JPS6353516A - Transducer array for surface acoustic wave - Google Patents

Transducer array for surface acoustic wave

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Publication number
JPS6353516A
JPS6353516A JP19738086A JP19738086A JPS6353516A JP S6353516 A JPS6353516 A JP S6353516A JP 19738086 A JP19738086 A JP 19738086A JP 19738086 A JP19738086 A JP 19738086A JP S6353516 A JPS6353516 A JP S6353516A
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JP
Japan
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frequency
surface acoustic
idt
acoustic wave
isolators
Prior art date
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Application number
JP19738086A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Nakamura
憲司 中村
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain uniform surface acoustic wave intensity in a wide frequency range with low power consumption, by respectively connecting isolators to the high-frequency signal input sides of transducers. CONSTITUTION:High-frequency signals produced by a variable frequency oscillator 11 are distributed by a power distributor 13 after they are amplified to desired electric power by means of an amplifier 12 and inputted to transducers (IDT) 3-6 through isolators 17-20 and variable phase shifters 14, respectively. Since each IDT has its own center frequency and natural frequency band width, only one or, to the utmost, only two IDTs among the four are driven and caused to produce surface acoustic waves (SAW). From the IDTs 3, 5, and 6, from which no SAW is excited, signals are respectively reflected to the isolators 20, 18, and 17 through the variable phase shifters 14, but the isolators absorb the signals without transmitting them to the distributor 13 side. Therefore, appearance of ripples is eliminated and characteristic deterioration hardly takes place.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光導波型音響光学(Acoustooptic
 。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to optical waveguide acousto-optic technology.
.

以下AOと記す)装置に利用され得る弾性表面波(Su
rface acoustic wave’ 、以下S
AWと記す)トランスデユーサ−アレーに関し、特に駆
動回路の改良された弾性表面波トランスデユーサ−アレ
ーに関する。
Surface acoustic wave (Su
rface acoustic wave', hereinafter S
The present invention relates to transducer arrays (abbreviated as AW), and in particular to surface acoustic wave transducer arrays with improved drive circuits.

[従来の技術] 光偏向器、スペクトラムアナライザー、相関器等の光導
波型AO装置の構成要素として用いられるトランスデユ
ーサ−として次第に広帯域のものが要求される様になっ
ている。広帯域のSAWトランスデユーサ−を作製する
方法は既にいくつか知られている。その中で互いに異な
る中心周波数を持つ複数のくし型トランスデ、−サー(
IDT)を導波光に対しそれぞれブラー7グ条件を満足
するように異なる傾角にて配置してなるマルティプルー
ティルテッド・SAWトランスデューサーアレー(MT
Sアレー)は構薩か簡単であり、トランスデユーサ−作
製後の電気的vA整が可能であるという利点がある。
[Prior Art] Broadband transducers are increasingly required to be used as components of optical waveguide type AO devices such as optical deflectors, spectrum analyzers, and correlators. Several methods are already known for making broadband SAW transducers. Among them, there are multiple comb-shaped transducers with different center frequencies.
A multi-tilted SAW transducer array (MT
The advantage of the S array is that it is simple in structure and allows electrical vA adjustment after the transducer is fabricated.

この様なMTSアレーにより光導波路に弾性表面波を励
振し該光導波路内を伝搬する導波光との間に所望のAO
効果を生ぜしめるためには、各よりTに特定の周波数及
び電力をもった高周波信号を印加する必要がある。かか
る高周波信号は、−般に電気回路によって生ぜしぬられ
増幅された後にEDTに入力される。これらの電気回路
はIDTの駆動回路と呼ばれる。
Such an MTS array excites surface acoustic waves in an optical waveguide, and creates a desired AO between the guided light propagating in the optical waveguide.
In order to produce the effect, it is necessary to apply a high frequency signal with a specific frequency and power to each T. Such a high frequency signal is generally generated and amplified by an electric circuit before being input to the EDT. These electric circuits are called IDT drive circuits.

第2図は循来の弾性表面波トランスデユーサ−アレーの
IDT駆動回路をも含む構成の一例を示す概略図である
FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a configuration including an IDT drive circuit of a circulating surface acoustic wave transducer array.

第2図において、1はTi拡Fh LiNbO3等から
なる光導波路であり、2は該光導波路を伝搬する導波光
(入射光)である、3,4.5.6はそれぞれ異なる中
心周波数をもち且つ導波光2に対しそれぞれ異なる傾角
をもって配置されたIDTであり、7は該IDTから励
振され光導波路1を伝搬するSAWであり、8は該SA
Wにより入射光2が回折せしめられて生じた回折光であ
り、9は非回折光である。
In Fig. 2, 1 is an optical waveguide made of Ti-expanded Fh LiNbO3, etc., 2 is guided light (incident light) propagating through the optical waveguide, and 3, 4, 5, and 6 have different center frequencies. In addition, the IDTs are arranged at different inclination angles with respect to the guided light 2, 7 is a SAW that is excited from the IDT and propagates through the optical waveguide 1, and 8 is the SAW that is excited from the IDT and propagates through the optical waveguide 1.
This is the diffracted light generated by diffracting the incident light 2 by W, and 9 is the undiffracted light.

周波数可変発振器11において生ぜしめられた高周波信
号は増幅器12により所望の電力まで増幅された上で電
力分配器13により分配され、それぞれ可変移相器14
及び整合回路ISを介してEDT3.4,5.6に入力
せしめられる。各よりTはそれぞれ異なる中心周波数及
び固有周波数帯域幅をもつので、実質上4つのIDTの
うちの1つあるいはせいぜい2つのIDTのみが駆動さ
れ、SAWを発生させる。第2図は、トランスデユーサ
−アレーの駆動周波数がSAWがEDT4からのみ励振
される様な周波数である場合について描かれている。E
DT4によって励振された5AW7は入射光2に対して
移動中る回折格子として作用し、入射光の2の一部はブ
ラ・、グ回折され回折光8となり、一部はそのまま透過
し非回折光9となる0回折光8は非回折光9から分離さ
れ、信号処理、記録等に用いられる。
The high frequency signal generated by the variable frequency oscillator 11 is amplified to a desired power by an amplifier 12, and then distributed by a power divider 13, and then distributed by a variable phase shifter 14.
and is input to EDTs 3.4 and 5.6 via matching circuit IS. Since each strand T has a different center frequency and natural frequency bandwidth, effectively only one or at most two of the four IDTs are driven to generate a SAW. FIG. 2 depicts the case where the driving frequency of the transducer array is such that the SAW is excited only from the EDT 4. E
The 5AW7 excited by the DT4 acts as a moving diffraction grating for the incident light 2, and part of the incident light 2 undergoes Bragg diffraction and becomes the diffracted light 8, while a part passes through as is and becomes the non-diffracted light. The zero-diffracted light 8, which is 9, is separated from the undiffracted light 9 and used for signal processing, recording, and the like.

尚、可変移相器14は互いに隣接する2つのIDTのク
ロスオーバー周波数においで各IDTによる回折光間の
位相差を補償して該2つのIDTからのSAWが互いに
強めあう様に各SAWの位相を調整するものである。各
IDTの配列を適宜設定することにより、上記の様な可
変移相器を省略して同様の効果を得ることもできる(特
開昭58−117527号公報参照)。
The variable phase shifter 14 compensates for the phase difference between the diffracted lights by each IDT at the crossover frequency of two adjacent IDTs, and adjusts the phase of each SAW so that the SAWs from the two IDTs strengthen each other. This is to adjust the By appropriately setting the arrangement of each IDT, the same effect can be obtained by omitting the variable phase shifter as described above (see Japanese Patent Laid-Open No. 117527/1983).

[発明が解決しようとする問題点1 以上の様な従来のトランスデユーサ−アレーにおいて、
駆動回路の消費電力を低減するためには、可変移相器と
整合回路に関しては挿入損を低減すればよく、またrD
Tに関しては電極指抵抗を低減し且つ固有の通過周波数
帯域内におけるインピーダンスを信号源側と整合させれ
ばよい。
[Problem to be solved by the invention 1 In the conventional transducer array as described above,
In order to reduce the power consumption of the drive circuit, it is sufficient to reduce the insertion loss of the variable phase shifter and matching circuit, and also to reduce the rD
Regarding T, it is sufficient to reduce the electrode finger resistance and match the impedance within the specific pass frequency band with the signal source side.

しかしながら、IDTにおいて電極指抵抗を低減し且つ
通過周波数帯域内におけるインピーダンスを信号源側と
整合させると、該通過周波数帯域外においては該EDT
は高インピーダンスとなり、該IDTに入力せしめられ
た高周波信号は殆ど損失なく信号源側に反射する。該N
射信号は整合回路15及び可変移相器14を通過するが
、これらの電気回路としては一般に受動相反回路が用い
られるので、上記の様にこれらの回路の挿入損を低減し
た場合には上記EDT側からの反射高周波信号は殆ど無
損失にて通過し再び電力分配器13へと戻り、増幅器1
2から該分配器13への入力信号と干渉を起す。
However, if the electrode finger resistance in the IDT is reduced and the impedance within the pass frequency band is matched with the signal source side, the EDT
has a high impedance, and the high frequency signal input to the IDT is reflected back to the signal source side with almost no loss. The N
The radiation signal passes through the matching circuit 15 and the variable phase shifter 14, but since passive reciprocal circuits are generally used as these electrical circuits, when the insertion loss of these circuits is reduced as described above, the EDT The reflected high frequency signal from the side passes through with almost no loss and returns to the power divider 13 again, and is then sent to the amplifier 1.
2 to the distributor 13.

たとえば、第2図に示される様に周波数可変発振器11
からの高周波信号がEDT4の中心周波数付近の信号の
場合には、該高周波信号はEDT3.5.6の周波数帯
域外であるので、これらIDTで反射された高周波信号
は電力分配器13へと戻り、増幅器12から該分配器1
3への入力信号と干渉を起す、各IDTで反射されて電
力分配器13へ戻る高周波信号の位相は周波数によって
異なるため、これらと干渉してEDT4に入力する高周
波信号の周波数特性には激しいり−、プルが生ずる。
For example, as shown in FIG.
If the high frequency signals from the IDTs are near the center frequency of the EDT 4, the high frequency signals are outside the frequency band of the EDTs 3.5.6, so the high frequency signals reflected by these IDTs return to the power divider 13. , amplifier 12 to the distributor 1
Since the phase of the high-frequency signal that is reflected by each IDT and returns to the power divider 13, which interferes with the input signal to EDT 3, differs depending on the frequency, the frequency characteristics of the high-frequency signal that interferes with these and input to EDT 4 will be severely affected. −, a pull occurs.

第3図は以上の様なリップル発生のシミュレージョン結
果を示すグラフである。このシミュレーションにおいて
は、トランスデユーサ−を構成するIDTが3つで、各
IDTは電極指対数がいづれも5対であり、中心周波数
は第1のIDTが360MHz、第2(7)I DTが
400MHz、第3(りIDTが440MHzであり、
各IDTはそれぞれインダクタを用いて信号源50Ωに
整合されているとし、またIDT配列を適宜設定するこ
とにより可変移相器の使用を省略して同様の効果を得て
いるものとした。
FIG. 3 is a graph showing the simulation results of ripple occurrence as described above. In this simulation, there are three IDTs that make up the transducer, each IDT has five pairs of electrode fingers, and the center frequency is 360 MHz for the first IDT and 360 MHz for the second (7) IDT. 400MHz, the third IDT is 440MHz,
It is assumed that each IDT is matched to a signal source of 50Ω using an inductor, and the same effect can be obtained by omitting the use of a variable phase shifter by appropriately setting the IDT arrangement.

第3図において、#l、#2.#3はそれぞれ上記第1
、第2、第3のIDTを示す、破線は3つのIDTをそ
れぞれ個別に駆動した場合の結果を示し、実線は上記第
2図に示されると同様にして3つのIDTを並列に駆動
した場合の結果を示す。第3図から、上記第2図の様な
駆動回路構成とすることにより他のIDTからの反射高
周波信号のために周波数帯域内に顕著なリップルが生じ
ていることが分る。
In FIG. 3, #l, #2. #3 is the first above
, the second and third IDTs. The broken lines show the results when the three IDTs are driven individually, and the solid lines show the results when the three IDTs are driven in parallel in the same manner as shown in FIG. 2 above. The results are shown below. From FIG. 3, it can be seen that with the drive circuit configuration as shown in FIG. 2, significant ripples occur within the frequency band due to the reflected high frequency signals from other IDTs.

IDTに入力せしめられる高周波信号の周波数特性に以
上の様なリップルが生ずると、第2図の導波光2を回折
するためのSAWの強度が周波数によって変動し、その
結果として回折光8の強度が周波数によって変動するこ
とになる。従って、第2図に示される様な従来のトラン
スデユーサ−アレーでは、各回路部分を低損失化して消
費電力を低減しようとすれば、5AW7を励振するため
の高周波信号の周波数の変化に対して、回折光8の強度
が−様にできないという問題点があった。
When such ripples occur in the frequency characteristics of the high-frequency signal input to the IDT, the intensity of the SAW for diffracting the guided light 2 shown in FIG. 2 varies depending on the frequency, and as a result, the intensity of the diffracted light 8 It will vary depending on the frequency. Therefore, in the conventional transducer array as shown in Fig. 2, if you try to reduce the loss of each circuit part and reduce power consumption, it is difficult to respond to changes in the frequency of the high-frequency signal used to excite the 5AW7. Therefore, there was a problem that the intensity of the diffracted light 8 could not be made uniform.

そこで、本発明は、以上の様な従来の弾性表面波トラン
スデユーサ−アレーにおける問題点を解決し、低消費電
力で且つ広い周波数範囲において−様な弾性表面波強度
の得られる弾性表面波トランスデユーサ−アレーを提供
することを目的とする。
Therefore, the present invention solves the problems in the conventional surface acoustic wave transducer array as described above, and provides a surface acoustic wave transformer that can obtain a similar surface acoustic wave intensity in a wide frequency range with low power consumption. The purpose of the present invention is to provide a deuser array.

[問題点を解決するための手段] 本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして
、複数の弾性表面波トランスデユーサ−を有してなる弾
性表面波トランスデユーサ−アレーにおいて、各トラン
スデユーサ−の高周波信号入力側にそれぞれアイソレー
ターが接続されていることを特徴とする、弾性表面波ト
ランスデユーサ−アレーが提供される。
[Means for Solving the Problems] According to the present invention, in order to achieve the above objects, in a surface acoustic wave transducer array comprising a plurality of surface acoustic wave transducers, A surface acoustic wave transducer array is provided, characterized in that an isolator is connected to the high frequency signal input side of each transducer.

[実施例] 以下、図面を参照しながら本発明の具体的実施例を説明
する。
[Example] Hereinafter, specific examples of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明による弾性表面波トランスデユーサ−ア
レーの一実施例を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a surface acoustic wave transducer array according to the present invention.

第1図において、1はT】拡散L 1Nb03等からな
る光導波路であり、2は該光導波路を伝搬する導波光(
入射光)である。3,4,5.6はそれぞれ異なる中心
周波数をもち且つ導波光2に対しそれぞれ異なる傾角を
もって配置されたIDTであり、7は該IDTから励振
され光導波路1を伝搬するSAWであり、8は該SAW
により入射光2が回折せしめられて生じた回折光であり
、9は非回折光であり、12は増幅器である。
In FIG. 1, 1 is an optical waveguide made of T] diffused L 1Nb03, etc., and 2 is a guided light (
incident light). 3, 4, 5.6 are IDTs each having a different center frequency and arranged at different inclination angles with respect to the guided light 2, 7 is a SAW excited from the IDT and propagating through the optical waveguide 1, and 8 is an The SAW
9 is a diffracted light generated by diffracting the incident light 2, 9 is a undiffracted light, and 12 is an amplifier.

17.18,19.20はアイソレーターであり、電力
分配器13と各可変移相器14との間番こ介在している
。該アイソレーターは一方向に進行する電磁波を殆ど減
衰無しに伝送し且つ反対方向に進行するit電磁波殆ど
吸収してしまう2開口受動回路素子である[「電子通信
ハンドブック」(電子通信学会編、1984年オーム社
発行)の第759頁参照]。
Isolators 17, 18, 19, and 20 are interposed between the power divider 13 and each variable phase shifter 14. The isolator is a two-opening passive circuit element that transmits electromagnetic waves traveling in one direction with almost no attenuation and absorbs most of the IT electromagnetic waves traveling in the opposite direction. (Published by Ohm Publishing), page 759].

周波数可変発振器11において生ぜしめられた高周波信
号は増幅器12により所望の電力まで増幅された上で、
電力分配器13により分配され、それぞれアイソレータ
ー17〜20と上記可変移相器14とを介してIDT3
〜6に入力せしめられる。各IDTはそれぞれ異なる中
心周波数及び固有周波数帯域幅をもつので、4つのID
Tのうちの1つあるいはせいぜい2つのIDTのみが駆
動され、SAWを発生させる。第1図は、上記第2図と
同様に、トランスデユーサ−アレーの駆動周波数がSA
WがIDT4からのみ励振される様な周波数である場合
について描かれている。IDT4によって励振された5
AW7は入射光2に対して移動する回折格子として作用
し、入射光の2の一部はブラッグ回折され回折光8とな
り、一部はそのまま透過し非回折光9となる0回折光8
は非回折光9から分離され、48号処理、記録等に用い
られる。
The high frequency signal generated by the variable frequency oscillator 11 is amplified to a desired power by the amplifier 12, and then
The power is distributed by the power divider 13 and transmitted to the IDT 3 via the isolators 17 to 20 and the variable phase shifter 14, respectively.
~6 will be input. Since each IDT has a different center frequency and natural frequency bandwidth, the four IDTs
Only one or at most two IDTs of T are driven to generate a SAW. In FIG. 1, similar to FIG. 2 above, the drive frequency of the transducer array is SA.
The case where W is a frequency that is excited only from the IDT 4 is depicted. 5 excited by IDT4
The AW 7 acts as a diffraction grating that moves with respect to the incident light 2, and a part of the incident light 2 undergoes Bragg diffraction and becomes the diffracted light 8, and a part passes through as is and becomes the undiffracted light 8, which becomes the undiffracted light 8.
is separated from the undiffracted light 9 and used for No. 48 processing, recording, etc.

以上の様な木実施例において、SAWの励振されなかっ
たI DT3 、5 、6からはそれぞれ可変移相器1
4を経てアイソレーター20.18.17へと信号が反
射されるが、上記の様にアイソレーターは電力分配器1
3側へは信号を伝送することなく吸収してしまう。従っ
て、上記第2図に関し説明した様な上記第3図の周波数
特性のグラフにおける実線の様なリップルの出現はなく
なり、かくして特性劣化が殆どなくなる。
In the above-mentioned tree embodiment, variable phase shifters 1 are connected to IDTs 3, 5, and 6 that are not excited in the SAW, respectively.
4, the signal is reflected to isolator 20.18.17, but as mentioned above, the isolator is connected to power divider 1.
The signal is absorbed without being transmitted to the third side. Therefore, the appearance of ripples such as the solid line in the frequency characteristic graph of FIG. 3, as explained with reference to FIG.

以上の実施例においては、可変移相器を用いてクロスオ
ーバー周波数で2つのIDTからのSAWが互いに強め
あう様にしているが、本発明においてはこの様な可変移
相器を用いずに、上記の特開昭58−117527号公
報に記載の様に各よりTの配列を適正に設定することに
より同様の効果を実現することも可能である。この場合
、上記実施例ではアイソレーター17〜20のそれぞれ
における位相推移量を考慮して、各IDTのクロスオー
バー周波数にて回折光が強めあう様に配列を決めればよ
い。
In the above embodiments, a variable phase shifter is used to make the SAWs from the two IDTs mutually strengthen at the crossover frequency, but in the present invention, such a variable phase shifter is not used. It is also possible to achieve the same effect by appropriately setting the arrangement of each T as described in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-117527. In this case, in the above embodiment, the arrangement may be determined in consideration of the amount of phase shift in each of the isolators 17 to 20 so that the diffracted lights are strengthened at the crossover frequency of each IDT.

更に、上記実施例では4つのIDTをもつトランスデユ
ーサ−アレーが示されているが、本発明においてはID
Tの数は4つに限定されるものではないことはもちろん
であり、複数のIDTをもつトランスデユーサ−アレー
であれば同様に適用することができる。
Furthermore, although the above embodiment shows a transducer array with four IDTs, in the present invention
Of course, the number of T's is not limited to four, and the present invention can be similarly applied to any transducer array having a plurality of IDTs.

また、上記第1図においては可変移相器をアイソレータ
ーとIDTとの間に設けた実施例が示されているが、該
可変移相器は電力分配器とIDTとの間に設けることも
できる。
Further, although FIG. 1 above shows an embodiment in which a variable phase shifter is provided between an isolator and an IDT, the variable phase shifter may also be provided between a power divider and an IDT. .

また、上記第1図においてはIDTと可変移相器とを直
接接続する構成を示したが、駆動回路の出力インピーダ
ンスとIDTの入力インピーダンスとが異なる場合には
、上記第2図に示される様に整合回路を挿入して不整金
相を低減させることもできる。
Furthermore, although FIG. 1 above shows a configuration in which the IDT and the variable phase shifter are directly connected, if the output impedance of the drive circuit and the input impedance of the IDT are different, the configuration shown in FIG. 2 above may be used. It is also possible to insert a matching circuit to reduce the irregular gold phase.

[発明の効果] 以上の様な本発明によれば、IDTの固宥周波数帯域外
の周波数の高周波信号が当該IDTに入力した場合でも
該IDTからの反射信号はアイソレーターに吸収されて
しまい他のIDTへの入力高周波信号と干渉することが
ないので、IDTから励振されるSAWの周波数特性に
おけるリップルの出現を抑制することができ、かくして
低消費電力で広い周波数範囲にわたってSAW強度が−
様な弾性表面波トランスデユーザーアレーを得ることが
できる。
[Effects of the Invention] According to the present invention as described above, even when a high frequency signal with a frequency outside the fixed frequency band of the IDT is input to the IDT, the reflected signal from the IDT is absorbed by the isolator and other Since there is no interference with the input high-frequency signal to the IDT, it is possible to suppress the appearance of ripples in the frequency characteristics of the SAW excited from the IDT, and thus the SAW intensity can be reduced over a wide frequency range with low power consumption.
A similar surface acoustic wave transdeuser array can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による弾性表面波トランスデユーサ−ア
レーを示す概略構成図である。 第2図は従来の弾性表面波トランスデユーサ−アレーの
一例を示す概略構成図である。 第3図は弾性表面波トランスデユーサ−アレーにおける
リップル発生のシミュレーション結果を示すグラフであ
る。 1:光導波路、    2二人射光、 3〜6:IDT、  ?’:SAW、 8:回折光、     9:非回折光、12:増幅器、 17〜20コアイソレータ−0 代理人  弁理士  山 下 穣 平 第1図 第2図
FIG. 1 is a schematic diagram showing a surface acoustic wave transducer array according to the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a conventional surface acoustic wave transducer array. FIG. 3 is a graph showing simulation results of ripple occurrence in a surface acoustic wave transducer array. 1: Optical waveguide, 2 Bi-infrared light, 3-6: IDT, ? ': SAW, 8: Diffracted light, 9: Non-diffracted light, 12: Amplifier, 17-20 Core isolator-0 Agent Patent attorney Johei Yamashita Figure 1 Figure 2

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)複数の弾性表面波トランスデューサーを有してな
る弾性表面波トランスデューサーアレーにおいて、各ト
ランスデューサーの高周波信号入力側にそれぞれアイソ
レーターが接続されていることを特徴とする、弾性表面
波トランスデューサーアレー。
(1) A surface acoustic wave transducer array comprising a plurality of surface acoustic wave transducers, characterized in that an isolator is connected to the high frequency signal input side of each transducer. Array.
(2)単一の周波数可変発振器から発せられ且つ分配手
段により分配された高周波信号が各アイソレーターに入
力せしめられる、特許請求の範囲第1項の弾性表面波ト
ランスデューサーアレー。
(2) The surface acoustic wave transducer array according to claim 1, wherein a high frequency signal emitted from a single variable frequency oscillator and distributed by a distribution means is inputted to each isolator.
(3)各アイソレーターの前段または後段に可変移相器
を有する、特許請求の範囲第1項の弾性表面波トランス
デューサーアレー。
(3) The surface acoustic wave transducer array according to claim 1, which has a variable phase shifter before or after each isolator.
(4)各トランスデューサーとその駆動手段との間にイ
ンピーダンス整合手段が介在している、特許請求の範囲
第1項の弾性表面波トランスデューサーアレー。
(4) The surface acoustic wave transducer array according to claim 1, wherein impedance matching means is interposed between each transducer and its driving means.
JP19738086A 1986-08-25 1986-08-25 Transducer array for surface acoustic wave Pending JPS6353516A (en)

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JP19738086A JPS6353516A (en) 1986-08-25 1986-08-25 Transducer array for surface acoustic wave
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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19738086A JPS6353516A (en) 1986-08-25 1986-08-25 Transducer array for surface acoustic wave

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JPS6353516A true JPS6353516A (en) 1988-03-07

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JP19738086A Pending JPS6353516A (en) 1986-08-25 1986-08-25 Transducer array for surface acoustic wave

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JP (1) JPS6353516A (en)

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