JPS6360324B2 - - Google Patents

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JPS6360324B2
JPS6360324B2 JP19996682A JP19996682A JPS6360324B2 JP S6360324 B2 JPS6360324 B2 JP S6360324B2 JP 19996682 A JP19996682 A JP 19996682A JP 19996682 A JP19996682 A JP 19996682A JP S6360324 B2 JPS6360324 B2 JP S6360324B2
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disk
objects
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rotation
head
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は回転体の周方向に沿つて取り付けら
れる複数の物体の取付け精度を測定する組立精度
測定装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an assembly accuracy measuring device that measures the attachment accuracy of a plurality of objects attached along the circumferential direction of a rotating body.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

VTRにおいては、回転体であるところのデイ
スクに物体としての2つのヘツドが180度ずれて
取り付けられて、これらヘツドを磁気テープ上に
走行させることによつて画面信号を取り出すよう
になつている。したがつて、デイスクの周方向に
精密に180度の角度で取り付けられていなければ、
TV画面上の像にずれが生じてしまうから、
VTRの組立工程においては、そのデイスクに対
するヘツドの組立精度の検査が極めて重要とな
る。
In a VTR, two heads are attached to a rotating disk at a 180 degree angle, and screen signals are extracted by running these heads over a magnetic tape. Therefore, unless it is mounted at a precise 180 degree angle in the circumferential direction of the disk,
This will cause the image on the TV screen to shift.
In the VTR assembly process, it is extremely important to inspect the assembly accuracy of the head to the disk.

従来、デイスクに対するヘツドの組立精度を検
査するには、一対の顕微鏡をデイスクの回転軸に
対して正確に180度の対向角度で配置し、これら
各顕微鏡で拡大される各ヘツドの端面に設けられ
たスリツト部が各顕微鏡における視野の中心に位
置するか、否かによつて上記各ヘツドがデイスク
に精密に180度の角度で組立てられているかどう
かを測定していた。
Conventionally, in order to inspect the assembly accuracy of the head relative to the disk, a pair of microscopes is placed at exactly 180 degrees to the rotation axis of the disk, and a pair of microscopes is placed on the end face of each head to be magnified by each microscope. Whether each head was assembled to the disk at a precise angle of 180 degrees was determined by whether the slit section was located at the center of the field of view of each microscope.

しかしながら、このような測定手段によると、
一対の顕微鏡の光軸をデイスクの回転軸の中心に
正確に合せることや180度の対向角度で配置する
ことに多大な労力を要するばかりか誤差も生じや
すく、また測定に際してはピント調整を行なつた
り、一対の顕微鏡をそれぞれ覗かなければなら
ず、作業性が極めて悪い。しかも、顕微鏡による
測定は測定者が目で見て判断するから、判断基準
にばらつきが生じ、測定精度の向上には限界があ
つた。
However, according to such measurement means,
Accurately aligning the optical axes of a pair of microscopes with the center of the rotational axis of the disk and arranging them at 180-degree opposing angles not only requires a great deal of effort, but also tends to cause errors, and it is also necessary to adjust the focus during measurement. In addition, it is necessary to look through a pair of microscopes, which is extremely inefficient. Moreover, since measurements made using a microscope are made by the person measuring them visually, there are variations in the criteria for judgment, and there is a limit to the improvement of measurement accuracy.

そこで、デイスクとともに回転するヘツドにレ
ーザ光を入射させ、ヘツド端面のスリツト部から
散乱したレーザ光を差動アンプに接続された2つ
並んだセンサで受光して、差動アンプから出力さ
れる信号のうち一方のヘツドでのゼロクロス点か
ら他方のヘツドのゼロクロス点が得られるまでの
時間と、他方のヘツドのゼロクロス点から再度最
初のヘツドが検出されるゼロクロス点までの時間
とを比較から両ヘツドの180度の組立精度を求め
るようにした装置が提案されている。
Therefore, a laser beam is incident on the head that rotates with the disk, and the laser beam scattered from the slit on the end face of the head is received by two sensors connected to a differential amplifier, and a signal is output from the differential amplifier. The time from the zero cross point of one head to the zero cross point of the other head is compared with the time from the zero cross point of the other head to the zero cross point where the first head is detected again. A device has been proposed that requires an assembly accuracy of 180 degrees.

しかしながら、このような装置では、デイスク
を非常に安定に回転させなければ正確な組立精度
が得られない問題がある。なぜならば、VTRヘ
ツドの組立精度測定では、一般にデイスクの回転
スピードとして、16.7m/sに使用され、ヘツド
組立公差から測定誤差は0.1μ/s以下でなければ
ならず、このためにはデイスクの回転も6.0×
10-6の安定度が要求されるが、このような高い安
定度でデイスクを回転させることは現在の技術で
は非常に困難である。しかも、上述した装置では
デイスクの回転が安定するまで長時間待たなけれ
ば測定が行なえない。
However, such a device has the problem that accurate assembly accuracy cannot be obtained unless the disk is rotated very stably. This is because when measuring the assembly accuracy of a VTR head, the rotational speed of the disk is generally 16.7 m/s, and the measurement error must be less than 0.1 μ/s due to the head assembly tolerance. Rotation is also 6.0×
A stability of 10 -6 is required, but it is extremely difficult with current technology to rotate the disk with such high stability. Moreover, with the above-mentioned apparatus, measurement cannot be carried out without waiting for a long time until the rotation of the disk becomes stable.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的とするところは、高安定な回転体の
回転を必要とせずに各物体の組立精度を得ること
ができる組立精度測定装置を提供することにあ
る。
This invention was made in view of the above circumstances, and its purpose is to provide an assembly accuracy measuring device that can obtain assembly accuracy of each object without requiring highly stable rotation of a rotating body. There is a particular thing.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この発明は、被測定物を回転させる回転手段の
回転スピードの変化を補正演算処理して、任意の
二つの物体間の取付角度のずれ量を演算すること
により、回転の変動の影響に左右されることなく
任意の二つの物体の取付け角度のずれ量を求めよ
うとするものである。
This invention corrects changes in the rotational speed of the rotation means for rotating the object to be measured, and calculates the amount of deviation in the mounting angle between any two objects, thereby eliminating the influence of rotational fluctuations. The objective is to find the amount of deviation between the mounting angles of two arbitrary objects.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、この発明を図面に示す一実施例にもとづ
いて説明する。図中1は円板状をなした回転体と
してのVTRのデイスクである。このデイスク1
の中心部には回転軸2が設けられ、また上面周辺
部には物体として2つのヘツドの3a,3bがデ
イスク1の周方向に180度の角度となるように設
けられている。これらヘツド3a,3bは第2図
に示すように一端面が湾曲したほぼかまぼこ形を
なしていて、デイスク1の外周面から突出した湾
曲面には厚さ方向に沿つて散乱部としてのスリツ
ト部4が設けられている。
The present invention will be described below based on an embodiment shown in the drawings. In the figure, numeral 1 indicates a VTR disk which is a disc-shaped rotating body. This disk 1
A rotating shaft 2 is provided at the center of the disk 1, and two heads 3a and 3b are provided as objects at the periphery of the upper surface so as to form an angle of 180 degrees in the circumferential direction of the disk 1. As shown in FIG. 2, these heads 3a and 3b have a substantially semicylindrical shape with one end surface curved, and the curved surface protruding from the outer peripheral surface of the disk 1 has a slit portion as a scattering portion along the thickness direction. 4 are provided.

このようにしてヘツド3a,3bが組み付けら
れた被測定物であるデイスク1は、その回転軸2
が図示しない支持体に支持されてモータ15で回
転駆動され、上記一対のヘツド3a,3bがデイ
スク1の周方向に180度の角度で精密に設けられ
ているか、否かが測定装置5によつて測定され
る。この測定装置5は、以下の如く構成されてい
る。すなわち、デイスク1とともに回転駆動され
るデイスク3a,3bには、これらヘツド3a,
3bの湾曲面にレーザ発振器6から出力されるレ
ーザ光Lが第1のレンズ6aで集束されて所定の
入射角度で順番に照射される。ヘツド3a,3b
の湾曲面を照射したレーザ光は、通常湾曲面で正
反射するが、スリツト部4においては散乱する。
湾曲面からの正反射光L1はこの反射方向に配置
された遮光板7に当つて吸収され、散乱光L2
この散乱方向に配置された第2のレンズ8で集束
されて空間フイルタ9に向う。この空間フイルタ
9には、上記スリツト部4と直交する方向に細長
い透孔10が穿設されている。したがつて、散乱
光L2だけが上記透孔10を通過するようになつ
ている。また透孔10を通過した散乱光L2がス
リツト部4の像を形成する位置には、フオトデイ
テクタで構成される第1のセンサ11と第2のセ
ンサ12とがわずかに離間した状態で並設されて
いる。したがつて、散乱光L2によるスリツト部
4の像は、デイスク1とともにヘツド3a,3b
が回転することにより、第1のセンサ11で検知
されてから第2のセンサ12で検知されるように
なつている。そして、これらセンサ11,12の
うち第1のセンサ11は差動アンプ13の非反転
入力端子に接続され、第2のセンサは差動アンプ
13の反転入力端子に接続されていて、この差動
アンプ13によつて第1のセンサ11からの出力
E1と第2のセンサ12からの出力E2との差が演
算されるようになつている。そして、差動アンプ
13からの出力は演算回路14に入力される。演
算回路14では第1のセンサ11からの出力E1
と第2のセンサ12からの出力E2とから演算に
よつてゼロクロス点の周期を検出し、デイスク1
の回転に対するゼロクロス点間における周期時間
の平均率からヘツド3a,3bの相互の取付角度
のずれ量を演算するようにしている。すなわち、
デイスク1を所定回転n回(n≧2)以上回転さ
せて、レーザ光Lによる測定開始後、i回転目で
行なわれるヘツド3aに対応するゼロクロス点か
ら、さらに半回転後のヘツド3bに対応するゼロ
クロス点が現われるまでの周期時間をT1 iとし、
さらにデイスク1が半回転してヘツド3aに対応
するゼロクロス点が再度現われるまでの周期時間
をT2 iとしたとき、ヘツド3a,3bの相互のず
れ量Δθを; とデジタル演算することでデイスク1の回転スピ
ードの変動から最も影響を受けにくい状態でヘツ
ド3a,3bの相互のずれを検出することができ
るようになつている。そして、このずれ量の結果
は演算回路14に内蔵された図示しない表示部で
表示されるようになつている。なお、上述した式
において、kは時間差を角度差へ変換するための
変換定数である。
The disk 1, which is the object to be measured, has the heads 3a and 3b assembled in this way.
is supported by a support (not shown) and rotationally driven by a motor 15, and the measuring device 5 determines whether or not the pair of heads 3a, 3b are precisely provided at an angle of 180 degrees in the circumferential direction of the disk 1. measured. This measuring device 5 is configured as follows. That is, the disks 3a, 3b that are rotationally driven together with the disk 1 have heads 3a, 3b.
Laser light L output from the laser oscillator 6 is focused by the first lens 6a and sequentially irradiated onto the curved surface of the laser beam 3b at a predetermined angle of incidence. Heads 3a, 3b
The laser beam irradiated on the curved surface is normally reflected specularly by the curved surface, but is scattered at the slit portion 4.
The specularly reflected light L1 from the curved surface hits the light shielding plate 7 arranged in this reflection direction and is absorbed, and the scattered light L2 is focused by the second lens 8 arranged in this scattering direction and is sent to the spatial filter 9. Head over. This spatial filter 9 is provided with an elongated through hole 10 in a direction perpendicular to the slit portion 4 . Therefore, only the scattered light L2 passes through the through hole 10. In addition, at the position where the scattered light L 2 that has passed through the through hole 10 forms an image of the slit portion 4, a first sensor 11 and a second sensor 12 composed of photodetectors are arranged side by side with a slight distance between them. has been done. Therefore, the image of the slit portion 4 due to the scattered light L2 is not only reflected on the disk 1 but also on the heads 3a and 3b.
By rotating, it is detected by the first sensor 11 and then detected by the second sensor 12. Of these sensors 11 and 12, the first sensor 11 is connected to the non-inverting input terminal of the differential amplifier 13, and the second sensor is connected to the inverting input terminal of the differential amplifier 13. The output from the first sensor 11 by the amplifier 13
The difference between E 1 and the output E 2 from the second sensor 12 is calculated. The output from the differential amplifier 13 is then input to the arithmetic circuit 14. In the arithmetic circuit 14, the output E 1 from the first sensor 11
and the output E2 from the second sensor 12 to detect the period of the zero cross point, and
The amount of deviation in the mutual mounting angles of the heads 3a and 3b is calculated from the average rate of the cycle time between zero crossing points with respect to the rotation of the head. That is,
After rotating the disk 1 a predetermined number of times (n≧2) or more and starting the measurement using the laser beam L, the zero cross point corresponding to the head 3a, which is performed at the i-th rotation, corresponds to the head 3b after another half rotation. Let T 1 i be the cycle time until the zero crossing point appears,
Further, when the cycle time until the disk 1 rotates half a rotation and the zero cross point corresponding to the head 3a appears again is T 2 i , the mutual deviation amount Δθ of the heads 3a and 3b is: By digitally calculating the difference between the heads 3a and 3b, it is possible to detect the mutual deviation between the heads 3a and 3b in a state where it is least affected by fluctuations in the rotational speed of the disk 1. The result of this deviation amount is displayed on a display unit (not shown) built into the arithmetic circuit 14. Note that in the above equation, k is a conversion constant for converting a time difference into an angular difference.

つぎにこのように構成された測定装置5の作用
について説明する。まず、デイスク1を回転する
とともにレーザ発振器6を作動させてレーザ光L
を出力すると、このレーザ光Lはデイスク1とと
もに回転する一対のヘツド3a,3bの湾曲面を
順次照射することになる。レーザ光Lが一方のヘ
ツド3aの湾曲面を照射したとき、このレーザ光
Lはスリツト部4を除く個所では正反射するか
ら、この正反射光L1は遮光板7に当つて吸収さ
れる。しかし、レーザ光Lがスリツト部4を照射
したときには、このスリツト部4で散乱するの
で、この散乱光L2は第2のレンズ8で集束され
て空間フイルタ9の透孔10を通過する。そし
て、スリツト部4の像を形成した散乱光L2は、
デイスク1とともにヘツド3aが回転することに
より、第3図に矢印で示すように第1のセンサ1
1から第2のセンサ12へと移行してこれらセン
サ11,12により検知される。したがつて、差
動アンプ13での第1のセンサ11の出力E1
第2のセンサ12の出力E2との差ΔEは第4図に
示すように正から負へと反転する。そしてこのと
きのスリツト部4の像を形成する散乱光L2が第
1のセンサ11から第2のセンサ12に移行する
瞬間がゼロクロス点Z1 1となり、このゼロクロス
点Z1 1が生じたときの時間が演算回路14に記憶
される。
Next, the operation of the measuring device 5 configured as described above will be explained. First, the disk 1 is rotated and the laser oscillator 6 is activated to emit a laser beam L.
When this laser beam L is outputted, the curved surfaces of the pair of heads 3a and 3b rotating together with the disk 1 are sequentially irradiated with the laser beam L. When the laser beam L irradiates the curved surface of one head 3a, the laser beam L is specularly reflected at a portion other than the slit portion 4, so that the specularly reflected light L1 hits the light shielding plate 7 and is absorbed. However, when the laser beam L irradiates the slit portion 4, it is scattered by the slit portion 4, so this scattered light L2 is focused by the second lens 8 and passes through the through hole 10 of the spatial filter 9. The scattered light L 2 that formed the image of the slit portion 4 is
As the head 3a rotates together with the disk 1, the first sensor 1 is rotated as shown by the arrow in FIG.
1 to the second sensor 12 and is detected by these sensors 11 and 12. Therefore, the difference ΔE between the output E 1 of the first sensor 11 and the output E 2 of the second sensor 12 in the differential amplifier 13 is reversed from positive to negative as shown in FIG. Then, the moment when the scattered light L 2 forming the image of the slit portion 4 transfers from the first sensor 11 to the second sensor 12 becomes the zero cross point Z 1 1 , and when this zero cross point Z 1 1 occurs The time is stored in the arithmetic circuit 14.

ついで、デイスク1が半回転することにより、
他方のヘツド3bのスリツト部4からの散乱光
L2が第1、第2のセンサ11,12によつて検
知され、このときのゼロクロス点Z2 1が先程と同
じように差動アンプ13で演算される。そして、
先程のゼロクロス点Z1 1が検知されてから今度の
ゼロクロス点Z2 1が検知されるまでの時間T1 1が演
算回路14に記憶される。
Then, by rotating disk 1 by half a rotation,
Scattered light from the slit portion 4 of the other head 3b
L 2 is detected by the first and second sensors 11 and 12, and the zero crossing point Z 2 1 at this time is calculated by the differential amplifier 13 in the same way as before. and,
The time T 1 1 from when the previous zero-crossing point Z 1 1 is detected to when the next zero-crossing point Z 2 1 is detected is stored in the arithmetic circuit 14 .

さらに、デイスク1が半回転することにより、
再度ヘツド3aのスリツト部4からの散乱光L2
が第1、第2のセンサ11,12によつて検知さ
れて、このときのゼロクロス点Z1 2が再び差動ア
ンプ13で演算される。そして、ヘツド3bのゼ
ロクロス点Z2 1が演算されてからこのときのゼロ
クロス点Z1 2が演算されるときまでの時間T2 1が演
算回路14に記憶される。
Furthermore, by rotating the disk 1 by half a rotation,
Scattered light L 2 from the slit portion 4 of the head 3a again
is detected by the first and second sensors 11 and 12, and the zero-crossing point Z 1 2 at this time is calculated again by the differential amplifier 13. The time T 2 1 from when the zero cross point Z 2 1 of the head 3b is calculated to when the current zero cross point Z 1 2 is calculated is stored in the calculation circuit 14.

そして、このようにして得られた時間T1 1と時
間T2 1との比較から、2つのスリツト部4,4間
の対向角(180度)のずれが得られるが、このよ
うにたんの両者の周期時間を比較してずれ量を得
るのでは、技術的に困難とされるデイスク1の高
安定が要求されて始めて精度が得られるところ
で、最初の半回転と、後の半回転とのデイスク1
の回転スピードが変動するといつたモータ等の駆
動では測定に誤差を生じる。
Then, by comparing the time T 1 1 and the time T 2 1 obtained in this way, the deviation of the opposing angle (180 degrees) between the two slit parts 4, 4 can be obtained. Obtaining the amount of deviation by comparing the period times of the two requires high stability of disk 1, which is technically difficult, and accuracy can only be obtained by comparing the first half rotation and the second half rotation. disk 1
If the rotational speed of the motor changes, an error will occur in the measurement.

しかしながら、この発明ではデイスク1の回転
スピードの変動を補正してヘツド3a,3b相互
の取付角度のずれ量を演算する演算回路14を用
いたことで、高安定なデイスク1の回転を必要と
せずにヘツド3a,3bの正確な組立精度を得る
ことができる。
However, in this invention, by using the arithmetic circuit 14 that corrects the variation in the rotational speed of the disk 1 and calculates the amount of deviation in mounting angle between the heads 3a and 3b, highly stable rotation of the disk 1 is not required. Accurate assembly precision of the heads 3a and 3b can be obtained.

この点にちき詳細に説明すれば、デイスクの回
転スピードが単調に速くあるいは遅くなるとき
は、上述したデイスク1の回転が2回転目に入
り、再度ヘツド3bのスリツト部4に対応するゼ
ロクロス点Z2 2が現われるまでの時間T1 2を得て; Δθ=k×(T1 1−T2 1)−(T2 1−T1 2)/2 なるデジタル演算を行なうことにより、デイスク
1の回転スピード変化が相殺されて正確に180度
に対する対向角ずれ量Δθが得られる。但し、k
は時間差を角度差に変換するための変換定数であ
る。
To explain this point in detail, when the rotation speed of the disk monotonically increases or decreases, the rotation of the disk 1 described above enters the second rotation, and the zero cross point corresponding to the slit portion 4 of the head 3b is reached again. By obtaining the time T 1 2 until Z 2 2 appears; and performing the digital calculation Δθ=k×(T 1 1 −T 2 1 )−(T 2 1 −T 1 2 )/2, the disk 1 The changes in rotational speed are canceled out, and an accurate facing angle deviation amount Δθ for 180 degrees can be obtained. However, k
is a conversion constant for converting a time difference into an angular difference.

またデイスク1の回転スピードが単時間にゆら
ぐときは、デイスク1をn回回転(n≧2)させ
てT1−T2の単純平均を次式で求めれば正確に対
向角ずれ量Δθが得られる。
In addition, when the rotational speed of disk 1 fluctuates in a single time period, by rotating disk 1 n times (n≧2) and calculating the simple average of T 1 - T 2 using the following formula, the opposing angle deviation amount Δθ can be obtained accurately. It will be done.

Δθ=k×om=KN(T1 i−T2 i) しかして、上述した変化状態が組合わされ複雑
に回転する一般のモータ等といつた駆動では、上
述した2つの式の組合せとなり、対向角ずれ量
Δθとしては演算回路14にプログラムされた、 なる演算を差動アンプ13からの信号から行なう
ことにより、デイスク1に組立てられた一対のヘ
ツド3a,3bが正確に180度の角度(対向角)
で設けられているならば、Δθ=0となるから、
上記演算回路14がデイスク1の回転に対する周
期時間の平均率(補正)を演算することによつて
デイスク1の回転スピードが変動しても一対のヘ
ツド3a,3bの組立精度が精度良く求められる
ことになる。そして、この演算の結果は図示しな
い表示部に表示される。
Δθ=k× om=KN (T 1 i −T 2 i ) However, in the case of a drive such as a general motor that rotates in a complicated manner by combining the above-mentioned changing states, the above two equations are The opposing angle deviation amount Δθ is programmed in the arithmetic circuit 14. By performing the following calculation from the signal from the differential amplifier 13, the pair of heads 3a and 3b assembled on the disk 1 can be accurately aligned at an angle of 180 degrees (opposing angle).
If it is set, Δθ=0, so
The arithmetic circuit 14 calculates the average rate (correction) of the periodic time for the rotation of the disk 1, so that even if the rotational speed of the disk 1 changes, the assembly precision of the pair of heads 3a and 3b can be determined with high accuracy. become. The result of this calculation is then displayed on a display section (not shown).

なお、上述した一実施例では回転体であるデイ
スクに物体として2つのヘツドが組立てられた場
合について述べたが、VTRヘツドに限らず、回
転体に取り付けられた部品の取り付け測定に幅広
く適用でき、また物体は4つあるいはそれ以上の
偶数個であつても二点間の物体のずれ量を、例え
ば1つ飛ばして測定すれば、一実施例と同様に測
定できる。
In addition, in the above-mentioned embodiment, a case was described in which two heads were assembled as objects on a disk, which is a rotating body, but the present invention can be widely applied not only to VTR heads but also to a wide range of installation measurements of parts attached to a rotating body. Furthermore, even if there are an even number of objects such as four or more, the amount of deviation of the objects between two points can be measured in the same way as in the first embodiment by skipping one point and measuring.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したようにこの発明によれば、回転体
の回転スピードが変動しても、回転の変動に影響
されることなく物体相互の取付け角度のずれ量を
求めることができるようになり、高安定な回転体
の回転を必要とせずに各物体の組立精度を測定す
ることができる。しかも、回転体の回転スピード
が変動しても正確に測定できるから、回転開始直
後から測定を行なうことができる。そのうえ、演
算処理する演算式は簡単なので演算回路は簡単、
かつ単純なものですむといつた利点がある。
As explained above, according to the present invention, even if the rotational speed of the rotating body changes, it is possible to determine the amount of deviation in the mounting angle between the objects without being affected by the fluctuation in rotation, resulting in high stability. The assembly accuracy of each object can be measured without the need for rotating a rotating body. Furthermore, since accurate measurements can be made even if the rotational speed of the rotating body changes, measurements can be made immediately after the rotation starts. Moreover, the calculation formula to be processed is simple, so the calculation circuit is simple.
It also has the advantage of being simple.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面はこの発明の一実施例を示し、第1図は組
立精度測定装置の概略構成図、第2図は物体であ
るヘツドの斜視図、第3図は第1、第2のセンサ
によつて物体からのレーザ光が検知される状態を
示す正面図、第4図は差動アンプから出力される
演算信号を示す線図である。 1……デイスク(回転体)、3a,3b……ヘ
ツド(物体)、4……スリツト部(散乱部)、6…
…レーザ発振器、11……第1のセンサ、12…
…第2のセンサ、13……差動アンプ、14……
演算回路、15……モータ(回転手段)、L……
レーザ光、L1……正反射光、L2……散乱光。
The drawings show one embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is a schematic configuration diagram of an assembly accuracy measuring device, Fig. 2 is a perspective view of the head, which is an object, and Fig. 3 is a A front view showing a state in which laser light from an object is detected, and FIG. 4 is a diagram showing arithmetic signals output from a differential amplifier. 1... Disk (rotating body), 3a, 3b... Head (object), 4... Slit part (scattering part), 6...
...Laser oscillator, 11...First sensor, 12...
...Second sensor, 13...Differential amplifier, 14...
Arithmetic circuit, 15...Motor (rotating means), L...
Laser light, L 1 ... specularly reflected light, L 2 ... scattered light.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 回転体の周方向に沿つて、散乱部を備える複
数個の物体を取り付けてなる被測定物の上記任意
の二つの物体間の組立精度を測定する組立精度測
定装置において、 上記被測定物を支持し回転させる手段と、 この回転手段により回転させられた上記物体の
ある位置に対してレーザ光を照射するレーザ発振
器と、 このレーザ発振器より照射させられたレーザ光
が物体により散乱したレーザ光を検知する位置に
並設された第1のセンサおよび第2のセンサと、 これらセンサからの出力信号が入力される差動
アンプと、 この差動アンプから被測定物を所定回数n回
(n≧2)以上回転させた時の上記物体のうち任
意の2個である第1および第2の物体に対応する
第1および第2の出力信号を検出し、この測定開
始から、i回転目の第1の出力信号のゼロクロス
点から第2の出力信号のゼロクロス点への周期時
間T1 i、i回転目の第2の出力信号から第1の出
力信号へのゼロクロス点の周期時間T2 iとしたと
き、 で二つの物体のずれ量を演算する演算回路とを具
備したことを特徴とする組立精度測定装置。
[Claims] 1. An assembly accuracy measuring device for measuring the assembly accuracy between any two objects to be measured, in which a plurality of objects each having a scattering section are attached along the circumferential direction of a rotating body. , means for supporting and rotating the object to be measured; a laser oscillator for irradiating a laser beam onto a certain position of the object rotated by the rotating means; a first sensor and a second sensor arranged in parallel at a position to detect laser light scattered by the sensor; a differential amplifier into which output signals from these sensors are input; and a predetermined object to be measured from this differential amplifier. Detect first and second output signals corresponding to the first and second objects, which are arbitrary two of the objects mentioned above, when rotated at least n times (n≧2), and from the start of this measurement. , period time T 1 i from the zero-crossing point of the first output signal of the i-th rotation to the zero-crossing point of the second output signal, period time T 1 i of the zero-crossing point of the second output signal of the i-th rotation to the first output signal. When the cycle time is T 2 i , An assembly accuracy measuring device characterized by comprising: a calculation circuit for calculating the amount of deviation between two objects.
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CN105890517B (en) * 2015-01-23 2018-08-07 北京空间飞行器总体设计部 A kind of accuracy measurement method based on Complex Different Shape accurate measurement mirror

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