JPS636446A - 検査光伝送用光伝送体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｒ産業上の利用分野１ 本発明はシート状、フィルム状、板状など、各種面状体
の欠陥を光学的に検出する際に用いられる光伝送体に関
する。

ｒ従来の技術Ｊ 合成樹脂シート（フィルムも含む）、金属板、ガラス板
など、これらの面状体を光学的に検査する手段として、
フライング・スポット法が広く採用されている。

このフライング・スポット法では、レーザ光源から出射
された平行光をレンズ系で絞り、光走査手段を介してそ
の光ビームを被検体（面状体）の表面に照射かつ走査し
、この際の反射光または透過光を受光検出系にて検出す
るとともに、その光信号をく光→電気〉変換して電気的
に処理している。

かかる方法によるとぎ、面状体からの反射光または透過
光は、その面状体の正常部と欠陥部とで異なり、受光検
出系へ入射される光量も異なるので、当該受光検出系に
おいて受光量の変化を検出することにより１面状体の欠
陥の有無、その欠陥部位などが判明する。

一般に、フライング・スポット法の受光手段として、光
フアイバ受光法、ミラー集光法、拡散板受光法、コンデ
ンサ・レンズ集光法などが用いられているが、これらの
受光手段は、システムの合理性、経済性などを確保する
上で改善の余地が残されており、そのため、第３図に示
す新礪な方法が検討されている。

以下、第３図の方法を説明する。

第３図において、光照射系１１は、光源１２と集光レン
ズ１３と光走査手段１４とを備え、その光走査手段１４
は光走査器１５を主体にして構成されている。

透光部材２１は、透明体からなり、その長手方向に沿う
一定幅の周面が入光部２２となっているとともに、その
長手方向の一端が出光部２３となっている。

受光検出系３１は、受光器（光検出器）３２と検出装置
３３とからなり、その受光器３２が前記透光部材２１の
出光部２３に接続されている。

４１は被検体たる面状体であり、これは金属、合成樹脂
等の透明体または不透明体からなり、シート状、フィル
ム状、板状などの形状を有する。

第３図において、面状体４１の上位（下位でもよい）に
配置された光照射系１１は、その光走査手段１４の光走
査器１５を介して面状体４１の表面を幅方向に光走査で
きるようになっており、これと対応して、透光部材２１
はつぎのように配置される。

すなわち、面状体４１が光照射系１１からの走査光ｔ、
ｓを反射させるものであるとき、透光部材２１は、第３
図実線のごとく１反射光ＬＲを受光する領域に配置され
、面状体４１が上記走査光ＬＳを透過させるものである
とき、透光部材２１は、第３図仮想線のごとく、透過光
Ｌｌを受光する領域に配置され、かくて、透光部材２１
の入光部２２は、面状体４１の幅方向に沿うようになり
、その入光部２２から透光部材２１内に上記反射光ＬＲ
または透過光ｔ、ｒが入射され、透光部材２１の散乱光
が受光検出系３１へ入射されるようになる。

第３図において、面状体４１が同図の矢印方向に移動し
ているとき、光照射系１１の光源１２から出射され、集
光レンズ１３により絞られた光ビームは、光走査手段１
４の光走査器１５を介して面状体４１の表面に照射され
、その面状体４１の幅方向に走査される。

この際の面状体４１が不透明体の場合、走査光ＬＳが面
状体４１の表面で反射し、その反射光ＬＲが透光部材２
１の入光部２２よりその内部に入射し、逆に面状体４１
が透明体の場合、走査光ｔ、ｓが面状体４１を透過し、
その透過光ＬＴが透光部材２１の入光部２２よりその内
部に入射する。

上記反射光ＬＲあるいは透過光ｔ、ｒが透光部材２１内
に入射されたとき、その光の一部は透光部材２１を透過
するが、他の一部は透光部材２１内で散乱し、その散乱
光が受光検出系３１へ入射される。

この際の光走査において、面状体４１の正常部に走査光
ｔ、ｓが照射されているとき、その反射光ＬＲまたは透
過光ＬＩが定常状態で透光部材２１内に入射されるので
、受光検出系３１での受光レベルは変化せず、当該受光
検出系３１は面状体４１に欠陥がないと認識する。

一方、面状体４１の欠陥部に走査光ＬＳが照射されたと
き、その欠陥に起因した光の散乱が生じ、正常部の場合
と異なる光が透光部材２１内に入射されるので、受光検
出系３１での受光レベルが変化し、その受光レベルの変
化により、当該受光検出系３１は面状体４１に欠陥があ
ると認識する。

かくて、面状体４１の欠陥が検出される。

ｒ発明が解決しようとする問題点Ｊ しかし、上述した第３図の方法に用いられる透光部材２
１は、これの断面形状が円形であるため、面状体４１か
らの反射光ＬＲあるいは透過光ＬＴを透光部材２１内へ
入射させるのがむずかしい。

すなわち、透光部材２１が断面円形であるとき、第４図
に示すごとく１反射光ＬＲあるいは透過光ＬＴは、透光
部材２１の外周面の一点ＰＲまたはｐｙよりその透光部
材２１内に入射するが１反射光ＬＲ，透過光ｔ、ｒ等が
これらの点ＰＲ，Ｐ＋から外れると、当該検査光が透光
部材２１内に入射されなくなる。

そのため、光学系の軸合わせ、各部材の相対配置にきび
しい精度が要求され、検査システムの構成が面倒となる
。

本発明は上記の問題点に鑑み、反射光、透過光ＬＴなど
の検査光を簡易に入射させることのできる光伝送体を提
供しようとするものである。

ｒ問題点を解決するための手段ｊ 本発明に係る光伝送体は、所期の目的を達成するため、
被検体からの検査光を受光検出系へ伝送するための棒状
透光部材からなり、該透光部材の外周面長手方向にわた
り、少なくともその幅方向にわたる成分が平坦な面状の
入光部が形成され、該透光部材の長手方向の端部に、出
光部が形成されていることを特徴とする。

ｒ作用Ｊ 本発明に係る光伝送体は、透光部材の外周面長手方向に
わたる入光部が、上述のごとき面状を呈しているので、
その長手方向はもとより、その輻方向の入光条件も緩和
され、したがって、光走査にともなう面状体からの検査
光（反射光、透過光など）を当該透光部材内に入射させ
るための光学系の軸合わせ、各部材の相対配とが容易と
なり、検査システムが簡易に構成できるようになる。

ｒ実　施　例」 以下、本発明に係る光伝送体の実施例につき、図面を参
照して説明する。

図示の各実施例で述べる本発明の光伝送体は、棒状の透
光部材５１を主体にして構成され、かかる透光部材５１
は、透明なガラスロッド（例えば石英系）、あるいは透
明なプラスチックロッド（例えばアクリル系、スチレン
系、シリコーン系）等からなる。

本発明の第一実施例である第１図（Ａ）　ＣＢ）の透光
部材５１は、切り欠き円形からなる断面形状を有して、
その外周面長手方向にわたる切り欠き面が入光部５２と
なっており、当該入光部５２がフラットな面状を呈して
いる。

さらに第１図（Ａ）　ＣＢ）の透光部材５１は、その−
端が出光部５３、その他端が反射部５４となっており、
ち該反射部５４は、鏡面のごとき反射面を有する適当な
部材を透光部材５１の他端に結合することによ設けられ
る。

なお、透光部材５１は、前記反射光、透過光などの検査
光を一定の入射角度で入射させるべく、第１図（Ａ）仮
想線のように、所定の曲率で弯曲されることがある。

また、透光部材５１は、その両端とも出光部５３とする
ことがあり、このような場合、前記反射部５４での反射
部材が省略される。　。

本発明の第二実施例である第２図（Ａ）　（Ｂ）の透光
部材５１は、多角形からなる断面形状を有して、その透
光部材５１の長手方向にわたる外周−側面が入光部５２
となっており、当該入光部５２もフラットな面状を呈し
ている。

さらに第２図（Ａ）　（Ｂ）の透光部材５１は、その入
光部５２と対向する外周−側面が散乱部５５となってい
る。

この散乱部５５は、透光部材５１の所定面に、すりガラ
スのごとく光散乱を生じさせるための散乱加工を施すと
か、ガラス、プラスチック等からなる板状の散乱部材を
貼り合わせることにより、形成される。

第２図（Ａ）　（Ｂ）の実施例における他の構成は、第
１図（Ａ）　（Ｂ）と同じである。

本発明に係る光伝送体は、前記第１図と同様に用いられ
る。

すなわち、光走査にともなう面状体からの検査光（前記
反射光、透過光など）を受光すべく、透光部材５１が所
定の受光領域に配置され、該透光部材５１の入光部５２
より受光した検査光を、その出光部５３に接続された受
光検出系へ伝送する。

ｒ発明の効果ｊ 以上説明した通り、本発明に係る光伝送体は、透光部材
の外周面長手方向にわたる入光部が、所定の面状を有す
るので、光走査にともなう面状体からの検査光をその透
光部材内に入射させるための条件が緩和され、面状体の
光学的な検査システムが簡易に構成できるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）　（Ｂ）は本発明に係る光伝送体の第一実
施例を示した斜視図と横断面図、第２図（Ａ）　（Ｂ）
は同上の第二実施例を示した斜視図と横断面図、第３図
は従来の光伝送体をその使用例とともに示した説明図、
第４図は従来の光伝送体における光入射情況を示した断
面図である。 ５１・・・−・・透光部材 ５２・・・・・・透光部材の入光部 ５３・・・・・・透光部材の出光部 ５４・・・・・・透光部材の反射部 ５５・・・・・・透光部材の散乱部 代理人　弁理士　斎　藤　義　雄 第　１　図 第２図

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検体からの検査光を受光検出系へ伝送するため
   の棒状透光部材からなり、該透光部材の外周面長手方向
   にわたり、少なくともその幅方向にわたる成分が平坦な
   面状の入光部が形成され、該透光部材の長手方向の端部
   に、出光部が形成されていることを特徴とする検査光伝
   送用光伝送体。
2. （２）透光部材が横断面多角形からなる特許請求の範囲
   第１項記載の検査光伝送用光伝送体。
3. （３）透光部材が横断面切り欠き円形からなる特許請求
   の範囲第１項記載の検査光伝送用光伝送体。
4. （４）透光部材がその入光部と対向する面に散乱部を有
   する特許請求の範囲第１項または第２項記載の検査光伝
   送用光伝送体。
5. （５）透光部材が真直な棒状からなる特許請求の範囲第
   １項または第４項いずれかに記載の検査光伝送用光伝送
   体。
6. （６）透光部材が弯曲した棒状からなる特許請求の範囲
   第１項または第４項いずれかに記載の検査光伝送用光伝
   送体。