attached external mechanism.
ところで、積層形の圧電素子２１の引張強度は、通常、
はぼ１ｋｇ／ａｍ” と小さい。したがって、圧電素子
２１を外部機構に取付けるべくねじ穴２３ａにねじを螺
入してねし止めする場合、その締付はトルクにより取付
部材２３と圧電素子２１との接合面に過大な力が作用し
、圧電素子２１又は接着剤層２４が破損するおそれがあ
る。この問題を避けるには、締付はトルクを小さくせざ
るを得す、そうすると安定なねじ結合を行うことができ
ず、ひいては精度の高い変位を発生させることができな
くなる。By the way, the tensile strength of the laminated piezoelectric element 21 is usually
Therefore, when screwing a screw into the screw hole 23a to attach the piezoelectric element 21 to an external mechanism, the tightening is done by tightening the torque between the mounting member 23 and the piezoelectric element 21. There is a risk that excessive force will be applied to the joint surface of the piezoelectric element 21 or the adhesive layer 24, causing damage to the piezoelectric element 21 or the adhesive layer 24.To avoid this problem, the tightening torque must be reduced, so that a stable screw connection can be achieved. Therefore, it becomes impossible to generate highly accurate displacement.
一方、圧電素子２１の抗折力強度は、ｊｍ常、はぼ４
ｋｇ ／ ＊＊ ２程度で非常に小さい。したがって、
取付けられている外部機構にＹ！１］方向の力が作用す
ると、取付部材２３と圧電素子２１又は接着剤層２４と
の界面に剪断力が作用して、圧電素子２１又は接着剤層
２４が破損するおそれがあった。On the other hand, the transverse rupture strength of the piezoelectric element 21 is jm, approximately 4
It is very small at around 2 kg/**2. therefore,
Y to the attached external mechanism! 1], a shearing force acts on the interface between the mounting member 23 and the piezoelectric element 21 or the adhesive layer 24, and there is a risk that the piezoelectric element 21 or the adhesive layer 24 will be damaged.
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、安定
した取付を行うことができ、かつ、外力に対する強度を
大きくすることができる圧電アクチュエータを提供する
にある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a piezoelectric actuator that solves the problems of the prior art described above, can be stably mounted, and has increased strength against external forces.
上記の目的を達成するため、本発明は、圧電素子の一端
を固定状態とし、その他端に、圧電素子の主変位方向に
対してのみ低い剛性を有する弾性機構を設けたことを特
徴とする。In order to achieve the above object, the present invention is characterized in that one end of the piezoelectric element is fixed, and the other end is provided with an elastic mechanism having low rigidity only in the main displacement direction of the piezoelectric element.
圧電素子に電圧が印加されると、その伸縮の変位は、こ
の変位の方向のｇｌ性が低い弾性機構のたわみ変形を介
して外部機構に伝達される。一方、外部から締付トルク
や剪断力が作用すると、これらは、その方向の剛性が高
い弾性機構によって受けられ、圧電素子には伝達されな
い。When a voltage is applied to the piezoelectric element, its expansion/contraction displacement is transmitted to the external mechanism via the deflection deformation of the elastic mechanism, which has low gl in the direction of this displacement. On the other hand, when tightening torque or shearing force is applied from the outside, these forces are received by the elastic mechanism with high rigidity in that direction and are not transmitted to the piezoelectric element.
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。 Hereinafter, the present invention will be explained based on illustrated embodiments.
第１図は本発明の実施例に係る圧電アクチュエータの断
面図である。図で、第４図に示す部分と同一部分には同
一符号を付して説明を省略する。FIG. 1 is a sectional view of a piezoelectric actuator according to an embodiment of the present invention. In the figure, parts that are the same as those shown in FIG. 4 are given the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
２５はケーシング２２の上端と取付部材２３とを連結す
る弾性部材である。この弾性部材２５はＸ軸方向に厚み
が薄い平板形状の金属材料が用いられる。したがって、
Ｘｉ：ｈ方向の力に対しては剛性が低くて容易にたわむ
が、その他の方向の力やモーメントに対しては高いｔａ
ｌｌ性を示し、変形困難である。25 is an elastic member that connects the upper end of the casing 22 and the mounting member 23. This elastic member 25 is made of a flat metal material that is thin in the X-axis direction. therefore,
Xi: It has low rigidity and easily bends against forces in the h direction, but has high ta against forces and moments in other directions.
ll property and is difficult to deform.
次に、本実施例の動作を説明する。今、圧電素子２１に
電圧が印加されると、圧電素子２１はＸ軸方向に伸びる
（又は縮む）。この伸び（又は縮み）により弾性部材２
５は容易にたわみ、取付部材２３を押上げ（引下げ）る
。即ち、圧電素子２１の変位は弾性部材２５のたわみ変
形を介して外部機構に伝達される。この場合、圧電素子
２１が発生する力は大きく、又、弾性部材２５のＸ軸方
向の剛性は充分に小さいので、伝達される変位量は程ん
ど低下せず、圧電素子２１の変位量がほぼそのまま伝達
される。Next, the operation of this embodiment will be explained. Now, when a voltage is applied to the piezoelectric element 21, the piezoelectric element 21 expands (or contracts) in the X-axis direction. Due to this elongation (or contraction), the elastic member 2
5 easily bends and pushes up (down) the mounting member 23. That is, the displacement of the piezoelectric element 21 is transmitted to the external mechanism via the deflection deformation of the elastic member 25. In this case, the force generated by the piezoelectric element 21 is large, and the rigidity of the elastic member 25 in the X-axis direction is sufficiently small, so the amount of displacement transmitted does not decrease appreciably, and the amount of displacement of the piezoelectric element 21 It is transmitted almost as is.
一方、圧電アクチュエータを外部機構に取付けるべく、
ねじ穴２３ａを用いてねし止めする場合、その締付トル
クは弾性部材２５に作用する。しかし、弾性部材２５は
この締付トルクに対して高い剛性を有し、したがって、
締付トルクが圧電素子２１に作用することはない。この
ため、圧電素子２１が破損することもなく、締付トルク
を充分大きくして安定したねじ止めを行うことができる
。On the other hand, in order to attach the piezoelectric actuator to an external mechanism,
When screwing is performed using the screw hole 23a, the tightening torque acts on the elastic member 25. However, the elastic member 25 has high rigidity against this tightening torque, and therefore,
No tightening torque acts on the piezoelectric element 21. Therefore, the piezoelectric element 21 is not damaged, and the tightening torque can be sufficiently increased to perform stable screw fastening.
さらに、外部機構にＹ軸方向の力が作用した場合も、こ
の力に対して弾性部材２５は高い剛性を有するので、圧
電素子２１が剪断力により破損されることはない。Further, even if a force in the Y-axis direction is applied to the external mechanism, the piezoelectric element 21 will not be damaged by the shearing force because the elastic member 25 has high rigidity against this force.
このように、本実施例では、ケーシング上端と取付部材
との間に、圧電素子の伸縮方向と同一方向にのみ剛性が
低い弾性部材を設けたので、ねじ止めの際の締付トルク
や外部機構から作用する剪断力によって圧電素子が破損
されることはない。In this way, in this example, an elastic member with low rigidity is provided between the upper end of the casing and the mounting member only in the same direction as the expansion and contraction direction of the piezoelectric element, so that the tightening torque when screwing and the external mechanism The piezoelectric element will not be damaged by the shearing force that acts on it.
又、締付トルクにより圧電素子が破損されないので、締
付トルクを大きくとして圧電アクチュエータを安定して
取付けることができる。Furthermore, since the piezoelectric element is not damaged by the tightening torque, the piezoelectric actuator can be stably mounted by increasing the tightening torque.
第２図は本発明の他の実施例に係る圧電アクチュエータ
の断面図である。図で、第４図に示す部分と同一部分に
は同一符号を付して説明を省略する。２６ａはケーシン
グ２２の上端と取付部材２３との間に設けられた平行た
わみ梁構造である。FIG. 2 is a sectional view of a piezoelectric actuator according to another embodiment of the present invention. In the figure, parts that are the same as those shown in FIG. 4 are given the same reference numerals, and description thereof will be omitted. 26a is a parallel flexible beam structure provided between the upper end of the casing 22 and the mounting member 23.
平行たわみ柔構造２６ａは、ケーシング２２の上端に連
結された剛体部２７ａ、および剛体部２７ａと取付部材
２３とを結合する互いに平行な平板状のたわみ梁２８ａ
、２８ａ′で構成されている。The parallel flexible structure 26a includes a rigid part 27a connected to the upper end of the casing 22, and a flat flexible beam 28a parallel to each other that connects the rigid part 27a and the mounting member 23.
, 28a'.
平行たわみ￥構造２６ｂも平行たわみ柔構造２６ａと同
様の構造であり、剛体部２７ｂ、および平行なたわみａ
２８ ｂ、２８ｂ′で構成されている。The parallel deflection structure 26b has the same structure as the parallel deflection flexible structure 26a, and includes a rigid portion 27b and a parallel deflection a.
28b and 28b'.
このような平行だわみ梁構造２６ａ、２６ｂはＸ軸方向
の力に対しては剛性が低く、容易に変位するが、他方向
の力およびモーメントに対しては極めて高い剛性を示し
、はとんど変形しない。したがって、本実、柊例の動作
もさきの実施例の動作と同じである。Such parallel flexible beam structures 26a and 26b have low rigidity against forces in the X-axis direction and are easily displaced, but exhibit extremely high rigidity against forces and moments in other directions, making them extremely difficult to use. It does not deform. Therefore, the operation of the Honjitsu and Hiiragi examples is the same as that of the previous embodiment.
このように、本実施例では、ケーシング上端と取付部材
との間に、圧電素子の伸縮方向と同一方向にのみ剛性が
低い特性を備え、た平行たわみ梁構造を設けたので、さ
きの実施例と同じ効果を奏するとともに、次のような効
果をも奏する。即ち、さきの実施例における弾性部材は
Ｚ軸（紙面に垂直な軸）まわりのモーメントが作用した
場合、その剛性は他と比較してやや低い。これに対して
、本実施例における平行たわみ梁構造はＺ軸まわりのモ
ーメントに対しても大きな剛性を有する。したがって、
外部の力に対してより一層強度を大とすることができる
。In this way, in this example, a parallel flexible beam structure is provided between the upper end of the casing and the mounting member, which has a characteristic of having low rigidity only in the same direction as the expansion and contraction direction of the piezoelectric element. In addition to having the same effect as , it also has the following effects. That is, when a moment about the Z-axis (an axis perpendicular to the plane of the paper) acts on the elastic member in the previous embodiment, its rigidity is slightly lower than that of the others. In contrast, the parallel flexible beam structure in this embodiment has great rigidity even against moments about the Z-axis. therefore,
It is possible to further increase the strength against external forces.
なお、上記各実施例の説明では、ケーシング、取付部材
、および弾性機構（弾性部材、平行だわみ梁構造）を別
体に構成した例について説明したが、これらは放電加工
等により一体形成することができる。又、圧電素子は必
ずしもケーシングおよび取付部材に接着固定する必要は
なく、弾性機構の弾性力により抑えるだけにしてもよい
。In addition, in the explanation of each of the above embodiments, an example was explained in which the casing, the mounting member, and the elastic mechanism (elastic member, parallel deflection beam structure) were constructed separately, but these can be integrally formed by electrical discharge machining or the like. be able to. Further, the piezoelectric element does not necessarily need to be adhesively fixed to the casing and the mounting member, and may be simply held down by the elastic force of the elastic mechanism.
（発明の効果〕
以上述べたように、本発明では、圧電素子の一方端に、
圧電素子の主変位方向と同一方向に対してのみ低い剛性
を有する弾性機構を設けたので、圧電素子を外部殿構に
安定して取付けることができ、かつ、外力に対する強度
を大きくすることができる。(Effect of the invention) As described above, in the present invention, at one end of the piezoelectric element,
Since an elastic mechanism is provided that has low rigidity only in the same direction as the main displacement direction of the piezoelectric element, the piezoelectric element can be stably attached to the external gluteal structure, and the strength against external forces can be increased. .
第１図および第２図はそれぞれ本発明の実施例に係る圧
電アクチュエータの断面図、第３図（ａ）。
（ｂ）は微細位置決め装置の側面図、第４図は従来の圧
電アクチュエータの断面図である。
２１・・・・・・圧電素子、２２・・・・・・ケーシン
グ、２３・・・・・・取付部材、２５・・・・・・弾性
部材、２６ａ、２６ｂ・・・・・・平行たわみ梁構造。
第１図
２２σ
第２図
第３図
（ａ）
／６ａ ／６ｂ
（ｂ）FIG. 1 and FIG. 2 are sectional views of a piezoelectric actuator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3(a) is a cross-sectional view, respectively. (b) is a side view of the fine positioning device, and FIG. 4 is a sectional view of a conventional piezoelectric actuator. 21...Piezoelectric element, 22...Casing, 23...Mounting member, 25...Elastic member, 26a, 26b...Parallel deflection Beam structure. Fig. 1 22σ Fig. 2 Fig. 3 (a) /6a /6b (b)
Claims (3)
子の他端に設けられた当該圧電素子の主変位方向に対し
てのみ低い剛性を有する弾性機構とを備えたことを特徴
とする圧電アクチュエータ。(1) A piezoelectric element having one end fixed in a fixed state, and an elastic mechanism provided at the other end of the piezoelectric element and having low rigidity only in the main displacement direction of the piezoelectric element. piezoelectric actuator.
、前記主変位方向の厚みが薄い平板で構成されているこ
とを特徴とする圧電アクチュエータ。(2) The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the elastic mechanism is constituted by a flat plate having a thin thickness in the main displacement direction.
、前記主変位方向と同一方向の主たわみ方向を有する平
行たわみ梁構造であることを特徴とする圧電アクチュエ
ータ。(3) The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the elastic mechanism is a parallel flexible beam structure having a main deflection direction in the same direction as the main displacement direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203847A JPS6364579A (en) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | Piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203847A JPS6364579A (en) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | Piezoelectric actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364579A true JPS6364579A (en) | 1988-03-23 |
Family
ID=16480678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61203847A Pending JPS6364579A (en) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | Piezoelectric actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364579A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63153564U (en) * | 1987-03-30 | 1988-10-07 | ||
| JPWO2009008135A1 (en) * | 2007-07-12 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | Vibrating actuator and drive device including the same |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP61203847A patent/JPS6364579A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63153564U (en) * | 1987-03-30 | 1988-10-07 | ||
| JPWO2009008135A1 (en) * | 2007-07-12 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | Vibrating actuator and drive device including the same |
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