JPS6353105U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6353105U JPS6353105U JP14269486U JP14269486U JPS6353105U JP S6353105 U JPS6353105 U JP S6353105U JP 14269486 U JP14269486 U JP 14269486U JP 14269486 U JP14269486 U JP 14269486U JP S6353105 U JPS6353105 U JP S6353105U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- personal computer
- control device
- input
- storage device
- storage
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Debugging And Monitoring (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例であるプログラム制
御装置を示すブロツク図、第２図は第１図の動作
を示すフローチヤート図である。 １０……マイクロコンピユータ、１２……記憶
装置、１３，２２，３１……入出力装置、２０…
…パーソナルコンピユータ、２５……ＣＲＴ、２
６……外部メモリ。
御装置を示すブロツク図、第２図は第１図の動作
を示すフローチヤート図である。 １０……マイクロコンピユータ、１２……記憶
装置、１３，２２，３１……入出力装置、２０…
…パーソナルコンピユータ、２５……ＣＲＴ、２
６……外部メモリ。
Claims (1)
- 入出力装置、記憶装置および上位パーソナルコ
ンピユータ機能を有したマイクロコンピユータと
、前記パーソナルコンピユータとから成る半導体
製造装置の制御装置において、入出力信号を記憶
装置内に情報として記憶する記憶手段を有するこ
とを特徴とするプログラム制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14269486U JPS6353105U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14269486U JPS6353105U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6353105U true JPS6353105U (ja) | 1988-04-09 |
Family
ID=31051663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14269486U Pending JPS6353105U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6353105U (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP14269486U patent/JPS6353105U/ja active Pending