JPH01263506A - Light amplification displacement sensor and position control device - Google Patents

Light amplification displacement sensor and position control device

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Publication number
JPH01263506A
JPH01263506A JP9233288A JP9233288A JPH01263506A JP H01263506 A JPH01263506 A JP H01263506A JP 9233288 A JP9233288 A JP 9233288A JP 9233288 A JP9233288 A JP 9233288A JP H01263506 A JPH01263506 A JP H01263506A
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JP
Japan
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light
light receiving
internal angle
pair
following
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Application number
JP9233288A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Sato
寛 佐藤
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Daiichi Electric Co Ltd
Original Assignee
Daiichi Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To enable the automatic tracing of displacement by light, by providing a phototransistor (PHT) and a photosensor in directions to the interior angle planes of a prism. CONSTITUTION:A prism 1 is provided on a ram plate 30 of a press brake, while PHT 2 and a photosensor 3 are provided in the fore end 31 of a linear actuator. The PHT 2 and the sensor 3 are provided in directions to the interior angle planes 1a and 1b respectively so that a light be reflected by the interior angle planes 1a and 1b and sensed by the sensor 3. The prism 1 is provided to that it traverses the PHT 2 and the sensor 3, i.e. so that it is movable vertically, and the PHT 2 and the sensor 3 are also provided so that they are movable vertically. When they are displaced relatively, accordingly, the width of bends of an optical path is made large or small by the prism 1. Therefore a return optical path is doubly displaced.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、広くは変位センサに間するものであり、特に
光線を利用した変位センサに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates generally to displacement sensors, and particularly to displacement sensors that utilize light beams.

就中、その第1の発明は、光の反射面を内角に有する内
角反射手段を用いて光増幅させた光増幅変位センサに間
するものである。
Particularly, the first aspect of the present invention is an optical amplification displacement sensor that amplifies light using an internal angle reflecting means having a light reflecting surface at an internal angle.

そして、その第2の発明は、この光増幅変位センサを用
いて、一対の受光部と差動アンプとで変位を検知する光
増幅変位センサに間するものである。
The second invention uses this optically amplified displacement sensor to form an optically amplified displacement sensor that detects displacement using a pair of light receiving sections and a differential amplifier.

さらに、その第3の発明は、この第2の発明を使用して
、駆動手段を制御し、よって内角反射手段等を移動制御
し、それで位置制御をぜんとする位置制御装置に間する
ものである。
Furthermore, the third invention uses the second invention to control the driving means, thereby controlling the movement of the internal angle reflecting means, etc., thereby providing a position control device that completely controls the position. be.

また、その第4の発明は、一対の受光部分と差動アンプ
とで変位を検知する光変位センサで駆動手段を制御し、
よって非測定物等を移動制御し、それで位置制御をぜん
とする位置制御装置に関するものである。
Further, the fourth invention controls the driving means with an optical displacement sensor that detects displacement using a pair of light receiving portions and a differential amplifier,
Therefore, the present invention relates to a position control device that controls the movement of a non-measurable object and thereby performs complete position control.

最後に、その第5の発明は、上記の第4の発明の受光部
分を位置追尾用に特に改良したものであって、その位置
追尾用の位置制御装置に関す4ものである。
Finally, the fifth invention is one in which the light receiving portion of the fourth invention is particularly improved for position tracking, and relates to a position control device for position tracking.

[従来の技術] 変位検知器は、接触型では機械式があり、非接触型では
磁気式とか光学式等種々のものが従来より存在している
。そして、光学式では、発光ダイオードとフォトトラン
ジスタを対向して組み合わせたものがその典型例である
[Prior Art] Various types of displacement detectors have conventionally existed, such as contact type mechanical type, and non-contact type such as magnetic type and optical type. A typical example of an optical type is a combination of a light emitting diode and a phototransistor facing each other.

また、位置制御装置も純機械式や純油圧式のもの等があ
り、さらには機械式や油圧式等と電気や電子制御器を組
み合わせたものがある。
Furthermore, there are position control devices that are purely mechanical or purely hydraulic, and there are also those that combine mechanical or hydraulic types with electric or electronic controllers.

[発明が解決しようとする課題] 発光ダイオードとフォトトランジスタを対向して組み合
わせたものは、発光ダイオードまたはフォトトランジス
タの変位とその光線の光路の変位がl対1であるからそ
の変位検知の精度が上がるものではない、したがって、
微少な変位の測定には向かない。
[Problems to be Solved by the Invention] In a combination of a light emitting diode and a phototransistor facing each other, the displacement of the light emitting diode or phototransistor and the displacement of the optical path of the light beam are l:1, so the accuracy of displacement detection is low. It's not something that goes up, so
Not suitable for measuring minute displacements.

今、ここに非測定物の変位とその光線の光路の変位が1
対2のもの、すなわち非測定物が11変位したときその
光線の光路が2mm変位するものがあったとすれば、そ
の変位検知の精度は倍になり微少な変位の測定が可能に
なる。光学式の変位検知器は機械式や8i気式と異なり
、計測器自体に変位に対する機械的な負荷(抵抗)がな
いゆえに、微少で変位力の非常に弱い非測定物の変位測
定には理想的なものができる。
Now, the displacement of the non-measurable object and the displacement of the optical path of the light beam are 1
If there is a pair 2, that is, the optical path of the light beam is displaced by 2 mm when the non-measured object is displaced by 11, the accuracy of displacement detection will be doubled, making it possible to measure minute displacements. Optical displacement detectors differ from mechanical and 8i-type displacement detectors because there is no mechanical load (resistance) on the measuring device itself, making it ideal for measuring the displacement of non-measurable objects with minute and very weak displacement forces. I can do something like that.

もちろん、その光路の変位が倍になるということは、大
きなものの変位測定においても大変に向いている。たと
えば、非測定物が1m変位した場合にその光路は2m変
位するということであるゆえに、その変位を精度よく容
易に検知できることになる。特に、変位のスピードのみ
が速くて変位力が微少で非常に弱い非測定物の測定には
機械式のものでは不可能である。もちろん磁気式では大
きなものの変位測定は不可能である。
Of course, the fact that the displacement of the optical path is doubled makes it very suitable for measuring the displacement of large objects. For example, if the object to be measured is displaced by 1 m, its optical path will be displaced by 2 m, so that the displacement can be easily detected with high accuracy. In particular, it is impossible to measure a non-measurable object where only the speed of displacement is high and the displacement force is minute and very weak using a mechanical type. Of course, it is impossible to measure the displacement of large objects using the magnetic method.

斯様に、その光路の変位が倍になるという光学式の変位
検知器があれば、その応用範囲は大変に広がる。しかし
、従来はそのような光増幅のできる変位検知器はなかっ
たゆえに、種々の制約を受けた。
In this way, if there were an optical displacement detector that could double the displacement of the optical path, its range of applications would greatly expand. However, since there was no conventional displacement detector capable of such optical amplification, it was subject to various limitations.

したがって当然ながら、光増幅のできる投光部と1対の
受光部と差動アンプを使用した光増幅変位検知器と言う
ものはなかったゆえに、同様に種々の制約を受けた。
Naturally, therefore, since there was no such thing as an optically amplified displacement detector that used a light emitting section capable of optical amplification, a pair of light receiving sections, and a differential amplifier, various restrictions were similarly imposed.

さらには、光増幅のできる投光部と1対の受光部と差動
アンプで位置制御すると言う位置制御装置と言うものは
なかったゆえに、同様に種々の制約を受けた。
Furthermore, since there was no position control device that controlled the position using a light emitting section capable of optical amplification, a pair of light receiving sections, and a differential amplifier, various restrictions were similarly imposed.

[課題を解決するための手段] 本発明にかかる光増幅変位センサと位置制御装置は、そ
の第1の発明はプリズム等光の反射面を内角に有する内
角反射手段を用い、この内角反射手段の内角面に向かっ
て投光手段と受光手段を設けたものである。そして、そ
の第2の発明は、この第1の発明の受光手段を1対の受
光部分と差動アンプにしたものである。さらに、その第
3の発明は、第2の発明の出力でもって駆動手段を制御
し内角反射手段等の位置制御をぜんと成したものである
[Means for Solving the Problems] In the optical amplification displacement sensor and position control device according to the present invention, the first invention uses an internal angle reflecting means having a light reflecting surface such as a prism at an internal angle, and A light projecting means and a light receiving means are provided toward the inner corner surface. The second invention is such that the light receiving means of the first invention is combined with a pair of light receiving portions and a differential amplifier. Further, the third invention completely controls the position of the internal angle reflecting means and the like by controlling the driving means using the output of the second invention.

以下に、本発明にかかる光増幅変位センサと位置制御装
置の具体的な構成を詳細に述べる。
The specific configurations of the optically amplified displacement sensor and position control device according to the present invention will be described in detail below.

最初に第1の発明を述べる。これは、光増幅変位センサ
である。まず、プリズム等光の反射面を内角特に直角に
有する内角反射手段がある。つぎに、投光手段と受光手
段がある。この投光手段と受光手段は、上記の内角反射
手段の内角面に向かって設けられたものである。
First, the first invention will be described. This is an optically amplified displacement sensor. First, there is an internal angle reflecting means having a light reflecting surface such as a prism at an internal angle, particularly at a right angle. Next, there is a light projecting means and a light receiving means. The light projecting means and the light receiving means are provided toward the internal angle surface of the internal angle reflecting means.

しかして、上記の内角反射手段または/および上記の投
光手段の投光部分または/および上記の受光手段の受光
部分は、相対的に横切る関係に移動自在に設けられたも
のである。
Thus, the internal angle reflecting means and/or the light projecting portion of the light projecting device and/or the light receiving portion of the light receiving device are provided so as to be movable in a relatively transverse relationship.

つぎに第2の発明であるが、これは上記の第1の発明の
全てを利用したものであるゆえに、上記した光増幅変位
センサの構成の全てをここに援用する。
Next is the second invention, which utilizes all of the above-described first invention, so all of the configurations of the above-described optical amplification displacement sensor are used here.

しかして、上記の受光手段は、隣合わせに並べられた一
対の受光部分と、この一対の受光部分からの出力を入力
する差動アンプより成るものである。
The light receiving means described above is comprised of a pair of light receiving portions arranged next to each other and a differential amplifier inputting the outputs from the pair of light receiving portions.

そして、第3の発明であるが、これは上記の第2の発明
の全てを利用した位置制御装置であるゆえに、上記した
光増幅変位センサの構成の全てをここに援用する。
The third invention is a position control device that utilizes all of the second invention, so all of the configurations of the optical amplification displacement sensor described above are used here.

しかして、上記の第2の発明の差動アンプに制御される
ものであって、上記の内角反射手段または/および上記
の投光手段の投光部分または/および上記の受光手段の
受光部分を横切る関係に移動させる駆動手段が設けられ
ている。
Accordingly, it is controlled by the differential amplifier of the second aspect of the invention, and the internal angle reflection means and/or the light emitting portion of the light emitting means and/or the light receiving portion of the light receiving means are controlled by the differential amplifier of the second aspect of the invention. Drive means are provided for moving in transverse relation.

また第4の発明であるが、上記の第3の発明の内角反射
手段を省略したものゆえに、ここを除いて上記の第3の
発明の構成の全てをここに援用する。
Furthermore, since the fourth invention omits the internal angle reflection means of the third invention, all of the configurations of the third invention except for this are incorporated herein.

最後に、その第5の発明は、その位置追尾用の位置制御
装置に間するものである。これは、上記の第4の発明の
受光部分が、隣合わせに並べられたものであって反射光
の移動方向に伸びた長方形のものであって且つその反射
光がどの位置にあっても受光する大きさのものである。
Finally, the fifth invention relates to a position control device for position tracking. This is because the light-receiving portions of the fourth aspect of the invention are arranged side by side and are rectangular extending in the moving direction of the reflected light, and the reflected light is received no matter where it is located. It's about the size.

その他の構成は、上記の第4の発明と同じである。The other configurations are the same as the fourth invention described above.

[作 用コ 本発明にかかる光増幅変位センサと位置制御装置は、以
上のごとき構成になしたゆえに、下記のごとき作用が生
じた。
[Function] Since the optical amplification displacement sensor and position control device according to the present invention have the above-described configuration, the following effects occur.

最初にその第1の発明は、まず、光増幅変位センサの投
光手段と受光手段が、プリズム等光の反射面を内角特に
直角に有する内角反射手段の内角面に向かって設けられ
ているゆえに、光路はこの内角反射手段で折り曲げられ
た「コの字ノ型になる。
First, the first invention is that the light emitting means and the light receiving means of the optical amplification displacement sensor are provided toward the inner angle surface of the inner angle reflecting means, such as a prism, which has a light reflecting surface at an inner angle, particularly at a right angle. , the optical path becomes a U-shape that is bent by this internal angle reflection means.

そして、上記の内角反射手段または/および上記の投光
手段の投光部分または/および上記の受光手段の受光部
分は、相対的に横切る関係に移動自在に設けられたもの
であるゆえに、これらが相対的に変位すると光路の折曲
がり幅はその反射手段で広くなったり狭くなったりする
。したがって、この内角反射手段から帰ってくる光路は
2倍の変位をすることになる。
The internal angle reflecting means and/or the light emitting portion of the light emitting means and/or the light receiving portion of the light receiving means are provided so as to be movable in a relatively transverse relationship. When the relative displacement occurs, the bending width of the optical path becomes wider or narrower depending on the reflecting means. Therefore, the optical path returning from this internal angle reflection means will undergo twice the displacement.

第2の発明においては、その受光手段が隣合わせに並べ
られた1対の受光部分と、この1対の受光部分からの出
力を入力する差動アンプより成るゆえに、この1対の受
光部分にその投光手段からの光の変位がある°とこれを
差動アンプが出力するようになっている。
In the second invention, since the light receiving means is composed of a pair of light receiving parts arranged next to each other and a differential amplifier inputting the output from the pair of light receiving parts, When there is a displacement of light from the light projecting means, the differential amplifier outputs this displacement.

そして第3の発明の位置制御装置においては、上記の第
2の発明からの出力信号で駆動手段制御し、これが上記
の内角反射手段または/および上記の投光手段の投また
は/および上記の受光手段の受光部分を横切る関係に移
動させる。
In the position control device of the third aspect of the invention, the drive means is controlled by the output signal from the second aspect of the invention, and the drive means is controlled by the internal angle reflection means and/or the light projection means and/or the light receiving means. The light-receiving portion of the means is moved into transverse relation.

さらに、第4の発明においては、上記の第3の発明の内
角反射手段を省略したものゆえに、ここを除いて上記の
第3の発明の作用の全てをここに援用する。
Furthermore, in the fourth invention, since the internal angle reflection means of the third invention is omitted, all of the functions of the third invention except for this are incorporated herein.

最後に、第5の発明においては、上記の一対の受光部分
が、隣合わせに並べられたものであって反射光の移動方
向に伸びた長方形のものであって且つその反射光がどの
位置にあっても受光する大きさのものゆえに、その起動
が完全であり素早くて動作中もその受光部分がその反射
光を完全にカバーする。
Finally, in the fifth invention, the pair of light-receiving parts are arranged next to each other and have a rectangular shape extending in the moving direction of the reflected light, and where the reflected light is located. Because it is large enough to receive even light, its activation is complete and quick, and its light-receiving portion completely covers the reflected light even during operation.

[実施例コ 以下に、本発明にかかる光増幅変位センサと位置制御装
置をその各実施例を用いて添付の図面と共に詳細に説明
する。
[Embodiments] Hereinafter, the optical amplification displacement sensor and position control device according to the present invention will be explained in detail using respective embodiments thereof with reference to the accompanying drawings.

第1図は、本発明にかかる光増幅変位センサと位置制御
装置の第1の発明を使用したところのプレスブレーキの
一実施例の概略側面図である。第2図と第3図および第
4図と第5図は、その内角反射手段の一実施例の側面図
であって、光路を示したものである。
FIG. 1 is a schematic side view of an embodiment of a press brake using the first invention of the optically amplified displacement sensor and position control device according to the present invention. FIGS. 2, 3, 4, and 5 are side views of one embodiment of the internal angle reflecting means, showing the optical path.

最初に第1の発明を述べる。これは、光増幅変位センサ
である。まず、プレスブレーキのラム板30にプリズム
lが設けである。このプリズムlに代えて、鏡を2枚そ
の内面を内側にしてその一辺同士をつなぐ等、光の反射
面を内角特に直角に有するものなら何を使用してもよい
、したがって、第6図に示すごときに、直方体の一画を
切り取りプリズムにした形状のコーナーキューブを用い
てもよい。そして、この角度は必ずしも直角に限定され
るものではなく、そのフォットトランジスタ2の位置と
光センサ3の位置との関係でその角度が決まる。
First, the first invention will be described. This is an optically amplified displacement sensor. First, a prism l is provided on the ram plate 30 of the press brake. Instead of this prism 1, any material having a light reflecting surface at an internal angle, particularly at a right angle, may be used, such as connecting two mirrors with their inner surfaces facing inside, one side at a time. Therefore, as shown in FIG. As shown, a corner cube shaped like a prism by cutting out one stroke of a rectangular parallelepiped may be used. This angle is not necessarily limited to a right angle, but is determined by the relationship between the position of the phototransistor 2 and the position of the optical sensor 3.

つぎに、投光手段の一部であるフォトトランジスタ2と
受光手段の一部である光センサ3が、リニアアクチュエ
ータの先端31に設けである。このフォトトランジスタ
2と光センサ3は、上記のプリズム1の内角面1aと1
bで光が反射されて上記の光センサ3に受光されるよう
に、それぞれその内角面1aとlbに向かって設けられ
たものである。この場合、このプリズムlに直角プリズ
ム(または直角接合の鏡)を使用するなら、その取り付
は角度は正確である必要はない。蓋し、直角プリズムは
多少傾いていても、第3図に示す光路4のごとくに、反
射光は正確に返フてくるためである。
Next, a phototransistor 2, which is part of the light projecting means, and an optical sensor 3, which is part of the light receiving means, are provided at the tip 31 of the linear actuator. The phototransistor 2 and the optical sensor 3 are connected to the inner angular surfaces 1a and 1 of the prism 1 described above.
They are provided toward the inner angle surfaces 1a and lb, respectively, so that the light is reflected by the light sensor 3 and received by the optical sensor 3. In this case, if a right-angle prism (or right-angle junction mirror) is used as the prism l, the angle of its attachment does not need to be accurate. This is because even if the rectangular prism is slightly tilted, the reflected light will return accurately as shown in the optical path 4 shown in FIG.

しかして、上記のプリズムlは、上記のフォットトラン
ジスタ2および上記の光センサ3を横切る関係、すなわ
ち第1IIで言えば上下に移動自在に設けられたもので
ある。と同時に、上記のフォットトランジスタ2および
上記の光センサ3も上下に移動自在に設けられている。
Thus, the prism l is provided so as to be able to move vertically across the phototransistor 2 and the optical sensor 3, that is, in terms of the first II. At the same time, the above-mentioned phototransistor 2 and the above-mentioned optical sensor 3 are also provided vertically movably.

他の実施例においては、これらは、相対的に横切る関係
に移動自在に設けられてもよい、すなわち、それらのど
れかが、あるいはそれらの内の2個が、さらにはそれら
の全てが変位する構成にしてもよい。
In other embodiments, they may be disposed movably in a transverse relationship with respect to each other, i.e. any of them, or two of them, or even all of them, may be displaced. It may be configured.

斯様にして、第4図に示すごとくにこのプリズムlが実
線の位置から点線の位置に変位すると、そのプリズム1
からの反射光路は実線の位置から点線の位置まで変位す
る。すなわち、そのプリズムlからの反射光路は、プリ
ズムlの変位量の倍変位する。したがって、ここで光増
幅が行なわれるゆえに、その変位の検知の精度は倍にな
ると言うものである。
In this way, when this prism 1 is displaced from the position shown by the solid line to the position shown by the dotted line as shown in FIG.
The reflected optical path from the point is displaced from the position of the solid line to the position of the dotted line. That is, the reflected optical path from the prism l is displaced twice as much as the amount of displacement of the prism l. Therefore, since optical amplification is performed here, the accuracy of displacement detection is doubled.

第5図は、フォトトランジスタ2が変位す°る場合の実
施例を示したものである。すなわち、そのフォトトラン
ジスタ2が変位すると、そのプリズムlへの入射光路と
反射光路は実線の位置から点線の位置まで変位する。す
なわち、その入射光路と反射光路は、合計でプリズムl
の変位量の2倍変位することになり、ここでも光増幅が
なされている。
FIG. 5 shows an embodiment in which the phototransistor 2 is displaced. That is, when the phototransistor 2 is displaced, the incident optical path to the prism l and the reflected optical path are displaced from the position indicated by the solid line to the position indicated by the dotted line. That is, the incident optical path and the reflected optical path are the total length of the prism l.
This results in a displacement twice the amount of displacement, and optical amplification is also performed here.

つぎに第2の発明であるが、これは上記の第1の発明の
全てを利用したものであるゆえに、上記した光増幅変位
センサの構成の全てをここに援用する。
Next is the second invention, which utilizes all of the above-described first invention, so all of the configurations of the above-described optical amplification displacement sensor are used here.

しかして、上記の光センサ3は、第7図に示すがごとく
に、隣合わせに並べられた一対のものとし、この一対の
光センサ3aと3bからの出力を入力する差動アンプ5
を用いたものである。そこで、プリズムlからの反射光
6が変位すると、この2枚の光センサ3aと3bの出力
に影響を与える。すなわち、この反射光6が第6図に示
すごとくに、その2枚の光センサ3aと3bの真ん中に
位置するときはその出力は釣合フている。そして、この
反射光6がその2枚の光センサ38と3bの真ん中に位
置しないときは、その出力は異なるゆえに上記の差動ア
ンプ6からその2枚の光センサ3aと3bの差の信号が
出る。斯様にして、その変位の検知ができる。
As shown in FIG. 7, the optical sensors 3 mentioned above are a pair arranged next to each other, and a differential amplifier 5 inputs the outputs from the pair of optical sensors 3a and 3b.
It uses Therefore, when the reflected light 6 from the prism l is displaced, it affects the outputs of these two optical sensors 3a and 3b. That is, when this reflected light 6 is located in the middle of the two optical sensors 3a and 3b as shown in FIG. 6, its output is balanced. When this reflected light 6 is not located in the middle of the two photosensors 38 and 3b, their outputs are different, so the differential amplifier 6 outputs a signal representing the difference between the two photosensors 3a and 3b. Get out. In this way, the displacement can be detected.

なお、上記の1対の光センサ3aと3bは、第8図aに
示すごとくに、その反射光の幅より充分に幅広のものと
すると、操作中の横ぶれがあってもその反射光はその光
センサからはずれなくてよい。さらには、第8図すに示
すごとくに、その長手方向も充分に長くして置くとよい
、蓋し、これが反射光6を追尾するときの起動時に、こ
の反射光6がこの光センサ3からはずれているとその反
射光を追尾できなくなるためである。
Furthermore, if the above-mentioned pair of optical sensors 3a and 3b are made sufficiently wider than the width of the reflected light as shown in FIG. It does not need to be removed from the optical sensor. Furthermore, as shown in FIG. This is because if it is off, the reflected light cannot be tracked.

斯様にして、その反射光6がその光センサ3からはずれ
なければ、第9図に示すごとくに飽和特性となり、その
起動と共に素早くその平衡点まで追尾することができる
In this way, if the reflected light 6 does not deviate from the optical sensor 3, it will have a saturation characteristic as shown in FIG. 9, and can be quickly tracked to its equilibrium point upon activation.

そして、第3の発明であるが、これは上記の第2の発明
の光増幅変位センサの全てを利用しみ位置制御装置であ
るゆえに、上記した光増幅変位センサの構成の全てをこ
こに援用する。
The third invention is a stain position control device that utilizes all of the optically amplified displacement sensor of the second invention, so all of the configuration of the optically amplified displacement sensor described above is used here. .

しかして、上記の第2の発明の差動アンプ5により制御
されるものであって駆動手段となるシリンダコントロー
ラ7とシリンダ8が設けられている。このシリンダ8は
、上記のプリズムl−4′たは/および上記のブオット
トランジスタ2または/および上記の光センサ3を横切
る関係に移動させるものである。
A cylinder controller 7 and a cylinder 8, which are controlled by the differential amplifier 5 of the second aspect of the invention and serve as driving means, are provided. This cylinder 8 is for moving the prism l-4' and/or the boot transistor 2 and/or the optical sensor 3 into transverse relation.

すなわち、上記のプリズムlまたは上記のフォットトラ
ンジスタ2または上記の光センサ3のどれを追尾用のア
クチュエータで制御してもよいのである0本実施例では
、第10図に示すごとく、プリズムlを追尾用のアクチ
ュエータ9で制御して、上記のフォットトランジスタ2
おより上記の光センサ3を仕事用の本体に設け、そのア
クチュエータ10で駆動されるようにしたが、これを逆
にしてもよい。
That is, any of the prism l, the phototransistor 2, or the optical sensor 3 may be controlled by the tracking actuator. In this embodiment, as shown in FIG. The phototransistor 2 is controlled by the actuator 9 for
Furthermore, although the optical sensor 3 described above is provided in the main body for work and is driven by its actuator 10, this may be reversed.

つぎに第4の発明であるが、上記の第3の発明  −の
プリズム1を省略したものゆえに、ここを除いて上記の
第3の発明の構成の全てをここに援用する。
Next, regarding the fourth invention, since the prism 1 of the above-mentioned third invention is omitted, all the configurations of the above-mentioned third invention except for this are incorporated herein.

最後に第5の発明であるが、これは上記の第2の発明の
実施例でのべたごとくに、その1対の受先部分3aと3
bが、反射光の移動方向に伸びた長方形のものを隣合わ
せに並べたものである。そして、その反射光がどの位置
にあっても受光する大きさのものである。斯様にして、
その位置の追尾を容易にしたものである。
Finally, the fifth invention is as described in the embodiment of the second invention above, and the pair of receiving portions 3a and 3.
b shows rectangular shapes extending in the moving direction of reflected light arranged next to each other. It is large enough to receive the reflected light no matter where it is located. In this way,
This makes it easy to track the location.

その他の構成は、上記の第4の発明と同じである。The other configurations are the same as the fourth invention described above.

[発明の効果] 本発明にかかる光増幅変位センサと位置制御装置は、以
上のごとき構成になしたゆえに光増幅が大変容易にでき
た。そして、その第2の発明においては、その変位の検
知もさらに向上した。また、光センサを1対としたため
に、投光手段や受光手段および内角反射手段の表面が汚
れてその光量に変化が生じても1対の光センサの光量の
差は°変化しないゆえに、その安定性が向上した。その
上、その第3の発明においては、被検知物の変位制御も
可能になった。
[Effects of the Invention] The optically amplified displacement sensor and position control device according to the present invention have the above-described configuration, so that optical amplification can be performed very easily. In the second invention, the detection of the displacement has also been further improved. Furthermore, since there is a pair of optical sensors, even if the surfaces of the light emitting means, light receiving means, and internal angle reflecting means become dirty and the light intensity changes, the difference in the light intensity of the pair of optical sensors does not change by °. Improved stability. Furthermore, in the third invention, it is also possible to control the displacement of the object to be detected.

斯様にして、光による変位の自動追尾装置が可能になっ
た。最後に、その第4の発明では、その第3の発明にお
いて第1の発明のものを使用しないで、一般の投光手段
と受光手段の使用を可能にした。
In this way, an automatic displacement tracking device using light became possible. Finally, in the fourth invention, it is possible to use general light projecting means and light receiving means without using those of the first invention in the third invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明にかかる光増幅変位センサと位置制御
装置の第1の発明である光増幅変位センサを使用したプ
レスブレーキの一実施例の概略側面図である。 第2図は、その内角反射手段の一実施例の側面図であっ
て、光路を示したものである。 第3図は、その内角反射手段の一実施例の側面図であっ
て、その内角反射手段の傾きと光路の関係を示したもの
である。 第4図は、その内角反射手段の一実施例の側面図であフ
て、その内角反射手段の変位と光路の変位の関係を示し
たものである。 第5図は、その内角反射手段の一実施例の側面図であっ
て、その投光手段の変位と光路の変位の関係を示したも
のである。 第6図は、内角反射手段の別の実施例の斜視図を示した
ものである。 第7図は、受光手段の別の実施例と位置制御装置本体の
一実施例のブロックダイアグラムを示したものである。 第8図は、上記の受光手段と反射光との関係を示した正
面図であって、第8図aはその幅の関係を示し、第8図
すはその長さの関係を示したものである。 第9図は、反射光移動と出力電圧との関係を示した特性
曲線図である。 第10図は、追尾用アクチュエータの設は方の別の実施
例と追尾用の位置制御装置の一実施例のブロックダイア
グラムを示したものである。 l・・・プリズム 2・・・フォトトランジスタ 3・・・光センサ 4・・・光路 5・・・差動アンプ 7・・・シリンダコントローラ 8・・・シリンダー 9・・・追尾用アクチュエータ
FIG. 1 is a schematic side view of an embodiment of a press brake using a light amplification displacement sensor, which is a first invention of a light amplification displacement sensor and a position control device according to the present invention. FIG. 2 is a side view of one embodiment of the internal angle reflecting means, showing the optical path. FIG. 3 is a side view of one embodiment of the internal angle reflecting means, showing the relationship between the inclination of the internal angle reflecting means and the optical path. FIG. 4 is a side view of one embodiment of the internal angle reflecting means, showing the relationship between the displacement of the internal angle reflecting means and the displacement of the optical path. FIG. 5 is a side view of one embodiment of the internal angle reflecting means, showing the relationship between the displacement of the light projecting means and the displacement of the optical path. FIG. 6 shows a perspective view of another embodiment of the internal angle reflecting means. FIG. 7 shows a block diagram of another embodiment of the light receiving means and an embodiment of the position control device main body. FIG. 8 is a front view showing the relationship between the light receiving means and the reflected light, FIG. 8 a shows the relationship in width, and FIG. 8 shows the relationship in length. It is. FIG. 9 is a characteristic curve diagram showing the relationship between reflected light movement and output voltage. FIG. 10 shows a block diagram of another embodiment of the arrangement of the tracking actuator and an embodiment of the tracking position control device. l... Prism 2... Phototransistor 3... Optical sensor 4... Optical path 5... Differential amplifier 7... Cylinder controller 8... Cylinder 9... Tracking actuator

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)以下のものより構成されることを特徴とした光増
幅変位センサ。 a)プリズム等光の反射面を内角特に直角に有する内角
反射手段、該内角反射手段の内角面に向かって設けられ
た投光手段と受光手段。 b)上記の内角反射手段または/および上記の投光手段
の投光部分または/および上記の受光手段の受光部分は
、相対的に横切る関係に移動自在に設けられたものであ
る。
(1) An optical amplification displacement sensor characterized by comprising the following: a) An internal angle reflecting means such as a prism having a light reflecting surface at an internal angle, particularly at a right angle, and a light projecting means and a light receiving means provided toward the internal angle surface of the internal angle reflecting means. b) The internal angle reflecting means and/or the light projecting portion of the light projecting device and/or the light receiving portion of the light receiving device are movably provided in a relatively transverse relationship.
(2)以下のものより構成されることを特徴とした光増
幅変位センサ。 a)プリズム等光の反射面を内角特に直角に有する内角
反射手段、該内角反射手段の内角面に向かって設けられ
た投光手段と下記の受光手段。 b)上記の受光手段は、隣合わせに並べられた一対の受
光部分、該一対の受光部分からの出力を入力する差動ア
ンプ、より成る。 c)上記の内角反射手段または/および上記の投光手段
の投光部分または/および上記の受光手段の受光部分は
、相対的に横切る関係に移動自在に設けられたものであ
る。
(2) An optically amplified displacement sensor characterized by being composed of the following: a) An internal angle reflecting means such as a prism having a light reflecting surface at an internal angle, particularly at a right angle, a light projecting means provided toward the internal angle surface of the internal angle reflecting means, and the following light receiving means. b) The light receiving means described above includes a pair of light receiving portions arranged next to each other, and a differential amplifier inputting outputs from the pair of light receiving portions. c) The internal angle reflecting means and/or the light projecting portion of the light projecting device and/or the light receiving portion of the light receiving device are movably provided in a relatively transverse relationship.
(3)以下のものより構成されることを特徴とした位置
制御装置。 a)プリズム等光の反射面を内角特に直角に有する内角
反射手段、該内角反射手段の内角面に向かって設けられ
た投光手段と下記の受光手段、および下記の差動アンプ
に制御されるものであって上記の内角反射手段または/
および上記の投光手段の投または/および上記の受光手
段の受光部分を横切る関係に移動させる駆動手段。 b)上記の受光手段は、隣合わせに並べられた一対の受
光部分、該一対の受光部分からの出力を入力する差動ア
ンプより成る。
(3) A position control device characterized by being comprised of the following: a) An internal angle reflecting means having a light reflecting surface such as a prism at an internal angle, particularly at a right angle, a light projecting means provided toward the internal angle surface of the internal angle reflecting means, the following light receiving means, and controlled by the following differential amplifier. and/or the internal angle reflecting means described above;
and a driving means for moving the light emitting portion of the light projecting means and/or the light receiving portion of the light receiving means in a transverse relationship. b) The light receiving means described above includes a pair of light receiving portions arranged next to each other and a differential amplifier inputting outputs from the pair of light receiving portions.
(4)以下のものより構成されることを特徴とした位置
制御装置。 a)一対の投光手段と下記の受光手段、 および下記の差動アンプに制御されるものであって上記
の投光手段の投光部分または/および上記の受光手段の
受光部分を横切る関係に移動させる駆動手段。 b)上記の受光手段は、隣合わせに並べられた一対の受
光部分、該一対の受光部分からの出力を入力する差動ア
ンプより成る。
(4) A position control device characterized by being comprised of the following: a) A pair of light emitting means, the following light receiving means, and a device controlled by the following differential amplifier in a relationship that crosses the light emitting part of the above light emitting means and/or the light receiving part of the above light receiving means. Drive means for moving. b) The light receiving means described above includes a pair of light receiving portions arranged next to each other and a differential amplifier inputting outputs from the pair of light receiving portions.
(5)以下のものより構成されることを特徴とした位置
追尾用の位置制御装置。 a)一対の投光手段と下記の受光手段、 および下記の差動アンプに制御されるものであって上記
の投光手段の投光部分または/および上記の受光手段の
受光部分を横切る関係に移動させる位置追尾用の駆動手
段。 b)上記の受光手段は、隣合わせに並べられたものであ
って反射光の移動方向に伸びた長方形のものであって且
つその反射光がどの位置にあっても受光する大きさの一
対の受光部分、該一対の受光部分からの出力を入力する
差動アンプより成る。
(5) A position control device for position tracking, characterized by comprising the following: a) A pair of light emitting means, the following light receiving means, and a device controlled by the following differential amplifier in a relationship that crosses the light emitting part of the above light emitting means and/or the light receiving part of the above light receiving means. Drive means for tracking the position of movement. b) The above-mentioned light receiving means is a pair of light receiving means that are arranged next to each other, have a rectangular shape extending in the moving direction of the reflected light, and are large enough to receive the reflected light no matter where it is located. and a differential amplifier that inputs the outputs from the pair of light-receiving parts.
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JP2002541445A (en) * 1999-04-06 2002-12-03 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー Surface inspection device with optical sensor

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