JPS6352001A - 位置感知電流検出器用回路装置 - Google Patents
位置感知電流検出器用回路装置Info
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- JPS6352001A JPS6352001A JP62200742A JP20074287A JPS6352001A JP S6352001 A JPS6352001 A JP S6352001A JP 62200742 A JP62200742 A JP 62200742A JP 20074287 A JP20074287 A JP 20074287A JP S6352001 A JPS6352001 A JP S6352001A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2914—Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2921—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras
- G01T1/2928—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras using solid state detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/48—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S3/00—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic, or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received
- G01S3/78—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic, or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received using electromagnetic waves other than radio waves
- G01S3/782—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction
- G01S3/783—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction using amplitude comparison of signals derived from static detectors or detector systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/3002—Details
- H01J37/3005—Observing the objects or the point of impact on the object
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明〕
立ユ■皇景
本発明は位置感知電流検出器用回路装置に関し特に電磁
気流の生起に際して２個の出力電流１１゜Ｉ２を供給し
その振幅を電磁気流の生起点の座標に相関させ、出力流
Ｕ、１２を供給しその座標に相関し生起流の強さに相関
しない信号を発生する装置を設け、この装置が出力流を
供給可能であり出力流と時間との積に比例する信号を発
生する第１の装置を有し、この装置が出力流を供給し出
力流と時間との積に比例する信号を発生する第２の装置
を有する回路装置に関する。
気流の生起に際して２個の出力電流１１゜Ｉ２を供給し
その振幅を電磁気流の生起点の座標に相関させ、出力流
Ｕ、１２を供給しその座標に相関し生起流の強さに相関
しない信号を発生する装置を設け、この装置が出力流を
供給可能であり出力流と時間との積に比例する信号を発
生する第１の装置を有し、この装置が出力流を供給し出
力流と時間との積に比例する信号を発生する第２の装置
を有する回路装置に関する。
技法の多くの部門で電磁気流の生起点を正確に知る必要
がある。例えば、電子流蒸発器の目標に対する電子流の
生起点を正確に定め、所定の面をできるだけ均等な表面
温度としてこの面からの一定な蒸発率を得る。純粋な目
視制御によって人が所定の流れに適合するように構成素
子を設定することは全自動制御には不適当である。この
構成素子は例えば紫外線又はレントゲン線に反応し、電
子流の生起に際して目標に形成する。従来のフォトセル
以外に光相関抵抗等は、その電気抵抗が生起流の全量に
対して変化するため位置座標を示す姿勢にならないため
、上述の素子に位置座標の配置を可能にする特性を設け
る必要がある。
がある。例えば、電子流蒸発器の目標に対する電子流の
生起点を正確に定め、所定の面をできるだけ均等な表面
温度としてこの面からの一定な蒸発率を得る。純粋な目
視制御によって人が所定の流れに適合するように構成素
子を設定することは全自動制御には不適当である。この
構成素子は例えば紫外線又はレントゲン線に反応し、電
子流の生起に際して目標に形成する。従来のフォトセル
以外に光相関抵抗等は、その電気抵抗が生起流の全量に
対して変化するため位置座標を示す姿勢にならないため
、上述の素子に位置座標の配置を可能にする特性を設け
る必要がある。
この種の構成素子は例えば所謂横ダイオードである。こ
の場合に大面積１位置感知の半導体フォトダイオードを
横方向フォト効果を利用する。このフォトダイオードは
位置感知検出器ＰＳＤとも称する。単方向フォトダイオ
ードの感知表面は電磁気流の一部に入射され、適切に選
択した初期電圧によって２個の出力流を発生し、その和
は生起流の強さに比例し、その差は生起流の強さと生起
流の重心の位置座標とに比例する。この電流差又は比例
電圧は標準化されない位１信号として示される。多くの
使用例ではこの信号の標準化、即ち専ら位置に比例する
信号の形成を必要とする。
の場合に大面積１位置感知の半導体フォトダイオードを
横方向フォト効果を利用する。このフォトダイオードは
位置感知検出器ＰＳＤとも称する。単方向フォトダイオ
ードの感知表面は電磁気流の一部に入射され、適切に選
択した初期電圧によって２個の出力流を発生し、その和
は生起流の強さに比例し、その差は生起流の強さと生起
流の重心の位置座標とに比例する。この電流差又は比例
電圧は標準化されない位１信号として示される。多くの
使用例ではこの信号の標準化、即ち専ら位置に比例する
信号の形成を必要とする。
この標準化の達成のために各種の回路装置が提案された
。例えば欧州特許ｌＨ８５１１４４０４，８号、公開番
号０１８４６８０号の第５，６図。この回路装置の基本
考察は電流和を電流差で割って電流の強さの影響を除去
し、電流差内の位置座標の影響のみを使用する。この割
算はアナログ割算器によって行い。
。例えば欧州特許ｌＨ８５１１４４０４，８号、公開番
号０１８４６８０号の第５，６図。この回路装置の基本
考察は電流和を電流差で割って電流の強さの影響を除去
し、電流差内の位置座標の影響のみを使用する。この割
算はアナログ割算器によって行い。
電流差に比例する電圧を電流和に比例する電圧で割る構
成である。
成である。
この場合の欠点はアナログ割算器の動特性によって電流
和部ら横ダイオードに生起する電流の最大許容揺動範囲
が限定される点にある。上述の原理で作動する装置に高
い動特性を与えるには高価な禎密な構成素子によって行
い、又は人力段の増幅係数を変調する必要がある。上述
の既知の回路装置の他の欠点は、得られる位置解析が電
流和又は電流強さの減少と共に低下する。
和部ら横ダイオードに生起する電流の最大許容揺動範囲
が限定される点にある。上述の原理で作動する装置に高
い動特性を与えるには高価な禎密な構成素子によって行
い、又は人力段の増幅係数を変調する必要がある。上述
の既知の回路装置の他の欠点は、得られる位置解析が電
流和又は電流強さの減少と共に低下する。
差動フォトダイオード検出器の他の評価電子装置として
、コンデンサの交互充電過程とパルス巾変調の出力電圧
を使用することは既知であり、フォトダイオードの光強
さ比例負荷流による交互充電過程は、２個のフォト感知
器に対して１個のみのコンデンサを設ける。ドイツ公開
ＤＨ−ＯＳ３５３１３７８号参照。この評価電子装置に
よって５種々の初期間係からの位置信号を１個のパルス
中変調直角電圧から得られ、即ちこの直角電圧の低域フ
ィルターに含む等電圧部分が位ｌ信号を示す。
、コンデンサの交互充電過程とパルス巾変調の出力電圧
を使用することは既知であり、フォトダイオードの光強
さ比例負荷流による交互充電過程は、２個のフォト感知
器に対して１個のみのコンデンサを設ける。ドイツ公開
ＤＨ−ＯＳ３５３１３７８号参照。この評価電子装置に
よって５種々の初期間係からの位置信号を１個のパルス
中変調直角電圧から得られ、即ちこの直角電圧の低域フ
ィルターに含む等電圧部分が位ｌ信号を示す。
この既知の評価電子装置の欠点は、低域フィルターによ
って評価電子装置の限界周波数が低下する点にある。更
に積分サイクルの合計時間が両負荷電流の大きさに相開
し、初期電流を極めて小さくすれば測定値検出の全時間
は極めて長くなる。
って評価電子装置の限界周波数が低下する点にある。更
に積分サイクルの合計時間が両負荷電流の大きさに相開
し、初期電流を極めて小さくすれば測定値検出の全時間
は極めて長くなる。
更に、長い積分サイクルと限界周波数の低下は既知の評
価電子装置を早く動く過程の検出用に特に不適当にする
。
価電子装置を早く動く過程の検出用に特に不適当にする
。
本発明の目的は回路装置を提供し、電流感知素子に生起
する電流を、７Ｉｉ流が弱く電流が早（動く場合にも正
確な位置を表示する装置とする。
する電流を、７Ｉｉ流が弱く電流が早（動く場合にも正
確な位置を表示する装置とする。
本発明による回路装置は、上述の形式においてａ）第１
の装置が一方の出力流のみを供給し、第２の装置が他方
の出力流のみを供給し。
の装置が一方の出力流のみを供給し、第２の装置が他方
の出力流のみを供給し。
ｂ）両信号を比較する第３の装置を設けて第１の入力に
所定値の信号を供給し第２の入力に第１第２の装置から
の信号又はこれを組合せた信号を供給し。
所定値の信号を供給し第２の入力に第１第２の装置から
の信号又はこれを組合せた信号を供給し。
Ｃ）第１の入力に第１の装置の出力信号を供給し第２の
入力に第２の装置の出力信号を供給する第４の装置を設
け１両出力信号の差を形成し。
入力に第２の装置の出力信号を供給する第４の装置を設
け１両出力信号の差を形成し。
ｄ）第４の装置の出力信号を時点に対して積算する第５
の装置を設けて第３の装置の両人力信号を等しい値とす
る。
の装置を設けて第３の装置の両人力信号を等しい値とす
る。
本発明によって達成する利点は特に、アナログ割算器を
省略でき９位置解析がほぼ電流強さに無関係であり、測
定のために通切な電圧差を装置の出力の出力電圧として
得られ、電流感知素子の出力信号を電流強さに無関係に
供給される。更に。
省略でき９位置解析がほぼ電流強さに無関係であり、測
定のために通切な電圧差を装置の出力の出力電圧として
得られ、電流感知素子の出力信号を電流強さに無関係に
供給される。更に。
本発明による回路装置は高い感度即ち低い応答限界を有
する。積分時間は単に両型流の和のみによって定め、大
きさに無関係であり２時間は極めて短く高い速度である
。更に９本発明の回路装置は一方の積分装置から他方に
切換える切換装置を必要としない。
する。積分時間は単に両型流の和のみによって定め、大
きさに無関係であり２時間は極めて短く高い速度である
。更に９本発明の回路装置は一方の積分装置から他方に
切換える切換装置を必要としない。
実！輿
本発明を例示とした実施例並びに図面について説明する
。
。
第１図に示す本発明の回路装置は単方向横ダイオード１
を有し、初期電圧Ｕｖと２個の端子２，３を示す。端子
２．３からの導線は演算増幅器４，５の負の入力に夫々
接続され、正の入力は接地される。
を有し、初期電圧Ｕｖと２個の端子２，３を示す。端子
２．３からの導線は演算増幅器４，５の負の入力に夫々
接続され、正の入力は接地される。
横ダイオードの端子２から演算増幅器４の負の入力に流
れる電流を１１として示し、横ダイオード１の端子３か
ら演算増幅器５の負の入力に流れる電流を１２として示
す。両演算増幅器４，５の負の入力はコンデンサ８．９
を経て夫々の演算増幅器４，５の出力１０．１１に接続
する。コンデンサ８，９に並列に導線１４を経て制御さ
れる制御可能のスイッチ１２゜１３を有する。演算増幅
器４，５の出力１０．１１は２（囚の直列接続の抵抗１
５．１６を経て相互接続される。
れる電流を１１として示し、横ダイオード１の端子３か
ら演算増幅器５の負の入力に流れる電流を１２として示
す。両演算増幅器４，５の負の入力はコンデンサ８．９
を経て夫々の演算増幅器４，５の出力１０．１１に接続
する。コンデンサ８，９に並列に導線１４を経て制御さ
れる制御可能のスイッチ１２゜１３を有する。演算増幅
器４，５の出力１０．１１は２（囚の直列接続の抵抗１
５．１６を経て相互接続される。
両抵抗１５．１６間の接続導線１７は演算増幅器１８の
第１の入力に接続し、第２の入力は基準電圧Ｕｒｅｆを
供給する。
第１の入力に接続し、第２の入力は基準電圧Ｕｒｅｆを
供給する。
演算増幅器４の出力は抵抗１９を経て他の演算増幅器２
０の負の入力に接続し、演算増＠器５の出力は抵抗２０
を経て演算増幅器２０の正の入力に接続する。演算増幅
器２０の出力は抵抗２２を経て増幅器２０の負の入力に
接続し、増幅器２０の正の入力は抵抗２３を経て接地す
る。演算増幅器２０の出力をサンプルアンドホールド回
路２４に接続し、この回路の出力を電圧Ｕｙとする。こ
のサンプルアンドホールド回路２４は制御袋ｆｆ１２５
によって制御し、この装面２５は演算増幅器１８から１
８号を受け、スイッチ１２．１３に信号を供給する。
０の負の入力に接続し、演算増＠器５の出力は抵抗２０
を経て演算増幅器２０の正の入力に接続する。演算増幅
器２０の出力は抵抗２２を経て増幅器２０の負の入力に
接続し、増幅器２０の正の入力は抵抗２３を経て接地す
る。演算増幅器２０の出力をサンプルアンドホールド回
路２４に接続し、この回路の出力を電圧Ｕｙとする。こ
のサンプルアンドホールド回路２４は制御袋ｆｆ１２５
によって制御し、この装面２５は演算増幅器１８から１
８号を受け、スイッチ１２．１３に信号を供給する。
演算増幅Ｓ４，５はコンデンサ８，９と共働して積分回
路を形成し、単方向横ダイオードｌからの電流１．、Ｉ
λを積分する。この種の積分回路は例えば演算増幅器に
よって形成し、プルブラウン社から商品名ＯＰへ３５６
として市販される。
路を形成し、単方向横ダイオードｌからの電流１．、Ｉ
λを積分する。この種の積分回路は例えば演算増幅器に
よって形成し、プルブラウン社から商品名ＯＰへ３５６
として市販される。
初期電圧Ｕ１．υ２に対する積分は。
ＵＩ ”ｋＩ＋ ｔ （１）Ｕ
−ｋ１２ｔ （２）ここに、
ｔは積分時間、には比例関数である。式％式％） 比例関数には両積分式において等しい。
−ｋ１２ｔ （２）ここに、
ｔは積分時間、には比例関数である。式％式％） 比例関数には両積分式において等しい。
演算増幅器１８は比較器であり２例えばプルブラウン社
から演算増幅器３商品名０ＰＡ８５として市販される形
式とする。
から演算増幅器３商品名０ＰＡ８５として市販される形
式とする。
この比較器は基準電圧を他方の入力の電圧υ僧と比較す
る。この電圧１ｍは積分器４．８；５，９の出力電圧Ｕ
、Ｕ の算術平均値である。即ち。
る。この電圧１ｍは積分器４．８；５，９の出力電圧Ｕ
、Ｕ の算術平均値である。即ち。
Ｕｍ＝ （Ｕｌ ＋Ｕ２ ） ／ ２ （５
）電圧Ｕ＋が値Ｕｒｅｆに達すれば、比較器１８は次の
機能出力を生ずる。
）電圧Ｕ＋が値Ｕｒｅｆに達すれば、比較器１８は次の
機能出力を生ずる。
比較Ｂ１８は制御装置２５を制御し、一方ではサンプル
アンドホールド回路２４を作動させ、演算増幅器２０の
出力の電圧値Ｕｏを受けさせる。この電圧値υ０は電圧
ＩｌｌとＣ２との差であり、演算増幅器２０は減算単幅
器として作動する。サンプルアンドホールド回路は例え
ばプルブラウン社の商品名５ＨＣ２９８として市販され
る。積分コンデンサ８，９がスイッチ１２又は１３の閉
によって放電されれば、出力電圧υυはＯボルトとなる
。このスイッチ１２．１３は例えばナショナルセミコン
ダクター社の商品名ＣＤ４０６６として市販される。ス
イッチ１２．１３の開によって次の積分サイクルが開始
される。
アンドホールド回路２４を作動させ、演算増幅器２０の
出力の電圧値Ｕｏを受けさせる。この電圧値υ０は電圧
ＩｌｌとＣ２との差であり、演算増幅器２０は減算単幅
器として作動する。サンプルアンドホールド回路は例え
ばプルブラウン社の商品名５ＨＣ２９８として市販され
る。積分コンデンサ８，９がスイッチ１２又は１３の閉
によって放電されれば、出力電圧υυはＯボルトとなる
。このスイッチ１２．１３は例えばナショナルセミコン
ダクター社の商品名ＣＤ４０６６として市販される。ス
イッチ１２．１３の開によって次の積分サイクルが開始
される。
ここで、各時点での瞬間差電圧Ｕｏの測定値即ち電圧は
電圧Ｕｌ、Ｕ２の和に対して次の式となる。
電圧Ｕｌ、Ｕ２の和に対して次の式となる。
Ｕｌ ＋Ｕ２−に’ Ｕｒｅｆ ＝一定 （６）Ｕ
ｒｅｆは一定の所要の選択された電圧であり、に＋は比
例関数である。上述の例で１式（５） （６）からに゛
を２とすれば。
ｒｅｆは一定の所要の選択された電圧であり、に＋は比
例関数である。上述の例で１式（５） （６）からに゛
を２とすれば。
（ＩＪ＋ ＋％）／２＝Ｕｍ
（υ） ＋Ｌ１１）＝に’ ＩＪｒｅｆｔ１ｍ＝Ｕｒｅ
ｆ サンプルアンドホールド回路２４の出力に生ずる電圧ｔ
ｌｙは式（３） （４） （５） （６）から。
ｆ サンプルアンドホールド回路２４の出力に生ずる電圧ｔ
ｌｙは式（３） （４） （５） （６）から。
％式％（８）
これは、υｙ＝Ｕｌ −Ｃ２＝ｋｔ（１，−１２）から
得られ、更に式（４）から。
得られ、更に式（４）から。
ｋ、 ｔ−（ｔｌｌ ＋ＩＪ２）／ （１１＋１２）と
なる。上式のｋｔにｕｙを代入すれば。
なる。上式のｋｔにｕｙを代入すれば。
Ｕｙ＝（１１−１２） （Ｕ、＋Ｕｚ）／（１１＋１２
）（Ｕｌ ＋Ｕ２） ＝に’ Ｕｒｅｆを代入すればｕ
ｙ七に’υｒｅｆ （１＋ −１１）／ （１１＋１２
）式（８）から明らかな通り、電圧ｕｙは座標だけでな
く電流！、、１２の和に関する。次の例はＸ座標に配置
する。
）（Ｕｌ ＋Ｕ２） ＝に’ Ｕｒｅｆを代入すればｕ
ｙ七に’υｒｅｆ （１＋ −１１）／ （１１＋１２
）式（８）から明らかな通り、電圧ｕｙは座標だけでな
く電流！、、１２の和に関する。次の例はＸ座標に配置
する。
Ｕｒｅｆの値はコンデンサ８，９の値によって調節する
０次の関係がある。
０次の関係がある。
ｔ＝に’ｃｇ、？Ｕｒｅｆ／（１＋ ＋Ｉ２）ここにＣ
１，１はコンデンサ８，９の容量である。ｕｒｅｆの値
は特に技術的限定としては５位置信号のスイッチ配置に
よる標準化にはＬ’Ｊされない。
１，１はコンデンサ８，９の容量である。ｕｒｅｆの値
は特に技術的限定としては５位置信号のスイッチ配置に
よる標準化にはＬ’Ｊされない。
第２図の回路装置は第１図の回路装置とほぼ対応する。
差異として、積分器４．８７５．９の前に前置増幅器を
有し、演算増幅器３０．３１によって形成させ、フィー
ドバック回路に並列配置のコンデンサ３２．３３と抵抗
３４ 、３５とを接続する。この前置増幅器は横ダイオ
ード１からの電流１． 、１２を増幅させる。初期電圧
υＶの作用する導線３６にコンデンサ３７を接続する。
有し、演算増幅器３０．３１によって形成させ、フィー
ドバック回路に並列配置のコンデンサ３２．３３と抵抗
３４ 、３５とを接続する。この前置増幅器は横ダイオ
ード１からの電流１． 、１２を増幅させる。初期電圧
υＶの作用する導線３６にコンデンサ３７を接続する。
演算増幅器４，５の入力と前置増幅器３０．３１ との
間に抵抗３８．３９を接続する介挿することもできる。
間に抵抗３８．３９を接続する介挿することもできる。
第１，２図に示す回路装置はＸ座標の情報を示す装置で
あるが、Ｘ座標を示す装置も同様である。
あるが、Ｘ座標を示す装置も同様である。
第１．２図の回路装置によって＋ Ｌｙ電界内の電流の
ｘ、ｙ位置を表示でき１例えば第２図に示す装ＴをＥＰ
−Ａ−０１８４６８０号の装置に接続する。
ｘ、ｙ位置を表示でき１例えば第２図に示す装ＴをＥＰ
−Ａ−０１８４６８０号の装置に接続する。
第１図は本発明によるＸ座標表示用の回路装置でありＸ
座標表示用にも使用し得る装置の線図。 第２図は第１図の装置に前置増幅器を付加した回路線図
である。 １３１．横ダイオード ４，５．１８，２０，３０，３
１．演算増幅器８．９，３２，３３，３７．、コンデン
サ １２．１３． 、 、スイノチ１５、１６．１９，
２１，２２，２３，３４，３５．、、抵抗２４９．サン
プルアンドホールド回路 ２５０．制御装置特許出願人
レイボルト ヘレウス ゲセルシャフト ミツト ベシュレンクテル ハフツング 手続ネ市止り）（自発） 昭和６２年１１月１３日 特許庁長官小川邦文 殿 ン・ １、事件の表示 昭和６２年特許願第２００７４２号 ２、発明の名称 位置感知電流検出器用回路装置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 住 所 ドイツ連邦共和国 ケルン ５１． Ｄ−５
０００ポンネル ストラッセ ４８８ 名 称 レイボルト へレウス ゲセルシャフトミッ
ト ベシュレンクテル ハフラング代 理 人 氏名（８９４２）弁理士奈良 武 ５、補正の対象 （１）明細書の「特許請求の範囲」の欄（り図 面 ８、補正の内容 （１）「特許請求の範囲」を別紙の通り補正する。 （り 図面を別紙補正図面の通り補正する。 ７、添付書類の目録 （１）別 紙 １ 通 （り 補正図面 ｌ 通
２、特許請求の範囲 １、位置感知電流検出器用回路装置であって、電磁気流
の生起に際して２個の出力電流１１．ｈを供給しその振
幅を′ｉｈ磁気流の生起点の座標に相関させ、出力流Ｉ
＋１１２を供給しその座標に相関し生起流の強さに相関
しない信号を発生する装置を設け、この装置が出力流を
供給回走であり出力流と時間との植に比例する信号を発
生する第１の装置を有し、この装置が出力流を供給し出
力流と時間との積に比例する信号を発生する第２の装置
を有する場合に、 ａ）該第１の装置（４，８）が一方の出力流（１１）の
みを供給し、第２の装とが他方の出力！（１２）のみを
供給し、 ｂ） 両信号を比較する第３の装置（１８）を設けて第
１の入力に所定イＴＢ（Ｕｒｅｆ）の信号を供給し第２
の入力に第１第２の装ｍ （４，８；５，９）からの信
号（Ｕ＋、ＩＪ２）又はこれを組合せた信号（Ｕ、）を
供給し、Ｃ）第１の人力に第１の装置（４，８）の出力
信１）（υｌ）を供給し、第２の入力に第２の装置（５
，９）の出力信号（υ２）を供給する第４の装置（２０
）を設け、再出力信号の差（０１−０２）を形成し、ｄ
）第４の装２１（２０）の出力信号（１００）を時点に
対して積算する第５の装置（２４）を設けて第３の装置
（１８）の内入力信号（Ｕｍ、Ｕｒｅｆ）を等しい値と
することを特徴とする位置感知電流検出器用の回路装置
。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
第１第２の装置（４，８；５，９）を積分装置とする回
路装置。 ３、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
電子構成素子を横ダイオードとする回路装置。 ４、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
電子構成素子を２個のフォトダイオードをイ１する差動
フォトダイオードレシーバ−とする回路装置。 ５、特許請求の範囲第２項に記載の発ＩＪＩであって、
前記積分法算増幅塁（４，５）としてフィードバックに
コンデンサ（８，９）を設け、このコンデンサ（８，９
）を並列接続のスイッチ（１２，１３）によって短絡す
る回路装置。 ６、特許請求の範囲第５項に記載の発１１であって、前
記スイッチ（１２，１３）を第６の装置（２５）の制御
によって閉とし、この装置に第３の装置（１８）の出力
を接続する回路装置。 ７、特許請求の範囲第１項又は第５項に記載の発明であ
って、前記第６の装２ｔ （２５）を第５の装置（２４
）に接続して第３の装置（１８）の出力に信号が発生し
た時に差動させる回路装置。 ８、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
第５の装ｍ （２４）をサンプルアンドホールド回路と
する回路装置。 ３、特許請求の範囲第１項に記載の発［５１であって、
二重の装置を設け、一方の回路装置はＸ座標を、他方の
回路装置はｙ座標を定める回路装置。 １０、 特許請求の範囲第１項に記載の発明であって
、前記第１第２の装置（４，８，５，９）の比例関数ｋ
を等しくする回路装置。 １１、 特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
か１項に記載の発明であって、前記電磁気流の発生に際
して軸線方向毎に電流検出器（１）が供給する出力電流
（Ｕ、１２）は夫々の方向の電磁電流の生起点の座標の
振幅に関して検出器（１）の位置感度として供給される
回路装置。 １、・・・横ダイオード ４．５ｊ８，２０・・・演算項１器 ８．９・・・コンデンサ １２．１３・・・スイッチ １５．１ｓ、１３．２１．：’２．２３・・・抵抗２４
、・・・サンプルアンドホールド回路２５、・・・制御
装置
座標表示用にも使用し得る装置の線図。 第２図は第１図の装置に前置増幅器を付加した回路線図
である。 １３１．横ダイオード ４，５．１８，２０，３０，３
１．演算増幅器８．９，３２，３３，３７．、コンデン
サ １２．１３． 、 、スイノチ１５、１６．１９，
２１，２２，２３，３４，３５．、、抵抗２４９．サン
プルアンドホールド回路 ２５０．制御装置特許出願人
レイボルト ヘレウス ゲセルシャフト ミツト ベシュレンクテル ハフツング 手続ネ市止り）（自発） 昭和６２年１１月１３日 特許庁長官小川邦文 殿 ン・ １、事件の表示 昭和６２年特許願第２００７４２号 ２、発明の名称 位置感知電流検出器用回路装置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 住 所 ドイツ連邦共和国 ケルン ５１． Ｄ−５
０００ポンネル ストラッセ ４８８ 名 称 レイボルト へレウス ゲセルシャフトミッ
ト ベシュレンクテル ハフラング代 理 人 氏名（８９４２）弁理士奈良 武 ５、補正の対象 （１）明細書の「特許請求の範囲」の欄（り図 面 ８、補正の内容 （１）「特許請求の範囲」を別紙の通り補正する。 （り 図面を別紙補正図面の通り補正する。 ７、添付書類の目録 （１）別 紙 １ 通 （り 補正図面 ｌ 通
２、特許請求の範囲 １、位置感知電流検出器用回路装置であって、電磁気流
の生起に際して２個の出力電流１１．ｈを供給しその振
幅を′ｉｈ磁気流の生起点の座標に相関させ、出力流Ｉ
＋１１２を供給しその座標に相関し生起流の強さに相関
しない信号を発生する装置を設け、この装置が出力流を
供給回走であり出力流と時間との植に比例する信号を発
生する第１の装置を有し、この装置が出力流を供給し出
力流と時間との積に比例する信号を発生する第２の装置
を有する場合に、 ａ）該第１の装置（４，８）が一方の出力流（１１）の
みを供給し、第２の装とが他方の出力！（１２）のみを
供給し、 ｂ） 両信号を比較する第３の装置（１８）を設けて第
１の入力に所定イＴＢ（Ｕｒｅｆ）の信号を供給し第２
の入力に第１第２の装ｍ （４，８；５，９）からの信
号（Ｕ＋、ＩＪ２）又はこれを組合せた信号（Ｕ、）を
供給し、Ｃ）第１の人力に第１の装置（４，８）の出力
信１）（υｌ）を供給し、第２の入力に第２の装置（５
，９）の出力信号（υ２）を供給する第４の装置（２０
）を設け、再出力信号の差（０１−０２）を形成し、ｄ
）第４の装２１（２０）の出力信号（１００）を時点に
対して積算する第５の装置（２４）を設けて第３の装置
（１８）の内入力信号（Ｕｍ、Ｕｒｅｆ）を等しい値と
することを特徴とする位置感知電流検出器用の回路装置
。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
第１第２の装置（４，８；５，９）を積分装置とする回
路装置。 ３、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
電子構成素子を横ダイオードとする回路装置。 ４、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
電子構成素子を２個のフォトダイオードをイ１する差動
フォトダイオードレシーバ−とする回路装置。 ５、特許請求の範囲第２項に記載の発ＩＪＩであって、
前記積分法算増幅塁（４，５）としてフィードバックに
コンデンサ（８，９）を設け、このコンデンサ（８，９
）を並列接続のスイッチ（１２，１３）によって短絡す
る回路装置。 ６、特許請求の範囲第５項に記載の発１１であって、前
記スイッチ（１２，１３）を第６の装置（２５）の制御
によって閉とし、この装置に第３の装置（１８）の出力
を接続する回路装置。 ７、特許請求の範囲第１項又は第５項に記載の発明であ
って、前記第６の装２ｔ （２５）を第５の装置（２４
）に接続して第３の装置（１８）の出力に信号が発生し
た時に差動させる回路装置。 ８、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
第５の装ｍ （２４）をサンプルアンドホールド回路と
する回路装置。 ３、特許請求の範囲第１項に記載の発［５１であって、
二重の装置を設け、一方の回路装置はＸ座標を、他方の
回路装置はｙ座標を定める回路装置。 １０、 特許請求の範囲第１項に記載の発明であって
、前記第１第２の装置（４，８，５，９）の比例関数ｋ
を等しくする回路装置。 １１、 特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
か１項に記載の発明であって、前記電磁気流の発生に際
して軸線方向毎に電流検出器（１）が供給する出力電流
（Ｕ、１２）は夫々の方向の電磁電流の生起点の座標の
振幅に関して検出器（１）の位置感度として供給される
回路装置。 １、・・・横ダイオード ４．５ｊ８，２０・・・演算項１器 ８．９・・・コンデンサ １２．１３・・・スイッチ １５．１ｓ、１３．２１．：’２．２３・・・抵抗２４
、・・・サンプルアンドホールド回路２５、・・・制御
装置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、位置感知電流検出器用回路装置であって、電磁気流
の生起に際して２個の出力電流Ｉ＿１、Ｉ＿２を供給し
その振幅を電磁気流の生起点の座標に相関させ、出力流
Ｉ＿１、Ｉ＿２を供給しその座標に相関し生起流の強さ
に相関しない信号を発生する装置を設け、この装置が出
力流を供給可能であり出力流と時間との積に比例する信
号を発生する第１の装置を有し、この装置が出力流を供
給し出力流と時間との積に比例する信号を発生する第２
の装置を有する場合に、 ａ）該第１の装置（４、８）が一方の出力流（Ｉ）のみ
を供給し、第２の装置が他方の出力流（Ｉ）のみを供給
し、 ｂ）両信号を比較する第３の装置（１８）を設けて第１
の入力に所定値（Ｕｒｅｆ）の信号を供給し第２の入力
に第１第２の装置（４、８；５、９）からの信号（Ｕ＿
１、Ｕ＿２）又はこれを組合せた信号（Ｕｍ）を供給し
、ｃ）第１の入力に第１の装置（４、８）の出力信号（
Ｕ＿１）を供給し、第２の入力に第２の装置（５、９）
の出力信号（Ｕ＿２）を供給する第４の装置（２０）を
設け、両出力信号の差（Ｕ＿１−Ｕ＿２）を形成し、ｄ
）第４の装置（２０）の出力信号（Ｕ＿０）を時点に対
して積算する第５の装置（２４）を設けて第３の装置（
１８）の両入力信号（Ｕｍ、Ｕｒｅｆ）を等しい値とす
ることを特徴とする位置感知電流検出器用の回路装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
第１第２の装置（４、８；５、９）を積分装置とする回
路装置。 ３、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
電子構成素子を横ダイオードとする回路装置。 ４、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
電気構成素子を２個のフォトダイオードを有する差動フ
ォトダイオードレシーバーとする回路装置。 ５、特許請求の範囲第２項に記載の発明であって、前記
積分演算増幅器（４、５）としてフィードバックにコン
デンサ（８、９）を設け、このコンデンサ（８、９）を
並列接続のスイッチ（１２、１３）によって短絡する回
路装置。 ６、特許請求の範囲第５項に記載の発明であって、前記
スイッチ（１２、１３）を第６の装置（２５）の制御に
よって閉とし、この装置に第３の装置（１８）の出力を
接続する回路装置。 ７、特許請求の範囲第１項又は第５項に記載の発明であ
って、前記第６の装置（２５）を第５の装置（２４）に
接続して第３の装置（１８）の出力に信号が発生した時
に差動させる回路装置。 ８、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前記
第５の装置（２４）をサンプルアンドホールド回路とす
る回路装置。 ９、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、二重
の装置を設け、一方の回路装置はｘ座標を、他方の回路
装置はｙ座標を定める回路装置。 １０、特許請求の範囲第１項に記載の発明であって、前
記第１第２の装置（４、８；５、９）の比例関数ｋを等
しくする回路装置。 １１、特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか１
項に記載の発明であって、前記電磁気流の発生に際して
軸線方向毎に電流検出器（１）が供給する出力電流（Ｉ
＿１、Ｉ＿２）は夫々の方向の電磁気流の生起点の座標
の振幅に関して検出器（１）の位置感度として供給され
る回路装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863627850 DE3627850A1 (de) | 1986-08-16 | 1986-08-16 | Schaltungsanordnung fuer einen positionsempfindlichen strahlungsdetektor |
| DE3627850.5 | 1986-08-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6352001A true JPS6352001A (ja) | 1988-03-05 |
Family
ID=6307550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62200742A Pending JPS6352001A (ja) | 1986-08-16 | 1987-08-10 | 位置感知電流検出器用回路装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4769533A (ja) |
| EP (1) | EP0257305A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6352001A (ja) |
| DD (1) | DD261662A5 (ja) |
| DE (1) | DE3627850A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003097909A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Canon Inc | 表面性識別装置、加熱装置、画像形成装置および表面性識別方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3902274C2 (de) * | 1989-01-26 | 1994-03-17 | Leybold Ag | Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle eines Ladungsträgerstrahls auf einem Target |
| TWM248111U (en) * | 2003-11-14 | 2004-10-21 | Quarton Inc | Laser line receiver |
| DE102004029343B4 (de) * | 2004-06-17 | 2009-04-30 | Diehl Bgt Defence Gmbh & Co. Kg | Zielführungsvorrichtung für ein Fluggerät |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5337434B2 (ja) * | 1975-02-01 | 1978-10-09 | ||
| JPS59180406A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-13 | Matsushita Electric Works Ltd | 距離センサ |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3028500A (en) * | 1956-08-24 | 1962-04-03 | Rca Corp | Photoelectric apparatus |
| US3521046A (en) * | 1968-02-06 | 1970-07-21 | Lear Siegler Inc | Analog computer circuit for multiplication or division |
| US3904871A (en) * | 1974-07-05 | 1975-09-09 | Us Navy | Target locating circuit using a lateral photoelectric diode |
| DE3342721A1 (de) * | 1983-03-23 | 1984-09-27 | Karl-Erik Lerum Morander | Fotodetektor-system zum feststellen bzw. messen der position einer oder mehrerer lichtquellen |
| CH661981A5 (de) * | 1984-02-13 | 1987-08-31 | Haenni & Cie Ag | Optisches messgeraet zur beruehrungslosen abstandsmessung. |
| US4679940A (en) * | 1984-08-01 | 1987-07-14 | Hamar M R | Control system for a continuous cell target readout in a laser measurement system |
| DE3442207A1 (de) * | 1984-11-19 | 1986-05-28 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Elektronenstrahl-istpositionsgeber |
| US4936676A (en) * | 1984-11-28 | 1990-06-26 | Honeywell Inc. | Surface position sensor |
| DE3502634A1 (de) * | 1985-01-26 | 1985-06-20 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Optisch-elektronischer entfernungsmesser |
| DE3531378A1 (de) * | 1985-09-03 | 1986-06-12 | Haberland, Rüdiger, Prof. Dr.-Ing., 6750 Kaiserslautern | Auswerteelektronik fuer differentialphotodioden |
-
1986
- 1986-08-16 DE DE19863627850 patent/DE3627850A1/de not_active Withdrawn
-
1987
- 1987-07-23 EP EP87110647A patent/EP0257305A3/de not_active Withdrawn
- 1987-08-10 JP JP62200742A patent/JPS6352001A/ja active Pending
- 1987-08-13 DD DD87306019A patent/DD261662A5/de not_active IP Right Cessation
- 1987-08-17 US US07/086,261 patent/US4769533A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5337434B2 (ja) * | 1975-02-01 | 1978-10-09 | ||
| JPS59180406A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-13 | Matsushita Electric Works Ltd | 距離センサ |
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| JP2003097909A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Canon Inc | 表面性識別装置、加熱装置、画像形成装置および表面性識別方法 |
| JP4681779B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2011-05-11 | キヤノン株式会社 | 表面性識別装置、及び画像形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0257305A2 (de) | 1988-03-02 |
| DE3627850A1 (de) | 1988-03-03 |
| US4769533A (en) | 1988-09-06 |
| DD261662A5 (de) | 1988-11-02 |
| EP0257305A3 (de) | 1989-04-05 |
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