JPS6355535U - - Google Patents
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- JPS6355535U JPS6355535U JP14932786U JP14932786U JPS6355535U JP S6355535 U JPS6355535 U JP S6355535U JP 14932786 U JP14932786 U JP 14932786U JP 14932786 U JP14932786 U JP 14932786U JP S6355535 U JPS6355535 U JP S6355535U
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14932786U JPS6355535U (enrdf_load_stackoverflow) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14932786U JPS6355535U (enrdf_load_stackoverflow) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6355535U true JPS6355535U (enrdf_load_stackoverflow) | 1988-04-14 |
Family
ID=31064428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14932786U Pending JPS6355535U (enrdf_load_stackoverflow) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6355535U (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006344745A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Tdk Corp | エッチング量計測装置、エッチング装置及びエッチング量計測方法 |
| JP2019510374A (ja) * | 2016-03-11 | 2019-04-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | マイクロセンサを有するウエハ処理ツール |
| CN109937471A (zh) * | 2016-11-14 | 2019-06-25 | 应用材料公司 | 选择性蚀刻速率监控器 |
| JPWO2022157908A1 (enrdf_load_stackoverflow) * | 2021-01-22 | 2022-07-28 |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP14932786U patent/JPS6355535U/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2022020718A (ja) * | 2016-03-11 | 2022-02-01 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | マイクロセンサを有するウエハ処理ツール |
| CN109937471A (zh) * | 2016-11-14 | 2019-06-25 | 应用材料公司 | 选择性蚀刻速率监控器 |
| JP2019536281A (ja) * | 2016-11-14 | 2019-12-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 選択的エッチング速度モニタ |
| JP2021106272A (ja) * | 2016-11-14 | 2021-07-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 選択的エッチング速度モニタ |
| CN109937471B (zh) * | 2016-11-14 | 2023-08-22 | 应用材料公司 | 选择性蚀刻速率监控器 |
| JPWO2022157908A1 (enrdf_load_stackoverflow) * | 2021-01-22 | 2022-07-28 | ||
| WO2022157908A1 (ja) * | 2021-01-22 | 2022-07-28 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置 |
| TWI821868B (zh) * | 2021-01-22 | 2023-11-11 | 日商日立全球先端科技股份有限公司 | 離子銑削裝置 |