JPS636431A - 圧力発信器の異常診断方法 - Google Patents
圧力発信器の異常診断方法Info
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- JPS636431A JPS636431A JP14973486A JP14973486A JPS636431A JP S636431 A JPS636431 A JP S636431A JP 14973486 A JP14973486 A JP 14973486A JP 14973486 A JP14973486 A JP 14973486A JP S636431 A JPS636431 A JP S636431A
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 title claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 10
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 3
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 abstract 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、差圧発信器等の圧力発信器に生ずる封入液の
漏洩による異常の発生を診断する方法に関するものであ
る。
漏洩による異常の発生を診断する方法に関するものであ
る。
圧力、差圧等の計測に用いる圧力発信器は、センタダイ
ヤフラムを介する高圧室と低圧室とを備え、各室をバリ
アダイヤフラムにより密閉すると共に、各室中へシリコ
ン液等の封入液を封入しておシ、これが各室から漏洩を
生じないものとして製造でれているが、計測現場へ設置
後、何等かの原因によシ外部に対する漏洩または各室相
互間の漏洩を生ずることがちシ、この際には圧力発信器
の検出々力が不正確となるため、従来は、経験的に検出
々力の値に応じて異常の有無を判断し、あるいは、定期
点検により圧力発信器をチエツクし、封入液の漏洩等に
基づく異常の有無を診断している。
ヤフラムを介する高圧室と低圧室とを備え、各室をバリ
アダイヤフラムにより密閉すると共に、各室中へシリコ
ン液等の封入液を封入しておシ、これが各室から漏洩を
生じないものとして製造でれているが、計測現場へ設置
後、何等かの原因によシ外部に対する漏洩または各室相
互間の漏洩を生ずることがちシ、この際には圧力発信器
の検出々力が不正確となるため、従来は、経験的に検出
々力の値に応じて異常の有無を判断し、あるいは、定期
点検により圧力発信器をチエツクし、封入液の漏洩等に
基づく異常の有無を診断している。
しかし、経験による判断では、不正確な結果しか得られ
ず、定期点検による場合は別途に各種の測定器を要する
と共に、異常を発見しても、封入液の漏洩がいずれにお
いて発生しているかを判断するＫは分解検査を行なうほ
かなく、いずれにしても診断が面倒かつ多大な工数を要
するものとなる問題を生じている。
ず、定期点検による場合は別途に各種の測定器を要する
と共に、異常を発見しても、封入液の漏洩がいずれにお
いて発生しているかを判断するＫは分解検査を行なうほ
かなく、いずれにしても診断が面倒かつ多大な工数を要
するものとなる問題を生じている。
前述の問題を解決するため、本発明はつぎの手段によ勺
構成するものとなっている。
構成するものとなっている。
すなわち、封入液の封入された高圧室および低圧室を備
えかつ前記各室間にセンタダイヤフラムを備えた圧力発
信器の前記各室毎の容積変化量を算出するのに必要とす
る初期定数をメモリへ格納し、前記各室中の少くとも一
方の静圧を検出する静圧センサおよび圧力発信器の温度
を検出する温度センサを設け、圧力発信器へ既知圧力を
印加し、このときＫおける圧力発信器の検出々力と静圧
センサの検出々力と温度センサの検出々力とメモリの初
期定数とを用いて前記各室の容積変化量を算出し、これ
ら各室の容積変化量に応じて封入液の漏洩有無を判断す
ることを第１発明とするものである。
えかつ前記各室間にセンタダイヤフラムを備えた圧力発
信器の前記各室毎の容積変化量を算出するのに必要とす
る初期定数をメモリへ格納し、前記各室中の少くとも一
方の静圧を検出する静圧センサおよび圧力発信器の温度
を検出する温度センサを設け、圧力発信器へ既知圧力を
印加し、このときＫおける圧力発信器の検出々力と静圧
センサの検出々力と温度センサの検出々力とメモリの初
期定数とを用いて前記各室の容積変化量を算出し、これ
ら各室の容積変化量に応じて封入液の漏洩有無を判断す
ることを第１発明とするものである。
また、前述の算出に基づき、前記各室中の少くとも一方
の容積減少によシ封入液の外部に対する漏洩発生と判断
することを第２発明とし、同様の算出により、前記各室
の容積変化量の和を求め、この和の値がはゾ零であれば
封入液の前記各室間漏洩発生と判断することを第３発明
としている。
の容積減少によシ封入液の外部に対する漏洩発生と判断
することを第２発明とし、同様の算出により、前記各室
の容積変化量の和を求め、この和の値がはゾ零であれば
封入液の前記各室間漏洩発生と判断することを第３発明
としている。
したがって、高圧室および低圧室の容積変化量に基づき
、第１発明では封入液の漏洩有無が判断できる一方、第
２および第３発明によれば、封入液の漏洩発生部位まで
を判断することができる。
、第１発明では封入液の漏洩有無が判断できる一方、第
２および第３発明によれば、封入液の漏洩発生部位まで
を判断することができる。
以下、実施例を示す図によって本発明の詳細な説明する
。
。
第２図は差圧発信器の断面図であシ、計測すべき圧力の
印加てれる透孔１ａ、１ｂを有するカバー２＆、２ｂが
両側方からガスケット３ｍ、３ｂにょシ密閉状として被
着されたボディ４ａ、４ｂには、透孔１ｍ。
印加てれる透孔１ａ、１ｂを有するカバー２＆、２ｂが
両側方からガスケット３ｍ、３ｂにょシ密閉状として被
着されたボディ４ａ、４ｂには、透孔１ｍ。
１ｂ と対向してバリアダイヤフラム５ａ 、 ５ｂ
が周囲をボディ４ｍ、４ｂと密着のうえ設けてあシ、こ
れの各内側に間隙５ａ、５ｂが形成され、これらの中央
部と連通孔７ ａ ＃ ７ｂによシ連通する内室１３ａ
、１３ｂの中間には、各内室８ｍ、ａｂ間を密閉状に隔
離するセンタダイヤフラム９が設けである。
が周囲をボディ４ｍ、４ｂと密着のうえ設けてあシ、こ
れの各内側に間隙５ａ、５ｂが形成され、これらの中央
部と連通孔７ ａ ＃ ７ｂによシ連通する内室１３ａ
、１３ｂの中間には、各内室８ｍ、ａｂ間を密閉状に隔
離するセンタダイヤフラム９が設けである。
また、ボディ４ａ、４ｂの下方には、間Ｍ６ａ、６ｂお
よび内室８ｍ 、 ８ｂと連通し、かつ、封入液１０ａ
、１０ｂの注入口１１ｍ、１１ｂと連通する連通孔１２
ａ、１２ｂが設けであると共に、ボディ４ａ、４ｂの上
方には、内室１３ｍ、３ｂと上面側との連通孔１３ｍ、
１３ｂが穿設してあシ、カバー２ｍ、２ｂとボディ４ｍ
、４ｂとは、ポルト１４およびナツト１５によシ密着し
て係止されている。
よび内室８ｍ 、 ８ｂと連通し、かつ、封入液１０ａ
、１０ｂの注入口１１ｍ、１１ｂと連通する連通孔１２
ａ、１２ｂが設けであると共に、ボディ４ａ、４ｂの上
方には、内室１３ｍ、３ｂと上面側との連通孔１３ｍ、
１３ｂが穿設してあシ、カバー２ｍ、２ｂとボディ４ｍ
、４ｂとは、ポルト１４およびナツト１５によシ密着し
て係止されている。
−方、ボディ４ｍ 、 ４ｂの上面には、溶接にょシ固
着でれた外筒２１中に、これと環状の間隙２２を形成し
て同様に固着ぐれた筒状部材２３が設けてあり、外筒２
１の上端周囲と密着てれて外筒２１の上端開放部を密閉
し、かつ、筒状部材２３の上端周囲と密着してこれの内
部へ嵌合するセンサベース２４の下面に、ガラス製の支
持筒２５が固定てれており、センサベース２４と支持筒
２５とには、間隙２２と支持筒２５の下面とを連絡する
連通孔２６が穿設？れていると共に、支持筒２５の下面
へ連通孔２６を周囲から密閉する状態としてダイヤフラ
ム形の複合センサ２７が固定てれている。
着でれた外筒２１中に、これと環状の間隙２２を形成し
て同様に固着ぐれた筒状部材２３が設けてあり、外筒２
１の上端周囲と密着てれて外筒２１の上端開放部を密閉
し、かつ、筒状部材２３の上端周囲と密着してこれの内
部へ嵌合するセンサベース２４の下面に、ガラス製の支
持筒２５が固定てれており、センサベース２４と支持筒
２５とには、間隙２２と支持筒２５の下面とを連絡する
連通孔２６が穿設？れていると共に、支持筒２５の下面
へ連通孔２６を周囲から密閉する状態としてダイヤフラ
ム形の複合センサ２７が固定てれている。
また、支持筒２５および筒状部材２３と各々間隙を形成
し、かつ、複合センサ２７より下方まで突出してスリー
ブ２８がセンサベース２４の下面へ固ＨＧれておシ、こ
れの下端開放面には多数の透孔を有する雑音防止用のシ
ールド板２９が被着式れている。
し、かつ、複合センサ２７より下方まで突出してスリー
ブ２８がセンサベース２４の下面へ固ＨＧれておシ、こ
れの下端開放面には多数の透孔を有する雑音防止用のシ
ールド板２９が被着式れている。
なお、複合センサ２Ｔのリード線は、スリーブ２８、セ
ンサベース２４中を貫通し、上面のピン２０ａ 、 ２
０ｂへ導出され、上方へ係止でれた圧力伝送器３０中の
回路と接続されている。
ンサベース２４中を貫通し、上面のピン２０ａ 、 ２
０ｂへ導出され、上方へ係止でれた圧力伝送器３０中の
回路と接続されている。
第１図は、複合センサ２７の拡大平面図であシ、シリコ
ン等の基板３１が用いられ、これの中央部にダイヤフラ
ム３２が形成しであると共に、これらの絶縁皮膜面上へ
集積回路技術により、ダイヤフラム３２と基板３１との
境界近傍かつ互に対角紗上の四方に差圧センサ３３ａ〜
３３ｄが形成てれ、これらの近傍かつ基板３１上に静圧
センサ３４＆〜３４ｄが形成てれている一方、差圧セン
サ３３ａト３３ｂとのはズ中間かつ基板３１上に温度セ
ンサ３５が形成されておシ、差圧センサ３３＆〜３３ｄ
および静圧センサ３４ｉ〜３４ｄには、ストレインゲー
ジとして作用する半導体素子が用いられ、温度センサ３
５としては、サーミスタとしての作用を呈する半導体素
子が用いられている。
ン等の基板３１が用いられ、これの中央部にダイヤフラ
ム３２が形成しであると共に、これらの絶縁皮膜面上へ
集積回路技術により、ダイヤフラム３２と基板３１との
境界近傍かつ互に対角紗上の四方に差圧センサ３３ａ〜
３３ｄが形成てれ、これらの近傍かつ基板３１上に静圧
センサ３４＆〜３４ｄが形成てれている一方、差圧セン
サ３３ａト３３ｂとのはズ中間かつ基板３１上に温度セ
ンサ３５が形成されておシ、差圧センサ３３＆〜３３ｄ
および静圧センサ３４ｉ〜３４ｄには、ストレインゲー
ジとして作用する半導体素子が用いられ、温度センサ３
５としては、サーミスタとしての作用を呈する半導体素
子が用いられている。
また、差圧センサ３３＆〜３３ｄと静圧センサ３４ａ〜
３４ｄとは、導体３６によシブリッジ状に接続てれ、各
接続点がランド３Ｔによシリード線と接続されるものと
なっておシ、ダイヤフラム３２の歪に応する差圧センサ
３３ａ〜３３ｄの抵抗値変化により、ダイヤフラム３２
の周面間差圧を検出する一方、静圧センサ３４＆〜３４
ｄの形成面へ印加される静圧に応する基板３１と静圧セ
ンサ３４島〜３４ｄとの圧縮率差によシ、静圧センサ３
４ａ〜３４ｄの抵抗値が変化するため、これによって静
圧の検出を行なうものとなっている。
３４ｄとは、導体３６によシブリッジ状に接続てれ、各
接続点がランド３Ｔによシリード線と接続されるものと
なっておシ、ダイヤフラム３２の歪に応する差圧センサ
３３ａ〜３３ｄの抵抗値変化により、ダイヤフラム３２
の周面間差圧を検出する一方、静圧センサ３４＆〜３４
ｄの形成面へ印加される静圧に応する基板３１と静圧セ
ンサ３４島〜３４ｄとの圧縮率差によシ、静圧センサ３
４ａ〜３４ｄの抵抗値が変化するため、これによって静
圧の検出を行なうものとなっている。
なお、温度センサ３５は、周囲の温度に応じて抵抗値が
変化し、これによって差圧センサ３３ａ〜３３ｄを含む
差圧発信器全体の温度を検出するものとなっている。
変化し、これによって差圧センサ３３ａ〜３３ｄを含む
差圧発信器全体の温度を検出するものとなっている。
したがって、第２図の透孔１ａ側へ高圧ＰＨを印加する
と共に、透孔１ｂ側へ低圧九を印加すれば、これに応じ
てバリアダイヤフラム５ａ 、 ５ｂが変位し、この変
位が封入ｆ’ｌ［１０ａ、１０ｂを介してセンタダイヤ
フラム９へ印加嘔れ、ＰＨとＰＬとの差圧にしたがって
センタダイヤフラム９が変位し、これＫよって差圧の大
部分が吸収される一方、連通孔１３ａ、１３ｂ、間隙２
２、連通孔２６を経て差圧の一部が複合センサ２７のダ
イヤフラム３２へ印加嘔れ、これの歪に応じて差圧セン
サ３３ａ〜３３ｄによシＰ８とＰＬとの差圧が検出てれ
ると共に、複合センサ２７の取付方向にしたがい、静圧
センサ３４ａ〜３４ｄによシＰＨｔたはＰＬの静圧が検
出てれ、これらの検出状況が第２図において破断線によ
シ示す圧力伝送器３０を介し、電気信号として送出され
る。
と共に、透孔１ｂ側へ低圧九を印加すれば、これに応じ
てバリアダイヤフラム５ａ 、 ５ｂが変位し、この変
位が封入ｆ’ｌ［１０ａ、１０ｂを介してセンタダイヤ
フラム９へ印加嘔れ、ＰＨとＰＬとの差圧にしたがって
センタダイヤフラム９が変位し、これＫよって差圧の大
部分が吸収される一方、連通孔１３ａ、１３ｂ、間隙２
２、連通孔２６を経て差圧の一部が複合センサ２７のダ
イヤフラム３２へ印加嘔れ、これの歪に応じて差圧セン
サ３３ａ〜３３ｄによシＰ８とＰＬとの差圧が検出てれ
ると共に、複合センサ２７の取付方向にしたがい、静圧
センサ３４ａ〜３４ｄによシＰＨｔたはＰＬの静圧が検
出てれ、これらの検出状況が第２図において破断線によ
シ示す圧力伝送器３０を介し、電気信号として送出され
る。
第３図は、以上の差圧発信器を示す模式図でらシ、封入
液１ｏａ、ｉｏｂの漏洩状況を診断する原理を説明する
ため、つぎのとおりに記号を定める。
液１ｏａ、ｉｏｂの漏洩状況を診断する原理を説明する
ため、つぎのとおりに記号を定める。
ｖＨ：内室８１およびこれと連通する各部を含む高圧室
４１の全容積 ■Ｌ：内室８ｂおよびこれと連通ずる各部を含む低圧室
４２の全容積 ＰＨ：印加高圧 ＰＬ：印加低圧 Ｐｈ：高圧室４１内の静圧 Ｐｌ 二低圧室４２内 〃 Δｖ８；バリアダイヤフラム５ａの変位量Δｖｃ：セン
タダイヤフラム９の変位量ΔｖＬ：バリアダイヤフラム
５ｂの変位量ΦＨ：バリアダイヤフラム５ａのコンプラ
イアンスΦＣ：センタダイヤフラム９の ΦＬ ：パリアダイヤフラム５ｂの 〃Δマ、：高
圧室４１の容積変化量 Δｖ、：低圧室４２の 〃 α ：封入液１０ａ１１０ｂの温度膨張係数ΔＴ ：工
場出荷時の初期温度との温度差また、前述の各記号を用
いれば、第３図の構成においては、−般的に次式が成立
するものとなっている。
４１の全容積 ■Ｌ：内室８ｂおよびこれと連通ずる各部を含む低圧室
４２の全容積 ＰＨ：印加高圧 ＰＬ：印加低圧 Ｐｈ：高圧室４１内の静圧 Ｐｌ 二低圧室４２内 〃 Δｖ８；バリアダイヤフラム５ａの変位量Δｖｃ：セン
タダイヤフラム９の変位量ΔｖＬ：バリアダイヤフラム
５ｂの変位量ΦＨ：バリアダイヤフラム５ａのコンプラ
イアンスΦＣ：センタダイヤフラム９の ΦＬ ：パリアダイヤフラム５ｂの 〃Δマ、：高
圧室４１の容積変化量 Δｖ、：低圧室４２の 〃 α ：封入液１０ａ１１０ｂの温度膨張係数ΔＴ ：工
場出荷時の初期温度との温度差また、前述の各記号を用
いれば、第３図の構成においては、−般的に次式が成立
するものとなっている。
Δマ１＝＝ ＃ｃ−Ａ〜＋α・ｖＨ・ΔＴ ・・・
・・・（４）ΔＶ、＝ｌＶＬ−ＩＶｏ＋α・ｖＬ・ΔＴ
・・・・・・（５）こ＼において、工場出荷時に
圧力伝送器３０中のメモリへ、設計値または実測値に基
づ＜ ｖＨ＋”Ｌ ｌΦ□、Φ。、Φ２．α、および、
このときの実測温度Ｔｏを各々初期定数として格納して
おき、差圧発信器へ印加する圧力ＰＨＩＰＬをこれに通
ずる管路の開閉によシ各々例えばＯＫｇｆ／ｃｒｎ
の既知圧力とし、このときにおける差圧センサ３３ａ〜
３３ｄにょシ求めた差圧発信器としての検出々力（Ｐｈ
−ｐｔ）と、静圧センサ３４＆〜３４ｄによる検出々力
ＰｈマたはＰｚと、温度センサ３５による検出々力Ｔと
を求めれば、上式に基づき各室４１．４２の容積変化量
ΔＶ□およびΔマ、を算出することができる。
・・・（４）ΔＶ、＝ｌＶＬ−ＩＶｏ＋α・ｖＬ・ΔＴ
・・・・・・（５）こ＼において、工場出荷時に
圧力伝送器３０中のメモリへ、設計値または実測値に基
づ＜ ｖＨ＋”Ｌ ｌΦ□、Φ。、Φ２．α、および、
このときの実測温度Ｔｏを各々初期定数として格納して
おき、差圧発信器へ印加する圧力ＰＨＩＰＬをこれに通
ずる管路の開閉によシ各々例えばＯＫｇｆ／ｃｒｎ
の既知圧力とし、このときにおける差圧センサ３３ａ〜
３３ｄにょシ求めた差圧発信器としての検出々力（Ｐｈ
−ｐｔ）と、静圧センサ３４＆〜３４ｄによる検出々力
ＰｈマたはＰｚと、温度センサ３５による検出々力Ｔと
を求めれば、上式に基づき各室４１．４２の容積変化量
ΔＶ□およびΔマ、を算出することができる。
すなわち、（１）〜（３）式よシ次式が得られる。
７ｖＨ＝ΦＨ（ＰＨ−Ｐｈ）・・・・・・（６）＃Ｌ＝
ΦＬ（Ｐｔ−ＰＬ）・・・・自（７）ｕｃ＝Φｃ（Ｐｈ
−Ｐｔ）・・・・・・（８）。
ΦＬ（Ｐｔ−ＰＬ）・・・・自（７）ｕｃ＝Φｃ（Ｐｈ
−Ｐｔ）・・・・・・（８）。
なお、ＰｈまたはＰｔのいずれか一方を求めれば、差圧
発信器の検出々力（ｐｈ−ｐ、）が既知でおシ、（Ｐｈ
−Ｐｚ） ＝ Ｋとしたとき、 Ｋよシ他方を求めることができる。
発信器の検出々力（ｐｈ−ｐ、）が既知でおシ、（Ｐｈ
−Ｐｚ） ＝ Ｋとしたとき、 Ｋよシ他方を求めることができる。
このため、ｔ４） 、 （５）式および（６）〜（８）
式から、各室４１．４２の容積変化量Δマ１．Δマ２は
次式によシ与見られる。
式から、各室４１．４２の容積変化量Δマ１．Δマ２は
次式によシ与見られる。
Δマ、＝ψ（（Ｐｈ−Ｐｚ）−ΦＨ（ＰＨ−Ｐｔ）＋α
・鳳・ΔＴ ・・・・（１０）Δｖ、 ＝Φｔ、
（Ｐｚ−ＰＬ ）−Φｃ（Ｐｈ−ＰＬ）＋α・Ｖ・ΔＴ
・・・・ （１１）し たソし、 ΔＴ＝Ｔ−Ｔ。
・鳳・ΔＴ ・・・・（１０）Δｖ、 ＝Φｔ、
（Ｐｚ−ＰＬ ）−Φｃ（Ｐｈ−ＰＬ）＋α・Ｖ・ΔＴ
・・・・ （１１）し たソし、 ΔＴ＝Ｔ−Ｔ。
したがって、メモリ中の各初期定数ｖＨ１ｖＬ。
Φ□、Φ。、Φ１．α、Ｔｏを読み出して用いると共に
、各センサの検出々力（Ｐｈ−Ｐｚ）、ＰｈまたはＰｔ
、および、Ｔを用いる演算により、Δマ１．Δｖ２を算
出することができる。
、各センサの検出々力（Ｐｈ−Ｐｚ）、ＰｈまたはＰｔ
、および、Ｔを用いる演算により、Δマ１．Δｖ２を算
出することができる。
このΔマ０．ΔＶ、は、各室４１．４２中の封入液１０
ｍ、１０ｂの体積変化量を示し、各々の減少が外部への
または他方の室側への漏洩を意味するものとがり、これ
らの変化状況によりつぎの判断を行々うことができる。
ｍ、１０ｂの体積変化量を示し、各々の減少が外部への
または他方の室側への漏洩を意味するものとがり、これ
らの変化状況によりつぎの判断を行々うことができる。
（４）Δｖ０く０、Δｖ、＝０
高圧室４１の外部に対する漏洩発生
（Ｂ） ΔＶ□＝０、Δｖ、＜０
低圧室４２の外部に対する漏洩発生
（Ｑ Δマ、くＯ１Δｖｍ ＜ ０
各室４１．４２の外部に対する漏洩発生（Ｄ） Δｖ
４＋Δマ、＝０ 各室４１．４２間の漏洩発生 すなわち、（４）〜（Ｃ）のとおシ、少くともいずれか
一方の容積減少によシ、外部に対する漏洩発生と判断で
きるのに対し、（Ｄ）のとおシ、各室４１．４２の容積
変化量の和を求め、この値がはソ零でおれば、各室４１
．４２相互間の漏洩発生と判断することができる。
４＋Δマ、＝０ 各室４１．４２間の漏洩発生 すなわち、（４）〜（Ｃ）のとおシ、少くともいずれか
一方の容積減少によシ、外部に対する漏洩発生と判断で
きるのに対し、（Ｄ）のとおシ、各室４１．４２の容積
変化量の和を求め、この値がはソ零でおれば、各室４１
．４２相互間の漏洩発生と判断することができる。
また、単に容積の変化を生じたことのみによっても、い
ずれかに漏洩を生じたものと判断することができる。
ずれかに漏洩を生じたものと判断することができる。
第４図は、以上の原理に基づく回路構成例のブロック図
であり、第２図の差圧発信器（以下、ＤＰＴ）５１と連
結された圧力伝送器（以下、ＰＴＲ）３Ｑにおいては、
第１図の差圧センサ（以下、ＤＰＳ ）３３、静圧セン
サ（以下、５ＰＳ）３４ 、および、温度センサ（以下
、ＴＳ）３５の各抵抗値変化を検出する検出回路（以下
、ＤＥＴ ） ５２からの各検出々力を、マルチプレク
サ（以下、ＭＰＸ ） ５３により１顯次にかつ反復し
て選択し、アナログ・ディジタル変換器（以下、ＡＤＣ
） ５４によりディジタル信号としてかラマイクロプロ
セッサ等のプロセッサ（以下、ＣＰＵ）５５へ与え、こ
＼において、常時はＤＰＳ３３の検出々力を所定の演算
によυ差圧計測値へ変換し、ディジタル・アナログ変換
器（以下、ＤＡＣ）５６および駆動回路（以下、０Ｒ）
５７ を介し、トランジスタ（以下、ＴＲ）Ｑ、へ計測
値と対応する順方向バイアスとして与え、ＴＲ−Ｑｌ
のコレクタ・エミッタ娑間抵抗値を制御し、線路Ｌ１．
Ｌ、からなる２腺式伝送路へ抵抗器Ｒを介して印加でれ
ている電源Ｅに基づき、例えば４〜２０ｍＡの統一信号
による電流を通じ、これの電流値により計測値の送出を
行なうものとなっておシ、この電流値は、抵抗器Ｒの端
子電圧として検出され、これが計測信号Ｓｍとして制御
装置等へ与えられる。
であり、第２図の差圧発信器（以下、ＤＰＴ）５１と連
結された圧力伝送器（以下、ＰＴＲ）３Ｑにおいては、
第１図の差圧センサ（以下、ＤＰＳ ）３３、静圧セン
サ（以下、５ＰＳ）３４ 、および、温度センサ（以下
、ＴＳ）３５の各抵抗値変化を検出する検出回路（以下
、ＤＥＴ ） ５２からの各検出々力を、マルチプレク
サ（以下、ＭＰＸ ） ５３により１顯次にかつ反復し
て選択し、アナログ・ディジタル変換器（以下、ＡＤＣ
） ５４によりディジタル信号としてかラマイクロプロ
セッサ等のプロセッサ（以下、ＣＰＵ）５５へ与え、こ
＼において、常時はＤＰＳ３３の検出々力を所定の演算
によυ差圧計測値へ変換し、ディジタル・アナログ変換
器（以下、ＤＡＣ）５６および駆動回路（以下、０Ｒ）
５７ を介し、トランジスタ（以下、ＴＲ）Ｑ、へ計測
値と対応する順方向バイアスとして与え、ＴＲ−Ｑｌ
のコレクタ・エミッタ娑間抵抗値を制御し、線路Ｌ１．
Ｌ、からなる２腺式伝送路へ抵抗器Ｒを介して印加でれ
ている電源Ｅに基づき、例えば４〜２０ｍＡの統一信号
による電流を通じ、これの電流値により計測値の送出を
行なうものとなっておシ、この電流値は、抵抗器Ｒの端
子電圧として検出され、これが計測信号Ｓｍとして制御
装置等へ与えられる。
また、線路り、 、Ｌ２間の電圧変化は、比較器（以下
、ｃｐ）５ａにおいて基準電圧Ｅ８□と比較のうえ検出
され、ＡＤＣ５９を介してＣＰＵ５５へ与えられ、これ
を受信々号としてＣＰＵ５５が解読し、これの内容に応
動するものとなっている。
、ｃｐ）５ａにおいて基準電圧Ｅ８□と比較のうえ検出
され、ＡＤＣ５９を介してＣＰＵ５５へ与えられ、これ
を受信々号としてＣＰＵ５５が解読し、これの内容に応
動するものとなっている。
なお、ＣＰＵ５５は、固定メモリ（以下、ＲＯＭ ）５
９中の命令を実行し、必要とするデータを可変メモリ（
以下、ＲＡＭ）６０ ヘアクセスしながら所定の演算
および制御を行なうものとなっており、不揮発性メモリ
（以下、ＮＶＭ）６１には、工場出荷時にシいて上述の
各初期定数が格納されるものとなっている。
９中の命令を実行し、必要とするデータを可変メモリ（
以下、ＲＡＭ）６０ ヘアクセスしながら所定の演算
および制御を行なうものとなっており、不揮発性メモリ
（以下、ＮＶＭ）６１には、工場出荷時にシいて上述の
各初期定数が格納されるものとなっている。
一方、リード線ｔ工、ｔ、によシ、線路Ｌ工、Ｌ８へ橋
絡接続される携帯試験器（以下、ＰＴＳ）７０は、線路
り、 、Ｌ、間の電圧変化に基づく信号送受信が自在と
なっており、キーボード（以下、ＫＢ ） Ｔ１ の操
作に応じてＣＰＵ５５ と同様のＣＰＵ７２が応動し、
ＤＡＣ７３およびＤＲ７４を介してＴＲ−Ｑ３を制御し
、ＴＲ−Ｑ工に通ずる電流以外の電流を電源Ｅから通じ
嘔せ、これをコード化石れたパルス状として行なうこと
により、線間電圧をパルス状に変化ぢせ、ＰＴＲ３０に
対する送信を行なうと共に、ＴＲ−Ｑ工の制御による電
流値変化に応する線間電圧をＤＰＴ５において基準電圧
Ｅ１との比較によシ検出し、ＡＤＣ７６を介してＣＰＵ
７２により解読し、表示器（以下、ｏｐ）７γによシ表
示を行なうものとなっている。
絡接続される携帯試験器（以下、ＰＴＳ）７０は、線路
り、 、Ｌ、間の電圧変化に基づく信号送受信が自在と
なっており、キーボード（以下、ＫＢ ） Ｔ１ の操
作に応じてＣＰＵ５５ と同様のＣＰＵ７２が応動し、
ＤＡＣ７３およびＤＲ７４を介してＴＲ−Ｑ３を制御し
、ＴＲ−Ｑ工に通ずる電流以外の電流を電源Ｅから通じ
嘔せ、これをコード化石れたパルス状として行なうこと
により、線間電圧をパルス状に変化ぢせ、ＰＴＲ３０に
対する送信を行なうと共に、ＴＲ−Ｑ工の制御による電
流値変化に応する線間電圧をＤＰＴ５において基準電圧
Ｅ１との比較によシ検出し、ＡＤＣ７６を介してＣＰＵ
７２により解読し、表示器（以下、ｏｐ）７γによシ表
示を行なうものとなっている。
なお、ＣＰＵ７２ も、ＲＯＭ７８中の命令を実行し、
ＲＡＭ７９に対する必要なデータのアクセスにより演算
および制御を行なうものとなっている。
ＲＡＭ７９に対する必要なデータのアクセスにより演算
および制御を行なうものとなっている。
したがって、ＰＴＳ７０によシ、ＰＴＲ３０の計測値を
チエツクできると共に、ＰＴＲ３０に対し各種の指令を
送信し、かつ、これに応する応答送信を受信できるもの
となっており、ＫＢ７１によシ漏洩チエツクの指令を行
なえば、これがＰＴＲ３０のＣＰＵ５５ によシ受信で
れ、これに応じてＣＰＵ５５がＮＶＭ６１ 中の各初期
定数をパルスコードの電流変化によシ送信すると共に、
ＤＰＳ３３，５ＰＳ３４ 。
チエツクできると共に、ＰＴＲ３０に対し各種の指令を
送信し、かつ、これに応する応答送信を受信できるもの
となっており、ＫＢ７１によシ漏洩チエツクの指令を行
なえば、これがＰＴＲ３０のＣＰＵ５５ によシ受信で
れ、これに応じてＣＰＵ５５がＮＶＭ６１ 中の各初期
定数をパルスコードの電流変化によシ送信すると共に、
ＤＰＳ３３，５ＰＳ３４ 。
ＴＳ３５の冬検出々力をＤＥＴ５２およびＭＰＸ５３を
介して順次に取入れ、これらに基づく各検出値を同様に
送信するため、これらがＣＰＵ７２において受信てれる
ものとなり、これらを用いてＣＰＵ７２が上述の（１０
） 、 （１１）弐による演算を実行し、かつ、この結
果に応じて上述の（Ａ）〜（Ｄ）に示す判断を行ない、
これによる診断状況をＤＰＴ７によシ表示する。
介して順次に取入れ、これらに基づく各検出値を同様に
送信するため、これらがＣＰＵ７２において受信てれる
ものとなり、これらを用いてＣＰＵ７２が上述の（１０
） 、 （１１）弐による演算を実行し、かつ、この結
果に応じて上述の（Ａ）〜（Ｄ）に示す判断を行ない、
これによる診断状況をＤＰＴ７によシ表示する。
第５図はＰＴＳ７０の外形を示し、（ト）は正面図、Ｃ
Ｂ）は側面図で６Ｄ、手持形の外筺８１へ全回路および
電源を収容し、正面に複数の押ボタンキー８２からなる
ＫＢ７１を設けると共に、これの上方へ液晶表示素子等
のＤＰＴ７を装着しておシ、先端へクリップ８３＆ 、
８３ｂを接続したリード線ｔ工、ｔ、からなるコード
８４を導出し、これによシ、線路Ｌ□、Ｌｌの端子板等
に対する接続を自在としている。
Ｂ）は側面図で６Ｄ、手持形の外筺８１へ全回路および
電源を収容し、正面に複数の押ボタンキー８２からなる
ＫＢ７１を設けると共に、これの上方へ液晶表示素子等
のＤＰＴ７を装着しておシ、先端へクリップ８３＆ 、
８３ｂを接続したリード線ｔ工、ｔ、からなるコード
８４を導出し、これによシ、線路Ｌ□、Ｌｌの端子板等
に対する接続を自在としている。
したがって、クリップ８３ｍ、８３ｂを用いて前述の接
続を行なったうえ、［ＬＥＡＫ ＣＨＥＣＫＪキー８２
を押下すれば、内部のＣＰＵ７２による送受信および演
算により上述の判断がなでれ、ＤＰＴ７において例えば
ｌ’−ＬＰ ＬＥＡＫＪの表示がなぐれ、低圧室４２の
外部に対する漏洩であることが直ちに示てれるため、特
別な測定器の準備およびＤＰＴ５１ の分解等を行なう
ことなく、容易にかつ正確にＤＰＴ５１の異常を診断す
ることができる。
続を行なったうえ、［ＬＥＡＫ ＣＨＥＣＫＪキー８２
を押下すれば、内部のＣＰＵ７２による送受信および演
算により上述の判断がなでれ、ＤＰＴ７において例えば
ｌ’−ＬＰ ＬＥＡＫＪの表示がなぐれ、低圧室４２の
外部に対する漏洩であることが直ちに示てれるため、特
別な測定器の準備およびＤＰＴ５１ の分解等を行なう
ことなく、容易にかつ正確にＤＰＴ５１の異常を診断す
ることができる。
たソし、ＮＶＭ６１ は、ＤＰＴ５１ Ｋ付帯するもの
であればよく、長期的に内容を保持できる他のメモリ素
子を用いても同様でｓｂ、上述の演算および判断をＰＴ
Ｒ３０のＣＰＵ５５において行ない、または、制御装置
等のＣＰＵによシ行ない、別途の表示器により診断結果
の表示を行なってもよく、５ＰＳ３４およびＴＳ３５の
配設状況は、第１図に示すほか、条件に応じて選定すれ
ばよい等、種々の変形が自在でおる。
であればよく、長期的に内容を保持できる他のメモリ素
子を用いても同様でｓｂ、上述の演算および判断をＰＴ
Ｒ３０のＣＰＵ５５において行ない、または、制御装置
等のＣＰＵによシ行ない、別途の表示器により診断結果
の表示を行なってもよく、５ＰＳ３４およびＴＳ３５の
配設状況は、第１図に示すほか、条件に応じて選定すれ
ばよい等、種々の変形が自在でおる。
以上の説明により明らかなとお９本発明によれば、容易
にかつ正確に差圧発信器等の封入液漏洩状況を診断でき
るため、同等の構成を有する各種圧力発信器の異常診断
において顕著な効果が得られる。
にかつ正確に差圧発信器等の封入液漏洩状況を診断でき
るため、同等の構成を有する各種圧力発信器の異常診断
において顕著な効果が得られる。
図は本発明の実施例を示し、第１図は複合センサの平面
図、第２図は差圧発信器の断面図、第３因は差圧発信器
の模式図、第４図は回路構成のブロック図、第５図は携
帯試験器の外形図である。 ５ａ、Ｓｂ・・・・バリアダイヤフラム、７ ａ ｒ
７ｂ ＋１３ｍ、１３ｂ、２６ ・・・・連通孔、８
ｍ、８ｂ・・・・内室、９・・・・センタダイヤフラム
、１０＆、１０ｂ。 ・・・封入液、２７・・・・複合センサ、３０・・・・
圧力伝送器、３１・・・・基板、３２・・・・ダイヤフ
ラム、３３ 、３３ａ〜３３ｄ・・・・ＤＰＳ （差圧
センサ）、３４ 、３４１〜３４ｄ・・・・ｓｐｓ （
静圧センサ）、３５・・・・ＴＳ（，８度センサ）、４
１・・・・高圧室、４２・・・・低圧室、５１・・・・
ＤＰＴ （差圧発信器）、５５．７２・・・・ＣＰＵ
（プロセッサ）、５９．７８・・・・ＲＯＭ （固定メ
モリ）、６０．７９・・・・ＲＡＭ（可変メモリ）、６
１・・・・ＮＶＭ（不揮発注メモリ）、５８．７５・−
・・ｃｐ（比較器）、７１・・・・ＫＢ （キーボード
）、７７・・・・ｏｐ （表示器）、Ｑ工＋Ｑ１・・・
・ＴＲ（）ランジスタ）、Ｌｌ、Ｌ、・・・・線路、１
１，１．・・・・リード線、Ｅ・・・・電源。 特許出願人 山武ハネクエル株式会社代理人 山川政
樹（ｅわ１２名） 第２図 手続補正書（自発） １．事件の表示 昭和６１年 特 許 間第１４９７３４号２、発明の名
称 圧力発信器の異常診断方法 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出願人名称（氏名
） （６６６）山武−・ネウエル株式会社５、補正の対
象 ６、補正の内容 方式 〆′＼、 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとお）補正する
。 （２）同書５頁７行の「ことを・・・・・・」乃至８行
の「ある。」を「ものとなっている。」と補正する。 （３）同書同頁９行の「また、・・・・・・」乃至１４
行の「・・・・・・している。」を削除する。 （４）同書同頁１６行の「したがって、・・・・・・」
乃至１９行の「・・・・・・できる。」を下記のとおり
補正する。 ［したがって、高圧室および低圧室の容積変化量に基づ
き、封入液の漏洩有無を判断することができる。］ 以 上 特許請求の範囲 １．封入液の封入された高圧室および低圧室を備えかツ
前記各室間にセンタダイヤフラムを備えた圧力発信器の
前記各室毎の容積変化量を算出するのに必要とする初期
定数をメモリへ格納し、前記各室中の少くとも一方の静
圧を検出する静圧センサおよび前記圧力発信器の温度を
検出する温度センサを設け、前記圧力発信器へ既知圧力
を印加し、このときくおける前記圧力発信器の検出々力
と前記静圧センサの検出々力と前記温度センサの検出々
力と前記メモリの初期定数とを用いて前記各室の容積変
化量を算出ム該各室の容積変化量に応じて前記封入液の
漏洩有無を判断することを特徴とした圧力発信器の異常
診断方法。 以 上
図、第２図は差圧発信器の断面図、第３因は差圧発信器
の模式図、第４図は回路構成のブロック図、第５図は携
帯試験器の外形図である。 ５ａ、Ｓｂ・・・・バリアダイヤフラム、７ ａ ｒ
７ｂ ＋１３ｍ、１３ｂ、２６ ・・・・連通孔、８
ｍ、８ｂ・・・・内室、９・・・・センタダイヤフラム
、１０＆、１０ｂ。 ・・・封入液、２７・・・・複合センサ、３０・・・・
圧力伝送器、３１・・・・基板、３２・・・・ダイヤフ
ラム、３３ 、３３ａ〜３３ｄ・・・・ＤＰＳ （差圧
センサ）、３４ 、３４１〜３４ｄ・・・・ｓｐｓ （
静圧センサ）、３５・・・・ＴＳ（，８度センサ）、４
１・・・・高圧室、４２・・・・低圧室、５１・・・・
ＤＰＴ （差圧発信器）、５５．７２・・・・ＣＰＵ
（プロセッサ）、５９．７８・・・・ＲＯＭ （固定メ
モリ）、６０．７９・・・・ＲＡＭ（可変メモリ）、６
１・・・・ＮＶＭ（不揮発注メモリ）、５８．７５・−
・・ｃｐ（比較器）、７１・・・・ＫＢ （キーボード
）、７７・・・・ｏｐ （表示器）、Ｑ工＋Ｑ１・・・
・ＴＲ（）ランジスタ）、Ｌｌ、Ｌ、・・・・線路、１
１，１．・・・・リード線、Ｅ・・・・電源。 特許出願人 山武ハネクエル株式会社代理人 山川政
樹（ｅわ１２名） 第２図 手続補正書（自発） １．事件の表示 昭和６１年 特 許 間第１４９７３４号２、発明の名
称 圧力発信器の異常診断方法 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出願人名称（氏名
） （６６６）山武−・ネウエル株式会社５、補正の対
象 ６、補正の内容 方式 〆′＼、 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとお）補正する
。 （２）同書５頁７行の「ことを・・・・・・」乃至８行
の「ある。」を「ものとなっている。」と補正する。 （３）同書同頁９行の「また、・・・・・・」乃至１４
行の「・・・・・・している。」を削除する。 （４）同書同頁１６行の「したがって、・・・・・・」
乃至１９行の「・・・・・・できる。」を下記のとおり
補正する。 ［したがって、高圧室および低圧室の容積変化量に基づ
き、封入液の漏洩有無を判断することができる。］ 以 上 特許請求の範囲 １．封入液の封入された高圧室および低圧室を備えかツ
前記各室間にセンタダイヤフラムを備えた圧力発信器の
前記各室毎の容積変化量を算出するのに必要とする初期
定数をメモリへ格納し、前記各室中の少くとも一方の静
圧を検出する静圧センサおよび前記圧力発信器の温度を
検出する温度センサを設け、前記圧力発信器へ既知圧力
を印加し、このときくおける前記圧力発信器の検出々力
と前記静圧センサの検出々力と前記温度センサの検出々
力と前記メモリの初期定数とを用いて前記各室の容積変
化量を算出ム該各室の容積変化量に応じて前記封入液の
漏洩有無を判断することを特徴とした圧力発信器の異常
診断方法。 以 上
Claims (3)
- （１）封入液の封入された高圧室および低圧室を備えか
つ前記各室間にセンタダイヤフラムを備えた圧力発信器
の前記各室毎の容積変化量を算出するのに必要とする初
期定数をメモリへ格納し、前記各室中の少くとも一方の
静圧を検出する静圧センサおよび前記圧力発信器の温度
を検出する温度センサを設け、前記圧力発信器へ既知圧
力を印加し、このときにおける前記圧力発信器の検出々
力と前記静圧センサの検出々力と前記温度センサの検出
々力と前記メモリの初期定数とを用いて前記各室の容積
変化量を算出し、該各室の容積変化量に応じて前記封入
液の漏洩有無を判断することを特徴とした圧力発信器の
異常診断方法。 - （２）封入液の封入された高圧室および低圧室を備えか
つ前記各室間にセンタダイヤフラムを備えた圧力発信器
の前記各室毎の容積変化量を算出するのに必要とする初
期定数をメモリへ格納し、前記各室中の少くとも一方の
静圧を検出する静圧センサおよび前記圧力発信器の温度
を検出する温度センサを設け、前記圧力発信器へ既知圧
力を印加し、このときにおける前記圧力発信器の検出々
力と前記静圧センサの検出々力と前記温度センサの検出
々力と前記メモリの初期定数とを用いて前記各室の容積
変化量を算出し、前記各室中の少くとも一方の容積減少
により前記封入液の外部に対する漏洩発生と判断するこ
とを特徴とした圧力発信器の異常診断方法。 - （３）封入液の封入された高圧室および低圧室を備えか
つ前記各室間にセンタダイヤフラムを備えた圧力発信器
の前記各室毎の容積変化量を算出するのに必要とする初
期定数をメモリへ格納し、前記各室中の少くとも一方の
静圧を検出する静圧センサおよび前記圧力発信器の温度
を検出する温度センサを設け、前記圧力発信器へ既知圧
力を印加し、このときにおける前記圧力発信器の検出々
力と前記静圧センサの検出々力と前記温度センサの検出
々力と前記メモリの初期定数とを用いて前記各室の容積
変化量を算出し、前記各室の容積変化量の和を求め、該
和の値がほゞ零であれば前記封入液の前記各室間漏洩発
生と判断することを特徴とした圧力発信器の異常診断方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14973486A JPS636431A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 圧力発信器の異常診断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14973486A JPS636431A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 圧力発信器の異常診断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636431A true JPS636431A (ja) | 1988-01-12 |
| JPH0371652B2 JPH0371652B2 (ja) | 1991-11-14 |
Family
ID=15481644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14973486A Granted JPS636431A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 圧力発信器の異常診断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636431A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996017235A1 (en) * | 1994-11-30 | 1996-06-06 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with fill fluid loss detection |
| JP2001264204A (ja) * | 1993-04-01 | 2001-09-26 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| JP2022550196A (ja) * | 2019-09-30 | 2022-11-30 | ローズマウント インコーポレイテッド | 感圧装置の隔離キャビティ封止監視 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP14973486A patent/JPS636431A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264204A (ja) * | 1993-04-01 | 2001-09-26 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| WO1996017235A1 (en) * | 1994-11-30 | 1996-06-06 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with fill fluid loss detection |
| US5760310A (en) * | 1994-11-30 | 1998-06-02 | Rosemount Inc. | Transmitter with fill fluid loss detection |
| JP2022550196A (ja) * | 2019-09-30 | 2022-11-30 | ローズマウント インコーポレイテッド | 感圧装置の隔離キャビティ封止監視 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0371652B2 (ja) | 1991-11-14 |
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