JPS6353408A

JPS6353408A - 厚さプロフイ−ル測定方法

Info

Publication number: JPS6353408A
Application number: JP61197366A
Authority: JP
Inventors: Izumi Tsubone; 泉坪根; Nagahisa Iida; 飯田　永久; Takashi Morita; 森田　高
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd; Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp; Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 1986-08-25
Filing date: 1986-08-25
Publication date: 1988-03-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、物体を透過する放射線の透過量が該物体の
厚さに対して指数関数的に減少することを利用して非接
融で物体の厚さを測定する厚さ測定方法に関するもので
あり、更に詳しくは、板状物体の面上で直線方向に沿っ
て厚さを同時に多点測定することにより物体の厚さプロ
フィールを求める厚さプロフィール測定方法に関する。

〔従来の技術〕

放射線の物体に対する透過率を測定することにより、非
接触でその物体の厚さを測定する方法は、鉄鋼をはじめ
としてプラスチック、フィルム等の製造工場における製
造ラインにおいて採用されている。かかる非接触原さ測
定方法によって物体の厚さプロフィール（成る長さにわ
たって断面的に見た厚さの変化状況）を測定するには、
第４図に見られる如く、放射線源２を収納した線源容器
１と検出器３とをＣフレーム５により支持して成る単点
測定器を測定物（例えば鋼板）４の流れ方向に対して直
角に走査させて、測定物４の厚さプロフィール（走査方
向に沿っての厚さの変化状況）を測定する。

この走査による測定方式は、第４図において、測定物４
の流れるラインスピードが速い場合は、正確なプロフィ
ール測定が困難になる。このため第５図に示す如く、矢
印で示した測定物４の流れ方向に直角な方向に沿って検
出器を複数個−列に配置したマルチ・チャンネル型の検
出器６を用い、これら複数個の検出器によりそれぞれ検
出された透過率検出値から、厚さプロフィールを求める
という同時多点測定による、高速かつ高精度の測定方式
が必要になった。

しかしながら、上記の同時多点測定方式に於いては、マ
ルチ・チャンネル型検出器を構成する各々の検出器内で
、入射放射線の相互作用（例えば、γ線の場合は、光電
効果、コンプトン散乱など）してこる２次放射線（例え
ば螢光Ｘ線、又はコンプトン散乱紳）が発生し、これが
他の検出器に入り検出されることＫより、検出結果の分
解能の低下を招く、つまり厚さプロフィールがボヤヶて
しまい、高精度なプロフィールが得られないという欠点
があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

そこで本発明は、同時多点測定による厚さプロフィール
測定方法において、上記の如き２次放射線等による測定
結果における位置分解能の低下を解消すること、を解決
すべき問題点としており、従って不発明の目的は、２次
放射線の影響を考慮した測定結果データの処理によって
位置分解能の低下を解消することを可能にした厚さプロ
フィール社）１）定力法を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段および作用〕一般に、複
数チャンネルのうちの任意の一チャンネルであるｊチャ
ンネルの検出器出力Ｎｊは、当該検出器に直接入射する
成分５ｊｅ−μ勺　　　　　　　　　・・・・・・（１）と
、他のチャンネルにおいて発生して当該ｊチャンネルに
入射してくる２次放射祿成分との和で表される。

他のチャンネルであるチャンネルｉρ）ら、当哀チャン
ネルｊに入射してきて影響を及ぼす２次放射線量は、１
チャンネルに直接入射する放射縁ユ′に″ ５ｉｅ−”　　　　　　　　　　　　−”　（２）であ
るとすると、これに、ｌｒＪ間の相互的影響度を示す係
数ａＬ　ｉ　　　　　　　　　　　　　　　・・・・・・
（６）を掛けた直、つまり一μＸ・ａＪ＊　ｉ’　Ｓｉ　ｅ　　Ｌ、、曲（４）で表される
。

従ってｊチャンネルの検出器出力Ｎｊｆは、・・・・・
・（５）で表される。ここでＳｉはｉチャンネルの検出器に対応
ｆる位置において、測定物に入射する放射線量であり、
Ｘｆはｉチャンネルの検出器に対応する測定物の厚さで
あり、μは使用する放射線の種類と示す足動の組成によ
って一義的に定まる吸収係数である。

これらの検出器出力を全チャンネルについてマトリック
ス表現するとＮ−ＡφＳ　　　　　　　　　　　　・・・・・・（６
）すなわちとなる。

マトリックスＡは、マルチ・チャンネル検出器の分解能
を表すもので位置分解能マトリックスと称する。このＡ
は、検出器固有のもので、対角要素が１となっており、
チャンネル間の相互作用が無い理想的な場合は、単位行
列となる。

本発明の方法によって前記位置分解能マトリックスＡ、
す彦わちの直と、測定物が無い時、つまりｘｉ＝０　の時の入射
量ベクトルＳｏ、す々わちの匝を求めておき、測定した出力ベクトルＮ、すに、Ａ
　を作用させる。

Ａ−１・Ｎ−８・・・・・・（１１）この式から得られた減衰量ベクトルＳ、すなわちから、
Ｓと、前記（９）式の入射量ベクトルＳ。および吸収係
数μが既知であるから、各チャンネルに対応する測定物
の板厚χｉ、すなわちＸ　””　Ｘｌ　＋　Ｘ２　＋　
”””　Ｘｎ　　　　　　　・・・”’　（１３）が演
算だけで求めることができる。

〔実施例〕

本発明を実施するには前記（８）式に示す位置分解能マ
トリックスＡ及び前記（９）式に示す入射量ベクトルＳ
ｏを予め求めておくことが必要なので、これらを求める
方法を第６図及び第７図を用いて具体的に説明する。

第６図は、本発明において使用する測定系の構成図であ
る。同図において、６１はマルチ・チャンネル検出器で
あって、ｈ　＃　Ｉ　＋　Ｊ　＊・・・・・・ｎはそれ
ぞれ各チャンネルの番号を表している。６２は電気変換
器であって、各々対応するマルチ・チャンネル検出器か
らの信号を電気的出力信号Ｎｉに変換する動作をする。

３６は、厚さが既知であると共に、エツジ（端部）が平
面に対して直角（９０°）をなしている瞭準測定物体（
以下、直角エツジ試料と云う）である。

３４は、入射放射線である。３５の矢印はＡ角エツジ試
料６６が、前記位置分解能マトリックスＡを求めるため
に、移動せしめられる方向を示している。すなわち直角
エツジ試料６６は、ｈチャンネルの方から始まってｎチ
ャンネルの方へ進行する。

第７図中の実線４１は、第６図に於ける直角エツジ試料
６５を、矢印３５の方向に進行させた時に、検出器６１
における成る特定チャンネルｊに接続された電気変換器
６２の出力として得られる電気的信号Ｎｊの変化（以下
、インデイシャル応答と云うこともある）を表したグラ
フである。

第７図中の点４３，４４．・・・４７は、それぞれ直角
エツジ試料６６がり、ｉ、ｊ、に、を各チャンネルの当
初位置に達した時の検出器６１におけるチャンネルｊに
接続された電気変換器６２の出力電気信号ＮｊＯ値であ
る。４８はチャンネル幅を示す。

また、第７図中の破ｍ４２は、チャンネル間の相互干渉
（入射放射線の相互作用により発生した２次放射線によ
る相互干渉）が全く存在しない理想的な場合の検出器３
１におきるチャンネルｊに接続された電気変換器３２の
出力電気信号の値である。

破線４２のグラフでは、直角エツジ試料３３がチャンネ
ル領域ｊを通過するにつれ、出力信号は線形状に低下し
ており、かかるシャープな特性を得るのが理想であるが
、実際には実線４１で示すよう々、ぼやけた特性しか得
られないので、これをデータ処理によって破線４２に見
られるようなシャープな特性に近ずけるというのが本発
明の狙いであることは先にも説明した。

第８図は、第７図におけるグラフ上の測定点に対応した
検出器と直角エツジ試料との位置的対応関係を示す説明
図でおる。

第８図の（Ａ）は、検出器６１におけるチャンネルｊＫ
接続された変換器３２の出力が、第７図中の点４４で示
した値の電気信号を出力するときに、チャンネルｊと直
角エツジ試料６３がどのような相対配置をとるかを示し
た配置図である。この時、直角エツジ試料３３は、検出
器６１のｈチャンネルの終わり位置まで侵入しているこ
とが理解されるであろう。

また第８図の（Ｂ）は、検出器６１におけるチャンネル
ｊに接続された電気変換器３２の出力が、第７図中のｉ
、４６で示した筑の電気信号を出力するときに、とるチ
ャンヌルｊと直角エツジ試料３３との相対配置図であっ
て、直角エツジ試料３３は、検出器３１におけるチャン
ネルｊの終わり位置に古で侵入していることが認められ
るであろう。

一般に、検出器６１におけるｊ番目のチャンネルの出力
Ｎｊは前記（５）式に従ってで表される。但し、ｐ＝ｈ、ｉ、ｋ・・・・・・である
。

この式を直角エツジ試料６６がチャンネルｈの終わり位
置にまで侵入した時、即ち、第８図の（Ａ）に示した相
対位置をとる場合に、検出器６１におけるチャンネルｊ
に受状さｎた電気変換器６２から得られる出力信号Ｎｊ
の１直に対して、すなわち第７図の点４４に適用すると
、ｉチャンネル以降には、直角エツジ試料６６が存在し
ないので、ｐチャンネルの位置における試料３３（Ｚ）
厚さＸｐは、ｘｐ−ｏ（但しｐ”’　１　ｒ　Ｊ　ｒ・・・・・・ｎ
）　・・・（１５）となるので＋Σ　ａｌｐ　Ｓｐ　　　　　　・・曲（１６）ｐ３にとなる。

ここで、Ｎｊｌｐ−ｈなる記号は、直角エツジ試料６６
がｈチャンネルの終わり位置に達した時点におけるｊチ
ャンネルの電気出力信号Ｎｊを示す記号である。従って
前記（１６）式の右辺の第１項は、直角エツジ試料６６
がすでに侵入しているチャンネル（つまりｈチャンネル
まで）に起因する出力信号を、第２項は、直角エツジ試
料３６が未だ侵入していないチャンネル（つまりｉチャ
ンネル以降）に起因する出力信号であることは、容易に
理解されるでちろう。

次に直角エツジ試料３６がチャンネルｉの終わり位置に
まで侵入した時の、出力信号ＮｊＯ値、すなわち第７図
の点４５に前記（１４）式を適用すると、ｊチャンネル
以降は直角エツジ試料５６が存在しないのでＸｐ−０（但しｐ−ｊ、に、・・・・・・ｎ）　　・・
・（１７）となるので＋ＪｊａｊｐＳｐ°°°゛゛（１８）を得る。

ここで得られた前記（１６）式のＮｊ　ｌ　ｐ−ｈから
前記（１８）式のＮｊｌｐ−ｉ　　を引算するとＮｊ　
ｌ　（）−ｍｈ−Ｎｊ　ｌ　ｐ＝−１−ａｊＨＳｌ　−
ａｊＨＳ　Ｈａ−”・・・・・・（１９）を得る。

次に、直角エツジ試料６６がチャンネルｊの終わり位置
にまで侵入した時の１出力信号Ｎｊ　Ｏ値、すなわち第
７図の点４６に前記（１４）式を適用すると、ｋチャン
ネル以降は直角エツジ試料３５が存在し々いのでＸｐ−０（但しｐ　−ｋ　ｒ　ｔ　、　ｎ　）　　　　
−・−（２０）とな、るのでここで得られた前記（２１）式のＮｊｌｐ＝ｊを、前記
（１８）式のＮｊｌ　ｐ−１から引算するとＮＪ　ｌ　
ｐｌｅＩｉ−ＮＪ　ｌ　ｐ−ｊ”　ａ　Ｊ　ｊ　ＳＪ　
　ａ　ｊｊＳｊｅ″′μｘｊ・・・・・・（２２）ここでａｊｊ　”　’ と定義しているので前記（２２）式はとなる。

次に、直角エツジ試料６３がチャンネルにの終わり位置
にまで侵入した時ＯＮｊＯＱｉ、即ち第７図の点４７に
前記（１４）式を適用するとＮｊ　ｌ　ｐ−１４−Σ　
ａ−８ｅ−“ＸｐｐｗｌＪｐ　　ｐ＋Σ　ａ−Ｓ　　　　　　　　　・・・川（２５）戸ｔ
ＪｐＩ）を得る。ここで得られた前記（２５）式のＮｊｌｐ−ｋ
を、一つ前のチャンネルの前記（２１）式ノＮｊ１ｐ−
ｊから引算すると・・・・・・（２６）となる。

次に第８図の（Ｃ）およびＣＤ）において、検出器６１
におけるチャンネルｊＫ電気変換器６２が接続されてい
るものとする。５４は入射放射線であり、同図（Ｄ）中
の６３は直角エツジ試料であり、チャンネル１の終わり
位置にまで侵入している。

一方、同図（Ｃ）に・於いては、チャンネル１以降どの
チャンネルにも直角エツジ試料３６が一切存在しない状
態が示されている。直角エツジ試料６３がどのチャンネ
ルにも一切存在しない第８図（Ｃ）の場合、検出器３１
におけるチャンネルｊに接唇した電気変換器６２の出力
をＮ；１ｐ＝ｏとおくと、前記（１４）式よりＮｊｌｐ−８−品・ｊｐ　”’ｐ　　　　　＝°゛（２
７）と表せる。

さらに、直角エツジ試料５６がチャンネル１の終わり位
置に面で侵入した、第８図（Ｄ）の場合の出力をＮｊｌ
ｐ−＋とおくと、前記（１４）式よりＮｊｌｐ−１−ａ
・１Ｓ、ｅ−μｘ１＋Σ　ａ−Ｓ　　　　　　　曲・・（２８）ｐ、、２　
　　ノｐｐと表せる。

ここで得られた前記（２Ｂ）式のＮｊｌｐ＝１　を、直
角エツジ試料の存在しない場合の前記（２７）式のＮｊ
ｌｐ−０から引算するとを得る。

このように、検出器３１におけるチャンネルｉに対する
前記（１９）式、チャンネルｊに対する前記（２４）式
、チャンネルｋに対する前記（２６）式、そしてチャン
ネル１に対する前記（２９）式に見るように、一般的に
ｐチャンネルの係数、つまり（ｐ−１）チャンネルから
ｐチャンネルへ直角エツジ試料が移行したときに、ｐチ
ャンネルの出力信号が、移行前と移行後で変動する差の
量ａｊｐ　Ｓｐ（１−ｅ　　ｐ　）　　　　　　　−−−
−−−（６ｏ）は、（ｐ−１）チャンネルに対する出力
信号Ｎｊｌｐ−１からｐチャンネルに対する出力信号Ｎ
ｊｌｐ　を引算した値、すなわちＮｊｌｐ−ｉ−Ｎｊ１ｐ＝ａｊｐＳｐ（１−ｅ　　ｐ）
・・・・・・（６１）によって表すことができる。

前記（６１）式に於いて、放射縁の吸収係数μは、源物理的にあるいは経験的にあらかじめ知られた数置であ
る。またＸ　は、測定チャンネルｐに対応する位置にお
ける直角エツジ試料の板厚であり、あらかじめ別の方法
、例えばマイクロメータの如き機械的方法で既矧とする
ことができる数置である。

従って第６図に於いて、検出器３１におけるチャンネル
ｊに接続した変換器３２の出力Ｎｊを、直角エツジ試料
３６をチャンネル１，２．３・・・・・・ｎ−１，ｎと
預次挿入してゆく過程において得たＮｊｌｐ（ｐ＝ｏ　は直角エツジ試料６３が存在しない状態）（
ｐ−１，２，・・・、ｎはそれぞれ、直角エツジ試料が
各チャンネルの終わり位置まで侵入した状態）・・・・
・・（３２）の直から、前記（２９）式を適用してゆくことによって
、次の各量ａｊｉＳ１ｐａｊ２Ｓ２Ｉ…１０ＴａｊｌＳｉをすべて
得ることができる。

次に全く同様に、第６図に於いて、検出器６１における
任意のチャンネルｑに接、吠した変換器３２の出力Ｎ、
を、直角エツジ試料６６をチャンネルＬ２，３．〜ｈ　
ｎ　　１　＊　ｎと挿入してゆく過程において得た値、
すなわちＮ、１ｐ（ｐ−０は直角エツジ試ｆ？）５３が存在しない状態）
（ｐ−１１２１３１・・・、ｎはそれぞれ、直角エツジ
試料が各チャンネルの終わり位置まで侵入した状態）　
　　　　　　　　　　　　・・・・・・（３４）の直か
ら前記（６６）と同様に、次の６鼠ａｑ　、　Ｉ　Ｓ１
＊　”””　＋　ａｑ　、　ｑ−１Ｓｑ−１Ｓｑ　　＊
　　ａｑ、ｑ＋Ｉ　　Ｓｑ＋ｉ　　＋　””０＊　　ａ
ｑ、ｎ　Ｓｎ・・・・・・（３５）というチャンネルｑＫ関する諸量を得る。

この方法を第６図に於ける検出器６１を構成する全ての
チマンネル１，２．〜ｎＶこ適用するとａＨ−Ｓ、　　
　　　　　　　　　　　＋＋＋＋＋’　（３６）が得ら
れて、結果的にａｌｊ　　　　　　　　　　　　　　　　・・・・・・
（５７）Ｓｉ　　　　　　　　　　　　　　　　・・・
・・・（５８）を得ることができる。

つまり前記（６７）の止から前記（８）式の位置分解能
マトリックスＡおよび前記（６８）の量から前記（９）
式の入射量ベクトルＳＯＯ装置を得ることができる。

次に前記（８）式の位置分解能マトリックスＡと、前記
（９）式の入射２ベクトルＳｏを求めた具体的実施例を
以下に示す。

第１図は位置分解能マトリックスＡと入射ａベクトルＳ
ｏの本発明による測定系システムの構成図である。

同図に於いて、５１はキセノン（Ｘｅ）ガスを用いた扇
状電離箱式の４ｃｌチャンネル検出器でちり、それぞれ
のチャンネルに電流／電圧変換器５２が接続されている
。５６はアナログ式の切換スイッチで、一定時間毎に１
チャンネルから４０チ丁ンネルまで切換える。５４はデ
ィジタルボルトメータで、出力はプリンター５５に接読
され、アナログスイッチの切換と同期してプリントされ
る構成になっている。５６はアメリシウム（Ａｍ　）の
放射線源である。５７は前述の直角エツジ試料３５とし
ての基準鉄板で、板厚０．５ｍｍであり、この基準鉄板
５７を矢印５８の方向へ順次挿入していく。

第２図は第１図における検出部の詳細図であって、基準
鉄板５７の板厚をｔｍｍとおくと、放射線源５６からマ
ルチ・チャンネル検出器５１の各々のチャンネルを見込
む角度をθとすると、例えばｐチャンネルに対する基準
鉄板５７の厚さＸｐはＸｐ　””　ｔ　／（２）θ　　
　　　　　　　　・・・・・・（３９）で表される。

今、第１図に於いて、基準鉄板５７を全く測定系に入れ
ない状態から次にチャンネル１の終わりに対応する位置
まで挿入した状態、次にチャンネル２の終わりに対応す
る位置まで挿入した状態と、ｊ＠次チャンネル４０にま
で基準鉄板５７を入れだｌをとらせると、プリンター５
５には、マルチ・チャンネル検出器５１におけるチャン
ネル１からチャンネル４０までのそれぞれ独立に接続し
た電流／電圧変換器５２の出力電圧Ｖｉｊ　　　　　　　　　　　　　　曲・・（４ｏ）こ
こで　ｊ二チャンネルｌの出力ｊ：基慈鉄板の挿入位置を得る。

従って前記（３１）、　（３２）、　（３３）に適用す
る場合、板厚Ｘは前記（３９）式の値を用い、Ｎｊｌｐ
　　の代りに具体的電圧Ｖｊｐを用いると前記（５７）
のａ　Ｈｊ　と（３８）のＳｉＯ値を全て得ることがで
きる。

つまり前記（８）式の位置分解能マトリックスＡと、前
記（９）式の入射量ベクトルＳｏを得る。具体的に前記
（３７）のａｌ＋Ｊの一例としてａｉ、ｉ　　＝ｉａＬ　ｔ　＋　１””　０．２０ａｉ　、ｉ＋２　”’　Ｏ−０５ａ　ｉ、　ｉ＋３　””　Ｏ・・曲（４１）を得た。

この直を予め得て前記（１１）式、　　（１２）式に入
れて用いることにより、測定物（例えば鉄板なら鉄板）
の厚さプロフィールの測定において、マルチ・チャンネ
ル間の相互干渉を除去することができる。

第３図は、このようにして得た直をグラフ化したもので
あって、図中の実線は測定データ、図中の破線は本発明
による方法によって補正したグラフであり、シャープな
プロフィールが得られていることからその効果は明白で
ある。

〔発明の効果〕

この発明によれば、各チャンネル毎の直角エツジ試料に
よるインディシャル応答により分解能マトリックスを予
め求め、２次放射線の影響による分解能の拡がりを補正
するためのデータ処理を行うことにより、厚さプロフィ
ールの測定において、ボヤヶを解消することが可能とな
り、正確な厚さプロフィールを求めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による測定系システムの構成図、第２図
は第１図における勢部の詳細を示す説明図、第６図は本
発明を実施して得られた板厚プロフィールを示すグラフ
、第４図は走査方式による従来の厚さプロフィール測定
方法を示すための概略図、第５図は本発明の対象とする
マルチ・チャンネル型検出器による厚さプロフィール測
定方法を示すための概略図、第６図は本発明において夏
用する測定系の構成図、第７図は直角エツジ試料による
一つのチャンネルにおけるインデイシャル応答を示すグ
ラフ、第８図は第７図におけるグラフ上の測定点に対応
した検出器と直角エツジ試料との位置的対応関係を示す
説明図、でちる。符号の説明１・・・・・・線源容器、２・・・・・・放射線源、６
・・・・・・検出器、４・・・・・・測定物、５・・・
・・・Ｃフレーム、６・・・用マルチ・チャンネル検出
器、６１・・・・・・マルチ・チャンネル検出器、５２
・・・・・・電気変換器、６３・・・・・・直角エツジ
試料、３４・・・・・・放射線、６５・・・・・・移動
方向、４１・・・・・・実際の応答曲線、４２・・・・
・・理想的な応答曲線、４８・・・・・・チャンネル幅
、５１・・・・・・検出器、５２・・・・・・電流／ｉ
！！圧変換器、５６・・曲切換スイッチ、５４・・・・
・・ディジタルボルトメータ、５５・・・・・・プリン
タ、５６・・・・・放射線源、５７・・・・・・基準鉄
板、５８・・・・・・基準鉄板挿入方向第　１　図第　２　因鴎　３　図を第４図第５図第７図第８　図手続補正書（方式）％式％１、事件の表示昭和６１年特許願第１９７３６６号２、発明の名称名　称　（５２３）富士電機株式会社４、代　理　人　畢１０５　　電話０３（５８０）９５
１３住　所　東京都港区新橋２丁目１２番８号寝田ビル
５階　並木特許事務所６、補正の対象　　　　　明　細　書７、補正の内容願書に最初に添付した明細Ｇの浄書・別紙のとおり（内
容に変更なし）

Claims

【特許請求の範囲】１）Ｎ個（但し、Ｎは整数）の検出器を列状にＮチャン
ネルとして配列して成るマルチ・チャンネル型放射線検
出器と放射線源を対向配置し、その間の間隙に前記列状
配列と交叉する方向に板状物体を通過させたとき、前記
Ｎチャンネルを構成するＮ個の検出器の放射線量検出値
Ｎｉ（但し、ｉ＝１〜ｎ）により、下記（イ）式に従つ
て、前記板状物体の各チャンネル毎の厚みｘ＿ｉ（但し
、ｉ＝１〜ｎ）を、該板状物体の厚さプロフィールとし
て求める板状物体の厚さプロフィール測定方法において
、厚みが既知の標準板状物体を、列状Ｎチャンネルをなす
前記Ｎ個の検出器と放射線源との間の間隙において、第
１チャンネルから第Ｎチャンネルにかけて進行させたと
きに得られる各チャンネル毎の検出器における放射線検
出値の変化グラフから、下記影響係数ａ＿ｊ＿ｉを予め
求めておく段階を含むことを特徴とする厚さプロフィー
ル測定方法。記 ▲数式、化学式、表等があります▼……（イ）但し、Ｓｉはｉチャンネルの検出器に対応する位置にお
いて板状物体に入射する放射線量であり、μは使用する
放射線の種類と測定物としての前記板状物体の組成によ
り一義的に定まる吸収係数であり、ａ＿ｊ＿ｉは、ｉチ
ャンネルからｊチャンネル（但しｉ＝１〜Ｎ）へ及ぼす
影響の度合を示す係数で、ｉチャンネルに直接入射する
放射線量をＳｉｅ＾−＾μ＾（ｘ＿ｉ）とするとき、ｉ
チャンネルからｊチャンネルに及ぼす影響によつてｊチ
ャンネルに更に追加入射する放射線量がａ＿ｊ＿ｉ・Ｓ
ｉｅ＾−＾μ＾（ｘ＿ｉ）と表されるような係数である
。